WO2005015701A1

WO2005015701A1 - 多ビームレーザを用いた光源

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Publication number: WO2005015701A1
Application number: PCT/JP2004/011627
Authority: WO
Inventors: Akitaka Kimura; Atsushi Yamaguchi; Toshiaki Iwanaga; Ryuichi Katayama; Takeharu Shibatoko
Original assignee: Nec Corporation
Priority date: 2003-08-07
Filing date: 2004-08-06
Publication date: 2005-02-17
Also published as: JPWO2005015701A1

Abstract

多ビームレーザ１に、斜面を対向し合ったくさび状の透明誘電体板９、９Ａが対向している。多ビームレーザ１からのレーザビームの一部が、両透明誘電体板を透過する。残りのレーザビームは、両透明誘電体板を通過しない。両透明誘電体板を通過しないレーザビームと通過するレーザビームとの間、および、両透明誘電体板を通過するレーザビーム同士の間で、各レーザビームの、全レーザビームに直交する平面との交点と、各発光点との間の光路長に差が生じる。透明誘電体板９を、それらの対向し合う面に平行に移動させれば、透明誘電体板９を通過しないレーザビームと通過するレーザビームとの間で、光路長差を変化できる。

Description

明細誊多ビ一ムレ一ザを用いた光源技術分野

本発明は、複数のレーザビームを発光する多ビーム半導体レ一ザを用いた光源に関し、特に、光記録信号の記録および Zまたは再生に用いる光源に関する。背景技術

かねてより、光ディスク装置のデータ転送の高速化のために、多ビーム半導体レ一ザを用いて、データの記録や再生を多ビームで並列に行う試みがなされている。この種の技術は、例えば、特開平 1一 2 0 4 2 3 5号公報ゃ特開平 3— 0 8 8 1 5 3号公報に開示されている。それらの装置においては、通常、多ビームを 1つの光学系で集光して、隣接し合うトラックに信号を記録したり、隣接し合うトラックから光記録信号を再生したりする。

尚、ここで、多ビーム半導体レ一ザとは、独立に制御可能な、同一または相異なる波長のレーザビームを出力する半導体レーザ（以後、単に「レーザ」という）のことをいう。これには、モノリシック多ビームレ一ザとハイブリッド多ビ一ムレ一ザとの 2種類がある。モノリシック多ビームレーザとは、複数の活性層を一つの基板上に結晶成長により形成した後に、主要な電極工程や素子分離工程を行ったもののことをいう。ハイブリツド多ビームレーザとは、単一のビームを出力するレ一ザ素子を別々の基板上に結晶成長により形成した後に、それぞれに対して電極工程や素子分離工程を行い、しかる後に各レーザ素子を組み合わせて多ビームを出力するようにしたものである。発振波長の異なる 2つ以上のビームを有する多ビ一ムレーザを、特に多波長レーザという。

上記の従来技術による多ビームレーザにおいては、全てのレ一ザビームの発光点がレーザ正面の同一平面内に形成されており、その光軸方向に於ける位置が同一であった。しかるに、発光点間の間隔は、一般に、複数のレーザビームによって光デイスク盤面上に記録される記録マーク間の間隔よりもはるかに広い。したがって、多ビームレーザから出射された複数のレーザビ一ムを、一つの光学系により光ディスクの盤面に集光した場合、必ずしも全てのビームがディスクの盤面上に焦点を結ぶとは限らないという問題があつた。

さらに、記録の高密度化のために光ディスクの溝の凹部と凸部の両方に情報の記録マークを書き込んで、その記録マークから情報を読み出すランド Zグループ記録再生方式がある。ランド記録再生とグループ記録再生とではクロストークを最小にする溝の深さが異なることに起因して、この方式では、ランドとグループの各々に同時にビームを照射する場合、ランドとグループで最適な焦点位置が異なることになり、ランドの記録再生を行うビームとグループの記録再生を行うビームとで光軸方向に焦点位置をずらす必要がある。また、最適な焦点位置のずれ量が、光デイスクのトラックピッチや溝深さによって異なるため、個々の光ディスク毎にも、焦点位置のずれ量を変えることができるのが望ましい。

