TWI683772B - 搬運系統及搬運方法 - Google Patents

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Abstract

一種搬運系統，具備：軌道；複數高架搬運車；及對高架搬運車輸出FOUP搬運指令的搬運控制器。搬運控制器是載放於下游側埠的第1FOUP為等待回收的狀態，且上游側埠未載放有FOUP的場合，控制器從第1FOUP成為等待回收的狀態後經過預先決定的待機時間為止，到該控制器掌握將第2FOUP搬運至上游側埠的高架搬運車為止進行指示第1FOUP的回收之搬運指令輸出的待機，在從第1FOUP成為等待回收的時間點經過待機時間的場合，輸出第1FOUP之回收指示的搬運指令。

Description

搬運系統及搬運方法
本發明是關於搬運系統及搬運方法。
例如，作為運用在半導體製造工廠的搬運系統，已知有在高架搬運車執行對處理裝置之被搬運物的供應與進行從處理裝置之處理後的被搬運物回收的系統。以上的搬運系統中，例如，已知有在比高架搬運車的行走方向的裝置埠的上游側設置暫置台的構成(參閱專利文獻1)。
根據如以上的構成，暫置台載放著被搬運物的高架搬運車可回收載放於下游側的裝置埠之處理後的被搬運物(置換動作)。以上的置換動作成立的場合，可在一台高架搬運車進行對處理裝置之被搬運物的供應及回收，因此可提升高架搬運車的運用效率。
[先前技術文獻] [專利文獻]
[專利文獻1]日本特開2014-57111號公報
但是，以往，上述的置換動作，也僅是在裝置埠上具有等待回收的被搬運物時朝暫置台搬運被搬運物的高架行走車出現的場合偶然成立。因此，置換動作成立的可能性低。
因此，本揭示之一形態的目的為提供一種搬運系統及搬運方法，可一邊抑制搬運效率的惡化並提高置換動作成立的可能性，藉此提升搬運車的運用效率。
本揭示之一形態相關的搬運系統，具備：軌道；沿著軌道行走，搬運被搬運物的複數搬運車；及對搬運車輸出被搬運物之搬運指令的控制器，控制器是在載放於可載放被搬運物場所的下游側埠之第1被搬運物為等待回收的狀態，並且，在搬運車的行走方向中比下游側埠配置在上游側，在可載放被搬運物的場所的上游側埠未載放有被搬運物的場合，控制器在以第1被搬運物成為等待回收的狀態的時間為起點並以預先所決定的待機時間經過後的時間為終點的預定期間之間，到該控制器掌握將第2被搬運物搬運至上游側埠的搬運車為止進行指示第1被搬運物回收之搬運指令輸出的待機，從第1被搬運物成為等待回收的狀態的時間點經過待機時間的場合，輸出指示第1被搬運物的回收的搬運指令。
上述搬運系統中，控制器是在預先決定的待機時間內，到掌握搬運車在上游側埠搬運第2被搬運物為止，使得在下游側埠上成為等待回收之第1被搬運物的回收指示用的搬運指令(回收指令)的輸出待機。如上述，藉著掌握搬運車在上游側埠搬運第2被搬運物之後輸出第1被搬運物的回收指令，可提高對搬運第2被搬運物的搬運車編排第1被搬運物之回收指令的可能性。其結果，藉著第2被搬運物載放在上游側埠的搬運車提高回收第1被搬運物之置換動作成立的可能性。又，預先決定回收指令的輸出可待機的時間，藉著回收指令的輸出持續待機可抑制搬運效率的惡化。因此，根據上述搬運系統，可一邊抑制搬運效率的惡化並提高置換動作成立的可能性，可提升搬運車的搬運效率。
上述搬運系統中，控制器是構成根據從上位控制器所接收之被搬運物的搬運要求輸出被搬運物的搬運指令，控制器也可以在從第1被搬運物成為等待回收的狀態經過預先決定的第1待機時間為止，未從上位控制器接收到指示第2被搬運物搬運至上游側埠的搬運要求的場合，輸出指示第1被搬運物之回收的搬運指令。從上位控制器接收到第2被搬運物的搬運要求為止的時間長期化的場合，據此，可執行置換動作的搬運車也會延遲回收第1被搬運物的時間。為此，上述搬運系統在第1被搬運物成為等待回收的狀態後到接收指示第2被搬運物朝上游側埠搬運之搬運要求為止的時間超過第1待機時間的場合輸出 回收指令。藉此，可適當抑制因回收指令的輸出持續待機導致搬運效率的惡化。
上述搬運系統中，控制器也可以在從上位控制器接收指示第2被搬運物朝上游側埠搬運的搬運要求後經過預先決定的第2待機時間為止，第2被搬運物未成為藉搬運車搬運的搬運狀態的場合，輸出指示第1被搬運物之回收的搬運指令。從上位控制器接收第2被搬運物朝上游側埠搬運之指示的搬運要求後到該第2被搬運物成為搬運狀態為止的時間長期化的場合，據此，可執行置換動作的搬運車也會延遲回收第1被搬運物的時間。為此，上述搬運系統在從上位控制器接收第2被搬運物朝上游側埠搬運之指示的搬運要求後到第2被搬運物成為搬運狀態為止的時間超過第2待機時間的場合輸出回收指令。藉此，可適當抑制因回收指令的輸出持續待機導致搬運效率的惡化。
上述搬運系統進一步具備保管裝置，該保管裝置，具有：搬運車可交接被搬運物的保管部，及在搬運車可交接被搬運物的裝置埠與保管部之間可移載被搬運物的移載機構，保管部，包括：在搬運車的行走方向中設置在比裝置埠上游側的第1保管部，及在搬運車的行走方向中設置在比裝置埠下游側的第2保管部，下游側埠為裝置埠或第2保管部，上游側埠在下游側埠為裝置埠的場合是第1保管部，下游側埠為第2保管部的場合則是第1保管部或裝置埠，控制器是構成進一步對移載機構輸出被搬運物的搬運指令，下游側埠為空缺且在上游側埠載放有第1被搬運物的場合，也可以對移載機構輸出第1被搬運物向下游側埠之移載指示的搬運指令。根據上述構成，藉移載機構進行被搬運物從上游側埠(第1保管部或裝置埠)向下游側埠(裝置埠或第2保管部)的移載，可意圖產生可執行置換動作的狀況。
