TWI824795B - 載板懸浮手臂 - Google Patents

Abstract

本發明為一種載板懸浮手臂，其具有一固定座，固定座內設有一推頂 機構，外部連接有一承載機構，推頂機構在朝向承載機構一側安裝有可往復位移的推桿，推桿具有推部，承載機構的本體頂面形成有複數凹槽並安裝有導氣塊，兩者之間形成有吹氣口，本體內形成有流道組，流道組一端的進氣口貫穿本體以使氣體輸入，另一端與凹槽連接，氣體由吹氣口吹出，使待移送的載板懸浮在承載機構上方，承載機構形成有前擋塊，前擋塊與推部分別形成有斜面，推桿可突伸推移載板並位在前擋塊及推部的斜面之間，使載板以懸浮形態位在承載機構上，具有可避免在移送中造成載板的損壞的實用功效。

Description

載板懸浮手臂

本發明為物品移送裝置，尤指一種利用吹氣產生負壓使載板可懸浮定位後進行移送的載板懸浮手臂。

載板廣泛運用在各種電子產品上，其構造在一薄片上設置有線路，運用線路連接晶片與印刷電路板之間的訊號，可用以保護電路、固定線路及餘熱予以引導散熱，又由於載板在晶圓製作完成經裁切後與薄片封裝，載板的線路較為精密，再者要將良率維持在一定品質亦屬不容易，進而使得生產製造的成本亦較高。

在生產製造過程中，必須將載板半成品移送至各加工站進行加工，由於所移送的載板為一薄片體且片體上具有精細的線路，若移送裝置在移送時接觸到載板上的線路，將使得線路受到不同程度的破壞進而造成良率的降低，因此若欲提高載板的生產良率，其中在移送過程中若載板與承載裝置不直接接觸，將可減少對載板受到損壞，因此實有創作一種不與載板接觸並可達到移送的移送裝置，實有其必要。

有鑑於現有技術所存在的問題，本發明提供一種可將載板以懸浮形態位在移送的手臂上，由於移送過程中不會造成載板的損壞為其目的。

為了可達到前述的發明目的，本發明所運用的技術手段在於提供一種載板懸浮手臂，其包括有一固定座、一推頂機構、一承載機構；該固定座為具有容置空間的一中空體，其一側壁貫穿形成有一開口；該推頂機構至少包括有一推桿及一壓缸，該推桿為一板件，其一端為一結合部，另一端具有至少一推部，該壓缸具有一缸體及由缸體突伸向外的二桿體，該缸體安裝在該固定座，該結合部貫穿設該開口與各該桿體連接；該承載機構包括有一本體及複數導氣塊，該本體為一長形片體，其具有位在該長形片體相對兩側的一頂面及一底面，該本體形成有一懸浮部、二流道部及二封板，該懸浮部一端具有一連接板，該連接板與該固定座相互連接，另一端形成有二支臂，每一該支臂具有複數凹槽，凹槽由該本體的頂面內凹形成，該流道部為內凹形成在該本體的每一該支臂底面，其一端具有至少一進氣口且貫穿該本體的頂面，另一端具有至少一出氣口，該出氣口與該凹槽連通，各該封板對應安裝在該本體並封閉流道部，各該導氣塊為一塊體，其具有一外環壁面，該導氣塊安裝固定在該凹槽內部，該外環壁面與該凹槽的內壁面之間形成有一環流道，該本體的每一該支臂頂面與導氣塊之間形成有一吹氣口，該吹氣口與該環流道相連接。

所述之載板懸浮手臂，其中該推桿的各該推部分別形成有一斜面，該支臂在遠離連接板一端形成有向上突出的一前擋塊，該前擋塊形成有一斜面，該前擋塊的斜面與該推桿的各該推部的斜面為相對設置，以形成為一上方窄且下方寬的一錐形空間。

所述之載板懸浮手臂，其中進一步具有一組接塊及一組接件，該組接塊可分別與該壓缸的該兩桿體相互連接，該組接件為一板體，該組接件的一側與該組接塊連接，另一側與該推桿的該結合部連接。

