WO2001018828A1

WO2001018828A1 - Weichmagnetische folie und verfahren zu deren herstellung

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Publication number: WO2001018828A1
Application number: PCT/DE2000/003037
Authority: WO
Inventors: Wolfgang Von Gentzkow; Dieter Nützel; Gotthard Rieger
Original assignee: Siemens Aktiengesellschaft
Priority date: 1999-09-08
Filing date: 2000-09-04
Publication date: 2001-03-15
Also published as: DE10040439B4; DE10040439A1; DE19942939A1; DE10040439B8

Abstract

Die Folie (20) mit weichmagnetischen Eigenschaften (Koerzitivfeldstärke insbesondere unter 20 A/m, Sättigungsinduktion insbesondere über 0,4 T) weist einen magnetisch anisotropen Verbundaufbau (V) aus anisotropen Partikeln eines amorphen und/oder nanokristallinen, ferromagnetischen Metallpulvers (21) und aus einem Kunststoffmaterial (22) auf. Zu ihrer Herstellung werden das Metallpulver (21) und das in pulvriger oder flüssiger Form vorliegende Kunststoffmaterial (22) vermengt, erwärmt und in die Folienform überführt. Auch kann das Metallpulver in eine Trägerfolie aus dem Kunststoffmaterial eingearbeitet oder auf diese aufgebracht werden.

Description

Beschreibung

Weichmagnetische Folie und Verfahren zu deren Herstellung

Die Erfindung bezieht sich auf eine Folie mit weichmagnetischen Eigenschaften in Form eines Verbundaufbaus aus einem Kunststoffmaterial und Metallpulver aus einem Werkstoff mit mindestens einem ferromagnetischen Element sowie auf Verfahren zur Herstellung einer solchen Folie. Entsprechende Folien und deren Herstellung sind z.B. aus der DE 43 22 371 AI bekannt .

Die statischen und dynamischen Eigenschaften von weichmagnetischen Massivwerkstoffen hängen neben den reinen Material- eigenschaften stark von der jeweiligen Geometrie des eingesetzten Werkstoffs und/oder auch von dessen mechanischer Beanspruchung ab. So bestimmt z.B. die Dicke eines Blechs aus diesem Werkstoff oder die einer Folie die bei höheren Frequenzen auftretenden Wirbelstromverluste.

Weichmagnetische Folien finden ein weiteres Anwendungsfeld in der HF- und NF-Technik. Mit entsprechenden, bekannten Folien beispielsweise aus Ferritmaterial und einer Dicke zwischen 0,2 und 0,4 mm lassen sich flache Spulen für Identifikations- Systeme, elektronische Artikelsicherungssysteme, Sensoren oder kontaktlose Chipkarten realisieren. Auch an eine Verwendung als Störabschirmung von Spulen gegenüber Metallen, zur Strahlungsabsorption bei Frequenzen oberhalb 500 MHz unter dem Gesichtspunkt einer elektromagnetischen Verträg- lichkeit (EMV) , zur Kompensation von Jochringspulen zur Bildentzerrung in Fernsehgeräten oder Monitoren oder als Abstandselemente zwischen Ferritkernen anstatt von Luft- spalten oder unmagnetischen Folien zum Zwecke einer Unterdrückung von Streufeldern oder zur Einstellung einer Vor- magnetisierungskennlinie ist gedacht. Entsprechende Metallfolien können gemäß der Literaturstelle aus „etz", Band 109 (1988), Heft 20, Seiten 958 bis 961, durch spezielle Rascherstarrungsverfahren direkt aus der Schmelze mit einer typischen Dicke von etwa 25 μm gewonnen werden. Solche Folien mit einem im allgemeinen amorphen Materialgefüge sind zwar elastisch verformbar, besitzen jedoch aufgrund der Herstellungstechnik nur sehr eingeschränkte Geometrien sowie eingeschränkte mechanische und magnetische Eigenschaften.

