TWI683790B

TWI683790B - 七氟化碘之製造方法

Info

Publication number: TWI683790B
Application number: TW105118823A
Authority: TW
Inventors: 長友真聖; 池田晋也; 柴山茂朗
Original assignee: 日商中央硝子股份有限公司
Priority date: 2015-07-23
Filing date: 2016-06-15
Publication date: 2020-02-01
Also published as: JP2017024971A; CN107709229B; TW201934475A; TWI695813B; KR20180006439A; KR102014907B1; CN107709229A; JP6687843B2; TW201708098A

Abstract

本發明揭示有一種五氟化碘之製造方法，其包括：對於具有包含碘之液相之五氟化碘之反應槽中供給七氟化碘氣體，使碘與七氟化碘反應，從而製造五氟化碘之步驟。利用該方法，可安全且穩定地實現五氟化碘之高速度之生成。

Description

七氟化碘之製造方法

本發明係關於一種使碘與七氟化碘反應而製造五氟化碘之方法、及由五氟化碘製造七氟化碘之方法。

作為製造有效用作氟化劑或含氟化合物之中間物製造之原料之五氟化碘之方法，已知有使碘與氟反應之方法。

例如，專利文獻1中揭示有「由熔融碘之直接氟化製造五氟化碘之方法」。

專利文獻2中揭示有「(1)一種五氟化碘之製造方法，其特徵在於：(a)向液狀之碘中通入氟氣使之反應，生成包含五氟化碘及碘之蒸氣混合物；(b)於已生成之液狀之五氟化碘之存在下，使該蒸氣混合物與新的氟氣反應，進而生成五氟化碘」。

使氟與碘反應而生成五氟化碘之反應其生成熱超過800kJ/mol，並伴隨著大規模放熱。因此，無論固體(非專利文獻1)、液體(專利文獻1)、氣體(專利文獻2)，若使純碘與氟反應，則均有局部進行反應並放熱，難以控制反應之擔憂。

鑒於以上情況，為了「平穩地實施氟與碘之反應，最終提供一種更安全、且生產性更優異之五氟化碘之製造方法」，專利文獻3中揭示有「一種五氟化碘之製造方法，其特徵在於：其係使氟與碘反應而製造五氟化碘之方法，且向與包含碘之五氟化碘之液相鄰接之氣相中供給氟」。

專利文獻3所記載之五氟化碘之製造方法係藉由使分散或溶解於液相之五氟化碘中之碘與包含氟氣之氣相接觸，使碘與氟氣反應而製造五氟化碘之方法。

[先前技術文獻] [專利文獻]

[專利文獻1]日本專利特開昭54-65196號公報

[專利文獻2]日本專利特開昭58-145602號公報

[專利文獻3]國際公開WO2008/047871號之說明書

[非專利文獻]

[非專利文獻1]WalterC.Schumb、外1名、「Ind.Eng.Chem.」、1950、42(7)、pp1383~1386

然而，於專利文獻3所記載之藉由使分散或溶解於液相之五氟化碘中之碘與包含氟氣之氣相接觸，使碘與氟氣反應而製造五氟化碘之五氟化碘之製造方法中，若使氣相中之氟、與自液相汽化之碘或液相中之碘接觸，則有氣相之氟氣難以溶解於液相之五氟化碘中，導致氟氣與碘之反應難以進行之擔憂。

即，本發明之目的在於提供一種五氟化碘之製造方法，其係使五氟化碘藉由溫和之反應，於不發生局部反應及急遽放熱之情況下，五氟化碘之生成速度較高之製造方法，換言之，每單位時間之五氟化碘之生成量較多之製造方法。

進而，本發明之目的在於提供一種由所獲得之五氟化碘簡便地製造七氟化碘之七氟化碘之製造方法。

本發明者等經過銳意研究，結果發現，藉由使七氟化碘氣體溶解或分散於具有包含碘之液相之五氟化碘之反應槽中之反應系中，使碘與七氟化碘接觸並反應，從而能夠以較高之生成速度製造五氟化碘，以至完成本發明之五氟化碘之製造方法。