上述搬運系統中，控制器在第1被搬運物的搬運之相關優先度比預先決定的基準高的場合，也可以在第1被搬運物成為等待回收的狀態的時間點，輸出指示第1被搬運物之回收的搬運指令。根據上述搬運系統，將搬運相關的優先度高的被搬運物，從為提升置換動作成立的可能性而將回收指令的輸出待機的控制(置換控制)的執行對象除外，可迅速進行搬運。藉此，除了可滿足對第1被搬運物所要求的要件之外，並可適當執行置換控制。
上述搬運系統中，控制器在第1被搬運物的下一搬運目的地為預先決定的特定搬運目的地的場合，也可以在第1被搬運物成為等待回收的狀態的時間點，輸出指示第1被搬運物之回收的搬運指令。根據上述搬運系統，例如以將有緊急搬運必要的搬運目的地預先設定作為特定搬運目的地，可以將如此之特定搬運目的地作為下一搬運目的地的被搬運物，從置換控制的執行對象除外，可迅速進行搬運。藉此，除了可滿足對第1被搬運物所要求的要件之外，並可適當執行置換控制。
本說明之一形態的搬運方法是在上述搬運系 統中，藉上述控制器實施的搬運方法，包括：第1步驟，檢測載放於下游側埠的第1被搬運物已成為等待回收的狀態；第2步驟，檢測第1步驟中第1被搬運物已成為等待回收狀態的場合，判定在上游側埠是否載放有被搬運物；第3步驟，判定第2步驟中，上游側埠未載放有被搬運物的場合，控制器在以第1被搬運物成為等待回收的狀態的時間為起點並以預先所決定的待機時間經過後的時間為終點的預定期間之間，到控制器掌握朝著上游側埠搬運第2被搬運物的搬運車為止進行指示第1被搬運物的回收之搬運指令輸出的待機，並在從第1被搬運物成為等待回收狀態的時間點經過待機時間的場合，輸出指示第1被搬運物之回收的搬運指令。
上述搬運方法中，控制器在下游側埠上的第1被搬運物為等待回收的狀態，並且上游側埠未載放有被搬運物的場合，在預先決定的待機時間內，到掌握將第2被搬運物搬運至上游側埠的搬運車為止，使得在下游側埠上成為等待回收狀態的第1被搬運物回收之搬運指令(回收指令)的輸出待機。藉此，可提高對搬運第2被搬運物的搬運車編排第1被搬運物之回收指令的可能性。其結果，藉著將第2被搬運物載放於上游側埠的搬運車可提高回收第1被搬運物之置換動作的可能性。又，預先決定回收指令之輸出可待機的待機時間，可藉此抑制因回收指令的輸出持續待機導致搬運效率的惡化。因此，根據上述搬運方法，可一邊抑制搬運效率的惡化並提高置換動作成立的可能性，可提升搬運車的運用效率。
根據本說明之一形態，可提供一種搬運系統，一邊抑制搬運效率的惡化並提高置換動作成立的可能性，藉此提升搬運車的運用效率。
1‧‧‧搬運系統
10‧‧‧軌道
20‧‧‧高架搬運車
30‧‧‧保管裝置
31‧‧‧保管部
31A‧‧‧第1保管部
31B‧‧‧第2保管部
32‧‧‧局部台車(移載機構)
41‧‧‧搬運控制器
90‧‧‧FOUP(被搬運物)
90A、90B‧‧‧FOUP(第1被搬運物)
90C、90D‧‧‧FOUP(第2被搬運物)
101、101A、101B‧‧‧裝置埠
第1圖是表示本說明之一實施形態的搬運系統的主要部的圖。
第2圖為第1圖之保管裝置及半導體處理裝置的上視圖。
第3圖是表示搬運系統的控制構成的方塊圖。
第4圖是用於說明置換動作之一例的圖。
第5圖是用於說明置換動作之一例的圖。
第6圖是用於說明置換動作之一例的圖。
第7圖是用於說明置換動作之一例的圖。
第8圖是用於說明置換動作之一例的圖。
第9圖是用於說明置換動作之一例的圖。
第10圖是表示搬運系統的動作的流程圖。
以下，一邊參閱圖示並詳細說明本說明的一實施形態。並且，圖示的說明中對相同或同等的元件賦予 相同的符號，省略重複的說明。
使用第1圖及第2圖，針對本實施形態的搬運系統1說明。搬運系統1是在具備複數半導體處理裝置100的半導體製造工廠內，搬運收容有複數半導體晶圓之FOUP(Front Opening Unified Pod)用的系統。如第1圖表示，搬運系統1，具備：軌道10；複數高架搬運車20；及對應各半導體處理裝置100而設置的保管裝置30。第1圖是圖示存在於半導體製造工廠內的複數半導體處理裝置100之中對應一個半導體處理裝置100的保管裝置30。
軌道10是鋪設在半導體製造工廠的頂棚附近。高架搬運車20為OHT(Overhead Hoist Transfer)。高架搬運車20是以垂吊於軌道10的狀態沿著軌道10朝一方向行走。以下，稱高架搬運車20的行走方向A的上游側及下游側為「上游側」及「下游側」。
高架搬運車20將收容有複數半導體晶圓的FOUP90搬運(供應)至各半導體處理裝置100的裝置埠101或後述的保管部31。作為本實施形態中的一例，兩個裝置埠101是沿著高架搬運車20的行走方向A並排設置於一個半導體處理裝置100。半導體處理裝置100是對收容在載放於裝置埠101的FOUP90的半導體晶圓等執行預定的加工處理。在以後的說明是指對收容於FOUP90之半導體晶圓等的處理，僅表現對FOUP90的處理。例如指對收容的半導體晶圓等執行加工處理後的FOUP90，表現處理後的FOUP90等。處理後的FOUP90是以高架搬運車20 回收，例如搬運至進行下一工程的處理之半導體處理裝置100的裝置埠等。處理後的FOUP90也有在裝置埠101以高架搬運車20回收，或暫時退避至保管部31後以高架搬運車20回收。
