WO2007037271A1 - ポンプ - Google Patents

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Publication number
WO2007037271A1
WO2007037271A1 PCT/JP2006/319172 JP2006319172W WO2007037271A1 WO 2007037271 A1 WO2007037271 A1 WO 2007037271A1 JP 2006319172 W JP2006319172 W JP 2006319172W WO 2007037271 A1 WO2007037271 A1 WO 2007037271A1
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WO
WIPO (PCT)
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diaphragm
tube
fluid
housing
storage chamber
Prior art date
Application number
PCT/JP2006/319172
Other languages
English (en)
French (fr)
Inventor
Toshiro Noritsugu
Kazukiyo Takano
Original Assignee
Okayama Ken
National University Corporation Okayama University
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Okayama Ken, National University Corporation Okayama University filed Critical Okayama Ken
Priority to US11/992,814 priority Critical patent/US20100221131A1/en
Priority to EP06798379A priority patent/EP1930592A4/en
Publication of WO2007037271A1 publication Critical patent/WO2007037271A1/ja

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Classifications

    • FMECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
    • F04POSITIVE - DISPLACEMENT MACHINES FOR LIQUIDS; PUMPS FOR LIQUIDS OR ELASTIC FLUIDS
    • F04BPOSITIVE-DISPLACEMENT MACHINES FOR LIQUIDS; PUMPS
    • F04B43/00Machines, pumps, or pumping installations having flexible working members
    • F04B43/02Machines, pumps, or pumping installations having flexible working members having plate-like flexible members, e.g. diaphragms
    • F04B43/04Pumps having electric drive
    • FMECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
    • F04POSITIVE - DISPLACEMENT MACHINES FOR LIQUIDS; PUMPS FOR LIQUIDS OR ELASTIC FLUIDS
    • F04BPOSITIVE-DISPLACEMENT MACHINES FOR LIQUIDS; PUMPS
    • F04B43/00Machines, pumps, or pumping installations having flexible working members
    • F04B43/0009Special features
    • F04B43/0036Special features the flexible member being formed as an O-ring
    • FMECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
    • F04POSITIVE - DISPLACEMENT MACHINES FOR LIQUIDS; PUMPS FOR LIQUIDS OR ELASTIC FLUIDS
    • F04BPOSITIVE-DISPLACEMENT MACHINES FOR LIQUIDS; PUMPS
    • F04B43/00Machines, pumps, or pumping installations having flexible working members
    • F04B43/0009Special features
    • F04B43/0054Special features particularities of the flexible members

Definitions

  • the present invention relates to a diaphragm type pump that feeds fluid by driving a plate-like diaphragm forward and backward instead of a diaphragm of a diaphragm pump.
  • a diaphragm pump is often used as a drive source for feeding fluid.
  • a housing that temporarily stores a fluid is provided in a housing that forms an outer frame of the diaphragm pump, a diaphragm is provided facing the storage chamber, and a one-way valve is provided.
  • the storage chamber is connected to the feed pipe and the feed pipe.
  • a driving means for driving the diaphragm forward and backward a crankshaft is connected to the central portion of the diaphragm, and the crankshaft is driven forward and backward (for example, refer to Patent Document 1) or the central portion of the diaphragm.
  • a driving means for driving a magnet by linearly driving the magnet with an electromagnet that alternately switches the magnetic poles see, for example, Patent Document 2.
  • a material having a relatively high rigidity is often used for a force diaphragm that performs inertial deformation of a diaphragm constituted by an elastic body.
  • a large driving force is required to cause an elastic deformation of the diaphragm which is difficult to elastically deform.
  • the diaphragm is provided with a volume deformation region in which the deformation resistance is reduced in a ring shape, and the diaphragm is elastically changed.
  • the deformation resistance is reduced by reducing the thickness of the diaphragm, or the deformation resistance is reduced by providing a deformation margin by making the cross-sectional shape of the diaphragm an arc shape. To be done.
  • Patent Document 1 Japanese Patent Application Laid-Open No. 2004-257337
  • Patent Document 2 JP 2004-066061 A
  • the feed pipe and the feed pipe are connected to the feed pipe and the feed pipe so that the fluid fed from the feed pipe is sent out by the feed pipe force.
  • a housing provided with a storage chamber for temporarily storing fluid by communicating with each other via a one-way valve, and a feed pipe force fluid is sucked into the storage chamber by being placed facing the storage chamber and driven forward and backward.
  • the pump of the present invention is also characterized by the following points. That is,
  • the pressure in the tube is the same as the pressure of the fluid in the storage chamber, or higher than the pressure of the fluid in the storage chamber.
  • the tube is provided with a flange that protrudes outward along the outer periphery, and the fitting is provided with a fitting groove that fits the flange, and the fitting groove and the flange are fitted.
  • the diaphragm is installed in the housing.
  • the housing is provided in parallel with each other with a predetermined interval between the ring-shaped first support wall and the second support wall that protrude inward along the inner peripheral surface.
  • the diaphragm is attached to the housing by inserting a tube between the support wall and the support wall.
  • the tube was provided with fluid injection means for adjusting the pressure by injecting fluid inside.
  • the feed pipe and the delivery pipe are connected to each other to the pump for delivering the fluid fed from the feed pipe to the delivery pipe force.
  • a housing having a storage chamber that temporarily communicates with the delivery pipe via a one-way valve and temporarily stores the fluid, and a feed pipe force fluid is stored by facing the storage chamber and driven forward and backward.
  • a drive unit for driving the diaphragm forward and backward, and a ring-shaped tube is provided along the outer periphery of the diaphragm, and the diaphragm is interposed through the tube.
  • the pressure in the tube is equal to or higher than the pressure of the fluid in the storage chamber.
  • the pump according to claim 1 or claim 2 is provided with a flange that protrudes outward along the outer peripheral edge of the tube, and a housing. Is provided with a fitting groove that fits with the flange, and the diaphragm is fitted to the housing by fitting the fitting groove and the flange.
  • the tube can be prevented from slipping inside the housing due to the difference in pressure generated on both sides, and the displacement of the diaphragm can be prevented, and the installation work of the diaphragm to the housing can be done very easily. Can be improved.
  • the pump of claim 1 or claim 2 has a ring shape projecting inward along the inner peripheral surface of the pump and the louver.
  • the first support wall and the second support wall of the first support wall and the second support wall are provided in parallel with each other at a predetermined interval, and the diaphragm is attached to the housing by fitting a tube between the first support wall and the second support wall. This prevents the tube from sliding in the housing due to the difference in pressure generated on both sides of the diaphragm as the diaphragm moves forwards and backwards.
  • the mounting operation of the diaphragm to the housing can be performed very easily, and the maintenance of the pump can be improved.
  • the pump according to claim 2 is provided with a fluid injection means for injecting a fluid into the inside and adjusting the pressure inside the tube.
  • the pressure in the tube can be easily adjusted, and the diaphragm can be driven forward and backward stably.
  • FIG. 1 is a schematic longitudinal sectional view of a pump according to a first embodiment.
  • FIG. 2 is a schematic longitudinal sectional view of the pump of the first embodiment.
  • FIG. 3 is a schematic longitudinal sectional view of a pump according to a second embodiment.
  • FIG. 4 is a schematic longitudinal sectional view of a pump according to a second embodiment.
  • FIG. 5 is an explanatory view of a tube according to another embodiment.
  • Fig. 6 is a schematic vertical sectional view of a modification of the pump of the first embodiment.
  • Fig. 7 is a schematic longitudinal sectional view of a modified example of the pump of the first embodiment.
  • FIG. 8 is a schematic longitudinal sectional view of a modified example of the pump of the first embodiment.
  • Fig. 9 is a schematic longitudinal sectional view of a modification of the pump of the first embodiment.
  • FIG. 10 is a partially enlarged schematic longitudinal sectional view of a modification example of the pump of the first embodiment.
  • FIG. 11 is a partially enlarged schematic longitudinal sectional view of a modification example of the pump of the first embodiment. Explanation of symbols
  • the pump of the present invention is a pump that supplies a predetermined pressure to a fluid having low viscosity such as air, and pumps a so-called diaphragm pump with a high discharge pressure.
  • a housing having a storage chamber that temporarily communicates with a feeding pipe and a sending pipe via a one-way valve, respectively. Then, the feeding body is arranged so as to face the storage chamber and is driven to advance and retreat, and the vibrator that sucks the fluid into the storage chamber and then pushes it out to the delivery pipe, and the vibrator is advanced and retracted. And a drive unit.
  • the vibrating body is constituted by a thin film diaphragm.
  • the present invention is made of a plate having higher rigidity and is used as a diaphragm.
  • the diaphragm is provided with a ring-shaped tube along the outer peripheral edge, and the diaphragm is attached to the housing via the tube, and the diaphragm is advanced and retracted while elastically deforming the tube. It is.
  • the pressure in the storage chamber is also a force acting on the tube.
  • the pressure acting on one side of the tube is dispersed by the pressure of the fluid filled in the tube, so that the tube is elastically deformed. Can be prevented, and the diaphragm can be moved forward and backward stably.
  • the tube is hollow, and the internal pressure is made equal to the pressure of the fluid in the storage chamber or higher than the pressure of the fluid in the storage chamber, so that the elasticity of the tube depends on the pressure of the fluid in the storage chamber. It is possible to prevent the deformation from being inhibited, and the diaphragm can be driven forward and backward stably.
  • the internal pressure of the tube is the same as the pressure of the fluid in the storage chamber, which means that the pressure is almost the same as that which is not limited to the case of perfect match, and some errors are allowed. It is.
  • the tube itself By forming the tube itself from a highly elastic material such as rubber, the durability of the tube can be improved compared to a conventional diaphragm, and the life of the pump can be extended. .
  • the tube may have a laminated structure in which different types of elastic materials such as rubber or other elastic material or a reinforcing sheet such as a cloth that suppresses expansion of the tube is laminated. The surface may be coated to form a protective film in order to suppress reaction with the fluid.