Entsprechendes gilt auch für weichmagnetisches Kernmaterial. Auch hier wird die Formgebung durch den Werkstoff beschränkt, da bereits mit der mechanischen Bearbeitung eine Verschlechterung der magnetischen Eigenschaften einhergeht.

EMV-Schirmgehäuse werden häufig aus kristallinen NiFe-Blechen hergestellt, die jedoch mechanisch kaum flexibel sind.

Aus weichmagnetischen, nanokristallinen Werkstoffen werden gegenwärtig praktisch ausschließlich sogenannte Ringbandkerne hergestellt, die aber aufgrund ihrer Sprödigkeit keiner mechanischen Belastung ausgesetzt werden dürfen. Es ist auch bekannt, entsprechende Kerne aus einem Verbundwerkstoff aus einem Kunststoffmaterial mit eingelagerten, weichmagneti- sehen, flockenartigen Pulverpartikeln auszubilden (vgl.

EP 0 959 480 A2) . Derartige Kerne aus dem Verbundwerkstoff haben jedoch einen verhältnismäßig massiven Aufbau und stellen folglich keine selbsttragende Folie dar.

Aus der eingangs genannten DE-Al-Schrift ist ein Verfahren zur Herstellung von Fäden oder Folien mit magnetischen Eigenschaften zu entnehmen, bei dem einem polymeren Kunststoff- material ein ferromagnetischer Werkstoff mit Partikelgrößen von höchsten 10 μm und einem Gewichtsanteil von maximal 50 %, bezogen auf das Polymergewicht, zugesetzt wird. Der so erhaltene Verbundwerkstoff wird dann zu den Fäden oder Folien in einem sogenannten Schmelzspinnverfahren versponnen. Das entsprechende Herstellungsverfahren ist jedoch verhältnismäßig aufwendig. Außerdem lässt sich damit nur ein Verbund- aufbau mit einer begrenzten Geometrie herstellen.

Aufgabe der vorliegenden Erfindung ist es, eine weichmagnetische Folie anzugeben, die sich auf verhältnismäßig einfache Weise mit gegenüber dem Stand der Technik erweiterter Geometrie herstellen lässt, die gemäß den jeweiligen Anforderungen hinreichend mechanisch flexibel ist und sich auf den genannten Anwendungsfeidern einsetzen lässt. Außerdem sollen hierfür geeignete Verfahren angegeben werden.

Diese Aufgabe wird bezüglich der Folie erfindungsgemäß dadurch gelöst, dass zur Erstellung des Verbundaufbaus mit magnetischer Anisotropie anisotrope Pulverpartikel aus einem amorphen und/oder nanokristallinen Metallpulver vorgesehen sind. Der ferromagnetische Werkstoff der Pulverpartikel enthält dabei mindestens ein ferromagnetisches Element und gegebenenfalls weitere nicht-magnetische und/oder nichtmetallische Elemente.

Entsprechende flexible Folien mit in dem Kunststoffmaterial eingebundenem amorphen und/oder nanokristallinen Pulver, dessen Pulverpartikel vor der Verarbeitung mit dem Kunststoffmaterial vorzugsweise in Form von Plättchen (sogenannten „Flakes") vorliegen oder aus solchen gewonnen werden können, besitzen eine deutliche höhere Sättigungsinduktion und geringere Koerzitivfeidstärke als Folien aus Ferritmaterial. Weiterhin sind aufgrund einer vorbestimmten Partikelgröße auch im MHz-Bereich höhere Permeabilitäten möglich. Zudem lassen sich die guten magnetischen Eigenschaften von Kunststofffolien auf diese zunächst spröden, nanokristallinen Weichmagnetmaterialien übertragen.

