TWI750339B - 液滴吐出裝置、液滴吐出方法及電腦記憶媒體 - Google Patents

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Abstract

[課題] 在對工件吐出機能液的液滴並進行描繪的液滴吐出裝置中，使從液滴吐出頭向工件的液滴的彈著精度提升。 　　[解決手段] 液滴吐出裝置(1)具有：載置工件(W)的工件載台(40)、對載置於工件載台(40)的工件(W)吐出液滴的液滴吐出頭(24)、使工件載台(40)在主掃描方向(Y軸方向)移動的Y軸線性馬達(13)、檢出載架標記(25)的位置的位置檢出器(72)、算出位置檢出器(72)所檢出的檢出位置、與載架標記(25)的基準位置之間的主掃描方向的位置偏移量，並基於該位置偏移量，補正液滴吐出頭(24)的液滴的吐出時點的控制部(150)。

Description

液滴吐出裝置、液滴吐出方法及電腦記憶媒體
本發明係關於對工件吐出機能液的液滴並進行描繪的液滴吐出裝置、利用該液滴吐出裝置的液滴吐出方法、程式及電腦記憶媒體。
從前，作為使用機能液對工件進行描繪的裝置，已知將該機能液作為液滴吐出的噴墨式液滴吐出裝置。液滴吐出裝置，在製造例如有機EL裝置、彩色濾光器、液晶顯示裝置、電漿顯示器(PDP裝置)、電子放出裝置(FED裝置、SED裝置)等電光學裝置(平面顯示器：FPD)時等被廣泛地利用。
例如專利文獻1中記載的液滴吐出裝置，具備：吐出機能液的液滴的機能液滴吐出頭(液滴吐出頭)、搭載工件的工件載台(工件載台)、沿著導引用的一對支持基底延伸的方向(主掃描方向)使工件載台移動的移動機構(線性馬達)。接著，藉由工件載台相對於液滴吐出頭使工件相對移動，同時從液滴吐出頭對在工件上預先形成的區塊吐出機能液，來對工件進行描繪。
又，在液滴吐出裝置的描繪動作中，對液滴吐出頭使工件相對地在主掃描方向往復移動，並適宜地使其在與主掃描方向垂直的副掃描方向移動。藉由該種描繪動作，對工件全面進行描繪。 [先前技術文獻] [專利文獻]
[專利文獻1] 特開2010-198028號公報
[發明所欲解決的問題]
在上述液滴吐出裝置中，在該液滴吐出裝置的起動時，調節從液滴吐出頭吐出的液滴在工件彈著時的彈著位置。具體來說，在位置調節用的工件使液滴彈著，測定該彈著位置，算出測定到的彈著位置與目標位置之間的位置偏移量。接著，基於該位置偏移量，補正例如在液滴吐出頭的液滴吐出時點，又補正工件載台與液滴吐出頭的主掃描方向及副掃描方向的相對移動。
但是，這樣在液滴吐出裝置的起動時進行彈著位置的調節後，例如液滴吐出裝置中的構件，例如因為具備複數液滴吐出頭的載架的溫度變化或經時變化這種要因，會有滴吐出頭與工件上的區塊之間的位置關係發生變化的情形。這時，工件上的液滴的彈著位置也發生偏移。
又，近年，以液滴吐出裝置來製造的電視等製品，大型且高精細(例如4K、8K)成為主流，為了對應工件的大型化而液滴吐出裝置也跟著大型化。因此，因為上述要因造成的液滴吐出頭與區塊之間的位置偏移，亦即彈著位置的位置偏移已經到達無法無視的狀況。而且，因畫素大小的影響，該位置偏移的容許範圍也例如小到成為±2μm以下。
在這裡，在液滴吐出裝置這種需要精密控制的裝置中，要求能夠穩健地對應環境變化的對應彈著位置的位置補正技術。不過在現狀中，這樣的液滴吐出裝置，無法適切地補正彈著位置。
本發明為鑑於相關點而完成者，目的為在對工件吐出機能液的液滴並進行描繪的液滴吐出裝置中，使從液滴吐出頭向工件的液滴的彈著精度提升。 [解決問題的手段]
為了達成前述目的，本發明為一種液滴吐出裝置，係對工件吐出機能液的液滴並進行描繪，具有：載置前述工件的工件載台；對載置於前述工件載台的前述工件吐出液滴的液滴吐出頭；使前述工件載台與前述液滴吐出頭，在主掃描方向相對移動的工件移動機構；檢出前述液滴吐出頭的位置的位置檢出器；算出前述位置檢出器所檢出的檢出位置與前述液滴吐出頭的基準位置之間的主掃描方向的位置偏移量，並基於該位置偏移量，補正前述液滴吐出頭的液滴的吐出時點的控制部。
根據本發明，即便在因液滴吐出裝置中的載架的溫度變化或經時變化這種要因，液滴吐出頭與工件之間的位置關係發生變化的情形時，也能夠基於控制部中補正的吐出時點而從液滴吐出頭向工件適切地吐出液滴。因此，能使從液滴吐出頭向工件的液滴的吐出精度(彈著精度)提升。
前述液滴吐出裝置，更具有：使前述液滴吐出頭在與主掃描方向垂直的副掃描方向及旋轉方向移動的頭移動機構；前述位置檢出器對應前述液滴吐出頭，而檢出在主掃描方向排列形成的至少1個以上的基準標記的位置也可以。