また、近年、次世代の高密度光ディスク装置として、発振波長 4 0 5 nm程度の窒化物系化合物半導体レーザ（以下、「G a N系青紫色レーザ」という）を用いた装置が期待されている。しかし、このような次世代光ディスク装置においても、従来の発振波長 6 5 0 n mの赤色レーザを光源とする D V D (Digi tal Versat i le Disc) 装置や、発振波長 7 8 0 n mのレーザを光源とする C D_R (Co即 ac t Disc Recordable)装置との互換性を維持するために、発振波長として 4 0 5 n mのレ一ザだけでなく 6 5 0 nmや 7 8 0 n mのレ一ザも、搭載されるのが望ましい。この場合に、モノリシックに形成された、多波長レーザを搭載すれば、コスト等の点で大変有利である。しかしながら、この多波長レーザを用いた装置では、上記のような同一波長の多ビームレーザと同様の問題がさらに顕在化する。光学系のレンズの材質の屈折率が波長依存性を持っために、レーザの発振波長によってレンズの焦点距離が異なるからである。発明の開示

そこで、本発明の目的とするところは、多ビームレーザを用いた光源であって、各レーザビームが所定の位置で焦点を結ぶように、その光源の内部において各ビ一ム間に光路長差を与える、あるいは、光路長差を変化させることのできる光源を提供することにある。

ここに明記しない本発明の他の目的は、以下の説明および添付図面から明らかになるであろう。

本発明は、多ビームレーザを用いた光源であって、各レーザビームが所定の位置で焦点を結ぶように、その光源の内部において各ビーム間に光路長差を与える、特に、光路長差を変化させることを最も主要な特徴とする。図面の簡単な説明

図 1は、本発明の実施例 1に係る光源の斜視図であり、

図 2は、本発明の実施例 2に係る光源の斜視図であり、

図 3は、本発明の実施例 2の変形例に係る光源の斜視図であり、

図 4は、本発明の実施例 3に係る光源の斜視図であり、

図 5は、本発明の実施例 4に係る光源の斜視図であり、

図 6は、本発明の実施例 5に係る光源の斜視図であり、

図 7は、本発明の実施例 6に係る光源の斜視図であり、そして、

図 8は、本発明の実施例 7に係る光源の斜視図である。発明を実施するための最良の形態

以下、本発明に係る抵抗発熱体について説明する。

複数のレーザビームを発光する多ビーム半導体レ一ザの発光面に対向させて、各レーザビーム毎に発光面から異なる位置にミラーを配置する、または、各レーザビ —ム毎に異なる厚さの領域を有する透明誘電体を配置する。

以上の構成によって、複数のレーザピ一ムが光源からの出力後にそれらのレーザビームに直交する平面と交わる交点と、それらのレーザビームの発光点との間の光路長に差が生じる。

あるいは、複数のレーザビームを発光する多ビーム半導体レーザの発光面に対向させて、複数のレーザビームの一部が透過するように透明誘電体を配置し、そのレ一ザビームの透明誘電体を透過する距離を可変にする。残りのレーザビームは、透明誘電体を通過しない。

以上の構成によって、透明誘電体を通過するレーザビームと、通過しないレーザビームとの間で、それらのレーザビームが光源からの出力後にそれらのレ一ザビ一ムに直交する平面と交わる交点と、それらのレーザビームの発光点との間の光路長の差が可変になる。

以下、本発明に係る抵抗発熱体の好適な実施例について、添付図面を参照して詳細に説明する。

(実施例 1 )

図 1は、本発明の実施例 1に係る光源の斜視図である。 4本のレ一ザビームを放射する多ビームレーザ 1が、基板 2の 1主面に形成された凹部 3上にマウントされている。多ビ一ムレーザ 1は、青紫色の多ビーム（本実施例では 4ビーム）を放射する、モノリシックな G a N系青紫色多ビームレ一ザである。多ビームレ一ザ 1の 4発光点は全て、レーザ正面の同一平面内に形成されている。

凹部 3を規定している内壁面のうちの、多ビームレーザ 1の発光面に対向する内壁面には、各発光点から異なる距離に、平面ミラ一 4〜7が形成されている。多ビ —ムレーザ 1から放射された各レ一ザビームは、それに対応するミラーで反射される。各平面ミラー 4〜 7は、その平面が、多ビームレーザ 1から放射される 4本のレーザビームの並ぶ方向に平行になるように、基板 2の主面に対して傾斜して形成されている。そして、それらの各平面は、各平面への垂線が各レーザビームと 4 5 ° をなすように、即ち、各レーザビームが 9 0 ° 偏向するように形成されるのが望ましい。このような配置にすることによって、各レーザビームが各平面ミラ一 4〜 7 で反射されたときに、その横断面が広がることを防止することができる。

