JP6423730B2 - ペリクル用の支持枠 - Google Patents

Description

本発明は、ペリクル用の支持枠に関する。

集積回路の製造工程の中には、フォトマスクやレティクルと呼ばれるガラス基板に描かれた回路パターンを、ウエハ上に塗布したレジストに転写するフォトリソグラフィー工程が含まれている。

前記したフォトリソグラフィー工程において、ガラス基板に埃等の異物が付着していると、レジストに転写される回路パターンが不鮮明になることから、ガラス基板には、ペリクルと呼ばれる防塵カバーが被せられている（例えば、特許文献１）。

ペリクルは、ガラス基板に描かれた回路パターンの全体を囲う支持枠と、この支持枠の表面に覆設された透光性のペリクル膜と、を備えている。そして、支持枠の裏面はガラス基板に接着される。

特許第４７７７３８１号公報

前記した支持枠にペリクル膜を接着するときには、支持枠の表面に接着剤を塗布した後に、支持枠の表面にペリクル膜を重ねている。さらに、ペリクル膜を支持枠に押し付けて接着している。この方法では、ペリクル膜が薄くなるに従って、ペリクル膜が損傷する可能性が高くなる。

本発明は、前記した問題を解決し、ペリクル膜に他の部材を押し付けることなく、ペリクル膜を枠体に接着することができるペリクル用の支持枠を提供することを課題とする。

前記課題を解決するため、本発明は、アルミニウム合金製の枠体を有し、前記枠体の表面にペリクル膜が接着され、前記枠体の裏面にガラス基板が接着されるペリクル用の支持枠である。前記枠体の表面には、前記枠体の周方向に延びる表側の凹溝が形成されるとともに、前記枠体の外周面から前記表側の凹溝の内面に至る表側の吸引孔が形成されている。

本発明の支持枠では、枠体の表面に接着剤を塗布した後に、枠体の表面にペリクル膜を重ねると、ペリクル膜によって凹溝が塞がれた状態となる。この状態で、吸引孔を通じて凹溝内の空気を吸引すると、凹溝内が減圧されることで、ペリクル膜が枠体の表面に押圧される。このように、本発明の支持枠によれば、ペリクル膜を枠体に接着するときに、ペリクル膜に他の部材を押し付ける必要がないため、ペリクル膜が損傷するのを防ぐことができる。したがって、ペリクル膜が薄い場合であっても、ペリクル膜を枠体に接着することができる。

前記したペリクル用の支持枠において、複数の前記表側の凹溝を前記枠体の周方向に並設し、前記各表側の凹溝に前記表側の吸引孔を連通させた場合には、凹溝の端部から吸引孔までの距離が短くなる。これにより、凹溝内の空気を吸引したときに、凹溝内で生じる圧力損失が小さくなり、凹溝内を効率良く減圧することができる。

前記したペリクル用の支持枠において、前記枠体の周方向に延びる裏側の凹溝を、前記枠体の裏面に形成し、前記枠体の外周面から前記裏側の凹溝の内面に至る裏側の吸引孔を形成してもよい。

この構成では、裏側の吸引孔を通じて裏側の凹溝内の空気を吸引すると、裏側の凹溝内が減圧されることで、ガラス基板が枠体の裏面に押圧される。これにより、ガラス基板を枠体に接着するときに、ガラス基板に他の部材を押し付ける必要がないため、ガラス基板が損傷するのを防ぐことができる。

前記したペリクル用の支持枠において、前記枠体の裏面に複数の前記裏側の凹溝を前記枠体の周方向に並設し、前記各裏側の凹溝に前記裏側の吸引孔を連通させた場合には、裏側の凹溝の端部から裏側の吸引孔までの距離が短くなる。これにより、裏側の凹溝内の空気を吸引したときに、裏側の凹溝内で生じる圧力損失が小さくなり、裏側の凹溝内を効率良く減圧することができる。

前記したペリクル用の支持枠において、前記枠体の周方向に延びる複数の裏側の凹溝を前記枠体の周方向に並設し、前記枠体の外周面から前記各裏側の凹溝の内面に至る裏側の吸引孔を形成してもよい。この場合は、前記表側の吸引孔は、隣り合う前記裏側の凹溝同士の間に形成し、前記裏側の吸引孔は、隣り合う前記表側の凹溝同士の間に形成することが望ましい。