  • the tube is provided with a flange protruding outward along the outer peripheral edge, and the housing is provided with a fitting groove for fitting with the flange, and the fitting groove and the flange are fitted.
  • the housing is provided in parallel with each other at a predetermined interval from a ring-shaped first support wall and a second support wall protruding inward along the inner peripheral surface.
  • FIG. 1 and 2 are schematic longitudinal sectional views of the pump P1 of the first embodiment.
  • the pump P1 of the present embodiment includes a housing 10 having a storage chamber 11, a diaphragm 10 provided in the housing 10 so as to face the storage chamber 11, and the diaphragm 20 being driven forward and backward.
  • the drive unit 30 is configured.
  • the winging 10 is made of Teflon (registered trademark).
  • a flat spherical cavity 12 is formed in the substantially rectangular housing 10, and a part of the cavity 12 is formed.
  • a diaphragm insertion port 13 is formed in communication with the outside.
  • a diaphragm 10 is inserted into the housing 10 with a feeding flow path 14 communicating with a feeding pipe 41 through which fluid is fed and a feeding flow path 15 communicating with a delivery pipe 42 through which fluid is delivered.
  • a feed-side one-way valve 16 that allows fluid to flow in a predetermined direction is provided in the middle of the feed flow path 14, and the feed flow path 15 is also provided in a predetermined direction.
  • a one-way valve 17 on the delivery side that allows fluid to pass through is disposed in the middle.
  • FIGS. 1 and 2 43 is a feed pipe connecting socket for connecting the feed pipe to the housing 10, and 44 is a feed pipe connecting socket for connecting the delivery pipe to the housing 10. .
  • the diaphragm 20 is a plate that can be inserted into the cavity 12 of the housing 10, and this embodiment It is made up of Teflon (registered trademark) plates!
  • a tube 21 is attached to the diaphragm 20 in a ring shape along the outer peripheral edge.
  • the tube 21 is formed of a rubber hollow cylinder, and air is injected into the tube 21 to obtain a predetermined air pressure state.
  • air is injected into the tube 21 or a liquid having a required viscosity may be injected.
  • the tube 21 is provided with a flange 22 that protrudes outward along the outer peripheral edge.
  • This flange 22 is used for mounting the diaphragm 20 to the nosing 10 and has a fitting groove 18 for fitting the flange 22 on the inner peripheral surface of the cavity 12 of the nosing 10.
  • the diaphragm 20 is mounted on the housing 10 by fitting the fitting groove 18 and the flange 22 together.
  • the storage chamber 11 surrounded by the diaphragm 20 and the housing 10 can be configured, and the tank is also supplied to the storage chamber 11. It is possible to connect the feed pipe 41 through the flow path 14 and to connect the feed pipe 42 through the delivery flow path 15.
  • the diaphragm 20 is fitted with an advance / retreat rod 31 via a connection socket 23 at the center.
  • a magnet Ml is attached to the advancing / retracting rod 31.
  • An electromagnetic stone M2 is disposed around the magnet Ml, and an alternating current source (not shown) is connected to the electromagnet M2 to generate an alternating current.
  • the forward / backward rod 31 is driven forward / backward by energizing. This is the drive unit 30 in this embodiment.
  • the diaphragm 20 is configured by a rigid plate body, whereby the diaphragm 20 itself is not elastically deformed, so that the diaphragm 20 is driven forward and backward. Since it is possible to suppress the bulging deformation in the direction opposite to the driving direction, it is possible to suppress the discharge pressure of the pump P1 from being reduced.
  • the diaphragm 20 is driven to advance and retract by elastically deforming the tube 21 provided on the outer peripheral edge of the diaphragm 20 that is not the diaphragm 20 and moving the diaphragm 20 forward and backward. Therefore, a large discharge amount and discharge pressure can be obtained. Specifically, the discharge pressure can be several times that of a normal diaphragm pump.
  • the tube 21 has a shape in which the outer surface of the tube 21 is expanded toward the storage chamber 11 by making the internal pressure higher than the pressure of the fluid in the storage chamber 11. Since the deformation can be prevented by the pressure of the fluid in the storage chamber 11, the diaphragm 20 can be driven forward and backward stably. It should be noted that the pressure inside the tube 21 is not necessarily required to be higher than the pressure of the fluid in the storage chamber 11, but is at least the same as the pressure of the fluid in the storage chamber 11. Yo! /
  • the degree of deformation of the cross-sectional shape of the tube 21 can be adjusted by adjusting the pressure inside the tube 21, it can be adjusted according to the pump performance such as the discharge amount and the discharge pressure. .
  • the tube 21 is provided with the flange 22 that protrudes outward along the outer peripheral edge, so that the flange 22 is formed in the fitting groove 18 provided in the housing 10.
  • the tube 21 is provided with the flange 22 that protrudes outward along the outer peripheral edge, so that the flange 22 is formed in the fitting groove 18 provided in the housing 10.
  • the diaphragm 20 is attached to one end of the advance / retreat rod 31, but the diaphragm 20 may be attached to both ends of the advance / retreat rod 31, respectively.
  • FIG. 3 and FIG. Figure 3 and 4 are schematic longitudinal sectional views of the pump P2 of the second embodiment.
  • the pump P2 of the present embodiment includes a first storage 50 surrounded by the first housing 50 and the diaphragm 70 by screwing the first housing 50 and the second housing 60 with the diaphragm 70 interposed therebetween.
  • the chamber 51 is formed, the second storage chamber 61 surrounded by the second housing 60 and the diaphragm 70 is formed, and the first storage chamber 51 and the second storage chamber 61 are provided with the diaphragm 70 interposed therebetween. Yes.
  • the diaphragm 70 is composed of a magnet as will be described later, and the first electromagnet 52 and the second electromagnetic wave that interact with the magnetic poles of the diaphragm 70 are provided in the first housing 50 and the second housing 60.
  • Each of the stones 62 is mounted, and an alternating current source (not shown) is connected to each of the first electromagnet 52 and the second electromagnet 62 to generate an alternating magnetic field, thereby generating a varying magnetic field.
  • a drive unit 80 is configured to drive the diaphragm 70 forward and backward by interaction with the 70 magnets.
  • the first housing 50 is made of Teflon (registered trademark) in the present embodiment, and a first concave portion 53 having a flat hemispherical shape is formed on the upper surface of the cylindrical first housing 50.
  • a first mounting groove 54 having a ring shape for mounting the first electromagnet 52 is formed on the lower surface of the housing 50.
  • a first feed channel 55 that connects the first feed pipe 91 and the first storage chamber 51 through which fluid is fed, and the fluid
  • a first delivery flow path 56 is provided to communicate and connect the first delivery pipe 92 to be delivered and the first storage chamber 51.
  • the first delivery flow path 55 is a first passage through which fluid flows in a predetermined direction.
  • a feeding-side one-way valve 57 is disposed in the middle, and a first delivery-side one-way valve 58 is also disposed in the middle of the first delivery flow path 56 to allow fluid to flow in a predetermined direction.
  • a male thread portion 59 for screwing the second housing 60 is formed on the peripheral surface portion of the upper surface side of the first housing 50.
  • the second housing 60 is also made of Teflon (registered trademark), and a second concave portion 63 having a flat hemispherical shape is formed on an upper surface of the cylindrical second housing 60, and a lower surface of the second housing 60 is formed.
  • a second mounting groove 64 having a ring shape for mounting the second electromagnet 62 is formed.
  • the second feed flow path 65 that connects the second feed pipe 93 to which the fluid is fed and the second storage chamber 61 are connected, and the fluid
  • a second delivery channel 66 is provided to communicate with the second storage chamber 61.
  • the second delivery channel 65 is provided with a second delivery-side one-way valve 67 that feeds fluid in a predetermined direction.
  • a second delivery-side one-way valve 68 is also provided in the middle of the second delivery flow channel 66 so as to allow fluid to flow in a predetermined direction.
  • a female screw portion 69 for screwing with the male screw portion 59 of the first housing 50 is formed on the peripheral surface portion on the upper surface side of the second housing 60.
  • 95 is a first feed pipe connecting socket for connecting the first feed pipe 91 to the first housing 50
  • 96 is the first delivery pipe 92 being connected to the first housing 50.
  • This is the first delivery pipe connection socket for connection to the.
  • Reference numeral 97 denotes a second supply pipe connection socket for connecting the second supply pipe 93 to the second housing 60
  • 98 denotes a second supply pipe for connecting the second delivery pipe 94 to the second housing 60. It is a delivery pipe connection socket.
  • the diaphragm 70 is formed of a laminated plate in which thin magnets are laminated. By laminating thin plate magnets, protection of highly brittle magnets is achieved.
  • a required magnet plate may be covered with a Teflon (registered trademark) sheet to form a diaphragm, or the diaphragm may be composed of a Teflon (registered trademark) plate. You can embed a magnet at the required position of this diaphragm!
  • Tube 71 is attached to diaphragm 70 in a ring shape along the outer periphery.
  • the tube 71 has a ring-shaped spacer 71a and an inner edge joined to the outer peripheral edge of the diaphragm 70 on the first storage chamber 51 side and an outer edge joined to the spacer 71a.
  • the first ring-shaped sheet 71b and the second ring-shaped sheet 71c having the inner edge joined to the outer peripheral edge of the diaphragm 70 on the second storage chamber 61 side and the outer edge joined to the spacer 71a. Yes.
  • the first ring-shaped sheet 71b is a thin film sheet made of Teflon (registered trademark), and has a bulging shape that is bulged toward the first storage chamber 51 side.
  • the second ring-shaped sheet 7 lc is also a thin-film sheet made of Teflon (registered trademark), and has a bulging shape in which the bulging force is bulged toward the second storage chamber 61 side.
