KR101918253B1 - 플라즈마 전원장치의 자가진단모듈 및 자가진단방법 - Google Patents

플라즈마 전원장치의 자가진단모듈 및 자가진단방법 Download PDF

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Abstract

플라즈마 전원장치의 자가진단모듈 및 자가진단방법을 개시한다. 실시예에 따른 플라즈마 전원장치의 자가진단모듈은 플라즈마 전원장치의 자가진단을 위해, 전원장치 종단부에 연결된 더미로드 저항; 더미로드 저항으로 전원장치 운전 전류를 입력하는 테스트전류 인가부; 전원장치를 구성하는 부품 및 회로의 입출력 노드에 구비된 진단센서로부터 전원장치에 인가된 테스트전류에 의해 측정되는 입출력 전류, 전압, 온도, 동작유무를 포함하는 자가진단데이터를 수집하는 데이터 수집부; 및 데이터 수집부로부터 전달받은 자가진단데이터를 기 설정값과 비교하여, 상기 전원장치 구성부품 및 회로 각각의 고장여부를 판단하는 판단부; 를 포함한다.

Description

플라즈마 전원장치의 자가진단모듈 및 자가진단방법{SELF-DIAGNOSIS MODULE AND SELF-DIAGNOSIS METHOD OF PLASMA POWER SUPPLY}
플라즈마 전원장치의 자가진단모듈 및 자가진단방법에 관한 것으로 구체적으로, 플라즈마 전원장치에 연결된 부하와 복수개의 자가진단 데이터 감지센서를 통해, 플라즈마 전원장치에 포함된 구성부품과 회로의 정상동작 여부를 판단하는 자가진단모듈 및 자가진단방법에 관한 것이다.
본 명세서에서 달리 표시되지 않는 한, 이 섹션에 설명되는 내용들은 이 출원의 청구항들에 대한 종래 기술이 아니며, 이 섹션에 포함된다고 하여 종래 기술이라고 인정되는 것은 아니다.
전원장치(power supply)는 평상시에는 상용 교류전원에서 정류 장치, 변환 장치, 변형 보정 장치 등을 거쳐 부하로 교류를 공급하며, 다시 정류 장치 출력에 축전지를 접속하여 부동 동작을 시켜 전력을 공급하는 장치이다. 전원장치는 입력되는 전류에 노이즈가 있거나 입력이 불안정한 전류를 안정적으로 가공하여 장비의 오작동을 미연에 방지하도록 한다.
전원장치를 설치할 때, 또는 운용중인 전원장치의 이상 유무를 점검할 때, 작업자가 설치된 전원장치를 직접 개별 조작 하여 각 동작 유무를 판단 하거나 설치된 설비에 연결된 각종 전선 등 유틸리티를 분리 하여 전원장치를 분리 한 후 별도의 부하기 또는 설치 조건에 맞는 조건으로 재 설치 하여 작업자가 직접 조작 하여 동작 유무를 판별 하는 과정이 필요하다.
이처럼 종래에는 전원장치를 설치할 때, 또는 운용중인 전원장치의 고장유무 등을 점검 할 때마다 부하기를 구비해야 하며 별도의 설치된 위치로부터 분리 하여 점검해야 하는 작업이 수반됨에 따라 전원장치 점검 시 많은 시간, 비용과 인력이 소모된다. 특히, 전원장치 점검 시 전원장치에 포함된 회로 각각의 이상여부를 판단하기 위해 부하와 인가전류 조건을 점검자가 직접 설정하고 조정해야 하는 불편함이 있다. 아울러, 전원장치의 구성 별로 부하기와 접속된 스위치를 차단한 후 스위치를 개별로 접속시켜 전원장치 구성의 안정성을 테스트 해야만 하기 때문에, 전원장치 점검 시 다양한 테스트 조건을 직접설정하고, 설정된 조건에 따라 회로배선을 직접 조정해야 하는 번거로움이 있다.
1. 한국 특허등록 제10-1245503호(2013.03.13)
플라즈마 전원장치의 자가진단을 위해, 전원장치 종단부에 연결되는 더미로드 저항을 전원장치 내부 또는 외부에 제공하고, 플라즈마 전원장치 구성에 인가되는 테스트 전류와 더미로드 저항 및 진단하려는 구성부품과 회로 등 테스트 조건을 설정하여, 설정된 조건에 따라 자가진단 데이터를 수집한다. 이후, 전원장치를 구성하는 회로 내에 구비된 복수개의 센서에서 수집된 자가진단데이터를 분석하여, 플라즈마 전원장치 구성의 이상여부를 파악하는 자가진단 모듈을 제공한다.
실시예에 따른 플라즈마 전원장치의 자가진단모듈은 플라즈마 전원장치의 자가진단을 위해, 전원장치 종단부에 연결된 더미로드 저항; 전원장치의 정상동작을 확인하기 위해, 더미로드 저항으로 전원장치 임의의 운전 전류를 입력하는 테스트전류 인가부; 전원장치를 구성하는 부품 및 회로의 입출력 노드에 구비된 진단센서로부터 전원장치에 인가된 테스트전류에 의해 측정되는 입출력 전류, 전압, 온도, 동작유무를 포함하는 자가진단데이터를 수집하는 데이터 수집부; 데이터 수집부로부터 전달받은 자가진단데이터를 기 설정값과 비교하여, 전원장치 구성부품 및 회로 각각의 고장여부를 판단하는 판단부; 를 포함한다.