この構成では、吸引孔と凹溝とが表裏方向に重ならないため、枠体の強度を十分に確保することができる。

前記したペリクル用の支持枠において、前記凹溝の底面に有底のピット穴を形成し、前記吸引孔を前記ピット穴の内周面に開口させた場合には、吸引孔の径を凹溝の深さよりも大きく形成することができるので、吸引効率を高めることができる。

前記したペリクル用の支持枠において、前記ピット穴を前記枠体の表側および裏側の一方に開口し、前記ピット穴の底面を前記吸引孔よりも前記枠体の表側および裏側の他方に形成することが望ましい。
この構成では、ピット穴の底面が吸引孔よりも深い位置に配置されるため、ピット穴の内周面に吸引孔の軸断面全体を確実に開口させることができる。

前記したペリクル用の支持枠において、前記吸引孔を前記枠体の高さ方向の中央に形成した場合には、吸引孔の内周面から枠体の表面までの肉厚と、吸引孔の内周面から枠体の裏面までの肉厚とを均等に確保することができるため、支持枠の表側および裏側に対する曲げ強度をバランス良く高めることができる。

前記したペリクル用の支持枠においては、前記凹溝の延長方向の中間部に前記吸引孔を連通させてもよい。

この構成では、凹溝の一方の端部に吸引孔を連通させた場合に比べて、凹溝の両端部から吸引孔までの距離が短くなる。これにより、凹溝内の空気を吸引したときに、凹溝内で生じる圧力損失が小さくなり、凹溝内を効率良く減圧することができる。

前記したペリクル用の支持枠において、前記枠体の外周面から内周面に至る貫通孔を形成した場合には、前記枠体の周方向に隣り合う前記凹溝同士の間に前記貫通孔を形成することが望ましい。

前記したように、枠体に貫通孔を形成した場合には、支持枠にペリクル膜およびガラス基板に接着した後に、支持枠の内部空間と外部空間とに圧力差が生じるのを防ぐことができる。そして、前記した構成では、貫通孔と凹溝とが表裏方向に重ならないため、枠体の強度を十分に確保することができる。

前記したペリクル用の支持枠において、前記枠体の各辺に複数の前記表側の吸引孔を形成した場合には、枠体の表面全体にバランス良く吸引力が作用するため、ペリクル膜を枠体の表面全体に対してバランス良く押圧することができる。

前記したペリクル用の支持枠において、前記枠体は、前後一対の横枠部と、左右一対の縦枠部と、を備え、前記枠体の外周面に複数の治具穴を形成する場合には、前記治具穴を前記両横枠部の両端部に形成することが望ましい。
なお、本発明の前後左右とは、支持枠の構成を分かり易くするために設定したものであり、支持枠の構成および使用状態を特定するものではない。

この構成では、各治具穴に治具のピンを挿入し、治具によって支持枠を保持したときに、治具からの押圧力による横枠部のたわみを抑制することができる。
特に、枠体の左右の側縁部から治具穴の中心位置までの距離が、枠体の左右方向の長さの１５％以内に設定されている場合には、横枠部のたわみを効果的に抑制することができる。

前記したペリクル用の支持枠において、前記枠体の外周面に複数の治具穴を形成する場合には、前記治具穴が前記枠体の周方向に延びている長円形の長穴であることが望ましい。
前記した支持枠をガラス基板から剥がすときには、支持枠の治具穴に治具のピンを挿入し、治具によって支持枠をガラス基板に対して引き離すことになる。
前記した支持枠の治具穴は、枠体の周方向に延びている長円形の長穴であるため、治具のピンの軸断面を枠体の周方向に延びている長円形に形成すると、治具穴の内周面とピンの外周面とが面接触する。これにより、支持枠をガラス基板から剥がすときに、治具穴とピンとの間で応力が一点に集中しないため、支持枠の変形を抑制することができる。

前記したペリクル用の支持枠において、前記枠体が前後一対の横枠部と、左右一対の縦枠部とを備え、前記枠体の外周面に複数の治具穴を形成する場合には、前記治具穴を前記両横枠部に形成するとともに、前記枠体の四つの角部の少なくとも一つに形成することが望ましい。
なお、本発明の前後左右とは、支持枠の構成を分かり易くするために設定したものであり、支持枠の構成および使用状態を特定するものではない。

