TWI820494B - 壓力監視裝置、樹脂密封裝置及壓力監視方法 - Google Patents

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Abstract

本發明提供一種能夠抑制成形不良的發生的壓力監視裝置、樹脂密封裝置及壓力監視方法。壓力監視裝置包括：吸附壓力感測器，檢測使隔離膜吸附到模腔的排氣孔的吸附壓；脫氣壓力感測器，檢測對模腔內的空氣進行排氣的排氣孔的脫氣壓；以及監視部，與吸附壓力感測器及脫氣壓力感測器連接，監視部監視吸附壓及脫氣壓中的至少一者的每單位期間的變化量，當在吸附壓及脫氣壓的每單位期間的變化量增大的減壓期之後且吸附壓及脫氣壓的每單位期間的變化量逐漸接近0的均衡期變化量超過規定量的情況下，判斷為錯誤。

Description

壓力監視裝置、樹脂密封裝置及壓力監視方法
本發明涉及一種壓力監視裝置、樹脂密封裝置及壓力監視方法。
在樹脂密封裝置的樹脂密封模具，設置有用於吸附隔離膜或對內部空間進行脫氣的排氣孔。
例如專利文獻1中公開了一種樹脂密封模具，所述樹脂密封模具具有：下模，設置有用於對內部空間進行脫氣的排氣孔及用於固定工件的排氣孔；以及上模，設置有用於固定隔離膜的排氣孔。 [現有技術文獻] [專利文獻]
[專利文獻1]日本專利特開2018-51841號公報
[發明所要解決的問題]
在專利文獻1中記載的樹脂密封裝置的情況下，若發生隔離膜的脫落或脫氣不良等現象，則有可能發生成形不良。
本發明是鑒於此種情況而成，本發明的目的在於提供一種能夠抑制成形不良的發生的壓力監視裝置、樹脂密封裝置及壓力監視方法。 [解決問題的技術手段]
本發明的一形態的壓力監視裝置是監視來自樹脂密封模具的排氣壓的樹脂密封模具的壓力監視裝置，樹脂密封模具具有其中一個模具及另一個模具，包括：吸附壓力感測器，檢測使隔離膜吸附到設置於樹脂密封模具的其中一個模具的模腔的排氣孔的吸附壓；脫氣壓力感測器，檢測對設置於樹脂密封模具的另一個模具的模腔進行脫氣的排氣孔的脫氣壓；以及監視部，與吸附壓力感測器及脫氣壓力感測器連接，監視部監視吸附壓及脫氣壓中的至少一者的每單位期間的變化量，當在吸附壓及脫氣壓的每單位期間的變化量增大的減壓期之後且吸附壓及脫氣壓的每單位期間的變化量逐漸接近0的均衡期變化量超過規定量的情況下，判斷為錯誤。
根據所述形態，可檢出伴隨吸附壓或脫氣壓的微小的壓力變化的不良情況。例如通過檢出隔離膜暫時離開模具並警告隔離膜與工件的接觸，可抑制工件的元件特性發生變動的不良品的流出。另外，通過檢出由樹脂密封模具的劣化引起的真空洩漏並促進維護，可抑制密封用樹脂中混入空氣而產生的孔隙。
所述形態中，監視部可在吸附壓及脫氣壓中的至少一者的每單位期間的變化量連續兩次以上超過規定量的情況下，判斷為錯誤。
所述形態中，監視部可在吸附壓及脫氣壓中的至少一者的壓力值超過規定值的情況下，判斷為錯誤。
所述形態中，監視部可在吸附壓及脫氣壓中的至少一者的壓力值為規定值以下時，監視吸附壓及脫氣壓中的至少一者的每單位期間的變化量。
所述形態中，樹脂密封模具的其中一個模具可為上模，樹脂密封模具的另一個模具可為下模。
所述形態中，監視部可在模腔的脫氣過程中監視吸附壓的每單位期間的變化量。
所述形態中，監視部可在模腔的脫氣後監視脫氣壓的每單位期間的變化量。