前述位置檢出器檢出2個以上的基準標記的位置，前述控制部，算出前述位置檢出器所檢出的檢出位置與前述基準標記的基準位置之間的主掃描方向的位置偏移量，並基於該位置偏移量，補正前述液滴吐出頭的吐出時點，同時算出前述位置檢出器所檢出的檢出位置與前述基準標記的基準位置之間的副掃描方向及旋轉方向的位置偏移量，並基於該位置偏移量，補正前述液滴吐出頭的副掃描方向及旋轉方向的位置也可以。
前述液滴吐出裝置更具有：進行前述液滴吐出頭的維護的維護單元、使前述維護單元與前述液滴吐出頭在主掃描方向相對移動的單元移動機構；前述位置檢出器設於前述維護單元側或前述工件載台側也可以。
前述位置檢出器設於前述液滴吐出頭側也可以。
前述液滴吐出頭在與主掃描方向垂直的副掃描方向設置複數個；前述位置檢出器在對應複數前述液滴吐出頭的位置設置複數個也可以。
前述液滴吐出頭在與主掃描方向垂直的副掃描方向設置複數個；前述位置檢出器在副掃描方向以移動自如的方式構成也可以。
別的觀點的本發明為一種液滴吐出方法，係在使工件載台與液滴吐出頭在主掃描方向相對移動的同時，從前述液滴吐出頭對載置於前述工件載台的工件吐出機能液的液滴並進行描繪的液滴吐出方法，具有：藉由位置檢出器檢出前述液滴吐出頭的位置的第1工程；算出前述位置檢出器所檢出的檢出位置與前述液滴吐出頭的基準位置之間的主掃描方向的位置偏移量，並基於該位置偏移量，補正前述液滴吐出頭的液滴的吐出時點的第2工程。
在前述第1工程中，前述位置檢出器，對應前述液滴吐出頭，檢出在主掃描方向排列形成的至少1個以上的基準標記的位置也可以。
前述位置檢出器檢出2個以上的基準標記的位置，在前述第2工程中，算出前述位置檢出器所檢出的檢出位置與前述基準標記的基準位置之間的主掃描方向的位置偏移量，並基於該位置偏移量，補正前述液滴吐出頭的吐出時點，同時算出前述位置檢出器所檢出的檢出位置與前述基準標記的基準位置之間的與主掃描方向垂直的副掃描方向及旋轉方向的位置偏移量，並基於該位置偏移量，補正前述液滴吐出頭的副掃描方向及旋轉方向的位置也可以。
前述第1工程，係在從前述液滴吐出頭對前述工件吐出液滴前，利用維護單元進行前述液滴吐出頭的維護時進行；前述位置檢出器設置於前述維護單元側或前述工件載台側也可以。
前述位置檢出器設於前述液滴吐出頭側也可以。
前述液滴吐出頭在與主掃描方向垂直的副掃描方向設置複數個；前述位置檢出器在副掃描方向設置複數個；在前述第1工程中，複數前述位置檢出器檢出分別對應的前述液滴吐出頭的位置也可以。
前述液滴吐出頭在與主掃描方向垂直的副掃描方向設置複數個；在前述第1工程中，前述位置檢出器在副掃描方向移動的同時，檢出複數前述液滴吐出頭的位置也可以。
又根據別的觀點的本發明，提供一種程式，以藉由液滴吐出裝置來使前述液滴吐出方法執行的方式，而在該液滴吐出裝置的電腦上動作。
又根據別的觀點的本發明，提供一種可讀取的電腦記憶媒體，係儲存前述程式。 [發明的效果]
根據本發明，即便在因液滴吐出裝置中的各構件的溫度變化或經時變化這種要因造成液滴吐出頭與工件之間的位置關係發生變化的情形時，也能夠使從液滴吐出頭向工件的液滴的彈著精度提升。
以下，參照附圖說明有關本發明的實施形態。此外，以下所示的實施形態並非用來限定本發明。
＜液滴吐出裝置的構成＞ 　　首先，參照圖1及圖2說明有關本實施形態的液滴吐出裝置的構成。圖1為表示液滴吐出裝置1的構成的概略的側視圖。圖2為表示液滴吐出裝置1的構成的概略的平面圖。此外，在以下，將工件W的主掃描方向設為Y軸方向、與主掃描方向垂直的副掃描方向設為X軸方向、與Y軸方向及X軸方向垂直的鉛直方向設為Z軸方向、繞Z軸方向旋轉的方向設為θ方向。
液滴吐出裝置1具有：在主掃描方向(Y軸方向)延伸，使工件W在主掃描方向移動的Y軸載台10、以跨越Y軸載台10的方式架設，在副掃描方向(X軸方向)延伸的一對X軸載台11、11。在Y軸載台10的上面，一對Y軸導引軌道12、12在Y軸方向延伸設置，在各Y軸導引軌道12設有Y軸線性馬達13。在X軸載台11的上面，X軸導引軌道14在X軸方向延伸設置，在各X軸導引軌道14設有X軸線性馬達15。此外，在以下的說明中，在Y軸載台10上，將比X軸載台11還靠Y軸負方向側的區域稱為搬入出區域A1，將一對X軸載台11、11間的區域稱為處理區域A2，將比X軸載台11還靠Y軸正方向側的區域稱為待機區域A3。
在一對X軸載台11、11設有載架單元20及第1攝像單元30。在Y軸載台10上設有工件載台40、沖洗單元50、吐出檢查單元60、第2攝像單元70。該等工件載台40、沖洗單元50、吐出檢查單元60、第2攝像單元70在Y軸方向依序配置。
載架單元20在X軸載台11設置複數個，例如10個。各載架單元20具有：載架平板21、載架保持機構22、載架23。載架保持機構22設於載架平板21下面的中央部，在該載架保持機構22的下端部將載架23以裝卸自如的方式安裝。
載架平板21安裝於X軸導引軌道14，藉由X軸線性馬達15在X軸方向呈移動自如。此外，也能將複數載架平板21作為一體而在X軸方向移動。