前記した支持枠をガラス基板から剥がすときには、最初に支持枠の角部に形成された治具穴を引き上げる。その後、最初に引き上げた治具穴に近い治具穴から順次に引き上げていくことで、支持枠の変形を抑制しつつ支持枠をガラス基板から剥がすことができる。

本発明のペリクル用の支持枠を使用すれば、ペリクル膜が薄い場合であっても、ペリクル膜を枠体に接着するときに、ペリクル膜が損傷するのを防ぐことができる。

本実施形態のペリクルおよびガラス基板を示した斜視図である。 本実施形態のペリクルおよびガラス基板を示した側断面図である。 本実施形態の支持枠を示した模式的な平面図である。 本実施形態の支持枠を示した模式的な底面図である。 （ａ）は本実施形態の支持枠を示した模式的な側面図、（ｂ）はＡ−Ａ断面図、（ｃ）はＢ−Ｂ断面図、（ｄ）はＣ−Ｃ断面図、（ｅ）はＤ−Ｄ断面図である。 他の実施形態の支持枠を示した模式的な図で、枠体の一面に八つの凹溝を形成して構成の平面図である。 他の実施形態の支持枠を示した模式的な図で、枠体の一面に四つの凹溝を形成して構成の平面図である。 他の実施形態の支持枠を示した模式的な図で、（ａ）は吸引孔を枠体の高さ方向の中央部に配置した構成の側面図、（ｂ）はＥ−Ｅ断面図、（ｃ）はＦ−Ｆ断面図である。 他の実施形態の支持枠を示した模式的な図で、（ａ）は長穴の治具穴を形成した構成の側面図、（ｂ）は治具穴に治具のピンを挿入した状態の拡大側面図である。 他の実施形態の支持枠を示した模式的な図であり、横枠部、縦枠部および角部に治具穴を形成した構成の平面図である。

本発明の実施形態について、適宜図面を参照しながら詳細に説明する。
なお、本実施形態の各図面では、支持枠の構成を分かり易く説明するために、支持枠の各部を適宜に模式的に示している。
以下の説明において、前後左右および表裏とは、支持枠を分かり易く説明するために設定したものであり、支持枠の構成を特定するものではない。

本実施形態の支持枠１Ａは、図１に示すように、ペリクルＰに用いられるものである。ペリクルＰは、ガラス基板Ｍ（フォトマスク）の表面Ｍａに塵等が付着するのを防ぐための防塵カバーである。本実施形態のガラス基板Ｍは透明な基板を用いているが、その構成は限定されるものではない。
ペリクルＰは、ガラス基板Ｍに描かれた回路パターン（図示せず）の全体を囲う支持枠１Ａと、支持枠１Ａの表面に覆設されたペリクル膜２と、を備えている。

支持枠１Ａは、平面視で長方形の枠体１０を有している。枠体１０は、アルミニウム合金製の押出材を加工して得られたものである。
枠体１０は、前後一対の横枠部１１，１１と、左右一対の縦枠部１２，１２と、によって構成されている。横枠部１１および縦枠部１２の軸断面は長方形に形成されている。
両横枠部１１，１１は、枠体１０の長辺となる部分であり、両縦枠部１２，１２は、枠体１０の短辺となる部分である。

ペリクル膜２は、透光性を有するシリコン製の薄い膜である。ペリクル膜２は、平面視で長方形に形成されており、支持枠１Ａの外形と同じ形状となっている。
ペリクル膜２の裏面の外周縁部には、ペリクル膜２の製造時に形成されたシリコン製の補強枠３が設けられている。
補強枠３は、図２に示すように、接着層４を介して枠体１０に接着される部位であり、枠体１０の横枠部１１および縦枠部１２と同じ幅に形成されている。ペリクル膜２を枠体１０の表面１０ａに重ねたときには、補強枠３によって枠体１０の表面１０ａ全体が覆われる。

図３に示すように、枠体１０には、複数の貫通孔２０と、複数の表側の凹溝３１〜３３と、複数の裏側の凹溝４１〜４３と、が形成されている。
さらに、枠体１０には、各表側の凹溝３１〜３３に連通する複数の表側の吸引孔５０と、各裏側の凹溝４１〜４３に連通する複数の裏側の吸引孔６０と、複数の治具穴７０と、が形成されている。なお、一つの表側の凹溝３１〜３３に対して一つの表側の吸引孔５０が連通し、一つの裏側の凹溝４１〜４４に対して一つの裏側の吸引孔６０が連通している。