Durch die erfindungsgemäße Kombination von amorphen und/oder nanokristallinen weichmagnetischen Metallpulvern auf Basis eines ferromagnetischen Werkstoffs ( mit mindestens einem der ferromagnetischen Elemente Fe, Co, Ni und gegebenenfalls weiteren Elementen ) mit einem geeigneten Kunststoff (binder) , der sowohl eine hinreichende mechanische Flexibilität als auch eine geforderte Temperaturstabilität garantieren kann, wird die Herstellung einer Verbundfolie mit hervorragenden weichmagnetischen Eigenschaften ermöglicht. Mit der neuen mechanischen und magnetischen Eigenschaftskombination lassen sich folglich bisherige Lösungen bzw. Anwendungsfälle er- setzen oder neue erschließen.

Diese liegen aufgrund der gegenüber Ferritfolien höheren Sättigungsinduktion, der geringeren Verluste und der Möglichkeit einer Einstellung magnetisch anisotroper Eigenschaften sowohl in den Bereichen „Übertrager" und „Flussführung" allgemein, als auch in dem Bereich der EMV aufgrund einer Abschirmwirkung in unterschiedlichen Frequenzbereichen.

Vorteilhafte Ausgestaltungen der erfindungsgemäßen Folie sowie des Verfahrens zu ihrer Herstellung gehen aus den jeweils abhängigen Ansprüchen hervor.

So ist es als vorteilhaft anzusehen, wenn der Verbundaufbau mit Metallpulvern mit einer mittleren Partikelgröße erstellt ist, die unter 100 μm liegt. Solche Pulver zeichnen sich durch gute Verarbeitbarkeit mit dem Kunststoffmaterial zu dem Verbundaufbau und durch eine hohe Sättigungsinduktion bei hinreichend niedriger Koerzitivfeidstärke aus.

Vorteilhaft wird ein Metallpulver verwendet, dessen Partikel ein Aspektverhältnis (= Länge zu Breite) von mindestens 3, vorzugsweise mindestens 10, aufweisen. Solche Pulver lassen sich während des Herstellungsprozesses der Folie verhältnismäßig leicht ausrichten, wodurch eine ausgeprägte Anisotropie des Materials bei gleichzeitig hoher Verdichtung zu erreichen ist. Der Anteil des Metallpulvers , das im Falle eines amorphen Gefüges als aus einem metallischen Glas bestehend angesehen werden kann oder ein zumindest teilweise rekristallisiertes Gefüge aufweist, kann vorteilhaft innerhalb des Verbundauf- baus in weiten Grenzen liegen und insbesondere zwischen 50 und 85 Vol.-% ausmachen. Damit ist eine große Variationsbreite hinsichtlich der mechanischen und magnetischen Eigenschaften der Folie gegeben.

Als Kunststoffmaterial wird vorteilhaft ein Thermoplast oder ein Elastomer oder ein Duroplast vorgesehen. Aus der Familie dieser Materialien lassen sich vorzugsweise solche auswählen, die eine gute Benetzung und Anbindung an den weichmagnetischen Füllstoff gewährleisten. Eine gute Verarbeitbarkeit ist damit zu gewährleisten.

Eine erfindungsgemäße Folie lässt sich vorteilhaft gemäß einem ersten Verfahrensweg dadurch herstellen, dass man das Metallpulver und das in pulvriger oder flüssiger Form vor- liegende Kunststoffmaterial vermengt, erwärmt und in die Folienform überführt. Dabei werden die magnetischen Eigenschaften der Folie von einer auftretenden mechanischen Beanspruchung vorteilhaft nur geringfügig beeinflusst. Mit diesen Verfahrensschritten lassen sich folglich Folien mit den besonderen weichmagnetischen Eigenschaften mit beliebiger Geometrie und Dicke gemäß den Forderungen des jeweiligen Anwendungsfalles leicht ausbilden.

