KR101192751B1 - 평판표시장치 제조 장비 및 이를 이용한 평판표시장치 제조방법 - Google Patents

평판표시장치 제조 장비 및 이를 이용한 평판표시장치 제조방법 Download PDF

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Abstract

본 발명은 평판표시장치 제조 장비 및 제조 방법에 관한 것으로, 보다 구체적으로는 풋 프린트를 축소하고, 기판의 로딩을 위한 작업 시간을 최대한 단축시킬 수 있는 새로운 구조의 평판표시장치 제조 장비 및 이를 이용한 평판표시소자 제조 방법에 관한 것이다.
이를 위해 본 발명은 다수의 기판이 수납되는 카세트; 상기 카세트가 안착되도록 선반을 가지는 스톡커(stocker); 상기 카세트 내의 각 기판을 제공받아 공정을 진행하는 공정 진행부; 적어도 둘 이상의 핸드부를 포함하여 구성되면서, 상기 스톡커와 상기 공정 진행부 사이에 위치되며, 상기 스톡커에 보관된 카세트 내의 각 기판을 전달받아 상기 공정 진행부로 제공하는 로더; 그리고, 상기 카세트로부터 각 기판을 취출하여 상기 로더의 각 핸드부로 제공하는 적어도 하나 이상의 취출부:가 포함되어 구성됨을 특징으로 하는 평판표시장치 제조 장비를 제공한다.
평판표시장치, 스톡커, 로더, 취출부, 구름부, 승강부, 공기 토출부

Description

평판표시장치 제조 장비 및 이를 이용한 평판표시장치 제조 방법{manufacturing device for flat panel display and method thereof}
도 1 은 종래 평판표시장치 제조 장비의 레이아웃 구조를 나타낸 개략적인 평면도
도 2 는 본 발명의 실시예에 따른 평판표시장치 제조 장비의 레이아웃 구조를 나타낸 개략적인 평면도
도 3 은 본 발명의 실시예에 따른 평판표시장치 제조 장비 중 카세트와 스톡커 및 취출부의 구조를 설명하기 위해 나타낸 개략적인 요부 사시도
도 4 는 본 발명의 실시예에 따른 평판표시장치 제조 장비 중 로더의 구조를 설명하기 위해 나타낸 개략적인 요부 사시도
도 5 는 본 발명의 실시예에 따른 평판표시장치 제조 장비의 동작 상태를 설명하기 위해 나타낸 사시도
도 6 은 본 발명의 실시예에 따른 평판표시장치 제조 장비의 동작 상태를 설명하기 위해 나타낸 평면도
도면의 주요 부분에 대한 부호 설명
100. 카세트 110. 몸체부
120. 안착턱 200. 스톡커
210. 선반 220. 승강부
221. 결합 브라켓 222. 볼스크류
223. 구동모터 230. 지지부
231. 엘엠 가이드 232. 가이드 브라켓
300. 취출부 310. 프레임부
320. 구름부 500. 로더
510. 몸체부 520. 핸드부
530. 롤러 541. 진공홀
551. 토출홀 600. 공정 진행부
본 발명은 평판표시장치의 제조 장치 및 제조 방법에 관한 것으로, 특히, 평판표시장치용 기판을 각 공정 장비로 반송하는 일련의 구조 및 방법에 관한 것이다.
일반적으로 평판 표시장치(Flat Panel Display Device)는 음극선관(Cathode Ray Tube)의 단점인 무게와 부피를 줄일 수 있도록 구성된 표시장치로써, 액정 표시장치(Liquid Crystal Display), 전계방출 표시장치(Field Emission Display), 플라즈마 표시 패널(Plasma Display Panel) 및 발광 표시장치(Light Emitting Display) 등이 이에 속한다.
상기한 평판표시장치 중 액정표시소자는 통상 화상을 표시하는 액정 패널과 상기 액정 패널에 구동신호를 인가하기 위한 구동부로 크게 구분될 수 있으며, 상기 액정패널은 일정 공간을 갖고 합착된 한 쌍의 기판과, 상기 각 기판 사이에 형성된 액정층으로 구성된다.
여기서, 상기한 각각의 기판 혹은, 각 개별 기판 간의 합착이 이루어진 합착 기판은 로봇암 등의 반송장치에 의해 공정 위치로 반입되거나 혹은, 상기 공정 위치로부터 반출된다.
첨부된 도 1은 종래 기술에 따른 기판 반송 레이아웃이 도시되고 있다.
즉, 종래 기술에 따른 기판 반송을 위한 장비의 레이아웃은 스톡커(20)에 보관된 카세트(10) 내의 기판(1)이 스테이지부(40)로 각각 반송된 후 상기 반송된 기판(1)을 로봇암(50)이 로딩하여 공정 장비(60)로 전달하도록 구성된다.