貫通孔２０は、枠体１０の外周面１０ｃから内周面１０ｄに貫通している（図５（ｄ）参照）。貫通孔２０の中心軸は、図５（ａ）に示すように、枠体１０の高さ方向の中央に配置されている。
貫通孔２０は、図３に示すように、前後の横枠部１１，１１の左右方向の中央に形成されるとともに、左右の縦枠部１２，１２の前後方向の中央に形成されている。すなわち、枠体１０には、前後左右四つの貫通孔２０が形成されている。

枠体１０の表面１０ａには、十個の表側の凹溝３１〜３３が枠体１０の周方向に並設されている。各凹溝３１〜３３は、軸断面が長方形の溝である（図５（ｃ）参照）。

前側の横枠部１１の表面１０ａには、左右二つの第一凹溝３１，３１が形成されている。第一凹溝３１は、左右方向に直線状に延びている。また、第一凹溝３１は、横枠部１１の表面１０ａにおいて前後方向の中央に形成されている。

左右の第一凹溝３１，３１は、横枠部１１の左右方向の中央を挟んで配置されている。枠体１０の表面１０ａに貫通孔２０を投影したときには、隣り合う第一凹溝３１，３１の間に貫通孔２０が配置される。

前側の横枠部１１では、左側の第一凹溝３１の右端部にピット穴３５が形成されるとともに、右側の第一凹溝３１の中間部にピット穴３５が形成されている。
ピット穴３５は、有底の穴であり、その内径は、第一凹溝３１の溝幅よりも大きく形成されている。
ピット穴３５の底面は、図５（ｅ）に示すように、第一凹溝３１の底面よりも深く（裏側に）形成されている。ピット穴３５の底面は、枠体１０の高さ方向の中央に配置されている。

後側の横枠部１１の表面１０ａには、図３に示すように、左右二つの第一凹溝３１，３１が形成されている。後側の横枠部１１の両第一凹溝３１，３１は、枠体１０の中央を対称点として、前側の横枠部１１の両第一凹溝３１，３１と点対称の関係にある。

左側の縦枠部１２の表面１０ａには、第二凹溝３２が形成されている。第二凹溝３２は、前後方向に直線状に延びている。また、第二凹溝３２は、縦枠部１２の表面１０ａにおいて左右方向の中央に形成されている。

左側の縦枠部１２の第二凹溝３２は、縦枠部１２の前後方向の中央よりも前側に配置されている。枠体１０の表面１０ａに貫通孔２０を投影したときには、第二凹溝３２の後側に貫通孔２０が配置される。
また、左側の第二凹溝３２の後端部には、ピット穴３５が形成されている。第二凹溝３２のピット穴３５は、第一凹溝３１のピット穴３５と同じ形状となっている。

右側の縦枠部１２の表面１０ａには、第二凹溝３２が形成されている。右側の縦枠部１２の第二凹溝３２は、枠体１０の中央を対称点として、左側の縦枠部１２の第二凹溝３２と点対称の関係にある。

枠体１０の前後左右の角部の表面１０ａには、第三凹溝３３がそれぞれ形成されている。第三凹溝３３は、枠体１０の角部に沿って直角に屈曲している。また、第三凹溝３３は、枠体１０の表面１０ａの内外方向の中央に形成されている。

左前の第三凹溝３３は、左側の縦枠部１２、枠体１０の左前の角部および前側の横枠部１１に亘って形成されている。
左前の第三凹溝３３は、左側の縦枠部１２に形成された部位よりも、前側の横枠部１１に形成された部位が大きく形成されている。
左側の縦枠部１２では、第二凹溝３２と左前の第三凹溝３３とが前後方向に間隔を空けて配置されている。

左前の第三凹溝３３の延長方向の中間部（横枠部１１の部位）には、ピット穴３５が形成されている。左前の第三凹溝３３のピット穴３５は、第一凹溝３１のピット穴３５と同じ形状となっている。