다른 실시예에 따른 플라즈마 전원장치의 자가진단방법은 (A) 테스트전류 인가부에서 전원장치의 정상동작을 확인하기 위해, 더미로드 저항으로 전원장치 임의의 테스트 전류값을 입력하는 단계; (B) 데이터 수집부에서 전원장치의 구성 입출력 로드에 구비된 진단센서로부터 전원장치에 인가된 테스트전류에 의해 측정되는 입출력 전류, 전압, 온도, 동작유무를 포함하는 자가진단데이터를 수집하는 단계; 및 (C) 판단부에서 데이터 수집부로부터 전달받은 자가진단데이터를 기 설정값과 비교하여, 전원장치 구성부품 및 회로 각각의 고장여부를 판단하는 단계; 를 포함한다.
전원장치 점검 시 별도의 부하기, 냉각기 및 배선연결 없이 플라즈마 전원장치 자체적으로 구성 부품 및 회로의 이상유무진단을 빠르고 정확하게 수행할 수 있다.
또한 전원장치가 설치된 모 설비로부터 분리 반출하지 않은 상태에서 작업자의 각 개별 기능 동작 점검 없이 전원장치 스스로 입력된 임의의 운전 지령 값에 의해 동작하고 점검 결과를 LCD 또는 FND 등 사용자가 그 결과 메시지를 확인 할 수 있도록 하여 점검 시간과 모 설비의 정지 시간을 획기적으로 단축한다.
본 발명의 효과는 상기한 효과로 한정되는 것은 아니며, 본 발명의 상세한 설명 또는 특허청구범위에 기재된 발명의 구성으로부터 추론 가능한 모든 효과를 포함하는 것으로 이해되어야 한다.
도 1은 실시예에 따른 자가진단모듈을 포함한 플라즈마 전원장치 구성을 나타낸 도면
도 2는 실시예에 따른 더미로드 저항을 전원장치에 연결하거나 전원장치 내부에 구비하여 전원장치의 자가진단 시 사용하는 예를 나타낸 도면
도 3은 실시예에 따른 플라즈마 전원장치 자가진단을 위한 복수개의 진단센서와 구체적인 회로구성을 나타낸 도면
도 4는 실시예에 따른 자가진단모듈(300)의 데이터 처리구성을 나타낸 도면
도 5는 실시예에 따른 플라즈마 전원장치의 자가진단 방법의 데이터 처리흐름을 나타낸 흐름도
본 발명의 이점 및 특징, 그리고 그것들을 달성하는 방법은 첨부되는 도면과 함께 상세하게 후술되어 있는 실시 예들을 참조하면 명확해질 것이다. 그러나 본 발명은 이하에서 개시되는 실시 예들에 한정되는 것이 아니라 서로 다른 다양한 형태로 구현될 수 있으며, 단지 본 실시 예들은 본 발명의 개시가 완전하도록 하고, 본 발명이 속하는 기술분야에서 통상의 지식을 가진 자에게 발명의 범주를 완전하게 알려주기 위해 제공되는 것이며, 본 발명은 청구항의 범주에 의해 정의될 뿐이다. 명세서 전체에 걸쳐 동일 도면부호는 동일 구성 요소를 지칭한다.
본 발명의 실시 예들을 설명함에 있어서 공지 기능 또는 구성에 대한 구체적인 설명이 본 발명의 요지를 불필요하게 흐릴 수 있다고 판단되는 경우에는 그 상세한 설명을 생략할 것이다. 그리고 후술되는 용어들은 본 발명의 실시 예에서의 기능을 고려하여 정의된 용어들로서 이는 사용자, 운용자의 의도 또는 관례 등에 따라 달라질 수 있다. 그러므로 그 정의는 본 명세서 전반에 걸친 내용을 토대로 내려져야 할 것이다.
도 1은 실시예에 따른 자가진단모듈을 포함한 플라즈마 전원장치 구성을 나타낸 도면이다.
도 1을 참조하면, 실시예에 따른 플라즈마 전원장치는 더미로드저항(400) 변환회로(100), 증폭회로(200), 테스트 조건에 따른 자가진단 데이터를 측정하는 진단센서(1,3,5) 및 자가진단모듈(300)을 포함하여 구성될 수 있다. 본 명세서에서 사용되는 '모듈' 이라는 용어는 용어가 사용된 문맥에 따라서, 소프트웨어, 하드웨어 또는 그 조합을 포함할 수 있는 것으로 해석되어야 한다. 예를 들어, 소프트웨어는 기계어, 펌웨어(firmware), 임베디드코드(embedded code), 및 애플리케이션 소프트웨어일 수 있다. 또 다른 예로, 하드웨어는 회로, 프로세서, 컴퓨터, 집적 회로, 집적 회로 코어, 센서, 멤스(MEMS; Micro-Electro-Mechanical System), 수동 디바이스, 또는 그 조합일 수 있다.
