TWI783966B - 塗布裝置及塗布方法 - Google Patents

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TWI783966B TW107103139A TW107103139A TWI783966B TW I783966 B TWI783966 B TW I783966B TW 107103139 A TW107103139 A TW 107103139A TW 107103139 A TW107103139 A TW 107103139A TW I783966 B TWI783966 B TW I783966B
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三根陽介
宮崎一仁
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日商東京威力科創股份有限公司
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Abstract

本發明提供一種可抑制質量測定器的損壞之塗布裝置。本發明之塗布裝置，於基板描繪功能液的描繪圖案，具備：基板保持部，保持該基板；液滴噴吐部，對由該基板保持部所保持的該基板噴吐該功能液之液滴；移動部，使該基板保持部與該液滴噴吐部在主掃描方向及次掃描方向上相對移動；質量測定部，具備承接由該液滴噴吐部噴吐之液滴的杯體、及測定貯存於該杯體之內部的該功能液之質量的質量測定器；以及排液部，從該杯體排出貯存於該杯體之內部的該功能液。

Description

塗布裝置及塗布方法
本發明係關於一種塗布裝置及塗布方法。
過去，已知一種利用有機EL(Electroluminescence，電致發光)的發光之發光二極體即有機發光二極體(OLED：Organic Light Emitting Diode)。使用有機發光二極體之有機EL顯示器，除了薄型輕量且消耗電力低之優點，更具有在應答速度、視角、對比度方面優良等優點。因此，近年作為次世代的平板顯示器(FPD)受到注目。
有機發光二極體，具有形成於基板上的陽極、以陽極為基準設置在基板相反側的陰極、以及設置於陽極與陰極之間的有機層。有機層，例如從陽極側朝向陰極側，依序具有正電洞注入層、正電洞輸送層、發光層、電子輸送層、及電子注入層。將油墨噴射式之塗布裝置，使用在發光層等的形成。
專利文獻1所記載之塗布裝置，具有承接從功能液滴噴頭噴吐出之功能液的承接容器、及測定貯存於承接容器之內部的功能液之質量的電子天秤。電子天秤的測定結果，利用在功能液滴噴頭之驅動電力(電壓值)的調整。
[習知技術文獻]
[專利文獻]
專利文獻1：日本特開2004-177262號公報
過去，若承接從噴頭噴吐出之功能液的杯體填滿，則以人工作業進行杯體之交換，此時，有對電子天秤等質量測定器施加負載，而質量測定器損壞的情形。
鑒於上述問題，本發明之主要目的在於提供一種，可抑制質量測定器的損壞之塗布裝置。
為了解決上述問題，依照本發明之一態樣，提供一種塗布裝置，於基板描繪功能液的描繪圖案，其具備：基板保持部，保持該基板； 液滴噴吐部，對由該基板保持部所保持的該基板噴吐該功能液之液滴；移動部，使該基板保持部與該液滴噴吐部在主掃描方向及次掃描方向上相對移動；質量測定部，具備承接由該液滴噴吐部噴吐之液滴的杯體、及測定貯存於該杯體之內部的該功能液之質量的質量測定器；以及排液部，從該杯體排出貯存於該杯體之內部的該功能液；該排液部，具備：抽吸噴嘴，***至該杯體之內部，用來抽吸貯存於該杯體之內部的該功能液；以及升降機構，使該抽吸噴嘴升降。
依本發明之一態樣，則提供一種可抑制質量測定器的損壞之塗布裝置。
10:基板
11:單位電路
12:TFT層
13:有機發光二極體
14:掃描線驅動電路
15:資料線驅動電路
16:掃描線
17:資料線
18:平坦化層
19:接觸栓塞
21:陽極
22:陰極
23:有機層
24:正電洞注入層
25:正電洞輸送層
26:發光層
27:電子輸送層
28:電子注入層
30:隔堤部
31:開口部
100:基板處理系統
110:搬入站
111、131:匣盒載置台
112、132:搬運路
113、133:基板搬運體
120:處理站
121:正電洞注入層形成區塊
121a、122a、123a:塗布裝置
121b、122b、123b:緩衝裝置
121c、122c、123c:減壓乾燥裝置
121d、122d、123d:熱處理裝置
121e、122e、123e:溫度調節裝置
122:正電洞輸送層形成區塊
123:發光層形成區塊
130:搬出站
140:控制裝置
141:CPU(Central Processing Unit，中央處理單元)
142:記憶媒體
150:基板保持部
160:液滴噴吐部
161、161R、161G、161B:噴頭
162:噴頭列
170:移動部
171:基座
172:X方向移動部(主掃描方向移動部)
173:X軸引導件
174:第一Y方向移動部
175:θ方向移動部
176:第二Y方向移動部(次掃描方向移動部)
177:Y軸樑(導樑)
178:Y軸引導件(引導件)
180:維持部
181:擦拭單元
182:抽吸單元
190:質量測定部
191:杯體
192:質量測定器
193:多孔質體
194、195:沖洗箱
198:防風構件
200:排液部
201:抽吸噴嘴
202:升降機構
203:配管
204:儲存槽
205:抽吸泵
206:滑動機構
210:樑部
C:晶圓匣盒
CR1~CR9:基板搬運裝置
L:塗布層
TR1~TR10:傳遞裝置
ΔY:間隙
圖1係顯示一實施形態的有機EL顯示器之俯視圖。
圖2係顯示一實施形態的有機EL顯示器之要部的剖面圖。
圖3係顯示一實施形態的有機發光二極體之製造方法的流程圖。
圖4係顯示一實施形態的形成有塗布層之基板的剖面圖。
圖5係顯示將圖4的塗布層減壓乾燥之基板的剖面圖。
圖6係顯示一實施形態的基板處理系統之俯視圖。
圖7顯示一實施形態的塗布裝置之俯視圖。
圖8顯示一實施形態的塗布裝置之側視圖。
圖9係顯示一實施形態的噴頭之配設、及從噴吐量測定對象之噴頭承接液滴時的杯體之位置的俯視圖。
