TWI654482B - Relief mask support frame - Google Patents

Abstract

本發明提供一種不需要按壓其他構件於保護膜上就能夠將保護膜與框體黏合的光罩護膜用的支持框。光罩護膜用的支持框1A，包括：鋁合金製的框體10，其中框體10的表面10a黏合保護膜，框體10的背面黏合玻璃基板。框體10的表面10a形成有延伸於框體10的周方向的表面側的凹溝31~33，也形成有表面側的吸引孔50，從該框體10的外周面10c到達該表面側的凹溝31~33的內面

Description

光罩護膜用支持框

本發明係有關於光罩護膜用支持框。

積體電路的製程中，包含微影蝕刻製程，其將描繪在被稱為光罩的玻璃基板上的電路圖樣轉印於塗布在晶圓片上的光阻。

上述的微影蝕刻製成中，當塵埃等異物附著於玻璃基板時，轉印於光阻的電路圖樣會變得不清楚，因此玻璃基板會蓋上被稱為光罩護膜的防塵蓋。(例如，專利文獻1)

光罩護膜包括包圍描繪於玻璃基板的全體電路圖樣的支持框、被覆蓋於此支持框的表面的保護膜。而支持框的背面會與玻璃基板黏合。

先行技術文獻

專利文獻1：日本專利第4777381號公報

要將保護膜黏合前述的支持框時，會在塗布黏合劑於支持框的表面後，將保護膜重疊於支持框的表面。然後再將保護膜壓向支持框來進行黏合。這個方法會隨著保護膜變薄而提高損傷保護膜的可能性。

本發明的目的是解決上述問題，而提出一種不需要將其他構件按壓到保護膜上也能夠使保護膜與框體黏合的 光罩護膜用的支持框。

為了解決前述問題，本發明提出一種光罩護膜用的支持框，包括：鋁合金製的框體，其中該框體的表面黏合保護膜，該框體的背面黏合玻璃基板。該框體的表面形成有延伸於該框體的周方向的表面側的凹溝，也形成有表面側的吸引孔，該表面側的吸引孔從該框體的外周面到達該表面側的凹溝的內面。

本發明的支持框中，塗布黏合劑於框體的表面後，將保護膜重疊於框體的表面，形成保護膜塞住凹溝的狀態。在這個狀態下，通過吸引孔吸引凹溝內的空氣的話，凹溝內會減壓，使得保護膜按壓於框體的表面。這樣一來，根據本發明的支持框的話，將保護膜黏合於框體時，就不需要將其他的構件按壓於保護膜上，因而能夠防止保護膜損傷。如此一來，即使保護膜很薄，也能夠將保護膜黏合於框體。

在前述的光罩護膜用的支持框中，將複數的該表面側的凹溝排列設置於該框體的周方向，使該表面側的吸引孔連通該各表面側的凹溝的情況下，從凹溝的端部到吸引孔的距離縮短。藉此，吸引凹溝內的空氣時，能夠減小凹溝內產生的壓力損失，有效率地對凹溝內減壓。

在前述的光罩護膜用的支持框中，可將延伸於該框體的周方向的背面側的凹溝形成於該框體的背面，並且形成背面側的吸引孔，從該框體的外周面到達該背面側的凹溝的內面。

在此構造中，通過背面側的吸引孔吸引凹溝內的 空氣的話，背面側的凹溝內會減壓，使得玻璃基板按壓於框體的背面。藉此，將玻璃基板黏合於框體時，就不需要將其他的構件按壓於玻璃基板上，因而能夠防止玻璃基板損傷。

在前述的光罩護膜用的支持框中，將複數的該背 面側的凹溝排列設置於該框體的周方向，使該背面側的吸引孔連通該各背面側的凹溝的情況下，從背面側的凹溝的端部到背面側的吸引孔的距離縮短。藉此，吸引背面側的凹溝內的空氣時，能夠減小背面側的凹溝內產生的壓力損失，有效率地對背面側的凹溝內減壓。

在前述的光罩護膜用的支持框中，可將延伸於該 框體的周方向的複數的背面側的凹溝排列設置於該框體的周方向，並且形成背面側的吸引孔，從該框體的外周面到達該各個背面側的凹溝的內面。在這個情況下，該表面側的吸引孔形成於相鄰的該背面側的凹溝之間，該背面側的吸引孔形成於相鄰的該表面側的凹溝之間為佳。