本發明的一形態的樹脂密封裝置包括：所述形態中的任一形態的壓力監視裝置；樹脂密封模具；吸附泵，與樹脂密封模具的其中一個模具連接；脫氣泵，與樹脂密封模具的另一個模具連接；以及控制部，控制吸附泵及脫氣泵。
根據所述形態，可檢出伴隨吸附壓或脫氣壓的微小的壓力變化的不良情況。例如通過檢出隔離膜暫時離開模具並警告隔離膜與工件的接觸，可抑制工件的元件特性發生變動的不良品的流出。另外，通過檢出由樹脂密封模具的劣化引起的真空洩漏並促進維護，可抑制密封用樹脂中混入空氣而產生的孔隙。
本發明的一形態的壓力監視方法是監視來自樹脂密封模具的排氣壓的樹脂密封模具的壓力監視方法，樹脂密封模具具有其中一個模具及另一個模具，包括：檢測使隔離膜吸附到設置於樹脂密封模具的其中一個模具的模腔的排氣孔的吸附壓；檢測對設置於樹脂密封模具的另一個模具的模腔內的空氣進行排氣的排氣孔的脫氣壓；以及監視吸附壓及脫氣壓中的至少一者的每單位期間的變化量，當在吸附壓及脫氣壓的每單位期間的變化量增大的減壓期之後且吸附壓及脫氣壓的每單位期間的變化量逐漸接近0的均衡期變化量超過規定量的情況下，判斷為錯誤。
根據所述形態，可檢出伴隨吸附壓或脫氣壓的微小的壓力變化的不良情況。例如通過檢出隔離膜暫時離開模具並警告隔離膜與工件的接觸，可抑制工件的元件特性發生變動的不良品的流出。另外，通過檢出由樹脂密封模具的劣化引起的真空洩漏並促進維護，可抑制密封用樹脂中混入空氣而產生的孔隙。
所述形態中，判斷為錯誤是可在吸附壓及脫氣壓中的至少一者的每單位期間的變化量連續兩次以上超過規定量的情況下，判斷為錯誤。 [發明的效果]
根據本發明，可提供一種能夠抑制成形不良的發生的壓力監視裝置、樹脂密封裝置及壓力監視方法。
以下，參照附圖對本發明的實施形態進行說明。各實施形態的附圖是例示，各部分的尺寸或形狀為示意性，不應理解為將本申請發明的技術範圍限定為所述實施形態。 ＜實施形態＞
參照圖1，對本發明的實施形態的樹脂密封裝置1的結構進行說明。圖1是概略性地表示實施形態的樹脂密封裝置的結構的圖。
樹脂密封裝置1是用於利用樹脂P對工件W進行樹脂密封（模塑成形）的裝置。樹脂密封裝置1包括樹脂密封模具200、真空泵411、真空泵412、真空泵421、真空泵422及壓力監視裝置100。樹脂密封裝置1是利用將樹脂P擠出的壓力進行加壓的轉移方式的成形機，但並不限定於此。樹脂密封裝置並不限定於轉移方式的成形機，也可為通過利用樹脂密封模具對樹脂進行按壓的壓力來進行加壓的壓縮方式的成形機。
工件W具有基板及元件，元件被固定於基板上。例如，元件被引線接合安裝於基板。作為一例，基板是樹脂基板，元件是半導體晶片，但基板及元件並不限定於此。例如，基板可為玻璃基板，也可為仲介基板（interposer substrate）、引線框架、帶粘接片的載板、半導體晶片等。元件可為微機電系統（Micro Electro Mechanical System，MEMS）器件、電子器件等。元件可倒裝晶片安裝於基板，也可以能夠裝卸地接著。