高架搬運車20，具有：可把持FOUP90的凸緣部91的把持機構21，及藉連接把持機構21的輸送帶22的送出可使把持機構21升降的升降機構23。高架搬運車20以升降機構23使得把持機構21升降，可在後述的保管部31及裝置埠101的各個之間，進行FOUP90的收送。
保管裝置30，具備：作為一例的兩個保管部31；局部台車(移載機構)32；及支撐保管部31與局部台車32的支撐構件33。支撐構件33，具有：將主面彼此在軌道10的延伸方向相對地豎立設置於地面的一對側壁部33a、33a，及在軌道10的下方沿著軌道10的延伸方向延伸的一對軌道構件33b、33b。一對軌道構件33b、33b彼此是在相同的高度位置在與軌道10的延伸方向正交的方向相對。各軌道構件33b的兩端部分別被支撐於一對側壁部33a、33a的上面端部。並且，一對軌道構件33b、33b彼此的間隔是形成藉高架搬運車20升降的FOUP90不與軌道構件33b干涉的尺寸。
保管部31是可載放FOUP90而朝水平方向延伸的板狀構件。兩個保管部31之中上游側的第1保管部31A是以位在比兩個裝置埠101上游側的方式，固定於上 游側的側壁部33a的下游側側面。另一方面，兩個保管部31之中下游側的第2保管部31B被固定在下游側的側壁部33a的上游側側面，以定位在兩個裝置埠101的下游側。
上游側的第1保管部31A在裝置埠101未空缺的場合(第1圖的例是在兩個裝置埠101載放FOUP90的場合)，具有作為等待處理的FOUP90待機之待機場所的功能。預先使得等待處理的FOUP90在第1保管部31A待機，在裝置埠101產生空缺的場合，等待處理的FOUP90可立即從第1保管部31A供應至該裝置埠101。
下游側的第2保管部31B具有使得半導體處理裝置100進行處理結束後的處理後的FOUP90從裝置埠101退避的退避場所的功能。處理後的FOUP90退避至第2保管部31B，不以高架搬運車20回收處理後的FOUP90而維持載放於裝置埠101上的狀態，可解決該裝置埠101不能利用的狀態。
局部台車32具備安裝有車輪W的台車部32a。又，局部台車32是與高架搬運車20同樣，具有：可把持FOUP90的凸緣部91的把持機構32b，及藉著連接把持機構32b的輸送帶32c的傳動可使把持機構32b升降的升降機構(未圖示)。局部台車32藉著台車部32a的車輪W在一對軌道構件33b、33b行走，沿著一對軌道構件33b、33b自由移動。又，局部台車32是以升降機構使得把持機構32b升降，可在保管部31與裝置埠101之間， 進行FOUP90的移載。
如第3圖表示，搬運系統1作為掌管控制系統的功能元件，具備：搬運控制器41；在複數高架搬運車20共同的高架搬運車控制器42；及設置在各保管裝置30的保管裝置控制器43。搬運控制器41、高架搬運車控制器42及保管裝置控制器43分別是例如構成為包括處理機、記憶體、儲存器及通訊裝置等的電腦裝置。各控制器中，處理器執行記憶體等所讀取預定的軟體(程式)，藉著記憶體及儲存器之數據的讀取及記入，並控制以通訊裝置在控制器間的通訊，實現後述之各控制器的功能。
搬運控制器41是控制高架搬運車20及局部台車32的動作的控制器。控制高架搬運車20的動作的場合，搬運控制器41對高架搬運車控制器42輸出FOUP90的搬運指令。亦即，搬運控制器41透過高架搬運車控制器42對高架搬運車20輸出FOUP90的搬運指令。又，控制局部台車32的動作的場合，搬運控制器41對控制包括該局部台車32之保管裝置30的保管裝置控制器43，輸出FOUP90的搬運指令。亦即，搬運控制器41透過保管裝置控制器43，對該保管裝置控制器43所控制的局部台車32輸出FOUP90的搬運指令。
所謂搬運指令，即是指示從具有搬運對象的FOUP90的出發地(原搬運目的地)搬運至某目的地(搬運目的地)為止的資訊。具體而言，搬運指令使得以下的資訊彼此關連，即：識別搬運對象的FOUP90的資訊(ID)；特 定裝載搬運對象之FOUP90的地點(裝置埠及保管部等)的資訊(From地點)；及特定卸下搬運對象之FOUP90的地點(裝置埠及保管部等)的資訊(To地點)。
搬運控制器41根據搬運指令的From地點與To地點的組合，朝適當的控制器輸出搬運指令。具體而言，From地點與To地點的組合藉著相同保管裝置30內的局部台車32形成可移載組合的場合，搬運控制器41朝對應該保管裝置30的保管裝置控制器43輸出搬運指令。另一方面，From地點與To地點的組合藉著相同保管裝置30內的局部台車32形成不可移載組合的場合(例如，在不同半導體處理裝置100間搬運的場合)，搬運控制器41朝高架搬運車控制器42輸出搬運指令。
藉搬運控制器41輸出的搬運指令是根據來自上位控制器40的搬運要求所生成。上位控制器40藉著監視半導體製造工廠整體的狀況，掌握各半導體處理裝置100的裝置埠101及保管部31的空缺狀況。又，上位控制器40也掌握各FOUP90的處理狀況。上位控制器40是與搬運控制器41、高架搬運車控制器42及保管裝置控制器43同樣，例如構成為包括處理機、記憶體、儲存器及通訊裝置等的電腦裝置。