圖10顯示一實施形態的杯體之構造的剖面圖。
圖11沿著圖10的XI-XI線之杯體的剖面圖。
圖12係顯示第1變形例之塗布裝置的側視圖。
圖13係顯示第2變形例之塗布裝置的側視圖。
以下，參考附圖，茲就用於實施本發明之形態予以說明。各附圖中，對於相同或對應之構成，給予相同或對應之符號並省略說明。
<有機EL顯示器>
圖1為，顯示一實施形態的有機EL顯示器之俯視圖。於圖1中，放大顯示一個單位電路11的電路。
有機EL顯示器，具有：基板10、配設於基板10上之複數單位電路11、設置於基板10上之掃描線驅動電路14、以及設置於基板10上之資料線驅動電路15。在以與掃描線驅動電路14連接之複數條掃描線16、及與資料線驅動電路15連接之複數條資料線17所包圍的領域，設置單位電路11。單位電路11，包含TFT層12、及有機發光二極體13。
TFT層12，具有複數個TFT(Thin Film Transistor，薄膜電晶體)。一個TFT具有作為切換元件之功能，另一個TFT具有作為控制流通在有機發光二極體13之電流量的電流控制用元件之功能。TFT層12，藉由掃描線驅動電路14及資料線驅動電路15而作動，對有機發光二極體13供給電流。TFT層12設置於每個單位電路11，獨立地控制複數單位電路11。另，TFT層12為一般的構成即可，並未限定於圖1所示的構成。
另，有機EL顯示器之驅動方式，本實施形態中雖為主動矩陣方式，但亦可為被動矩陣方式。
圖2為，顯示一實施形態的有機EL顯示器之要部的剖面圖。作為基板10，使用玻璃基板或樹脂基板等透明基板。於基板10上，形成TFT層12。於TFT層12上，形成使由TFT層12形成之段差平坦化的平坦化層18。
平坦化層18，具有絕緣性。在貫通平坦化層18的接觸洞，形成接觸栓塞19。接觸栓塞19，將形成在平坦化層18的平坦面之作為畫素電極的陽極21，與TFT層12電性連接。接觸栓塞19，可由與陽極21相同的材料同時形成。
有機發光二極體13，形成在平坦化層18的平坦面上。有機發光二極體13，具有：陽極21，作為畫素電極；陰極22，作為以畫素電極為基準而設置於基板10之相反側的對向電極；以及有機層23，形成在陽極21與陰極22之間。藉由使TFT層12作動，而對陽極21與陰極22之間施加電壓，使有機層23發光。
陽極21，例如係由ITO(Indium Tin Oxide，銦錫氧化物)等形成，使來自有機層23的光線穿透。穿透過陽極21的光線，穿透基板10，往外部取出。陽極21，設置於每個單位電路11。
陰極22，例如係由鋁等形成，將來自有機層23的光線朝向有機層23反射。以陰極22反射的光線，穿透有機層23、陽極21、基板10，往外部取出。陰極22，為複數單位電路11所共用。
有機層23，例如，從陽極21側朝向陰極22側，依序具有：正電洞注入層24、正電洞輸送層25、發光層26、電子輸送層27、及電子注入層28。若對陽極21與陰極22之間施加電壓，則從陽極21往正電洞注入層24注入正電洞，且從陰極22往電子注入層28注入電子。注入至正電洞注入層24的正電洞，藉由正電洞輸送層25而往發光層26輸送。此外，注入至電子注入層28的電子，藉由電子輸送層27而往發光層26輸送。如此一來，正電洞與電子在發光層26內再結合，激發發光層26之發光材料，使發光層26發光。
作為發光層26，例如形成紅色發光層、綠色發光層、及藍色發光層。紅色發光層係以發紅光之紅色發光材料形成，綠色發光層係以發綠光之綠色發光材料，藍色發光層係以發藍光之藍色發光材料。紅色發光層、綠色發光層、及藍色發光層，形成在隔堤部30的開口部31。
隔堤部30，藉由將紅色發光層之材料液、綠色發光層之材料液、及藍色發光層之材料液分隔，而防止此等材料液的混合。隔堤部30，具有絕緣性，填埋貫通平坦化層18的接觸洞。
<有機發光二極體之製造方法>
圖3為，顯示一實施形態的有機發光二極體之製造方法的流程圖。
首先，步驟S101，施行作為畫素電極之陽極21的形成。陽極21的形成，例如係使用蒸鍍法。陽極21，在平坦化層18的平坦面，形成於每個單位電路11。亦可與陽極21一同形成接觸栓塞19。
接續的步驟S102，施行隔堤部30的形成。隔堤部30，例如係使用光阻劑形成，藉由光微影處理圖案化為既定圖案。在隔堤部30之開口部31中，露出陽極21。
接續的步驟S103，施行正電洞注入層24的形成。正電洞注入層24的形成，係利用油墨噴射法等。以油墨噴射法將正電洞注入層24之材料液塗布於陽極21上，藉而如圖4所示地形成塗布層L。藉由將該塗布層L乾燥、鍛燒，而如圖5所示地形成正電洞注入層24。
接續的步驟S104，施行正電洞輸送層25的形成。正電洞輸送層25的形成，與正電洞注入層24的形成同樣地，係利用油墨噴射法等。以油墨噴射法將正電 洞輸送層25之材料液塗布於正電洞注入層24上，藉而形成塗布層。藉由將該塗布層乾燥、鍛燒，而形成正電洞輸送層25。
接續的步驟S105，施行發光層26的形成。發光層26的形成，與正電洞注入層24或正電洞輸送層25的形成同樣地，係利用油墨噴射法等。以油墨噴射法將發光層26之材料液塗布於正電洞輸送層25上，藉而形成塗布層。藉由將該塗布層乾燥、鍛燒，而形成發光層26。
作為發光層26，例如形成紅色發光層、綠色發光層、及藍色發光層。紅色發光層、綠色發光層、及藍色發光層，形成在隔堤部30的開口部31。隔堤部30，藉由將紅色發光層之材料液、綠色發光層之材料液、及藍色發光層之材料液分隔，而防止此等材料液的混合。
接續的步驟S106，施行電子輸送層27的形成。電子輸送層27的形成，例如係利用蒸鍍法等。電子輸送層27，可為複數單位電路11所共用，因而亦可不僅在隔堤部30的開口部31內之發光層26上，在隔堤部30上亦形成電子輸送層27。
接續的步驟S107，施行電子注入層28的形成。電子注入層28的形成，例如係利用蒸鍍法等。電子注入層28，形成於電子輸送層27上。電子注入層28，可為複數單位電路11所共用。
接續的步驟S108，施行陰極22的形成。陰極22的形成，例如係利用蒸鍍法等。陰極22，形成於電子注入層28上。陰極22，可為複數單位電路11所共用。
另，有機EL顯示器之驅動方式，係被動矩陣方式而非主動矩陣方式的情況，將陰極22圖案化為既定圖案。