樹脂密封模具200包括下模210及上模220。上模220相當於其中一個模具，下模210相當於另一個模具。樹脂密封模具200是在上模220具有模腔201的上模模腔結構。在合模後的下模210與上模220之間，由模腔201形成內部空間。樹脂密封模具200包括將樹脂密封模具200的內部空間封閉的封閉環203（例如O形環）。再者，雖然在圖1中圖示了下模210中的模套（chase）結構（下模模套），但下模210也可包括收容圖示的下模模套的未圖示的基座結構（下模基座）。同樣地，雖然在圖1中圖示了上模220中的模套結構（上模模套），但上模220也可包括收容圖示的上模模套的未圖示的基座結構（上模基座）。樹脂密封模具200可為能夠交換模套結構的模套更換結構。雖未圖示，但樹脂密封裝置1包括調節樹脂密封模具200的內部溫度（成形溫度）的溫度調節部（例如加熱器）。加熱器例如可設置於基座結構而對整個模套結構進行加熱。
在下模210設置有排氣孔311、排氣孔312。排氣孔311被施加用於對模腔201（合模後的樹脂密封模具200的內部空間）進行脫氣的負壓（脫氣壓），排氣孔312被施加用於將工件W固定於下模210的負壓（工件固定壓）。另外，下模210包括對樹脂P進行加熱並使其軟化的熔鍋（pot）、以及將樹脂P擠出的柱塞J。
上模220包括：模套區塊（chase block）221、模腔塊223、與模腔塊223滑動連接的夾具（clamper）225、以及在夾具225的外側隔開間隔設置的腔室區塊227。再者，也有時將這些構件一併稱為上模模套。模腔塊223固定于模套區塊221。夾具225相較於模腔塊223向下模210突出，與模腔塊223一起構成模腔201。在合模時，工件W的外緣部被夾持在夾具225與下模210之間。在合模時，封閉環203被夾持在腔室區塊227與下模210之間。
在上模220設置有排氣孔321、排氣孔322。排氣孔321被施加使隔離膜RF吸附到上模220的負壓（膜吸附壓），排氣孔322被施加沿著模腔201的壁面吸附隔離膜RF的負壓（膜模腔吸附壓）。排氣孔321設置於夾具225，排氣孔322設置於模腔塊223與夾具225之間。
在樹脂密封裝置1設置有多個真空泵，進行工件W的吸附、模腔201的減壓、隔離膜RF的吸附。真空泵411是與下模210的排氣孔311連接並施加脫氣壓的脫氣泵。真空泵412是與下模210的排氣孔312連接並施加工件固定壓的固定泵。真空泵421是與上模220的排氣孔321連接並施加膜吸附壓的吸附泵。真空泵422是與上模220的排氣孔322連接並施加膜模腔吸附壓的吸附泵。以下，將真空泵421、真空泵422統一稱為“吸附泵”，將膜吸附壓及膜模腔吸附壓統一稱為“吸附壓”。
再者，真空泵411、真空泵412、真空泵421、真空泵422的結構並不限定於所述結構。例如，排氣孔311、排氣孔312也可與共用的真空泵連接。即，脫氣壓與工件固定壓可相等。同樣地，排氣孔321、排氣孔322可與共用的真空泵連接，且膜吸附壓與膜模腔吸附壓相等。
壓力監視裝置100包括壓力計111、壓力計112、壓力計121、壓力計122、監視部110及控制部130。
壓力計111是與真空泵411連接並檢測脫氣壓的脫氣壓力感測器。壓力計112是與真空泵412連接並檢測工件固定壓的吸附壓力感測器。壓力計121是與真空泵421連接並檢測膜吸附壓的吸附壓力感測器。壓力計122是與真空泵422連接並檢測膜模腔吸附壓的吸附壓力感測器。
監視部110與壓力計111、壓力計112、壓力計121、壓力計122連接，並監視脫氣壓、工件固定壓、膜吸附壓及膜模腔吸附壓的壓力值以及這些壓力的每單位期間的變化量。所述變化量的監視在真空泵411、真空泵412、真空泵421、真空泵422剛啟動後的所述變化量增大的減壓期之後且在所述變化量逐漸接近0的均衡期進行。監視部110在所述變化量超過規定量的情況下判斷為錯誤，進行錯誤處理。監視部110可在未圖示的顯示部顯示例如警告不良品的產生、停止樹脂密封裝置1的運轉、要求樹脂密封模具200的維護等錯誤處理。
