WO2002023845A3 - Verfahren zur verbesserung der bildqualität und zur erhöhung der schreibgeschwindigkeit bei belichtung lichtempfindlicher schichten - Google Patents

Verfahren zur verbesserung der bildqualität und zur erhöhung der schreibgeschwindigkeit bei belichtung lichtempfindlicher schichten Download PDF

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Abstract

Die Erfindung betrifft ein Verfahren für die maskenlose Belichtung zur Strukturierung lichtempfindlicher Schichten auf einem Objekt.Erfindungsgemäß wird zur Ausbildung von Strukturelementen auf der lichtempfindlichen Schicht mittels einer Lichtquelle ein als Flächenlichtmodulator wirkendes veränderliches bildgebendes Element mit zugehöriger Optik mit einer vorgegebenen Belichtungsdosis (Nominalbelichtungsdosis) bestrahlt. Entsprechend der von dem bildgenden Element aufgrund seines jeweiligen Ansteuerungszustandes erzeugter Bildfelder werden einzelne Strukturelemente, Gruppen von Strukturelementen oder Teile davon auf der lichtempfindlichen Schicht abgebildet, wobei die Nominalbelichtungsdosis auf mehrere Belichtungsvorgänge aufgeteilt und die Belichtungsdosis für die einzelnen Belichtungsvorgänge so gewählt wird, dass sie ausgehend von einer vorgegebenen minimalen Belichtungsdosis bei jedem Belichtungsvorgang gegenüber dem jeweils vorhergehenden erhöht wird, wobei sie beim letzten Belichtungsvorgang mehr als 50 % der Nominalbelichtungsdosis beträgt.
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