Ein weiterer Verfahrensweg zur Herstellung der erfindungs- gemäßen Folie sieht vor, dass zunächst auf eine Trägerfolie aus dem Kunststoffmaterial das Metallpulver aufgebracht und anschließend in die Trägerfolie mechanisch eingearbeitet wird. Sowohl das Aufbringen des Metallpulvers als auch das Einarbeiten in die Trägerfolie soll mittels eines Walzprozes- ses erfolgen. Es ist aber auch möglich, dass zunächst auf eine Trägerfolie aus dem Kunststoffmaterial das Metallpulver aufgebracht und dort insbesondere durch Besprühung mit einem _^ 0) X d ß ß 4 CD "^s*-^. CQ ü 4J

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Die Herstellung einer erfindungsgemäßen Folie gliedert sich in die folgenden Abschnitte unter:

1) Bereitstellung des Metallpulvers

Das Metallpulver kann aus jedem ferromagnetischen Werkstoff hergestellt werden, der je nach gefordertem Anwendungsfall hinreichend weichmagnetische Eigenschaften hat und dessen Partikel eine nanokristalline Struktur sowie eine Anisotropie besitzen (vgl. z.B. das Buch „Magnetwerkstoffe und Magnetsysteme", Hrsg. H.Warlimont, DGM Informationsgesellschaft - Verlag, Oberursel, 1991, Seiten 137 bis 146) . Der Werkstoff besteht aus wenigstens einem der ferromagnetischen Elemente und gegebenenfalls aus weiteren metallischen Elementen und/oder Nichtmetallen (Metalloiden) . Beispiele für weitere metallische Elemente Cu und Nb; Beispiele für feste Metalloide sind B und Si. Die Koerzitivfeidstärke des bereitzustellenden Metallpulvers sollte dabei vorteilhaft einen niedrigen Wert haben und vorzugsweise unter 20 A/m liegen. Außerdem sollte dieses Pulver eine verhältnismäßig hohe Sättigungsinduktion besitzen, die deshalb vorzugsweise über 0,4 Tesla liegt. Entsprechende weichmagnetische, ein amorphes oder nano- kristallines Gefüge aufweisende Metallpulver werden aus Ausgangsmaterialien gewonnen, die bevorzugt durch mechanisches Legieren oder durch eine Rascherstarrungstechnik gewonnen werden. Bei letztgenannter Technik wird in einem ersten Verfahrensschritt aus einer erschmolzenen Vorlegierung aus den Ausgangskomponenten ein amorphes oder fein- kristallines Zwischenprodukt erzeugt. Hierzu wird die

Vorlegierung auf einer hohen Temperatur erschmolzen und anschließend gemäß dem sogenannten „melt spinning" (Schmelzspinnverfahren) auf einen rotierenden Körper gespritzt, der so zu einer hohen Abkühlrate von deutlich über 100 K/s, insbesondere bis 10⁶ K/s, bei einer verhältnismäßig hohen Oberflächengeschwindigkeit an seinem Radumfang führt. Man erhält so bandförmige Stücke des Zwi- schenproduktes, sogenannte „Flakes", die zwar im allgemeinen verhältnismäßig spröde sind, aber die geforderte Anisotropie haben können. Denn solche Zwischenprodukte haben üblicherweise ein hohes Aspektverhältnis (= Länge zu Breite) und lassen sich während des Herstellungsprozesses der Folie leicht ausrichten.