控制部130控制真空泵411、真空泵412、真空泵421、真空泵422的運轉。另外，控制部130控制夾緊位置（下模210相對於上模220的相對位置），並切換樹脂密封模具200的合模狀態及開模狀態。控制部130與監視部110連接，基於從監視部110發送的監視資料，變更真空泵411、真空泵412、真空泵421、真空泵422的運轉。例如，控制部130進行包括與夾緊位置聯動的真空泵411、真空泵412、真空泵421、真空泵422的啟動或停止等在內的通常時的動作控制、或者包括基於錯誤處理的真空泵411、真空泵412、真空泵421、真空泵422的輸出的調整或停止等在內的緊急時的動作控制。再者，進行通常時的動作控制的控制部與進行緊急時的動作控制的控制部也可分別設置。
其次，參照圖2對監視部110及控制部130的動作的一例進行說明。圖2是表示正常的吸附壓、脫氣壓及夾緊位置的變化的曲線圖。曲線圖的橫軸表示時間，單位為sec（秒）。曲線圖的左縱軸表示吸附壓及脫氣壓，單位為kPa。曲線圖的右縱軸表示夾緊位置，單位為mm。此處，由於膜吸附壓及膜模腔吸附壓同時被施加了相等的負壓，因此統一設為吸附壓。夾緊位置以開模狀態下的下模210的位置為基準（0 mm），在下模210接近上模220時增加。例如，在夾緊位置為170 mm時，成為合模狀態。
在進行樹脂密封時，首先，控制部130啟動真空泵（吸附泵）421、真空泵（吸附泵）422。在真空泵421、真空泵422剛啟動後的減壓期，吸附壓的變化量負增大，與大氣壓大致相等的吸附壓急劇降低。在之後的均衡期，真空泵421、真空泵422達到性能極限，吸附壓逐漸接近0。在吸附壓充分降低的時間點、例如吸附壓低於規定值（閾值）之後，控制部130使夾緊位置上升而開始合模。
在夾緊位置的上升結束且樹脂密封模具200的合模完成後，控制部130啟動真空泵（脫氣泵）411，並開始脫氣。在真空泵411剛啟動後的減壓期，脫氣壓的變化量負增大，與大氣壓大致相等的脫氣壓急劇降低。在之後的均衡期S1，真空泵411到達性能極限，脫氣壓逐漸接近0。脫氣壓的下限低於排氣壓的下限。再者，此處所述的真空泵的性能極限是指具有假定規定的減壓、吸附力來運行時的裕度的最大輸出，而不是指泵本身性能的極限。
在脫氣壓的均衡期S1，在樹脂P在樹脂密封模具200的內部被加熱加壓而硬化之前的前期S2，控制部130使真空泵（吸附泵）421、真空泵（吸附泵）422及真空泵（脫氣泵）411持續運轉。在脫氣壓的均衡期S1，在樹脂P硬化且工件W被樹脂密封後的後期S3，控制部130使真空泵421、真空泵422及真空泵411停止。在所述後期S3，控制部130不使夾緊位置下降，而維持吸附壓及脫氣壓。即，在不產生不良情況的情況下，均衡期S1的脫氣壓的每單位期間的變化量自前期S2到後期S3大致為0。
監視部110在均衡期S1，在吸附壓及脫氣壓的壓力值超過閾值的情況下判斷為錯誤。監視部110在均衡期S1，在吸附壓及脫氣壓的壓力值低於監視壓力時，監視吸附壓及脫氣壓的每單位期間的變化量，在所述變化量超過規定量的情況下判斷為錯誤。監視壓力例如是閾值，但監視壓力可低於閾值。因此，即使是比閾值低的壓力範圍內的異常，也以變化量的形式由監視部110檢出。