더미로드저항(400)은 플라즈마 전원장치의 자가진단을 위해, 전원장치 종단부에 연결되어, 전원장치 출력단에 폐회로를 구성한다. 실시예에서는 더미로드저항(400)에 의해 전원장치에 전류가 인가되면, 마치 실제로 전원장치가 구동된 것과 같이, 플라즈마 전원장치의 구성부품 및 회로가 동작한다.
변환회로(100)는 전원장치로 입력된 교류전류를 직류전류로 변환시키고, 변환된 직류전류에서 설정된 조건을 만족하는 직류전류를 필터링 한다. 이후 필터링 된 직류 전류를 다시 교류로 변환한 변환전류를 출력한다.
증폭회로(200)는 변환전류가 입력되면 입력된 전류를 증폭시키고, 증폭된 전류를 직류전류로 변환하고, 변환된 직류전류를 필터링 한 증폭전류를 출력한다.
복수개의 진단센서(1,3,5)는 회로의 입출력 로드에 설치되어, 회로에 인가되는 전류에 따른 입출력 전류값, 전압, 온도 등 회로이상 동작 판단에 필요한 자가진단데이터를 측정한다. 실시예에서는 진단센서(3)에서 측정된 진단데이터를 통해 변환회로의 단락, 증폭회로의 과부하, 진단센서(3)이 연결된 배선의 발열 상태, 전류센서이상, 진단센서이상, 인버터 동작유무 등 플라즈마 전원장치 동작에 영향을 미치는 회로상태를 파악할 수 있다.
자가진단모듈(300)은 더미로드저항(400)에 의한 테스트 전류 및 전압이 전원장치의 각 회로에 인가되면 진단센서(1,3,5)에서 측정된 자가진단데이터를 수집한다. 이후, 자가진단데이터를 미리 저장된 데이터와 비교하고, 비교 결과를 기반으로 전원장치의 구성 중 이상이 있는 부품이나 회로를 판단한다.
도 2는 실시예에 따른 더미로드 저항을 전원장치에 연결하여 전원장치의 자가진단 시 사용하는 예를 나타낸 도면이다.
도 2에 도시된 바와 같이, 실시예에 따른 더미로드저항(400)을 전원장치에 연결하면, 연결된 더미로드저항(400)에 의해 인가되는 전류를 이용하여, 전원장치 구성의 이상 유무를 파악할 수 있다. 실시예에서 제공하는 더미로드 저항(400)은 전원장치뿐만 아니라, 일반적인 전원장치가 구비된 각종 전자기기에 부착하거나 내장하여 사용할 수 있다. 실시예에서 제공하는 더미로드저항(400)은 전원장치 출력단에 연결되는 경우, 폐회로를 만들기 때문에 전원장치를 실제 부하로 구동 시키지 않더라도, 전원장치를 구성하는 각각의 회로와 부품에 전류를 인가할 수 있다. 더미로드저항(400)에 의해 인가되는 전류는 테스트 전류로서, 전원장치를 구성하는 부품 및 회로 각각에 개별적으로 인가될 수 있다. 또한, 실시예에서는 더미로드 저항 값이나 인가되는 전류값을 변경하면서 진단데이터를 수집할 수 있도록 하여, 다양한 테스트 조건에서 전원장치의 이상여부를 용이하게 확인할 수 있도록 한다. 도 2에는 실시예로서 더미로드 저항(400)이 전원장치 외부에 설치된 것을 도시하였지만, 본 개시에 의해 제공되는 더미로드 저항(400)은 전원장치 내부에 구비되어 전원장치 자가진단 테스트에 이용될 수 있다.
도 3은 실시예에 따른 플라즈마 전원장치 자가진단을 위한 복수개의 진단센서와 구체적인 회로구성을 나타낸 도면이다.
도 3을 참조하면, 변환회로(100)은 컨버터, 필터, 인버터를 포함하여 구성될 수 있고, 증폭회로(200)은 변압기, 컨버터, 필터를 포함하여 구성될 수 있다.
플라즈마 전원장치에 구성된 각각의 진단센서(1,2,4,5,6)는 변환회로(100) 및 증폭회로(200)의 입출력 회로 내(1,3,5) 뿐만 아니라, 회로를 구성하는 부품인 필터 및 변압기의 입출력 회로 내(2,4,6)에도 구비되어 변환회로(100)와 증폭회로(200)을 구성하는 부품 각각으로 입출력 하는 전류값, 온도 등을 포함하는 진단데이터를 측정할 수 있다.
예컨대, 변환회로(100)의 컨버터는 입력된 교류전류를 직류전류로 변환시키고, 필터는 변환된 직류전류 중 일정 수치 이상인 전류를 필터링 하여 인버터로 입력한다. 이때, 진단센서(1)는 입력전류값, 연결배선 저항에 따른 발열 온도 등을 감지하고, 진단센서(2)는 컨버터의 출력전류값, 온도, 필터로 입력되는 전류값 등의 진단데이터를 감지할 수 있다.