在此構造下，因為吸引孔與凹溝在表背方向不重 疊，因此能夠充分地確保框體的強度。

在前述的光罩護膜用的支持框中，該凹溝的底面 形成有底的凹孔，該吸引孔開口於該凹孔的內周面的情況下，能夠將吸引孔的徑長形成比凹溝的深度大，因此能夠提高吸引效率。

在前述的光罩護膜用的支持框中，該凹孔開口於 該框體的表面側及背面側中的一者，該凹孔的底面形成於比該 吸引孔更靠該框體的比面側及背面側中的另一者為佳。在此構造下，凹孔的底面配置於比吸引孔更深的位置，因此能夠確實將吸引孔的軸剖面全體開口於凹孔的內周面。

在前述的光罩護膜用的支持框中，該吸引孔形成 於該框體的高度方向的中央的情況下，能夠確保吸引孔的內周面到框體的表面的厚度與吸引孔的內周面到框體的背面的厚度均等，因此能夠平衡地提高對支持框的表面側及背面側的彎曲強度。

在前述的光罩護膜用的支持框中，可在該凹溝的 延長方向的中間部連通該吸引孔。

在此構造下，比起使吸引孔連通凹溝的一側的端 部的情況，縮短了從凹溝的兩端部到吸引孔的距離。藉此，吸引凹溝內的空氣時，能夠減小凹溝內產生的壓力損失，有效率地對凹溝內減壓。

在前述的光罩護膜用的支持框中，形成貫通孔， 從該框體的外周面到達內周面的情況下，將該貫通孔形成於在該框體的周方向上相鄰的該凹溝之間為佳。

如前述，形成貫通孔於框體的情況下，將保護膜 及玻璃基板黏合支持框後，能夠防止支持框的內部空間與外部空間之間產生壓力差。在這個構造下，因為貫通孔與凹溝不會在表背方向重疊，所以能夠充分確保框體的強度。

在前述的光罩護膜用的支持框中，該框體的各邊 形成有複數的該表面側的吸引孔的情況下，因為吸引力平衡地作用於框體的表面全體，所以能夠平衡地將保護膜按壓於框體 的表面全體。

在前述的光罩護膜用的支持框中，該框體具備前 後一對的橫框部、左右一對的縱框部，且該框體的外周面形成有複數的治具孔的情況下，該治具孔形成於該兩橫框部的兩端部為佳。本發明的前後左右是為了使支持框的構造容易瞭解而設定，並不是用來限定支持框的構造及使用狀態。

在此構造下，將治具的插銷***各治具孔，以治 具保持支持框時，能夠抑制來自治具的按壓力造成橫框部的彎曲。特別是，框體的左右的側緣部到治具孔的中心位置的距離設定在框體的左右方向的長度的15%以內的情況下，能夠有效地抑制橫框部的彎曲。

在前述的光罩護膜用的支持框中，該框體的外周 面形成有複數的治具孔，該治具孔是延伸於該框體的周方向的長圓形的長孔為佳。從玻璃基板剝離該支持框時，將治具的插銷***支持框的治具孔，用治具將支持框從玻璃基板拉開。前述的支持框的治具孔是延伸於框體的周方向的長圓形的長孔，因此若將治具的插銷的軸剖面形成沿著框體的周方向延伸的長圓形的話，就可以使治具孔的內周面與插銷的外周面形成面接觸。藉此，將支持框從玻璃基板剝離時，治具孔與插銷之間的應力不會集中於一點，因而能抑制支持框的變形。

在前述的光罩護膜用的支持框中，該框體具備前 後一對的橫框部、左右一對的縱框部，且該框體的外周面形成有複數的治具孔的情況下，該治具孔形成於該兩橫框部，且形成於該框體的四個角部中的至少一者為佳。本發明的前後左右 是為了使支持框的構造容易瞭解而設定，並不是用來限定支持框的構造及使用狀態。

從玻璃基板玻璃上述的支持框時，首先將形成於 該支持框的角部的治具孔往上拉。之後，依序從最靠近首先往上拉的治具孔的治具孔開始往上拉，藉此能夠一邊抑制支持框的變形一邊將支持框從玻璃基板剝離。