在載架23安裝有馬達(圖未示)。藉由該馬達，載架23在X軸方向及θ方向以移動自如的方式構成。接著，設於載架23的後述的液滴吐出頭24也能夠在X軸方向及θ方向移動。在本實施形態中，載架23構成本發明的頭移動機構。此外，載架23(液滴吐出頭24)的X軸方向及θ方向的移動，例如藉由載架保持機構22來進行也可以。
在載架23的下面，如圖3所示，複數液滴吐出頭24在Y軸方向及X軸方向排列設置。本實施形態中，例如在Y軸方向設置6個、在X軸方向設置2個，亦即合計設置12個液滴吐出頭24。在液滴吐出頭24的下面，亦即噴嘴面形成複數吐出噴嘴(圖未示)。接著，從該吐出噴嘴，對液滴吐出頭24正下方的液滴吐出位置吐出機能液的液滴。
又，在載架23的下面，在複數液滴吐出頭24的兩側(Y軸正方向側及Y軸負方向側)，分別設置作為基準標記的載架對準標記25(以下，稱為載架標記25。)。載架標記25為將複數液滴吐出頭24組裝至載架23時的成為基準的標記，成為載架23的絕對基準位置。在以下的說明中，將液滴吐出頭24的Y軸正方向側的載架標記25稱為第1載架標記25a，將Y方向負方向側的載架標記25稱為第2載架標記25b。
如圖1及圖2所示，第1攝像單元30具有：以夾持載架23(液滴吐出頭24)的方式於Y軸方向對向設置的第1攝像部31及第2攝像部32。作為第1攝像部31及第2攝像部32，使用例如CCD攝影機，在工件載台40的移動中、停止中、工件處理中(液滴吐出中)的任何情況下，都能攝像載置於該工件載台40的工件W。第1攝像部31相對於載架23配置於Y軸負方向側，第2攝像部32相對於載架23設置於Y軸正方向側。此外，第1攝像單元30在X軸方向以可移動的方式構成也可以。
第1攝像部31，被一對X軸載台11、11之中，設於Y軸負方向側的X軸載台11的側面的基底33所支持。接著，在工件載台40被導引至第1攝像部31的正下方時，第1攝像部31攝像戴置於工件載台40上的工件W。
第2攝像部32，被一對X軸載台11、11之中，設於Y軸正方向側的X軸載台11的側面的基底34所支持。接著，在工件載台40被導引至第2攝像部32的正下方時，第2攝像部32攝像戴置於工件載台40上的工件W。
工件載台40例如為真空吸附平台，將工件W吸附載置。工件載台40，藉由設於該工件載台40的下面側的載台移動機構41，在X軸方向移動自如的同時也在θ方向以旋轉自如的方式被支持。工件載台40與載台移動機構41，被支持於設於載台移動機構41的下面側的第1Y軸滑動器42。第1Y軸滑動器42安裝於Y軸導引軌道12，藉由Y軸線性馬達13在Y軸方向以移動自如的方式構成。因此，藉由以載置工件W的狀態使工件載台40藉由第1Y軸滑動器42沿著Y軸導引軌道12在Y軸方向移動，能夠使工件W在Y軸方向移動。此外，在本實施形態中，Y軸線性馬達13(第1Y軸滑動器42)及載台移動機構41構成本發明的工件移動機構。又，在本實施形態中，雖載台移動機構41使工件載台40在X軸方向移動，且在θ方向旋轉，但使工件載台40在X軸方向移動的機構與在θ方向旋轉的機構為分別獨立的機構也可以。
此外，在搬入出區域A1中的工件載台40的上方，設置將工件載台40上的工件W攝像的工件對準攝影機(圖未示)。接著，基於工件對準攝影機所攝像的影像，藉由第1Y軸滑動器42及載台移動機構41，因應必要補正載置於工件載台40的工件W的Y軸方向、X軸方向及θ方向的位置。藉此，工件W被對準而設定在預定的初始位置。
沖洗單元50為接收來自液滴吐出頭24的捨棄吐出的單元。在沖洗單元50，在X軸方向排列設置複數個，例如10個沖洗回收台51。該沖洗回收台51之數與載架23之數相同，沖洗回收台51的間距也與載架23的間距相同。
沖洗回收台51其上面開口，在被導引至沖洗回收台51所對應的載架23正下方時，從載架23的液滴吐出頭24吐出(沖洗)液滴，接住該液滴而收容之。亦即，在對工件W以液滴進行描繪前進行沖洗動作，將基於該沖洗的液滴以沖洗回收台51來回收。
吐出檢查單元60為接收來自液滴吐出頭24的檢查吐出的單元。在吐出檢查單元60設置在X軸方向延伸的檢查台61。在檢查台61的上面，配置於表面施予薄膜塗佈的檢查片材62。配置於檢查台61的檢查片材62，在檢查台61被導至液滴吐出頭24的正下方時，將從液滴吐出頭24吐出的液滴彈著。
在第2攝像單元70設置在X軸方向延伸的基底71。在基底71的上面，在X軸方向排列設置複數個，例如10個位置檢出器72。該位置檢出器72之數與載架23之數相同，位置檢出器72的間距也與載架23的間距相同。
位置檢出器72具備例如CCD攝影機，當位置檢出器72被導引至載架23正下方時，位置檢出器72攝像載架23的載架標記25。又，在位置檢出器72中，基於CCD攝影機取得的攝像影像檢出載架標記25的位置(亦即，液滴吐出頭24的位置)。
