TWI814679B - 載板懸浮手臂 - Google Patents
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Abstract
本創作提出一種載板懸浮手臂，其用以承載一基板。載板懸浮手臂具有一固定座、至少一承載板、以及至少一扣合機構。承載板具有一連接部、一扣合部、一承載部、以及一承載面。連接部及扣合部分別位於承載板的兩端，且連接部連接於固定座；承載部連接於連接部及扣合部，且一流道形成於其中；承載面包含承載板朝上之一面，複數個吹氣口形成於承載面，吹氣口與流道相連通。扣合機構包含一扣合件。扣合件可活動地連接於扣合部，並選擇性地與承載板共同固定基板。藉此本創作的載板懸浮手臂可以避免其所承載的基板產生振動，或因為氣流而產生摺痕。
Description
本創作是關於一種物品運送的裝置，尤其是關於一種以吹氣產生負壓使載板懸浮定位的懸浮手臂。
在載板生產的產線上，有一種使用氣流吹氣的方式，使載板懸浮避免碰觸的懸浮運送手臂。其利用在載板的下方吹氣撐起載板，並使氣流流動產生負壓，使載板被定位在懸浮運送手臂上，藉此達到以不接觸的方式運送載板，避免因碰觸損壞而降低生產的良率。
然而，在運送如金屬薄板等較軟的材質時，在運送的過程中很容易受到氣流影響，使其振動或是產生皺摺，而降低生產的良率。
有鑑於此，一個更佳的解決方案，乃為本業界亟待解決的問題。
本創作的主要目的為，提出一種載板懸浮手臂，其能夠避免在運送基板的過程中，避免該基板受氣流影響而振動或產生皺褶。
為達成上述目的，本創作所提出的載板懸浮手臂包含：
一固定座；
至少一承載板，其用以承載該基板；各該至少一承載板具有：
一連接部及一扣合部，其分別位於該至少一承載板的相對兩端；該連接部連接於該固定座；
一承載部，其連接該連接部及該扣合部，且該承載部內形成有一流道；
一承載面，其包含該至少一承載板朝向上方之一面，該承載面用以承載該基板；該承載面形成有複數個吹氣口，且該等吹氣口與該流道連通；
至少一扣合機構，其設置於該至少一承載板的該扣合部，各該至少一扣合機構包含：
一扣合件，其可活動地連接於該扣合部，並用以選擇性地與該承載板共同固定該基板。
因此，本創作的優點在於，本創作的載板懸浮手臂具有扣合機構，而該扣合機構具有的扣合件能用以抵靠基板的上側面，藉此避免基板在運送的過程中產生上下振動，且避免氣流影響導致基板產生皺摺，以提高生產的良率。如此一來，本創作的載板懸浮手臂也能夠承載較薄或較軟材質的基板，能夠支援更多樣化的基板材料生產。
如前所述之載板懸浮手臂，其更包含一固定機構，該固定機構包含前述固定座；該固定機構更包含：一推頂件，其包含：一推頂部，該推頂部具有一推頂面，且該推頂面朝向遠離該固定座之方向；以及一移動部，該移動部可移動地穿設於該固定座。
如前所述之載板懸浮手臂，其中該至少一扣合機構更包含：一制動器，其設置於該承載板的該扣合部；以及一導桿，其可移動且可轉動地設置於該制動器，該導桿藉由該制動器驅動而沿該導桿的長度方向移動，該導桿具有：一第一端，該第一端連接於該制動器；以及一第二端，該第二端能隨該導桿在一扣合位置及一釋放位置之間移動；其中，該扣合件連接於該第二端，且該扣合件能隨該導桿轉動，該扣合件具有一抵靠面，當該第二端位於該扣合位置時，該抵靠面位於該承載面上方，且該抵靠面朝向該承載面。