左後の第三凹溝３３は、左側の縦枠部１２、枠体１０の左後の角部および後側の横枠部１１に亘って形成されている。
左後の第三凹溝３３は、左側の縦枠部１２に形成された部位よりも、後側の横枠部１１に形成された部位が小さく形成されている。
左側の縦枠部１２では、第二凹溝３２と左後の第三凹溝３３とが縦枠部１２の前後方向の中央を挟んで配置されている。
縦枠部１２の表面１０ａに貫通孔２０を投影したときには、前後に隣り合う第二凹溝３２と左後の第三凹溝３３との間に貫通孔２０が配置される。

左後の第三凹溝３３の延長方向の中間部（縦枠部１２の部位）には、ピット穴３５が形成されている。左後の第三凹溝３３のピット穴３５は、第一凹溝３１のピット穴３５と同じ形状となっている。

右前の第三凹溝３３は、右側の縦枠部１２、枠体１０の右前の角部および前側の横枠部１１に亘って形成されている。また、右後の第三凹溝３３は、右側の縦枠部１２、枠体１０の右後の角部および後側の横枠部１１に亘って形成されている。
右側の前後の第三凹溝３３，３３は、枠体１０の中央を対称点として、左側の前後の第三凹溝３３，３３と点対称の関係にある。

表側の吸引孔５０は、枠体１０の外周面１０ｃから表側の各ピット穴３５の内周面に貫通している。表側の吸引孔５０は、ピット穴３５を通じて、表側の凹溝３１〜３３に連通している。

枠体１０には、十個の表側の吸引孔５０が枠体１０の周方向に並設されている。各吸引孔５０は概ね等間隔に配置されており、枠体１０の各辺に少なくとも一つの吸引孔５０が配置されている。各吸引孔５０は、各凹溝３１〜３３の各ピット穴３５にそれぞれ連通している。このように、一つの表側の凹溝３１〜３３に対して、一つの表側の吸引孔５０が連通している。

表側の吸引孔５０は、図５（ａ）に示すように、枠体１０の高さ方向の中央よりも表側に配置されている。貫通孔２０の左右方向の側方に表側の吸引孔５０の下部が配置されている。
また、図５（ｅ）に示すように、枠体１０の表面１０ａから表側の吸引孔５０までの肉厚は、表側の凹溝３１の深さよりも大きく形成されている。

枠体１０の裏面１０ｂには、図４に示すように、十個の裏側の凹溝４１〜４３が枠体１０の周方向に並設されている。
各裏側の凹溝４１〜４３は、枠体１０の表面１０ａに形成された各表側の凹溝３１〜３３（図３参照）全体を前後反転させた形状となっている。

前後の横枠部１１，１１の裏面１０ｂには、左右二つの第一凹溝４１，４１が形成されている。また、左右の縦枠部１２，１２の裏面１０ｂには、第二凹溝４２が形成されている。さらに、枠体１０の前後左右の角部の裏面１０ｂには、第三凹溝４３がそれぞれ形成されている。

枠体１０には、表側の吸引孔５０と同様に、十個の裏側の吸引孔６０が枠体１０の周方向に並設されている。各吸引孔６０は、概ね等間隔に配置されており、枠体１０の各辺に少なくとも一つの吸引孔６０が配置されている。
裏側の吸引孔６０は、枠体１０の外周面１０ｃから裏側の凹溝４１〜４３のピット穴４５の内周面に貫通している。裏側の吸引孔６０は、ピット穴４５を通じて、裏側の凹溝４１〜４３に連通している。

裏側の吸引孔６０は、図５（ａ）に示すように、枠体１０の高さ方向の中央よりも裏側に配置されている。貫通孔２０の左右方向の側方に裏側の吸引孔６０の上部が配置されている。
また、図５（ｂ）に示すように、枠体１０の裏面１０ｂから裏側の吸引孔６０までの肉厚は、裏側の凹溝４１の深さよりも大きく形成されている。

枠体１０では、図３に示すように、枠体１０の表面１０ａに投影した裏側の吸引孔６０、裏側のピット穴４５および貫通孔２０が、隣り合う表側の凹溝３１〜３３同士の間に配置されている。

横枠部１１において、表側の第一凹溝３１，３１同士の間には、貫通孔２０が配置されている。
また、横枠部１１において、一方の表側の第一凹溝３１と貫通孔２０との間には、裏側の吸引孔６０およびピット穴４５が配置されている（図５（ａ）参照）。
さらに、横枠部１１において、表側の第一凹溝３１と表側の第三凹溝３３との間には、裏側の吸引孔６０およびピット穴４５が配置されている（図５（ａ）参照）。