  • the tube 71 by forming the first ring-shaped sheet 71b and the second ring-shaped sheet 71c into a bulging sheet, the tube 71 can be driven in the forward and backward drive of the diaphragm 70 described later. This prevents the elastic deformation of the diaphragm from being disturbed, so that the diaphragm 70 can be moved stably. Treatment and drive.
  • the inside of the tube 71 is kept in a pressurized state at a pressure equal to or higher than the fluid pressure in the first storage chamber 51 and the second storage chamber 61 by simply injecting air.
  • the elastic deformation of 71 can be performed more stably.
  • the inside of the tube 71 may be injected with nitrogen gas simply by injecting air, or may be injected with a liquid having a required viscosity.
  • the first ring-shaped sheet 71b and the second ring-shaped sheet 71c are joined to the outer peripheral edge of the tube 71 by the spacer 71a by joining the outer peripheral edges to the ring-shaped spacer 71a , respectively.
  • a flange 72 projecting outward is formed.
  • the flange 72 is used to fix and attach the diaphragm 70 between the first housing 50 and the second housing 60, and the first housing 50 is provided at the edge of the first storage chamber 51.
  • a first fitting groove recess 76 is provided along the second housing 60, and a second fitting groove recess 77 is provided in the second housing 60 along the edge of the second storage chamber 61.
  • the spacer 71a is made of rubber and is also used as a packing for increasing the airtightness between the first housing 50 and the second housing 60.
  • the air tightness of the second storage chamber 61 can be improved.
  • the first electromagnet 52 attached to the first housing 50 and the second electromagnet 62 attached to the second housing 60 are interlocked by an alternating current source.
  • a fluctuating magnetic field is generated, and the vibration plate 70 is driven back and forth by the interaction between the fluctuating magnetic field and the magnet of the vibration plate 70.
  • the pressure in the second storage chamber 61 is increased so that the second supply-side one-way valve 67 of the second supply flow path 65 is closed, and the second supply flow path 66 second delivery one-way valve 68 In a valve open state, the fluid in the second storage chamber 61 is discharged to the second delivery pipe 94.
  • fluid By driving the diaphragm 70 forward and backward by the drive unit 80 in this way, fluid can be discharged.
  • fluid can be discharged alternately from the first storage chamber 51 and the second storage chamber 61, and the same fluid is supplied to the first storage chamber 51 and the second storage chamber 61.
  • the discharge interval can be halved, so that pulsation can be suppressed from occurring in the discharged fluid.
  • first storage chamber 51 and the second storage chamber 61 are arranged side by side with the diaphragm 70 interposed therebetween, so that the pump P2 can be downsized.
  • the tube 71 formed on the outer peripheral edge of the diaphragm 70 is not limited to the one constituted by the spacer 71a, the first ring-shaped sheet 71b, and the second ring-shaped sheet 71c. 1 Any configuration that can resist the pressure of the fluid in the storage chamber 51 and the pressure of the fluid in the second storage chamber 61 can be used.For example, as shown in FIG. It may be configured by a ring-shaped tube 71-1 that also forms a tube cover, or may be configured by a ring 71-2 having a circular cross section as shown in FIG. 5 (b). In particular, it is desirable that the ring 71-2 is made of an elastic material such as silicone rubber.
  • 70-1 is a diaphragm
  • 72-1 is a flange projecting outward along the outer peripheral edge of the ring-shaped tube 71-1.
  • the ring-shaped tube 71-1 is provided with a fitting groove 74-1 for fitting the outer edge of the vibration plate 70-1 along the inner peripheral edge.
  • 70-2 is a diaphragm
  • 72-2 is a flange protruding outward along the outer peripheral edge of the ring-shaped tube 71-1.
  • the ring 71-2 is also provided with a fitting groove 74-2 for fitting the outer edge of the diaphragm 70-2 along the inner peripheral edge.
  • a diaphragm support film 75-3 is provided inside a ring-shaped tube 71-3 composed of a tube formed in a ring shape,
  • the first diaphragm 70-3a and the second diaphragm 70-3b may be attached to both surfaces of the diaphragm support film 75-3, respectively.
  • the first diaphragm 70-3a and the second diaphragm 70-3b are attached to the diaphragm support film 75-3, respectively, so that the ring-shaped tube 71-3 and the first vibration are adhered.
  • the plate 70-3a, the ring-shaped tube 71-3, and the second diaphragm 70-3b can be firmly attached.
  • 72-3 is a flange projecting outward along the outer peripheral edge of the ring-shaped tube 71-3.
  • the ring-shaped tube 71-4 may be a tube without a flange without providing a flange.
  • 70-4 is a diaphragm, and the ring-shaped tube 71-4 is provided with a fitting groove 74-4 for fitting the outer edge of the diaphragm 70-4 along the inner periphery. ing.
  • FIG. 6 Note that the pump P3 of this embodiment is a modification of the pump P1 of the first embodiment shown in FIGS. 1 and 2 described above, and the same components are denoted by the same reference numerals, and redundant description is omitted. .
  • the pump P3 of the present embodiment also includes a housing 10 having a storage chamber 11, a diaphragm 20 provided in the housing 10 so as to face the storage chamber 11, and a forward and backward drive of the diaphragm 20 It consists of a drive unit 30 and
  • a flat spherical cavity 12 is formed, and a part of the cavity 12 is communicated with the outside to form a diaphragm insertion port 13 is doing.
  • the ring-shaped first support wall 101 that protrudes inward along the inner peripheral surface of the housing 10 at the mounting portion of the housing 10 to which the diaphragm 20 is mounted;
  • the second support wall 102 is provided in parallel to each other with a predetermined distance.
  • This first support wall 101 and second support Wall 102 is a non-slip means.
  • Each of the first support wall 101 and the second support wall 102 has a mountain shape having the same height and curved in a convex manner, and between the first support wall 101 and the second support wall 102, A trough-shaped supporting concave portion 103 that is concavely curved is provided.
  • the housing 10 is provided with a delivery flow path 15 communicating with the delivery pipe 42 through which the fluid is delivered so as to face the diaphragm insertion port 13.
  • a delivery-side one-way valve 17 that allows fluid to flow in a predetermined direction is disposed in the middle.
  • a diaphragm 21 made of a Teflon (registered trademark) plate is provided with a tube 21 'in a ring shape along the outer peripheral edge.
  • the tube 21 ′ is formed of a rubber hollow cylinder, and air is injected into the inside thereof to obtain a predetermined air pressure state.
  • the tube 21 ' is not provided with a flange, and the tube 21' is elastically deformed and fitted into the supporting recess 103 provided in the housing 10, so that the tube 21 ' A protrusion is formed along the support recess 103 so that the tube 21 'can be stably attached to the nosing 10 in the same manner as the flange described above. It can be installed in the housing 10.
  • a storage chamber 11 surrounded by 10 can be configured, and a discharge pipe 42 can be connected to the storage chamber 11 via a transmission flow path 15.
  • a through hole 104 is formed in a part of the diaphragm 20, and the one-way valve 105 is attached to the through hole 104 on the storage chamber 11 side. The fluid is sent to.
  • the diaphragm 20 is moved forward and backward by driving the advance / retreat rod 31 forward and backward by the drive unit 30, and fluid is supplied from the through hole 104 to the storage chamber 11.
  • the fluid fed to the storage chamber 11 can also be discharged by the force of the delivery pipe 42.
  • the tube 21 ' is not provided with a flange, but the tube 21' is fitted into the first support wall 101 and the second support wall 102 provided in the housing 10 and the non-slip means which also has force.
  • the flange 21 ' can be formed in a pseudo manner to prevent the tube 21' from sliding relative to the housing 10, and the diaphragm 20 can be attached to the housing 10 via the tube 21 '. The work can be done very easily and the maintenance of the pump P3 can be improved.
  • the housing 10 is not provided with the first support wall 101 and the second support wall 102, but is provided with only a concave recess 103 ′ for supporting the concave valley shape.
  • the tube 21 ′ is elastically deformed and fitted into the supporting recess 103 ′ to form a protruding portion that protrudes along the supporting recess 103.
  • the protruding portion can prevent the tube 21 ′ from slipping with respect to the housing 10, and can also allow the diaphragm 20 to be attached to the housing 10.
  • the housing 10 when a combination that increases the coefficient of friction between the housing and the tube is selected, the housing 10 includes a first support wall 101, a second support wall 102, Without providing the supporting recesses 103 and 103 ', an arcuate concave curved surface 106 is formed in the portion where the tube 21' is arranged, and the tube 21 'without a flange is elastically deformed and fitted into the concave curved surface 106 portion. By inserting, the diaphragm 20 can be attached to the housing 10 through the tube 21 '.
  • the radius of curvature of the tube 21 'that is not elastically deformed is more than half the radius of curvature of the concave curved surface 106! /! /.
  • the tube surrounding the diaphragm is a tube in which a fluid such as air is sealed with a predetermined pressure, or a tube made of an elastic body having no hollow portion.
  • a tubular pneumatic inlet 130 is attached to the tube 120 as a fluid injection means, and the inside of the tube 120 is passed through the pneumatic inlet 130 as shown in FIG.
  • the elastic coefficient of the tube 120 can be adjusted by adjusting the pressure in the tube 120 by press-fitting a fluid such as air into the tube.
  • the fluid to be pressed into the tube 120 is not limited to air, but any suitable fluid may be used. You can press fit.
  • the tube 120 is provided with a cylindrical insertion part 121 into which the pneumatic inlet pipe 130 is inserted, and the pneumatic inlet pipe 130 is inserted into the insertion part 121 by inserting the insertion cylinder part 131 of the pneumatic inlet pipe 130. Attach to tube 120.
  • the tube 120 to which the pneumatic inlet pipe 130 is attached is attached to the housing 110 with the pneumatic inlet pipe 130 protruding outward from a pneumatic inlet insertion hole 111 provided in the housing 110.
  • the pneumatic inlet pipe 130 is provided with a flange 132 on the outer peripheral surface.
