TWI676807B - 電漿電源裝置的自我診斷模組及自我診斷方法 - Google Patents

電漿電源裝置的自我診斷模組及自我診斷方法 Download PDF

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Abstract

本發明揭示一種電漿電源裝置的自我診斷模組及自我診斷方法。根據本發明實施例的電漿電源裝置的自我診斷模組包含：仿真負載電阻，為了電漿電源裝置的自我診斷而連接至電源裝置末端部；測試電流供應單元，往仿真負載電阻輸入電源裝置工作電流；資料收集單元，從設於構成電源裝置的零件及電路的輸入輸出節點的診斷感測器收集憑藉供應至電源裝置的測試電流測量的自我診斷資料，前述自我診斷資料包含輸入輸出電流、電壓、溫度、動作與否在內；以及判斷單元，比較收自資料收集單元的自我診斷資料及既設定值而判斷前述電源裝置的組成零件及電路各自的故障與否。

Description

電漿電源裝置的自我診斷模組及自我診斷方法
本發明係關於一種電漿電源裝置的自我診斷模組及自我診斷方法，具體地說，該自我診斷模組及自我診斷方法藉由連接在電漿電源裝置的負載及複數個自我診斷資料檢知感測器判斷電漿電源裝置所包含的組成零件與電路的正常動作與否。
除非在本說明書另行表示，否則本節所說明的內容並非針對本專利申請的申請專利範圍的先前技術，即使被包含在本節亦不能因此認定為先前技術。
電源裝置(power supply)在平時讓商業用交流電源經過整流裝置、轉換裝置、變形補償裝置之類的工具為負載供應交流電源，接著再將蓄電池連接至整流裝置的輸出而使其進行浮充並供應電力。電源裝置在所輸入的電流存在雜訊時或輸入的電流不穩定時予以穩定地加工而預先防止設備的運轉異常。
安裝電源裝置時或針對運轉中的電源裝置檢驗其異常與否時需要進行下列過程，亦即，作業人員直接針對所安裝的電源裝置進行個別操作而判斷其是否動作，或將所安裝的設備上連接的各種電線之類的公 共設施拆下並拿下電源裝置後，按照另行配備的負載器或安裝條件重新安裝並且由作業人員直接操作後判斷是否動作。
如前述，先前技術每次在安裝電源裝置或針對運轉中的電源裝置檢驗其故障與否時都需要配備負載器，並且從另行安裝的位置拆下後進行檢驗而使得檢驗電源裝置時花費較多時間、費用及人力。尤其係，檢驗電源裝置時為了判斷電源裝置所包含的各個電路異常與否而需要由檢驗人員直接設定並調整負載及電流供應條件。與此同時，按照電源裝置的各組成零件將連接至負載器的開關予以斷開後，個別連接開關並測試電源裝置的組成零件的穩定性，因此在檢驗電源裝置時需要直接設定各種測試條件並且根據所設定的條件直接調整電路配線。
【先前技術文獻】 【專利文獻】
【專利文獻1】韓國專利註冊第10-1245503號(2013.03.13)
本發明為了電漿電源裝置的自我診斷而提供自我診斷模組，該自我診斷模組將連接至電源裝置末端部的仿真負載電阻提供至電源裝置內部或外部，針對供應至電漿電源裝置的組成零件的測試電流、仿真負載電阻及擬診斷的組成零件與電路之類的測試條件進行設定，按照所設 定的條件收集自我診斷資料後，針對設於構成電源裝置的電路內的複數個感測器所收集的自我診斷資料進行分析而得知電漿電源裝置的組成零件的異常與否。
本發明的實施例的電漿電源裝置的自我診斷模組包含：仿真負載(dummy load)電阻，為了電漿電源裝置的自我診斷而連接至電源裝置末端部；測試電流供應單元，為了檢查電源裝置的正常動作而往仿真負載電阻輸入電源裝置的任意工作電流；資料收集單元，從設於構成電源裝置的零件及電路的輸入輸出節點的診斷感測器收集憑藉供應至電源裝置的測試電流測量的自我診斷資料，前述自我診斷資料包含輸入輸出電流、電壓、溫度、動作與否；判斷單元，比較收自資料收集單元的自我診斷資料與既設定值而判斷電源裝置的組成零件及電路各自的故障與否。