所述之載板懸浮手臂，其中該組接件的兩端分別突出形成有一突板，另進一步具有二導軌組及二第一緩衝件，該導軌組具有一滑軌及一滑 塊，各該導軌組安裝在該壓缸的兩側，該滑軌固定在該固定座，該滑塊相對於該滑軌滑移並與該組接件固定，另相對於每一該導軌組設有一第二緩衝件，該第二緩衝件相對於滑塊的移動路徑，該第一緩衝件具有一桿體及一基座，該基座一端組裝在該固定座，另一端形成有一穿孔，該桿體外部具有螺紋，該桿體穿設位在該基座的穿孔內並與該突板相對應，該桿體設有兩螺帽，該兩螺帽位在該基座的兩側。

所述之載板懸浮手臂，其中該流道部在該支臂另具有一外主流道及至少一外支流道，該進氣口與該外主流道一端連接，該外主流道的另一端與各該外支流道的一端連接，各該外支流道的另一端連接對應的該出氣口；另具有一內主流道及至少一內支流道，該進氣口與該內主流道一端連接，該內主流道的另一端與各該內支流道的一端連接，各該內支流道的另一端連接對應的該出氣口。

所述之載板懸浮手臂，其中該本體的該支臂設有至少一後止滑墊及至少一前止滑墊，該後止滑墊相鄰於該推桿的該推部，該前止滑墊相鄰於該前擋塊。

所述之載板懸浮手臂，其中該壓缸的外壁面設有一前位偵測器及一後位偵測器。

所述之載板懸浮手臂，其中該本體的連接板底面安裝有一振動感測器，在頂面安裝有一物品感測器。

所述之載板懸浮手臂，其進一步具有一法蘭座，該法蘭座與該固定座相互結合固定，該法蘭座具有複數桿體，各該桿體與該固定座結合固定。

本發明藉由前述技術手段運用，由於運用本體所創作的懸浮部，可將移送的載板以懸浮形態位在該手臂的本體上方，並使得載板在移送過 程中不會與手臂有接觸，以避免載板不被碰觸損壞，又運用推頂機構以推桿施以適當的推力使推部推移載板，位在推部與前擋塊間並配合斜面，可使載板穩定位在本體的懸浮部上方，以使載板具有可穩固的移送等優點及功效。

10:固定座

11:座體

111:開口

12:蓋板

13:支撐板

20:推頂機構

21:推桿

211:結合部

212:推部

22:壓缸

221:缸體

222:組接塊

223:前位偵測器

224:後位偵測器

23:導軌組

231:滑軌

232:滑塊

233:第二緩衝件

24:組接件

241:突板

25:第一緩衝件

251:桿體

252:基座

30:本體

300:通孔

31:懸浮部

310:連接板

311:支臂

312:凹槽

313:環流道

315:前擋塊

316:後止滑墊

317:前止滑墊

32:流道部

321:外主流道

322:外支流道

323:進氣口

324:出氣口

325:內主流道

326:內支流道

327:進氣口

328:出氣口

33:封板

34:振動感測器

35:物品感測器

40:導氣塊

41:外環壁面

42:吹氣口

50:法蘭座

60:載板

圖1為本發明的立體外觀圖。

圖2為本發明的立體分解外觀圖。

圖3為本發明之推頂機構的部分示意圖。

圖4為本發明之推頂機構的部分立體外觀示意圖。

圖5為本發明之推頂機構的剖面示意圖。

圖6為本發明之承載機構的仰視分解示意圖。

圖7為本發明之承載機構的示意圖。

圖8為本發明之承載機構的剖面示意圖。

圖9為本發明之承載機構的另一剖面示意圖。

圖10為本發明的側視示意圖。

圖11為本發明的剖面示意圖。

參看圖1及圖2所示，本發明為一種載板懸浮手臂，其包括有一固定座10、一推頂機構20及一承載機構；本發明除了可用於載板的移送之外，也可以用於對玻璃面板等薄片體的移送。

