TWM588105U - 基板用卡匣 - Google Patents

Abstract

一種基板用卡匣，包含框架、兩個側邊限位模組及中間限位模組。框架包括兩個第一側架體及兩個第二側架體。各側邊限位模組具有多個肋條以界定多個容納間隙，且兩側邊限位模組的肋條位置一對一相對應。中間限位模組具有固定基柱及多個支撐單元。固定基柱兩端分別連接兩第二側架體。各支撐單元具有支撐桿及兩固定件。支撐桿具有座部及桿部。桿部自座部的頂面一體延伸，兩固定件分別穿過座部後與固定基柱固接而使支撐桿與固定基柱結合固定，且每一支撐桿係與側邊限位模組中之一對相互對應的肋條共同支撐並限位一片基板。

Description

基板用卡匣

本新型是有關於一種用於運載半導體或光電製程基板的運載裝置，特別是指一種基板用卡匣。

目前一些以半導體或光電製程製作物品所使用的基板趨向大尺寸且厚度變薄，而使基板在厚度方向上的剛性降低而容易彎曲，造成基板不論是被水平放置或垂直放置時都可能會發生彎曲變形而干涉到自動化取放片設備的動作，使得取放片設備在進行取放片動作的過程中撞擊基板而損傷甚至毀壞基板；或者是造成基板在搬運的過程中發生大幅的震動或晃動並因此而受損。因此，用於搬運或儲存此類大尺寸基板的卡匣除了必須具有用以支撐及/或限位基板兩側的支撐/限位結構外，還需要增加中間的支撐結構或組件，以支撐及/或限位基板的中間部分，降低基板破碎受損的風險。一般來說，這些用以搬運或儲存此類大尺寸基板的卡匣所採用的方式都是在容納空間的中央增設至少一排之支撐桿藉以對基板的中央部位提供更多的支撐或限位。

由於要能對這些大尺寸基板提供足夠的支撐或限位，因此這些支撐桿的長度相應地也必須較長。而受限於配合自動化設備作業的要求、卡匣內部有限的空間以及重量上的限制等因素，這些支撐桿通常為懸臂結構，僅靠一端固定於位於卡匣週緣的固定柱上。由於其較長的長度，使得這些支撐桿在被組裝時常會在其指向上有所偏差而必須予以調整。此外，由於受到其所支撐之基板的重量以及其本重量的負荷，故在使用一段時間之後，原先已經調整好的指向也可能產生改變而必須再次進行校正調整。但是在原本已經有限的空間中增加設置了支撐桿後，又會使得卡匣內部的空間更為狹小，造成調整工作不易進行。因此，如何方便調整支撐桿以使該等支撐桿均能正確設置，仍有改進的空間。

因此，本新型之其中一目的，即在提供一種可以解決前述問題的基板用卡匣。

於是，本新型基板用卡匣在一些實施態樣中，是包含一框架、兩個側邊限位模組以及一中間限位模組。該框架包括兩個第一側架體及兩個第二側架體，該兩第一側架體彼此平行相對且相間隔，該兩第二側架體彼此平行相對且相間隔並分別連接該兩第一側架體以共同形成一容置空間及進出該容置空間的一開口。該兩側邊限位模組設於該框架且彼此相向地分別相鄰該兩第一側架體，各該側邊限位模組具有在垂直該開口的一第一方向延伸的多個肋條以界定多個分別自該開口接納並容置一基板的容納間隙，各該容納間隙介於兩個該肋條之間，且該兩側邊限位模組的該等肋條位置在平行該兩第二側架體的一第二方向上一對一相對應。該中間限位模組具有一固定基柱及多個支撐單元，該固定基柱在平行該兩第一側架體而垂直該第一方向及該第二方向的一第三方向延伸且兩端分別連接該兩第二側架體，該固定基柱並包括有面向該開口的一抵靠面，該等支撐單元與該固定基柱連接，各該支撐單元具有一支撐桿及兩個固定件，該支撐桿具有一座部及一桿部，該座部具有抵靠於該抵靠面的一底面及相反於該底面的一頂面，該桿部自該座部的該頂面朝向該開口在該第一方向一體延伸，該兩固定件分別穿過該座部後與該固定基柱固接而使該支撐桿與該固定基柱結合固定，且每一該支撐桿係與該等側邊限位模組中之一對相互對應的該等肋條共同支撐並限位一片該基板。