藉由上述步驟，製造有機發光二極體13。將基板處理系統100，使用在有機層23中之正電洞注入層24、正電洞輸送層25、及發光層26的形成。
<基板處理系統>
圖6為，顯示一實施形態的基板處理系統之俯視圖。基板處理系統100，施行相當於圖3之步驟S103~S105的各處理，於陽極21上形成正電洞注入層24、正電洞輸送層25、及發光層26。基板處理系統100，具有搬入站110、處理站120、搬出站130、及控制裝置140。
搬入站110，從外部搬入收納複數片基板10之晶圓匣盒C，從晶圓匣盒C依序取出複數片基板10。於各基板10，預先形成TFT層12、平坦化層18、陽極21、隔堤部30等。
搬入站110，具備：匣盒載置台111，載置晶圓匣盒C；搬運路112，設置於匣盒載置台111與處理站120之間；以及基板搬運體113，設置於搬運路112。基 板搬運體113，在載置於匣盒載置台111的晶圓匣盒C與處理站120之間搬運基板10。
處理站120，於陽極21上，形成正電洞注入層24、正電洞輸送層25、及發光層26。處理站120，具備：正電洞注入層形成區塊121，形成正電洞注入層24；正電洞輸送層形成區塊122，形成正電洞輸送層25；以及發光層形成區塊123，形成發光層26。
正電洞注入層形成區塊121，將正電洞注入層24之材料液塗布於陽極21上以形成塗布層，藉由將該塗布層乾燥、鍛燒，而形成正電洞注入層24。正電洞注入層24之材料液，包含有機材料及溶劑。該有機材料，為聚合物、單體之任一種皆可。為單體的情況，亦可藉由鍛燒而使其聚合，成為聚合物。
正電洞注入層形成區塊121，具備塗布裝置121a、緩衝裝置121b、減壓乾燥裝置121c、熱處理裝置121d、及溫度調節裝置121e。塗布裝置121a，將正電洞注入層24的材料液之液滴，朝向隔堤部30的開口部31噴吐。緩衝裝置121b，暫時收納等待處理之基板10。減壓乾燥裝置121c，使在塗布裝置121a塗布之塗布層減壓乾燥，將塗布層所包含的溶劑去除。熱處理裝置121d，將在減壓乾燥裝置121c乾燥之塗布層予以加熱處理。溫度調節裝置121e，將在熱處理裝置121d加熱處理之基板10的溫度，調節為既定溫度，例如常溫。
塗布裝置121a、緩衝裝置121b、熱處理裝置121d、及溫度調節裝置121e，內部維持為大氣氣體環境。減壓乾燥裝置121c，其內部的氣體環境，在大氣氣體環境與減壓氣體環境切換。
另，於正電洞注入層形成區塊121中，塗布裝置121a、緩衝裝置121b、減壓乾燥裝置121c、熱處理裝置121d、及溫度調節裝置121e之配置與個數、內部氣體環境，可任意選擇。
此外，正電洞注入層形成區塊121，具備基板搬運裝置CR1~CR3、及傳遞裝置TR1~TR3。基板搬運裝置CR1~CR3，分別將基板10往鄰接的各裝置搬運。例如，基板搬運裝置CR1，將基板10往鄰接的塗布裝置121a及緩衝裝置121b搬運。基板搬運裝置CR2，將基板10往鄰接的減壓乾燥裝置121c搬運。基板搬運裝置CR3，將基板10往鄰接的熱處理裝置121d及溫度調節裝置121e搬運。傳遞裝置TR1~TR3，分別依序設置於搬入站110與基板搬運裝置CR1之間、基板搬運裝置CR1與基板搬運裝置CR2之間、基板搬運裝置CR2與基板搬運裝置CR3之間，在其等之間轉送基板10。基板搬運裝置CR1~CR3、傳遞裝置TR1~TR3，內部維持為大氣氣體環境。
於正電洞注入層形成區塊121的基板搬運裝置CR3、與正電洞輸送層形成區塊122的基板搬運裝置CR4之間，設置在其等之間轉送基板10的傳遞裝置TR4。傳遞裝置TR4，內部維持為大氣氣體環境。
正電洞輸送層形成區塊122，將正電洞輸送層25之材料液塗布於正電洞注入層24上以形成塗布層，藉由將該塗布層乾燥、鍛燒，而形成正電洞輸送層25。正電洞輸送層25之材料液，包含有機材料及溶劑。該有機材料，為聚合物、單體之任一種皆可。為單體的情況，亦可藉由鍛燒而使其聚合，成為聚合物。
正電洞輸送層形成區塊122，具備塗布裝置122a、緩衝裝置122b、減壓乾燥裝置122c、熱處理裝置122d、及溫度調節裝置122e。塗布裝置122a，將正電洞輸送層25的材料液之液滴，朝向隔堤部30的開口部31噴吐。緩衝裝置122b，暫時收納等待處理之基板10。減壓乾燥裝置122c，使在塗布裝置122a塗布之塗布層減壓乾燥，將塗布層所包含的溶劑去除。熱處理裝置122d，將在減壓乾燥裝置122c乾燥之塗布層予以加熱處理。溫度調節裝置122e，將在熱處理裝置122d加熱處理之基板10的溫度，調節為既定溫度，例如常溫。
塗布裝置122a及緩衝裝置122b，內部維持為大氣氣體環境。另一方面，熱處理裝置122d及溫度調節裝置122e，為了抑制正電洞輸送層25之有機材料的劣化，而將內部維持為低氧且低露點的氣體環境。減壓乾燥裝置122c，其內部氣體環境，在低氧且低露點的氣體環境、與減壓氣體環境切換。
此處，低氧的氣體環境，係指氧濃度較大氣更低的氣體環境，例如氧濃度為10ppm以下的氣體環境。此外，低露點的氣體環境，係指露點溫度較大氣更低的氣體環境，例如露點溫度為一10℃以下的氣體環境。低氧且低露點的氣體環境，例如以氮氣等惰性氣體形成。
另，於正電洞輸送層形成區塊122中，塗布裝置122a、緩衝裝置122b、減壓乾燥裝置122c、熱處理裝置122d、及溫度調節裝置122e之配置與個數、內部氣體環境，可任意選擇。
此外，正電洞輸送層形成區塊122，具備基板搬運裝置CR4~CR6、及傳遞裝置TR5、TR6。基板搬運裝置CR4~CR6，分別將基板10往鄰接的各裝置搬運。傳遞裝置TR5、TR6，分別依序設置於基板搬運裝置CR4與基板搬運裝置CR5之間、基板搬運裝置CR5與基板搬運裝置CR6之間，在其等之間轉送基板10。
基板搬運裝置CR4之內部，維持為大氣氣體環境。另一方面，基板搬運裝置CR5、CR6之內部，維持為低氧且低露點的氣體環境。此係為了將與基板搬運裝置CR5鄰接的減壓乾燥裝置122c之內部，在低氧且低露點的氣體環境、與減壓氣體環境切換。此外，係為了將與基板搬運裝置CR6鄰接設置的熱處理裝置122d與溫度調節裝置122e之內部，維持在低氧且低露點的氣體環境。
傳遞裝置TR5，構成為將其內部的氣體環境，在大氣氣體環境、與低氧且低露點的氣體環境之間切換的真空預備裝置。此係為了在傳遞裝置TR5之下游側鄰接設置減壓乾燥裝置122c。另一方面，傳遞裝置TR6之內部，維持為低氧且低露點的氣體環境。