再者，監視部110開始監視吸附壓及脫氣壓的變化量的均衡期S1的開始時期例如是脫氣壓低於閾值的時間點，但並不限定於此。例如，均衡期S1的開始時期也可為脫氣壓低於吸附壓的時間點。
其次，參照圖3及圖4，對監視部110判斷為錯誤的吸附壓及脫氣壓的變化進行說明。圖3是表示在隔離膜發生剝離時的吸附壓及脫氣壓的變化的曲線圖。圖4是表示在樹脂密封模具發生真空洩漏時的吸附壓及脫氣壓的變化的曲線圖。
在圖3所示的前期S2，對隔離膜RF施加吸附壓及脫氣壓兩者。由於吸附壓引起的力比脫氣壓引起的力強，因此隔離膜RF被吸附到上模220。與此相對，在脫氣壓局部且暫時性地比吸附壓佔優勢的情況下，隔離膜RF的一部分暫時離開上模220。此時，吸附壓及脫氣壓的每單位期間的變化量在大致相同的時間點正增加。之後，在暫時離開的隔離膜RF再次被吸附到上模220的過程中，吸附壓及脫氣壓的每單位期間的變化量在負增加後逐漸接近0。如此，隔離膜RF的異常即使不會使吸附壓及脫氣壓變化到超過閾值的程度，也可以吸附壓及脫氣壓的每單位期間的變化量的形式由監視部110檢出。
在圖4所示的後期S3，在使脫氣泵停止後，雖未開模，但脫氣壓卻隨著時間上升。此情況表示在樹脂密封模具200中的結構發生經時變化時等，氣密性降低。例如封閉環203或其他模具內設置的氣密保持用墊圈等可能會發生劣化。此種樹脂密封模具200的變化緩慢地進行，但監視部110能夠將所述異常作為脫氣壓的每單位期間的變化量而在早期檢出。因此，監視部110可在從樹脂密封模具200的劣化部分侵入的空氣混入至樹脂中而產生孔隙等之前，判斷需要樹脂密封模具200的維護並發出警告。
其次，參照圖5，對包括樹脂密封模具200的壓力監視方法在內的樹脂密封品的製造方法的一例進行說明。圖5是表示實施形態的樹脂密封品的製造方法的流程圖。
首先，啟動吸附泵（S11），檢測吸附壓（S12）。其次，啟動脫氣泵（S13），檢測脫氣壓（S14）。
其次，監視經過了樹脂P的硬化時間之前、即均衡期S1的前期S2的吸附壓及脫氣壓的每單位期間的變化量。具體而言，首先，判定是否經過了樹脂硬化時間（S21）。在未經過的情況下，判斷吸附壓及脫氣壓中的至少一者的一期間的變化量是否超過規定量（S22）。在未超過規定量的情況下，返回到判定是否經過了樹脂P的樹脂硬化時間的工序S21。在一期間的變化量超過規定量的情況下，判定吸附壓及脫氣壓中的至少一者的下一期間的變化量是否超過規定量（S23）。在未超過規定量的情況下，返回到判定是否經過了樹脂硬化時間的工序S21。在下一期間的變化量超過規定量的情況下、即、吸附壓及脫氣壓中的至少一者的每單位期間的變化量連續兩次超過規定量的情況下，判斷為錯誤（S24）。
當在工序S21中判定為經過了樹脂硬化時間的情況下，使脫氣泵停止（S31）。其次，判定是否經過了開模時間（S32）。在未經過的情況下，判斷吸附壓及脫氣壓中的至少一者的一期間的變化量是否超過規定量（S33）。在未超過規定量的情況下，返回到判定是否經過了開模時間的工序S32。在一期間的變化量超過規定量的情況下，判定吸附壓及脫氣壓中的至少一者的下一期間的變化量是否超過規定量（S34）。在未超過規定量的情況下，返回到判定是否經過了開模時間的工序S32。在下一期間的變化量超過規定量的情況下、即、吸附壓及脫氣壓中的至少一者的每單位期間的變化量連續兩次超過規定量的情況下，判斷為錯誤（S35）。