在一些實施態樣中，該固定基柱具有兩個側板部及連接該兩側板部的一連接板部，且該兩側板部及該連接板部三者共同界定面向該開口且在該第三方向延伸的一限位槽，該兩側板部共同形成面向該開口的一抵靠面，該支撐桿還具有一限位部，該限位部自該座部的底面凸出以配合容置於該限位槽，該兩固定件穿過該座部並分別與該固定基柱的兩側板部固接而使該支撐桿與該固定基柱結合固定。

在一些實施態樣中，該連接板部設有多個沿該第三方向間隔排列的定位孔，每一該支撐桿之該限位部皆與一該定位孔對應，且各該限位部之至少部分凸伸進對應之該定位孔中。

在一些實施態樣中，該支撐桿由一主體與一內桿體構成，該內桿體埋設於該主體軸心。

在一些實施態樣中，該固定基柱設有多個沿該第三方向間隔排列的定位孔，且各該支撐桿還具有一自該座部的該底面凸出的限位部，該限位部包括該內桿體凸露出於該主體的一端部，且該限位部之至少部分凸伸進對應之該定位孔中。

在一些實施態樣中，各該支撐單元還具有一調整件，該座部還具有分別面向該兩第二側架體的一第一側緣及一第二側緣，且該座部鄰近於該抵靠面及該第一側緣處的厚度小於該座部鄰近於該抵靠面及該第二側緣處的厚度，以使該底面全面抵靠於該抵靠面時該桿部尾端朝偏向該第一側緣的方向傾斜，該調整件可調整該桿部與該固定基柱間的夾角地穿設於該固定基柱並施力於該底面偏靠該第一側緣處。

在一些實施態樣中，各該支撐單元還具有一位於該支撐桿與該調整件之間而受該調整件頂抵之保護件。

在一些實施態樣中，各該支撐單元還具有一保持件，該保持件同時抵接於該調整件及該固定基柱。

在一些實施態樣中，還包含位於該中間限位模組之至少一側的至少一輔助限位模組，各該輔助限位模組具有一基座及多個凸齒，該基座係平行於該固定基柱延伸且兩端分別連接該兩第二側架體並具有面向該開口的一抵靠側緣，該等凸齒分別自該抵靠側緣向該開口方向凸伸且位置分別與該等肋條及該等支撐桿在該第二方向上相對應，以在每兩相鄰的該等凸齒間形成與一個該容納間隙對應以共同限位一片該基板的空間。

在一些實施態樣中，該等凸齒由低摩擦係數材料製成。

在一些實施態樣中，各該輔助限位模組還具有至少一埋設於該基座且沿該第三方向貫穿該基座的強化桿體。

在一些實施態樣中，該強化桿體由金屬或碳纖維複合材料製成。

在一些實施態樣中，各該輔助限位模組可選擇性地設置於一第一限位位置或一第二限位位置，且當各該輔助限位模組位於該第一限位位置時與該開口的距離係小於當各該輔助限位模組位於該第二限位位置時與該開口的距離。

在一些實施態樣中，各該支撐桿的該內桿體由金屬或碳纖維複合材料製成。

在一些實施態樣中，各該支撐桿的該桿部由低摩擦係數材料製成。

在一些實施態樣中，該兩側邊限位模組可選擇性地設置於一第一支撐位置或一第二支撐位置，且當該兩側邊限位模組位於該第一支撐位置時，該兩側邊限位模組間的距離係小於當該兩側邊限位模組位於該第二支撐位置時該兩側邊限位模組間的距離。

本新型具有以下功效：藉由各該支撐桿的座部及桿部構成一體成型的結構，使得組裝較為簡易。另外，藉由座部兩側厚度不同而略呈偏斜以使桿部尾端在座部之底面全面抵靠於抵靠面時相對於固定基柱偏向特定一側傾斜的結構設計，使得每一組支撐單元只需設置一個調整件便可對支撐桿相對於固定基柱之角度進行調整，而且調整時只需要在單一方向調整，故能大幅簡化組裝及維護的過程。

參閱圖1至圖3，本新型實施例之基板用卡匣100包含一框架1、兩個側邊限位模組2、一中間限位模組3。

該框架1包括兩個第一側架體11及兩個第二側架體12。該兩第一側架體11彼此平行相對且相間隔。該兩第二側架體12分別連接於該兩第一側架體11的兩端而彼此平行相對且相間隔。該兩第一側架體11及該兩第二側架體12共同形成一容置空間13及進出該容置空間13的一開口14。