上位控制器40，例如一旦檢測出半導體處理裝置100的裝置埠101或第1保管部31A產生空缺時，對搬運控制器41輸出指示新的FOUP90之卸下(供應)的搬運要求。
又，上位控制器40例如一旦檢測在半導體處理裝置100的裝置埠101上產生處理後的FOUP90(即，半導體處理裝置100對載放於裝置埠101上之FOUP90的處理結束後)時，對搬運控制器41輸出指示該處理後之FOUP90的裝載(回收)的搬運要求。
搬運控制器41一旦接收來自上述例示之上位控制器40的搬運要求時，根據該搬運要求，來決定將何FOUP90從任一處搬運至何處，生成上述搬運指令。例如，搬運控制器41是根據預設的程式規則，獲得從上位控制器40收訊之供應要求(要求供應的搬運要求)及回收要求(要求回收的搬運要求)的匹配，藉此生成指定From地點及To地點的搬運指令。搬運控制器41將如以上所生成的搬運指令輸出至高架搬運車控制器42或保管裝置控制器43。
高架搬運車控制器42為控制複數高架搬運車20的行走動作的單一控制器，一旦接收來自搬運控制器41的搬運指令(ID，From地點，To地點)時，將該等搬運指令編排至特定的高架搬運車20。具體而言，高架搬運車控制器42是根據預設的編排規則來決定執行搬運指令所指示的FOUP90之搬運處理的高架搬運車20。並且，高架搬運車控制器42對所決定的高架搬運車20送出控制訊號來執行FOUP90的搬運處理。例如，高架搬運車控制器42是朝現時間點未編排有搬運指令的高架搬運車20之中存在於最接近編排對象的搬運指令之From地點的位置的 高架搬運車20編排該編排對象的搬運指令。又，高架搬運車控制器42即使在其他搬運指令之執行中的高架搬運車20，仍可從編排對象的搬運指令的From地點以預定範圍內的地點為To地點對FOUP90搬運中的高架搬運車20，編排指示「在現在執行中的搬運指令之後執行編排對象的搬運指令」的搬運指令(搬運指令預約)。
編排有搬運指令的高架搬運車20開始行走動作進行根據該搬運指令的搬運處理。但是，編排有上述搬運指令預約的高架搬運車20在根據現在執行中之搬運指令的搬運處理結束之後，開始行走動作進行根據該搬運指令預約的搬運處理。具體而言，高架搬運車20朝From地點開始行走，到達From地點時，裝載藉搬運指令之ID所特地的FOUP90。之後，高架搬運車20朝著顯示To地點的位置開始行走，到達顯示To地點的位置時，卸下裝載的FOUP90。藉由如上述之一系列的動作，將搬運指令之ID所特定的FOUP90從From地點搬運至To地點。
保管裝置控制器43一旦接收來自搬運控制器41的搬運指令(ID，From地點，To地點)時，對控制對象之保管裝置30的局部台車32送出控制訊號來執行根據搬運指令的搬運處理。藉此，局部台車32與編排有上述搬運指令的高架搬運車20同樣，開始行走動作進行根據搬運指令的搬運處理。具體而言，局部台車32朝向From地點開始行走，到達From地點時，裝載搬運指令的ID所特定的FOUP90。之後，局部台車32朝向顯示To地點的位 置開始行走，到達顯示To地點的位置時，卸下裝載的FOUP90。
並且，保管裝置控制器43藉著未圖示的感測器等監視控制對象的保管裝置30的保管部31的空缺狀況，將監視結果依序送訊至搬運控制器41。藉此，搬運控制器41可掌握各保管裝置30的保管部31的空缺狀況。
接著，針對藉搬運控制器41進行的置換控制說明。搬運控制器41在可載放FOUP90之場所的下游側埠(上述的裝置埠101或第2保管部31B)所載放的FOUP90成為等待回收的狀態時，比下游側埠配置在上游側，在可載放FOUP90的場所的上游側埠未載放有FOUP90的場合，執行可提升高架搬運車20之運用效率用的置換控制。第1圖表示的構成例中，上游側埠在下游側埠位於裝置埠101的場合為第1保管部31A，下游側埠在第2保管部31B的場合為第1保管部31A或裝置埠101。
置換控制是用於提高置換動作成立可能性的控制。又，置換動作是意味藉著將重新供應至半導體處理裝置100的FOUP90(第2被搬運物)載放於上游側埠的高架搬運車20，回收等待回收之FOUP90(第1被搬運物)的動作。亦即，置換動作是藉一台的高架搬運車20進行相對於半導體處理裝置100之FOUP90的供應及回收的動作。因此，藉置換動作的成立，與置換動作不成立的場合(即，FOUP90的供應及回收必需要兩台高架搬運車20的 場合)比較，可提升高架搬運車20的運用效率。
搬運控制器41作為置換控制執行以下的動作。搬運控制器41在下游側埠的FOUP90成為等待回收的狀態到預先決定的待機時間經過為止，掌握到將其他的FOUP90搬運至上游側埠的高架搬運車20為止進行指示下游側埠的FOUP90回收之搬運指令(回收指令)輸出(對高架搬運車控制器42的輸出)的待機。亦即，搬運控制器41是控制輸出等待回收之FOUP90的回收指令的時間比掌握到搬運其他FOUP90至上游側埠之高架搬運車20的時間更為延遲。藉此，提高置換動作成立的可能性。如上述控制回收指令的輸出時間，在高架搬運車控制器42進行回收指令的編排處理中，可提高對上游側埠搬運FOUP90之高架搬運車20編排該回收指令的可能性。具體而言，作為上述搬運指令預約，下游側埠的FOUP90的回收指令相對於在上游側埠搬運FOUP90的高架搬運車20的編排的可能性變高。根據以上的置換控制，提高置換動作成立的可能性，可提升高架搬運車20的運用效率。