  • the flange 132 is engaged with the housing 110 to
  • the protruding cylindrical part 133 of the pneumatic inlet pipe 130 is in a protruding state, and a fixing nut 140 is screwed onto the protruding cylindrical part 133 so that the pneumatic inlet pipe 130 is fixedly attached to the nosing 110.
  • a male screw that is screwed into the fixing nut 140 is formed on the outer peripheral surface of the protruding cylindrical portion 133 of the pneumatic inlet pipe 130.
  • a vent hole 134 is drilled in at least one position on the cylindrical peripheral surface of the insertion tube portion 131 of the pneumatic inlet pipe 130, and the air press-fitted into the pneumatic inlet pipe 130 is supplied to the tube 12 through the vent hole 134. Introduced within 0.
  • vent hole 134 is blocked by the insertion portion 121 of the tube 120 when air is not press-fitted into the pneumatic inlet tube 130, thereby preventing the air in the tube 120 from leaking out.
  • the housing 110 is provided with a slit 112 at a position corresponding to the vent hole 134 of the pneumatic inlet pipe 130 so that the insertion portion 121 of the tube 120 is easily elastically deformed at the slit 112 portion.
  • the insertion part 121 of the slit 112 is elastically deformed by the pressure of the press-fitting, so that a gap is formed between the insertion part 121 of the tube 120 and the pneumatic inlet pipe 130.
  • air is introduced into the tube 120 with the inside of the tube 120 and the vent hole 134 communicated with each other through this gap.
  • the end of the pneumatic inlet pipe 130 on the side of the insertion cylinder part 131 is closed so that air can be ventilated only by the vent hole 134.
  • the tube 120 of the present embodiment is provided with a concave fitting groove 122 that fits with the edge portion of the plate-like diaphragm 150, and the edge portion of the diaphragm 150 is provided in the fitting groove 122.
  • the fitting groove 122 is processed in advance so that the cross-sectional shape is concave, and the expanded tube 120 is formed by fitting the diaphragm 150 into the fitting groove 122 and press-fitting air into the tube 120.
  • the tightening force due to is applied to the diaphragm 150 fitted in the fitting groove 122, and more It has a strong connection.
  • the diaphragm 150 when the diaphragm 150 is detachable from the tube 120, the diaphragm 150 can be reused by replacing only the tube 120 when the tube 120 deteriorates. Management costs can be reduced.
  • the fitting groove 122 ′ provided in the tube 120 ′ is formed into a deep groove shape, and the fitting groove 122 ′
  • a vent hole 123 ′ is provided at a predetermined position, and one end of an air guide path 151 ′ provided by penetrating the diaphragm 150 ′ through the edge portion of the diaphragm 150 ′ fitted into the fitting groove 122 ′.
  • the air supply hole 152 ′ that is an opening may be provided, and the air intake hole 153 ′ that is the other opening of the air guide path 151 ′ may be provided at a position that is not within the fitting groove 122 ′.
  • the vent hole 123 ' is preferably provided at the bottom of the fitting groove 122'.
  • the tube 120 ′ in order to set the inside of the tube 120 ′ to a predetermined pressure, it is a storage chamber formed by the housing 110 ′, the diaphragm 150 ′, and the tube 120 ′, and the intake hole 153 ′ of the air guide path 151 ′.
  • a fluid such as air to be filled in the tube 120 'is fed into the storage chamber facing the surface and pressurized to a predetermined pressure.
  • a fluid is introduced into the air guide path 151 ', and the fluid is introduced into the fitting groove 122' from the air supply hole 152 'by the air guide path 151'.
  • the fitting groove 122 ′ is elastically deformed by the pressure of the fluid to communicate with the vent hole 123 ′, and the fluid is introduced into the tube 120 ′ through the vent hole 123 ′ to obtain a predetermined pressure.
  • the inside of the tube 120 ′ can be set to a pressure equivalent to the pressure in the storage chamber.
  • the fluid is replenished in the tube 120 'by periodically filling and pressurizing the storage chamber with a predetermined fluid, and the pressure is reduced. Can be prevented.
  • the pressure in the tube 120 ' is set to be larger than the pressure in the storage chamber when used as a pump, so that the gas or liquid in the storage chamber flows into the tube 120'. Can be prevented.
  • connection groove 122 'be in close contact with the diaphragm 150' so that no gap is generated.
  • the tightening force of the vibration plate 150 ′ by the fitting groove 122 ′ can be increased so that the vibration plate 150 ′ can be in close contact.
  • reference numeral 113 ′ denotes a support wall that protrudes inward from the inner peripheral surface of the housing 110 ′ for fixing the tube 120 ′.
  • the fluid filled in the tube 120 ' is more desirable for a fluid having a low compressibility such as air than a fluid having a high compressibility, such as air. it can.