인버터(130)는 입력된 직류전류를 다시 교류로 변환시켜 출력하고, 진단센서(3)은 출력된 전류를 감지한다. 이때, 진단센서(3)에서 감지된 진단데이터를 통해 변환회로의 단락 또는 증폭회로의 과부하를 판단할 수 있다. 변환회로(100)의 출력전류는 증폭회로(200)의 입력 전류가 되어, 변압기(210)에 의해 증폭된다. 진단센서(4)는 증폭 전류를 감지하고, 증폭된 전류는 컨버터(220)에서 직류전류로 변환되고, 진단센서(5)는 컨버터에서 출력된 직류전류를 감지하여 필터로 입력시킨다. 필터(230)에서 일정 수치 미만의 전류는 필터링 된다. 이후, 필터(230)를 통과한 전류가 진단센서(6)에서 감지된다.
자가진단모듈(300)은 전원장치를 구성하는 회로 및 부품의 입출력 단에 설치된 복수개의 진단센서에서 측정한 진단데이터를 수집하고, 미리 저장된 데이터와의 비교결과에 따라 전원장치에서 이상동작 하는 회로 및 부품을 파악한다.
도 3에서는 진단센서 1내지 6을 도시하고, 필터와 컨버터, 변환회로와 증폭회로의 입출력 노드에서 자가진단데이터를 수집하는 것으로 설명한 것은 발명의 실시예를 개시한 것일 뿐, 진단센서의 수와 구성을 한정하려는 것이 아니다. 자가진단 센서의 수와 설치 위치는 자가진단 모듈이 구비되는 전원장치 구성에 따라 달라질 수 있다.
도 4는 실시예에 따른 자가진단모듈(300)의 데이터 처리구성을 나타낸 도면이다.
도 4를 참조하면, 자가진단모듈(300)은 테스트전류 인가부(310), 데이터 수집부(330) 및 판단부(350)을 포함하여 구성될 수 있다.
테스트전류 인가부(310)는 전원장치의 정상동작을 확인하기 위해, 더미로드 저항으로 전원장치 운전 전류값 또는 전압값을 입력한다. 실시예에서는 테스트전류 인가부(310)에서 테스트 전류값을 조정하거나, 테스트 전류 인가부(310)에서 더미로드 저항 값을 조정하여 테스트전류값을 제어할 수 있다.
또한 테스트 전류 인가부(310)는 플라즈마 전원장치의 구성 및 회로 각각의 정상동작여부를 확인하기 위해, 상기 전원장치의 구성 및 회로 각각의 전원을 개별적으로 제어 할 수 있다. 예컨대, 테스트 전류 인가부(310)는 전원장치가 n개의 부품을 포함하는 경우, 아래 수학식 1을 통해 테스트 전류 인가 경우의 수를 산출하여, 산출된 테스트 전류 각각을 전원장치를 포함하는 부품에 인가할 수 있다.
수학식 1
n 개의 부품을 포함하는 전원장치의 테스트 전류 입출력 경로 산출 경우의 수=
Figure 112018009463331-pat00001
=nC1+nC2+nC3+nC4+……+nCn=n!
구체적으로, n개의 부품을 포함하는 회로의 경우, n개의 부품 중 하나를 선택하여, 선택된 부품으로 입출력 되는 테스트전류를 인가하여 진단데이터를 측정하도록 하고, n개의 부품 중 두개의 (인접한) 부품을 선택하여 선택된 두 부품에 테스트 전류를 인가하여 진단데이터를 측정하도록 한다. 즉, 테스트 전류 인가부(310)는 플라즈마 전원장치를 구성하는 부품 각각에 전류를 인가하여 이상동작 여부를 확인하고, 부품 각각이 정상동작으로 확인되면, 복수개의 부품을 선택하여, 선택된 복수개의 부품에 전류를 인가하여 부품 각각이 연결되었을 경우의 이상동작 발생 여부를 파악할 수 있도록 한다. 즉, 실시예에 따른 테스트 전류 인가부(310)는 전원장치에 포함된 각 부품 및 각 부품의 연결 상태까지 파악할 수 있는 테스트 전류 경로를 조건화 하고 각 조건에 따라 진단 데이터를 측정함으로써, 플라즈마 전원장치에 포함된 부품의 이상동작을 개별적으로 파악할 수 있도록 하고 부품 간 연결상태까지 진단할 수 있도록 한다.
또한 테스트 전류 인가부(310)는 사용자에 의해 입출력 부품을 선택 받는 경우, 선택된 부품으로 테스트 전류를 인가할 수 있다. 예컨대, 테스트 전류 인가부(310)는 플라즈마 전원장치의 이상여부를 확인하려는 구성 및 회로를 선택 받는 경우, 선택된 구성 및 회로에 테스트 전류를 입력할 수 있다.
또한, 테스트전류 인가부(310)는 더미로드 저항 값, 진단하려는 구성 부품 및 회로, 입력 전류값 중 어느 하나를 포함하는 테스트 조건을 설정하고, 설정된 테스트 조건에 따른 테스트 전류를 진단하려는 구성 부품 및 회로에 인가하고, 인가된 테스트 전류에 의해 측정되는 자가진단데이터를 통해 전원장치를 자가진단 하도록 한다.