另一方面，回收指令之輸出待機的時間長期化的場合，即使置換動作成立高架搬運車20的運用效率提升，仍會有搬運系統1整體之FOUP90的搬運效率惡化之虞。因此，搬運控制器41在下游側埠的FOUP90成為等待回收的狀態之後經過預先決定的待機時間的場合，將該FOUP90的回收指令輸出高架搬運車控制器42。亦即，搬運控制器41在等待回收的FOUP90產生後即使一定時間待機仍無法掌握FOUP90搬運至上游側埠的高架搬運車 20的場合，解除回收指令的輸出的待機，輸出回收指令。如上述預先決定可延遲回收指令之輸出時間的待機時間，在待機時間經過的場合迅速輸出回收指令，可抑制FOUP90之搬運效率的惡化。
使用第4圖~第9圖，針對置換控制的具體例說明。第4圖表示該例的初期狀態。初期狀態中，在半導體處理裝置100的兩個裝置埠101之中下游側的裝置埠101B，載放FOUP90A(第1被搬運物)。另一方面，在上游側的裝置埠101A，載放FOUP90B。在此，半導體處理裝置100進行FOUP90A的處理結束時，搬運控制器41從上述的上位控制器40接受FOUP90A的回收要求。
在此，搬運控制器41藉著與保管裝置控制器43的通訊掌握第2保管部31B空缺。為此，搬運控制器41如上述下游側埠(該例為第2保管部31B)空缺且上游側埠(該例為裝置埠101B)載放有回收對象的FOUP90A的場合，將FOUP90A移載至下游側埠。具體而言，搬運控制器41透過保管裝置控制器43對局部台車32輸出指示FOUP90A移載至第2保管部31B的搬運指令。藉此，如第5圖表示，FOUP90A藉著局部台車32移載至第2保管部31B，在第2保管部31B上成為等待回收的狀態。又，藉此移載動作，裝置埠101B形成空缺，成為在比下游側埠的第2保管部31B上游側的第1保管部31A及裝置埠101B未載放有FOUP90的狀態。亦即，成為可執行上述的置換動作的狀態。
此時，搬運控制器41檢測出比載放著等待回收的FOUP90A的第2保管部31B上游側的裝置埠101B未載放有FOUP90A，執行上述置換控制。具體而言，搬運控制器41在FOUP90A載放於第2保管部31B之後(即，FOUP90A成為等待回收的狀態)經過預先決定的待機時間為止，掌握到新的FOUP90搬運至上游側埠(第5圖的例為第1保管部31A或裝置埠101B)的高架搬運車20為止，進行指示FOUP90A的回收之回收指令輸出的待機。以下，針對上述待機時間的一例說明。
搬運控制器41在從FOUP90A成為等待回收的狀態經過預先決定的待機時間T1(第1待機時間)為止，從上位控制器40未接受到指示FOUP90(第2被搬運物)朝上游側埠搬運(供應)之搬運要求(以下稱「上游側搬運要求」)的場合，輸出FOUP90A的回收指令。例如，搬運控制器41在FOUP90A成為等待回收的狀態時啟動第1計時器，在第1計時器啟動後到經過待機時間T1為止未接收到上游側搬運要求的場合，輸出FOUP90A的回收指令。
待機時間T1是根據以下的思考方法。亦即，搬運控制器41在從上位控制器40到接收上游側搬運要求為止的時間成為長期化的場合，依其量，可執行置換動作的高架搬運車20回收FOUP90A的時間也會延遲。因此，以FOUP90A成為等待回收的狀態到接收上游側搬運要求為止的時間為指標，進行上述的控制，可適當抑制回收指令的輸出持續待機導致之搬運效率的惡化。
另一方面，搬運控制器41在FOUP90A成為等待回收的狀態到經過待機時間T1接收到上游側搬運要求的場合，執行以下的控制。在此的一例是根據上游側搬運要求，針對執行FOUP90C朝著裝置埠101B搬運的場合考量。搬運控制器41在從上位控制器40接收上游側搬運要求之後經過預先決定的待機時間T2(第2待機時間)為止，FOUP90C未成為被高架搬運車20搬運的搬運狀態的場合，輸出FOUP90A的回收指令。例如，搬運控制器41在接收到上游側搬運要求時啟動第2計時器，在第2計時器啟動後到經過待機時間T2為止根據該上游側搬運要求所生成的搬運指令的搬運對象之FOUP90C未成為搬運狀態的場合，輸出FOUP90A的回收指令。並且，針對FOUP90C是否成為搬運狀態(亦即，是否已掌握搬運FOUP90C之高架搬運車20)，例如藉著控制高架搬運車20之行走動作的高架搬運車控制器42掌握。因此，搬運控制器41例如接收來自高架搬運車控制器42的通知，可掌握FOUP90C是否成為搬運狀態。
並且，搬運控制器41在接收上游側搬運要求之後，到FOUP90C成為被高架搬運車20搬運的搬運狀態為止的期間，例如執行如以下的處理。亦即，搬運控制器41一旦接收來自上位控制器40的上游側搬運要求時，生成依該上游側搬運要求的搬運指令(上述例中，指示將FOUP90C搬運至裝置埠101B的搬運指令)，輸出至高架搬運車控制器42。接著，高架搬運車控制器42將該搬運 指令編排特定的高架搬運車20。隨後，搬運指令編排後的高架搬運車20朝向搬運對象物的FOUP90C的裝載位置(搬運指令的From地點)開始行走。該高架搬運車20到達FOUP90C的裝載位置，在FOUP90C的裝載結束的階段，成為可搬運FOUP90C的狀態(即搬運狀態)。