Die Zwischenproduktstücke können in Abhängigkeit von den Parametern der Apparatur zur Rascherstarrung ein amorphes und/oder kristallines Gefüge haben. Das amorphe Gefüge kann in bekannter Weise mittels einer Wärmebehandlung in ein nanokristallines Gefüge überführt werden. Für die nachfolgende Betrachtung sei ein solches nanokristallines Gefüge angenommen: Die Stücke des Zwischenproduktes werden anschließend mittels einer Mahltechnik in das Pulver mit einer gewünschten Pulverpartikelgröße mit einem gewünschten Aspektverhältnis überführt . Die Pulverpartikel sollten dabei vorzugsweise einen mittleren Durchmesser aufweisen, der unter 200 μm, insbesondere unter 100 μm liegt. Ihr Aspektverhältnis sollte dabei mindestens 3, vorzugsweise mindestens 10 betragen. Zur Einstellung der Pulverpartikelgröße wird vorteilhaft eine Ultrazentrifugalmühle verwendet (vgl. z.B. die nicht-vorveröffentlichte DE-Anmeldung 198 37 630.8). Eine entsprechende Zentrifugalmühle zeigt Figur 1. Die dort mit 10 bezeichnete Mühle weist einen Aufnahmetrichter 9 auf, über welchen ein Mahlgut 2 aus den Stücken des Zwischenproduktes in das Mühleninnere gelangt. Dort befindet sich ein Rotor 3 mit einer Vielzahl keilförmiger, an ihren Spitzen zueinander gerichteter Rotorzähne 4. Diese Zähne sind an einer Rotorplatte 5 gelagert, die mit hoher Geschwindigkeit rotiert . Das Mahlgut 2 wird in Folge der hohen Zentrifugalkräfte nach außen geschleudert und an den inneren Kanten der Rotorzähne 4 zerkleinert . Ferner kann der Rotor 3 ein in der Figur nur teilweise ausgeführtes Ringsieb 6 enthalten, dessen Sieblochgröße in der Regel maßgeblich die Partikelgrößenverteilung des gemahlenen cn CD ß X ß -H Φ φ ß ^ XI TJ 0

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Bei den Thermoplasten haben sich Ethylencopolymere, wie Polyethylenvinylacetat oder Polyethylenethylacrylat bewährt. Des weiteren kommen Polycarbonate, Polyester oder Polyurethane in Frage. Bei den elastomeren Kunststoffen können alle Kautschuke, insbesondere Siliconkautschuk, verwendet werden.

Besonders bewährt als Kunststoffbinder haben sich auch Silicon- oder Epoxidharze sowie UP-Harze.

3) Bereitstellung des Metallpulver-Kunststoffbinder-Gemisches und dessen Verarbeitung zu der Folienform

Das erzeugte, anisotrope Metallpulver wird anschließend gemäß einem ersten Verfahrensweg mit dem besonderen Kunst- Stoffmaterial vermengt oder vermischt. Dabei lassen sich vorteilhaft über den Anteil bzw. Füllgrad des Metallpulvers innerhalb des Metallpulver-Kunststoffbinder-Gemischs die magnetischen Eigenschaften des folienförmigen End- produkts in weiten Grenzen variieren. Bevorzugt kann der Metallpulveranteil zwischen 50 und 85 Vol.-% liegen. Die Verarbeitung des Gemischs zu der Folienform geschieht nach an sich bekannten Prozessen. Entsprechende Prozesse werden beispielsweise bei der Herstellung von Audio- oder Video- bändern der Unterhaltungsindustrie angewandt. Prinzipiell wird im allgemeinen bei erhöhter Temperatur von beispielsweise 100 bis 150°C das Gemisch kompaktiert und anschließend mittels eines Verformungsprozesses wie z. B. mittels Walzens oder Pressens in die Folienform überführt. Es kann dabei eine Dicke der Folie zwischen 0,1 und 2 mm eingestellt werden. Eine Orientierung der Pulverpartikel kann z.B. nach einem Gießvorgang und vor einem Abziehen der Folie von einem Träger erfolgen. Die Partikel können sich dabei während der Verfestigung in einem Magnetfeld, das aus Gründen einer Energieeinsparung auch gepulst sein kann, gemäß ihrer Vorzugsrichtung orientieren. Eine derartige Orientierung ermöglicht auch eine hohe Verdichtung ß ß 4-1 4H ε φ 3 φ 4-J Φ -H ß ß ß xi 1 :rö