本發明另一個實施例的電漿電源裝置的自我診斷方法包含下列步驟：(A)測試電流供應單元為了檢查電源裝置的正常動作而往仿真負載電阻輸入電源裝置的任意測試電流值；(B)資料收集單元從設於電源裝置的組成零件輸入輸出節點的診斷感測器收集憑藉供應至電源裝置的測試電流測量的自我診斷資料，前述自我診斷資料包含輸入輸出電流、電壓、溫度、動作與否；及(C)判斷單元比較收自資料收集單元的自我診斷資料與既設定值而判斷電源裝置的組成零件及電路各自的故障與否。
檢驗電源裝置時不必另行連接負載器、冷卻器及配線亦能由電漿電源裝置本身迅速並準確地診斷組成零件及電路是否異常。
又，在沒有從安裝電源裝置的整機拆卸並搬出的狀態下，不需要作業人員檢驗各個個別功能動作而由電源裝置本身根據所輸入的任意工作指令值進行動作並且藉由LCD或FND顯示檢驗結果以便讓使用者查看其結果消息，從而大幅縮短檢驗時間與整機的停機時間。
本發明的效果並不侷限於前述效果，應闡釋為亦包含能從本發明的發明內容或申請專利範圍所記載的發明推論出來的一切效果。
1‧‧‧診斷感測器
2‧‧‧診斷感測器
3‧‧‧診斷感測器
4‧‧‧診斷感測器
5‧‧‧診斷感測器
6‧‧‧診斷感測器
100‧‧‧轉換電路
200‧‧‧放大電路
300‧‧‧自我診斷模組
310‧‧‧測試電流供應單元
330‧‧‧資料收集單元
350‧‧‧判斷單元
400‧‧‧仿真負載電阻
【圖1】表示包含本發明實施例的自我診斷模組的電漿電源裝置的框圖。
【圖2】表示將本發明實施例的仿真負載電阻連接至電源裝置或設於電源裝置內部後在電源裝置自我診斷時使用的例示圖。
【圖3】表示用於本發明實施例的電漿電源裝置自我診斷的複數個診斷感測器與具體的電路配置的圖形。
【圖4】表示本發明實施例的自我診斷模組300的資料處理用構成要素的圖形。
【圖5】表示本發明實施例的電漿電源裝置的自我診斷方法的資料處理流程的流程圖。
結合圖式詳細說明的後述實施例將有助於明確了解本發明的優點、特徵及其實現方法。惟，本發明不限於下面所揭示的實施例，本發明可藉由各種互不相同的形態實現，此等實施例僅係有助於本發明的完整揭示，其主要目的係向本發明所屬技術領域中具有通常知識者完整地說明本發明的範圍，本發明的範圍僅能由申請專利範圍定義。整個說明書中具有同一符號者代表同一構成要素。
在說明本發明的實施例之前，如果認為公知結構或功能的具體說明可能會非必要地混淆本發明的主旨，將省略其詳細說明。後述的術語係考慮其在本發明的實施例中的功能後定義的術語，可能會根據使用者與運營者的意圖或慣例而有所變化。因此應該根據本說明書的整體內容進行該定義。
圖1表示包含本發明實施例的自我診斷模組的電漿電源裝置的框圖。
請參閱圖1，實施例的電漿電源裝置可包含仿真負載電阻400、轉換電路100、放大電路200、根據測試條件測量自我診斷資料的診斷感測器1、3、5及自我診斷模組300的構成。本說明書所用術語「模組」應根據該術語被使用的文脈而闡釋為包含軟體、硬體或其組合。例如，軟體可係機器語言、韌體(firmware)、嵌式碼(embedded code)及應用軟體。例如，硬體可係電路、處理器、電腦、積體電路、積體電路核心、感測器、微機電系統(MEMS；Micro-Electro-Mechanical System)、被動元件或其組合。
仿真負載電阻400為了電漿電源裝置的自我診斷而連接至 電源裝置末端部並且在電源裝置輸出端構成閉合電路。在本發明的實施例中，若由仿真負載電阻400為電源裝置供應電流，電漿電源裝置的組成零件及電路宛如電源裝置實際被驅動一樣地進行動作。
轉換電路100將輸入電源裝置的交流電流轉換成直流電流，將經過轉換的直流電流中符合預設條件的直流電流予以過濾。之後，將經過過濾的直流電流重新轉換成交流的轉換電流予以輸出。