在本實施例中，該基板用卡匣100是以該開口14方向朝上的方式承載基板5，該兩第一側架體11分別位於基板5左右兩邊緣的兩側，該兩第二側架體12則位於基板5及容置空間13的前後兩側。但是該基板用卡匣100也可是以該開口14方向朝前的方式承載基板5，可以視使用需求調整並不以本實施例所示者為限。

該兩側邊限位模組2設於該框架1且分別相鄰該兩第一側架體11的兩端而彼此相向。各該側邊限位模組2具有一載板21及多個連接於該載板21的肋條22。該等肋條22在垂直該開口14的一第一方向D1延伸，並界定多個分別自該開口14接納並容置一片基板5的容納間隙23。每一容納間隙23係介於兩個該肋條22之間。

該兩側邊限位模組2的該等肋條22位置在平行該兩第二側架體12的一第二方向D2上一對一相對應。該第一方向D1為上下方向，該第二方向D2為左右方向。也就是說，該等肋條22是在該第一方向D1延伸，而位於左右兩側的肋條22一對一相對應。因此，由該等肋條22所界定的該等容納間隙23也同樣地左右相對應。

基板5沿著該第一方向D1 (即上下方向)進出該基板用卡匣100的各容納間隙23，並由分別位於該基板用卡匣100左右兩側的一組對應的容納間隙23分別容置該基板5的兩側邊，且由各該容納間隙23兩側的肋條22共同限位同一片基板5。

該中間限位模組3具有一固定基柱31及多個支撐單元32。該固定基柱31在平行該兩第一側架體11而垂直該第一方向D1及該第二方向D2的一第三方向D3延伸且兩端分別連接該兩第二側架體12。在本實施例中，該第三方向D3即為前後方向。

請同時參閱圖4至圖6，該固定基柱31具有兩個側板部311及連接該兩側板部311的一連接板部312，且三者共同界定面向該開口14且在該第三方向D3延伸的一限位槽313。該兩側板部311共同形成面向該開口14的一抵靠面314。該等支撐單元32與該固定基柱31連接，各該支撐單元32具有一支撐桿33、兩個固定件34及一調整件35。

每一該支撐桿33係與該等側邊限位模組2中之一對相互對應的該等肋條22在該第二方向D2上對應，且各該支撐桿33與對應的兩個該肋條22三者鄰近甚或接觸基板5的部位在該第二方向D2上通常也會相互對齊，以由此三者共同支撐並限位一片該基板5。

該支撐桿33具有一座部331a及一桿部331b。該座部331a具有抵靠於該抵靠面314的一底面3311及相反於該底面3311的一頂面3312。

該桿部331b係與該座部331a一體成形，並自該座部331a的頂面3312朝向該開口14在該第一方向D1延伸。該支撐桿33還具有一限位部331c。該限位部331c自該座部331a的底面3311凸出以配合容置於該限位槽313。一般而言，該限位槽313的寬度會略大於該限位部331c的寬度而呈寬鬆地配合的狀態以方便組裝。

該支撐桿33通常是以塑膠材料製成。而為了降低支撐桿33與基板5摩擦而產生微粒汙染的風險，各該支撐桿33，特別是桿部331b，最好是由低摩擦且耐磨耗的塑膠材料製成，例如PEEK。

但當基板5的尺寸較大，因而需要較長的支撐桿33支撐時，以塑膠製成的支撐桿33就可能會有強度不足而變形的問題。為了提高強度，該支撐桿33可進一步具有一內桿體332。

在這種實施態樣中，各該支撐桿33由一主體331及一內桿體332構成，該內桿體332埋設於該主體331的軸心，並延伸通過大部分該主體331的長度範圍。內桿體332可採用金屬或碳纖維複合材料等質量相對較輕但強度較高的材質製成，以強化該支撐桿33整體的強度。

該內桿體332還可具有一個在該限位部331c凸出於該主體331的端部332a，且該端部332a構成該限位部331c之一部分。

該連接板部312則設有多個在該第三方向D3間隔排列的定位孔312a。該支撐桿33之該限位部331c的至少部分凸伸進對應之該定位孔312a中，以使各該定位孔312a分別配合容置對應的該支撐桿33之該限位部331c的該至少部分。