데이터수집부(330)는 전원장치의 구성부품 입출력 회로 내에 구비된 진단센서(1,2,3,4,5,6)로부터 전원장치에 인가된 테스트전류에 의해 측정되는 입출력 전류, 전압, 온도, 동작유무를 포함하는 진단데이터를 수집한다.
판단부(350)는 데이터 수집부로부터 전달받은 회로진단데이터를 기 설정값과 비교하여, 전원장치를 구성하는 회로와 부품 각각의 고장여부를 판단한다. 예컨대, 판단부(350)는 복수개의 진단센서(1,2,3,4,5,6)로부터 전달받은 측정값들 중 어느 하나 이상을 기 설정값과 비교하여 비교결과에 따라 이상 동작하는 전원장치의 구성부품과 회로를 판단할 수 있다.
또한 판단부(350)는 더미로드 저항 값과 전원장치의 구성부품 및 회로에 인가되는 테스트 전류값을 조정하고, 복수개의 진단센서로부터 전달받은 측정값들과 기설정값의 비율을 비교하여, 전원장치의 구성과 회로의 각각의 수율(yield)을 산출할 수 있다. 즉, 판단부(350)는 더미로드 저항 값, 인가되는 전류값 및 자가 진단하려는 부품 구성과 회로를 포함하는 테스트 조건에 따른 수율을 산출할 수 있다. 예컨대, 판단부(350)는 전원장치의 테스트 전류 입출력 경로 산출 경우에 따라 인가된 테스트 전류에 의해 측정된 진단데이터와 기 저장된 데이터를 비교하여 전원장치를 구성하는 각 부품 및 회로에서 발생하는 손실전류와 손실률을 파악할 수 있다. 실시예에서 판단부(350)는 손실률이 일정 수준인 이상인 회로 및 부품을 교체하도록 하고, 부품간 연결라인이나 노드에서 발생하는 노이즈로 출력전류 손실이 높아지는 경우, 출력전류 손실의 원인이 되는 연결라인 및 노드의 위치를 점검자에게 알릴 수 있다.
이하에서는 실시예에 따른 자가진단방법에 대해서 차례로 설명한다. 실시예에 따른 자가진단 방법의 작용(기능)은 자가진단모듈상의 기능과 본질적으로 같은 것이므로 도 1 내지 도 4와 중복되는 설명은 생략하도록 한다.
도 5는 실시예에 따른 플라즈마 전원장치의 자가진단 방법의 데이터 처리흐름을 나타낸 흐름도이다.
S410 단계에서는 테스트전류 인가부에서 전원장치의 정상동작을 확인하기 위해, 상기 더미로드 저항으로 전원장치 테스트 전류값을 입력한다. S410 단계에서는 플라즈마 전원장치의 구성 및 회로 각각의 정상동작여부를 확인하기 위해, 전원장치의 구성 및 회로 각각에 개별적으로 테스트 전류를 입력한다. 예컨대, S410 단계에서는 수학식 1로 산출된 전원장치의 테스트 전류 입출력 경로 산출 경우 각각을 테스트 전류 조건으로 설정하여, 설정된 조건에 따라 테스트 전류를 인가하고 인가된 전류에 의한 진단데이터를 수집할 수 있도록 한다. 또한, S410 단계에서는 플라즈마 전원장치의 이상여부를 확인하려는 구성 및 회로를 선택 받는 경우, 선택된 구성 및 회로에 테스트 전류를 입력할 수 있도록 한다.
또한, S410 단계에서는 더미로드 저항 값, 진단하려는 구성 부품 및 회로, 입력 전류값 중 어느 하나를 포함하는 테스트 조건을 설정하고, 설정된 테스트 조건에 따른 테스트 전류를 진단하려는 구성 부품 및 회로에 인가할 수 있다.
S430 단계에서는 데이터 수집부에서 전원장치의 구성부품 입출력 노드에 구비된 진단센서로부터 전원장치에 인가된 테스트전류에 의해 측정되는 입출력 전류, 전압, 온도, 동작유무를 포함하는 진단데이터를 수집한다.
S450 단계에서는 판단부에서 데이터 수집부로부터 전달받은 진단데이터를 기 설정값과 비교하여, 전원장치 구성 각각의 고장여부를 판단한다. S450 단계에서는 복수개의 진단센서로부터 전달받은 측정값들 중 어느 하나 이상을 기 설정값과 비교하여 비교결과에 따라 이상 동작하는 전원장치의 구성과 회로를 판단할 수 있다. 또한, S450 단계에서는 더미로드 저항 값과 전원장치의 구성 및 회로에 인가되는 테스트 전류값과 전원장치의 테스트 전류 입출력 경로 조건에 따라 조정하고, 복수개의 진단센서로부터 전달받은 측정값들과 기설정값의 비율을 비교하여, 전원장치의 구성부품과 회로의 각각의 수율(yield)을 산출할 수 있다. 예컨대, S450 단계에서는 더미로드 저항 값, 진단하려는 구성 부품 및 회로, 입력 전류값 중 어느 하나를 포함하는 테스트 조건에 따라 인가되는 테스트 전류값을 조정하고, 복수개의 진단센서로부터 전달받은 측정값들과 기설정값의 비율을 비교하여, 전원장치의 구성과 회로 각각의 수율(yield) 및 손실률을 산출할 수 있다.