待機時間T2是根據以下思考方法。亦即，搬運控制器41在從上位控制器40接收上游側搬運要求之後到FOUP90C成為搬運狀態為止的時間長期化的場合，依其量，可執行置換動作的高架搬運車20回收FOUP90A的時間也會延遲。因此，以從上位控制器40接收上游側搬運要求之後FOUP90C成為搬運狀態為止的時間為指標，進行上述的控制，可適當抑制回收指令的輸出持續待機導致之搬運效率的惡化。
另一方面，搬運控制器41在從接收上游側搬運要求之後到經過待機時間T2為止，成為藉高架搬運車20搬運FOUP90C的搬運狀態的場合，掌握到搬運新的FOUP90C的高架搬運車20經過預先決定的待機時間為止，輸出FOUP90A的回收指令。藉此，如第6圖及第7圖表示，可藉著將FOUP90C載放於裝置埠101B的高架搬運車(第6圖及第7圖的高架搬運車20A)提高第2保管部31B上之回收FOUP90A的置換動作成立的可能性。
並且，上述例中，雖針對根據上游側搬運要求對裝置埠101B執行FOUP90C的搬運的場合已作說明，但根據上游側搬運要求對第1保管部31A執行FOUP90C 的搬運的場合，也可進行上述同樣的置換控制。此時，可藉著將新的FOUP90C載放於第1保管部31A的高架搬運車20提高回收第2保管部31B上之FOUP90A的置換動作成立的可能性。
又，如第8圖及第9圖表示，以高架搬運車20直接回收載放於裝置埠101A的FOUP90B的場合(亦即，FOUP90B暫時不移載於第2保管部31B的場合)，也可進行上述同樣的置換控制。此時，設由搬運控制器41從上位控制器40接受FOUP90B的回收要求的時間點為FOUP90B成為等待回收的狀態的時間點，可執行上述同樣的置換控制。藉以上的置換控制，可藉著將新的FOUP90D載放於第1保管部31A的高架搬運車20B提高回收裝置埠101A上之FOUP90B的置換動作成立的可能性。
執行上述的置換控制，一邊抑制起因於等待回收的FOUP90之回收時間延遲的搬運效率的惡化，並提高置換動作成立的可能性乃至提升高架搬運車20的運用效率。但是，例如根據等待回收的FOUP90的種類，也會有不執行上述的置換控制(回收指令的輸出的待機)而直接輸出回收指令的場合。因此，搬運控制器41在符合如以下說明的預定條件之外的FOUP90為回收對象的場合，可不執行上述的置換控制。
例如，搬運控制器41在FOUP90(第4圖~第9圖的例中，FOUP90A或FOUP90B)之搬運相關的優先度 高於預先決定的基準的場合，也可以在FOUP90成為等待回收的時間點，輸出該FOUP90的回收指令。例如，使來自上位控制器40的搬運要求包括上述優先度的資訊，搬運控制器41可掌握回收對象之FOUP90的優先度。又，以上的優先度，例如可使用「1：優先度低」、「2：優先度中」、「3：優先度高」等的預先決定的階段值。並且，搬運控制器41在回收對象的FOUP90的優先度高於預先決定的基準(例如「2」與「3」之間)的場合(此時，優先度為「3」的場合)，在該FOUP90成為等待回收狀態的時間點立即輸出FOUP90的回收指令。
例如，針對儲存驗證是否正常執行各半導體處理裝置100的一連續加工處理用之作為測試品的半導體晶圓的FOUP90(以下「測試品FOUP」)，為盡速掌握驗證結果，以較其他的FOUP90優先進行工程間搬運為佳。因此，設定如上述測試品FOUP的優先度為上述的「3」，可使測試品FOUP成為置換控制的執行對象外。藉此，可防止因置換控制而延緩測試品FOUP的回收時間。
搬運控制器41在FOUP90(第4圖~第9圖的例中，FOUP90A或FOUP90B)的下一搬運目的地為預先決定的特定搬運目的地的場合，也可以在FOUP90成為等待回收的時間點，輸出該FOUP90的回收指令。例如，下一搬運目的地為暫時保管FOUP90用的儲存庫等的場合，並無急速進行該FOUP90搬運的必要。另一方面，下一搬運目的地為半導體處理裝置100(該半導體處理裝置100的裝 置埠101)的場合，有盡速進行FOUP90搬運為佳的場合。例如，在一半導體處理裝置100的加工處理產生半導體晶圓之化學變化快的場合等，在該一半導體處理裝置100之加工處理後的一定時間內，有執行下一工程的加工處理。因此，設定有必要盡速著手加工處理之半導體處理裝置100的裝置埠101作為上述特定搬運目的地，以將搬運至該裝置埠101的FOUP90為置換控制的執行對象外，即可盡速將該FOUP90搬運至下一搬運目的地。
如以上構成的搬運系統1是藉搬運控制器41，其中一例實施如第10圖表示的搬運方法。並且，第10圖表示的搬運方法的說明中，回收對象的FOUP以「第1FOUP」表示，新供應的回收對象的FOUP以「第2FOUP」表示。第4圖~第7圖的例中，FOUP90A是相當於第1FOUP，FOUP90C是相當於第2FOUP。又，第8圖及第9圖的例中，FOUP90B是相當於第1FOUP，FOUP90D是相當於第2FOUP。