이때, 상기 로봇암(50)은 핸드부(51)를 가지면서 회전 및 전후 이동 가능하게 구성된다.
그러나, 전술한 종래의 기판 반송을 위한 레이아웃은 상기 스테이지부(40)의 존재로 인해 전체적인 풋 프린트(foot print)가 클 수밖에 없었던 문제점을 가진다.
또한, 통상 카세트(10) 내에 수납된 기판(1)을 취출하기 위해서는 로봇암(50)의 핸드부(51)가 각 기판(1)의 저부로까지 삽입된 상태에서 개별적으로 취출하도록 동작되기 때문에 기판(1)이 공정 장비로 반송되기까지 전체적인 작업 시간이 길 수밖에 없었던 문제점을 가진다.
뿐만 아니라, 상기 카세트(10) 내에 수납되는 각 기판(1) 서로 간은 적어도 상기 로봇암(50)의 핸드부(51)가 삽입될 수 있을 정도의 간격을 가지도록 수납되어야 함에 따라 상기 카세트(10) 내에 수납되는 기판(1)의 수(數)를 증가시키기가 곤란하다는 문제점이 있다.
본 발명은 상기와 같은 각종 문제점을 해결하기 위하여 안출한 것으로, 본 발명의 목적은 풋 프린트를 축소하고, 기판의 로딩을 위한 작업 시간을 최대한 단축시킬 수 있는 새로운 구조의 평판표시장치 제조 장비 및 이를 이용한 방법과, 이에 적용되는 스톡커 및 로더를 제공하고자 한 것이다.
상기 목적 달성을 위한 본 발명의 평판표시장치 제조 장비는 다수의 기판이 수납되는 카세트; 상기 카세트가 안착되도록 선반을 가지는 스톡커(stocker); 상기 카세트 내의 각 기판을 제공받아 공정을 진행하는 공정 진행부; 적어도 둘 이상의 핸드부를 포함하여 구성되면서, 상기 스톡커와 상기 공정 진행부 사이에 위치되며, 상기 스톡커에 보관된 카세트 내의 각 기판을 전달받아 상기 공정 진행부로 제공하는 로더; 그리고, 상기 카세트로부터 각 기판을 취출하여 상기 로더의 각 핸드부로 제공하는 적어도 하나 이상의 취출부:가 포함되어 구성됨을 특징으로 한다.
또한, 상기 목적 달성을 위한 본 발명의 평판표시장치 제조 장비용 스톡커는 다수 기판을 수납하는 카세트가 안착되는 선반; 상기 선반의 저부에 위치되는 프레임부; 상기 프레임부의 상면에 구름 가능하게 설치된 적어도 하나 이상의 구름부; 상기 구름부가 구르도록 구동되는 구동부; 그리고, 상기 선반을 승강시키는 승강부:가 포함되어 구성됨을 특징으로 한다.
또한, 상기 목적 달성을 위한 본 발명의 평판표시장치 제조 장비용 로더는 몸체부; 상기 몸체부에 결합되며, 그의 상면으로 기판이 얹히는 적어도 둘 이상의 핸드부: 그리고, 상기 각 핸드부 중 적어도 어느 한 핸드부의 상면에 구비되는 적어도 하나 이상의 롤러:가 포함되어 구성됨을 특징으로 한다.
또한, 상기 목적 달성을 위한 본 발명의 평판표시장치 제조 방법은 스톡커로 다수의 기판이 수납된 카세트를 제공하는 제1단계; 스톡커에 설치된 취출부를 구동하여 상기 카세트 내의 기판을 순차적으로 취출함과 동시에 이 취출한 기판을 로더로 제공하는 제2단계; 그리고, 상기 로더를 제어하여 상기 제공받은 기판을 공정 진행부로 제공하는 제3단계:가 포함되어 연속적으로 진행됨을 특징으로 한다.
이하, 본 발명의 바람직한 실시예에 대하여 설명한다.
도시한 도 2는 본 발명의 실시예에 따른 평판표시장치 제조 장비를 개략적으로 나타내고 있다.
이를 통해 알 수 있듯이 본 발명의 바람직한 실시예에 따른 평판표시장치 제조 장비는 크게 카세트(100)와, 스톡커(200)와, 공정 진행부(600)와, 로더(500)와, 취출부(300)를 포함하여 구성된다.
이를 각 구성별로 보다 상세히 설명하면 다음과 같다.
우선, 상기 카세트(100)에 대하여 첨부된 도 2 및 도 3을 참조하여 설명한다.