由碘(I₂)及七氟化碘(IF₇)獲得五氟化碘(IF₅)時之反應式如下所述。

5IF₇+I₂→7IF₅

本發明者等人著眼於雖然氟氣難以溶解於液相之五氟化碘，但七氟化碘氣體容易溶解於液相之五氟化碘。由於氟氣難溶於液相之五氟化碘，故而液相之五氟化碘中之氟氣與碘之反應為氣液反應或氣固反應，無法期待提高五氟化碘之生成速度。然而，七氟化碘氣體易溶於液相之五氟化碘，液相之五氟化碘中之七氟化碘與碘之反應不僅為氣液反應、氣固反應，而且以七氟化碘與碘之液固反應或液液反應進行，實現五氟化碘之生成速度較高。

如本說明書之實施例1及比較例2所示，以本發明之「向具有包含碘之液相之五氟化碘之反應槽中供給七氟化碘氣體，使碘與七氟化碘反應之五氟化碘之製造方法」而快速進行從而獲得五氟化碘(實施例1)，相對於此，以先前之方法即「向與包含碘之五氟化碘之液相鄰接之氣相供給氟，使碘與氟反應之五氟化碘之製造方法」難以進行(比較例2)。

又，本發明者等人發現一種由所獲得之五氟化碘簡便地製造七氟化碘之七氟化碘之製造方法。

即，本發明包括以下之發明1~9。

〔發明1〕

一種五氟化碘之製造方法，其包括：對於具有包含碘之液相之五氟化碘之反應槽中供給七氟化碘，使碘與七氟化碘反應，從而製造五氟化碘之步驟。

〔發明2〕

如發明1之五氟化碘之製造方法，其中於碘與七氟化碘之反應中，一面於反應槽內進行攪拌一面供給七氟化碘。

〔發明3〕

如發明1或發明2之五氟化碘之製造方法，其中上述包含碘之液相之五氟化碘係包含溶解之碘之溶液狀態、或液相中分散及沈澱有固體碘之狀態。

〔發明4〕

如發明1至3之五氟化碘之製造方法，其中於上述包含碘之液相之五氟化碘中，以相對於碘與五氟化碘之總量之含有率表示，包含碘0.01重量%以上且70重量%以下。

〔發明5〕

如發明1至4之五氟化碘之製造方法，其中於上述包含碘之液相之五氟化碘中，以相對於碘與五氟化碘及七氟化碘之總量之含有率表示，包含七氟化碘0.001重量%以上且91重量%以下。

〔發明6〕

一種七氟化碘之製造方法，其包括：利用發明1至5之五氟化碘之製造方法，使碘與七氟化碘反應而獲得五氟化碘之步驟、及使氟氣與所獲得之五氟化碘反應而獲得七氟化碘之步驟。

〔發明7〕

如發明6之七氟化碘之製造方法，其中於獲得上述七氟化碘之步驟中，對於內部具有含有金屬氟化物之填充物之反應器中供給五氟化碘氣體及氟氣，並使其等反應。

〔發明8〕

如發明7之七氟化碘之製造方法，其中上述金屬氟化物包含選自由NiF₂、FeF₃、及CoF₂所組成之群中之至少1種化合物。

〔發明9〕

如發明7或發明8之七氟化碘之製造方法，其中上述五氟化碘氣體與上述氟氣反應時之上述金屬氟化物之溫度為150℃以上且350℃以下。

根據本發明之五氟化碘之製造方法，能夠提高五氟化碘之生成速度，進而可由利用該製造方法製造之五氟化碘簡便地製造七氟化碘。

10‧‧‧反應裝置

11‧‧‧反應槽(利用冷卻器冷卻)

12‧‧‧固體碘

13‧‧‧五氟化碘(溶解有碘)

14‧‧‧氣相

15‧‧‧液相(五氟化碘)

16‧‧‧七氟化碘之供給源

17‧‧‧碘供給源

18‧‧‧惰性氣體之供給源

19‧‧‧泵

20‧‧‧攪拌器

圖1係表示實施形態之反應裝置之說明圖。

1.五氟化碘之製造方法

本發明係五氟化碘之製造方法，其包括向具有包含碘之液相之五氟化碘之反應槽中供給七氟化碘氣體，使碘與七氟化碘反應，從而製造五氟化碘之步驟。

使用圖1對本發明之五氟化碘之製造方法之實施形態之一例進行說明。本發明並不限定於以下所示之實施形態。

再者，於本發明中，所謂液相係指物質為液體狀態之相，所謂氣相係指物質為氣體狀態之相。

〔反應裝置〕

將本發明之五氟化碘之製造方法之實施形態之反應裝置10示於圖1。反應裝置10係於反應槽11內具有沈澱、分散或溶解有碘12之液相(液狀)之五氟化碘13。向反應槽11內之液相15中供給七氟化碘，於液相15中使七氟化碘與碘12反應，從而可生成五氟化碘。