如前所述之載板懸浮手臂，其中：該導桿具有一轉軸，其沿該導桿的長度方向延伸，且該導桿能沿該轉軸轉動；該導桿更包含：一外周面，其環繞於該轉軸；以及至少一導軌，其形成於該外周面，該至少一導軌相對於該轉軸為傾斜；且該至少一扣合機構更包含：一固定件，其固設於該承載板的該扣合部，該固定件具有至少一抵靠部，該至少一抵靠部抵靠於該至少一導軌；藉此，當該制動器驅動該導桿，使該第二端在該扣合位置與該釋放位置之間移動時，該至少一導軌受到該至少一抵靠部的推抵而使該導桿能轉動。
如前所述之載板懸浮手臂，其中該至少一抵靠部的數量為兩個，且該至少一導軌的數量為兩個；該二導軌位於該導桿的該外周面上相對該轉軸的兩側，且該二抵靠部分別抵靠於該二導軌。
如前所述之載板懸浮手臂，其中各該至少一承載板更具有：複數個出氣槽，其凹陷形成於該承載面，且該等出氣槽與該流道連通；以及複數個導氣塊，其分別設置於該等出氣槽，各該導氣塊具有一外環壁面，該外環壁面與該出氣槽的內壁面之間形成一腔室，該腔室與該流道相連通；該等吹氣口形成於該承載面與各該導氣塊之間，且該等吹氣口與該腔室相連通。
如前所述之載板懸浮手臂，其中各該導氣塊具有複數條導氣槽，其凹陷形成於該外環壁面，該腔室透過該等導氣槽連通於該等吹氣口。
如前所述之載板懸浮手臂，其中各該導氣塊具有一中心軸，該外環壁面環繞該中心軸，且各該導氣槽的延伸方向相對於該中心軸為傾斜。
如前所述之載板懸浮手臂，其中，該等導氣塊的各該導氣槽更具有：一進氣端以及一出氣端，該吹氣口形成於該出氣端與該承載面之間，且該進氣端的截面大於該吹氣口。
如前所述之載板懸浮手臂，其中該至少一承載板的數量為四個，且該等承載板兩兩一組，各該組的該二承載板的該連接部相連接。
首先請參考圖1，本創作提出一種載板懸浮手臂，其用以承載一基板。本創作的載板懸浮手臂具有一固定機構10、至少一承載板20、以及至少一扣合機構30。本實施例中包含四個承載板20及四個扣合機構30，但並不以此為限；在其他實施例中，載板懸浮手臂可以僅包含兩個承載板20及兩個扣合機構30，或包含多於四個承載板20及多於四個扣合機構30，或承載板20的數量可以與扣合機構30的數量不同。
固定機構10包含一固定座11以及一推頂件12。推頂件12包含一推頂部121及一移動部122，推頂部121具有一推頂面1211，推頂面1211朝向遠離固定座11之方向，而移動部122可移動地穿設於固定座11。本實施例中，推頂部121連接於移動部122朝向承載板20的一端，而藉由移動部122的移動朝遠離固定座11的方向推頂基板，但並不以此為限，在其他實施例中，推頂部121可以連接於移動部122的其他位置。
接著請參考圖1至圖4。承載板20具有一承載面21、一連接部22、一扣合部23、一承載部24、複數個出氣槽25、以及複數個導氣塊26。承載板20朝向上方之一面為承載面21，其橫跨連接部22、扣合部23及承載部24，承載面21用以承載基板。具體而言，承載板20可分為連接部22、扣合部23、以及承載部24等三個部分，此三個部分朝向上方之一面皆屬於承載面21。
連接部22及扣合部23分別位於承載板20的相對兩端，連接部22連接於固定座11，扣合機構30設置於扣合部23。本實施例中的四個承載板20兩兩一組，而各組中承載板20的連接部22互相連接，使各組的二承載板20形成叉子狀的結構，但並不以此為限，在其他實施例中，承載板20的連接部22可不互相連接。
承載部24連接於連接部22及扣合部23，承載部24內形成有一流道241。出氣槽25凹陷形成於承載部24的承載面21，且出氣槽25與流道241連通。導氣塊26設置於出氣槽25，複數個吹氣口242形成於承載面21與各導氣塊26之間，且吹氣口242與流道241相連通。