상기 카세트(100)는 다수의 기판(1)을 운반하기 위해 구성된 것으로써, 몸체(110)와 다수의 안착턱(120)을 포함하여 형성된다.
이때, 상기 몸체(110)는 외관을 이루는 부위이며, 그의 저면은 개구되게 형성된다.
또한, 상기 각 안착턱(120)은 상기 몸체(110) 내의 양측 벽면에 서로 대응되게 각각 형성되며, 상기 몸체(110) 내의 상하 방향을 따라 형성된다. 상기 각 안착턱(120)의 상면에는 기판(1)이 각각 얹힌다.
상기에서 각 안착턱(120) 간의 상하 간격은 종래 일반적인 카세트(10)의 각 안착턱 간 상하 간격에 비해 좁도록 형성되되, 기판(1)의 두께에 비해서는 넓게 형성됨이 바람직하다.
이는, 본 발명의 실시예에 따른 평판표시장치 제조 장비에서는 후술되는 로더(500)의 각 핸드부(510)가 상기 카세트(100) 내로 인입되지 않기 때문에 상기 각 핸드부(510)의 두께 이상의 간격을 가지도록 할 필요는 없다.
따라서, 하나의 카세트(100)에는 최대한 많은 기판이 수납될 수 있다는 장점을 가진다.
다음으로, 상기 스톡커(200)에 대하여 첨부된 도 2 및 도 3을 참조하여 설명한다.
상기 스톡커(200)는 카세트(100)가 보관되는 부위로써, 상기 카세트(100)가 안착되는 선반(210)을 가진다.
또한, 상기 스톡커(200)에는 상기 선반(210)을 승강시키는 승강부(220)가 더 구비됨이 바람직하다.
이는, 상기 카세트(100) 내부로부터 취출되는 기판(1)의 취출 높이가 항상 일정할 수 있도록 하기 위함이다.
이때, 상기 승강부(220)는 상기 선반(210)을 승강시킬 수 있는 구조라면 어떠한 것이듯 상관없다. 즉, 스텝핑 모터를 이용한 구조로 구성될 수도 있고, 볼스크류를 이용한 구조로 구성될 수도 있으며, 여타 다양한 구조로 구성될 수 있는 것이다.
본 발명의 실시예에서는 상기 승강부(220)가 볼스크류(ball screw)를 이용한 구조로 구성됨을 그 예로 한다.
이를 위해, 상기 승강부(220)는 상기 선반(210)의 양측에 각각 결합되는 결합 브라켓(221)과, 상기 각 결합 브라켓(221) 중 적어도 어느 한 결합 브라켓(221)을 관통하여 설치되는 볼스크류(222)와, 상기 볼스크류(222)를 회전시키는 구동모터(223)를 포함하여 구성된다.
특히, 상기 스톡커(200)에는 상기 선반(210)의 승강 이동을 지지하는 지지부(230)가 더 구비됨이 바람직하다.
상기 지지부(230)는 상기 선반(210)이 승강될 때 어느 한 측으로의 기울어짐을 방지하고 그 승강이 원활히 이루어지도록 안내하는 구조이다. 즉, 상기 지지부(230)로 상기 선반(210)의 네 모서리가 지지될 수 있도록 한 것이다.
이때, 상기 지지부(230)는 상기 선반(210)의 네 모서리를 지지하는 엘엠 가이드(LM guide;Linear Motion guide)(231)와, 상기 선반(210)의 네 모서리에 형성 되면서 상기 엘엠 가이드(231)가 관통되는 가이드 브라켓(232)을 포함하여 구성됨이 바람직하다.
다음으로, 상기 공정 진행부(600)에 대하여 설명한다.
상기 공정 진행부(600)는 상기 각 카세트(100) 내의 기판(1)을 제공받아 평판표시장치의 제조를 위한 공정이 진행되는 부분이다.
이때, 상기 공정 진행부(600)에는 평판표시장치를 제조하는데 사용되는 적어도 하나 이상의 장치(예컨대, 합착 장치, 노광 장치, 디스펜서 장치 등)들이 구비된다.
다음으로, 상기 로더(500)에 대하여 첨부된 도 4를 참조하여 설명한다.
상기 로더(500)는 상기 스톡커(200)와 상기 공정 진행부(600) 사이에 위치되며, 상기 스톡커(200)에 보관된 카세트(100) 내의 각 기판(1)을 직접 전달받아 상기 공정 진행부(600)로 직접 전달하도록 구성된 것이다.
상기와 같은 로더(500)는 몸체부(510)와, 적어도 둘 이상의 핸드부(520)를 포함하여 구성된다.