  • the present invention can be applied as a small-sized feeding device for feeding a fluid such as liquid or gas at a high discharge pressure.

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Abstract

 空気などのように粘性の低い流体を高圧力で送給する一方で、この送給手段をできるだけ小型化可能なダイアフラム型のポンプを提供する。  送給管と送出管とを接続して、送給管から送給された流体を送出管から送出するポンプにおいて、送給管及び送出管とそれぞれ一方向弁を介して連通して流体を一時的に貯留する貯留室を備えたハウジングと、貯留室に面して配置して進退駆動させることにより送給管から流体を貯留室に吸引した後に送出管に押出する振動板と、この振動板を進退駆動させる駆動部とを備え、振動板には外周縁に沿ってリング状のチューブを設け、このチューブを介して振動板をハウジングに装着し、チューブを弾性変形させながら振動板を進退させる。

Description

明 細 書
ポンプ
技術分野
[0001] 本発明は、ダイアフラムポンプのダイァフラムの換わりに板状の振動板を進退駆動 させて流体の送給を行うダイアフラム型のポンプに関するものである。
背景技術
[0002] 従来、流体物の送給の駆動源としてダイアフラムポンプがよく用いられている。この ようなダイアフラムポンプでは、ダイアフラムポンプの外枠を構成するハウジングに流 体を一時的に貯留する貯留室を設けるとともに、この貯留室に面してダイアフラムを 設けており、さらに、一方向弁を介して貯留室と送給管及び送出管をそれぞれ接続 している。
[0003] そして、ダイァフラムが弾性変形して貯留室に対して後退状態となることにより、貯 留室内の圧力を低下させて送給管から貯留室内に流体を吸引し、ダイァフラムが貯 留室に対して進出状態となるように弾性変形することにより、ダイァフラムによって貯 留室内の流体を送出管に吐出させており、この動作を繰り返すことにより流体を断続 的に吐出可能としている。
[0004] ダイアフラムを進退駆動させる駆動手段としては、ダイァフラムの中央部にクランク 軸を接続して、このクランク軸を進退駆動させたり(例えば、特許文献 1参照。)、ある いはダイァフラムの中央部に磁石を装着して、磁極を交互に切り替える電磁石で磁 石をリニア駆動させたり(例えば、特許文献 2参照。)することによって駆動させる駆動 手段が知られている。
[0005] このようなダイアフラム型のポンプでは、弾性体で構成したダイアフラムを弹性変形 させることによりポンプとしての機能を果たすようにしている力 ダイァフラムには剛性 が比較的高い材料が用いられる場合が多ぐ弾性変形させにくぐダイアフラムを弹 性変形させるために大きな駆動力を必要とすることとなっていた。
[0006] そこで、昨今では、ダイァフラムの外周縁を固定したフレーム体に沿って、ダイァフ ラムにはリング状に変形抵抗を低減させた容変形領域を設け、ダイアフラムを弾性変 形させやすくすることにより比較的小さい駆動力で駆動可能とすることが行われてい る。
[0007] 容変形領域では、ダイァフラムの肉厚を小さくすることにより変形抵抗を低減させた り、あるいは、ダイァフラムの断面形状を円弧形状とすることにより変形代を設けて変 形抵抗を低減させたりすることが行われて ヽる。
特許文献 1:特開 2004— 257337号公報
特許文献 2:特開 2004— 060641号公報
発明の開示
発明が解決しょうとする課題
[0008] し力しながら、上記したようにダイァフラムに容変形領域を設けダイアフラムを弹性 変形させやすくした場合には、流体の吐出圧を高めるために貯留室内の流体の圧力 を高くした際に、貯留室力も流体を押し出すように貯留室側に進出していたダイァフ ラムの容変形領域に後退方向に向けて膨出する変形が生じるおそれがあった。
[0009] このような逆方向の変形がダイァフラムに生じた場合には、流体の吐出量が低下す ることとなり、本来の性能が発揮できなくなるだけでなぐダイァフラムが破損しやすく なるので、ダイァフラムに駆動方向とは逆方向への変形が生じない条件下でダイァフ ラムポンプを使用することとなり、高 、吐出圧が得られにく 、と 、う問題があった。 課題を解決するための手段
[0010] そこで、本発明のポンプでは、送給管と送出管とを接続して、送給管から送給され た流体を送出管力 送出するポンプにぉ 、て、送給管及び送出管とそれぞれ一方 向弁を介して連通して流体を一時的に貯留する貯留室を備えたハウジングと、貯留 室に面して配置して進退駆動させることにより送給管力 流体を貯留室に吸引した後 に送出管に押出する振動板と、この振動板を進退駆動させる駆動部とを備え、振動 板には外周縁に沿ってリング状のチューブを設け、このチューブを介して振動板をノヽ ウジングに装着し、振動板を進退させることとした。
[0011] さらに、本発明のポンプでは、以下の点にも特徴を有するものである。すなわち、
( 1)チューブ内の圧力を貯留室内の流体の圧力と同じ、または貯留室内の流体の圧 力よりも高くしていること。 (2)チューブには外周縁に沿って外側方に突出させたフランジを設けるとともに、ノヽ ウジングにはフランジと嵌合する嵌合溝を設けて、この嵌合溝とフランジとを嵌合させ て振動板をハウジングに装着したこと。
(3)ハウジングには、内周面に沿って内側に向けて突出させたリング状の第 1支持壁 と第 2支持壁と所定間隔を隔てて互いに平行に設け、この第 1支持壁と第 2支持壁と の間にチューブを嵌め入れることにより振動板を前記ハウジングに装着したこと。
(4)チューブには、内部に流体を注入して圧力を調整するための流体注入手段を設 けたこと。
発明の効果
[0012] 請求項 1記載の発明によれば、送給管と送出管とを接続して、送給管から送給され た流体を送出管力 送出するポンプにぉ 、て、送給管及び送出管とそれぞれ一方 向弁を介して連通して流体を一時的に貯留する貯留室を備えたハウジングと、貯留 室に面して配置して進退駆動させることにより送給管力 流体を貯留室に吸引した後 に送出管に押出する振動板と、この振動板を進退駆動させる駆動部とを備え、振動 板には外周縁に沿ってリング状のチューブを設け、このチューブを介して振動板をノヽ ウジングに装着し、振動板を進退させることによって、振動板に進退駆動の駆動方向 と逆方向の膨出変形が生じることを抑制でき、高吐出圧のポンプを提供することがで きる。し力も、チューブを介して振動板をノヽウジングに装着していることによって、進退 駆動する振動板の移動量を大きくすることができ、大きな吐出量を得ることができる。
[0013] 請求項 2記載の発明によれば、請求項 1記載のポンプにお!、て、チューブ内の圧 力を貯留室内の流体の圧力と同じ、または貯留室内の流体の圧力よりも高くしている ことによって、貯留室内の流体の圧力によってチューブの弾性変形が阻害されること を防止でき、貯留室の気密状態を維持しながら振動板を安定的に進退駆動させるこ とがでさる。
[0014] 請求項 3記載の発明によれば、請求項 1または請求項 2に記載のポンプにぉ 、て、 チューブには外周縁に沿って外側方に突出させたフランジを設けるとともに、ハウジ ングにはフランジと嵌合する嵌合溝を設けて、この嵌合溝とフランジとを嵌合させて振 動板をハウジングに装着したことによって、振動板の進退動作にともなって振動板の 両側面にそれぞれ生じた圧力の差によってチューブがハウジング内を滑り、振動板 の位置ズレが生じることを防止できるとともに、振動板のハウジングへの装着作業を 極めて容易に行うことができ、ポンプのメンテナンス性を向上させることができる。
[0015] 請求項 4記載の発明によれば、請求項 1または請求項 2に記載のポンプにぉ 、て、 ノ、ウジングには、内周面に沿って内側に向けて突出させたリング状の第 1支持壁と第 2支持壁と所定間隔を隔てて互いに平行に設け、この第 1支持壁と第 2支持壁との間 にチューブを嵌め入れることにより振動板を前記ハウジングに装着したことによって、 振動板の進退動作にともなって振動板の両側面にそれぞれ生じた圧力の差によって チューブがハウジング内を滑り、振動板の位置ズレが生じることを防止できるとともに
、振動板のハウジングへの装着作業を極めて容易に行うことができ、ポンプのメンテ ナンス性を向上させることができる。
[0016] 請求項 5記載の発明によれば、請求項 2記載のポンプにぉ 、て、チューブには、内 部に流体を注入して圧力を調整するための流体注入手段を設けたことによって、チ ユーブ内の圧力を容易に調整でき、振動板を安定的に進退駆動させることができる。 図面の簡単な説明
[0017] [図 1]図 1は第 1実施形態のポンプの縦断面模式図である。
[図 2]図 2は第 1実施形態のポンプの縦断面模式図である。
[図 3]図 3は第 2実施形態のポンプの縦断面模式図である。
[図 4]図 4は第 2実施形態のポンプの縦断面模式図である。
[図 5]図 5は他の実施形態のチューブの説明図である。
[図 6]図 6は第 1実施形態のポンプの変容例の縦断面模式図である。
[図 7]図 7は第 1実施形態のポンプの変容例の縦断面模式図である。
[図 8]図 8は第 1実施形態のポンプの変容例の縦断面模式図である。
[図 9]図 9は第 1実施形態のポンプの変容例の縦断面模式図である。
[図 10]図 10は第 1実施形態のポンプの変容例の部分拡大縦断面模式図である。
[図 11]図 11は第 1実施形態のポンプの変容例の部分拡大縦断面模式図である。 符号の説明
[0018] P1 ポンプ Ml 磁石
M2 電磁石
10 ハウジング
11 貯留室
12 空洞
13 振動板挿入口
14 送給流路
15 送出流路
16 送給側一方向弁
17 送出側一方向弁
18 嵌合溝
20 振動板
21 チューブ
22 フランジ
23 連結ソケット
30 駆動部
31 進; ^ロッド、
41 送給管
42 送出管
43 送給管連結ソケット
44 送出管連結ソケット
発明を実施するための最良の形態
[0019] 本発明のポンプは、空気などのように粘性が低い流体に所定の圧力を加えて送給 するポンプであって、 、わゆるダイアフラムポンプを高吐出圧化したポンプである。
[0020] すなわち、本発明のポンプでは、一般のダイアフラムポンプと同様に、送給管及び 送出管とそれぞれ一方向弁を介して連通して流体を一時的に貯留する貯留室を備 えたハウジングと、貯留室に面して配置して進退駆動させることにより送給管力 流 体を貯留室に吸引した後に送出管に押出する振動体と、この振動体を進退駆動させ る駆動部とを備えて 、るものである。
[0021] そして、一般のダイアフラムポンプでは振動体を薄膜状のダイァフラムで構成して
V、るのに対し、本発明では剛性のより高 、板体で構成して振動板として 、る。
[0022] さらに、振動板には外周縁に沿ってリング状のチューブを設け、このチューブを介し て振動板をハウジングに装着するとともに、チューブを弾性変形させながら振動板を 進退させて ヽるものである。
[0023] このように従来のダイァフラムに換えて外周縁にチューブを設けた振動板を用いる ことにより、貯留室内の圧力によって振動板が変形することを防止でき、高吐出圧の ポンプを提供することができる。
