WO2003069276A1 - Procede de mesure de position, procede d'exposition, et procede de production de dispositif - Google Patents

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Yuji Kokumai
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Abstract

L'invention concerne un procédé de mesure de position permettant de mesurer correctement l'information de position d'une marque, y compris si seulement une partie de la marque peut être observée à travers un champ visuel d'observation ou si la marque se trouve en dehors d'un champ visuel d'observation. Le système d'observation utilisé comprend des champs visuels d'observation (PFx, PFy) permettant d'observer une partie d'une marque (M) mais ne permettant pas d'observer la marque (M) entière. Une pluralité de zones (S1, S2, S3, ) d'un objet sont mises en images de manière à comprendre au moins une zone dans laquelle la marque (M) est partiellement observée à travers les champs visuels d'observation (PFx, PFy) du système d'observation. La partie de la marque (M) à laquelle appartient la partie de la marque à mettre en images est spécifiée à partir des résultats mis en image, et les informations de position de la marque (M) sont déterminées en fonction des résultats partiellement mis en image de la marque (M) et du résultat spécifié.
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