在工序S24及工序S35中判斷為錯誤之後的錯誤處理不受特別限定。在工序S24之後的錯誤處理中，例如可停止樹脂密封裝置1的運轉，也可留下警告不良品的產生的日誌，繼續進行樹脂密封。在工序S35之後的錯誤處理中，例如可要求樹脂密封模具200的維護，也可通知樹脂密封模具200的劣化等級。
根據所述實施方式中說明的結構，監視吸附壓及脫氣壓的監視部110在吸附壓及脫氣壓的每單位期間的變化量逐漸接近0的均衡期S1，在所述變化量超過規定量的情況下，判斷為錯誤。監視部110可監視吸附壓及脫氣壓中的至少一者的每單位期間的變化量，監視吸附壓及脫氣壓兩者的每單位期間的變化量。據此，可檢出伴隨吸附壓或脫氣壓的微小的壓力變化的不良情況。例如通過檢出隔離膜RF暫時離開樹脂密封模具200並警告隔離膜RF與工件W的接觸，可抑制工件W的元件特性發生變動的不良品的流出。另外，通過檢出由樹脂密封模具200的劣化引起的真空洩漏並促進維護，可抑制空氣混入至密封用樹脂P中而產生的孔隙。
監視部110在吸附壓及脫氣壓的每單位期間的變化量連續兩次超過規定量的情況下，判斷為錯誤。尤其是，在減壓期的變化量為負的情況下，在正的變化量連續兩次以上超過規定量的情況下，判斷為錯誤。據此，減少錯誤判斷，提高監視精度。
監視部110也可對吸附壓及脫氣壓中的至少一者設定閾值，在超過閾值的情況下判斷為錯誤。另外，由監視部110進行的吸附壓及脫氣壓的每單位期間的變化量的監視可在吸附壓及脫氣壓為監視壓力以下的情況下實施，所述監視壓力也可為吸附壓或脫氣壓的閾值。據此，即使是閾值以下的細微的壓力變化，監視部110也可檢出異常。
監視部110通過監視模腔201的脫氣過程中的吸附壓的每單位期間的變化量，可檢出隔離膜RF的局部且暫時離開樹脂密封模具200。
監視部110通過監視模腔201的脫氣後的脫氣壓的每單位期間的變化量，可對樹脂密封模具200的氣密性的劣化進行判斷。
如以上所說明，可提供能夠抑制成形不良的發生的壓力監視裝置、樹脂密封裝置及壓力監視方法。
以上說明的實施形態用於使本發明的理解變得容易，並非限定性地解釋本發明。實施形態所包括的各要素及其配置、材料、條件、形狀以及尺寸等並不限定於所例示的內容，可適宜變更。另外，也可對不同的實施形態中所示的結構彼此部分性地進行置換或組合。
1:樹脂密封裝置 100:壓力監視裝置 110:監視部 111、112、121、122:壓力計 130:控制部 200:樹脂密封模具 201:模腔 203:封閉環 210:下模 220:上模 221:模套區塊 223:模腔塊 225:夾具 227:腔室區塊 311、312、321、322:排氣孔 411、412、421、422:真空泵 J:柱塞 RF:隔離膜 P:樹脂 W:工件 S1:均衡期 S2:前期 S3:後期 S11～S14、S21～S24、S31～S35:工序
圖1是概略性地表示實施形態的樹脂密封裝置的結構的圖。 圖2是表示正常的吸附壓、脫氣壓及夾緊位置的變化的曲線圖。 圖3是表示在隔離膜發生剝離時的吸附壓及脫氣壓的變化的曲線圖。 圖4是表示在樹脂密封模具發生真空洩漏時的吸附壓及脫氣壓的變化的曲線圖。 圖5是表示實施形態的樹脂密封品的製造方法的流程圖。
1:樹脂密封裝置
100:壓力監視裝置
110:監視部
111、112、121、122:壓力計