此時，七氟化碘既可供給至液相15中，亦可供給至氣相14中。於將七氟化碘供給至液相15中之情形時，七氟化碘按照某種比率於氣相14中移動，於將七氟化碘供給至氣相14中之情形時，七氟化碘按照某種比率於液相15中移動。以將七氟化碘吹入至包含碘12之五氟化碘之液相15中，可使七氟化碘迅速溶解於液相15中，可高效地進行七氟化碘與碘12之反應，從而提高五氟化碘之生成速度。

七氟化碘較佳為自附設於反應槽11之七氟化碘供給源16供給至液相15中。由於五氟化碘之蒸氣壓低，故而為了容易控制反應槽11之壓力以及確保泵19之驅動壓力，亦可將惰性氣體作為緩衝氣體(緩衝物)自附設於反應槽11之惰性氣體供給源18供給至反應槽11中，較佳為供給至氣相14中。作為惰性氣體，可舉出的是不與碘、七氟化碘、五氟化碘反應之氣體，例如氮氣、氬氣、氦氣。較佳為容易獲得之氮氣。

於碘12與七氟化碘之反應中，反應槽11內之液相15由泵19或攪拌器20攪拌。

〔碘與七氟化碘之反應〕

碘與七氟化碘之反應係發生於氣相14中、液相15中、或氣相14與液相15之界面。即，於液相15中，存在於五氟化碘13中之碘12成為與蒸氣壓相當之氣體，於氣相14中移動，而與存在於氣相14中之七氟化碘反應。又，存在於氣相14中之七氟化碘自氣相14移動至液相15，而與存在於液相15中之碘12反應。又，存在於氣相14中之七氟化碘與液相15中存在於五氟化碘13中之碘12於氣相14與液相15之界面處進行反應。又，於液相15中，七氟化碘與存在於五氟化碘13中之碘12反應。

反應槽11亦可藉由未圖示之水冷裝置進行冷卻。於碘與七氟化碘之反應中，較佳為藉由將反應槽11中之液相15之溫度保持於10℃以上且95℃以下，而維持液相之狀態。於將液相15維持於未達10℃之情形時，有五氟化碘13凝固之擔憂，冷卻所需之能量消耗亦變大。另一方面，於將液相15維持於高於95℃之溫度之情形時，反應過程中不僅反應槽11內之壓力變高，而且有產生於液相15中溶解於五氟化碘13之七氟化碘之量減少，導致五氟化碘之生成速度下降等問題之虞。液相15之維持溫度較佳為15℃以上且75℃以下，更佳為20℃以上且50℃以下。

反應過程中之反應槽11內之氣相14之壓力較佳為以絕對壓計為40kPa以上且133kPa以下，更佳為67kPa以上且101kPa以下。若反應槽11內之壓力為未達40kPa，則溶解於五氟化碘13之七氟化碘之量減少，五氟化碘之生成速度下降。若反應槽11內之壓力高於133kPa，則必須將反應槽11設為耐壓之結構。壓力可根據七氟化碘氣體16之供給速度、反應槽11之冷卻、惰性氣體之添加等進行調整。七氟化碘之供給速度雖取決於反應裝置之大小及反應之規模，但於反應中，反應槽11內之氣相14之壓力較佳為落於上述範圍內。

〔反應時之碘及七氟化碘之含有率〕

碘12既可於反應開始前裝入反應槽11內，亦可於反應開始時及反應過程中間接地或連續地自碘供給源17供給至反應槽11中。於本發明之五氟化碘之製造方法中，反應槽11中之碘12之含有率係以將反應槽11中之碘與五氟化碘之總量設為100重量%之含有率表示，較佳為0.01重量%以上且70重量%以下。

若碘之含有率少於0.01重量%，則生成之五氟化碘之量較少。若碘之含有率多於70重量%，則有未能去除反應熱而引起局部反應或反應失控之虞。再者，為了提高五氟化碘之生產量，碘12之濃度較佳為較高，更佳為1重量%以上且60重量%以下。

再者，雖亦取決於溫度壓力等條件，但於液相15中，碘12無法於液狀之五氟化碘13中溶解約1質量%以上。無法溶解於五氟化碘13中之碘12會以固體之狀態分散及沈澱於液相15中。