실시예에 따른 플라즈마 전원장치의 자가진단 방법은 플라즈마 전원장치를 구성하는 부품 각각에 전류를 인가하여 이상동작 여부를 확인하고, 부품 각각이 정상동작으로 확인되면, 복수개의 부품을 선택하여, 선택된 복수개의 부품에 전류를 인가하여 부품 각각이 연결되었을 경우의 이상동작 발생 여부를 파악할 수 있도록 한다. 즉, 실시예에서는 전원장치에 포함된 부품 각각 및 각 부품의 연결 상태까지 파악할 수 있는 테스트 전류 경로를 조건화 하고 각 조건에 따라 진단 데이터를 측정함으로써, 플라즈마 전원장치에 포함된 부품의 이상동작을 개별적으로 파악할 수 있도록 하고 부품 간 연결상태까지 진단할 수 있도록 한다.
또한, 전원장치 출력단에 연결된 더미로드 저항 값, 테스트 전류값 및 테스트 전류가 입출력 경로를 포함하는 테스트 조건을 변경하여 전원장치의 진단데이터를 테스트 조건에 따라 수집할 수 있도록 함으로써, 전원장치의 이상동장 진단 뿐만 아니라 수율 및 손실률 파악까지 자동으로 수행 할 수 있도록 한다.
실시예에 따른 플라즈마 전원장치의 자가진단모듈 및 자가진단 방법을 통해 전원장치 점검 시 별도의 부하기, 냉각기 및 배선연결 없이 전원장치 자체적으로 구성 부품 및 회로의 이상 유무진단을 빠르고 정확하게 수행할 수 있다.
개시된 내용은 예시에 불과하며, 특허청구범위에서 청구하는 청구의 요지를 벗어나지 않고 당해 기술분야에서 통상의 지식을 가진 자에 의하여 다양하게 변경 실시될 수 있으므로, 개시된 내용의 보호범위는 상술한 특정의 실시예에 한정되지 않는다.
400: 더미로드저항
300: 자가진단모듈
310: 테스트전류 인가부
330: 데이터 수집부
350: 판단부

Claims (13)

  1. 플라즈마 전원장치의 자가진단모듈에 있어서,
    상기 플라즈마 전원장치의 자가진단을 위해 상기 플라즈마 전원장치의 내부에 위치되며, 전원장치 종단부에 연결되어 전원장치의 자가진단시 전원장치 출력단에 폐회로를 구성하는 더미로드 저항;
    상기 전원장치의 정상동작을 확인하기 위해, 상기 더미로드 저항으로 전원장치 운전 전류를 입력하는 테스트전류 인가부;
    상기 전원장치를 구성하는 부품 및 회로의 입출력 노드에 구비된 진단센서로부터 상기 전원장치에 인가된 테스트전류에 의해 측정되는 입출력 전류, 전압, 온도, 동작유무 중 어느 하나 이상을 포함하는 자가진단데이터를 수집하는 데이터 수집부;
    상기 데이터 수집부로부터 전달받은 자가진단데이터를 기 설정값과 비교하여, 상기 전원장치 구성부품 및 회로 각각의 고장여부를 판단하는 판단부; 를 포함하는 플라즈마 전원장치의 자가진단모듈.
  2. 제 1항에 있어서, 상기 전원장치의 구성부품은
    컨버터, 필터, 인버터, 변압기를 포함하고,
    상기 진단센서는 플라즈마 전원장치를 구성하는 컨버터, 필터, 인버터, 변압기 및 변환회로와 증폭회로의 입출력 노드에 구성되는 것을 특징으로 하는 플라즈마 전원장치의 자가진단모듈.
  3. 제 1항에 있어서, 상기 판단부는
    복수개의 진단센서로부터 전달받은 측정값들 중 어느 하나 이상을 기 설정값과 비교하여 비교결과에 따라 이상 동작하는 전원장치의 구성부품과 회로를 판단하는 것을 특징으로 하는 플라즈마 전원장치의 자가진단모듈.
  4. 제 1항에 있어서, 상기 테스트전류 인가부는
    상기 플라즈마 전원장치의 구성 및 회로 각각의 정상동작여부를 확인하기 위해, 상기 전원장치의 구성부품 및 회로 각각의 전원을 개별적으로 제어하는 것을 특징으로 하는 플라즈마 전원장치의 자가진단모듈.
  5. 제 1항에 있어서, 상기 테스트전류 인가부는
    상기 플라즈마 전원장치의 이상여부를 확인하려는 구성 및 회로를 선택 받는 경우, 상기 선택된 구성부품 및 회로에 테스트 전류를 입력하는 것을 특징으로 하는 플라즈마 전원장치의 자가진단모듈.