放大電路200在轉換電流輸入時將所輸入的電流予以放大，將放大的電流轉換成直流電流，將轉換的直流電流經過過濾後的放大電流加以輸出。
複數個診斷感測器1、3、5安裝在電路的輸入輸出節點並針對基於供應至電路的電流的輸入輸出電流值、電壓、溫度等用於判斷電路異常動作的自我診斷資料進行測量。在本發明的實施例中，可藉由診斷感測器3所測量的診斷資料得知諸如轉換電路的短路、放大電路的過負載、連接診斷感測器3的配線的發熱狀態、電流感測器異常、診斷感測器異常、逆變器動作與否等影響電漿電源裝置動作的電路狀態。
自我診斷模組300在基於仿真負載電阻400的測試電流及電壓被供應至電源裝置的各電路後收集診斷感測器1、3、5所測量的自我診斷資料。之後，比較自我診斷資料及預先儲存的資料，以比較結果為基準判斷電源裝置的組成零件中出現異常的零件或電路。
圖2表示將本發明實施例的仿真負載電阻連接至電源裝置後在電源裝置自我診斷時使用的例示圖。
如圖2所示，若將本發明實施例的仿真負載電阻400連接 至電源裝置，可利用由所連接的仿真負載電阻400供應的電流得知電源裝置的組成零件是否異常。實施例所提供的仿真負載電阻400不僅可附接或內置於電源裝置後使用，亦能附接或內置於設有一般電源裝置的各種電子機器後使用。實施例所提供的仿真負載電阻400連接至電源裝置輸出端時會形成閉合電路，因此即使不以實際負載驅動電源裝置亦能向構成電源裝置的各個電路與零件供應電流。由仿真負載電阻400供應的電流係測試電流並且可個別供應至構成電源裝置的各零件及各電路。又，在本發明的實施例中，可一邊變更仿真負載電阻值或所供應的電流值一邊收集診斷資料，從而能在各式各樣的測試條件下輕易確認電源裝置的異常與否。圖2所示實施例中仿真負載電阻400安裝在電源裝置外部，惟本揭示例所提供的仿真負載電阻400亦能設於電源裝置內部並且用於電源裝置自我診斷測試。
圖3表示用於本發明實施例的電漿電源裝置自我診斷的複數個診斷感測器與具體的電路配置的圖形。
請參閱圖3，轉換電路100可包含轉換器、濾波器、逆變器的構成，放大電路200可包含變壓器、轉換器、濾波器的構成。
設於電漿電源裝置的各個診斷感測器1、2、4、5、6不僅設於轉換電路100及放大電路200的輸入輸出電路內1、3、5，亦設於作為構成電路的零件的濾波器及變壓器的輸入輸出電路內2、4、6，從而能夠針對診斷資料進行測量，前述診斷資料包含構成轉換電路100與放大電路200的各零件所輸入輸出的電流值、溫度等在內。
例如，轉換電路100的轉換器將所輸入的交流電流轉換成 直流電流，濾波器從經過轉換的直流電流中過濾出出現一定數值以上的電流後輸入至逆變器。此時，診斷感測器1檢知輸入電流值、連接配線電阻所致發熱溫度等，診斷感測器2則可檢知轉換器的輸出電流值、溫度、輸入濾波器的電流值之類的診斷資料。
逆變器130將所輸入的直流電流重新轉換成交流後予以輸出，診斷感測器3則檢知所輸出的電流。此時，可藉由診斷感測器3所檢知的診斷資料判斷轉換電路的短路或放大電路的過負載。轉換電路100的輸出電流則成為放大電路200的輸入電流而被變壓器210放大。診斷感測器4則檢知放大電流，放大的電流在轉換器220被轉換成直流電流，診斷感測器5則檢知轉換器所輸出的直流電流後輸入濾波器。在濾波器230濾掉低於一定數值的電流。之後，通過濾波器230的電流則被診斷感測器6檢知。
自我診斷模組300收集構成電源裝置的電路及零件的輸入輸出端上安裝的複數個診斷感測器所測量的診斷資料，根據其以及預先儲存的資料的比較結果而得知電源裝置中出現異常動作的電路及零件。
在圖3示出診斷感測器1至6並且在濾波器與轉換器、轉換電路與放大電路的輸入輸出節點收集自我診斷資料，如前述的說明僅揭示本發明的實施例，並非限制診斷感測器的數量與配置。自我診斷感測器的數量及安裝位置可根據配備自我診斷模組的電源裝置的配置而不同。