於反應過程中，較佳為將七氟化碘自七氟化碘供給源16供給至反應槽11之液相15中。藉由將七氟化碘氣體供給至氣相14中，亦進行碘12與七氟化碘之反應，從而亦可製造五氟化碘。然而，為了提高碘12與七氟化碘之反應效率，以較高之生成速度製造五氟化碘，較佳為將七氟化碘供給至液相15中。

於反應過程中，反應槽11中之液相15中之七氟化碘之含有率係以將反應槽11中之五氟化碘13與七氟化碘之總量設為100重量%之含有率表示，較佳為0.001重量%以上且91重量%以下。若液相15中之七氟化碘之含有率少於0.001重量%，則生成之五氟化碘之量變少。若七氟化碘之濃度多於91重量%，則有反應槽11之溫度及壓力上升，發生局部反應或反應失控之虞。更佳為七氟化碘之含有率為0.01重量%以上且64重量%以下。

供給至液相15中之七氟化碘之純度較佳為純度98重量%以上，更佳為純度99重量%以上。於七氟化碘之純度較低之情形時，有作為生成物之五氟化碘之純度下降之虞。

〔攪拌〕

於使液相15中之碘12與七氟化碘反應而獲得五氟化碘之反應中，為了避免產生反應局部進行之非勻相反應，或產生過度之反應熱，較佳為攪拌液相15。作為反應槽11內之液相15之攪拌方法，可例示藉由泵19使液相15循環之攪拌、或利用具有旋轉翼之攪拌機20進行之攪拌。於藉由泵19攪拌液相15之情形時，為了確保泵19之驅動壓力，較佳為將特定壓力之惰性氣體導入至反應槽11內。例如，惰性氣體係自惰性氣體供給源18供給。作為惰性氣體，可列舉不與碘、七氟化碘、五氟化碘反應之氣體，例如氮氣、氬氣、氦氣。作為惰性氣體之純度，為了不影響作為生成物之五氟化碘之純度，較佳為高純度，較佳為純度99重量%以上。較佳為容易獲得之氮氣。

〔碘與七氟化碘之純度〕

本發明之五氟化碘之製造方法所使用之碘及七氟化碘之純度於實施本發明之方面上並無特別限制。然而，碘及七氟化碘之純度會影響生成之五氟化碘之純度。例如為了獲得99重量%以上之五氟化碘，較佳為使用純度99重量%以上之碘及七氟化碘。

又，於自七氟化碘供給源16所供給之七氟化碘氣體中含有惰性氣體之情形時，惰性氣體具有如下效果：藉由起泡而對反應槽11中之液相15進行攪拌，從而去除使碘12與七氟化碘反應而獲得五氟化碘時之反應熱。然而，由於反應槽11之壓力因惰性氣體之分壓之增加而經時增加，故而需要設置壓力調整閥來控制壓力。

2.七氟化碘之製造方法

本發明係七氟化碘之製造方法，其包括：利用上述五氟化碘之製造方法使碘與七氟化碘反應而獲得五氟化碘之步驟、及使所獲得之五氟化碘與氟氣反應而獲得七氟化碘之步驟。

藉由使利用本發明之上述五氟化碘之製造方法所獲得之五氟化碘與氟氣反應，可製造七氟化碘。

作為使五氟化碘與氟氣反應而獲得七氟化碘之方法之例，可列舉以下之方法：將向五氟化碘之液體中吹入氟氣所獲得之五氟化碘氣體與氟氣一同導入至反應器中，使五氟化碘氣體與氟氣反應而獲得七氟化碘。或者，亦可考慮藉由加熱使五氟化碘氣化而製為五氟化碘氣體並供給至反應器之方法，或直接將液相之五氟化碘供給至反應器之方法。

於採用將五氟化碘氣體及氟氣供給至反應器並使其等反應而獲得七氟化碘之方法之情形時，於該步驟中，較佳為向於內部具有含有金屬氟化物之高溫填充物之反應器中，供給五氟化碘氣體及氟氣。藉由使用填充物，可提高以五氟化碘為基準之七氟化碘之產率，例如可將產率提高至70%以上。

本發明之七氟化碘之製造方法所使用之填充物中所含有之金屬氟化物只要為使金屬氟化者即可，並無特別限制。例如，作為金屬氟化物，可列舉NiF₂、FeF₃、CoF₂、LiF、NaF、KF、CsF、MgF₂或CaF₂，亦可將該等之2種以上混合。若考慮到廉價且對產率提高之助益較大，則較佳為使用包含作為過渡金屬之氟化物之NiF₂、FeF₃、及CoF₂之任1種以上之填充物。