  6. 제 1항에 있어서, 상기 테스트전류 인가부는
    상기 더미로드 저항 값, 진단하려는 구성 부품 및 회로, 입력 전류값 중 어느 하나를 포함하는 테스트 조건을 설정하고, 상기 설정된 테스트 조건에 따른 테스트 전류를 상기 진단하려는 구성 부품 및 회로에 인가하고, 상기 인가된 테스트 전류 및 전압에 의해 측정되는 자가진단데이터를 상기 판단부에 전달하는 것을 특징으로 하는 플라즈마 전원장치의 자가진단모듈.
  7. 제 1항에 있어서, 상기 판단부는
    상기 더미로드 저항 값, 진단하려는 구성 부품 및 회로, 입력 전류값 중 어느 하나를 포함하는 테스트 조건에 따라 인가되는 테스트 전류값을 조정하고, 복수개의 진단센서로부터 전달받은 측정값들과 기설정값의 비율을 비교하여, 상기 전원장치의 구성과 회로의 각각의 수율(yield)을 산출하는 것을 특징으로 하는 플라즈마 전원장치의 자가진단모듈.
  8. 플라즈마 전원장치의 자가진단방법에 있어서,
    (A) 테스트전류 인가부에서 상기 전원장치의 정상동작을 확인하기 위해, 더미로드 저항으로 전원장치 테스트 전류값을 입력하는 단계;
    (B) 데이터 수집부에서 상기 전원장치의 구성 입출력 노드에 구비된 진단센서로부터 상기 전원장치에 인가된 테스트전류에 의해 측정되는 입출력 전류, 전압, 온도, 동작유무 중 어느 하나 이상을 포함하는 자가진단데이터를 수집하는 단계; 및
    (C) 판단부에서 상기 데이터 수집부로부터 전달받은 자가진단데이터를 기 설정값과 비교하여, 상기 전원장치 구성부품 및 회로 각각의 고장여부를 판단하는 단계; 를 포함하며,
    상기 더미로드 저항은 상기 플라즈마 전원장치의 내부에 위치되며,
    상기 더미로드 저항은 상기 전원장치의 종단부에 연결되어 전원장치의 자가진단 시 전원장치 출력단에 폐회로를 구성하는 것을 특징으로 하는 플라즈마 전원장치의 자가진단방법.
  9. 제 8항에 있어서, 상기 (C) 전원장치 구성부품 및 회로 각각의 고장여부를 판단하는 단계; 는
    복수개의 진단센서로부터 전달받은 측정값들 중 어느 하나 이상을 기 설정값과 비교하여 비교결과에 따라 이상 동작하는 전원장치의 구성부품과 회로를 판단하는 것을 특징으로 하는 플라즈마 전원장치의 자가진단방법.
  10. 제 8항에 있어서, 상기 (A) 전원장치 테스트 전류값을 입력하는 단계; 는
    상기 플라즈마 전원장치의 구성부품 및 회로 각각의 정상동작여부를
    확인하기 위해, 상기 전원장치의 구성 및 회로 각각에 개별적으로 테스트 전류를 입력하여 전원을 제어하는 것을 특징으로 하는 플라즈마 전원장치의 자가진단방법.
  11. 제 8항에 있어서, 상기 (A) 전원장치 테스트 전류값을 입력하는 단계; 는
    상기 플라즈마 전원장치의 이상여부를 확인하려는 구성부품 및 회로를 선택 받는 경우, 상기 선택된 구성 및 회로에 테스트 전류를 입력하는 것을 특징으로 하는 플라즈마 전원장치의 자가진단방법.
  12. 제 8항에 있어서, 상기 (A) 전원장치 테스트 전류값을 입력하는 단계;는
    상기 더미로드 저항 값, 진단하려는 구성 부품 및 회로, 입력 전류값 중 어느 하나를 포함하는 테스트 조건을 설정하는 단계;
    상기 설정된 테스트 조건에 따른 테스트 전류를 상기 진단하려는 구성 부품 및 회로에 인가하는 단계; 및
    상기 인가된 테스트 전류에 의해 측정되는 자가진단데이터를 상기 판단부에 전달하는 단계; 를 포함하는 것을 특징으로 하는 플라즈마 전원장치의 자가진단방법.
  13. 제 8항에 있어서, 상기 (C) 전원장치 구성 각각의 고장여부를 판단하는 단계; 는
    상기 더미로드 저항 값, 진단하려는 구성 부품 및 회로, 입력 전류값 중 어느 하나를 포함하는 테스트 조건에 따라 인가되는 테스트 전류값을 조정하는 단계; 및
    복수개의 진단센서로부터 전달받은 측정값들과 기설정값의 비율을 비교하여, 상기 전원장치의 구성과 회로 각각의 수율(yield)을 산출하는 단계; 를 포함하는 것을 특징으로 하는 플라즈마 전원장치의 자가진단방법.