於正電洞輸送層形成區塊122的基板搬運裝置CR6、與發光層形成區塊123的基板搬運裝置CR7之間，設置在其等之間轉送基板10的傳遞裝置TR7。將基板搬運裝置CR6之內部維持為低氧且低露點的氣體環境，將基板搬運裝置CR7之內部維持為大氣氣體環境。因此，傳遞裝置TR7，構成為將其內部的氣體環境，在低氧且低露點的氣體環境、與大氣氣體環境之間切換的真空預備裝置。
發光層形成區塊123，將發光層26之材料液塗布於正電洞輸送層25上以形成塗布層，藉由將形成之塗布層乾燥、鍛燒，而形成發光層26。發光層26之材料液，包含有機材料及溶劑。該有機材料，為聚合物、單體之任一種皆可。為單體的情況，亦可藉由鍛燒而使其聚合，成為聚合物。
發光層形成區塊123，具備塗布裝置123a、緩衝裝置123b、減壓乾燥裝置123c、熱處理裝置123d、及溫度調節裝置123e。塗布裝置123a，將發光層26的材料液之液滴，朝向隔堤部30的開口部31噴吐。緩衝裝置123b，暫時收納等待處理之基板10。減壓乾燥裝置123c，使在塗布裝置123a塗布之塗布層減壓乾燥，將塗布層所包含的溶劑去除。熱處理裝置123d，將在減壓乾燥裝置123c乾燥之塗布層予以加熱處理。溫度調節裝置123e，將在熱處理裝置123d加熱處理之基板10的溫度，調節為既定溫度，例如常溫。
塗布裝置123a及緩衝裝置123b，內部維持為大氣氣體環境。另一方面，熱處理裝置123d及溫度調節裝置123e，為了抑制發光層26之有機材料的劣化，而 將內部維持為低氧且低露點的氣體環境。減壓乾燥裝置123c，其內部氣體環境，在低氧且低露點的氣體環境、與減壓氣體環境切換。
另，於發光層形成區塊123中，塗布裝置123a、緩衝裝置123b、減壓乾燥裝置123c、熱處理裝置123d、及溫度調節裝置123e之配置與個數、內部氣體環境，可任意選擇。
此外，發光層形成區塊123，具備基板搬運裝置CR7~CR9、及傳遞裝置TR8、TR9。基板搬運裝置CR7~CR9，分別將基板10往鄰接的各裝置搬運。傳遞裝置TR8、TR9，分別依序設置於基板搬運裝置CR7與基板搬運裝置CR8之間、基板搬運裝置CR8與基板搬運裝置CR9之間，在其等之間轉送基板10。
基板搬運裝置CR7之內部，維持為大氣氣體環境。另一方面，基板搬運裝置CR8、CR9之內部，維持為低氧且低露點的氣體環境。此係為了將與基板搬運裝置CR8鄰接的減壓乾燥裝置123c之內部，在低氧且低露點的氣體環境、與減壓氣體環境切換。此外，係為了將與基板搬運裝置CR9鄰接設置的熱處理裝置123d與溫度調節裝置123e之內部，維持在低氧且低露點的氣體環境。
傳遞裝置TR8，構成為將其內部的氣體環境，在大氣氣體環境、與低氧且低露點的氣體環境之間切換的真空預備裝置。此係為了在傳遞裝置TR8之下游側鄰接設置減壓乾燥裝置123c。傳遞裝置TR9之內部，維持為低氧且低露點的氣體環境。
於發光層形成區塊123的基板搬運裝置CR9、與搬出站130之間，設置在其等之間轉送基板10的傳遞裝置TR10。將基板搬運裝置CR9之內部維持為低氧且低露點的氣體環境，將搬出站130之內部維持為大氣氣體環境。因此，傳遞裝置TR10，構成為將其內部的氣體環境，在低氧且低露點的氣體環境、與大氣氣體環境之間切換的真空預備裝置。
搬出站130，將複數片基板10依序收納在晶圓匣盒C，將晶圓匣盒C往外部搬出。搬出站130，具備：匣盒載置台131，載置晶圓匣盒C；搬運路132，設置於匣盒載置台131與處理站120之間；以及基板搬運體133，設置於搬運路132。基板搬運體133，在處理站120、與載置於匣盒載置台131的晶圓匣盒C之間搬運基板10。
控制裝置140，係以包含CPU(Central Processing Unit，中央處理單元)141、記憶體等記憶媒體142之電腦構成，藉由使CPU141實行儲存在記憶媒體142的程式(亦稱作配方)而實現各種處理。
控制裝置140的程式，儲存於資訊記憶媒體，從資訊記憶媒體安裝。作為資訊記憶媒體，例如列舉：硬碟(HD)、軟性磁碟(FD)、光碟(CD)、磁光碟(MO)、記憶卡等。另，程式，亦可經由網路從伺服器下載並安裝。
接著，茲就使用上述構成的基板處理系統100之基板處理方法予以說明。將收納有複數片基板10的晶圓匣盒C載置於匣盒載置台111上，則基板搬運體113，從匣盒載置台111上的晶圓匣盒C依序取出基板10，往正電洞注入層形成區塊121搬運。
正電洞注入層形成區塊121，將正電洞注入層24之材料液塗布於陽極21上以形成塗布層，藉由將形成之塗布層乾燥、鍛燒，而形成正電洞注入層24。將形成有正電洞注入層24之基板10，藉由傳遞裝置TR4，從正電洞注入層形成區塊121往正電洞輸送層形成區塊122傳遞。
正電洞輸送層形成區塊122，將正電洞輸送層25之材料液塗布於正電洞注入層24上以形成塗布層，藉由將形成之塗布層乾燥、鍛燒，而形成正電洞輸送層25。將形成有正電洞輸送層25之基板10，藉由傳遞裝置TR7，從正電洞輸送層形成區塊122往發光層形成區塊123傳遞。
發光層形成區塊123，將發光層26之材料液塗布於正電洞輸送層25上以形成塗布層，藉由將形成之塗布層乾燥、鍛燒，而形成發光層26。將形成有發光層26之基板10，藉由傳遞裝置TR10，從發光層形成區塊123往搬出站130傳遞。
搬出站130的基板搬運體133，將從傳遞裝置TR10接收之基板10，收納在匣盒載置台131上的既定晶圓匣盒C。藉此，結束基板處理系統100的一系列之基板10的處理。
將基板10，以收納於晶圓匣盒C的狀態，從搬出站130往外部搬出。在搬出至外部之基板10，形成電子輸送層27、電子注入層28、陰極22等。
<塗布裝置及塗布方法>
接著，參考圖7、圖8，對發光層形成區塊123之塗布裝置123a予以說明。圖7為，顯示一實施形態的塗布裝置之俯視圖。圖8為，顯示一實施形態的塗布裝置之側視圖。以下附圖中，X方向為主掃描方向，Y方向為次掃描方向，Z方向為鉛直方向。X方向及Y方向，為彼此垂直的水平方向。另，X方向與Y方向交叉即可，亦可不垂直。