[0024] なお、貯留室内の圧力はチューブにも作用する力 チューブ内に充填されている 流体の圧力によってチューブの一側面に作用した圧力が全体に分散されることによ り、チューブの弾性変形を阻害されに《することができ、振動板を安定的に進退させ ることがでさる。
[0025] 特に、チューブは中空として、内部圧力を貯留室内の流体の圧力と同じ、または貯 留室内の流体の圧力よりも高くしておくことにより、貯留室内の流体の圧力によってチ ユーブの弾性変形が阻害されることを防止でき、振動板を安定的に進退駆動させる ことができる。なお、ここで、チューブの内部圧力が貯留室内の流体の圧力と同じとは 、完全一致の場合のみに限定しているものではなぐほぼ同じ圧力ということであって 、多少の誤差を許容するものである。
[0026] チューブは、その構成材料自体はゴムなどの高弾性の材料で形成することにより、 従来のダイァフラムよりも耐久性を向上させることができ、ポンプの長寿命化を図るこ とがでさる。
[0027] なお、チューブは、内圧によって大きく膨張しない方が望ましぐ内圧によってチュ ーブに大きな膨張が生じな 、ようにチューブの肉厚寸法を選択することが望ま 、。 あるいは、チューブはゴムなどの弾性材料による単層構造とするだけでなぐ異種の 弾性材料や、チューブの膨張を抑制する布などの補強シートを積層させた積層構造 としてもよく、さらには、チューブの表面には流体との反応を抑制するために所要のコ 一ティングを施して保護膜を形成してもよ 、。 [0028] さらに、チューブには外周縁に沿って外側方に突出させたフランジを設けるとともに 、ハウジングにはフランジと嵌合する嵌合溝を設けて、この嵌合溝とフランジとを嵌合 させて振動板をハウジングに装着することにより、チューブがハウジング内を滑ること による振動板の位置ズレが生じることを防止できるとともに、振動板のハウジングへの 装着作業を極めて容易に行うことができ、ポンプのメンテナンス性を向上させることが できる。
[0029] または、ハウジングには、内周面に沿って内側に向けて突出させたリング状の第 1 支持壁と第 2支持壁と所定間隔を隔てて互いに平行に設け、この第 1支持壁と第 2支 持壁との間にチューブを嵌め入れることにより振動板を前記ハウジングに装着したこ とによって、チューブがハウジング内を滑ることによる振動板の位置ズレが生じること を防止できるとともに、振動板のハウジングへの装着作業を極めて容易に行うことが でき、ポンプのメンテナンス性を向上させることができる。
[0030] 以下において、図面に基づいて本発明の実施形態を詳説する。図 1及び図 2は、 第 1実施形態のポンプ P1の縦断面模式図である。
[0031] 本実施形態のポンプ P1は、貯留室 11を備えたノ、ウジング 10と、貯留室 11に面する ようにハウジング 10内に設けた振動板 20と、この振動板 20を進退駆動させる駆動部 3 0とで構成している。
[0032] ノ、ウジング 10は、本実施形態ではテフロン (登録商標)製であって、略矩形体状とし たハウジング 10に扁平球形状の空洞 12を形成するとともに、この空洞 12の一部を外 部に連通させて振動板挿入口 13を形成している。
[0033] さらに、ハウジング 10には、流体が送給される送給管 41と連通した送給流路 14と、 流体が送出される送出管 42と連通した送出流路 15とを振動板挿入口 13と対向させて 設けており、送給流路 14には所定方向に流体を送通させる送給側一方向弁 16を中 途部に配設して、送出流路 15にも所定方向に流体を送通させる送出側一方向弁 17 を中途部に配設している。
[0034] 図 1及び図 2中、 43は送給管をノヽウジング 10に連結するための送給管連結ソケット であり、 44は送出管をハウジング 10に連結するための送出管連結ソケットである。
[0035] 振動板 20は、ハウジング 10の空洞 12内に挿入可能とした板体であって、本実施形 態ではテフロン (登録商標)製の板体で構成して!/、る。
[0036] 振動板 20には、外周縁に沿ってリング状にチューブ 21を装着している。チューブ 21 は、本実施形態ではゴム製の中空筒体で構成しており、内部に空気を注入して所定 の空気圧状態としている。チューブ 21内には、空気を注入する場合だけでなぐたと えば窒素ガスを注入してもよ ヽし、所要の粘性を有する液体を注入してもよ 、。
[0037] さらに、チューブ 21には、外周縁に沿って外側方に突出させたフランジ 22を設けて いる。このフランジ 22は、振動板 20をノヽウジング 10に装着するために用いるものであ つて、ノヽウジング 10の空洞 12の内周面には、フランジ 22を嵌合させる嵌合溝 18を設け ており、この嵌合溝 18とフランジ 22とを嵌合させて振動板 20をハウジング 10に装着し ている。
[0038] このように振動板 20をノヽウジング 10に装着することによって、振動板 20とハウジング 10とで囲まれた貯留室 11を構成でき、しカゝも、この貯留室 11には送給流路 14を介して 送給管 41を連通連結するとともに、送出流路 15を介して送出管 42を連通連結するこ とがでさる。
[0039] 本実施形態では、振動板 20には、中央部において連結ソケット 23を介して進退ロッ ド 31を装着している。
[0040] この進退ロッド 31には中途部に磁石 Mlを装着しており、この磁石 Mlの周囲に電磁 石 M2を配置して、この電磁石 M2に図示しない交流電流源を接続して交流電流を通 電することにより進退ロッド 31を進退駆動させている。これが本実施形態における駆 動部 30である。
[0041] この駆動部 30によって振動板 20を振動板挿入口 13側に移動させることにより、貯留 室 11内の圧力が低下して、図 1に示すように、送給流路 14の送給側一方向弁 16は開 弁状態となるとともに、送出流路 15の送出側一方向弁 17は閉弁状態となって送給管 4 1から貯留室 11内に流体が吸引される。
[0042] 次 、で、駆動部 30によって振動板 20を振動板挿入口 13と反対側に移動させること により、貯留室 11内の圧力が上昇して、図 2に示すように、送給流路 14の送給側一方 向弁 16は閉弁状態となるとともに、送出流路 15の送出側一方向弁 17は開弁状態とな つて貯留室 11内の流体を送出管 42に吐出することができる。 [0043] このように駆動部 30によって振動板 20を進退駆動させることにより、流体を吐出する ことができる。
[0044] 特に、本実施形態のポンプ P1では、剛性を有する板体で振動板 20を構成して 、る ことにより、振動板 20自体が弾性変形することがなぐ振動板 20には進退駆動の駆動 方向とは逆方向の膨出変形が生じることを抑制できるので、ポンプ P1の吐出圧が小 さくなることを抑制できる。
[0045] し力も、本実施形態のポンプ P1では、振動板 20ではなぐ振動板 20の外周縁に設 けたチューブ 21を弾性変形させて振動板 20を進退させることによって、進退駆動する 振動板 20の移動量を大きくすることができ、大きな吐出量及び吐出圧力を得ることが できる。具体的には、通常のダイアフラムポンプの数倍の吐出圧力とすることができる
[0046] 本実施形態では、チューブ 21は、内部の圧力を、貯留室 11内の流体の圧力よりも 高くしていることによって、チューブ 21の外側面を貯留室 11側に膨れ出させた形状に 変形させることができ、貯留室 11内の流体の圧力によって変形することを防止できる ので、振動板 20を安定的に進退駆動させることができる。なお、チューブ 21の内部の 圧力は、必ずしも貯留室 11内の流体の圧力よりも高くなつている必要はなぐ最低で も、貯留室 11内の流体の圧力とほぼ同じ圧力となって 、ればよ!/、。
[0047] また、チューブ 21の内部の圧力を調整することによって、チューブ 21の断面形状の 変形の程度を調整できるので、吐出量及び吐出圧力などのポンプ性能に合わせて 調整可能とすることができる。
[0048] このチューブ 21には、上記したように、外周縁に沿って外側方に突出させたフラン ジ 22を設けていることにより、このフランジ 22をノヽウジング 10に設けた嵌合溝 18に嵌合 させることにより、振動する振動板 20に生じる圧力差によってチューブ 21がハウジング 10内を滑り、振動板 20の位置ズレが生じることを防止できるとともに、振動板 20をハウ ジング 10に極めて容易に装着可能として 、る。
[0049] 上記した実施形態のポンプ P1では、進退ロッド 31の一端に振動板 20を装着してい るが、進退ロッド 31の両端にそれぞれ振動板 20を装着してもよい。
[0050] 以下において、図 3及び図 4に基づいて、第 2実施形態のポンプ P2を説明する。図 3及び図 4は、第 2実施形態のポンプ P2の縦断面模式図である。
[0051] 本実施形態のポンプ P2は、第 1ハウジング 50と第 2ハウジング 60とを振動板 70を挟 んで螺合させることにより、第 1ハウジング 50と振動板 70とで囲まれた第 1貯留室 51を 形成するとともに、第 2ハウジング 60と振動板 70とで囲まれた第 2貯留室 61を形成して 、振動板 70を挟んで第 1貯留室 51と第 2貯留室 61を設けている。
[0052] 本実施形態では、振動板 70は後述するように磁石で構成し、第 1ハウジング 50及び 第 2ハウジング 60には、振動板 70の磁極と相互作用する第 1電磁石 52及び第 2電磁 石 62をそれぞれ装着し、この第 1電磁石 52及び第 2電磁石 62にそれぞれ図示しない 交流電流源を接続して交流電流を通電することにより変動する磁場を生成し、この変 動する磁場と振動板 70の磁石との相互作用によって振動板 70を進退駆動させる駆 動部 80を構成している。
[0053] 第 1ハウジング 50は、本実施形態ではテフロン (登録商標)製であって、円柱状とし た第 1ハウジング 50の上面には扁平半球形状とした第 1凹部 53を形成するとともに、 第 1ハウジング 50の下面には第 1電磁石 52を装着するリング状とした第 1装着溝 54を 形成している。
[0054] さらに、第 1ハウジング 50の下面中央部分には、流体が送給される第 1送給管 91と 第 1貯留室 51とを連通連結する第 1送給流路 55と、流体が送出される第 1送出管 92と 第 1貯留室 51とを連通連結する第 1送出流路 56とを設けており、第 1送給流路 55には 所定方向に流体を送通させる第 1送給側一方向弁 57を中途部に配設して、第 1送出 流路 56にも所定方向に流体を送通させる第 1送出側一方向弁 58を中途部に配設し ている。
[0055] し力も、第 1ハウジング 50の上面側の周面部分には、第 2ハウジング 60と螺合するた めの雄ネジ部 59を形成して!/、る。
[0056] 第 2ハウジング 60もテフロン (登録商標)製であって、円柱状とした第 2ハウジング 60 の上面には扁平半球形状とした第 2凹部 63を形成するとともに、第 2ハウジング 60の 下面には第 2電磁石 62を装着するリング状とした第 2装着溝 64を形成している。