接著請參考圖3至圖6。導氣塊26具有一外環壁面261以及複數導氣槽262。一腔室251形成於外環壁面261與出氣槽25的內壁面之間，且腔室251與流道241相連通。導氣槽262凹陷形成於外環壁面261，而腔室251透過導氣槽262連通於吹氣口242。導氣槽262具有一進氣端2621與一出氣端2622，吹氣口242形成於出氣端2622與承載面21之間。其中，進氣端2621的截面可大於吹氣口242，但並不以此為限。此外，各導氣塊26可定義一條中心軸M，外環壁面261環繞於中心軸M，其中，導氣槽262的延伸方向相對於中心軸M為傾斜；具體而言，進氣端2621至中心軸M的連線與出氣端2622至中心軸M的連線之間具有一不為零度之夾角，但並不以此為限；在其他實施例中，導氣槽262的延伸方向相對於中心軸M可不為傾斜。
接著請參考圖7至圖10。扣合機構30分別設置於承載板20的扣合部23。各扣合機構30包含一制動器31、一導桿32、一扣合件33、以及一固定件34。制動器31設置於承載板20的扣合部23，而導桿32可移動且可轉動地設置於制動器31，且導桿32藉由制動器31驅動而沿導桿32的長度方向移動。
導桿32具有一第一端321、一第二端322、一外周面323、以及至少一導軌324。第一端321連接於制動器31，而第二端322能隨導桿32在一扣合位置及一釋放位置之間移動。導桿32可定義一轉軸，該轉軸沿導桿32的長度方向延伸，且導桿32能沿該轉軸轉動。外周面323環繞於該轉軸。導軌324形成於外周面323，且導軌324相對於該轉軸為傾斜；具體而言，導軌324可具有一螺旋段及至少一直線段，螺旋段相對於該轉軸為傾斜，直線段沿導桿32的長度方向延伸，故導軌324除了沿導桿32的長度方向延伸，也相對該轉軸沿周向延伸。本實施例中，導軌324具有兩直線段及一螺旋段，而兩直線段分別連接於螺旋段的兩端，但並不以此為限。
扣合件33連接於導桿32的第二端322，其能隨導桿32轉動，扣合件33用以選擇性地與承載板20共同固定基板。其中，扣合部23可具有一收納空間，當第二端322位於釋放位置時，扣合件33之整體將位於該收納空間中；具體而言，當導桿32的第二端322從扣合位置朝釋放位置移動時，扣合件33隨導桿32移動及轉動，而進入該收納空間中，藉此扣合件33不凸出於承載面21。扣合件33具有一抵靠面331，當第二端322位於扣合位置時，抵靠面331能轉動至於承載面21的上方且朝向承載面21。
固定件34固設於承載板20的扣合部23，其具有至少一抵靠部341。抵靠部341抵靠於導軌324，藉此當制動器31驅動導桿32使第二端322在扣合位置與釋放位置之間移動時，導軌324受到抵靠部341的推抵而使導桿32能轉動。
本實施例中，抵靠部341為一凸出結構，且導軌324為一凹陷結構並凹陷於導桿32的外周面323，故抵靠部341抵靠於導軌324時，抵靠部341的凸出結構容置於導軌324的凹陷結構，但並不以此為限；在其他實施例中，抵靠部可為凹陷結構而導軌為凸出結構，且導軌的凸出結構容置於抵靠部的凹陷結構。本實施例中，抵靠部341的數量為兩個，且導軌324的數量亦為兩個，兩導軌324位於導桿32的外周面323上相對該轉軸的兩側，而兩抵靠部341分別抵靠於兩導軌324，但並不以此為限；在其他實施例中，可僅有一個抵靠部或多於兩個抵靠部，而導軌的數量與抵靠部的數量相同。
如圖7中所示，本創作的載板懸浮手臂還可更具有一阻擋件40，其設置於承載面21，阻擋件40用以與推頂件12共同夾持基板，但並不以此為限，在其他實施例中，可不具有阻擋件40。