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Auf diese Art und Weise lassen sich selbsttragende Filme von ca. 20 bis 30 μm Schichtdicke und einem Füllgrad von > 80 Vol.-% erzeugen. In derartigen Schichten ist sichergestellt, dass sich alle Partikel mit ihrer größten Fläche absolut parallel zur Folienoberfläche befinden und damit der Gesamtfolie ein anisotropes Verhalten verleihen. Aus diesen Primärfolien lassen sich dickere Folien mit anisotropem Verhalten durch Verpressen von Stapeln mehrerer Primärfolien herstellen. Das flockenartige Metallpulver wird in einem Spalt, der z.B. durch die Anordnung von zwei Glasplatten, die durch Metallbedampfung oberflächlich leitfähig ausgerüstet wurden, so orientiert, dass es quasi eine Monolage bildet. Diese Monolage kann durch Anordnung der Glasplatten in einem Winkel > 45° durch Rütteln so kompaktiert werden, dass der Volumenfüllgrad auf über 80 Vol.-% steigt. Nach dieser Verdichtung kann die obere Glasplatte entfernt und die Monoschicht durch Besprühen mit einer Lösung eines Reaktionsharzes und nachfolgendes Abdampfen des Lösungs- mittels zu einer Metall/Kunststoff-Folie gebunden werden. Dieser Prozess lässt sich auch kontinuierlich gestalten, indem man die aus dem Spalt austretende Metallpulver- monolage auf eine Trägerfolie aufbringt, danach mit der Reaktionsharzlösung besprüht und das Lösungsmittel in einer Trockenstrecke entfernt. Als Reaktionsharze sind insbesondere flexibilisierte Epoxidharze, Polyurethanharze oder Silikonharze geeignet. Die derartig hergestellten Folien enthalten noch reaktives Harz, so dass diese Monoschichten zu Multischichten verpresst und ge- härtet werden können. In derartigen Schichten ist sichergestellt, dass sich alle Partikel mit ihrer größten Fläche absolut parallel zur Folienoberfläche befinden und damit der Gesamtfolie ein anisotropes Verhalten verleihen.

Claims

Patentansprüche

1. Folie mit weichmagnetischen Eigenschaften in Form eines Verbundaufbaus aus einem Kunststoffmaterial und Metallpulver aus einem Werkstoff mit mindestens einem ferromagnetischen Element, d a d u r c h g e k e n n z e i c h n e t , dass zur Erstellung des Verbundaufbaus (V) mit magnetischer Anisotropie anisotrope Pulverpartikel aus einem amorphen und/oder nanokristallinen Metallpulver (21) vorgesehen sind.

2. Folie nach Anspruch 1, g e k e n n z e i c h n e t durch eine Foliendicke (D) unter 2 mm, vorzugsweise unter 0,5 mm.

3. Folie nach Anspruch 1 oder 2, d a d u r c h g e k e n n z e i c h n e t , dass der Verbundaufbau (V) mit Metallpulvern (21) mit einer mittleren Partikelgröße (δ) erstellt ist, die unter 100 μm liegt.

4. Folie nach einem der vorangehenden Ansprüche, g e k e n n z e i c h n e t durch ein Metallpulver (21) , dessen Partikel ein Aspektverhältnis von mindestens 3, vorzugsweise mindestens 10, aufweisen.

5. Folie nach einem der vorangehenden Ansprüche, e k e n n z e i c h n e t durch ein Metallpulver (21) aus einem ferromagnetischen Werkstoff mit mindestens einem der Elemente Fe oder Ni oder Co.

6. Folie nach Anspruch 5, d a d u r c h g e k e n n z e i c h n e t , dass der ferromagnetische Werkstoff zusätzlich mindestens ein nicht-magnetisches Element enthält.

7. Folie nach einem der vorangehenden Ansprüche, g e - k e n n z e i c h n e t durch ein Metallpulver (21) aus einem metallischen Glas.

8. Folie nach einem der vorangehenden Ansprüche, g k e n n z e i c h n e t durch ein Metallpulver (21) mit einem zumindest teilweise rekristallisierten Gefüge.