該固定座10至少具有一座體11，如圖中所示的具體實施例該座體11內凹形成有一容室，於上方可設有一蓋板12，該固定座10為一具有容置空 間的中空體，座體11於一側壁貫穿形成有一開口111，另座體11底部可進一步設置一支撐板13；配合參看圖2、圖3及圖4所示，該推頂機構20設置在該固定座10，其至少包括有一推桿21及一壓缸22，該推桿21可為一板件，其一端為一結合部211，另一端具有至少一推部212，該推桿21的各該推部212的外壁面形成為一斜面，該推部212為一塊體，其可分離地與該推桿21連接固定，其連接構造可在推桿21上設有二固定孔組，每一固定孔組與推桿21端緣距離不同，推部212與不同固定孔組固定，以提供不同尺寸的載板移送，如圖所示的具體實施例該推桿21具有兩該推部212，兩該推部212為間隔配置，該結合部211貫穿該開口111位在該座體11內，該壓缸22為現有制式組件，其具有一缸體221及由缸體221突伸向外的二桿體，該缸體221安裝在該座體11，由缸體221突出的該桿體端頭可連接該推桿21的結合部211，藉由該壓缸22的動力可使推桿21往復位移，如圖所示的具體實施例可進一步具有一組接塊222，該組接塊222可分別與該壓缸22的該兩桿體相互連接，及與該推桿21的該結合部211連接；又壓缸22的外壁面可設有一前位偵測器223及一後位偵測器224，藉此可將該缸體221的該二桿體往復移動的位置訊號予以檢測輸出；再者該推頂機構20可進一步設有一組接件24，該組接件24為一板體，於兩端分別突出形成有一突板241，該組接件24的一側與該組接塊222連接，另一側與該推桿21的該結合部211連接，該壓缸22的推力可經由組接塊222及組接件24以驅動該推桿21移動；另具有兩導軌組23，各該導軌組23安裝在該座體11並位在壓缸22的兩側，該導軌組23具有一滑軌231及一滑塊232，該滑軌231固定在該座體11，該滑塊232可相對於該滑軌231滑移，另相對於每一該導軌組23設有一第二緩衝件233，可為一塊體並由具緩衝作用的材料製成，該第 二緩衝件233安裝在該座體11並對應於該滑塊232移動的方向，具有可吸收該滑塊232向後位移的撞擊力。

配合參看圖5所示，該推頂機構20另設有兩第一緩衝件25，其為一現有技術的制式組件，各該第一緩衝件25具有一桿體251及一基座252，該基座252一端組裝在該座體11，另一端形成有一穿孔，該桿體251外部具有螺紋，該桿體251穿設位在該基座252的穿孔內，在該桿體251設有兩螺帽，該兩螺帽位在該基座252的兩側，該桿體251突設有具緩衝效果的作動桿，該作動桿為對應於該組接件24的突板241位置，該組接件24的突板241在移動並推抵作動桿時，作動桿可提供緩衝作用。

參看圖1、圖6及圖7所示，該承載機構包括有一本體30及複數導氣塊40；配合參看圖8及圖9所示，該本體30為一長形片體，其具有一頂面及一底面，頂面及底面分別位在長形片體的相對兩側面，該本體30形成有一懸浮部31、二流道部32及二封板33，該懸浮部31一端具有一連接板310，該連接板310與該固定座10相互連接，另一端形成有二支臂311，每一該支臂311具有複數凹槽312，凹槽312由該本體30的頂面內凹形成，如圖中所示的具體實施例該支臂311的各該凹槽312位在同一直線上；該流道部32為內凹形成在該本體30的每一該支臂311底面，每一該支臂311具有一外主流道321、至少一外支流道322、一進氣口323及至少一出氣口324，該進氣口323與該外主流道321一端連接且貫穿本體30的頂面，該外主流道321的另一端與各該外支流道322的一端連接，各該外支流道322的另一端與至少一該出氣口324連接，每一該出氣口324與每一該凹槽312相互連通；如圖所示的具體實施例，每一該支臂311另具有一內主流道325、至少一內支流道326、一進氣口327及至少一出氣口328，該進氣口327與該內主流道325一端 連接且貫穿本體30的頂面，該內主流道325的另一端與各該內支流道326的一端連接，各該內支流道326的另一端與至少一該出氣口328連接，每一該出氣口328與每一該凹槽312相互連通；再者該外主流道321連接的該出氣口324與該內主流道325的該出氣口328分別連通位在該凹槽312環周面的相對位置處，該出氣口324與該出氣口328的進入方向位在該凹槽312環周面的切線位置，以使進入該凹槽312的氣體可順利環繞，增進氣流的順暢及流速；前述的外主流道321及外支流道322的內徑尺寸朝向出氣口324為漸減，另內主流道325及內支流道326的內徑尺寸朝向出氣口328亦為漸減，藉此構造可增進氣體的流速及提高流勭效率。