使用本發明的光罩護膜用的支持框的話，即使保 護膜薄的情況下，也能夠防止將保護膜與框體黏合時造成保護膜損傷。

1A、1B、1C‧‧‧支持框

2‧‧‧保護膜

3‧‧‧補強框

4、5‧‧‧黏合層

6‧‧‧吸引管

10‧‧‧框體

10a‧‧‧表面

10b‧‧‧背面

10c‧‧‧外周面

10d‧‧‧內周面

11‧‧‧橫框部

12‧‧‧縱框部

20‧‧‧貫通孔

31‧‧‧表面側的第一凹溝

32‧‧‧表面側的第二凹溝

33‧‧‧表面側的第三凹溝

34‧‧‧表面側的凹溝

35‧‧‧表面側的凹孔

41‧‧‧背面側的第一凹溝

42‧‧‧背面側的第二凹溝

43‧‧‧背面側的第三凹溝

44‧‧‧背面側的凹溝

45‧‧‧背面側的凹孔

50、60‧‧‧吸引孔

70、70A、71~77‧‧‧治具孔

80‧‧‧治具

M‧‧‧玻璃基板

Ma‧‧‧表面

P‧‧‧光罩護膜

第1圖係有關於本實施形態的光罩護膜及玻璃基板的立體圖。

第2圖係有關於本實施形態的光罩護膜及玻璃基板的側剖面圖。

第3圖係顯示本實施形態的支持框的概要平面圖。

第4圖係顯示本實施形態的支持框的概要底面圖。

第5(a)圖係顯示本實施形態的支持框的概要側面圖；第5(b)圖係A-A剖面圖；第5(c)圖係B-B剖面圖；第5(d)圖係C-C剖面圖；第5(e)圖係D-D剖面圖。

第6圖係顯示其他實施形態的支持框的概要，框體的一面形成8個凹溝的構造的平面圖。

第7圖係顯示其他實施形態的支持框的概要，框體的一面形成4個凹溝的構造的平面圖。

第8圖係顯示其他實施形態的支持框的概要，第8(a)圖是將吸引孔配置於框體的高度方向的中央部的構造的側視圖；第8(b)圖示E-E剖面圖；第8(c)圖是F-F剖面圖。

第9圖係顯示其他實施形態的支持框的概要，第9(a)圖是形成長孔的治具孔的構造的側視圖；第9(b)圖是治具的插銷***治具孔的狀態的放大側視圖。

第10圖係顯示其他實施形態的支持框的概要，橫框部、縱框部及角部形成治具孔的構造的平面圖。

本發明的實施形態將參照圖式詳細的說明。本實 施形態的各圖式中，為了使支持框的構造容易瞭解，會概要地顯示出合適的支持框的各部位。以下的說明中，前後左右及正反是為了使支持框容易瞭解而設定的，並非限定支持框的構造。

本實施形態的支持框1A如第1圖所示，用於光罩 護膜P。光罩護膜P是為了防止玻璃基板M(光罩)的表面Ma附著塵埃等的防塵蓋。本實施形態的玻璃基板M是使用透明的基板，但並不限定於此。光罩護膜P具備圍繞住描繪於玻璃基板M的全體電路圖樣(未圖示)的支持框1A、以及覆蓋於支持框1A的表面的保護膜2。

支持框1A從平面看具有長方形的框體10。框體 10是加工鋁合金製的押出材料而得。框體10由前後一對的橫框部11、11、以及左右一對的縱框部12、12所構成。橫框部11及縱框部12的軸剖面形成長方形。兩橫框部11、11是框體 10的長邊的部分，兩縱框部12、12是框體10的短邊的部分。

保護膜2是具有透光性的矽製薄膜。保護膜2從 平面看形成長方形，與支持框1A的外型形狀相同。保護膜2的背面的外周緣部設置有保護膜2製造時所形成的矽製的補強框3。補強框3如第2圖所示，是透過黏合層4與框體10黏合的部位。框體10的橫框部11以及縱框部12形成相同的寬度。 將保護膜2重疊到框體10的表面10a時，藉由補強框3使框體10的全體的表面10a被覆蓋。

如第3圖所示，框體10形成有複數的貫通孔20、複數的表面側的凹溝31~33、複數的背面側的凹溝41~43。框體10更形成有與各表面側的凹溝31~33連通的複數的表面側的吸引孔50、與各背面側的凹溝41~43連通的複數的背面側的吸引孔60、複數的治具孔70。一個表面側的凹溝31~33會與一個表面側的吸引孔50連通，一個背面側的凹溝41~44會與一個背面側的吸引孔60連通。

貫通孔20從框體10的外周面10c貫通到內周面10d(參照第5(d)圖)。貫通孔20的中心軸如第5(a)圖所示，配置於框體10的高度方向的中央。貫通孔20如第3圖所示，形成於前後的橫框部11、11的左右方向的中央，以及形成於左右的縱框部12、12的前後方向的中央。也就是說，框體10形成前後左右4個貫通孔20。