更具體的說，由於該內桿體332的該端部332a也是該限位部331c的一部分，因此各該定位孔312a的孔徑可與該端部332a的外徑大致配合，而使該內桿體332的該端部332a能凸伸進對應之該定位孔312a中，以使該支撐桿33能藉由該內桿體332的端部332a受到定位孔312a之限制而較為穩固。

在組合時，該座部331a之該底面3311抵靠於該固定基柱31的該抵靠面314上，該兩固定件34分別穿過該座部331a後與該固定基柱31的兩側板部311固接而使該支撐桿33與該固定基柱31結合固定。

本實施例是以螺絲作為固定件34的範例。但在其他的實施例中，亦可採用如鉚釘等元件來作為固定件34，並不以本實施例中所示範者為限。

參閱圖2、圖4及圖7至圖9，各該支撐桿33的座部331a的側緣還可區分成分別是面向該兩第二側架體12的一第一側緣3313及一第二側緣3314，且該座部331a鄰近於該抵靠面314及該第一側緣3313處的厚度略小於該座部331a鄰近於該抵靠面314及該第二側緣3314處的厚度。

在本實施例中，該座部331a鄰近於該抵靠面314及該第一側緣3313處的厚度相較於該座部331a鄰近於該抵靠面314及該第二側緣3314處的厚度約少0.02mm。由於差異極小，因此由圖8、圖9中或在實體上靠近該座部331a的一端肉眼幾乎無法看出其差異，故而在圖10及圖11中刻意將差異放大以進行示意。

如圖10所示，這樣的結構使得在該座部331a的該底面3311全面抵靠於該抵靠面314時，該桿部331b會固定地朝著偏向該第一側緣3313的方向傾斜。藉此避免若座部331a被設計成均勻厚度，則在其底面3311完全抵靠於固定基柱31上時，該桿部331b可能會因為座部331a製造上的誤差而會朝向任意方向傾斜。

儘管在實際應用時，該座部331a兩側的厚度僅有很微小的差異，但這樣的差異已足以克服製造上的誤差而使該等支撐桿33結合於該固定基柱31時往一側偏斜。而也因為上述的厚度差異極小，因此只要藉由單一調整件35由偏斜的一側進行些微的調整，就可以很容易地如圖11所示的一樣令支撐桿33指向正確的方位。

須說明的是：第一側緣3313及第二側緣3314的定義是可依照組裝或使用上不同需求或考量指定。因此，第一側緣3313可以是在第三方向D3上靠近前方的一側，也可以是靠近後方的一側。本實施例對此並不加以限制。

基於上述的設計，本新型實施例之基板用卡匣100中針對每一該支撐單元32，都只需要各設置一個能往單一方向調整該支撐桿33相對於該固定基柱31的角度的調整件35，就可讓各該支撐桿33的該桿部331b尾端指向正確的方位。

各該調整件35穿設於該固定基柱31的連接板部312並施力於對應之該支撐桿33的該限位部331c偏靠該第一側緣3313處，藉以調整該桿部331b與該固定基柱31的夾角。藉由座部331a兩側厚度不同而略呈偏斜的結構可以避免製造公差的影響。再配合調整件35的設置，故能簡化調整的程序。

如前所述，由於支撐桿33的主體331是以塑膠材料製成。然而，塑膠材料在長時間受力時較容易發生變形。因此，各該支撐單元32還可增設有一保護件36。

各該保護件36位於對應的該支撐桿33之該主體331與該調整件35之間而受到該調整件35頂抵。藉此保護塑膠製的主體331，以避免調整件35的頂推及調整時轉動的力道造成主體331變形或表面磨損。在本實施例中，各調整件35為一止付螺絲，而各保護件36則為一金屬墊片。

又，為了避免調整件35鬆動而造成調整好的支撐桿33偏離正確的方位，各該支撐單元32還可設有一保持件37。保持件37鎖設於該調整件35上而同時抵接該調整件35及該固定基柱31，以使該調整件35與該固定基柱31相對固定。

亦即，在藉由各調整件35將對應的該支撐桿33調整完成後，再將保持件37鎖設並同時抵緊於該調整件35及該固定基柱31，藉此固定調整件35，以避免調整件35因受震動等因素而偏離調校好的位置。在本實施例中，各調整件35為止付螺絲，保持件37為金屬螺帽。