沖洗單元50、吐出檢查單元60、及第2攝像單元70被支持於第2Y軸滑動器80。第2Y軸滑動器80安裝於Y軸導引軌道12，藉由被安裝於Y軸導引軌道12的Y軸線性馬達13在Y軸方向以移動自如的方式構成。因此，沖洗單元50、吐出檢查單元60、及第2攝像單元70也能夠藉由第2Y軸滑動器80沿著Y軸導引軌道12在Y軸方向移動。
此外，在本實施形態中，沖洗單元50及吐出檢查單元60構成本發明的維護單元。又，在本實施形態中，Y軸線性馬達13(第2Y軸滑動器80)構成本發明的單元移動機構。
＜控制部＞ 　　以上的液滴吐出裝置1設有控制部150。控制部150例如為電腦，具有資料儲存部(圖未示)。在資料儲存部中，儲存有例如控制對工件W吐出的液滴，而用以對該工件W描繪預定圖案的描繪資料(位元對映資料)等。又，控制部150具有程式儲存部(圖未示)。在程式儲存部中，儲存有控制液滴吐出裝置1中的各種處理的程式等。
此外，前述資料及前述程式，例如為記錄於電腦可讀取硬碟(HD)、可撓性磁碟(FD)、光碟(CD)、磁光碟(MO)、記憶卡等的電腦可讀取的記憶媒體中者，從該記憶媒體安裝至控制部150者也可以。
在本實施形態中，控制部150基於位置檢出器72所檢出的載架標記25a、25b的檢出位置、與該載架標記25a、25b的基準位置之間的位置偏移量，補正液滴吐出頭24的液滴的吐出時點，同時補正載架23(液滴吐出頭24)的X軸方向及θ方向的位置。具體來說，進行以下的步驟S1至S3。
此外，雖位置檢出器72在第1載架標記25a的正下方，攝像該第1載架標記25a，但將此時的位置檢出器72的位置稱為第1攝像位置P1。再來，雖位置檢出器72在第2載架標記25b的正下方，攝像該第2載架標記25b，但將此時的位置檢出器72的位置稱為第2攝像位置P2。
首先，取得載架標記25a、25b的基準位置(步驟S1)。將載架23組裝至液滴吐出裝置1時，因為其組裝誤差，而如圖4所示複數載架23的位置會發生偏差，該載架標記25a、25b的位置也會發生偏差。在這裡，取得各載架23的載架標記25a、25b的基準位置。此外，在圖4中，為了容易說明，示出10個載架23之中的5個。
在液滴吐出裝置1的起動時，雖利用位置調節用的工件W，進行從液滴吐出頭24向工件W的液滴的彈著位置的調節，但載架標記25a、25b的基準位置，在該彈著位置的調節時被取得。具體來說，如圖5所示藉由Y軸線性馬達13，使載置工件W的工件載台40從搬入出區域A1移動至待機區域A3。此時，在處理區域A2，對移動至液滴吐出頭24下方的工件W，從該液滴吐出頭24吐出液滴後，在第2攝像部32攝像工件W，並攝像在該工件W的上面彈著的液滴。
控制部150基於第2攝像部32取得到的攝像影像，測定工件W上的液滴的彈著位置，算出測定到的彈著位置與目標位置之間的位置偏移量。基於該位置偏移量，補正例如在液滴吐出頭24的液滴的吐出時點，又補正工件載台40與液滴吐出頭的主掃描方向及副掃描方向的相對移動。以下，有將在該液滴吐出裝置1的起動時進行的補正稱為自動補正的情形。
進行自動補正後，藉由Y軸線性馬達13，使位置檢出器72向載架23的正下方移動，攝像該載架23。接著，在位置檢出器72中，基於取得到的攝像影像(圖4)，取得載架23中的載架標記25a、25b的基準位置。
接著，在通常作業時的液滴吐出頭24的維護時，檢出載架標記25a、25b的位置(步驟S2)。如同後述，液滴吐出頭24的維護，在每次對工件W進行描繪時實施。
具體來說，如圖6及圖7所示，藉由Y軸線性馬達13，使位置檢出器72移動至第1載架標記25a的正下方(第1攝像位置P1)，以該位置檢出器72攝像第1載架標記25a。接著如圖8及圖9所示，藉由Y軸線性馬達13，使位置檢出器72移動至第2載架標記25b的正下方(第2攝像位置P2)，以該位置檢出器72攝像第2載架標記25b。此時，位置檢出器72與載架23為1對1對應，以各位置檢出器72攝像對應的載架23。此外，在攝像位置P1、P2的位置檢出器72所進行的攝像，可以在使該位置檢出器72停止的狀態下進行，也可以在Y軸方向移動的同時進行。
圖10將位置檢出器72檢出的載架標記25a、25b的檢出位置(實線)與載架標記25a、25b的基準位置(虛線)一同表示。控制部150，算出在一個載架23中，相對於第1載架標記25a的檢出位置與基準位置之間的Y軸方向的位置偏移量ΔYa、X軸方向的位置偏移量ΔXa、及θ方向的位置偏移量Δθa。又，控制部150，算出相對於第2載架標記25b的檢出位置與基準位置之間的Y軸方向的位置偏移量ΔYb、X軸方向的位置偏移量ΔXb、及θ方向的位置偏移量Δθb。