框體10的表面10a有十個表面側的凹溝31~33排列於框體10的周方向上。各凹溝31~33的軸剖面是長方形的溝(參照第5(c)圖)。

前側的橫框部11的表面10a形成有左右兩個第一 凹溝31、31。第一凹溝31沿著左右方向直線狀地延伸。又，第一凹溝31在橫框部11的表面10a形成於前後方向的中央。

左右的第一凹溝31、31挾著橫框部11的左右方 向的中央配置。投影貫通孔20於框體10的表面10a時，相鄰的第一凹溝31、31之間配置貫通孔20。

前側的橫框部11中，左側的第一凹溝31的右端 部形成有凹孔35，右側的第一凹溝31的中間部形成有凹孔35。凹孔35是有底的孔，其內徑形成比第一凹溝31的溝寬要大。凹孔35的底面如第5(e)圖所示，形成比第一凹溝31的底面更深(往背面側)。凹孔35的底面配置在框體10的高度方向的中央。

後側的橫框部11的表面10a如第3圖所示，形成 左右兩個第一凹溝31、31。後側的橫框部11的兩第一凹溝31、31以框體10的中央為對稱點，與前側的橫框部11的兩第一凹溝31、31成點對稱的關係。

左側的縱框部12的表面10a形成第二凹溝32。第 二凹溝32沿著前後方向直線狀地延伸。又，第二凹溝32在縱框部12的表面10a形成於左右方向的中央。

左側的縱框部12的第二凹溝32配置在比縱框部 12的前後方向的中央更靠前側。投影貫通孔20於框體10的表面10a時，第二凹溝32的後側配置貫通孔20。又，左側的第二凹溝32的後端部形成有凹孔35。第二凹溝32的凹孔35與第一凹溝31的凹孔35的形狀相同。

右側的縱框部12的表面10a形成第二凹溝32。右 側的縱框部12的第2凹溝32以框體10的中央為對稱點，與左側的縱框部12的第二凹溝32成點對稱的關係。

框體10的前後左右的角部的表面10a分別形成第 三凹溝33。第三凹溝33沿著框體10的角部彎曲成直角。又，第三凹溝33形成於框體10的表面10a的內外方向的中央。

左前的第三凹溝33沿著左側的縱框部12、框體 10的左前的角部及前側的橫框部11形成。左前的第三凹溝33中形成於前側的橫框部11的部位比起形成於左側的縱框部12的部位大。左側的縱框部12中，第二凹溝32與左前的第三凹溝33在前後方向上間隔配置。

左前的第三凹溝33的延長方向的中間部(橫框部 11的部位)形成有凹孔35。左前的第三凹溝33的凹孔35與第一凹溝31個凹孔35的形狀相同。

左後的第三凹溝33沿著左側的縱框部12、框體 10的左後的角部及後側的橫框部11形成。左後的第三凹溝33中形成於後側的橫框部11的部位比起形成於左側的縱框部12的部位小。左側的縱框部12中，第二凹溝32與左後的第三凹溝33挾著縱框部12的前後方向的中央配置。投影貫通孔20於縱框部12的表面10a時，前後相鄰的第二凹溝32與左後的第三凹溝之間配置有貫通孔20。

左後的第三凹溝33的延長方向的中間部(縱框部 12的部位)形成有凹孔35。左後的第三凹溝33的凹孔35與第一凹溝31個凹孔35的形狀相同。

右前的第三凹溝33沿著右側的縱框部12、框體 10的右前的角部及前側的橫框部11形成。右後的第三凹溝33沿著右側的縱框部12、框體10的右後的角部及後側的橫框部11形成。右側的前後的第三凹溝33、33以框體10的中央為對稱點，與左側的前後第三凹溝33、33形成點對稱。

表面側的吸引孔50從框體10的外周面10c貫通 到表面側的各凹孔35的內周面。表面側的吸引孔50通過凹孔35連通到表面側的凹溝31~33。

框體10有十個表面側的吸引孔50排列於框體10 的周方向上。各吸引孔50大略等間隔地配置，框體10的各邊至少配置一個吸引孔50。各吸引孔50分別連通各凹溝31~33的各凹孔35。這樣一來，一個表面側的凹溝31~33會有一個表面側的吸引孔50連通。