圖4表示本發明實施例的自我診斷模組300的資料處理用構成要素的圖形。
請參閱圖4，自我診斷模組300可包含測試電流供應單元 310、資料收集單元330及判斷單元350的構成。
測試電流供應單元310為了檢查電源裝置的正常動作而往仿真負載電阻輸入電源裝置工作電流值或電壓值。在本發明的實施例中，可在測試電流供應單元310調整測試電流值或在測試電流供應單元310調整仿真負載電阻值而控制測試電流值。
又，測試電流供應單元310可為了確認電漿電源裝置的組成零件及電路各自正常動作與否而個別控制前述電源裝置的組成零件及電路各自的電源。例如，測試電流供應單元310在電源裝置包含n個零件時藉由下述數學式1算出供應測試電流的個案數，將算出來的各個測試電流供應至電源裝置所包含的零件。
[數學式1]包含n個零件的電源裝置的測試電流輸入輸出路徑的計算個案數=
Figure TWI676807B_D0001
n C k=nC1+nC2+nC3+nC4+......+nCn=n！
具體地說，假設係包含n個零件的電路，選擇n個零件中的一個，供應對所選定零件輸入輸出的測試電流並測量診斷資料，在n個零件中選擇兩個(相鄰)零件並且為選定的兩個零件供應測試電流後測量診斷資料。亦即，測試電流供應單元310為構成電漿電源裝置的各個零件供應電流後得知異常動作與否，確認各個零件正常動作的話，選擇複數個零件並且為選定的複數個零件供應電流而得知各個零件連接時是否發生異常動作。亦即，實施例的測試電流供應單元310將能夠得知電源裝置所包含的各零件及各零件的連接狀態的測試電流路徑予以條件化並且根據各條件測量診斷資料，從而能個別地得知電漿電源裝置所包含的零件的異常動 作，亦能診斷零件之間的連接狀態。
又，使用者選擇輸入輸出零件時，測試電流供應單元310可向選定的零件供應測試電流。例如，選擇電漿電源裝置的擬檢查異常與否的組成零件及電路時，測試電流供應單元310可向選定的組成零件及電路供應測試電流。
又，測試電流供應單元310設定測試條件並且將基於所設定的測試條件的測試電流供應至擬診斷的組成零件及電路，藉由憑藉所供應的測試電流測量的自我診斷資料對電源裝置進行自我診斷，前述測試條件包含仿真負載電阻值、擬診斷的組成零件及電路、輸入的電流值中的任一個。
資料收集單元330從設於電源裝置的組成零件輸入輸出電路內的診斷感測器1、2、3、4、5、6收集憑藉供應至電源裝置的測試電流測量的診斷資料，前述診斷資料包含輸入輸出電流、電壓、溫度、動作與否。
判斷單元350比較收自資料收集單元的電路診斷資料與既設定值而判斷構成電源裝置的電路與零件各自的故障與否。例如，判斷單元350可比較收自複數個診斷感測器1、2、3、4、5、6的測量值中的任一個以上與既設定值並且根據比較結果判斷異常動作的電源裝置的組成零件與電路。
又，判斷單元350可調整仿真負載電阻值及供應至電源裝置的組成零件以及電路的測試電流值並且將收自複數個診斷感測器的測量值及既設定值的比率進行比較後算出電源裝置的組成零件與電路的各自的 成品率(yield)。亦即，判斷單元350可算出基於測試條件的成品率，前述測試條件包含仿真負載電阻值、所供應的電流值及需自我診斷的組成零件與電路。例如，判斷單元350將憑藉測試電流測量出來的診斷資料及既儲存的資料加以比較而得知構成電源裝置的各零件以及電路上發生的損失電流與損失率，此時，該測試電流則根據電源裝置的測試電流輸入輸出路徑的計算個案供應。在實施例中，判斷單元350可將損失率為一定水準以上的電路及零件予以更換，亦可在零件之間的連接線或節點上發生的雜訊導致輸出電流的損失較多時將引起輸出電流損失的連接線及節點的位置告知檢驗人員。
以下依次說明本發明實施例的自我診斷方法。實施例的自我診斷方法的作用(功能)在本質上及自我診斷模組上的功能相同，因此將省略與圖1至圖4重複的說明。
圖5表示本發明實施例的電漿電源裝置的自我診斷方法的資料處理流程的流程圖。