關於所使用之填充物之形狀，只要五氟化碘氣體與氟氣高效地接觸且於流通時該等氣體不發生閉塞，則並無特別限制。填充物例如可以藉由利用氟氣、三氟化氯氣體、七氟化碘氣體等使網狀之金屬片氟化而於金屬表面生成金屬氟化物之形式獲得，或將粉體狀之金屬氟化物成型為顆粒形狀而獲得。

於使五氟化碘氣體與氟氣反應而獲得七氟化碘時之填充物之溫度較佳為150℃以上且350℃以下。若填充物之溫度未達150℃，則有由五氟化碘氣體及氟氣製造七氟化碘時之生成速度下降之虞，若超過350℃，則有發生所生成之七氟化碘分解為五氟化碘及氟之逆反應之虞。特佳之填充物之溫度為200℃以上且330℃以下。例如，可藉由於填充有填充物之狀態下，利用電加熱器或蒸氣等對反應器進行加熱，而將填充物設為所需溫度。

於上述使五氟化碘氣體與氟氣反應而獲得七氟化碘之反應中，只要為逆反應不會變得顯著之反應溫度，則不僅反應器內之五氟化碘氣體與氟氣之滯留時間增加，並且七氟化碘之產率亦增加。有七氟化碘之生產性因滯留時間之增加而下降之虞，考慮到七氟化碘之所需之產率及生產性，反應器內之五氟化碘氣體與氟氣之滯留時間可進行各種選擇。於考慮到七氟化碘之生產性之情形時，期望反應器中之五氟化碘氣體與氟氣之滯留時間較短。例如，於F₂/IF₅之莫耳比為1以上之條件下使五氟化碘氣體與氟氣反應而獲得七氟化碘之情形時，若金屬氟化物之溫度為200℃以上且330℃以下，並且至少五氟化碘氣體與氟氣之滯留時間為4秒以上，即可獲得80%以上之產率。

於使用流通式反應器，使五氟化碘氣體與氟氣反應而獲得七氟化碘之情形時之五氟化碘氣體與氟氣之導入時之流量比、或於使用密閉式反應器之情形時之五氟化碘氣體與氟氣之混合比，均較佳為以五氟化碘與氟之莫耳比(F₂/IF₅)計為1以上。尤其是，若莫耳比為1.3以上，則於五氟化碘氣體與氟氣之滯留時間為4秒以上之情況下可獲得七氟化碘之產率80%以上，但若將莫耳比(F₂/IF₅)設為35以上，則相對於七氟化碘之產率之提高，因氟氣之使用量增加導致經濟性下降變得顯著，因此欠佳。又，若莫耳比(F₂/IF₅)未達1，則有因未反應之五氟化碘增加，導致七氟化碘之產率下降之虞。

關於由五氟化碘氣體及氟氣獲得七氟化碘之反應時之反應器內之壓力，由於氟、五氟化碘、七氟化碘有毒性，故而為了防止洩漏，較佳為大氣壓以下，若考慮到經濟性，則較佳為40kPa(絕對壓)以上。

[實施例]

以下，一併列舉本發明之實施例以及比較例，但本發明並不限制於以下之實施例。

實施例1

如圖1所示，向將槽內氣體經氮氣置換之容積2.3L之不鏽鋼製反應槽11中，加入質量3036g之液狀之五氟化碘13，接著加入重量3710g之固體碘12。添加時之液狀之五氟化碘13中之碘12之濃度相對於五氟化碘13中與固體碘12合計重量，為約55重量%。作為液相15中之包含固體碘12之五氟化碘13之攪拌方法，將泵19驅動而使液相15循環。自七氟化碘供給源16以0.6L/min之流量將七氟化碘氣體供給至液相15中，使七氟化碘氣體與五氟化碘13內之固體碘12反應，而獲得五氟化碘。反應過程中將反應槽11內之壓力保持為93kPa(絕對壓)。又，一面冷卻使反應中之反應槽11之內部溫度成為30~60℃，一面反應60分鐘。除實驗開始前裝入部分以外，五氟化碘之新生成量為499g。

實施例2

作為攪拌方法，使具備旋轉翼之攪拌器20以轉數100rpm進行旋轉以攪拌液相15，代替實施例1中所進行之利用泵19使液相15循環，除此之外與實施例1同樣地，使七氟化碘氣體與固體碘12反應。除實驗開始前裝入部分以外，五氟化碘之新生成量為499g。