9. Folie nach einem der vorangehenden Ansprüche, k e n n z e i c h n e t durch ein Kunststoffmaterial (22) aus einem Thermoplast oder einem Elastomer oder einem Duroplast .

10. Folie nach einem der vorangehenden Ansprüche, g e k e n n z e i c h n e t durch einen Anteil des Metallpulvers (21) zwischen 50 und 85 Vol-% in dem Verbundaufbau (V) .

11. Folie nach einem der vorangehenden Ansprüche, g e - k e n n z e i c h n e t durch eine Koerzitivfeidstärke von unter 20 A/m.

12. Folie nach einem der vorangehenden Ansprüche, g e k e n n z e i c h n e t durch eine Sättigungsinduktion von über 0,4 T.

13. Verfahren zur Herstellung einer weichmagnetischen Folie nach einem der vorangehenden Ansprüche, d a d u r c h g e k e n n z e i c h n e t , dass das Metallpulver (21) und das in pulvriger oder flüssiger Form vorliegende Kunststoffmaterial (22) vermengt, erwärmt und in die Folienform überführt werden.

14. Verfahren zur Herstellung einer weichmagnetischen Folie nach einem der Ansprüche 1 bis 12, d a d u r c h g e k e n n z e i c h n e t , dass zunächst auf eine Trägerfolie aus dem Kunststoffmaterial das Metallpulver aufgebracht und anschließend in die Trägerfolie mechanisch eingearbeitet wird.

15. Verfahren nach Anspruch 14, d a d u r c h g e k e n n z e i c h n e t , dass auf die mit einer Klebstoff- Schicht versehene Oberfläche der Trägerfolie das Metallpulver mittels eines Walzprozesses aufgebracht wird.

16. Verfahren nach Anspruch 14 oder 15, d a d u r c h g e k e n n z e i c h n e t , dass das auf die Oberfläche der Trägerfolie aufgebrachte Metallpulver mittels eines Walzprozesses bei erhöhter Temperatur in die Trägerfolie eingearbeitet wird.

17. Verfahren zur Herstellung einer weichmagnetischen Folie nach einem der Ansprüche 1 bis 12, d a d u r c h g e k e n n z e i c h n e t , dass zunächst auf eine Trägerfolie aus dem Kunststoffmaterial das Metallpulver aufgebracht und anschließend dort fixiert wird.

18. Verfahren nach Anspruch 17, d a d u r c h g e k e n n z e i c h n e t , dass zum Fixieren des Metall- pulvers auf der Trägerfolie eine Besprühung mit einem Reaktionsharz und eine anschließende Trocknung vorgesehen werden.

19. Verfahren nach einem der Ansprüche 14 bis 18, d a d u r c h g e k e n n z e i c h n e t , dass mehrere mit dem Metallpulver versehene Trägerfolien gestapelt und zu einer dickeren Gesamtfolie verarbeitet werden.

20. Verfahren nach einem der Ansprüche 13 bis 19, d a d u r c h g e k e n n z e i c h n e t , dass mittels einer Rascherstarrungstechnik Stücke aus einem Zwischen- produkt des ferromagnetischen Werkstoffes hergestellt werden, die anschließend mittels einer Mahltechnik in das Metallpulver (21) überführt werden.

21. Verfahren nach Anspruch 20, d a d u r c h g e - k e n n z e i c h n e t , dass die Zwischenproduktstücke in einer Ultrazentrifugalmühle, gegebenenfalls ohne Sieb, gemahlen werden.

22. Verfahren nach einem der Ansprüche 13 bis 21, d a d u r c h g e k e n n z e i c h n e t , dass bei der Metallpulverherstellung eine Wärmebehandlung der Zwischen- produktstücke oder des Metallpulvers vorgesehen wird.

23. Verfahren nach einem der Ansprüche 13 bis 22, d a d u r c h g e k e n n z e i c h n e t , dass eine Orientierung der Pulverpartikel des Metallpulvers (21) in einem Magnetfeld vorgesehen wird.