130:控制部
200:樹脂密封模具
201:模腔
203:封閉環
210:下模
220:上模
221:模套區塊
223:模腔塊
225:夾具
227:腔室區塊
311、312、321、322:排氣孔
411、412、421、422:真空泵
J:柱塞
RF:隔離膜
P:樹脂
W:工件

Claims (10)

  1. 一種壓力監視裝置，是監視來自樹脂密封模具的排氣壓的所述樹脂密封模具的壓力監視裝置，所述樹脂密封模具具有其中一個模具及另一個模具，包括： 吸附壓力感測器，檢測使隔離膜吸附到設置於所述樹脂密封模具的所述其中一個模具的模腔的排氣孔的吸附壓； 脫氣壓力感測器，檢測對設置於所述樹脂密封模具的所述另一個模具的所述模腔進行脫氣的排氣孔的脫氣壓；以及 監視部，與所述吸附壓力感測器及所述脫氣壓力感測器連接， 所述監視部監視所述吸附壓及所述脫氣壓中的至少一者的每單位期間的變化量，當在所述吸附壓及所述脫氣壓的每單位期間的變化量增大的減壓期之後且所述吸附壓及所述脫氣壓的每單位期間的變化量逐漸接近0的均衡期所述變化量超過規定量的情況下，判斷為錯誤。
  2. 如請求項1所述的壓力監視裝置，其中 所述監視部在所述吸附壓及所述脫氣壓中的至少一者的每單位期間的變化量連續兩次以上超過規定量的情況下，判斷為錯誤。
  3. 如請求項1或2所述的壓力監視裝置，其中 所述監視部在所述吸附壓及所述脫氣壓中的至少一者的壓力值超過規定值的情況下，判斷為錯誤。
  4. 如請求項3所述的壓力監視裝置，其中 所述監視部在所述吸附壓及所述脫氣壓中的至少一者的壓力值為規定值以下時，監視所述吸附壓及所述脫氣壓中的至少一者的每單位期間的變化量。
  5. 如請求項1或2所述的壓力監視裝置，其中 所述樹脂密封模具的所述其中一個模具為上模，所述樹脂密封模具的所述另一個模具為下模。
  6. 如請求項5所述的壓力監視裝置，其中 所述監視部在所述模腔的脫氣過程中監視所述吸附壓的每單位期間的變化量。
  7. 如請求項5所述的壓力監視裝置，其中 所述監視部在所述模腔的脫氣後監視所述脫氣壓的每單位期間的變化量。
  8. 一種樹脂密封裝置，包括： 如請求項1至7中任一項所述的壓力監視裝置； 所述樹脂密封模具； 吸附泵，與所述樹脂密封模具的所述其中一個模具連接； 脫氣泵，與所述樹脂密封模具的所述另一個模具連接；以及 控制部，控制所述吸附泵及所述脫氣泵。
  9. 一種壓力監視方法，是監視來自樹脂密封模具的排氣壓的所述樹脂密封模具的壓力監視方法，所述樹脂密封模具具有其中一個模具及另一個模具，包括： 檢測使隔離膜吸附到設置於所述樹脂密封模具的所述其中一個模具的模腔的排氣孔的吸附壓； 檢測對設置於所述樹脂密封模具的所述另一個模具的所述模腔內的空氣進行排氣的排氣孔的脫氣壓；以及 監視所述吸附壓及所述脫氣壓中的至少一者的每單位期間的變化量，當在所述吸附壓及所述脫氣壓的每單位期間的變化量增大的減壓期之後且所述吸附壓及所述脫氣壓的每單位期間的變化量逐漸接近0的均衡期所述變化量超過規定量的情況下，判斷為錯誤。
  10. 如請求項9所述的壓力監視方法，其中 所述判斷為錯誤是在所述吸附壓及所述脫氣壓中的至少一者的每單位期間的變化量連續兩次以上超過規定量的情況下，判斷為錯誤。
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