接著，控制部150基於Y軸方向的位置偏移量ΔYa、ΔYb，算出液滴吐出頭24中的液滴的吐出時點的補正量(步驟S3)。算出的補正量，被輸出至控制液滴的吐出時點的控制動作控制器(圖未示)，補正液滴吐出頭24的液滴的吐出時點。
又，於步驟S3中，控制部150基於X軸方向的位置偏移量ΔXa、、ΔXb與θ方向的位置偏移量Δθa、Δθb，算出載架23的X軸方向及θ方向各別的位置的補正量。算出的補正量被輸出至載架23，補正該載架23的X軸方向及θ方向各別的位置。
＜液滴吐出裝置中的工件處理＞ 　　接著，說明有關利用如以上的方式構成的液滴吐出裝置1進行的工件處理。
首先，在搬入出區域A1配置工件載台40，藉由搬送機構(圖未示)而搬入至液滴吐出裝置1的工件W被載置於該工件載台40。接著，藉由工件對準攝影機攝像工件載台40上的工件W的對準標記。接著，基於該攝像到的影像，藉由載台移動機構41，補正載置於工件載台40的工件W的X軸方向及θ方向的位置，進行工件W的對準(步驟T1)。
之後，藉由Y軸線性馬達13，使工件載台40從搬入出區域A1移動至處理區域A2。在處理區域A2，對移動至液滴吐出頭24下方的工件W，從該液滴吐出頭24吐出液滴。再來，如圖5所示以使工件W的全面通過液滴吐出頭24的下方的方式，使工件載台40再移動至待機區域A3側。接著，在使工件W在Y軸方向返復移動的同時，適宜地使其在X軸方向移動，對工件W描繪預定的圖案(步驟T2)。
之後，使工件載台40從待機區域A3移動至搬入出區域A1。在該工件載台40的移動中，藉由第2攝像部32攝像工件載台40上的工件W的全面，亦即攝像對工件W吐出的液滴所進行的圖案的描繪狀態。攝像到的影像被輸出至控制部150，控制部150基於攝像到的影像，檢查描繪狀態的不良，例如膜虹斑等。在該檢查結果中，當判定成描繪狀態不良時，補正例如工件載台40的Y軸方向的移動、或X軸方向及θ方向的位置(步驟T3)。
工件載台40移動至搬入出區域A1後，結束描繪處理的工件W被從液滴吐出裝置1搬出。接著，下個工件W被搬入至液滴吐出裝置1，進行上述步驟T1的工件W的對準(步驟T4)。
在如此方式進行步驟T3中的描繪狀態的檢查與步驟T4中的工件W的搬入出的期間，藉由Y軸線性馬達13，使沖洗單元50、吐出檢查單元60及第2攝像單元70從待機區域A3移動至處理區域A2。在處理區域A2，將吐出檢查單元60的檢查片材62配置於液滴吐出頭24的下方，對該檢查片材62從液滴吐出頭24將液滴檢查吐出(步驟T5)。
之後，使沖洗單元50與吐出檢查單元60在X軸正方向側移動，將吐出檢查單元60的檢查片材62配置於第1攝像部31的下方，同時將沖洗單元50的沖洗回收台51配置於液滴吐出頭24的下方。
接著，藉由第1攝像部31攝像向檢查片材62檢查吐出的液滴的彈著點。攝像到的影像被輸出至控制部150，控制部150基於攝像到的影像，檢查液滴吐出頭24中的吐出噴嘴的吐出不良。基於該檢查結果，將液滴吐出頭24適宜地維護。
又，以此方式進行第1攝像部31的攝像處理及控制部150的吐出不良檢查時，對沖洗回收台51從液滴吐出頭24進行液滴的捨棄吐出(步驟T6)。
以此方式進行步驟T5中的檢查吐出與步驟T6中的沖洗時，進行上述步驟S1～S3，位置檢出器72基於攝像影像檢出載架標記25a、25b的位置，控制部150基於載架標記25a、25b的檢出位置與基準位置的位置偏移量，補正液滴吐出頭24中的液滴的吐出時點，同時補正載架23(液滴吐出頭24)的X軸方向及θ方向的位置(步驟T7)。
如同以上對各工件W進行步驟T1～T7，結束一連的工件處理。
根據以上的實施形態，在進行液滴吐出裝置1的自動補正後，即便因例如載架23的溫度變化或經時變化這種要因而產生載架23的位置偏移，也能夠進行上述步驟S1～S3，補正液滴吐出頭24中的液滴的吐出時點，同時補正載架23(液滴吐出頭24)的X軸方向及θ方向的位置。因此，能夠從液滴吐出頭24對工件W適切地吐出液滴，並能使從該液滴吐出頭24向工件W的液滴的吐出精度(彈著精度)提升。
又，因為步驟T5～T6中的液滴吐出頭24的維護，對每個工件W在枚葉進行，步驟T7中的液滴吐出時點與載架23位置的補正也在枚葉進行。因此，能使從液滴吐出頭24向工件W的液滴的彈著精度提升。
又，因為位置檢出器72與載架23以1對1對應設置，能夠對載架23將位置檢出器72配置於適切的位置，能夠高精度地進行攝像。又，因為能利用複數位置檢出器72將複數載架23進行一次攝像，能夠縮短攝像時間。再來，也能夠在使位置檢出器72在Y軸方向移動的同時進行攝像，相關的情形，能夠更縮短攝像時間。
此外，在以上的實施形態中，在第2攝像單元70中，位置檢出器72雖在Y軸方向設1列，但設2列也可以。相關的情形，能夠同時進行第1攝像位置P1的位置檢出器72的攝像、及第2攝像位置P2的位置檢出器72的攝像。因此，能夠更縮短攝像時間。