以上の説明から明らかなように、本実施例の光源は、各平面ミラ一 4〜7が、それぞれ、各発光点から相異なる距離に形成されているものであるので、各平面ミラ —4〜 7で反射された各レーザビームの、全レーザビームに直交する平面との交点と、各発光点との間の光路長に差が生じるという効果を有する。そして、各平面ミラー 4〜 7と各発光点との距離によって、これらの光路長差を任意の大きさに固定することが可能である。したがって、これらの光路長差を適切な大きさに設定することによって、本実施例の光源が光ディスク装置に組み込まれたとき、各レーザピームは、記録媒体に対して所定の位置で焦点を結び、それぞれ、最適な状態で光記録信号を記録および/または再生することが可能になる。また、本実施例の光源は、凹部の内壁面がミラーを形成している 1個の基板の凹部にレ一ザをマウントしたものであるから、コンパク卜な構成で上記の効果を得ることができるという特徴を有する。 - 上述の説明においては、多ビ一ムレーザ 1として、 GaN系青紫色多ビームレ一ザを用いた。 GaN系青紫色多ビームレーザとは、一般式 [I nxA l yGa l— x-yN] (0≤xく 1、 0≤yく 1、 0≤x + y<l) で表される半導体を用いた多ビ一ムレ一ザである。このような半導体は、 I nPや GaAsといった一般的な化合物半導体に比して広い禁制帯を有し、したがって、このような半導体を用いたレーザは、短波長の光（緑から紫外領域）を発し、光記録媒体への高密度の記録を可能にする。しかしながら、本実施例の光源に用いられる多ビームレーザは、 G a N系青紫色多ビームレーザに限らず、 I nPや GaAsを用いた多ビームレ一ザであってもよい。本実施例の光源に用いられる多ビームレ一ザは、また、少なくとも、その 2本のレ一ザビームが相異なる波長を有する多波長レーザであってもよい。さらに、本実施例の光源に用いられる多ピームレ一ザは、モノリシック多ビームレ —ザに限らず、ハイブリッド多ビームレ一ザであってもよい。基板 2としては、図 1に示すように、多ビームレーザ 1の発光面に対向する凹部内壁面が、多ビームレ —ザ 1から放射される複数のレーザビームの並ぶ方向に平行になるようなミラ一面を形成できるものであればどのようなものであっても用いることができる。また、各ミラ一が全て、常に、各発光点から互いに異なる距離になければならないわけではなく、少なくとも 2個のミラ一が、相異なる距離にあるだけでもよい。言うまでもないが、多ビームレーザから放射されるレーザビーム数は、 4本に限らず、複数であれば何本であってもよい。

(実施例 2 )

図 2は、本発明の実施例 2に係る光源の斜視図である。図 2において、図 1の部分と同等の部分には同一の参照符号を付し重複する説明を適宜省略する。本実施例に係る光源が図 1に示す実施例 1に係る光源と異なる点は、多ビームレーザ 1から放出された各レーザビームが、ミラ一によって反射されるのではなく、透明誘電体板 8を透過するという点である。透明誘電体板 8は、サファイアより成っており、レーザビームの進行方向に厚さの異なる複数の領域が、多ビームレーザ 1の各発光点に対応して階段状に形成されている。階段状の面の方が、多ビームレーザ 1の発光面に対向していてもよい。また、多ビームレーザ 1の発光面に対向している透明誘電体板 8の面、および、その反対側の面は、全て、多ビームレーザ 1の発光面に平行であることが望ましい。その場合には、透明誘電体板 8の面に入射してきたレ一ザビームは、そのまま直進して透明誘電体板 8の反対側の面から出射していく。多ビームレーザ 1から放射された各レーザビームは、それぞれ、それに対応する透明誘電体板 8の厚さの相異なる領域を透過する。したがって、多ビ一ムレ一ザ 1 から放射された各レーザビームは、空気よりも相当に屈折率の高い領域（波長 5 8 9 n mにおけるサファイアの a軸方向の屈折率： 1 . 7 6 0 ) を、それぞれ、相異なる距離だけ進むことになるから、透明誘電体板 8を透過した各レーザビームの、全レーザビームに直交する平面との交点と、各発光点との間の光路長に差が生じる。そして、透明誘電体板 8の各領域の、レーザビームの進行方向の厚さを調整することによって、これらの光路長差を任意の大きさに固定することが可能である。したがって、実施例 1と同様に、これらの光路長差を適切な大きさに設定することによつて、本実施例の光源が光ディスク装置に組み込まれたとき、各レーザビームは、記録媒体に対して所定の位置で焦点を結び、それぞれ、最適な状態で光記録信号を記録および Zまたは再生することが可能になる。