[0057] さらに、第 2ハウジング 60の下面中央部分には、流体が送給される第 2送給管 93と 第 2貯留室 61とを連通連結する第 2送給流路 65と、流体が送出される第 2送出管 94と 第 2貯留室 61とを連通連結する第 2送出流路 66とを設けており、第 2送給流路 65には 所定方向に流体を送通させる第 2送給側一方向弁 67を中途部に配設して、第 2送出 流路 66にも所定方向に流体を送通させる第 2送出側一方向弁 68を中途部に配設し ている。
[0058] し力も、第 2ハウジング 60の上面側の周面部分には、第 1ハウジング 50の雄ネジ部 5 9と螺合するための雌ネジ部 69を形成して 、る。
[0059] 図 3及び図 4中、 95は第 1送給管 91を第 1ハウジング 50に連結するための第 1送給 管連結ソケットであり、 96は第 1送出管 92を第 1ハウジング 50に連結するための第 1送 出管連結ソケットである。また、 97は第 2送給管 93を第 2ハウジング 60に連結するため の第 2送給管連結ソケットであり、 98は第 2送出管 94を第 2ハウジング 60に連結するた めの第 2送出管連結ソケットである。
[0060] 振動板 70は、本実施形態では薄板状とした磁石を積層した積層板で構成している 。薄板状の磁石を積層することで、脆性が高い磁石の保護を図っている。なお、磁石 を保護するために、所要の磁石板をテフロン (登録商標)製のシートで被覆して振動 板としてもよいし、テフロン (登録商標)製の板体で振動板を構成して、この振動板の 所要の位置に磁石を埋設してもよ!/、。
[0061] 振動板 70には、外周縁に沿ってリング状にチューブ 71を装着している。本実施形態 では、チューブ 71は、リング状としたスぺーサ 71aと、内側縁を振動板 70の第 1貯留室 51側の外周縁に接合するとともに外側縁をスぺーサ 71a〖こ接合した第 1リング状シー ト 71bと、内側縁を振動板 70の第 2貯留室 61側の外周縁に接合するとともに外側縁を スぺーサ 71aに接合した第 2リング状シート 71cとで構成している。
[0062] 特に、第 1リング状シート 71bは、テフロン (登録商標)製の薄膜状のシートで、し力も 、第 1貯留室 51側に向けて膨出させた膨出形状としている。また、第 2リング状シート 7 lcも、テフロン (登録商標)製の薄膜状のシートで、し力も、第 2貯留室 61側に向けて 膨出させた膨出形状としている。
[0063] このように、第 1リング状シート 71bと第 2リング状シート 71cを膨出形状としたシートで 構成してチューブ 71を形成することにより、後述する振動板 70の進退駆動において チューブ 71の弾性変形が阻害されることを防止できるので、振動板 70を安定的に進 退,駆動させることができる。
[0064] チューブ 71の内部は、単に空気を注入しておくだけでなぐ第 1貯留室 51及び第 2 貯留室 61における流体の圧力と同等以上の圧力とした加圧状態としておくことにより 、チューブ 71の弾性変形をより安定的に行わせることができる。
[0065] 特に、チューブ 71の内部は単に空気を注入するだけでなぐ窒素ガスを注入しても よいし、所要の粘性を有する液体を注入してもよい。
[0066] 第 1リング状シート 71b及び第 2リング状シート 71cは、それぞれ外周縁をリング状の スぺーサ 71aに接合して 、ることによって、このスぺーサ 71aによってチューブ 71の外 周縁に沿って外側方に突出させたフランジ 72を形成している。
[0067] このフランジ 72は、振動板 70を第 1ハウジング 50と第 2ハウジング 60とで固定装着す るために用いるものであり、第 1ハウジング 50には、第 1貯留室 51の端縁に沿って第 1 嵌合溝用凹部 76を設けるとともに、第 2ハウジング 60には、第 2貯留室 61の端縁に沿 つて第 2嵌合溝用凹部 77を設けて、第 1ハウジング 50と第 2ハウジング 60とを螺合した 際に第 1嵌合溝用凹部 76と第 2嵌合溝用凹部 77とで嵌合溝を形成し、この嵌合溝内 にフランジ 72を収容して!/、る。
[0068] 特に、本実施形態では、スぺーサ 71aはゴム製として、第 1ハウジング 50と第 2ハウジ ング 60との気密性をたかめるためのパッキンとしても用いており、第 1貯留室 51及び 第 2貯留室 61の気密性を高めることができる。
[0069] このように構成したポンプ P2において、駆動部 80では、第 1ハウジング 50に装着した 第 1電磁石 52と、第 2ハウジング 60に装着した第 2電磁石 62とを交流電流源によって 連動させて変動する磁場を生成し、この変動する磁場と振動板 70の磁石との相互作 用によって振動板 70を進退駆動させて 、る。
[0070] そして、図 3に示すように、振動板 70を第 2ハウジング 60側に移動させることにより、 第 1貯留室 51内の圧力を低下させて第 1送給流路 55の第 1送給側一方向弁 57は開 弁状態とするとともに、第 1送出流路 56の第 1送出側一方向弁 58を閉弁状態として第 1送給管 91から第 1貯留室 51内に流体を吸引している。
[0071] さらに、同時に、第 2貯留室 61内の圧力を上昇させて、第 2送給流路 65の第 2送給 側一方向弁 67は閉弁状態とするとともに、第 2送出流路 66の第 2送出側一方向弁 68 は開弁状態として第 2貯留室 61内の流体を第 2送出管 94に吐出している。
[0072] 次いで、振動板 70を第 1ハウジング 50側に移動させることにより、第 1貯留室 51内の 圧力を上昇させて第 1送給流路 55の第 1送給側一方向弁 57は閉弁状態とするととも に、第 1送出流路 56の第 1送出側一方向弁 58を開弁状態として第 1貯留室 51内の流 体を第 1送出管 92に吐出している。
[0073] さらに、同時に、第 2貯留室 61内の圧力を低下させて、第 2送給流路 65の第 2送給 側一方向弁 67は開弁状態とするとともに、第 2送出流路 66の第 2送出側一方向弁 68 は閉弁状態として第 2送給管 93力 第 2貯留室 61内に流体を吸弓 Iして 、る。
[0074] このように駆動部 80によって振動板 70を進退駆動させることにより、流体を吐出する ことができる。特に本実施形態のポンプ P2では、第 1貯留室 51と第 2貯留室 61とから 交互に流体を吐出することができ、第 1貯留室 51と第 2貯留室 61に同一の流体を送 給するようにしていた場合には、吐出間隔を半減させることができるので吐出された 流体に脈動が生じることを抑制できる。
[0075] また、第 1貯留室 51と第 2貯留室 61は、振動板 70を挟んで並設していることによって 、ポンプ P2の小型化を図ることができる。
[0076] 振動板 70の外周縁に形成するチューブ 71は、上記したスぺーサ 71aと、第 1リング状 シート 71bと、第 2リング状シート 71cとで構成したものに限定するものではなぐ第 1貯 留室 51内の流体の圧力、及び第 2貯留室 61内の流体の圧力に抗することができれば どのように構成してもよぐたとえば図 5 (a)に示すように、リング状に形成したチュー ブカもなるリング状チューブ 71-1で構成してもよいし、図 5 (b)に示すように、断面が 円形となるリング 71- 2で構成してもよい。特に、リング 71- 2は、シリコーンゴムなどの弹 性材で形成することが望まし ヽ。
[0077] 図 5 (a)中、 70-1は振動板、 72-1はリング状チューブ 71-1の外周縁に沿って外側方 に突出させたフランジである。さらに、リング状チューブ 71-1には、内周縁に沿って振 動板 70-1の外側縁を嵌合させる嵌合溝 74-1を設けている。図 5 (b)中、 70-2は振動 板、 72-2はリング状チューブ 71-1の外周縁に沿って外側方に突出させたフランジで ある。このリング 71-2にも、内周縁に沿って振動板 70-2の外側縁を嵌合させる嵌合溝 74-2を設けている。 [0078] さらに、他の実施形態として、図 5 (c)に示すように、リング状に形成したチューブか らなるリング状チューブ 71-3の内側には振動板支持膜 75-3を設け、この振動板支持 膜 75-3の両面に、第 1振動板 70-3a及び第 2振動板 70-3bをそれぞれ貼着してもよい
[0079] このように、振動板支持膜 75-3に第 1振動板 70-3a及び第 2振動板 70-3bをそれぞ れ貼着することにより、リング状チューブ 71-3と第 1振動板 70-3a、及びリング状チュー ブ 71-3と第 2振動板 70-3bを強固に貼着することができる。図 5 (c)中、 72-3はリング 状チューブ 71-3の外周縁に沿って外側方に突出させたフランジである。
[0080] あるいは、他の実施形態として、図 5 (d)に示すように、リング状チューブ 71-4にはフ ランジを設けず、フランジ無しのチューブとしてもよい。図 5 (d)中、 70-4は振動板であ つて、リング状チューブ 71-4には内周縁に沿って振動板 70-4の外側縁を嵌合させる 嵌合溝 74- 4を設けている。
[0081] このようにフランジ無しのチューブとする場合には、このチューブを介して振動板を ハウジングに装着した際に、チューブがハウジングに対して滑って振動板の位置ズレ が生じることを防止するための滑止め手段を設けている。
[0082] 以下において、図 6及び図 7を用いて、フランジ無しのチューブを用いた場合のポ ンプ P3の実施形態について説明する。なお、この実施形態のポンプ P3は、前述した 図 1及び図 2で示した第 1実施形態のポンプ P1の変容例であって、同一構成部分に は同一符号を用い、重複する説明は省略する。
[0083] 本実施形態のポンプ P3も、貯留室 11を備えたノ、ウジング 10と、貯留室 11に面するよ うにハウジング 10内に設けた振動板 20と、この振動板 20を進退駆動させる駆動部 30と で構成している。
[0084] テフロン (登録商標)製の略矩形体状のハウジング 10には、扁平球形状の空洞 12を 形成するとともに、この空洞 12の一部を外部に連通させて振動板挿入口 13を形成し ている。
[0085] 特に、本実施形態では、振動板 20が装着されるハウジング 10の装着部に、ハウジン グ 10の内周面に沿って内側に向けて突出させたリング状の第 1支持壁 101と第 2支持 壁 102と所定間隔を隔てて互いに平行に設けている。この第 1支持壁 101と第 2支持 壁 102が滑止め手段である。
[0086] 第 1支持壁 101及び第 2支持壁 102は、それぞれ同様に凸状に湾曲した同じ高さの 山形形状としており、第 1支持壁 101と第 2支持壁 102との間には、凹状に湾曲した谷 形状の支持用凹部 103を設けて 、る。
[0087] また、本実施形態では、ハウジング 10には、流体が送出される送出管 42と連通した 送出流路 15を振動板挿入口 13に対向させて設けており、送出流路 15には所定方向 に流体を送通させる送出側一方向弁 17を中途部に配設している。
[0088] テフロン (登録商標)製の板体で構成した振動板 20には、外周縁に沿ってリング状 にチューブ 21'を装着している。チューブ 21'は、本実施形態ではゴム製の中空筒体 で構成しており、内部に空気を注入して所定の空気圧状態としている。