該封板33為一片體，其形狀對應於流道部32形狀，為安裝設置在該本體30的每一該支臂311底面並將流道部32的該外主流道321、各該外支流道322、該內主流道325與各該內支流道326封閉，該封板33與該本體30的每一該支臂311底面的連接封閉技術手段為現有技術，故不再進一步詳細描述。

配合參看圖6及圖8所示，導氣塊40為塊體，其具有一外環壁面41，該導氣塊40安裝固定在該凹槽312內部，該外環壁面41與該凹槽312的內壁面之間形成有一環流道313，另在該本體30的每一該支臂311頂面與導氣塊40之間形成有一吹氣口42，該吹氣口42與該環流道313相連接，當氣體分別由進氣口323進入外主流道321及外支流道322，再由出氣口324進入環流道313，以及由另一進氣口327進入內主流道325及內支流道326，再由出氣口328進入環流道313，使得氣體在環流道313內形成旋轉氣流再由該吹氣口42吹出；每一該支臂311在遠離連接板310一端形成有向上突出的一前擋塊315，該前擋塊315形成有一斜面，該前擋塊315的斜面與該推桿21的各該推部212形成的斜面為相對設置，所形成的容置空間為一上方窄且下方寬的一錐形空間，該容置空間可供所承載的載板以懸浮形態位在其中。

該本體30的片體對應於各該推部212位置貫穿設有通孔300，該通孔300可供該推部212位在內部位移。

配合參看圖1、圖10及圖11所示，在該本體30的該支臂311上設有至少一後止滑墊316及至少一前止滑墊317，該後止滑墊316相鄰於該推桿的該推部212，該前止滑墊317相鄰於該前擋塊315。

該本體30的連接板310底面安裝有一振動感測器34，在頂面安裝有一物品感測器35，該物品感測器35的感測頭突伸位在該懸浮部31處，承載機構的本體30上承載有載板時，該物品感測器35將訊號傳送至控制單元，該控制單元可啟動該壓缸22以驅動該推桿21移動，使載板可位在懸浮部上方，在移送過程中，若手臂產生有較大振動，振動感測器34將發出訊號傳送至控制單元或提示使用者。

參看圖1及圖2所示，本發明進一步具有一法蘭座50，該法蘭座50與該固定座10相互結合固定，該法蘭座50具有複數與該固定座10的桿體，以達到兩者之間可穩固的結合固定，藉由該法蘭座50與其它組件連接。

參看圖1、圖10及圖11所示，本發明在進行載板60的移送時，當本發明的該本體30的該懸浮部31位在載板60下方，由該支臂311的各該導氣塊40處的各該吹氣口42吹出的氣體將形成漩滑狀的向外吹出，氣體在撞擊到載板60會朝向外側流動，因此載板60下方位置的壓力較上方位置的壓力低，使得載板60上方的壓力大於下方之壓力而朝向本體30靠近，再者使用者可控制調整氣體進入流道部32的進氣量，以使得載板60下方所受氣體吹拂之推力與載板60上方之壓力相等，如此可使載板60可懸浮定位在該本體30的該支臂311上方，以達到未接觸載板60即可予以移送，並可避免在移送過程中造成載板的踫撞損壞。