尚、透明誘電体板 8の厚さの異なる複数の領域が全て、常に、相異なる厚さでなければならないわけではなく、少なくとも 2個の領域が、相異なる距離にあるだけでもよい。また、上述の説明においては、全てのレーザビームが透明誘電体板 8を透過するとしたが、透明誘電体板 8を透過せずに空気層のみを通過するレーザビームがあってもよい。また、空気層のみを通過するレーザビームの光路長と異なる光路長が 1つだけしか必要でない場合には、透明誘電体板 8は、レ一ザビームの進行方向に厚さが一様に形成されてもよい。さらに、本実施例においては、各レーザビームの光路長を調整するための材料として、サファイアより成る透明誘電体を用いたが、レーザビームが通過する気体空間（空気、あるいは、光源が筐体中に密封されている場合はその内部の密封ガス）と屈折率の異なる透明な物質であればどのような物質でも用い得る。ここで、「透明」とは、必ずしもそのレーザビームの吸収係数が 0である必要はなく、レーザビームに対する吸収係数が実用上十分に低ければよい。

図 3は、本実施例の光源の 1変形例である。図 3において、図 2の部分と同等の部分には同一の参照符号を付し重複する説明を適宜省略する。図 3に示す光源が図 2に示す光源と異なる点は、多ビームレーザ 1から放出された各レ一ザビームが、レーザビームの進行方向に厚さの異なる複数の階段状に形成された透明誘電体板の領域を透過するのではなぐ透明誘電体板の複数の屈折率の相異なる領域を透過するという点である。 2本のレーザビームが、それぞれ、透明誘電体板 1 3の屈折率の相異なる透明誘電体領域 1 3 1、 1 3 2を透過するから、透明誘電体板 1 3の内部において、相異なる光路長を持つ。したがって、図 3に示す光源が、図 2に示す光源と同様の効果を有することは明らかである。

(実施例 3 )

図 4は、本発明の実施例 3に係る光源の斜視図である。図 4において、図 2の部分と同等の部分には同一の参照符号を付し重複する説明を適宜省略する。本実施例に係る光源が図 2に示す実施例 2に係る光源と異なる点は、多ビームレーザに、階段状に厚さが変化する透明誘電体板が対向しているのではなく、くさび状の透明誘電体板 9が対向しているという点である。

くさび状の透明誘電体板 9は、その斜面の反対側の面が、多ビームレ一ザ 1の発光面に対向するように配置されている。そして、くさび状の透明誘電体板 9は、基板 2上で、多ビームレーザ 1からの各レーザビームに直交する方向、または、斜面に平行な方向に移動可能にされている。図 4の配置において、少なくとも、多ビームレ一ザ 1から出射されたレーザビームの進行方向に向かって、透明誘電体板 9を最も右側に移動させたときに、多ビームレ一ザ 1から出射された少なくとも 1本のレーザビームは、透明誘電体板 9を通過しないように、また、少なくとも 1本のレ一ザビームは、透明誘電体板 9を通過するように、透明誘電体板 9が配置されている。この場合、透明誘電体板 9を通過するレーザビームは、くさびの斜面で屈折するために、直行方向からずれるが、例えば 1枚のミラー（図示せず）を用いて、透明誘電体板 9を通過するレーザビームを、通過しないレーザビームと平行に修正することが簡単にできる。あるいは、透明誘電体板 9と相似形状の透明誘電体板を、透明誘電体板 9を通過しないレーザビームの進行方向に配置してもよい。尚、くさび状の透明誘電体板 9を、その斜面に平行な方向に移動可能にする方が、くさび状の透明誘電体板 9を移動させたときに、出射ビームの出射点がずれることがない。このような配置においては、透明誘電体板 9を通過しないレ一ザビームと通過するレーザビームとの間、および、透明誘電体板 9を通過するレーザビーム同士の間で、レーザビームが通過する透明誘電体板 8の距離（透明誘電体板 9を通過しないレーザビームでは零）が相異なるから、本実施例の光源が、実施例 2の光源と同様の効果を有することは明らかである。さらに、本実施例の光源においては、くさび状の透明誘電体板 9を多ビ一ムレ一ザ 1からの各レーザビームに直交する方向、あるいは、斜面に平行な方向に移動させれば、透明誘電体板 9を通過しないレーザビ —ムと通過するレ一ザビームとの間で、それらのレーザビームの、レーザビームに直交する平面との交点と、各発光点との間の光路長の差を連続的に変化させることが可能である。