表面側的吸引孔50如第5(a)圖所示，配置於比 框體10的高度方向的中央更靠表面側。表面側的吸引孔50的下部配置在貫通孔20的左右方向側。又，如第5(e)圖所示，從框體10的表面10a到表面側的吸引孔50之間的厚度會比表面側的凹溝31的深度更大。

框體10的背面10b如第4圖所示，有十個背面側 的凹溝41~43排列於框體10的周方向。各背面側的凹溝41~43是形成於框體10的表面10a的各表面側的凹溝31~33(參照第3圖)全體翻轉過來的形狀。

前後的橫框部11、11的背面10b形成有左右兩個 第一凹溝41、41。左右的橫框部12、12的背面10b形成有第 二凹溝42。框體10的前後左右的角部的背面10b分別形成有第三凹溝43。

與表面側的吸引孔50相同地，框體10有十個背 面側的吸引孔60排列於框體10的周方向。各吸引孔60大概等間隔配置，框體10的各邊至少配置一個吸引孔60。背面側的吸引孔60從框體10的外周面10c貫通到背面側的凹溝41~43的凹孔45的內周面。背面側的吸引孔60通過凹孔45與背面側的凹溝41~43連通。

背面側的吸引孔60如第5(a)圖所示，配置在比 框體10的高度方向中央更靠背面側。背面側的吸引孔60的上部配置在貫通孔20的左右方向側。又，如第5(b)圖所示，從框體10的背面10b到背面側的吸引孔60之間的厚度會比背面側的凹溝41的深度更大。

框體10如第3圖所示，投影於框體10的表面10a 的背面側的吸引孔60、背面側的凹孔45及貫通孔20配置於相鄰的表面側的凹溝31~33之間。

橫框部11中，表面側的第一凹溝31、31之間配 置了貫通孔20。又，橫框部11中，其中一個表面側的第一凹溝31與貫通孔20之間配置有背面側的吸引孔60及凹孔45(參照第5(a)圖)。又，橫框部11中，表面側的第一凹溝31與表面側的第三凹溝33之間配置有背面側的吸引孔60及凹孔45(參照第5(a)圖)。

縱框部12中，表面側的第二凹溝32與表面側的 第三凹溝33之間配置了貫通孔20。又，縱框部12中，表面側的第三凹溝33與貫通孔20之間配置有背面側的吸引孔60及凹孔45。又，縱框部12中，表面側的第二凹溝32與表面側的第三凹溝33之間配置有背面側的吸引孔60及凹孔45。

框體10中，如第4圖所示，投影於框體10的背面10b的表面側的吸引孔50、表面側的凹孔35及貫通孔20配置於相鄰的背面側的凹溝41~43之間。

橫框部11中，背面側的第一凹溝41、41之間配置了貫通孔20。又，橫框部11中，其中一個背面側的第一凹溝41與貫通孔20之間配置有表面側的吸引孔50及凹孔35(參照第5(a)圖)。又，橫框部11中，背面側的第一凹溝41與背面側的第三凹溝43之間配置有表面側的吸引孔50及凹孔35(參照第5(a)圖)。

縱框部12中，背面側的第二凹溝42與背面側的第三凹溝43之間配置了貫通孔20。又，縱框部12中，背面側的第三凹溝43與貫通孔20之間配置有表面側的吸引孔50及凹孔35。又，縱框部12中，背面側的第二凹溝42與背面側的第三凹溝43之間配置有表面側的吸引孔50及凹孔35。

治具孔70是形成於框體10的外周面10c的有底的圓形孔。治具孔70在支持框1A製造時或光罩護膜P(參照第1圖)使用時，保持支持框1A用的把持裝置的治具(插銷)會***。本實施形態中，如第5(a)圖所示，治具孔70配置在框體10的高度方向的中央，但治具孔70的高度並非限定，可因應使用的治具來設定治具孔70的高度與形狀。如第3圖所示，本實施形態中，前厚的橫框部11、11的左右兩端部形 成有治具孔70。也就是說，支持框1A的前後左右形成有四個治具孔70。

以把持裝置保持支持框1A時，治具(插銷)會***各治具孔70。此時，橫框部11會被治具往框體10的內側壓，橫框部11產生朝向框體10的內側的彎曲。本實施形態中，因為治具孔70形成於橫框部11的左右兩端部，所以左右的治具孔70、70的間隔變大。如此一來，用治具保持支持框1A時，能夠抑制橫框部11的彎曲。而框體10的左右的側緣部到治具孔70的中心位置為止的距離設定為框體10的左右方向的長度的15%以內的情況下，能夠有效地抑制橫框部11的彎曲。