縦枠部１２において、表側の第二凹溝３２と表側の第三凹溝３３との間には、貫通孔２０が配置されている。
また、縦枠部１２において、表側の第三凹溝３３と貫通孔２０との間には、裏側の吸引孔６０および裏側のピット穴４５が配置されている。
さらに、縦枠部１２において、表側の第二凹溝３２と表側の第三凹溝３３との間には、裏側の吸引孔６０および裏側のピット穴４５が配置されている。

枠体１０では、図４に示すように、枠体１０の裏面１０ｂに投影した表側の吸引孔５０、表側のピット穴３５および貫通孔２０が、隣り合う裏側の凹溝４１〜４３同士の間に配置されている。

横枠部１１において、裏側の第一凹溝４１，４１同士の間には、貫通孔２０が配置されている。
また、横枠部１１において、一方の表側の第一凹溝４１と貫通孔２０との間には、表側の吸引孔５０およびピット穴３５が配置されている（図５（ａ）参照）。
さらに、横枠部１１において、裏側の第一凹溝４１と裏側の第三凹溝４３との間には、表側の吸引孔５０およびピット穴３５が配置されている（図５（ａ）参照）。

縦枠部１２において、裏側の第二凹溝４２と裏側の第三凹溝４３との間には、貫通孔２０が配置されている。
また、縦枠部１２において、裏側の第三凹溝４３と貫通孔２０との間には、表側の吸引孔５０および表側のピット穴３５が配置されている。
さらに、縦枠部１２において、裏側の第二凹溝４２と裏側の第三凹溝４３との間には、表側の吸引孔５０および表側のピット穴３５が配置されている。

治具穴７０は、枠体１０の外周面１０ｃに形成された有底の円形穴である。治具穴７０には、支持枠１Ａの製造時やペリクルＰ（図１参照）の使用時に、支持枠１Ａを保持する把持装置の治具（ピン）が挿入される。
本実施形態では、図５（ａ）に示すように、枠体１０の高さ方向の中央に治具穴７０が配置されているが、治具穴７０の高さは限定されるものではなく、使用する治具に応じて治具穴７０の高さや形状が設定される。
図３に示すように、本実施形態では、前後の横枠部１１，１１の左右両端部に治具穴７０が形成されている。すなわち、支持枠１Ａの前後左右に四つの治具穴７０が形成されている。

把持装置によって支持枠１Ａを保持するときには、各治具穴７０に治具（ピン）が挿入される。このとき、治具によって横枠部１１が枠体１０の内側に押し込まれることになり、横枠部１１に枠体１０の内側に向けてたわみが生じる。
本実施形態では、治具穴７０が横枠部１１の左右両端部に形成されているので、左右の治具穴７０，７０の間隔が大きくなっている。したがって、治具によって支持枠１Ａを保持したときに、横枠部１１のたわみを抑制することができる。
なお、枠体１０の左右の側縁部から治具穴７０の中心位置までの距離を、枠体１０の左右方向の長さの１５％以内に設定した場合には、横枠部１１のたわみを効果的に抑制することができる。

次に、図２に示すように、支持枠１Ａにペリクル膜２およびガラス基板Ｍを接着する手順について説明する。
まず、枠体１０の表面１０ａに接着剤を塗布して、枠体１０の表面１０ａ上に接着層４を形成する。このとき、接着層４は、各表側の凹溝３１〜３３（図３参照）および各ピット穴３５に入り込まないようにする。
続いて、接着層４にペリクル膜２の補強枠３を重ねる。これにより、各表側の凹溝３１〜３３（図３参照）がペリクル膜２によって塞がれる。

また、枠体１０の裏面１０ｂに接着剤を塗布して、枠体１０の裏面１０ｂ上に接着層５を形成する。このとき、接着層５は、各裏側の凹溝４１〜４３（図４参照）および各ピット穴４５に入り込まないようにする。
続いて、接着層５にガラス基板Ｍの表面Ｍａを重ねる。これにより、各裏側の凹溝４１〜４３（図４参照）がガラス基板Ｍによって塞がれる。