상기 몸체부(510)는 상기 로더(500)의 외관을 형성한다.
이때, 상기 몸체부(510)는 회전 가능하게 구성됨이 보다 바람직하다.
또한, 상기 각 핸드부(520)는 상기 몸체부(510)의 둘레면에 결합되며, 그의 상면에는 기판(1)이 얹혀지도록 형성된다.
특히, 상기 각 핸드부(520) 중 적어도 하나 이상의 핸드부에는 적어도 하나 이상의 롤러(530)가 더 설치됨이 바람직하다.
이때, 상기 롤러(530)는 상기 핸드부(520)의 길이 방향을 따라 다수 설치됨이 바람직하며, 상기 롤러(530)의 상면 높이는 여타 핸드부(520)의 상면 높이와 거의 동일하게 위치되도록 구성됨이 바람직하다.
물론, 상기 핸드부(520)에는 상기 롤러(530)를 강제 구동하는 구동모터(도시는 생략됨)가 더 구비될 수도 있다.
또한, 상기 각 핸드부(520)에는 그에 얹혀지는 기판(1)을 흡착하는 적어도 하나 이상의 흡착부가 더 구비됨이 바람직하다. 이는, 상기 기판(1)이 공정 진행부(600)로 전달되는 도중 로더(500)의 유동에 의해 각 핸드부(520)로부터 탈거됨을 방지하기 위함이다.
이때, 상기 흡착부는 상기 각 핸드부(520)의 상면을 관통하도록 형성된 진공홀(541)과, 공기 흡입력을 발생시키는 진공펌프(도시는 생략됨)와, 상기 공기 흡입력을 상기 진공홀(541)로 전달하는 진공유로(도시는 생략됨)를 포함하여 구성된다.
또한, 상기 각 핸드부(520)에는 그의 상부를 향해 공기를 토출하는 공기 토출부가 더 구비됨이 바람직하다. 이는, 기판(1)이 상기 각 핸드부(520)에 얹혀지는 도중 상기 각 핸드부(520)에 긁힘을 방지하기 위함이다.
상기한 공기 토출부는 상기 각 핸드부(520)의 상면을 관통하도록 형성된 토출홀(551)과, 공기 토출력을 발생시키는 공기 토출펌프(도시는 생략됨)와, 상기 공기 토출력을 상기 토출홀(551)로 전달하는 공기유로(도시는 생략됨)를 포함하여 구성된다.
이때, 상기 공기 토출홀(551)은 상기 진공홀(541)의 형성 위치와 겹치지 않 으면서 상기 각 핸드부(520)의 길이 방향을 따라 다수 형성됨이 바람직하다.
다음으로, 상기 취출부(300)에 대하여 첨부된 도 2 및 도 3을 참조하여 설명한다.
상기 취출부(300)는 상기 카세트(100)로부터 각 기판(1)을 취출하여 상기 각 핸드부(520)의 상면에 안착시키도록 구성된 것이며, 적어도 하나 이상 제공된다.
상기한 취출부(300)는 프레임부(310)와 구름부(320) 및 구동부(도시는 생략됨)를 포함하여 구성된다.
여기서, 상기 프레임부(310)는 상기 스톡커(200)의 선반(210) 저부에 구비되면서 상기 취출부(300)의 몸체를 형성하는 부분이며, 적어도 하나 이상 구비됨이 바람직하다.
또한, 상기 구름부(320)는 상기 프레임부(310)의 상면에 구름 가능하게 설치된 롤러이다. 이때, 상기 구름부(320)는 상기 프레임부(310)의 길이 방향을 따라 적어도 하나 이상의 다수가 제공된다.
또한, 상기 구동부는 상기 구름부(320)가 구르도록 구동되는 동력원(動力源)이다.
이때, 상기 구동부는 통상의 모터 등으로 구성됨이 바람직하다.
특히, 상기 프레임부(310)가 다수일 경우 상기 구동부는 상기 각 구름부(320) 모두에 각각 구비될 수도 있고, 상기 각 구름부(320) 중 일부에만 구비될 수도 있다. 물론, 하나의 구동부만을 이용하되, 각 구름부(320) 모두를 벨트나 체인 등으로 연결하여 상기 구동부의 구동에 의해 전체 구름부(320)가 동시에 구동되도 록 구성할 수도 있다.
본 발명의 실시예에서는 상기 구동부가 상기 각 프레임부(310) 모두에 각각 구비됨을 예로 한다.
이하, 전술된 본 발명의 실시예에 따른 평판표시장치 제조 장비를 이용하여 카세트(100) 내에 수납된 각 기판(1)을 공정 진행부(600)로 반송하는 일련의 과정에 대하여 보다 구체적으로 설명하면 다음과 같다.