塗布裝置123a，使基板10的功能液(例如發光層26的材料液)之液滴的滴落位置在X方向及Y方向移動，於基板10描繪功能液的描繪圖案。塗布裝置123a，例如具備：基板保持部150，保持基板10；液滴噴吐部160，對藉由基板保持部150保持的基板10噴吐功能液之液滴；以及移動部170，使基板保持部150與液滴噴吐部160於X方向及Y方向相對移動。此外，塗布裝置123a具備維持部180，其施行用於維持液滴噴吐部160之功能的處理。
基板保持部150，使塗布基板10之液滴的塗布面朝向上方，保持基板10。作為基板保持部150，例如使用真空吸盤，但亦可使用靜電吸盤等。
液滴噴吐部160，朝向以基板保持部150保持之基板10噴吐功能液的液滴。液滴噴吐部160，於Y方向排列複數個(例如圖7中為10個)。複數個液滴噴吐部160，可獨立地在Y方向移動，亦可一體地在Y方向移動。
各液滴噴吐部160，具有複數個噴頭161(參考圖8)。各噴頭161，於其底面，具有由在Y方向排列之複數個噴吐噴嘴所構成的噴吐噴嘴列。亦可使各噴頭161，於其底面具有複數個噴吐噴嘴列。
各噴頭161，於每個噴吐噴嘴具有壓電元件。若對壓電元件施加電壓，則壓電元件變形而從噴吐噴嘴噴吐液滴。亦可取代壓電元件，使用加熱器等。若對加熱器施加電壓，則產生氣泡，藉由產生之氣泡的壓力從噴吐噴嘴噴吐液滴。
各液滴噴吐部160，亦可噴吐複數種之功能液。作為複數種之功能液，例如列舉：紅色發光層之材料液、綠色發光層之材料液、及藍色發光層之材料液等。設置於同一個噴頭161的複數個噴吐噴嘴，噴吐同一種之功能液的液滴。
圖9為，顯示一實施形態的噴頭之配設等的俯視圖。各液滴噴吐部160，具有在Y方向排列之2列噴頭列162。各噴頭列162，係以在X方向階層狀地排列之6個噴頭161構成。各噴頭列162，分別具有各2個下述噴頭：噴吐紅色發光層之材料液的液滴之噴頭161R、噴吐綠色發光層之材料液的液滴之噴頭161G、及噴吐藍色發光層之材料液的液滴之噴頭161B。
移動部170(參考圖7)，使基板保持部150與液滴噴吐部160於X方向及Y方向相對移動。
例如，移動部170具有X方向移動部172，其使基板保持部150相對於基座171在X方向移動。X方向移動部172，例如具有：一對X軸引導件173，舖設於基座171；以及一對X軸線性馬達，使基板保持部150沿著一對X軸引導件173移動。
此外，移動部170，具有：第一Y方向移動部174(參考圖8)，使基板保持部150相對於基座171在Y方向移動；以及θ方向移動部175(參考圖8)，以通過基板保持部150之中心部的鉛直線為中心而使基板保持部150旋轉。
此外，移動部170具有第二Y方向移動部176，其使液滴噴吐部160相對於基座171在Y方向移動。第二Y方向移動部176，例如具有：一對Y軸樑177，架設於基座171的上方；一對Y軸引導件178，舖設於一對Y軸樑177上；以及一對Y軸線性馬達，使液滴噴吐部160沿著一對Y軸引導件178移動。
第二Y方向移動部176，使液滴噴吐部160，在對保持在基板保持部150的基板10噴吐功能液之液滴的位置、及接受維持部180所進行的用於功能維持之處理的位置之間移動。
維持部180，施行維持液滴噴吐部160的功能之處理，解決液滴噴吐部160的噴吐不良。維持部180，具備：擦拭單元181，拂拭噴吐噴嘴之噴吐口的周圍； 以及抽吸單元182，從噴吐噴嘴之噴吐口抽吸液滴。抽吸單元182，封閉休止狀態的噴吐噴嘴之噴吐口，亦達到抑制因乾燥而產生的堵塞之作用。
接著，茲就使用上述構成的塗布裝置123a之塗布方法予以說明。塗布裝置123a的下述動作，係由控制裝置140控制。控制裝置140，圖6中雖與塗布裝置123a分開設置，但亦可設置為塗布裝置123a之一部分。
首先，機械臂(未圖示)從塗布裝置123a之外部將基板10搬入塗布裝置123a之內部，則塗布裝置123a使升降銷從基板保持部150的頂面突出，以升降銷從機械臂接收基板10。而後，塗布裝置123a，使升降銷下降，在基板保持部150的頂面保持基板10。
接著，移動部170，依據拍攝到的以基板保持部150保持之基板10的對準用標記之影像，施行基板10的位置修正。基板10的位置修正，係藉由使基板保持部150繞Z軸轉動、及使基板保持部150往X方向或Y方向平行移動等而施行。
而後，移動部170，藉由使以基板保持部150保持之基板10在X方向移動，而使其通過液滴噴吐部160下方。在基板10通過液滴噴吐部160下方之際，液滴噴吐部160朝向基板10噴吐液滴。
接著，移動部170，使以基板保持部150保持之基板10在Y方向移動。使基板10在Y方向移動，例如如圖9所示，係因在噴吐相同種類之功能液的複數個噴頭 161彼此之間存在有間隙ΔY。藉由使基板10在Y方向移動，而可使特定種類之功能液的液滴滴落在基板10之Y方向整體。此外，使基板10而非液滴噴吐部160在Y方向移動，係為了防止收納在液滴噴吐部160之內部的功能液之晃動。
而後，移動部170，再度使以基板保持部150保持之基板10在X方向移動，使其通過液滴噴吐部160下方。在基板10通過液滴噴吐部160下方之際，液滴噴吐部160朝向基板10噴吐液滴。
如此地，塗布裝置123a，藉由交互重複移動部170所進行之基板10的X方向移動與液滴噴吐部160所進行之液滴的滴下、及移動部170所進行之基板10的Y方向移動，而於基板10描繪功能液的描繪圖案。
描繪結束後，塗布裝置123a，解除基板保持部150所進行之基板10的保持，以升降銷從基板保持部150將基板10抬起，往機械臂傳遞。而後，機械臂將基板10從塗布裝置123a之內部往塗布裝置123a之外部搬出。
而後，重複施行：機械臂將下一片基板10從塗布裝置123a之外部搬入塗布裝置123a之內部、塗布裝置123a於基板10描繪功能液的描繪圖案、機械臂將基板10從塗布裝置123a之內部往塗布裝置123a之外部搬出。
另，藉由維持部180維持液滴噴吐部160的功能之處理，係在交換基板10時等適宜施行。
另，上述構成之移動部170，雖為了在基板10上描繪既定圖案，而使基板保持部150移動，但亦可使液滴噴吐部160移動，亦可使基板保持部150與液滴噴吐部160雙方移動。
<質量測定部>