須特別說明的是：在以上對於本實施例的說明中，是以將基板用卡匣100的開口14朝上的使用方式來作為範例並進行說明的。但在一變化的實施方式中，該基板用卡匣100也可以開口14朝前的方式使用。

在這種情況下，使用者只需將基板用卡匣100向原本的前側或後側轉動90∘即可。於是，第一方向D1就變成了水平的前後方向，而第三方向D3則變為上下方下。而該等支撐桿33則就變成預設為往上或往下傾斜了。至於其調整的方法及機制則與上述方式並無二致，故此處就不再重複贅述。

再參閱圖2、圖3、圖5與圖6，基板用卡匣100還可在該中間限位模組3的至少一側設置至少一個輔助限位模組4。本實施例中是以在該中間限位模組3兩側分別各設置一個輔助限位模組4來作為範例進行說明的。

該兩輔助限位模組4分別位於該中間限位模組3兩側。每一該輔助限位模組4具有一基座41及多個凸齒42。該基座41在該第三方向D3平行於該固定基柱31延伸，且兩端分別連接該兩第二側架體12，並具有面向該開口14的一抵靠側緣411。

該等凸齒42分別自該基座41的該抵靠側緣411向著該開口14的方向凸伸，且位置分別與該等肋條22及該等支撐桿33在該第二方向D2上相對應，以在每兩相鄰的該等凸齒42間形成與一組該容納間隙23對應以共同限位一片基板5的空間。

也就是說，位於左右兩側的該兩側邊限位模組2、位於中間的該中間限位模組3，及位於該中間限位模組3左右兩側且分別位於該中間限位模組3與其中一側邊限位模組2之間的該兩輔助限位模組4，是被設置成用以共同限位並支撐基板5。

為了降低與基板5摩擦而產生微粒汙染的風險，該等凸齒42最好是由低摩擦係數材料製成。另外，各該輔助限位模組4還具有兩個埋設於該基座41內部，且在該第三方向D3延伸的強化桿體43。該等強化桿體43通常是由金屬或碳纖維複合材料製成，以強化該等輔助限位模組4整體的強度。在變化的實施例，各該輔助限位模組4只埋設一根或多根強化桿體43亦可實施。

請再同時參閱圖1，本實施例中之各該第二側架體12上還可設置有一組第一限位穿孔組121a及一組第二限位穿孔組121b。第一限位穿孔組121a及第二限位穿孔組121b分別對應於一第一限位位置及一第二限位位置。各該輔助限位模組4可選擇性地設置於該第一限位位置或該第二限位位置。

該兩輔助限位模組4可以依照使用需求而被鎖固於對應於第一限位位置的第一限位穿孔組121a或是對應於第二限位位置的第二限位穿孔組121b，藉以調整其被設於該兩第二側架體12的高度，亦即調整該兩輔助限位模組4與該開口14的距離。

當被鎖固於該組第一限位穿孔組121a時，該兩輔助限位模組4與該開口14的距離較近，可輔助限位沿著第一方向D1之縱向長度較小的基板5。反之，當被鎖固於該組第二限位穿孔組121b時，該兩輔助限位模組4與該開口14的距離較遠，則可輔助限位沿著第一方向D1之縱向長度較大的基板5。

類似地，各該第二側架體12上還可設置有可將各該側邊限位模組2鎖固在兩不同位置的一組第一支撐穿孔組122a及一組第二支撐穿孔組122b。第一支撐穿孔組122a及第二支撐穿孔組122b分別對應於一第一支撐位置及一第二支撐位置。各該側邊限位模組2可選擇性地設置於該第一支撐位置或該第二支撐位置。

當該兩側邊限位模組2分別被穿設於第一支撐穿孔組122a的固定螺絲（圖未示）鎖固而位於該第一支撐位置時，該兩側邊限位模組2之間的距離較小，此時適於容置、承載沿著該第二方向D2之寬度較小的基板5。

反之，當該兩側邊限位模組2分別被穿設於第二支撐穿孔組122b的固定螺絲（圖未示）鎖固而位於該第二支撐位置時，該兩側邊限位模組2之間的距離較大，因此適於容置、承載沿著該第二方向D2之寬度較大的基板5。

