JP6338507B2 - 液滴吐出装置、液滴吐出方法、プログラム及びコンピュータ記憶媒体 - Google Patents
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Description
先ず、本発明の第1の実施の形態に係る液滴吐出装置の構成について、図1及び図2を参照して説明する。図1は、液滴吐出装置1の構成の概略を示す模式側面図である。図2は、液滴吐出装置1の構成の概略を示す模式平面図である。なお、以下においては、ワークWの主走査方向をX軸方向、主走査方向に直交する副走査方向をY軸方向、X軸方向及びY軸方向に直交する鉛直方向をZ軸方向、Z軸方向回りの回動方向をθ方向とする。
次に、本発明の第2の実施の形態に係る液滴吐出装置の構成について、図9及び図10を参照して説明する。なお、上記第1の実施の形態に係る液滴吐出装置1と同じ構成については同じ符号を付して、その詳細な説明を省略する。
以上の第2の実施の形態の液滴吐出装置1では、その専有面積を小さくした分、キャリッジ23を交換する際のスペースを確保するのが困難となる場合がある。そこで、図14に示すように吸引ユニット100を用いてキャリッジ23を交換してもよい。具体的には、使用済みのキャリッジ23を載置した吸引ユニット100を処理エリアA2から待機エリアA3まで移動させ、待機エリアA3において、使用済みのキャリッジ23を使用前のキャリッジ23と交換する。そして、使用前のキャリッジ23を載置した吸引ユニット100を待機エリアA3から処理エリアA2まで移動させ、使用前のキャリッジ23をキャリッジ回動機構22に取り付ける。こうしてキャリッジ23を適切に交換することができる。
次に、以上のように構成された液滴吐出装置1の適用例について説明する。図15は、液滴吐出装置1を備えた基板処理システム200の構成の概略を示す説明図である。基板処理システム200では、有機発光ダイオードの有機EL層が形成される。
10 X軸テーブル
11 Y軸テーブル
12 X軸ガイドレール
13 Y軸ガイドレール
20 キャリッジユニット
23 キャリッジ
24 液滴吐出ヘッド
30 撮像ユニット
31 吐出検査カメラ
32 描画検査カメラ
40 ワークステージ
42 第1のX軸スライダ
50 フラッシングユニット
51 フラッシング回収台
60 吐出検査ユニット
62 検査シート
70 第2のX軸スライダ
80 メンテナンスユニット
90 ワイピングユニット
91 払拭ローラ
100 吸引ユニット
101 分割吸引ユニット
150 制御部
200 基板処理システム
240、260、280 塗布装置
300 有機発光ダイオード
330 有機EL層
331 正孔注入層
332 正孔輸送層
333 発光層
334 電子輸送層
335 電子注入層
G ガラス基板
W ワーク
Claims (12)
- ワークに機能液の液滴を吐出して描画する液滴吐出装置であって、
前記ワークに液滴を吐出する液滴吐出ヘッドと、
前記ワークを載置するワークステージと、
前記ワークステージを介して、前記液滴吐出ヘッドに対し前記ワークを主走査方向に移動させるワーク移動機構と、
前記液滴吐出ヘッドからの捨て吐出を受けるフラッシングユニットと、
前記液滴吐出ヘッドからの検査吐出を受ける吐出検査ユニットと、
前記フラッシングユニットと前記吐出検査ユニットを搭載すると共に、前記ワークステージと同一軌道上において前記主走査方向に前記フラッシングユニットと前記吐出検査ユニットを移動させるユニット移動機構と、
前記吐出検査ユニットに検査吐出された液滴の着弾ドットを撮像する吐出検査用撮像部と、
前記ワークに吐出された液滴による描画状態を撮像する描画検査用撮像部と、
前記ユニット移動機構、前記吐出検査用撮像部、及び前記液滴吐出ヘッドの動作を制御する制御部と、を有し、
前記ワークステージ、前記フラッシングユニット、及び前記吐出検査ユニットは、前記主走査方向にこの順で配置され、
前記吐出検査用撮像部と前記描画検査用撮像部は、前記液滴吐出ヘッドを挟んで前記主走査方向に配置され、且つ、前記吐出検査用撮像部は前記フラッシングユニット側に配置され、前記描画検査用撮像部は前記ワークステージ側に配置され、
前記制御部は、前記吐出検査ユニットを前記吐出検査用撮像部の下方に移動させると共に、前記フラッシングユニットを前記液滴吐出ヘッドの下方に移動させた後、前記吐出検査ユニットに検査吐出された液滴の着弾ドットを前記吐出検査用撮像部で撮像すると同時に、前記フラッシングユニットに対して前記液滴吐出ヘッドから液滴の捨て吐出を行うように、前記ユニット移動機構、前記吐出検査用撮像部、及び前記液滴吐出ヘッドを制御することを特徴とする、液滴吐出装置。
- 前記液滴吐出ヘッドのノズル面を払拭するワイピングユニットと、
前記液滴吐出ヘッドから機能液を吸引する吸引ユニットと、をさらに有し、
前記ワイピングユニットと前記吸引ユニットは、前記ユニット移動機構に搭載され、