먼저, 스톡커(200)의 선반(210)으로 카세트(100)가 제공된다. 이때, 상기 카세트는 도시되지 않은 별도의 로더에 의해 상기 선반(210)으로 반송될 수도 있고, 컨베이어 등에 의해 상기 선반(210)으로 반송될 수 있다.
또한, 상기 카세트(100) 내에는 다수의 기판(1)이 서로 소정 간격을 가지면서 수납된 상태이다. 이는, 첨부된 도 3과 같다.
이의 상태에서, 공정의 진행이 이루어지면, 로더(500)의 구동이 이루어지면서 상기 로더(500)를 구성하는 각 핸드부(520)가 상기 스톡커(200)를 향해 위치되면서 기판(1)을 제공받도록 준비된다.
이때, 상기 각 핸드부(520)는 취출부(300)를 구성하는 구름부(320)와 대략 동일한 높이에 위치되고, 상기 각 핸드부(520)의 끝단은 상기 취출부(300)의 기판 유출측에 위치된다.
상기한 일련의 과정이 완료되면, 승강부(220)의 구동모터(223)가 구동되면서 볼스크류(222)가 회전되고, 이로 인해 상기 볼스크류(222)에 결합 브라켓(221)이 결합되어 있는 선반(210)은 상기 볼스크류(222)의 회전량에 따라 하향 이동된다. 이때, 지지부(230)를 구성하는 가이드 브라켓(232)은 각 엘엠 가이드(231)의 지지를 받게 됨으로써 상기 선반(210)은 안정적으로 하향 이동된다.
이때, 상기 선반(210)의 하향 이동 거리는 상기 카세트(100) 내에 수납된 다수의 기판(1) 중 최하단에 위치된 기판(1)이 취출부(300)의 구름부(320)와 맞닿을 정도까지의 거리이다. 만일, 상기 카세트(100) 내에 수납된 기판(1) 중 최하단에 위치된 기판이 상기 카세트(100) 내의 중앙 정도 되는 부위라면 첨부된 도 5와 같은 상태를 이루도록 승강부(220)가 동작된다. 상기 거리에 대한 확인은 별도의 위치 센서(도시는 생략됨) 등에 의해 이루어짐이 바람직하다.
그리고, 상기 선반(210)의 하향 이동이 완료되면 취출부(300)를 구성하는 구동부(도시는 생략됨)의 구동이 이루어지면서 구름부(320)가 구동된다.
이에 따라, 상기 구름부(320)의 상면에 맞닿은 기판(1)은 상기 카세트(100)로부터 취출되고, 계속해서 로더(500)의 각 핸드부(520) 상면으로 제공된다. 이의 상태는 첨부된 도 2와 같다.
또한, 이때에는 상기 로더(500)가 각 핸드부(520)에 구비된 공기 토출부를 제어하여 공기 토출펌프를 동작시킴으로써 토출홀(551)을 통해 공기가 토출된다.
따라서, 상기 각 핸드부(520)의 상면으로 제공되는 기판(1)은 상기 핸드부(520)의 상면과는 맞닿지 않게 되고, 이로 인해 상기 기판(1)이 상기 핸드부(520)의 상면에 긁히는 문제점은 방지된다.
또한, 상기와 같이 각 핸드부(520)의 상면으로 제공되는 기판(1)은 상기 각 핸드부(520) 중 적어도 하나 이상의 핸드부(520) 상면에 구비된 롤러(530)에 의해 보다 안정적으로 상기 각 핸드부(520) 상면에 로딩된다.
그리고, 상기 기판(1)이 상기 각 핸드부(520) 상면에 로딩 완료되면 상기 로더(500)는 공기 토출펌프의 동작을 중단함과 동시에 공기 흡착부를 제어하여 진공펌프를 구동시킴으로써 진공홀(541)을 통해 공기 흡입력이 제공된다.
이에 따라, 상기 기판(1)은 상기 각 핸드부(520)의 상면에 흡착 고정되어 상기 로더(500)의 이동이 이루어진다 하더라도 그의 유동이 방지된다.
이후, 상기 로더(500)는 180° 회전된 후 상기 기판(1)을 공정 진행부(600)로 전달한다. 이의 상태는 첨부된 도 6과 같다.
상기 로더(500)가 상기 기판(1)을 공정 진행부(600)로 전달하는 도중에는 승강부(220)를 제어하여 스톡커(200)의 선반(210)이 단계적으로 하향 이동되도록 동작된다. 물론, 이때에는 취출부(300)의 구동부가 구동되지 않도록 제어함이 바람직하다.