綜上所述，藉由將各該支撐桿33的座部331a及桿部331b構成一體成型的固定結構，使組裝較為簡易。另外，藉由座部331a兩側厚度不同而略呈偏斜以使桿部331b尾端在座部331a之底面3311全面抵靠於抵靠面314時相對於固定基柱31偏向特定一側傾斜的結構設計，使得每一組支撐單元32只需設置一個調整件35便可對支撐桿33相對於固定基柱31之角度進行調整，而且調整時只需要在單一方向調整，故能大幅簡化組裝及維護的過程。

惟以上所述者，僅為本新型之實施例而已，當不能以此限定本新型實施之範圍，凡是依本新型申請專利範圍及專利說明書內容所作之簡單的等效變化與修飾，皆仍屬本新型專利涵蓋之範圍內。

100‧‧‧基板用卡匣

1‧‧‧框架

11‧‧‧第一側架體

12‧‧‧第二側架體

121a‧‧‧第一限位穿孔組

121b‧‧‧第二限位穿孔組

122a‧‧‧第一支撐穿孔組

122b‧‧‧第二支撐穿孔組

13‧‧‧容置空間

14‧‧‧開口

2‧‧‧側邊限位模組

21‧‧‧載板

22‧‧‧肋條

23‧‧‧容納間隙

3‧‧‧中間限位模組

31‧‧‧固定基柱

311‧‧‧側板部

312‧‧‧連接板部

312a‧‧‧定位孔

313‧‧‧限位槽

314‧‧‧抵靠面

32‧‧‧支撐單元

33‧‧‧支撐桿

331‧‧‧主體

331a‧‧‧座部

3311‧‧‧底面

3312‧‧‧頂面

3313‧‧‧第一側緣

3314‧‧‧第二側緣

331b‧‧‧桿部

331c‧‧‧限位部

332‧‧‧內桿體

332a‧‧‧端部

34‧‧‧固定件

35‧‧‧調整件

36‧‧‧保護件

37‧‧‧保持件

4‧‧‧輔助限位模組

41‧‧‧基座

411‧‧‧抵靠側緣

42‧‧‧凸齒

43‧‧‧強化桿體

5‧‧‧基板

D1‧‧‧第一方向

D2‧‧‧第二方向

D3‧‧‧第三方向

本新型之其他的特徵及功效，將於參照圖式的實施方式中清楚地呈現，其中：
圖1是本新型基板用卡匣的實施例的立體圖；
圖2是該實施例的俯視圖；
圖3是說明該實施例的中間限位模組和兩輔助限位模組的前視圖；
圖4是說明該中間限位模組的前視分解圖；
圖5是說明該實施例的中間限位模組和輔助限位模組的側視圖；
圖6是沿圖5中VI-VI直線所取的不完整剖視圖；
圖7是沿圖5中VII-VII直線所取的不完整剖視圖；
圖8是沿圖1中VIII-VIII直線所取的剖視圖；
圖9是圖8中的局部區域放大圖；
圖10是支撐桿在座部底面全面抵靠於抵靠面時之狀態示意圖；及
圖11為圖10中的支撐桿於調整完畢後之狀態示意圖。

Claims (16)