尚、くさび状の透明誘電体板 9は、その斜面を多ビームレーザ 1に対向させていてもよい。また、透明誘電体板 9は、くさび状の形状に限らず、レーザビームの進行方向の厚さが、基板 2の平面に平行でレーザビームの進行方向に直交する方向に非線形に連続的に変化する形状を有していてもよい。この場合には、透明誘電体板を移動させると、透明誘電体板を通過するレーザビーム同士の間で、それらのレ一ザビームの、レ一ザビームに直交する平面との交点と、各発光点との間の光路長の差が連続的に変化する。

(実施例 4 )

図 5は、本発明の実施例 4に係る光源の斜視図である。図 5において、図 4の部分と同等の部分には同一の参照符号を付し重複する説明を適宜省略する。本実施例に係る光源が図 4に示す実施例 3に係る光源と異なる点は、移動可能なくさび状の透明誘電体板 9に対向して、もう 1枚のくさび状の透明誘電体板 9 Aが、基板 2上に固定されているという点である。 2枚のくさび状の透明誘電体板 9、 9 Aの斜面が、互いに平行に対向し合っている。 2枚のくさび状の透明誘電体板 9、 9 Aの斜面は、互いに接し合っていてもよい。 2枚のくさび状の透明誘電体板 9、 9 Aの斜面の反対側の面は、複数のレーザビームの並ぶ方向に平行である。

透明誘電体板 9に入射したレ一ザビームは、実施例 3の場合と同様に、くさびの斜面で屈折するために直行方向からずれて出射するが、透明誘電体板 9 Aの斜面に入射すると、 2つの斜面が平行なために、直行方向に戻され、そのまま透明誘電体板 9 Aの反対の面から出射される。したがって、本実施例の場合には、透明誘電体板 9、 9 Aを通過するレーザビームが、通過しないレーザビームと平行になり、実施例 3の塲合に必要であつた余分の光学系を不要とするという特徴を有する。くさび状の透明誘電体板 9を、多ビームレーザ 1からの各レーザビームに直交する方向、または、 2枚の透明誘電体板 9、 9 Aの対向し合っている面に平行な方向に移動させると、透明誘電体板 9を通過しないレーザビ一ムと通過するレーザビームとの間で、それらのレーザビームの、レーザビームに直交する平面との交点と、各発光点との間の光路長の差を連続的に変更することが可能であることは、実施例 3の場合と同様である。尚、透明誘電体板 9が固定されていて、透明誘電体板 9 A が移動可能にされていてもよい。

(実施例 5 )

図 6は、本発明の実施例 5に係る光源の斜視図である。図 6において、図 4の部分と同等の部分には同一の参照符号を付し重複する説明を適宜省略する。本実施例に係る光源が図 4に示す実施例 3に係る光源と異なる点は、多ビ一ムレ一ザに、くさび状の透明誘電体板が対向しているのではなぐ直方体の透明誘電体板 1 1が対向しているという点である。そして、直方体の透明誘電体板 1 1は、その中心のまわりに、基板 2の主面内で回転可能にされている。

直方体の透明誘電体板 1 1を、その中心のまわりに回転させると、透明誘電体板 1 1を通過するレーザビームの透明誘電体板 1 1を通過する距離が連続的に変化するから、透明誘電体板 1 1を通過しないレーザビームと通過するレーザビームとの間で、それらのレーザビームの、レーザビームに直交する平面との交点と、各発光点との間の光路長の差を連続的に変化させることが可能である。