接著請參考圖11至圖13。如圖11中所示，導桿32的第二端位於釋放位置，扣合件33不凸出承載面21。接著如圖12中所示，制動器31沿導桿32的長度方向移動導桿32，從釋放位置往扣合位置移動的過程中，由於固定件34的抵靠部抵靠於導桿32的導軌324，使導桿32在此移動的過程中旋轉，而扣合件33亦於隨導桿32移動的過程中轉動而逐漸凸出承載面21。
具體而言，固定件34推抵於導軌324的螺旋段時，導桿32除了沿其長度方向移動，也會繞該轉軸轉動，而當固定件34推抵於導軌324的直線段時，導桿32沿其長度方向移動；故當導桿32的第二端322從釋放位置移動到扣合位置時，扣合件33能先轉動至使抵靠面331位於承載面21之上方，然後再移動至扣合住基板，避免在扣合件33轉動的過程中撞擊基板。
然後如圖13所示，導桿32的第二端322位於扣合位置時，扣合件33移動並轉動至抵靠面331位於承載面21的上方，且抵靠面331朝向承載面21而完成扣合的動作。
接著請參考圖4及圖14至圖15。本創作的載板懸浮手臂承載一基板A時，基板A位於承載板20的上方。氣流從流道241經過腔室251及導氣槽262後，從吹氣口242流出並撐起基板A。由於氣流的流動，降低基板A與承載板20之間的氣壓，因此基板A被其上方的氣壓向下固定在承載板20。前述導氣塊26上的導氣槽262相對於其中心軸傾斜的設計，可以減少氣流流出吹氣口242時的能量損耗。接著，推頂件12以推頂部121將基板A往承載板20的扣合部23推頂，然後扣合機構30的扣合件33的抵靠面331抵靠於基板A的上方，避免基板A在移動時受到氣流影響產生凸起或折痕。
綜上所述，本創作的載板懸浮手臂，具有扣合機構30抵靠於基板的上側面，所以能避免承載基板並運送時，因為氣流或振動等因素產生不必要的位移，而進一步避免導致基板產生折痕或凸起等損傷，而提高生產的良率。
10:固定機構
11:固定座
12:推頂件
121:推頂部
1211:推頂面
122:移動部
20:承載板
21:承載面
22:連接部
23:扣合部
24:承載部
241:流道
242:吹氣口
25:出氣槽
251:腔室
26:導氣塊
261:外環壁面
262:導氣槽
2621:進氣端
2622:出氣端
30:扣合機構
31:制動器
32:導桿
321:第一端
322:第二端
323:外周面
324:導軌
33:扣合件
331:抵靠面
34:固定件
341:抵靠部
40:阻擋件
A:基板
M:中心軸
圖1為本創作的載板懸浮手臂之立體示意圖。
圖2為本創作的導氣塊設置於出氣槽之立體示意圖。
圖3為本創作的導氣塊設置於出氣槽之立體分解示意圖。
圖4為本創作的導氣塊設置於出氣槽之立體透視示意圖。
圖5為本創作的導氣塊設置於出氣槽之側視剖視示意圖。
圖6為本創作的導氣塊之側視示意圖。
圖7為本創作的扣合機構設置於承載板之立體示意圖。
圖8為本創作的扣合機構之立體分解示意圖。
圖9為本創作的扣合機構之上視示意圖。
圖10為本創作的扣合機構之前視剖視示意圖。
圖11為本創作的扣合機構中導桿之第二端位於釋放位置時之側視示意圖。
圖12為本創作的扣合機構中導桿之第二端移動至釋放位置及扣合位置之間時之側視示意圖。
圖13為本創作的扣合機構中導桿之第二端位於扣合位置時之側視示意圖。
圖14為本創作的扣合件抵靠於基板之側視示意圖。
圖15為本創作的載板懸浮手臂承載基板時之立體示意圖。
10:固定機構
11:固定座
12:推頂件
121:推頂部
1211:推頂面
122:移動部
20:承載板
21:承載面
22:連接部
23:扣合部