又，在以上的實施形態中，位置檢出器72雖攝像載架標記25a、25b，但攝像載架23的其他位置也可以。例如在載架23形成其他的基準標記並將其攝像也可以、或將在液滴吐出頭24中的特定噴嘴作為基準標記來攝像也可以。
又，在以上的實施形態中，雖利用第1攝像位置P1及第2攝像位置P2中的攝像影像，補正液滴吐出頭24中的液滴的吐出時點，同時補正載架23(液滴吐出頭24)的X軸方向及θ方向的位置，但在實際的作業中，未必一定要取得第1攝像位置P1及第2攝像位置的兩位置的攝像影像。
例如在第1攝像位置P1以位置檢出器72攝像載架23，僅取得第1載架標記25a的攝像影像也可以。接著，藉由基於該攝像影像檢出第1載架標記25a的位置，至少算出第1載架標記25a的檢出位置與基準位置的Y軸方向的位置偏移量，僅補正液滴吐出頭24中的液滴的吐出時點。相關的情形，至少能夠補正彈著精度的要求高的Y軸方向的位置偏移。
接著，上述第1攝像位置P1與第2攝像位置P2的兩位置的攝像影像的取得，可以在預定的時點進行，而在例如以預定的頻度實施的液滴吐出頭24的清理時進行也可以。相關的情形，能夠補正液滴吐出頭24的液滴的吐出時點，同時補正載架23(液滴吐出頭24)的X軸方向及θ方向的位置。
＜其他實施形態＞ 　　接著，說明有關本發明的其他實施形態。
在以上的實施形態中，位置檢出器72以與載架23相同數量在X軸方向排列設置，但如圖11所示設置1個也可以。相關的情形，位置檢出器72為將基底71在X軸方向以移動自如而構成。使位置檢出器72移動的機構並沒有特別限定，但可以使用例如在X軸方向具有掃描軸的致動器。
相關的情形，在步驟S2中，如圖12所示在第1攝像位置P1，以使Y軸線性馬達13停止的狀態，使位置檢出器72在X軸方向移動。接著，攝像第1攝像位置P1的複數載架23(第1載架標記25a)。接著，也在如圖13所示的第2攝像位置P2，以使Y軸線性馬達13停止的狀態，使位置檢出器72在X軸方向移動。接著，攝像第2攝像位置P2的複數載架23(第2載架標記25b)。此外，其他步驟S1、S3與上述實施形態中的步驟S1、S3一樣。
在本實施形態中也能享有與上述實施形態一樣的效果。亦即，在能夠補正液滴吐出頭24中的液滴的吐出時點的同時，能夠補正載架23(液滴吐出頭24)的X軸方向及θ方向的位置，能夠使從液滴吐出頭24向工件W的液滴的彈著精度提升。又，因為複數位置檢出器72變得不需要，能將第2攝像單元70的構成簡略化。
在以上的實施形態中，位置檢出器72雖設於第2Y軸滑動器80，但設於工件載台40也可以。相關的情形也一樣，進行上述步驟S1至S3，能夠補正液滴吐出頭24中的液滴的吐出時點，同時補正載架23(液滴吐出頭24)的X軸方向及θ方向的位置。此外，位置檢出器72與圖2所示的情形一樣與載架23設置同數量也可以，又與圖11示的情形一樣在X軸方向以移動自如而構成也可以。
又，位置檢出器72設於載架23也可以。相關的情形，位置檢出器72，藉由攝像例如形成於工件載台40或沖洗單元50、吐出檢查單元60的基準標記，能夠檢出載架23(液滴吐出頭24)的位置。此外，位置檢出器72與圖2所示的情形一樣與載架23設置同數量也可以，又與圖11示的情形一樣在X軸方向以移動自如而構成也可以。
在以上的實施形態中，雖利用位置檢出器72檢出載架23的載架標記25a、25b的位置，但該位置的檢出手段並沒有特別限定。例如利用例如雷射干涉計(圖未示)或雷射變位計(圖未示)來檢出載架標記25a、25b的位置也可以。
在以上的實施形態中，作為工件移動機構利用Y軸線性馬達13(第1Y軸滑動器42)及載台移動機構41，使工件載台40在Y軸方向移動，但使液滴吐出頭24在Y軸方向移動也可以。又，使工件載台40與液滴吐出頭24兩者在Y軸方向移動也可以。再來，雖使工件載台40在X軸方向移動而改行，但使液滴吐出頭24在X軸方向移動也可以。使液滴吐出頭24在X軸方向移動時，使用X軸線性馬達15也可以。
又，在以上的實施形態中，作為單元移動機構利用Y軸線性馬達13(第2Y軸滑動器80)，使沖洗單元50、吐出檢查單元60及第2攝像單元70在Y軸方向移動，但使載架23(液滴吐出頭24)在Y軸方向移動也可以。又，使沖洗單元50、吐出檢查單元60及第2攝像單元70、液滴吐出頭24的兩者在Y軸方向移動也可以。
＜液滴吐出裝置的適用例＞ 　　如以上構成的液滴吐出裝置1，適用例如特開2017-13011號公報記載的形成有機發光二極體的有機EL層的基板處理系統。具體來說，液滴吐出裝置1適用於：在作為工件W的玻璃基板上塗佈用以形成電洞注入層的有機材料的塗佈裝置、在玻璃基板(電洞注入層)上塗佈用以形成電洞輸送層的有機材料的塗佈裝置、在玻璃基板(電洞輸送層)上塗佈用以形成發光層的有機材料的塗佈裝置。此外，在基板處理系統中，除了形成有機發光二極體的電洞注入層、電洞輸送層及發光層以外，也形成電子輸送層與電子注入層時，液滴吐出裝置1也能夠適用於該等電子輸送層與電子注入層的塗佈處理。