塗布裝置123a，如圖7、圖8所示，具有使用在液滴噴吐部160之噴吐量的測定之質量測定部190。圖8中，以虛線表示藉由杯體191承接由液滴噴吐部160噴吐之功能液的液滴時之質量測定部190的位置；以二點鏈線表示測定貯存於杯體191內部之功能液的質量時之質量測定部190的位置，以實線表示從杯體191排出貯存於杯體191之內部的功能液時之質量測定部190的位置。
質量測定部190，設置於每個噴頭列162(參考圖9)，逐一依序測定構成噴頭列162之複數個(例如6個)噴頭161。另，在各噴頭161具有複數個噴吐噴嘴列的情況，以噴吐噴嘴列為單位，施行噴吐量測定亦可。
質量測定部190，在Y方向排列複數個(例如圖7中為20個)。將在Y方向排列之複數個質量測定部190一體化，使其沿著一對X軸引導件173任意移動。一對X軸引導件173，為質量測定部190與基板保持部150所共用之引導件。質量測定部190與基板保持部150，可獨立地在X方向移動，亦可一體化地在X方向移動。
各質量測定部190，具有：杯體191，承接由噴頭161噴吐的功能液之液滴；及質量測定器192，測定貯存於杯體191之內部的功能液之質量。杯體191，往上方開放，將從上方落下之液滴貯存在內部。於杯體191的開口部，為了防止從上方落下之液滴的飛濺，而設置樹脂製之多孔質體193(參考圖10、圖11)。作為質量測定器192，例如使用電子天秤等。
杯體191承接由液滴噴吐部160噴吐的功能液之液滴時，如同在圖8以虛線所示，使質量測定部190往液滴噴吐部160之下方移動。杯體191，從噴吐量測定對象即1個噴頭161承接液滴。亦可於杯體191之X方向兩側設置沖洗箱194、195，承接來自餘下的噴吐量測定對象以外之噴頭161的廢液噴吐。此等沖洗箱194、195，亦可在噴吐量測定時以外的時間，承接來自噴頭161的廢液噴吐。
另一方面，在質量測定器192測定貯存於杯體191之內部的功能液之質量時，如同在圖8以二點鏈線所示，使質量測定部190往防風構件198之下方移動。防風構件198，防止形成在塗布裝置123a之內部的降流等衝擊質量測定部190。藉此，可正確地測定質量。
質量測定器192，將其測定結果往控制裝置140發送。控制裝置140，從質量測定器192之測定結果，測定噴頭161的噴吐量，依據測定出的噴吐量調整噴頭161之驅動電壓。噴吐量測定及驅動電壓調整，可於描繪前施行，亦可定時施行。以下，對於噴吐量測定及驅動電壓調整所用之塗布裝置123a的動作予以說明。塗布裝置123a的下述動作，係在控制裝置140之控制下進行。
首先，X方向移動部172，使各質量測定部190之各杯體191，往各噴頭列162的第1個噴頭161之正下方移動。接著，第1個噴頭161，從其全部的噴吐噴嘴噴吐液滴。而後，X方向移動部172使各杯體191往防風構件198之正下方移動。在此一狀態下，各質量測定器192測定第1個噴頭161的噴吐量。
在第1個噴頭161的噴吐量為目標範圍內之情況，控制裝置140不修正第1個噴頭161的驅動電壓。另一方面，在第1個噴頭161的噴吐量為目標範圍外之情況，修正第1個噴頭161的驅動電壓，以修正後的驅動電壓再度施行噴吐，再度施行噴吐量測定。重複施行噴吐量測定及驅動電壓修正，直至噴吐量之測定結果成為目標範圍內為止。
另，各質量測定部190，亦可如同上述以噴吐噴嘴列為單位而施行噴吐量測定。此一情況，第1個噴頭161以噴吐噴嘴列為單位而噴吐液滴，各質量測定器192以噴吐噴嘴列為單位而測定噴吐量，控制裝置140以噴吐噴嘴列為單位而施行驅動電壓的修正。
而後，X方向移動部172，使各質量測定部190之各杯體191，往各噴頭列162的第2個噴頭161之正下方移動。以下，同樣地施行第2個噴頭161的噴吐量測定及驅動電壓調整。關於第3個~第6個噴頭161的噴吐量測定及驅動電壓調整亦相同。
各噴頭列162，包含噴吐紅色發光層之材料液的液滴之噴頭161R、噴吐綠色發光層之材料液的液滴之噴頭161G、及噴吐藍色發光層之材料液的液滴之噴頭161R。因此，各杯體191，混合貯存複數種之功能液。
<排液部>
塗布裝置123a，如圖7、圖8所示，具有從杯體191排出貯存於杯體191之內部的功能液之排液部200。以下，亦將排液部200所進行的來自杯體191之功能液的排出稱作「排液處理」。
依本實施形態，則排液部200施行排液處理，故不需要過去所必須之更換杯體191的人工作業。因此，不產生在杯體191的更換作業時誤對質量測定器192施加負載之情形，故可防止質量測定器192的損壞。
此外，依本實施形態，則可將杯體191以螺絲等堅固地與質量測定器192結合，故可抑制杯體191與質量測定器192的結合不足所造成之振動，可正確地測定質量。另，過去，取代螺絲，係藉由板片彈簧等將杯體191以可取下的方式與質量測定器192結合，故容易因形成在塗布裝置123a之內部的降流等而產生振動。
進一步，依本實施形態，則杯體191之容量，可增加杯體191的更換作業用之空間變得不需要的分，可降低排液處理之頻率。藉此，可縮短為了排液處理而停止描繪處理的時間，可改善塗布裝置123a的運作率。另，排液處理，亦可 在維持處理中施行，細節將於後述內容描述。維持處理，係維持部180所進行之維持液滴噴吐部160的功能之處理。
進一步，此外，依本實施形態，則在杯體191每次的更換作業，不需要為了避免噴頭161與杯體191之碰撞，而確認杯體191的位置。因此，不需要確認杯體191的位置之位置感測器等。此外，可避免該位置感測器之故障所造成的噴頭161與杯體191之碰撞。
排液部200，例如具有：抽吸噴嘴201，***至杯體191之內部，抽吸貯存於杯體191之內部的功能液；以及升降機構202，使抽吸噴嘴201升降。可取代杯體191而將抽吸噴嘴201與排液用的配管203連接，能夠以不考慮杯體191之移動的方式設計配管203。另，亦可將杯體191與配管203連接。
抽吸噴嘴201，經由配管203而與儲存槽204連接。於配管203之途中，設置抽吸泵205。控制裝置140一使抽吸泵205作動，則抽吸噴嘴201抽吸貯存於杯體191之內部的功能液，將功能液回收至儲存槽204。
升降機構202，例如係以空氣氣壓缸構成。升降機構202，以伺服馬達、及將伺服馬達的旋轉運動轉換為抽吸噴嘴201的直線運動之運動轉換機構構成亦可。作為運動轉換機構，例如使用滾珠螺桿。