10:固定座

11:座體

111:開口

12:蓋板

13:支撐板

20:推頂機構

30:本體

35:物品感測器

Claims (9)

1. 一種載板懸浮手臂，其包括有一固定座、一推頂機構、一承載機構； 該固定座為具有容置空間的一中空體，其一側壁貫穿形成有一開口； 該推頂機構至少包括有一推桿及一壓缸，該推桿為一板件，其一端為一結合部，另一端具有至少一推部，該壓缸具有一缸體及由缸體突伸向外的二桿體，該缸體安裝在該固定座，該結合部貫穿設該開口與各該桿體連接； 該承載機構包括有一本體及複數導氣塊，該本體為一長形片體，其具有位在該長形片體相對兩側的一頂面及一底面，該本體形成有一懸浮部、二流道部及二封板，該懸浮部一端具有一連接板，該連接板與該固定座相互連接，另一端形成有二支臂，每一該支臂具有複數凹槽，凹槽由該本體的頂面內凹形成，該流道部為內凹形成在該本體的每一該支臂底面，其一端具有至少一進氣口且貫穿該本體的頂面，另一端具有至少一出氣口，該出氣口與該凹槽連通，各該封板對應安裝在該本體並封閉流道部，各該導氣塊為一塊體，其具有一外環壁面，該導氣塊安裝固定在該凹槽內部，該外環壁面與該凹槽的內壁面之間形成有一環流道，該本體的每一該支臂頂面與導氣塊之間形成有一吹氣口，該吹氣口與該環流道相連接。
2. 如請求項1所述之載板懸浮手臂，其中該推桿的各該推部分別形成有一斜面，該支臂在遠離連接板一端形成有向上突出的一前擋塊，該前擋塊形成有一斜面，該前擋塊的斜面與該推桿的各該推部的斜面為相對設置，以形成為一上方窄且下方寬的一錐形空間。
3. 如請求項1所述之載板懸浮手臂，其中進一步具有一組接塊及一組接件，該組接塊可分別與該壓缸的該兩桿體相互連接，該組接件為一板體，該組接件的一側與該組接塊連接，另一側與該推桿的該結合部連接。
4. 如請求項3所述之載板懸浮手臂，其中該組接件的兩端分別突出形成有一突板，另進一步具有二導軌組及二第一緩衝件，該導軌組具有一滑軌及一滑塊，各該導軌組安裝在該壓缸的兩側，該滑軌固定在該固定座，該滑塊相對於該滑軌滑移並與該組接件固定，另相對於每一該導軌組設有一第二緩衝件，該第二緩衝件相對於滑塊的移動路徑，該第一緩衝件具有一桿體及一基座，該基座一端組裝在該固定座，另一端形成有一穿孔，該桿體外部具有螺紋，該桿體穿設位在該基座的穿孔內並與該突板相對應，該桿體設有兩螺帽，該兩螺帽位在該基座的兩側。
5. 如請求項1或4所述之載板懸浮手臂，其中該流道部在該支臂另具有一外主流道及至少一外支流道，該進氣口與該外主流道一端連接，該外主流道的另一端與各該外支流道的一端連接，各該外支流道的另一端連接對應的該出氣口；另具有一內主流道及至少一內支流道，該進氣口與該內主流道一端連接，該內主流道的另一端與各該內支流道的一端連接，各該內支流道的另一端連接對應的該出氣口。
6. 如請求項2所述之載板懸浮手臂，其中該本體的該支臂設有至少一後止滑墊及至少一前止滑墊，該後止滑墊相鄰於該推桿的該推部，該前止滑墊相鄰於該前擋塊。
7. 如請求項5所述之載板懸浮手臂，其中該壓缸的外壁面設有一前位偵測器及一後位偵測器。
8. 如請求項1所述之載板懸浮手臂，其中該本體的連接板底面安裝有一振動感測器，在頂面安裝有一物品感測器。
9. 如請求項1所述之載板懸浮手臂，其進一步具有一法蘭座，該法蘭座與該固定座相互結合固定，該法蘭座具有複數桿體，各該桿體與該固定座結合固定。

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