在S410步驟，測試電流供應單元為了檢查電源裝置的正常動作而向前述仿真負載電阻輸入電源裝置測試電流值。在S410步驟，為了確認電漿電源裝置的組成零件及電路各自正常動作與否而為電源裝置的組成零件及電路以個別方式各自輸入測試電流。例如，在S410步驟，將利用數學式1算出來的電源裝置的測試電流輸入輸出路徑的各個案進行測試電流條件設定，按照所設定的條件供應測試電流並且收集基於所供應的電流的診斷資料。又，S410步驟在電漿電源裝置的擬檢查異常與否的組成零件及電路被選擇時能向選定的組成零件及電路輸入測試電流。
又，S410步驟可對測試條件進行設定並且將基於所設定的測試條件的測試電流供應至擬診斷的組成零件及電路，前述測試條件包含仿真負載電阻值、擬診斷的組成零件及電路、輸入的電流值中的任一個。
在S430步驟，資料收集單元從設於電源裝置的組成零件輸入輸出節點的診斷感測器收集憑藉供應至電源裝置的測試電流測量的包含輸入輸出電流、電壓、溫度、動作與否的診斷資料。
在S450步驟，判斷單元比較收自資料收集單元的診斷資料與既設定值而判斷電源裝置的組成零件各自的故障與否。在S450步驟，可比較收自複數個診斷感測器的測量值中的任一個以上與既設定值並且根據比較結果判斷異常動作的電源裝置的組成零件與電路。又，在S450步驟，可根據仿真負載電阻值與供應至電源裝置的組成零件及電路的測試電流值與電源裝置的測試電流輸入輸出路徑條件進行調整，能比較收自複數個診斷感測器的測量值與既設定值的比率而算出電源裝置的組成零件與電路各自的成品率(yield)。例如，在S450步驟，可對根據測試條件供應的測試電流值進行調整，比較收自複數個診斷感測器的測量值與既設定值的比率而算出電源裝置的組成零件與電路各自的成品率(yield)及損失率，前述測試條件包含仿真負載電阻值、擬診斷的組成零件及電路、輸入的電流值中的任一個。
實施例的電漿電源裝置的自我診斷方法為構成電漿電源裝置的零件各自供應電流而確認異常動作與否，確認各個零件正常動作的話，選擇複數個零件後為選定的複數個零件供應電流而得以得知零件各自連接時異常動作發生與否。亦即，在本發明的實施例中，將能夠得知電源 裝置所包含的各個零件及各零件的連接狀態的測試電流路徑予以條件化並且根據各條件測量診斷資料，從而能夠個別地得知電漿電源裝置所包含的零件的異常動作，亦能診斷零件之間的連接狀態。
又，將包含連接至電源裝置輸出端的仿真負載電阻值、測試電流值及測試電流輸入輸出路徑的測試條件予以變更而得以根據測試條件收集電源裝置的診斷資料，因此不僅能自動診斷電源裝置的異常動作，亦能自動得知成品率及損失率。
藉由實施例的電漿電源裝置的自我診斷模組及自我診斷方法檢驗電源裝置時不必另行連接負載器、冷卻器及配線亦能由電源裝置本身迅速並準確地診斷組成零件及電路是否異常。
前文所揭示的內容僅為例示，本發明所屬技術領域中具有通常知識者能在不脫離申請專利範圍所申請主旨的情形下實施各種變化，所揭示內容的保護範圍並不侷限於前述特定實施例。

Claims (13)

  1. 一種電漿電源裝置的自我診斷模組，其特徵係其包含：仿真負載電阻，為了前述電漿電源裝置的自我診斷而位於前述電漿電源裝置的內部，連接至前述電源裝置末端部而在前述電源裝置自我診斷時在前述電源裝置輸出端構成閉合電路；測試電流供應單元，為了確認前述電源裝置正常動作而向前述仿真負載電阻輸入電源裝置工作電流；資料收集單元，從設於構成前述電源裝置的零件及電路的輸入輸出節點的診斷感測器收集憑藉供應至前述電源裝置的測試電流測量的自我診斷資料，前述自我診斷資料係包含輸入輸出電流、電壓、溫度、動作與否中的任一個以上；判斷單元，比較收自前述資料收集單元的前述自我診斷資料與既設定值而判斷前述電源裝置的組成零件及電路各自的故障與否。