1. 一種基板用卡匣，包含：
   一框架，包括兩個第一側架體及兩個第二側架體，該兩第一側架體彼此平行相對且相間隔，該兩第二側架體彼此平行相對且相間隔並分別連接該兩第一側架體以共同形成一容置空間及進出該容置空間的一開口；
   兩個側邊限位模組，設於該框架且彼此相向地分別相鄰該兩第一側架體，各該側邊限位模組具有在垂直該開口的一第一方向延伸的多個肋條以界定多個分別自該開口接納並容置一基板的容納間隙，各該容納間隙介於兩個該肋條之間，且該兩側邊限位模組的該等肋條位置在平行該兩第二側架體的一第二方向上一對一相對應；以及
   一中間限位模組，具有一固定基柱及多個支撐單元，其中
   該固定基柱在平行該兩第一側架體而垂直該第一方向及該第二方向的一第三方向延伸且兩端分別連接該兩第二側架體，該固定基柱並包括有面向該開口的一抵靠面，
   該等支撐單元與該固定基柱連接，各該支撐單元具有一支撐桿及兩個固定件，該支撐桿具有一座部及一桿部，該座部具有抵靠於該抵靠面的一底面及相反於該底面的一頂面，該桿部自該座部的該頂面朝向該開口在該第一方向一體延伸，該兩固定件分別穿過該座部後與該固定基柱固接而使該支撐桿與該固定基柱結合固定，且每一該支撐桿係與該等側邊限位模組中之一對相互對應的該等肋條共同支撐並限位一片該基板。
2. 如請求項1所述基板用卡匣，其中，該固定基柱具有兩個側板部及連接該兩側板部的一連接板部，且該兩側板部及該連接板部三者共同界定面向該開口且在該第三方向延伸的一限位槽，該兩側板部共同形成面向該開口的一抵靠面，該支撐桿還具有一限位部，該限位部自該座部的底面凸出以配合容置於該限位槽，該兩固定件穿過該座部並分別與該固定基柱的兩側板部固接而使該支撐桿與該固定基柱結合固定。
3. 如請求項2所述基板用卡匣，其中，該連接板部設有多個沿該第三方向間隔排列的定位孔，每一該支撐桿之該限位部皆與一該定位孔對應，且各該限位部之至少部分凸伸進對應之該定位孔中。
4. 如請求項1所述基板用卡匣，其中，該支撐桿由一主體與一內桿體構成，且該內桿體埋設於該主體軸心。
5. 如請求項4所述基板用卡匣，其中，該固定基柱設有多個沿該第三方向間隔排列的定位孔，且各該支撐桿還具一自該座部的該底面凸出的限位部，該限位部包括該內桿體凸露出於該主體的一端部，且該限位部之至少部分凸伸進對應之該定位孔中。
6. 如請求項1所述基板用卡匣，其中，各該支撐單元還具有一調整件，該座部還具有分別面向該兩第二側架體的一第一側緣及一第二側緣，且該座部鄰近於該抵靠面及該第一側緣處的厚度小於該座部鄰近於該抵靠面及該第二側緣處的厚度，以使該底面全面抵靠於該抵靠面時該桿部尾端朝偏向該第一側緣的方向傾斜，該調整件可調整該桿部與該固定基柱間的夾角地穿設於該固定基柱並施力於該底面偏靠該第一側緣處。
7. 如請求項6所述基板用卡匣，其中，各該支撐單元還具有一位於該支撐桿與該調整件之間而受該調整件頂抵之保護件。
8. 如請求項7所述基板用卡匣，其中，各該支撐單元還具有一保持件，該保持件同時抵接於該調整件及該固定基柱。
9. 如請求項1至8中之任一項所述基板用卡匣，還包含位於該中間限位模組之至少一側的至少一輔助限位模組，各該輔助限位模組具有一基座及多個凸齒，該基座係平行於該固定基柱延伸且兩端分別連接該兩第二側架體並具有面向該開口的一抵靠側緣，該等凸齒分別自該抵靠側緣向該開口方向凸伸且位置分別與該等肋條及該等支撐桿在該第二方向上相對應，以在每兩相鄰的該等凸齒間形成與一個該容納間隙對應以共同限位一片該基板的空間。
10. 如請求項9所述基板用卡匣，其中，該等凸齒由低摩擦係數材料製成。
11. 如請求項9所述基板用卡匣，其中，各該輔助限位模組還具有至少一埋設於該基座且沿該第三方向貫穿該基座的強化桿體。
12. 如請求項11所述基板用卡匣，其中，該強化桿體由金屬或碳纖維複合材料製成。
13. 如請求項9所述基板用卡匣，其中，各該輔助限位模組可選擇性地設置於一第一限位位置或一第二限位位置，且當各該輔助限位模組位於該第一限位位置時與該開口的距離係小於當各該輔助限位模組位於該第二限位位置時與該開口的距離。
14. 如請求項4或5所述基板用卡匣，其中，各該支撐桿的該內桿體由金屬或碳纖維複合材料製成。
15. 如請求項1所述基板用卡匣，其中，各該支撐桿的該桿部由低摩擦係數材料製成。
16. 如請求項1所述基板用卡匣，其中，該兩側邊限位模組可選擇性地設置於一第一支撐位置或一第二支撐位置，且當該兩側邊限位模組位於該第一支撐位置時，該兩側邊限位模組間的距離係小於當該兩側邊限位模組位於該第二支撐位置時該兩側邊限位模組間的距離。