前記フラッシングユニット、前記ワイピングユニット、前記吐出検査ユニット、及び前記吸引ユニットは、前記主走査方向にこの順で配置されていることを特徴とする、請求項1に記載の液滴吐出装置。 - 前記液滴吐出ヘッドを複数備えたキャリッジが、前記主走査方向に直交する副走査方向に複数設けられ、
前記ワイピングユニットと前記吸引ユニットは、それぞれ前記キャリッジの数に合わせて、前記副走査方向に分割して設けられ、
前記キャリッジと前記分割されたワイピングユニットは、前記主走査方向に相対的に移動自在に構成され、
前記キャリッジと前記分割された吸引ユニットは、前記主走査方向に相対的に移動自在に構成されていることを特徴とする、請求項2に記載の液滴吐出装置。 - 前記ユニット移動機構は、当該ユニット移動機構に搭載されたユニットを昇降させることを特徴とする、請求項1〜3のいずれか一項に記載の液滴吐出装置。
- 前記機能液は、有機EL層に用いられる有機材料であることを特徴とする、請求項1〜4のいずれか一項に記載の液滴吐出装置。
- 液滴吐出装置を用いて、ワークに機能液の液滴を吐出して描画する液滴吐出方法であって、
前記液滴吐出装置は、
前記ワークに液滴を吐出する液滴吐出ヘッドと、
前記ワークを載置するワークステージと、
前記ワークステージを介して、前記液滴吐出ヘッドに対し前記ワークを主走査方向に移動させるワーク移動機構と、
前記液滴吐出ヘッドからの捨て吐出を受けるフラッシングユニットと、
前記液滴吐出ヘッドからの検査吐出を受ける吐出検査ユニットと、
前記フラッシングユニットと前記吐出検査ユニットを搭載すると共に、前記ワークステージと同一軌道上において前記主走査方向に前記フラッシングユニットと前記吐出検査ユニットを移動させるユニット移動機構と、
前記吐出検査ユニットに検査吐出された液滴の着弾ドットを撮像する吐出検査用撮像部と、
前記ワークに吐出された液滴による描画状態を撮像する描画検査用撮像部と、を有し、
前記ワークステージ、前記フラッシングユニット、及び前記吐出検査ユニットは、前記主走査方向にこの順で配置され、
前記吐出検査用撮像部と前記描画検査用撮像部は、前記液滴吐出ヘッドを挟んで前記主走査方向に配置され、且つ、前記吐出検査用撮像部は前記フラッシングユニット側に配置され、前記描画検査用撮像部は前記ワークステージ側に配置され、
前記液滴吐出方法は、
前記ワーク移動機構によって前記ワークを前記液滴吐出ヘッドの下方に移動させ、当該ワークに対して前記液滴吐出ヘッドから液滴を吐出して描画する第1の工程と、
その後、前記ユニット移動機構によって前記吐出検査ユニットを前記液滴吐出ヘッドの下方に移動させ、当該吐出検査ユニットに対して前記液滴吐出ヘッドから液滴を検査吐出する第2の工程と、
その後、前記ユニット移動機構によって前記吐出検査ユニットを前記吐出検査用撮像部の下方に移動させると共に、前記フラッシングユニットを前記液滴吐出ヘッドの下方に移動させた後、前記吐出検査ユニットに検査吐出された液滴の着弾ドットを前記吐出検査用撮像部で撮像すると同時に、前記フラッシングユニットに対して前記液滴吐出ヘッドから液滴の捨て吐出を行う第3の工程と、を有することを特徴とする、液滴吐出方法。
- 前記液滴吐出装置は、
前記液滴吐出ヘッドのノズル面を払拭するワイピングユニットと、
前記液滴吐出ヘッドから機能液を吸引する吸引ユニットと、をさらに有し、
前記ワイピングユニットと前記吸引ユニットは、前記ユニット移動機構に搭載され、
前記フラッシングユニット、前記ワイピングユニット、前記吐出検査ユニット、及び前記吸引ユニットは、前記主走査方向にこの順で配置され、
前記液滴吐出ヘッドをメンテナンスする際には、
前記ユニット移動機構によって前記吸引ユニットを前記液滴吐出ヘッドの下方に移動させ、当該吸引ユニットによって前記液滴吐出ヘッドから機能液を吸引した後、
前記ユニット移動機構によって前記ワイピングユニットを前記液滴吐出ヘッドの下方に移動させ、当該ワイピングユニットによって前記液滴吐出ヘッドのノズル面を払拭することを特徴とする、請求項6に記載の液滴吐出方法。 - 前記液滴吐出ヘッドを複数備えたキャリッジが、前記主走査方向に直交する副走査方向に複数設けられ、
前記ワイピングユニットと前記吸引ユニットは、それぞれ前記キャリッジの数に合わせて、前記副走査方向に分割して設けられ、
前記キャリッジと前記分割されたワイピングユニットは、前記主走査方向に相対的に移動自在に構成され、
前記キャリッジと前記分割された吸引ユニットは、前記主走査方向に相対的に移動自在に構成され、
前記ワイピングユニットによる払拭処理と前記吸引ユニットによる吸引処理は、前記キャリッジ毎に個別に行われることを特徴とする、請求項7に記載の液滴吐出方法。 - 前記ユニット移動機構によって、当該ユニット移動機構に搭載されたユニットの高さを調整することを特徴とする、請求項6〜8のいずれか一項に記載の液滴吐出方法。
- 前記機能液は、有機EL層に用いられる有機材料であることを特徴とする、請求項6〜9のいずれか一項に記載の液滴吐出方法。
- 請求項6〜10のいずれか一項に記載の液滴吐出方法を液滴吐出装置によって実行させるように、当該液滴吐出装置のコンピュータ上で動作するプログラム。