接著，如第2圖所示，說明將保護膜2及玻璃基板M黏合於支持框1A的步驟。首先，塗布黏合劑於框體10的表面10a，形成黏合層4於框體10的表面10a上。此時，不要使黏合層4進到各表面側的凹溝31~33(參照第3圖)及各凹孔35內。黏合，將保護膜2的補強框3重疊到黏合層4上。藉此。各表面側的凹溝31~33(參照第3圖)會被保護膜2蓋住。

又，塗布黏合劑於框體10的背面10b，形成黏合層5於框體10的背面10b上。此時，不要使黏合層5進到各背面側的凹溝41~43(參照第4圖)及各凹孔45內。接著，將玻璃基板M的表面Ma重疊到黏合層5上。藉此。各背面側的凹溝41~43(參照第4圖)會被玻璃基板M蓋住。

各吸引孔50、60的外周面10c側的開口部分別連接吸引管6的前端部。各吸引管6連結到未圖示的吸氣裝置。

藉由吸氣裝置從吸引孔50吸引各表面側的凹溝31 ~33(參照第3圖)內的空氣，使各表面側的凹溝31~33內減壓，保護膜2被按壓於框體10的表面10a。藉此，保護膜2透過黏合層4與框體10的表面10a黏合，形成光罩護膜P。

又，藉由吸氣裝置從吸引孔60吸引各背面側的凹 溝41~43(參照第4圖)內的空氣，使各背面側的凹溝41~43內減壓，玻璃基板M被按壓於框體10的背面10b。藉此，玻璃基板M透過黏合層5與框體10的背面10a黏合，光罩護膜P與玻璃基板M黏合。

這樣一來，將光罩護膜與玻璃基板M黏合，保護 膜2與玻璃基板M之間有支持框1A存在，保護膜2配置在離開玻璃基板M的表面Ma的位置。

光罩護膜P如第3圖所示，形成貫通孔20於支持 框1A的框體10。因此，即使框體10的正反面以保護膜2以及玻璃基板M塞住的狀態下，框體10的內部空間也能透過貫通孔20與外部空間連通，因而能夠防止框體10的內部空間與外部空間之間產生壓力差。如此一來，本實施形態的光罩護膜P適合在真空狀態下使用。

如上述的支持框1A中，如第2圖所示，對各表面 側的凹溝31~33(參照第3圖)內減壓，能夠將保護膜2按壓到框體10的表面10a。藉此，將保護膜2黏合到框體10時，就不需要在保護膜2上按壓其他構件，而能夠防止保護膜2損傷。如此一來，即使保護膜2很薄，也能夠將保護膜2黏合到框體10上。

又，本實施形態的支持框1A中，對各背面側的凹 溝41~43內減壓，能夠將玻璃基板M按壓到框體10的背面10b。藉此，將玻璃基板M黏合到框體10時，就不需要在玻璃基板M上按壓其他構件，而能夠防止玻璃基板M損傷。

本實施形態的支持框1A中，如第3圖及第4圖所 示，複數的表面側的凹溝31~33及背面側的凹溝41~44排列於框體10的周方向。在這種構造下，能夠縮短凹溝31~33、41~43的端部至吸引孔50、60的距離。又，凹溝31~33、41~43的嚴長方像的中間部連通有吸引孔50、60的情況下，能夠縮短凹溝31~33、41~43的兩端部至吸引孔50、60的距離。 藉此，通過吸引孔50、60吸引凹溝31~33、41~44內的空氣時，凹溝31~33、41~43內產生的壓力損失減小，因此能夠有效率地減壓凹溝31~33、41~43。

本實施形態的支持框1A中，凹溝31~33、41~ 43的底面形成有底的凹孔35、45，此凹孔35、45的內周面有吸引孔50、60開口(參照第5(b)圖及第5(e)圖)。在這個構造下，能夠將吸引孔50、60的徑形成比凹溝31~33、41~43的深度大，因而能夠提高吸引效率。

本實施形態的支持框1A中，框體10的各邊形成 有複數的吸引孔50、60，因此能夠平衡良好地使吸引力作用於框體10的表面10a全體及背面10b全體。因此，能夠將保護膜2均一地按壓於框體10的表面10a的全體，同時將玻璃基板M平衡良好地對框體10的背面10b的全體按壓。