X方向移動部172，使質量測定部190在圖8以實線表示的位置與其他位置(例如圖8以虛線表示的位置或圖8以二點鏈線表示的位置)之間移動時，升降機構202使抽吸噴嘴201從杯體191之內部往上方退避。
排液部200，例如，設置於在基座171之X方向一端部的上方中在Y方向延伸之樑部210。藉由使設置有排液部200之樑部210遠離Y軸樑177，而可抑制排液部200的振動往液滴噴吐部160傳遞，可改善描繪精確度。
排液部200亦可進一步具有滑動機構206，其使抽吸噴嘴201相對於基座171在Y方向滑動。將排液部200設置於樑部210之情況，滑動機構206使抽吸噴嘴201沿著樑部210滑動。
滑動機構206，例如，亦可具有伺服馬達、及將伺服馬達的旋轉運動轉換為抽吸噴嘴201的直線運動之運動轉換機構。作為運動轉換機構，使用齒條與齒輪機構、正時皮帶帶輪機構等。
滑動機構206藉由使抽吸噴嘴201在Y方向滑動，而使抽吸噴嘴201可從在Y方向排列之複數個杯體191依序抽吸功能液。藉此，相較於未使抽吸噴嘴201在Y方向滑動的情況，可減少抽吸噴嘴201之根數。
各杯體191混合貯存複數種之功能液，抽吸噴嘴201抽吸混合貯存的複數種之功能液。各杯體191將複數種之功能液依每個功能液的種類分開貯存，相較於在每個功能液的種類設置抽吸噴嘴201之情況，可減少抽吸噴嘴201的根數。
排液部200所進行的排液處理，例如係在維持部180所進行的維持處理之間施行。在維持處理之間，塗布裝置123a並未於基板10描繪功能液，故相較於在描繪處理之途中或在緊接描繪處理之前施行排液處理的情況，可防止塗布裝置123a之運作率的降低。以下，對於塗布裝置123a之排液處理予以說明。塗布裝置123a的下述動作，係在控制裝置140所進行之控制下施行。
首先，X方向移動部172，使在Y方向排列的複數個質量測定部190往樑部210之正下方移動。接著，滑動機構206使抽吸噴嘴201移動至第1個質量測定部190的杯體191之正上方，升降機構202將抽吸噴嘴201***至第1個杯體191之內部。抽吸噴嘴201，如圖11所示，以不與杯體191、多孔質體193接觸的方式，***至杯體191之內部。接著，控制裝置140一使抽吸泵205作動，則抽吸噴嘴201抽吸貯存於第1個杯體191之內部的功能液，將功能液回收至儲存槽204。
而後，升降機構202，將抽吸噴嘴201，從第1個杯體191之內部往上方抽出。接著，滑動機構206使抽吸噴嘴201移動至第2個質量測定部190的杯體191之正上方，升降機構202將抽吸噴嘴201***至第2個杯體191之內部。以下，同樣地，從第2個杯體191排出功能液。關於來自第3個以後的杯體191之功能液的排出亦相同。
控制裝置140，亦可依據質量測定器192之測定結果，設定排液處理的時間點。排液處理的時間點，設定為可將杯體191之內部的功能液之液面高度維持在既定值以下，設定為可防止運作率的降低。杯體191之內部的功能液之液面高度，可由功能液之質量、功能液之密度、杯體191之底面積等算出。
可在排液處理後，至下一次排液處理前為止之間，將抽吸噴嘴201的下端部***至待機槽。待機槽，例如設置於樑部210之Y方向一端部的下方。待機槽，為了抑制留在抽吸噴嘴201之內部的功能液之乾燥，而將抽吸噴嘴201之內部保持在溶劑的蒸氣氣體環境。
<總結>
如同上述說明，依本實施形態，則塗布裝置123a，具備：杯體191，承接由液滴噴吐部160噴吐之液滴；質量測定器192，測定貯存於杯體191之內部的功能液之質量；以及排液部200，從杯體191排出貯存於杯體191之內部的功能液。藉此，獲得下述(1)~(4)之效果。
(1)排液部200施行排液處理，故不需要過去所必須之更換杯體191的人工作業。因此，不產生在杯體191的更換作業時誤對質量測定器192施加負載之情形，故可防止質量測定器192的損壞。
(2)可將杯體191以螺絲等堅固地與質量測定器192結合，故可抑制杯體191與質量測定器192的結合不足所造成之振動，可正確地測定質量。另，過去，取代螺絲，係藉由板片彈簧等將杯體191以可取下的方式與質量測定器192結合，故容易因形成在塗布裝置123a之內部的降流等而產生振動。
(3)可使杯體191之容量，增加杯體191的更換作業用之空間變得不需要的分，可降低排液處理之頻率。藉此，可縮短為了排液處理而停止描繪處理的時間，可改善塗布裝置123a的運作率。
(4)在杯體191每次的更換作業，不需要為了避免噴頭161與杯體191之碰撞，而確認杯體191的位置。因此，不需要確認杯體191的位置之位置感測器等。此外，可避免該位置感測器之故障所造成的噴頭161與杯體191之碰撞。
依本實施形態，則排液部200，具備：抽吸噴嘴201，***至杯體191之內部，抽吸貯存於杯體191之內部的功能液；以及升降機構202，使抽吸噴嘴201升降。因此，可取代杯體191而將抽吸噴嘴201與排液用的配管203連接，能夠以不考慮杯體191之移動的方式設計配管203。另，亦可將杯體191與配管203連接。
依本實施形態，則移動部170具有X方向移動部172，其使基板保持部150及質量測定部190相對於基座171在X方向移動。X方向移動部172施行基板保持部150之X方向的移動與質量測定部190之X方向的移動兩者，故可將X軸引導件173等零件共通化，可降低塗布裝置123a之製造成本。
依本實施形態，則塗布裝置123a更包含樑部210，其於基座171之X方向一端部的上方中在Y方向延伸；排液部200設置於樑部210。藉由使設置有排液部200之樑部210遠離Y軸樑177，而可抑制排液部200的振動往液滴噴吐部160傳遞，可改善描繪精確度。
依本實施形態，則排液部200更包含滑動機構206，其使抽吸噴嘴201相對於基座171在Y方向滑動。將排液部200設置於樑部210之情況，滑動機構206使抽吸噴嘴201沿著樑部210滑動。抽吸噴嘴201可從在Y方向排列之複數個杯體191依序抽吸功能液。藉此，相較於未使抽吸噴嘴201在Y方向滑動的情況，可減少抽吸噴嘴201之根數。
依本實施形態，則液滴噴吐部160噴吐複數種功能液之液滴，杯體191混合貯存複數種之功能液，抽吸噴嘴201抽吸混合貯存的複數種之功能液。各杯體191將複數種之功能液依每個功能液的種類分開貯存，相較於在每個功能液的種類設置抽吸噴嘴201之情況，可減少抽吸噴嘴201之根數。