  2. 如申請專利範圍第1項所記載之電漿電源裝置的自我診斷模組，其中，前述電源裝置的組成零件包含轉換器、濾波器、逆變器、變壓器；前述診斷感測器設於構成前述電漿電源裝置的轉換器、濾波器、逆變器、變壓器及轉換電路與放大電路的輸入輸出節點。
  3. 如申請專利範圍第1項所記載之電漿電源裝置的自我診斷模組，其中，前述判斷單元比較收自複數個前述診斷感測器的測量值中的任一個以上與既設定值，並且根據比較結果判斷異常動作的前述電源裝置的組成零件與電路。
  4. 如申請專利範圍第1項所記載之電漿電源裝置的自我診斷模組，其中，前述測試電流供應單元為了確認前述電漿電源裝置的組成零件及電路各個正常動作與否，而個別控制前述電源裝置的組成零件及電路各自的電源。
  5. 如申請專利範圍第1項所記載之電漿電源裝置的自我診斷模組，其中，前述測試電流供應單元在前述電漿電源裝置的擬檢查異常與否的組成零件及電路被選擇時，向前述選定的組成零件及電路輸入測試電流。
  6. 如申請專利範圍第1項所記載之電漿電源裝置的自我診斷模組，其中，前述測試電流供應單元係針對測試條件進行設定，且前述測試條件包含前述仿真負載電阻值、擬診斷的組成零件及電路、輸入的電流值中的任一個，將基於前述設定的測試條件的測試電流供應至前述擬診斷的組成零件及電路，將憑藉前述被供應的測試電流及電壓測量的自我診斷資料傳輸至前述判斷單元。
  7. 如申請專利範圍第1項所記載之電漿電源裝置的自我診斷模組，其中，前述判斷單元根據測試條件調整所供應的測試電流值，比較收自複數個前述診斷感測器的測量值與既設定值的比率而算出前述電源裝置的組成零件與電路各自的成品率(yield)，前述測試條件包含前述仿真負載電阻值、擬診斷的組成零件及電路、輸入的電流值中的任一個。
  8. 一種電漿電源裝置的自我診斷方法，其特徵係其包含下列步驟：(A)測試電流供應單元為了確認前述電源裝置正常動作而往仿真負載電阻輸入電源裝置測試電流值；(B)資料收集單元從設於前述電源裝置的組成零件輸入輸出節點的診斷感測器收集憑藉供應至前述電源裝置的測試電流測量的自我診斷資料，前述自我診斷資料包含輸入輸出電流、電壓、溫度、動作與否中的任一個以上；及(C)判斷單元比較收自前述資料收集單元的前述自我診斷資料與既設定值而判斷前述電源裝置的組成零件及電路各自的故障與否；前述仿真負載電阻位於前述電漿電源裝置的內部，前述仿真負載電阻連接至前述電源裝置的末端部並且在前述電源裝置自我診斷時在前述電源裝置輸出端構成閉合電路。
  9. 如申請專利範圍第8項所記載之電漿電源裝置的自我診斷方法，其中，前述(C)判斷電源裝置的組成零件及電路各自的故障與否的步驟，比較收自複數個前述診斷感測器的測量值中的任一個以上與既設定值，並且根據比較結果判斷異常動作的前述電源裝置的組成零件與電路。
  10. 如申請專利範圍第8項所記載之電漿電源裝置的自我診斷方法，其中，前述(A)輸入電源裝置測試電流值的步驟，為了確認前述電漿電源裝置的組成零件及電路各個正常動作與否，而為前述電源裝置的組成零件及電路以個別方式各自輸入測試電流地控制電源。
  11. 如申請專利範圍第8項所記載之電漿電源裝置的自我診斷方法，其中，前述(A)輸入電源裝置測試電流值的步驟，在前述電漿電源裝置的擬檢查異常與否的組成零件及電路被選擇時，向前述選定的組成零件及電路輸入測試電流。
  12. 如申請專利範圍第8項所記載之電漿電源裝置的自我診斷方法，其中，前述(A)輸入電源裝置測試電流值的步驟包含下列步驟：針對測試條件進行設定，前述測試條件包含前述仿真負載電阻值、擬診斷的組成零件及電路、輸入的電流值中的任一個；將基於前述設定的測試條件的測試電流供應至前述擬診斷的組成零件及電路；及將憑藉前述被供應的測試電流測量的前述自我診斷資料傳輸至前述判斷單元。