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Cited By (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR102165546B1 (ko) 2019-12-20 2020-10-14 주식회사 제이에스티 Dc 플라즈마 전원 공급장치의 자가 진단/교정 모듈 및 자가 진단/교정 방법
KR102170403B1 (ko) * 2019-09-16 2020-10-27 (주)화백엔지니어링 플라즈마 공정 모니터링 장치 및 방법
WO2021020601A1 (ko) * 2019-07-29 2021-02-04 엘지전자 주식회사 자가진단기능을 구비한 전자기기
WO2021081387A1 (en) * 2019-10-25 2021-04-29 Applied Materials, Inc. Rf power source operation in plasma enhanced processes

Citations (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US6211681B1 (en) 1999-05-24 2001-04-03 Toyota Jidosha Kabushiki Kaisha Apparatus for diagnosing electric power source while power is supplied to load device from the power source
KR101796395B1 (ko) * 2016-10-31 2017-11-10 엘에스오토모티브 주식회사 컨버터의 고장 검출 장치 및 방법

Family Cites Families (21)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP3908077B2 (ja) * 2002-04-16 2007-04-25 株式会社日立製作所 直流バックアップ電源装置とその診断方法
JP5404984B2 (ja) * 2003-04-24 2014-02-05 東京エレクトロン株式会社 プラズマモニタリング方法、プラズマモニタリング装置及びプラズマ処理装置
CN100501436C (zh) * 2004-08-24 2009-06-17 鸿富锦精密工业（深圳）有限公司 电阻负载***
FR2881835B1 (fr) * 2005-02-04 2007-07-27 Beamind Soc Par Actions Simpli Procede et systeme de test ou de mesure d'elements electriques
JP2006329719A (ja) * 2005-05-24 2006-12-07 Ricoh Co Ltd 直流電源装置評価システム
CN101101324A (zh) * 2006-07-04 2008-01-09 上海创想电源设备有限公司 含编码负载的电源设备试验装置
CN101556298B (zh) * 2008-04-10 2011-04-13 中茂电子(深圳)有限公司 整流性被动式负载仿真装置及方法
JP4801180B2 (ja) * 2009-03-06 2011-10-26 株式会社日立製作所 多チャンネルアナログ入出力回路の故障診断装置及び故障診断方法
JP2010252456A (ja) * 2009-04-13 2010-11-04 Tokyo Electric Power Co Inc:The 充電器故障検出装置
US8362790B2 (en) * 2009-06-19 2013-01-29 Samsung Electro-Mechanics Co., Ltd. AC detection circuit for power supply
WO2012050163A1 (ja) * 2010-10-15 2012-04-19 三洋電機株式会社 蓄電システム用の自己診断装置
US9502216B2 (en) * 2013-01-31 2016-11-22 Lam Research Corporation Using modeling to determine wafer bias associated with a plasma system
US9620337B2 (en) * 2013-01-31 2017-04-11 Lam Research Corporation Determining a malfunctioning device in a plasma system
CN104765005B (zh) * 2015-03-10 2019-01-04 国核自仪***工程有限公司 自我诊断电源的电路
CN104820200B (zh) * 2015-05-14 2018-07-06 哈尔滨冠拓电源设备有限公司 具有自检功能的电池管理***功能检验平台及自检方法和检验方法
CN105044622B (zh) * 2015-07-30 2018-10-09 中国电子科技集团公司第四十一研究所 一种测试仪器的供电电源功率自检测装置及其自检测方法
KR20170036368A (ko) * 2015-09-24 2017-04-03 주식회사 이티에스티 파워 서플라이 보드 테스트 장치
US9824941B2 (en) * 2015-11-17 2017-11-21 Lam Research Corporation Systems and methods for detection of plasma instability by electrical measurement
CN106908742A (zh) * 2015-12-18 2017-06-30 技嘉科技股份有限公司 电源测试装置及方法
CN106291321B (zh) * 2016-08-04 2020-07-28 上海交通大学 基于LabWindows/CVI的等离子电源电路自动测试平台及方法
CN106862737B (zh) * 2017-03-20 2018-11-30 华中科技大学 一种等离子切割电源的输出过流保护控制电路及方法

Patent Citations (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US6211681B1 (en) 1999-05-24 2001-04-03 Toyota Jidosha Kabushiki Kaisha Apparatus for diagnosing electric power source while power is supplied to load device from the power source
KR101796395B1 (ko) * 2016-10-31 2017-11-10 엘에스오토모티브 주식회사 컨버터의 고장 검출 장치 및 방법

Cited By (5)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
WO2021020601A1 (ko) * 2019-07-29 2021-02-04 엘지전자 주식회사 자가진단기능을 구비한 전자기기
KR102170403B1 (ko) * 2019-09-16 2020-10-27 (주)화백엔지니어링 플라즈마 공정 모니터링 장치 및 방법
WO2021081387A1 (en) * 2019-10-25 2021-04-29 Applied Materials, Inc. Rf power source operation in plasma enhanced processes
US11631583B2 (en) 2019-10-25 2023-04-18 Applied Materials, Inc. RF power source operation in plasma enhanced processes
KR102165546B1 (ko) 2019-12-20 2020-10-14 주식회사 제이에스티 Dc 플라즈마 전원 공급장치의 자가 진단/교정 모듈 및 자가 진단/교정 방법

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