<變形、改良>
以上，雖對塗布裝置等之實施形態予以說明，但本發明並未限定於上述實施形態等，在發明申請專利所記載的本發明之要旨的範圍內，可進行各種變形、改良。
上述實施形態中，液滴噴吐部160噴吐複數種功能液之液滴，杯體191混合貯存複數種之功能液，抽吸噴嘴201抽吸混合貯存的複數種之功能液，但本發明並未限定於此一形態。亦可如圖12所示，設置複數個杯體191，將複數種之功能液依每個功能液的種類分開貯存；設置複數個抽吸噴嘴201，分別抽吸預先決定之一種功能液。例如，分開設置貯存紅色發光層之材料液的杯體191、貯存綠色發光層之材料液的杯體191、貯存藍色發光層之材料液的杯體191。如此，分開設置抽吸紅色發光層之材料液的抽吸噴嘴201、抽吸綠色發光層之材料液的抽吸噴嘴201、抽吸藍色發光層之材料液的抽吸噴嘴201。藉由將複數功能液混合，在發生凝膠化、固化等情況有效果。
上述實施形態之排液部200，如圖8所示地設置於樑部210，但亦可如圖13所示地設置於Y軸樑177。排液部200設置於Y軸樑177之情況，不需要專用的樑部210。排液部200設置於Y軸樑177之情況，滑動機構206使抽吸噴嘴201沿著Y軸樑177滑動。
上述實施形態中，對於將本發明應用在發光層形成區塊123之塗布裝置123a的情況予以說明，但本發明並未限定於此一形態。本發明之塗布裝置，為在基板描繪功能液的描繪圖案之塗布裝置即可。例如，本發明，亦可應用在正電洞注入層形成區塊121之塗布裝置121a、正電洞輸送層形成區塊122之塗布裝置122a。此外，正電洞輸送層形成區塊122之塗布裝置122a，亦可形成與複數種之發光層26對應的複數種之正電洞輸送層25。可改善發光層26與正電洞輸送層25的兼容性。同樣地，正電洞注入層形成區塊121之塗布裝置121a，亦可形成與複 數種之發光層26對應的複數種之正電洞注入層24。可改善發光層26與正電洞注入層24的兼容性。
上述實施形態中，發光層26之種類，為紅色發光層、綠色發光層、藍色發光層此3種，但本發明並未限定於此一形態。例如，亦可在使用此等3種發光層以外，使用包含發出紅色與綠色的中間色即黃色光之黃色發光材料的黃色發光層、及/或包含發出綠色與藍色的中間色即青色光之青色發光材料的發光層等。發光色之組合的數越大，可顯示之色座標的範圍越廣。
例如，有機EL顯示器，在上述實施形態為從基板10側取出來自發光層26之光線的底部發光方式，但亦可為從與基板10的相反側取出來自發光層26之光線的頂部發光方式。
頂部發光方式之情況，基板10，亦可不為透明基板，可為不透明基板。此係因來自發光層26的光線，從與基板10的相反側取出。
頂部發光方式的情況，將透明電極即陽極21作為對向電極使用，將陰極22作為設置於每個單位電路11之畫素電極使用。此一情況，陽極21與陰極22的配置成為相反，故在陰極22上，依序形成：電子注入層28、電子輸送層27、發光層26、正電洞輸送層25、及正電洞注入層24。
有機層23，上述實施形態中，雖從陽極21側朝向陰極22側，依序具有正電洞注入層24、正電洞輸送層25、發光層26、電子輸送層27、電子注入層28，但至少具有發光層26即可。有機層23，並未限定為圖2所示之構成。
10‧‧‧基板
150‧‧‧基板保持部
160‧‧‧液滴噴吐部
161‧‧‧噴頭
171‧‧‧基座
172‧‧‧X方向移動部(主掃描方向移動部)
173‧‧‧X軸引導件
174‧‧‧第一Y方向移動部
175‧‧‧θ方向移動部
176‧‧‧第二Y方向移動部(次掃描方向移動部)
177‧‧‧Y軸樑(導樑)
178‧‧‧Y軸引導件(引導件)
190‧‧‧質量測定部
191‧‧‧杯體
192‧‧‧質量測定器
194、195‧‧‧沖洗箱
198‧‧‧防風構件
200‧‧‧排液部
201‧‧‧抽吸噴嘴
202‧‧‧升降機構
203‧‧‧配管
204‧‧‧儲存槽
205‧‧‧抽吸泵
206‧‧‧滑動機構
210‧‧‧樑部

Claims (9)

  1. 一種塗布裝置，於基板上描繪功能液的描繪圖案，包含：基板保持部，保持該基板；液滴噴吐部，對由該基板保持部所保持的該基板噴吐該功能液之液滴；移動部，使該基板保持部與該液滴噴吐部在主掃描方向及次掃描方向上相對移動；質量測定部，具備：杯體，用來承接由該液滴噴吐部所噴吐之液滴；及質量測定器，用來測定貯存於該杯體之內部的該功能液之質量；以及排液部，從該杯體排出貯存於該杯體之內部的該功能液；該排液部，具備：抽吸噴嘴，***至該杯體之內部，用來抽吸貯存於該杯體之內部的該功能液；以及升降機構，使該抽吸噴嘴升降。
  2. 如申請專利範圍第1項之塗布裝置，其中，該移動部具備主掃描方向移動部，其使該基板保持部及該質量測定部相對於一基座在該主掃描方向移動。
  3. 如申請專利範圍第2項之塗布裝置，其中，更包含樑部，其於該基座的該主掃描方向之一端部的上方，在該次掃描方向延伸；該排液部係設置於該樑部。
  4. 如申請專利範圍第2項之塗布裝置，其中，該移動部更包含次掃描方向移動部，其使該液滴噴吐部相對於該基座在該次掃描方向移動；該次掃描方向移動部，具備於該基座的上方朝該次掃描方向延伸之導樑、及設置於該導樑之引導件；該液滴噴吐部，沿著該引導件移動；該排液部，設置於該導樑。
  5. 如申請專利範圍第2至4項中任一項之塗布裝置，其中，該排液部更包含滑動機構，其使該抽吸噴嘴相對於該基座在該次掃描方向滑動。
  6. 如申請專利範圍第1至4項中任一項之塗布裝置，其中，該液滴噴吐部，噴吐複數種之該功能液的液滴；該杯體，混合貯存複數種之該功能液；該抽吸噴嘴，將混合貯存的複數種之該功能液予以抽吸。
  7. 如申請專利範圍第1至4項中任一項之塗布裝置，其中，該液滴噴吐部，噴吐複數種之該功能液的液滴；該杯體，將複數種之該功能液，依該功能液的種類逐一分開貯存；該抽吸噴嘴設置有複數個，分別抽吸預先決定的一種之該功能液。
  8. 一種塗布方法，其利用如申請專利範圍第1至4項中任一項之塗布裝置，於該基板上描繪該功能液的描繪圖案。
  9. 如申請專利範圍第8項之塗布裝置，其中，該功能液，係使用於有機發光二極體的製造。
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