又，液滴吐出裝置1除了適用於形成上述的有機發光二極體的有機EL層時以外，例如也適用於製造彩色濾光器、液晶顯示裝置、電漿顯示器(PDP裝置)、電子放出裝置(FED裝置、SED裝置)等電光學裝置(平面顯示器：FPD)時、或也適用於製造金屬配線形成、透鏡形成、光阻形成、及光擴散體形成等。
以上，雖參照附加的圖式詳細說明有關本發明適合的實施形態，但與本發明相關的例子並不以此為限。若是該技術領域中的知識者，在申請專利範圍所記載的技術思想範圍內，能夠想到各種變更例或修正例，有關於該等情形，當然也屬於本揭示的技術範圍。
1‧‧‧液滴吐出裝置10‧‧‧Y軸載台11‧‧‧X軸載台12‧‧‧Y軸導引軌道13‧‧‧Y軸線性馬達14‧‧‧X軸導引軌道15‧‧‧X軸線性馬達20‧‧‧載架單元23‧‧‧載架24‧‧‧液滴吐出頭25(25a、25b)‧‧‧載架標記30‧‧‧第1攝像單元31‧‧‧第1攝像部32‧‧‧第2攝像部40‧‧‧工件載台41‧‧‧載台移動機構42‧‧‧第1Y軸滑動器50‧‧‧沖洗單元60‧‧‧吐出檢查單元70‧‧‧第2攝像單元72‧‧‧位置檢出器80‧‧‧第2Y軸滑動器150‧‧‧控制部W‧‧‧工件
[圖1] 表示本實施形態之液滴吐出裝置的構成的概略的側視圖。 　　[圖2] 表示本實施形態之液滴吐出裝置的構成的概略的平面圖。 　　[圖3] 表示載架的構成的概略的平面圖。 　　[圖4] 表示載架的基準位置的說明圖。 　　[圖5] 表示使工件向液滴吐出頭移動的樣子的側視中的說明圖。 　　[圖6] 表示在第1攝像位置攝像部攝像第1載架標記的樣子的側視中的說明圖。 　　[圖7] 表示在第1攝像位置攝像部攝像第1載架標記的樣子的平面視中的說明圖。 　　[圖8] 表示在第2攝像位置攝像部攝像第2載架標記的樣子的側視中的說明圖。 　　[圖9] 表示在第2攝像位置攝像部攝像第2載架標記的樣子的平面視中的說明圖。 　　[圖10] 將攝像部檢出的載架的檢出位置(實線)與載架的基準位置(虛線)一同表示的說明圖。 　　[圖11] 表示其他實施形態之液滴吐出裝置的構成的概略的平面圖。 　　[圖12] 表示在其他實施形態中在第1攝像位置攝像部攝像第1載架標記的樣子的平面視中的說明圖。 　　[圖13] 表示在其他實施形態中在第2攝像位置攝像部攝像第2載架標記的樣子的平面視中的說明圖。
1‧‧‧液滴吐出裝置
10‧‧‧Y軸載台
11‧‧‧X軸載台
12‧‧‧Y軸導引軌道
13‧‧‧Y軸線性馬達
14‧‧‧X軸導引軌道
15‧‧‧X軸線性馬達
20‧‧‧載架單元
21‧‧‧載架平板
22‧‧‧載架保持機構
23‧‧‧載架
24‧‧‧液滴吐出頭
25a、25b‧‧‧載架標記
30‧‧‧第1攝像單元
31‧‧‧第1攝像部
32‧‧‧第2攝像部
33、34、71‧‧‧基底
40‧‧‧工件載台
41‧‧‧載台移動機構
42‧‧‧第1Y軸滑動器
50‧‧‧沖洗單元
51‧‧‧沖洗回收台
60‧‧‧吐出檢查單元
61‧‧‧檢查台
62‧‧‧檢查片材
70‧‧‧第2攝像單元
72‧‧‧位置檢出器
80‧‧‧第2Y軸滑動器
150‧‧‧控制部
A1‧‧‧搬入出區域
A2‧‧‧處理區域
A3‧‧‧待機區域
P1‧‧‧第1攝像位置
P2‧‧‧第2攝像位置
W‧‧‧工件

Claims (15)

  1. 一種液滴吐出裝置，係對工件吐出機能液的液滴並進行描繪，具有：載置前述工件的工件載台；對載置於前述工件載台的前述工件吐出液滴的液滴吐出頭；使前述工件載台與前述液滴吐出頭，在主掃描方向相對移動的工件移動機構；檢出前述液滴吐出頭的位置的位置檢出器；算出前述位置檢出器所檢出的檢出位置與前述液滴吐出頭的基準位置之間的主掃描方向的位置偏移量，並基於該位置偏移量，補正前述液滴吐出頭的液滴的吐出時點的控制部；前述液滴吐出頭設於載架，且在該載架的下面，於前述液滴吐出頭的一側，設置作為基準標記的載架對準標記；前述位置檢出器具備攝影機，當前述位置檢出器被導引至前述載架正下方時，前述位置檢出器攝像前述載架對準標記，在前述位置檢出器，基於前述攝影機取得的攝像影像檢出前述載架對準標記的位置；前述控制部，算出相對於前述載架對準標記的前述檢出位置與前述基準位置之間的主掃描方向的位置偏移量，基於主掃描方向的位置偏移量，算出前述液滴吐出頭中的 液滴的吐出時點的補正量。
  2. 如請求項1所記載的液滴吐出裝置，更具有：使前述液滴吐出頭在與主掃描方向垂直的副掃描方向及旋轉方向移動的頭移動機構；前述位置檢出器，對應前述液滴吐出頭，檢出在主掃描方向排列形成的至少1個以上的基準標記的位置。