各吸引孔５０，６０の外周面１０ｃ側の開口部に、吸引管６の先端部をそれぞれ接続する。各吸引管６は図示しない吸気装置に連結されている。

吸気装置によって各吸引孔５０から各表側の凹溝３１〜３３（図３参照）内の空気を吸引すると、各表側の凹溝３１〜３３内が減圧され、ペリクル膜２が枠体１０の表面１０ａに押圧される。これにより、ペリクル膜２が接着層４を介して枠体１０の表面１０ａに接着され、ペリクルＰが形成される。

また、吸気装置によって各吸引孔６０から各裏側の凹溝４１〜４３（図４参照）内の空気を吸引すると、各裏側の凹溝４１〜４３内が減圧され、ガラス基板Ｍが枠体１０の裏面１０ｂに押圧される。これにより、ガラス基板Ｍが接着層５を介して枠体１０の裏面１０ｂに接着され、ペリクルＰがガラス基板Ｍに接着される。

このようにして、ペリクルＰをガラス基板Ｍに接着すると、ペリクル膜２とガラス基板Ｍとの間に支持枠１Ａが介在され、ガラス基板Ｍの表面Ｍａから離れた位置にペリクル膜２が配置される。

ペリクルＰでは、図３に示すように、支持枠１Ａの枠体１０に貫通孔２０が形成されている。したがって、枠体１０の表裏をペリクル膜２およびガラス基板Ｍによって塞いだ状態でも、枠体１０の内部空間が貫通孔２０を通じて外部空間に連通しているため、枠体１０の内部空間と外部空間とに圧力差が生じるのを防ぐことができる。したがって、本実施形態のペリクルＰは、真空状態で使用する場合に適している。

以上のような支持枠１Ａでは、図２に示すように、各表側の凹溝３１〜３３（図３参照）内を減圧することで、ペリクル膜２を枠体１０の表面１０ａに押圧することができる。これにより、ペリクル膜２を枠体１０に接着するときに、ペリクル膜２に他の部材を押し付ける必要がないため、ペリクル膜２が損傷するのを防ぐことができる。したがって、ペリクル膜２が薄い場合であっても、ペリクル膜２を枠体１０に接着することができる。

また、本実施形態の支持枠１Ａでは、各裏側の凹溝４１〜４３内を減圧することで、ガラス基板Ｍを枠体１０の裏面１０ｂに押圧することができる。これにより、ガラス基板Ｍを枠体１０に接着するときに、ガラス基板Ｍに他の部材を押し付ける必要がないため、ガラス基板Ｍが損傷するのを防ぐことができる。

本実施形態の支持枠１Ａでは、図３および図４に示すように、複数の表側の凹溝３１〜３３および裏側の凹溝４１〜４４が枠体１０の周方向に並設されている。この構成では、凹溝３１〜３３，４１〜４３の端部から吸引孔５０，６０までの距離を短くすることができる。
また、凹溝３１〜３３，４１〜４３の延長方向の中間部に吸引孔５０，６０が連通している場合には、凹溝３１〜３３，４１〜４３の両端部から吸引孔５０，６０までの距離を短くすることができる。
これにより、吸引孔５０，６０を通じて凹溝３１〜３３，４１〜４４内の空気を吸引したときに、凹溝３１〜３３，４１〜４３内で生じる圧力損失が小さくなるため、凹溝３１〜３３，４１〜４３内を効率良く減圧することができる。

本実施形態の支持枠１Ａでは、凹溝３１〜３３，４１〜４３の底面に有底のピット穴３５，４５が形成されており、このピット穴３５，４５の内周面に吸引孔５０，６０が開口している（図５（ｂ）および（ｅ）参照）。この構成では、吸引孔５０，６０の径を凹溝３１〜３３，４１〜４３の深さよりも大きく形成することができるため、吸引効率を高めることができる。

本実施形態の支持枠１Ａでは、枠体１０の各辺に複数の吸引孔５０，６０が形成されているため、枠体１０の表面１０ａ全体および裏面１０ｂ全体にバランス良く吸引力を作用させることができる。したがって、ペリクル膜２を枠体１０の表面１０ａ全体に対して一様に押圧するとともに、ガラス基板Ｍを枠体１０の裏面１０ｂ全体に対してバランス良く押圧することができる。