결국, 전술한 바와 같은 일련의 과정이 반복적으로 진행됨으로써 카세트(100) 내에 수납된 기판(1)은 공정 진행부(600)로 반송되어 해당 공정을 진행하게 된다.
그리고, 상기 공정 진행부(600)에서 공정이 완료된 기판(1)은 전술된 기판(1)의 로딩 과정과는 역순으로 다시 상기 카세트(100) 내에 수납된다.
즉, 공정이 완료된 기판(1)은 로더(500)에 의해 상기 공정 진행부(600)로부터 상기 취출부(300)로 제공되고, 계속해서 상기 취출부(300)의 역동작에 의해 상기 로더(500)의 각 핸드부(520) 상면에 얹힌 기판(1)이 상기 카세트(100) 내의 상 측 부위에서부터 차례대로 수납되는 것이다.
한편, 본 발명의 실시예에 따른 평판표시장치 제조 장비의 스톡커(200)는 취출부(300)와 일체로 구성될 경우 그 개별적인 장치만으로 여타의 평판표시장치 제조를 위한 공정에 적용 가능하다.
즉, 취출부(300)를 상기 스톡커(200)에 일체로 구비함으로써 상기 스톡커(20))가 카세트(100)를 보관하는 역할뿐만 아니라 상기 카세트(100) 내에 수납된 기판(1)을 순차적으로 취출하거나 외부로부터 전달받은 기판(1)을 상기 카세트(100) 내에 순차적으로 수납하는 역할도 동시에 수행하도록 구성되는 것이다.
또한, 본 발명의 실시예에 따른 평판표시장치 제조 장비의 로더(500)도 그 개별적인 구성으로 여타의 평판표시장치 제조를 위한 공정에 적용 가능하다.
즉, 각 핸드부(520) 중 적어도 어느 한 핸드부(520)의 상면에 적어도 하나 이상의 롤러가 구비도록 구성됨으로써 기판(1)을 제공받거나 제공할 때 상기 기판(1)과 상기 각 핸드부(520)의 상면간 접촉에 의한 상기 기판(1)의 긁힘은 방지될 수 있는 것이다.
더욱이, 상기 각 핸드부(520)에는 그 상부를 향해 공기가 토출되는 공기 토출부가 더 구비됨으로써 상기 기판(1)의 긁힘은 원천적으로 방지된다.
또한, 본 발명의 실시예에 따른 평판표시장치 제조 장비의 스톡커(200)는 선반(210)이 승강되도록 구성하지 않을 수도 있다. 즉, 취출부(300)를 구성하는 프레임부(310)를 승강 가능하게 구성함으로써 상기 선반(210)이 승강하는 효과와 동일한 효과를 얻을 수 있는 것이다.
이렇듯, 본 발명의 실시예에 따른 평판표시장치 제조 장비는 다양한 변경이 가능하며, 그를 구성하는 개별 장치들은 여타의 장비에도 적용할 수 있기 때문에 유용한 발명이다.
이상에서 설명한 바와 같이 본 발명의 실시예에 따른 평판표시장치 제조 장비는 다음과 같은 효과를 얻을 수 있다.
첫째, 본 발명의 실시예에 따른 평판표시장치 제조 장비는 카세트 내의 기판을 로더로 전달하는 스테이지부를 삭제함으로써 전체적인 풋 프린트를 최대한 축소시킬 수 있게 된 효과를 가진다.
둘째, 본 발명의 실시예에 따른 평판표시장치 제조 장비는 기판의 전달 과정에서 상기 기판이 로더의 각 핸드부와 접촉되어 긁히는 문제점을 해소할 수 있게 되어 수율을 향상시키게 된 효과를 가진다.
셋째, 본 발명의 실시예에 따른 평판표시장치 제조 장비는 기판을 전달하는데 소요되는 시간을 최소화할 수 있게 된 효과를 가진다.
넷째, 본 발명의 실시예에 따른 평판표시장치 제조 장비로 인해 카세트에 수납되는 기판의 수를 최대화할 수 있다는 효과를 가진다.
다섯째, 본 발명의 실시예에 따른 평판표시장치 제조 장비는 스톡커와 로더가 그 개별적인 사용이 가능하며, 여타의 공정 장비에도 적용 가능함으로써 사용상의 효율을 향상시키게 된 효과를 가진다.