  3. 如請求項2所記載的液滴吐出裝置，其中，前述位置檢出器檢出2個以上的基準標記的位置；前述控制部，算出前述位置檢出器所檢出的檢出位置與前述基準標記的基準位置之間的主掃描方向的位置偏移量，並基於該位置偏移量，補正前述液滴吐出頭的吐出時點，並且算出前述位置檢出器所檢出的檢出位置與前述基準標記的基準位置之間的副掃描方向及旋轉方向的位置偏移量，並基於該位置偏移量，補正前述液滴吐出頭的副掃描方向及旋轉方向的位置。
  4. 如請求項1至3中任一項所記載的液滴吐出裝置，更具備：進行前述液滴吐出頭的維護的維護單元；使前述維護單元與前述液滴吐出頭，在主掃描方向相對移動的單元移動機構；作為前述位置檢出器的前述攝影機，設於前述維護單 元側或前述工件載台側；前述控制部，控制前述單元移動機構將前述攝影機移動至第1攝像位置；控制前述攝影機攝像第1載架對準標記；控制前述單元移動機構將前述攝影機移動至第2攝像位置；控制前述攝影機攝像第2載架對準標記；從前述第1載架對準標記的位置、前述第2載架對準標記的位置、與前述基準位置，算出前述主掃描方向的位置偏移量。
  5. 如請求項1至3中任一項所記載的液滴吐出裝置，其中，前述位置檢出器，設於前述液滴吐出頭側。
  6. 如請求項1至3中任一項所記載的液滴吐出裝置，其中，前述液滴吐出頭在與主掃描方向垂直的副掃描方向設置複數個；前述位置檢出器，在對應複數前述液滴吐出頭的位置設置複數個。
  7. 如請求項1至3中任一項所記載的液滴吐出裝置，其中，前述液滴吐出頭在與主掃描方向垂直的副掃描方向設置複數個； 前述位置檢出器在副掃描方向以移動自如的方式構成。
  8. 一種液滴吐出方法，係在使工件載台與液滴吐出頭在主掃描方向相對移動的同時，從前述液滴吐出頭對載置於前述工件載台的工件吐出機能液的液滴並進行描繪的液滴吐出方法，具有：藉由位置檢出器檢出前述液滴吐出頭的位置的第1工程；算出前述位置檢出器所檢出的檢出位置與前述液滴吐出頭的基準位置之間的主掃描方向的位置偏移量，並基於該位置偏移量，補正前述液滴吐出頭的液滴的吐出時點的第2工程；前述液滴吐出頭設於載架，且在該載架的下面，於前述液滴吐出頭的一側，設置作為基準標記的載架對準標記；前述位置檢出器具備攝影機，當前述位置檢出器被導引至前述載架正下方時，前述位置檢出器攝像前述載架對準標記，在前述位置檢出器，基於前述攝影機取得的攝像影像檢出前述載架對準標記的位置；前述第2工程中，算出相對於前述載架對準標記的前述檢出位置與前述基準位置之間的主掃描方向的位置偏移量，基於主掃描方向的位置偏移量，算出前述液滴吐出頭中的液滴的吐出時點的補正量。
  9. 如請求項8所記載的液滴吐出方法，其中，在前述第1工程中，前述位置檢出器，對應前述液滴吐出頭，檢出在主掃描方向排列形成的至少1個以上的基準標記的位置。
  10. 如請求項9所記載的液滴吐出方法，其中，前述位置檢出器檢出2個以上的基準標記的位置；在前述第2工程中，算出前述位置檢出器所檢出的檢出位置與前述基準標記的基準位置之間的主掃描方向的位置偏移量，並基於該位置偏移量，補正前述液滴吐出頭的吐出時點，並且算出前述位置檢出器所檢出的檢出位置與前述基準標記的基準位置之間的與主掃描方向垂直的副掃描方向及旋轉方向的位置偏移量，並基於該位置偏移量，補正前述液滴吐出頭的副掃描方向及旋轉方向的位置。
  11. 如請求項8至10中任一項所記載的液滴吐出方法，其中，前述第1工程，係在從前述液滴吐出頭對前述工件吐出液滴前，利用維護單元進行前述液滴吐出頭的維護時進行；作為前述位置檢出器的前述攝像機，設於前述維護單元側或前述工件載台側；前述第1工程中，將前述攝影機移動至第1攝像位置，前述攝影機攝像第1載架對準標記，將前述攝影機移動至 第2攝像位置，前述攝影機攝像第2載架對準標記；前述第2工程中，從前述第1載架對準標記的位置、前述第2載架對準標記的位置、與前述基準位置，算出前述主掃描方向的位置偏移量。
  12. 如請求項8至10中任一項所記載的液滴吐出方法，其中，前述位置檢出器，設於前述液滴吐出頭側。
  13. 如請求項8至10中任一項所記載的液滴吐出方法，其中，前述液滴吐出頭在與主掃描方向垂直的副掃描方向設置複數個；前述位置檢出器在副掃描方向設置複數個；在前述第1工程中，複數前述位置檢出器檢出分別對應的前述液滴吐出頭的位置。
  14. 如請求項8至10中任一項所記載的液滴吐出方法，其中，前述液滴吐出頭在與主掃描方向垂直的副掃描方向設置複數個；在前述第1工程中，前述位置檢出器在副掃描方向移動的同時，檢出複數前述液滴吐出頭的位置。
  15. 一種可讀取的電腦記憶媒體，以藉由液滴吐出裝置來使如請求項8~10中任一項所記載的液滴吐出方法執行的方式，而儲存在該液滴吐出裝置的電腦上動作的程式。
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