- 請求項11に記載のプログラムを格納した読み取り可能なコンピュータ記憶媒体。
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Families Citing this family (14)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
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JP6774803B2 (ja) * | 2016-07-14 | 2020-10-28 | 東京エレクトロン株式会社 | 液滴吐出装置及び吐出検査方法 |
JP6804249B2 (ja) * | 2016-09-23 | 2020-12-23 | 東京エレクトロン株式会社 | 塗布装置、塗布方法、および有機elディスプレイ |
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JP6925143B2 (ja) * | 2017-03-07 | 2021-08-25 | 東京エレクトロン株式会社 | 液滴吐出装置、液滴吐出方法、プログラム及びコンピュータ記憶媒体 |
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CN112566730A (zh) * | 2018-08-22 | 2021-03-26 | 东京毅力科创株式会社 | 绘制装置和绘制方法 |
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JP2023156645A (ja) * | 2022-04-13 | 2023-10-25 | 東京エレクトロン株式会社 | 液滴吐出装置、液滴吐出方法および記憶媒体 |
Family Cites Families (9)
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---|---|---|---|---|
JP2002127390A (ja) * | 2000-10-20 | 2002-05-08 | Konica Corp | インクジェットプリンター及びインク吐出回復方法並びにインクジェットプリンターの製造方法 |
JP4967741B2 (ja) * | 2007-03-23 | 2012-07-04 | セイコーエプソン株式会社 | 液滴吐出装置および電気光学装置の製造方法 |
JP2009006212A (ja) * | 2007-06-26 | 2009-01-15 | Seiko Epson Corp | 液滴吐出装置、電気光学装置の製造方法および電気光学装置 |
JP5131450B2 (ja) * | 2007-10-15 | 2013-01-30 | セイコーエプソン株式会社 | 液滴吐出量調整方法及びパターン形成装置 |
JP2010082489A (ja) * | 2008-09-29 | 2010-04-15 | Seiko Epson Corp | フラッシング受容装置およびこれを備えた液滴吐出装置 |
JP5428754B2 (ja) | 2009-10-26 | 2014-02-26 | セイコーエプソン株式会社 | 液滴吐出装置および液滴吐出装置の制御方法 |
US8376512B2 (en) * | 2009-10-26 | 2013-02-19 | Seiko Epson Corporation | Droplet discharge device and method for controlling droplet discharge device |
JP2011181701A (ja) * | 2010-03-01 | 2011-09-15 | Seiko Epson Corp | 導体パターンの形成方法、配線基板、液滴吐出装置およびプログラム |
JP5359973B2 (ja) | 2010-04-02 | 2013-12-04 | セイコーエプソン株式会社 | 液滴吐出装置 |
-
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Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
KR20230156036A (ko) | 2021-03-17 | 2023-11-13 | 파나소닉 아이피 매니지먼트 가부시키가이샤 | 감압 건조 장치 및 감압 건조 방법 |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
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KR102382924B1 (ko) | 2022-04-04 |
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