Claims (28)

  1. 다수의 기판이 수납되는 카세트;
    상기 카세트가 안착되는 선반을 가지는 스톡커(stocker);
    상기 카세트 내의 각 기판을 제공받아 공정을 진행하는 공정 진행부;
    적어도 둘 이상의 핸드부를 포함하여 구성되면서, 상기 스톡커와 상기 공정 진행부 사이에 위치되며, 상기 스톡커에 보관된 카세트 내의 각 기판을 전달받아 상기 공정 진행부로 제공하는 로더; 그리고,
    상기 카세트로부터 각 기판을 취출하여 상기 로더의 각 핸드부로 제공하는 적어도 하나 이상의 취출부:가 포함되며,
    상기 로더의 각 핸드부 중 적어도 하나 이상의 핸드부에는
    적어도 하나 이상의 롤러가 더 설치됨을 특징으로 하는 평판표시장치 제조 장비.
  2. 제 1 항에 있어서,
    상기 카세트는
    외관을 이루면서 그의 저면은 개구되도록 형성된 몸체와,
    상기 몸체내 양측 벽면의 상하 방향을 따라 구비되면서 기판이 안착되는 다수의 안착턱을 포함하여 구성됨을 특징으로 하는 평판표시장치 제조 장비.
  3. 제 1 항에 있어서,
    상기 스톡커에는
    상기 선반을 승강시키는 승강부가 더 구비됨을 특징으로 하는 평판표시장치 제조 장비.
  4. 제 3 항에 있어서,
    상기 승강부는
    상기 선반의 양측에 각각 결합되는 결합 브라켓과,
    상기 각 결합 브라켓 중 적어도 어느 한 결합 브라켓을 관통하여 설치되는 볼스크류와,
    상기 볼스크류를 회전시키는 구동모터를 포함하여 구성됨을 특징으로 하는 평판표시장치 제조 장비.
  5. 제 3 항에 있어서,
    상기 스톡커에는 상기 선반의 승강 이동을 지지하는 지지부가 더 구비됨을 특징으로 하는 평판표시장치 제조 장비.
  6. 제 5 항에 있어서,
    상기 지지부는
    상기 선반의 네 모서리를 지지하는 엘엠 가이드(LM guide)로 구성됨을 특징으로 하는 평판표시장치 제조 장비.
  7. 삭제
  8. 제 1 항 또는, 제 3 항에 있어서,
    상기 로더의 각 핸드부에는
    그에 얹혀지는 기판을 흡착하는 적어도 하나 이상의 흡착부가 더 구비됨을 특징으로 하는 평판표시장치 제조 장비.
  9. 제 8 항에 있어서,
    상기 흡착부는
    상기 각 핸드부의 상면을 관통하도록 형성된 진공홀과,
    공기 흡입력을 발생시키는 진공펌프와,
    상기 공기 흡입력을 상기 진공홀로 전달하는 진공유로를 포함하여 구성됨을 특징으로 하는 평판표시장치 제조 장비.
  10. 제 8 항에 있어서,
    상기 로더의 각 핸드부에는
    그의 상부를 향해 공기를 토출하는 공기 토출부가 더 구비됨을 특징으로 하 는 평판표시장치 제조 장비.
  11. 제 10 항에 있어서,
    상기 공기 토출부는
    상기 각 핸드부의 상면을 관통하도록 형성된 토출홀과,
    공기 토출력을 발생시키는 공기 토출펌프와,
    상기 공기 토출력을 상기 토출홀로 전달하는 공기유로를 포함하여 구성됨을 특징으로 하는 평판표시장치 제조 장비.
  12. 제 1 항에 있어서,
    상기 취출부는
    상기 스톡커의 선반 저부에 구비되는 프레임부와,
    상기 프레임부의 상면에 구름 가능하게 설치된 적어도 하나 이상의 구름부와,
    상기 구름부가 구르도록 구동되는 구동부를 포함하여 구성됨을 특징으로 하는 평판표시장치 제조 장비.
  13. 다수 기판을 수납하는 카세트가 안착되는 선반;
    상기 선반의 저부에 위치되는 프레임부;
    상기 프레임부의 상면에 구름 가능하게 설치된 적어도 하나 이상의 구름부;
    상기 구름부가 구르도록 구동되는 구동부; 그리고,
    상기 선반을 승강시키는 승강부:를 포함하며,
    상기 적어도 하나 이상의 구름부가 설치된 프레임부는
    상기 선반과 상기 카세트의 하부면에 각각 형성된 개구부보다 작은 크기로 형성되어 상기 선반의 하강시 상기 각 개구부에 삽입되고,
    상기 각 구름부는 상기 선반의 하강시 상기 기판의 하부면과 접속되어 상기 각 기판을 취출시키는 것을 특징으로 하는 평판표시장치 제조 장비용 스톡커.