本實施形態的支持框1A中，表面側的吸引孔50形成於相鄰的背面側的凹溝41~43之間，背面側的吸引孔60形成於相鄰的表面側的凹溝31~33之間。這樣一來，吸引孔50、60與凹溝31~33、41~43形成表背方向上不重疊的構造。又，本實施形態的支持框1A中，框體10的周方向上相鄰的凹溝31~33、41~43之間形成有貫通孔20，貫通孔20與凹溝31~33、41~43形成表背方向上不重疊的構造。如此一來，支持框1A中，即使是形成有貫通孔20或吸引孔50、60的部位，因為框體10的厚度增大，所以能夠充分地確保框體10的強度。

以上說明了本發明的實施形態，但本發明並不限定於上述的實施形態，在不脫離本發明旨趣的範圍內可做適當變更。本實施形態中，如第3圖及第4圖所示，框體10的表面10a形成有十個凹溝31~33，框體10的背面10b形成有十個凹溝41~43，但凹溝31~33、41~43的數量並沒有限定。

例如，可以如第6圖所示的支持框1B所示，框體10的表面10a形成有8個凹溝31、33，框體10的背面形成有8個凹溝41、43。即使在這種構造中，也配置表面側的吸引孔50於相鄰的背面側的凹溝41、43之間，配置背面側的吸引孔60於相鄰的表面側的凹溝31、33之間。又，在框體10的周方向上，相鄰的凹溝31、33、41、43之間形成貫通孔20。

又，可以如第7圖所示的支持框1C所示，框體10的表面10a形成有4個凹溝34，框體10的背面形成有4個凹溝44。即使在這種構造中，也配置表面側的吸引孔50於相鄰的背面側的凹溝44、44之間，配置背面側的吸引孔60於相鄰的表面側的凹溝34、34之間。又，在框體10的周方向上，相 鄰的凹溝34、44之間形成貫通孔20。

又本實施型中，如第3圖及第4圖所示，表面側的凹溝31~33與背面側的凹溝41~43的數目相同，但表面側的凹溝31~33與背面側的凹溝41~43也可以數目不同。另外，框體10的表面10a及背面10b也可以只形成1個凹溝。

又，凹溝的配置並不限定於此，如本實施形態，框體10的角部形成第三凹溝33、43的情況下，能夠使保護膜2(參照第1圖)的角部以及玻璃基板M(參照第1圖)的角部確實地黏合框體10。

又，本實施形態中，如第3圖及第4圖所示，一個凹溝31~33、41~44連通有一個吸引孔50、60，但一個凹溝31~33、41~44也可連通有複數的吸引孔50、60。

又，如第8(a)圖所示，可將吸引孔50、60形成於框體10的高度方向的中央。在這個構造下，能夠確保吸引孔50、60的內周面(孔壁面)至框體10的表面10a的厚度與吸引孔50、60的內周面(孔壁面)至框體10的背面10b的厚度均等，因此能夠平衡地提高支持框1A的朝向表面側以及背面側的彎曲強度。

又，如第8(b)圖所示，可將表面側的凹孔35的底面35a形成比吸引孔50更靠框體10的背面10b側，如第8(c)圖所示，可將背面側的凹孔45的底面45a形成比吸引孔60更靠框體10的表面10a側。這樣一來，藉由將凹孔35、45的底面35a、45a配置於比吸引孔50、60深的位置，能夠確實地使吸引孔50、60的軸剖面全體開口於凹孔35、45的內周面。

又，本實施形態中，如第5(a)圖所示，雖形成圓形的治具孔70，但如第9(a)突的治具孔70A所示，也可以是延伸於框體10的周方向(左右方向)的長圓形的長孔。在這個構造下，如第9(b)圖所示，治具(插銷)80也形成長圓形的剖面形狀。另外，將支持框1A從玻璃基板M(參照第1圖)剝下時，支持框1A的治具孔70A***治具80，透過治具80將支持框1A從玻璃基板M拉開的力量施加到支持框1A上。此時，治具孔70A的內周面的平面與治具80的外周面的平面彼此面接觸，治具80施加的力不會集中於一點，因此能夠抑制支持框1A的變形。