首先，搬運控制器41檢測載放於下游側埠(第4圖~第7圖的例是第2保管部31B，第8圖及第9圖的例為裝置埠101A)的第1FOUP已成為等待回收的狀態(步驟S1、第1步驟)。具體而言，搬運控制器41根據是否從上位控制器40接收對第1FOUP的回收要求，可檢測第1FOUP是否為等待回收的狀態。
接著，搬運控制器41判定第1FOUP是否為置換控制的除外對象(步驟S2)。具體而言，搬運控制器 41是如上述，可根據第1FOUP的搬運相關的優先度或搬運目的地，判定第1FOUP是否為置換控制的執行對象外。判定第1FOUP為置換控制的執行對象外的場合(步驟S2：YES)，搬運控制器41不執行置換控制(步驟S4~S9)，輸出第1FOUP的回收指令(步驟S10)。
另一方面，判定第1FOUP為非置換控制的執行對象外的場合(步驟S2：NO)，搬運控制器41判定上游側埠(第4圖~第7圖的例是第1保管部31A或裝置埠101B，第8圖及第9圖的例為第1保管部31A)是否為空缺(亦即是否載放有FOUP90)(步驟S3、第2步驟)。判定上游側埠並非空缺的場合(步驟S3：NO)，並非置換動作成立的狀況，因此搬運控制器41不執行置換控制(步驟S4~S9)，輸出第1FOUP的回收指令(步驟S10)。
另一方面，判定上游側埠空缺的場合(步驟S3：YES)，為置換動作成立的狀況，因此搬運控制器41執行置換控制(步驟S4~S9、第3步驟)。首先，搬運控制器41啟動第1計時器(步驟S4)。並且，搬運控制器41從起動第1計時器起到經過待機時間T1為止，監視是否從上位控制器40已接收對上游側埠的第2FOUP之搬運指示的搬運要求(上游側搬運要求)(步驟S5、S6)。從第1計時器啟動起到經過待機時間T1為止未接收到上游側搬運要求的場合(步驟S6：YES)，搬運控制器41輸出可抑制起因於第1FOUP之回收時間延遲導致搬運效率惡化的第1FOUP的回收指令(步驟S10)。
另一方面，判定從第1計時器啟動起到經過待機時間T1為止已接收上游側搬運要求的場合(步驟S5：YES)，搬運控制器41啟動第2計時器(步驟S7)。並且，在搬運控制器41接收到上游側搬運要求的時間點，第2FOUP並未被具體特定。第2FOUP是在搬運控制器41根據上游側搬運要求生成搬運指令的時間點，被具體特定。如上述，第4圖~第7圖中FOUP90C是成為第2FOUP，第8圖及第9圖中FOUP90D是成為第2FOUP。並且，搬運控制器41從啟動起第2計時器到經過待機時間T2為止，監視根據上游側搬運要求所生成搬運指令的搬運對象之第2FOUP是否已成為搬運狀態(步驟S8、S9)。從第2計時器啟動起到經過待機時間T2為止第2FOUP未成為搬運狀態的場合(步驟S9：YES)，搬運控制器41輸出可抑制起因於第1FOUP之回收時間延遲導致搬運效率惡化的第1FOUP的回收指令(步驟S10)。
另一方面，判定從第2計時器啟動起到經過待機時間T2為止第2FOUP已成為搬運狀態的場合(步驟S8：YES)，搬運控制器41掌握搬運第2FOUP的高架搬運車20已經過預先決定的待機時間，輸出第1FOUP的回收指令(步驟S10)。
如以上說明，搬運系統1中，搬運控制器41在預先決定的待機時間內，到掌握第2FOUP搬運至上游側埠的高架搬運車20為止，進行在下游側埠成為回收狀態的第1FOUP之回收指示的搬運指令(回收指令)輸出的待 機。如上述，在掌握第2FOUP已搬運至上游側埠的高架搬運車20之後輸出第1FOUP的回收指令，可提高對搬運第2FOUP的高架搬運車20編排第1FOUP之回收指令的可能性。其結果，藉著將第2FOUP載放於上游側埠的高架搬運車20可提高回收第1FOUP之置換動作成立的可能性。又，預先決定回收指令之輸出可待機的待機時間，可藉此抑制因回收指令的輸出持續待機導致搬運效率的惡化。因此，根據搬運系統1，可一邊抑制搬運效率的惡化並提高置換動作成立的可能性，可提升高架搬運車20的運用效率。
搬運系統1在第1FOUP成為等待回收的狀態後到接收指示第2FOUP朝上游側埠搬運之搬運要求為止的時間超過待機時間T1的場合輸出回收指令。藉此，可適當抑制因回收指令之輸出的持續待機導致搬運效率的惡化。
搬運系統1在從上位控制器40接收對上游側埠之第2FOUP搬運指示的搬運要求到第2FOUP成為搬運狀態為止的時間超過待機時間T2的場合輸出回收指令。藉此，可適當抑制因回收指令的輸出持續待機導致搬運效率的惡化。
根據搬運系統1，藉著局部台車32從上游側埠(第1保管部31A或裝置埠101)向下游側埠(裝置埠101或第2保管部31B)進行FOUP90的移載，可意圖產生可執行置換動作的狀況。
搬運系統1中，搬運控制器41在第1FOUP的搬運有關的優先度高於預先決定的基準的場合，在第1FOUP成為等待回收的時間點，輸出第1FOUP的回收指令。藉此，將搬運有關之優先度高的FOUP90，從置換控制的執行對象除外，可迅速進行搬運。藉此，除了可滿足對第1FOUP所要求的要件之外，並可適當執行置換控制。
搬運系統1中，搬運控制器41在第1FOUP的下一搬運目的地為預先決定的特定搬運目的地的場合，在第1FOUP成為等待回收的時間點，輸出第1FOUP的回收指令。藉此，預先決定無急速著手進行特定半導體處理裝置之裝置埠等加工處理必要的搬運目的地作為預先特定搬運目的地，藉此可將以如上述的特定搬運目的地作為下一搬運目的地之被搬運物，從置換控制的執行對象除外，可迅速進行搬運。藉此，除了可滿足對第1FOUP所要求的要件之外，並可適當執行置換控制。