無論利用泵、攪拌機、任意之攪拌裝置，均可藉由使五氟化碘中之碘與七氟化碘反應，而高效地除熱，安全且穩定地製造五氟化碘。

比較例1

向將槽內氣體經氮氣置換之容積2.3L之不鏽鋼製反應槽11中，加入質量3710g之固體碘12，自七氟化碘氣體供給源16以0.6L/min供給七氟化碘氣體，使之與固體碘12直接反應。反應過程中之反應槽內之壓力雖控制於93kPa(絕對壓)，但自七氟化碘氣體之供給開始經過5分鐘後，於反應槽11之七氟化碘氣體之供給口附近發現因反應熱所引起之溫度上升，不得不停止七氟化碘氣體之供給，中斷反應。

將各實施例之製造條件及結果示於表1。

於液體之5氟化碘中，於使七氟化碘與碘發生反應之實施例1~2中，於以0.6L/min向液相15中供給七氟化碘氣體之供給速度下，不會伴隨局部放熱而反應「5IF₇+I₂→7IF₅」迅速地進行，每小時獲得499g之五氟化碘。如此，可確認：藉由本發明之五氟化碘之製造方法，每單位時間之產量較多且可高速度地生產五氟化碘。

然而，於不屬於本發明之範疇之使七氟化碘與固定碘直接反應之比較例1中，反應「5IF₇+I₂→7IF₅」產生局部引起之放熱，不得不中斷反應。

比較例2

向將槽內氣體經氮氣置換之容積2.3L之不鏽鋼製反應槽11中，加入質量3036g之液狀之五氟化碘13，加入質量3710g之固體碘12。相對於添加時之五氟化碘13與固體碘12合計重量，固體碘12之濃度約為55重量%。藉由具備旋轉翼之攪拌器，以轉數100rpm攪拌液相15。

於攪拌下，向反應槽11之氣相14中供給經氮氣稀釋至70體積%之氟氣，開始由碘及氟氣獲得五氟化碘之反應。反應過程中之反應槽11內之壓力藉由壓力調整閥保持於93kPa(絕對壓)。又，一面冷卻使反應中之反應槽11之溫度成為30~60℃，一面反應60分鐘。

關於自壓力調整閥排出之氟氣之濃度，利用使用分光光度計UV-Vis(日立高新技術股份有限公司製，型號U2810)之紫外-可視-近紅外分光法所獲得之分光分析，結果以約70體積%進行推移，氟氣幾乎未被消耗，由碘及氟氣獲得五氟化碘之反應未進行。除實驗開始前裝入部分以外，五氟化碘之新生成量僅為0.0025g。

實施例3

使用實施例1中所獲得之五氟化碘，合成七氟化碘。具體之製造順序如下所述。

將作為金屬氟化物之氟化鎳(NiF₂)(純度99%，Apollo Scientific Limited製造)藉由加壓成型製為顆粒狀(大小4mm×4mm×2mm)。向用作反應器之具備電加熱器及壓力計之鎳製之光亮退火管(內徑為22.1mm，長度為0.3m)中，填充顆粒狀之氟化鎳48g(0.5莫耳)。利用電加熱器對光亮退火管進行加熱，藉此將作為填充物之上述顆粒之溫度設為270℃。於該溫度下，將氟(F₂)與五氟化碘(IF₅)之混合氣體(莫耳比(F₂/IF₅)=30.3(F₂濃度96.8體積%、IF₅濃度3.20體積%))自光亮退火管之兩端之一端(入口)導入，自另一端(出口)排出。

此時，將光亮退火管內之壓力設為66.7kPa(絕對壓)，以流量1730cm³/min(滯留時間4秒)使混合氣體流通1小時。又，於混合氣體之流通時，將來自反應器出口之氣體導入至冷卻捕獲器。使用液體氬(溫度：-186℃)作為冷卻捕獲器之冷媒，冷卻捕獲七氟化碘及五氟化碘。於混合氣體之流通結束後，進行冷卻捕獲器內之捕獲物之重量測定、及利用傅立葉變換紅外分光光度計(FT-IR)(島津製作所股份有限公司製造，商品名：Prestige21)對獲得之七氟化碘與五氟化碘之組成進行分析。基於重量測定及組成分析結果，算出以五氟化碘IF₅之供給量為基準之相對於七氟化碘之理論捕獲量的產率，結果以五氟化碘為基準之七氟化碘之產率為99.8%。