又，如第10圖所示，框體10的外周面10c也可形成7個治具孔71~77。其中如第10圖所示的各個治具孔71~77雖形成長圓形的長孔，但也可以是圓形的治具孔。在這個構造下，框體10的四個角部中的一個(左前的角部)形成有第一治具孔71。又，前側的橫框部11的左端部會形成第二治具孔72，前側的橫框部11的右端部會形成第四治具孔74。又，後側的橫框部11的左端部會形成第五治具孔75，後側的橫框部11的右端部會形成第七治具孔77。又，左側的縱框部12的前後方向的中央會形成第三治具孔73，右側的縱框部12的前後方向的中央會形成第六治具孔76。

如前述，將具有七個治具孔71~77的支持框1A從玻璃基板M(參照第1圖)剝下時，將治具***各個治具孔71~77，一開始將角部的第一治具孔71往上拉。接著，***治具到距離第一治具孔71最近的第二治具孔72並往上拉。之 後按照接近第二治具孔72的順序依序將第三治具孔73、第四治具孔74、第五治具孔75、第六治具孔76、第七治具孔77往上拉，能夠一邊抑制支持框1A的變形一邊將支持框1A從玻璃基板M(參照第1圖)剝離。

Claims (15)

1. 一種光罩護膜用支持框，包括：鋁合金製的框體，其中該框體的表面黏合保護膜，該框體的背面黏合玻璃基板，該框體的表面形成有延伸於該框體的周方向的表面側的凹溝，也形成有表面側的吸引孔，該表面側的吸引孔從該框體的外周面到達該表面側的凹溝的內面，其中複數的該表面側的凹溝排列設置於該框體的周方向，該表面側的吸引孔連通該各表面側的凹溝。
2. 如申請專利範圍第1項所述之光罩護膜用支持框，其中該框體的背面形成有延伸於該框體的周方向的背面側的凹溝，也形成有背面側的吸引孔，該背面側的吸引孔從該框體的外周面到達該背面側的凹溝的內面。
3. 如申請專利範圍第2項所述之光罩護膜用支持框，其中複數的該背面側的凹溝排列設置於該框體的周方向，該背面側的吸引孔連通該各背面側的凹溝。
4. 如申請專利範圍第1項所述之光罩護膜用支持框，其中在該框體的背面，延伸於該框體的周方向的複數的背面側的凹溝排列設置於該框體的周方向，也形成有背面側的吸引孔，該背面側的吸引孔從該框體的外周面到達該各個背面側的凹溝的內面，該表面側的吸引孔形成於相鄰的該背面側的凹溝之間，該背面側的吸引孔形成於相鄰的該表面側的凹溝之間。
5. 如申請專利範圍第4項所述之光罩護膜用支持框，其中該凹溝的底面形成有底的凹孔，該吸引孔開口於該凹孔的內周面。
6. 如申請專利範圍第5項所述之光罩護膜用支持框，其中該凹孔開口於該框體的表面側及背面側中的一者，該凹孔的底面形成於比該吸引孔更靠該框體的比表面側及背面側中的另一者。
7. 如申請專利範圍第1項所述之光罩護膜用支持框，其中該吸引孔形成於該框體的高度方向的中央。
8. 如申請專利範圍第1項所述之光罩護膜用支持框，其中至少一個該凹溝在其延長方向的中間部連通該吸引孔。
9. 如申請專利範圍第3項所述之光罩護膜用支持框，其中至少一個該凹溝在其延長方向的中間部連通該吸引孔。
10. 如申請專利範圍第1項所述之光罩護膜用支持框，其中該框體形成有貫通孔，從該框體的外周面到達內周面，該貫通孔形成於在該框體的周方向上相鄰的該凹溝之間。
11. 如申請專利範圍第3項所述之光罩護膜用支持框，其中該框體形成有貫通孔，從該框體的外周面到達內周面，該貫通孔形成於在該框體的周方向上相鄰的該凹溝之間。
12. 如申請專利範圍第1項所述之光罩護膜用支持框，其中該框體的各邊形成有複數的該表面側的吸引孔。
13. 如申請專利範圍第1項所述之光罩護膜用支持框，其中該框體具備前後一對的橫框部、左右一對的縱框部，該框體的外周面形成有複數的治具孔， 該治具孔形成於該兩橫框部的兩端部。
14. 如申請專利範圍第1項所述之光罩護膜用支持框，其中該框體的外周面形成有複數的治具孔，該治具孔是延伸於該框體的周方向的長孔。
15. 如申請專利範圍第1項所述之光罩護膜用支持框，其中該框體具備前後一對的橫框部、左右一對的縱框部，該框體的外周面形成有複數的治具孔，該治具孔形成於該兩橫框部，且形成於該框體的四個角部中的至少一者。