以上，雖針對本揭示之一形態已作說明，但本揭示不限於上述形態。例如，第1圖及第2圖表示的保管裝置30的構成僅為其一例，保管部31及局部台車32的配置及構成為可任意地設計。又，設置在一個半導體處理裝置100的裝置埠101的個數不僅限於上述實施形態例示的兩個，也有一個或三個以上的場合。又，設置在一個保管裝置30的保管部31的個數不僅限於兩個，也有一個或三個以上的場合。
又，第3圖表示的控制構成為一例，各控制器的控制系統並非必需與第3圖表示的階層構造一致。例如，各保管裝置30的保管裝置控制器43也可在複數保管裝置30為共同的單一控制器所構成。同樣地，搬運控制器41、高架搬運車控制器42及保管裝置控制器43也可以是單一的控制器所構成。
又，本揭示之一形態有關的搬運系統搬運的被搬運物不限於收容複數半導體晶圓的FOUP，也可以是收容玻璃晶圓、光罩等的其他的容器。又，本揭示之一形態有關的搬運系統不限於半導體製造工廠，也可運用在其他的設施。又，本揭示之一形態相關以搬運系統搬運被搬運物的搬運車不限於高架搬運車，例如，也可以載放FOUP的狀態在軌道行走來搬運FOUP的搬運車，或沿著設置在地面上的誘導線搬運FOUP的無人行走車等。

Claims (7)

  1. 一種搬運系統，具備：軌道；複數搬運車，沿著上述軌道行走，搬運被搬運物；及控制器，對上述搬運車輸出上述被搬運物之搬運指令，上述控制器是在載放於可載放上述被搬運物場所的下游側埠之第1被搬運物為等待回收的狀態，並且，在上述搬運車的行走方向中配置在比上述下游側埠的上游側，在可載放上述被搬運物的場所的上游側埠未載放有上述被搬運物的場合，上述控制器在以上述第1被搬運物成為等待回收的狀態的時間為起點並以預先所決定的待機時間經過後的時間為終點的預定期間之間，到該控制器掌握將第2被搬運物搬運至上述上游側埠的上述搬運車為止進行指示上述第1被搬運物回收之搬運指令輸出的待機，從上述第1被搬運物成為等待回收的狀態的時間點經過上述待機時間的場合，輸出指示上述第1被搬運物的回收的搬運指令。
  2. 如申請專利範圍第1項記載的搬運系統，其中，上述控制器是構成根據從上位控制器所接收之上述被搬運物的搬運要求輸出上述被搬運物的搬運指令，上述控制器在上述第1被搬運物成為等待回收的狀態後經過預先決定的第1待機時間為止，未從上述上位控制 器接收到指示上述第2被搬運物搬運至上述上游側埠的搬運要求的場合，輸出指示上述第1被搬運物之回收的搬運指令。
  3. 如申請專利範圍第2項記載的搬運系統，其中，上述控制器在從上述上位控制器接收指示上述第2被搬運物朝上述上游側埠搬運的搬運要求後經過預先決定的第2待機時間為止，上述第2被搬運物未成為藉上述搬運車搬運的搬運狀態的場合，輸出指示上述第1被搬運物之回收的搬運指令。
  4. 如申請專利範圍第1項至第3項中任一項記載的搬運系統，其中，進一步具備保管裝置，該保管裝置，具有：上述搬運車可交接上述被搬運物的保管部，及在上述搬運車可交接上述被搬運物的裝置埠與上述保管部之間可移載上述被搬運物的移載機構，上述保管部，包括：在上述搬運車的行走方向中設置在比上述裝置埠上游側的第1保管部，及在上述搬運車的行走方向中設置在比上述裝置埠下游側的第2保管部，上述下游側埠為上述裝置埠或上述第2保管部，上述上游側埠在上述下游側埠為上述裝置埠的場合是上述第1保管部，上述下游側埠為上述第2保管部的場合則是上述第1保管部或上述裝置埠，上述控制器是構成進一步對上述移載機構輸出上述被搬運物的搬運指令，上述下游側埠為空缺且在上述上游側埠載放有上述第1被搬運物的場合，對上述移載機構輸出 上述第1被搬運物向上述下游側埠之移載指示的搬運指令。
  5. 如申請專利範圍第1項至第3項中任一項記載的搬運系統，其中，上述控制器在上述第1被搬運物的搬運之相關優先度比預先決定的基準高的場合，在上述第1被搬運物成為等待回收的狀態的時間點，輸出指示上述第1被搬運物之回收的搬運指令。
  6. 如申請專利範圍第1項至第3項中任一項記載的搬運系統，其中，上述控制器在上述第1被搬運物的下一搬運目的地為預先決定的特定搬運目的地的場合，在上述第1被搬運物成為等待回收的狀態的時間點，輸出指示上述第1被搬運物之回收的搬運指令。
  7. 一種搬運方法，係於申請專利範圍第1項至第6項中任一項記載的搬運系統中，藉上述控制器實施的搬運方法，包括：第1步驟，檢測載放於上述下游側埠的第1被搬運物已成為等待回收的狀態；第2步驟，檢測完上述第1步驟中上述第1被搬運物已成為等待回收狀態的場合，判定在上述上游側埠是否載放有上述被搬運物；第3步驟，判定上述第2步驟中，上述上游側埠未載放有上述被搬運物的場合，控制器在以上述第1被搬運物成為等待回收的狀態的時間為起點並以預先所決定的待機時間經過後的時間為終點的預定期間之間，到該控制器掌 握朝上述上游側埠搬運第2被搬運物的上述搬運車為止進行指示上述第1被搬運物的回收之搬運指令輸出的待機，並在從上述第1被搬運物成為等待回收狀態的時間點經過上述待機時間的場合，輸出指示上述第1被搬運物之回收的搬運指令。
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