  14. 제 13 항에 있어서,
    상기 승강부는
    상기 선반의 양측에 각각 결합되는 결합 브라켓과,
    상기 각 결합 브라켓 중 적어도 어느 한 결합 브라켓을 관통하여 설치되는 볼스크류와,
    상기 볼스크류를 회전시키는 구동모터를 포함하여 구성됨을 특징으로 하는 평판표시장치 제조 장비용 스톡커.
  15. 제 13 항 또는, 제 14 항에 있어서,
    상기 스톡커에는 상기 선반의 승강 이동을 지지하는 지지부가 더 구비됨을 특징으로 하는 평판표시장치 제조 장비용 스톡커.
  16. 제 15 항에 있어서,
    상기 지지부는
    상기 선반의 네 모서리를 지지하는 엘엠 가이드(LM guide)로 구성됨을 특징으로 하는 평판표시장치 제조 장비용 스톡커.
  17. 몸체부;
    상기 몸체부에 결합되며, 그의 상면으로 기판이 얹히는 적어도 둘 이상의 핸드부: 그리고,
    상기 각 핸드부 중 적어도 어느 한 핸드부의 상면에 구비되는 적어도 하나 이상의 롤러:가 포함되어 구성됨을 특징으로 하는 평판표시장치 제조 장비용 로더.
  18. 제 17 항에 있어서,
    상기 로더의 각 핸드부에는
    그에 얹혀지는 기판을 흡착하는 적어도 하나 이상의 흡착부가 더 구비됨을 특징으로 하는 평판표시장치 제조 장비용 로더.
  19. 제 18 항에 있어서,
    상기 흡착부는
    상기 각 핸드부의 상면을 관통하도록 형성된 진공홀과,
    공기 흡입력을 발생시키는 진공펌프와,
    상기 공기 흡입력을 상기 진공홀로 전달하는 진공유로를 포함하여 구성됨을 특징으로 하는 평판표시장치 제조 장비용 로더.
  20. 제 17 항 또는, 제 18 항에 있어서,
    상기 로더의 각 핸드부에는
    그의 상부를 향해 공기를 토출하는 공기 토출부가 더 구비됨을 특징으로 하는 평판표시장치 제조 장비용 로더.
  21. 제 20 항에 있어서,
    상기 공기 토출부는
    상기 각 핸드부의 상면을 관통하도록 형성된 토출홀과,
    공기 토출력을 발생시키는 공기 토출펌프와,
    상기 공기 토출력을 상기 토출홀로 전달하는 공기유로를 포함하여 구성됨을 특징으로 하는 평판표시장치 제조 장비용 로더.
  22. 제 17 항 또는, 제 18 항에 있어서,
    상기 핸드부에는 상기 롤러를 구동하는 구동모터가 더 구비됨을 특징으로 하는 평판표시장치 제조 장비용 로더.
  23. 제 22 항에 있어서,
    상기 로더의 각 핸드부에는
    그의 상부를 향해 공기를 토출하는 공기 토출부가 더 구비됨을 특징으로 하는 평판표시장치 제조 장비용 로더.
  24. 제 23 항에 있어서,
    상기 공기 토출부는
    상기 각 핸드부의 상면을 관통하도록 형성된 토출홀과,
    공기 토출력을 발생시키는 공기 토출펌프와,
    상기 공기 토출력을 상기 토출홀로 전달하는 공기유로를 포함하여 구성됨을 특징으로 하는 평판표시장치 제조 장비용 로더.
  25. 스톡커의 선반으로 다수의 기판이 수납된 카세트를 제공하는 제1단계;
    스톡커에 설치된 취출부를 구동하여 상기 카세트 내의 기판을 순차적으로 취출함과 동시에 이 취출한 기판을 로더로 제공하는 제2단계; 그리고,
    상기 로더를 제어하여 상기 제공받은 기판을 공정 진행부로 제공하는 제3단계:가 포함되어 연속적으로 진행되고,
    상기 제2단계가 진행될 때 상기 로더는 공기 토출부를 제어하여 상기 제공받는 기판의 저면을 향해 공기를 토출하는 것을 특징으로 하는 평판표시장치 제조 방법.
  26. 제 25 항에 있어서,
    상기 제2단계 중 상기 취출부에 의해 기판이 순차적으로 취출될 때 상기 스톡커의 선반은 단계적으로 하향 이동되도록 제어됨을 특징으로 하는 평판표시장치 제조 방법.
  27. 삭제
  28. 제 25 항에 있어서,
    상기 제2단계의 진행에 의해 상기 로더로 상기 기판의 제공이 완료되면 상기 로더는 흡착부를 제어하여 상기 제공받은 기판을 각 핸드부의 상면에 흡착 고정하는 단계가 더 포함됨을 특징으로 하는 평판표시장치 제조 방법.
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