24:承載部
26:導氣塊
30:扣合機構
Claims (10)
- 一種載板懸浮手臂，其用以承載一基板；該載板懸浮手臂具有： 一固定座； 至少一承載板，其用以承載該基板；各該至少一承載板具有： 一連接部及一扣合部，其分別位於該至少一承載板的相對兩端；該連接部連接於該固定座； 一承載部，其連接該連接部及該扣合部，且該承載部內形成有一流道； 一承載面，其包含該至少一承載板朝向上方之一面，該承載面用以承載該基板；該承載面形成有複數個吹氣口，且該等吹氣口與該流道連通； 至少一扣合機構，其設置於該至少一承載板的該扣合部，各該至少一扣合機構包含： 一扣合件，其可活動地連接於該扣合部，並用以選擇性地與該承載板共同固定該基板。
- 如請求項1所述之載板懸浮手臂，其更包含一固定機構，該固定機構包含前述固定座；該固定機構更包含： 一推頂件，其包含： 一推頂部，該推頂部具有一推頂面，且該推頂面朝向遠離該固定座之方向；以及 一移動部，該移動部可移動地穿設於該固定座。
- 如請求項1所述之載板懸浮手臂，其中該至少一扣合機構更包含： 一制動器，其設置於該承載板的該扣合部；以及 一導桿，其可移動且可轉動地設置於該制動器，該導桿藉由該制動器驅動而沿該導桿的長度方向移動，該導桿具有： 一第一端，該第一端連接於該制動器；以及 一第二端，該第二端能隨該導桿在一扣合位置及一釋放位置之間移動； 其中，該扣合件連接於該第二端，且該扣合件能隨該導桿轉動，該扣合件具有一抵靠面，當該第二端位於該扣合位置時，該抵靠面位於該承載面上方，且該抵靠面朝向該承載面。
- 如請求項3所述之載板懸浮手臂，其中： 該導桿具有一轉軸，其沿該導桿的長度方向延伸，且該導桿能沿該轉軸轉動；該導桿更包含： 一外周面，其環繞於該轉軸；以及 至少一導軌，其形成於該外周面，該至少一導軌相對於該轉軸為傾斜；且 該至少一扣合機構更包含： 一固定件，其固設於該承載板的該扣合部，該固定件具有至少一抵靠部，該至少一抵靠部抵靠於該至少一導軌； 藉此，當該制動器驅動該導桿，使該第二端在該扣合位置與該釋放位置之間移動時，該至少一導軌受到該至少一抵靠部的推抵而使該導桿能轉動。
- 如請求項4所述之載板懸浮手臂，其中該至少一抵靠部的數量為兩個，且該至少一導軌的數量為兩個；該二導軌位於該導桿的該外周面上相對該轉軸的兩側，且該二抵靠部分別抵靠於該二導軌。
- 如請求項1至5中任一項所述之載板懸浮手臂，其中各該至少一承載板更具有： 複數個出氣槽，其凹陷形成於該承載面，且該等出氣槽與該流道連通；以及 複數個導氣塊，其分別設置於該等出氣槽，各該導氣塊具有一外環壁面，該外環壁面與該出氣槽的內壁面之間形成一腔室，該腔室與該流道相連通；該等吹氣口形成於該承載面與各該導氣塊之間，且該等吹氣口與該腔室相連通。
- 如請求項6所述之載板懸浮手臂，其中各該導氣塊具有複數條導氣槽，其凹陷形成於該外環壁面，該腔室透過該等導氣槽連通於該等吹氣口。
- 如請求項7所述之載板懸浮手臂，其中各該導氣塊具有一中心軸，該外環壁面環繞該中心軸，且各該導氣槽的延伸方向相對於該中心軸為傾斜。
- 如請求項7所述之載板懸浮手臂，其中，該等導氣塊的各該導氣槽更具有： 一進氣端以及一出氣端，該吹氣口形成於該出氣端與該承載面之間，且該進氣端的截面大於該吹氣口。
- 如請求項1至5中任一項所述之載板懸浮手臂，其中該至少一承載板的數量為四個，且該等承載板兩兩一組，各該組的該二承載板的該連接部相連接。
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