[0089] 本実施形態では、チューブ 21'にはフランジが設けられておらず、ハウジング 10に設 けた支持用凹部 103部分にチューブ 21'を弾性変形させて嵌め入れることにより、チュ ーブ 21'に支持用凹部 103に沿って突出状とした突出部を形成して、この突出部によ つて前述したフランジと同様にチューブ 21'をノヽウジング 10に安定的に装着可能とし て、振動板 20のハウジング 10への装着を可能として 、る。
[0090] このように振動板 20をハウジング 10に装着することによって、振動板 20とハウジング
10とで囲まれた貯留室 11を構成でき、しカゝも、この貯留室 11には送出流路 15を介して 送出管 42を連通連結することができる。
[0091] さらに、本実施形態では、振動板 20の一部に貫通孔 104を形成し、この貫通孔 104 の貯留室 11側に一方向弁 105を装着して、貫通孔 104から貯留室 11に流体を送給す るようにしている。
[0092] したがって、本実施形態のポンプ P3では、駆動部 30によって進退ロッド 31を進退駆 動させることにより振動板 20を進退駆動させて、貫通孔 104から貯留室 11に流体を送 給して、貯留室 11に送給された流体を送出管 42力も吐出させることができる。
[0093] このように、チューブ 21'にはフランジを設けずに、ハウジング 10に設けた第 1支持壁 101と第 2支持壁 102と力もなる滑止め手段にチューブ 21'を嵌め入れるによってチュ ーブ 21'にフランジ形状を擬似的に形成でき、ハウジング 10に対してチューブ 21'が滑 ることを防止できるとともに、チューブ 21'を介した振動板 20のハウジング 10への装着 作業を極めて容易に行うことができ、ポンプ P3のメンテナンス性を向上させることがで きる。
[0094] さらなる変容例として、図 8に示すように、ハウジング 10には第 1支持壁 101及び第 2 支持壁 102を設けずに、凹状に湾曲した谷形状の支持用凹部 103'のみを設けて滑止 め手段とし、この支持用凹部 103'にチューブ 21'を弾性変形させて嵌め入れることに より、チューブ 21'に支持用凹部 103に沿って突出状とした突出部を形成して、この突 出部によってハウジング 10に対してチューブ 21'が滑ることを防止するとともに、振動 板 20のハウジング 10への装着を可能とすることもできる。
[0095] あるいは、ハウジングとチューブの相互の材質の摩擦係数が大きくなる組合わせを 選択した場合には、図 9に示すように、ハウジング 10には第 1支持壁 101、第 2支持壁 102、支持用凹部 103,103'を設けずに、チューブ 21'の配置部分に円弧形状の凹状 湾曲面 106を形成し、フランジが設けられていないチューブ 21'を弾性変形させて凹 状湾曲面 106部分に嵌め入れることにより、チューブ 21'を介して振動板 20のハウジン グ 10への装着を可能とすることもできる。
[0096] この場合には、弾性変形していない状態のチューブ 21'の曲率半径が、凹状湾曲面 106の曲率半径の 2分の 1以上の大きさとなって!/、ることが望まし!/、。
[0097] 前述した実施形態では、振動板を取り囲むチューブには、あら力じめ所定の圧力で 空気などの流体を封入したチューブや、あるいは中空部を有さな 、弾性体で構成し たチューブなどとしている力 流体を封入したチューブとした場合、図 10に示すように 、チューブ 120には管状とした空気圧入管 130を流体注入手段として装着して、この空 気圧入管 130を介してチューブ 120内に空気などの流体を圧入することによりチュー ブ 120内の圧力を調整して、チューブ 120の弾性係数を調整することができる。なお、 以下においては、チューブ 120に空気を圧入する場合について説明する力 チュー ブ 120に圧入する流体は空気に限定するものではなぐ適宜の流体であればよぐた とえば粘性の高 、液体を圧入してもよ 、。
[0098] チューブ 120には、空気圧入管 130が揷入される筒状の挿入部 121を設けており、こ の挿入部 121に空気圧入管 130の挿入筒部 131を挿入することにより空気圧入管 130 をチューブ 120に装着して 、る。 [0099] 空気圧入管 130が装着されたチューブ 120は、ハウジング 110に設けた空気圧入管 挿入孔 111から空気圧入管 130を外方に向けて突出させてハウジング 110に装着して いる。
[0100] 特に、空気圧入管 130には、外周面にフランジ 132を設け、ハウジング 110の空気圧 入管挿入孔 111に空気圧入管 130を挿入した際にフランジ 132をハウジング 110に係 合させて、ハウジング 110から空気圧入管 130の突出筒部 133を突出させた状態とする とともに、突出筒部 133に固定用ナット 140を螺着して、空気圧入管 130をノヽウジング 1 10に固定装着している。図示していないが、空気圧入管 130の突出筒部 133の外周 面には、固定用ナット 140と螺合する雄ネジを形成している。
[0101] 空気圧入管 130の挿入筒部 131における筒状周面の少なくとも 1力所には通気孔 13 4を穿設しており、空気圧入管 130に圧入した空気を、この通気孔 134からチューブ 12 0内に導入している。
[0102] 通気孔 134は、空気圧入管 130に空気が圧入されていない状態ではチューブ 120の 挿入部 121によって閉塞されて、チューブ 120内の空気が漏出することを防止している
[0103] ハウジング 110には、空気圧入管 130の通気孔 134と対応する位置にスリット 112を設 けて、このスリット 112部分においてチューブ 120の揷入部 121が弾性変形しやすいよ うにしている。
[0104] すなわち、空気圧入管 130に空気を圧入した際には、圧入の圧力によってスリット 11 2部分の挿入部 121を弾性変形させてチューブ 120の挿入部 121と空気圧入管 130と の間に隙間を生じさせ、この隙間を介してチューブ 120内部と通気孔 134とを連通状 態として、チューブ 120内に空気を導入している。なお、空気圧入管 130の挿入筒部 1 31側の端部は閉塞して、通気孔 134のみで通気可能としている。
[0105] 本実施形態のチューブ 120には、板状の振動板 150の端縁部分と嵌合する凹状の 嵌合溝 122を設けており、この嵌合溝 122に振動板 150の端縁部分を嵌合させている 。嵌合溝 122は、断面形状が凹状となるようにあらかじめ加工しており、嵌合溝 122に 振動板 150を嵌合させて、チューブ 120内に空気を圧入することによって、膨脹したチ ユーブ 120による締め付け力を嵌合溝 122に嵌合させた振動板 150に作用させて、より 強固な連結状態としている。
[0106] このように、振動板 150はチューブ 120と着脱自在とした場合には、チューブ 120が劣 化した際にチューブ 120のみを交換することによって振動板 150を再利用することがで き、管理コストの低減を図ることができる。
[0107] 他の実施形態として、前述した空気圧入管 130を用いるのではなぐ図 11に示すよ うに、チューブ 120'に設けた嵌合溝 122'を深い溝状とし、この嵌合溝 122'の所定位置 に通気孔 123'を設けるととともに、嵌合溝 122'に嵌合させた振動板 150'の端縁部分に 、振動板 150'を貫通させて設けた導気路 151'の一方の開口である送気孔 152'を設け るとともに、導気路 151'の他方の開口である吸気孔 153'を嵌合溝 122'内とならない位 置に設けてもよい。通気孔 123'は、嵌合溝 122'の底部に設けるのが望ましい。
[0108] この場合、チューブ 120'内を所定の圧力とするには、ハウジング 110'と振動板 150' 及びチューブ 120'で形成した貯留室であって、導気路 151'の吸気孔 153'が面した貯 留室内にチューブ 120'内に充填する空気などの流体を送給して所定の圧力までカロ 圧する。
[0109] 貯留室内の加圧にともなって、導気路 151'には流体が導入されて、この導気路 151' によって送気孔 152'から嵌合溝 122'内に流体が導入され、この流体の圧力によって 嵌合溝 122'内を弾性変形させて通気孔 123'と連通させ、通気孔 123'を介してチュー ブ 120'内に流体を導入させて所定の圧力としている。この場合、当然ながら、チュー ブ 120'内は貯留室内の圧力と同等の圧力とすることができる。
[0110] このようなチューブ 120'及び振動板 150'を備えたポンプでは、定期的に所定の流体 で貯留室を満たすとともに加圧することにより、チューブ 120'内に流体を補充して圧 力低下が生じることを防止できる。
[0111] なお、チューブ 120'内の圧力は、ポンプとして使用している際の貯留室内の圧力よ りも大きくしておくことにより、貯留室内の気体または液体がチューブ 120'内に流入す ることを防止できる。
[0112] 嵌合溝 122'は、振動板 150'との間に隙間が生じないように密に接せさせておくこと が望ましぐ特に、チューブ 120'内を高圧力とすることによって、嵌合溝 122'による振 動板 150'の締め付け力を大きくして、密に接する状態とすることができる。 [0113] 図 11中、 113'はチューブ 120'の固定用にハウジング 110'の内周面に内側に向けて 突出させた支持壁である。
[0114] チューブ 120'内に充填する流体は、空気などのような圧縮性の大きい流体よりは、 液体などのような圧縮性の小さい流体の方が望ましぐ吐出圧の向上を図ることがで きる。
産業上の利用可能性
[0115] 液体や気体などの流体を高吐出圧を送給する小型の送給装置として適用すること ができる。

Claims

請求の範囲
[1] 送給管と送出管とを接続して、前記送給管から送給された流体を前記送出管から 送出するポンプにおいて、
前記送給管及び前記送出管とそれぞれ一方向弁を介して連通して前記流体を一 時的に貯留する貯留室を備えたハウジングと、
前記貯留室に面して配置して進退駆動させることにより前記送給管力 前記流体を 前記貯留室に吸引した後に前記送出管に押出する振動板と、
この振動板を進退駆動させる駆動部と
を備え、
前記振動板には外周縁に沿ってリング状のチューブを設け、このチューブを介して 前記振動板を前記ハウジングに装着し、前記振動板を進退させて 、ることを特徴とす るポンプ。
[2] 前記チューブ内の圧力は、前記貯留室内の前記流体の圧力と同じ、または前記貯 留室内の前記流体の圧力よりも高くしていることを特徴とする請求項 1記載のポンプ。
[3] 前記チューブには外周縁に沿って外側方に突出させたフランジを設けるとともに、 前記ハウジングには前記フランジと嵌合する嵌合溝を設け、この嵌合溝と前記フラン ジとを嵌合させて前記振動板を前記ハウジングに装着したことを特徴とする請求項 1 または請求項 2に記載のポンプ。
[4] 前記ハウジングには、内周面に沿って内側に向けて突出させたリング状の第 1支持 壁と第 2支持壁と所定間隔を隔てて互いに平行に設け、この第 1支持壁と第 2支持壁 との間に前記チューブを嵌め入れることにより前記振動板を前記ハウジングに装着し たことを特徴とする請求項 1または請求項 2に記載のポンプ。
[5] 前記チューブには、内部に流体を注入して圧力を調整するための流体注入手段を 設けたことを特徴とする請求項 2記載のポンプ。
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