この場合、透明誘電体板 1 1を透過したレーザビームは、透明誘電体板 1 1に入出射する際に屈折するために、直行方向からずれるが、例えば適当な曲面を持つミラー（図示せず）を用いて、透明誘電体板 1 1を通過しないレーザビームと平行になるようにすることができる。尚、透明誘電体板 1 1の回転は、例えば、マイクロ，エレクト口 ·メカニカル ·システム（MEM S ) 技術などを用いて実現することができる。また、透明誘電体板 1 1の形状は直方体に限らず、その中心のまわりに回転させたときに、多ビームレーザからのレーザビームの通過する距離が変化する形状であれば、どのような形状であってもよい。

(実施例 6 )

図 7は、本発明の実施例 6に係る光源の斜視図である。図 7において、図 2の部分と同等の部分には同一の参照符号を付し重複する説明を適宜省略する。本実施例に係る光源が図 2に示す実施例 2に係る光源と異なる点は、レーザビームの進行方向に厚さの異なる複数の領域が形成された透明誘電体板ではなぐ厚さの一様な透明誘電体板 1 2が多ビームレーザ 1に対向しているという点である。多ビームレーザ 1は、少なくとも 2本のレ一ザビームが異なる波長を有する多波長レーザである。サファイア等の透明誘電体の屈折率は、一般に波長分散を有するために、多ビームレーザ 1から波長の異なるレーザビームが透過すると、それらのレーザビームの、全レーザビームに直交する平面との交点と、各発光点との間の光路長に差が生じる。

(実施例 7 )

図 8は、本発明の実施例 7に係る光源の斜視図である。図 8において、多ビームレ一ザ 2 1は、 G a N基板上にモノリシックに結晶成長された青紫色レ一ザ（発振波長 4 0 5 n m) および赤色レーザ（発振波長 6 5 0 n m) からなるモノリシック 2波長レーザである。レーザビームの出射端面は、ドライエッチングの一種である、塩素ガスを用いた R I B E (反応性イオンビ一ムエッチング）法により加工され、段差が形成されている。

本実施例では、レーザビームの出射端面が段差を構成するように形成されているため、赤色レーザと青紫色レーザから出射される両レ一ザビームの、両レーザビームに直交する平面との交点と、各発光点との間の光路長に差が生じるという効果を有する。このため、両ビームを一つの光学系により光ディスクの盤面に集光した場合であっても、予め出射端面の段差を所望の値に設計しておくことにより、両レ一ザビームが、光ディスクに対して所定の位置で焦点を結ぶことが可能になる。尚、上述の説明では、多ビームレ一ザとして 2波長レーザを用いたが、 3波長以上の多ビームを出射するレーザであってもよい。また、出射端面の段差の形成に R I B E法を用いたが、 R I B E法でない他のドライエッチング法 [例えば、反応性イオンエッチング（R I E) 法] であっても、また、ゥエツトエッチング法であつても、平滑で、素子表面に対して垂直性の高い共振器端面が形成できる方法であれば、どのような方法でも用い得る。

以上の実施例において、実施例 3〜 5では、一部のレーザビームのみが、透明誘電体板を透過する際に、入射面および Zまたは出射面に直交せずに入射および Zまたは出射するため、それらのレーザビームには、それに伴う非点収差が加わり、他のレーザビームでは、透明誘電体板を透過しないため、そのような非点収差が加わることはない。そのため、これらの実施例の光源を光ディスク装置の光源として用いたとき、光ディスク盤面上の個々の集光スポットの非点収差に、実用上問題ない程度ではあるが、差異が生じる。これに対し、実施例 2および 6では、全てのレーザビームが、透明誘電体板を透過する際に、入射面および出射面に直交して入射および出射するため、それらのレーザビームの間の非点収差に、差異が加わることがない。

尚、実施例 1〜6は、単独ではなく、複数個のものが組み合わされて用いられてもよい。また、実施例 1〜7において、各レーザビ一ムを波長可変にすれば、これらの実施例の光源を光ディスク装置の光源として用いたとき、光ディスク上にこれらのレーザビームを集光するための対物レンズの色収差を利用して、焦点距離の微調整を行うことが可能となる。以上幾つかの実施例を用いて本願発明について説明してきたが、本発明は、上記の実施例に限定されるものではなく、本発明の技術思想の範囲内において、適宜変更することができることは云うまでもない。