  13. 如申請專利範圍第8項所記載之電漿電源裝置的自我診斷方法，其中，前述(C)判斷電源裝置的組成零件各自的故障與否的步驟包含下列步驟：根據測試條件調整所供應的測試電流值，前述測試條件包含前述仿真負載電阻值、擬診斷的組成零件及電路、輸入的電流值中的任一個；及比較收自複數個前述診斷感測器的測量值與既設定值的比率而算出前述電源裝置的組成零件與電路各自的成品率(yield)。
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Families Citing this family (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US11741816B2 (en) * 2019-07-29 2023-08-29 Lg Electronics Inc. Electronic device having self-diagnosis function
KR102170403B1 (ko) * 2019-09-16 2020-10-27 (주)화백엔지니어링 플라즈마 공정 모니터링 장치 및 방법
TW202130851A (zh) * 2019-10-25 2021-08-16 美商應用材料股份有限公司 電漿增強處理中的rf功率源操作
KR102165546B1 (ko) 2019-12-20 2020-10-14 주식회사 제이에스티 Dc 플라즈마 전원 공급장치의 자가 진단/교정 모듈 및 자가 진단/교정 방법

Citations (6)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN101116000A (zh) * 2005-02-04 2008-01-30 法商柏奈德公司 测试或测量电气元件的方法及***
TW201204182A (en) * 2003-04-24 2012-01-16 Tokyo Electron Ltd Plasma monitoring method, plasma monitoring device, and plasma treatment device
TW201503765A (zh) * 2013-03-15 2015-01-16 Lam Res Corp 電漿系統中故障裝置之決定
KR20170036368A (ko) * 2015-09-24 2017-04-03 주식회사 이티에스티 파워 서플라이 보드 테스트 장치
TW201729235A (zh) * 2015-11-17 2017-08-16 蘭姆研究公司 藉由光學診斷之電漿不穩定性的偵測系統及方法
KR101796395B1 (ko) * 2016-10-31 2017-11-10 엘에스오토모티브 주식회사 컨버터의 고장 검출 장치 및 방법

Family Cites Families (17)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP3478193B2 (ja) 1999-05-24 2003-12-15 トヨタ自動車株式会社 電源監視装置
JP3908077B2 (ja) * 2002-04-16 2007-04-25 株式会社日立製作所 直流バックアップ電源装置とその診断方法
CN100501436C (zh) * 2004-08-24 2009-06-17 鸿富锦精密工业（深圳）有限公司 电阻负载***
JP2006329719A (ja) * 2005-05-24 2006-12-07 Ricoh Co Ltd 直流電源装置評価システム
CN101101324A (zh) * 2006-07-04 2008-01-09 上海创想电源设备有限公司 含编码负载的电源设备试验装置