Claims

請求の範囲

1 . 複数のレーザビームを発光する多ビーム半導体レーザを用いた光源であつて、少なくとも 2本のレーザビームが該光源からの出力後に該 2本のレーザビームに直交する平面と交わる交点と、該 2本のレーザビームの発光点との間の光路長に差を生じさせ、つ、該光路長差を変化させる手段を有する光源。

2 . 前記光路長差を変化させる手段が、前記 2本のレーザビームの少なくとも 1本が通過する気体空間と異なる屈折率を持つ透明物質を有して構成されており、前記 2本のレーザビームのうちのいずれか一方が、前記透明物質を透過する請求項 1に記載の光源。

3 . 前記透明物質を透過するレーザビームの、前記透明物質を透過する距離が可変である請求項 2に記載の光源。

4. 前記透明物質が、前記透明物質に入射するレーザビームの光軸に直交する入射面または反射面と、前記透明物質に入射するレーザビームの光軸に対して傾斜した出射面または入射面とを有し、前記透明物質に入射するレーザビームの光軸に直交する方向の移動成分を持って移動可能である請求項 3に記載の光源。

5 . 前記透明物質の前記出射面に平行な、前記透明物質を透過するレーザビームの入射面と、前記透明物質の前記入射面に平行な、前記透明物質を透過するレーザビームの出射面とを有する、前記透明物質と等しい屈折率を持つ透明物質が、前記透明物質に対向して配置されている請求項 4に記載の光源。

6 . 前記透明物質が回転可能である請求項 3に記載の光源。

7 . 複数のレ一ザビームを発光する多ビーム半導体レーザを用いた光源であつて、少なくとも 2本のレーザビームが該光源からの出力後に該 2本のレーザビ一ムに直交する平面と交わる交点と、該 2本のレーザビームの発光点との間の光路長に差を生じさせる手段を有し、該 2本のレ一ザビームが、光記録媒体に光記録信号を記録および Zまたは再生するビームとして使用されるように設計されていることを特徴とする光源。

8 . 前記複数のレ一ザビ一ムに対応して、前記複数のレーザビームが各々入射するミラーが形成されており、各ミラ一の表面が、前記複数のレーザビームの並ぶ方向に平行であり、各ミラ一への垂線が各レーザビームと 4 5 ° をなしており、前記 2本のレ一ザビームが入射する 2個のミラ一と前記 2個のレーザビームの発光点との距離が相異なる請求項 7に記載の光源。

9 . 前記 2本のレーザビームが、前記 2本のレーザビームの通過する気体空間と異なる屈折率を有する透明物質中を相異なる距離だけ透過する請求項 7に記載の光源。

1 0 . 前記透明物質が、前記 2本のレーザビームの入射する領域で、前記 2本のレーザビームの通過する距離に段差を持つように形成されている請求項 9に記載の光源。

1 1 . 前記透明物質が、前記透明物質に入射するレーザビームの光軸に直交する入射面と、前記透明物質に入射するレーザビームの光軸に対して傾斜した出射面とを有する請求項 9に記載の光源。

1 2 . 前記 2本のレーザビームが、相異なる屈折率を持つ透明物質を透過する請求項 7に記載の光源。

1 3 . 少なくとも 2本のレーザビームの波長が相異なっている請求項 1から 1 2のいずれか一つに記載の光源。

1 4. 複数のレーザビームを発光する多ビーム半導体レーザを用いた光源であつて、前記複数のレーザビームのうちの少なくとも 2本のレーザビームの波長が相異なり、該 2本のレーザビームが、該 2本のレーザビームの通過する気体空間と異なる同一の材料から成る透明物質中を同一距離透過することを特徴とする光源。

1 5 . 前記多ビーム半導体レーザの前記少なくとも 2本のレーザビームの発光面が同一平面にある請求項 1から 1 4のいずれか一つに記載の光源。

1 6 . 前記透明物質または透明物質の一部がサファイアである請求項 2から 6 ならびに 9力、ら 1 5のいずれか一つに記載の光源。

1 7 . 前記多ビーム半導体レーザが、窒化物系化合物半導体レーザである請求項 1から 1 6のいずれかのいずれか一つに記載の光源。

1 8 . 少なくとも 1本のレーザビームの波長が可変である請求項 1から 1 7のいずれかのいずれか一つに記載の光源。