CN101556298B (zh) * 2008-04-10 2011-04-13 中茂电子(深圳)有限公司 整流性被动式负载仿真装置及方法
JP4801180B2 (ja) * 2009-03-06 2011-10-26 株式会社日立製作所 多チャンネルアナログ入出力回路の故障診断装置及び故障診断方法
JP2010252456A (ja) * 2009-04-13 2010-11-04 Tokyo Electric Power Co Inc:The 充電器故障検出装置
CN101930059B (zh) * 2009-06-19 2014-01-22 三星电机株式会社 用于电源的交流检测电路
EP2557653A1 (en) * 2010-10-15 2013-02-13 Sanyo Electric Co., Ltd. Self-diagnostic device for power storage system
US9502216B2 (en) * 2013-01-31 2016-11-22 Lam Research Corporation Using modeling to determine wafer bias associated with a plasma system
CN104765005B (zh) * 2015-03-10 2019-01-04 国核自仪***工程有限公司 自我诊断电源的电路
CN104820200B (zh) * 2015-05-14 2018-07-06 哈尔滨冠拓电源设备有限公司 具有自检功能的电池管理***功能检验平台及自检方法和检验方法
CN105044622B (zh) * 2015-07-30 2018-10-09 中国电子科技集团公司第四十一研究所 一种测试仪器的供电电源功率自检测装置及其自检测方法
CN106908742A (zh) * 2015-12-18 2017-06-30 技嘉科技股份有限公司 电源测试装置及方法
CN106291321B (zh) * 2016-08-04 2020-07-28 上海交通大学 基于LabWindows/CVI的等离子电源电路自动测试平台及方法
CN106862737B (zh) * 2017-03-20 2018-11-30 华中科技大学 一种等离子切割电源的输出过流保护控制电路及方法

Patent Citations (6)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
TW201204182A (en) * 2003-04-24 2012-01-16 Tokyo Electron Ltd Plasma monitoring method, plasma monitoring device, and plasma treatment device
CN101116000A (zh) * 2005-02-04 2008-01-30 法商柏奈德公司 测试或测量电气元件的方法及***
TW201503765A (zh) * 2013-03-15 2015-01-16 Lam Res Corp 電漿系統中故障裝置之決定
KR20170036368A (ko) * 2015-09-24 2017-04-03 주식회사 이티에스티 파워 서플라이 보드 테스트 장치
TW201729235A (zh) * 2015-11-17 2017-08-16 蘭姆研究公司 藉由光學診斷之電漿不穩定性的偵測系統及方法
KR101796395B1 (ko) * 2016-10-31 2017-11-10 엘에스오토모티브 주식회사 컨버터의 고장 검출 장치 및 방법

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