本実施形態の支持枠１Ａでは、表側の吸引孔５０が隣り合う裏側の凹溝４１〜４３同士の間に形成され、裏側の吸引孔６０は、隣り合う表側の凹溝３１〜３３同士の間に形成されている。このように、吸引孔５０，６０と凹溝３１〜３３，４１〜４４とが表裏方向に重ならないように構成されている。
また、本実施形態の支持枠１Ａでは、枠体１０の周方向に隣り合う凹溝３１〜３３，４１〜４３同士の間に貫通孔２０が形成されており、貫通孔２０と凹溝３１〜３３，４１〜４３とが表裏方向に重ならないように構成されている。
したがって、支持枠１Ａでは、貫通孔２０や吸引孔５０，６０を形成した部位でも、枠体１０の肉厚が大きくなるため、枠体１０の強度を十分に確保することができる。

以上、本発明の実施形態について説明したが、本発明は前記実施形態に限定されることなく、その趣旨を逸脱しない範囲で適宜に変更が可能である。
本実施形態では、図３および図４に示すように、枠体１０の表面１０ａに十個の凹溝３１〜３３を形成し、枠体１０の裏面１０ｂに十個の凹溝４１〜４３を形成しているが、凹溝３１〜３３，４１〜４３の数は限定されるものではない。

例えば、図６に示す支持枠１Ｂのように、枠体１０の表面１０ａに八つの凹溝３１，３３を形成し、枠体１０の裏面に八つの凹溝４１，４３を形成してもよい。この構成においても、隣り合う裏側の凹溝４１，４３同士の間に表側の吸引孔５０を配置し、隣り合う表側の凹溝３１，３３同士の間に裏側の吸引孔６０を配置している。また、枠体１０の周方向に隣り合う凹溝３１，３３，４１，４３同士の間に貫通孔２０が形成されている。

また、図７に示すよう支持枠１Ｃのように、枠体１０の表面１０ａに四つの凹溝３４を形成し、枠体１０の裏面に四つの凹溝４４を形成してもよい。この構成においても、隣り合う裏側の凹溝４４，４４同士の間に表側の吸引孔５０を配置し、隣り合う表側の凹溝３３，３３同士の間に裏側の吸引孔６０を配置している。また、枠体１０の周方向に隣り合う凹溝３４，４４同士の間に貫通孔２０が形成されている。

また、本実施形態では、図３および図４に示すように、表側の凹溝３１〜３３と裏側の凹溝４１〜４３とが同じ数であるが、表側の凹溝３１〜３３と裏側の凹溝４１〜４３とが異なる数であってもよい。さらに、枠体１０の表面１０ａおよび裏面１０ｂに一つの凹溝を形成してもよい。

また、凹溝の配置は限定されるものではないが、本実施形態のように、枠体１０の角部に第三凹溝３３，４３を形成した場合には、枠体１０に対してペリクル膜２（図１参照）の角部およびガラス基板Ｍ（図１参照）の角部を確実に接着することができる。

また、本実施形態では、図３および図４に示すように、一つの凹溝３１〜３３，４１〜４４に対して、一つの吸引孔５０，６０が連通されているが、一つの凹溝３１〜３３，４１〜４４に対して、複数の吸引孔５０，６０を連通させてもよい。

また、図８（ａ）に示すように、吸引孔５０，６０を枠体１０の高さ方向の中央に形成してもよい。この構成では、吸引孔５０，６０の内周面（孔壁面）から枠体１０の表面１０ａまでの肉厚と、吸引孔５０，６０の内周面（孔壁面）から枠体１０の裏面１０ｂまでの肉厚とを均等に確保することができるため、支持枠１Ａの表側および裏側への曲げ強度をバランス良く高めることができる。

また、図８（ｂ）に示すように、表側のピット穴３５の底面３５ａを吸引孔５０よりも枠体１０の裏面１０ｂ側に形成し、図８（ｃ）に示すように、裏側のピット穴４５の底面４５ａを吸引孔６０よりも枠体１０の表面１０ａ側に形成してもよい。
このように、ピット穴３５，４５の底面３５ａ，４５ａを吸引孔５０，６０よりも深い位置に配置することで、吸引孔５０，６０の軸断面全体をピット穴３５，４５の内周面に確実に開口させることができる。

また、本実施形態では、図５（ａ）に示すように、円形の治具穴７０が形成されているが、図９（ａ）に示す治具穴７０Ａのように、枠体１０の周方向（左右方向）に延びている長円形の長穴でもよい。この構成では、図９（ｂ）に示すように、治具（ピン）８０も長円形の断面形状に形成する。
そして、支持枠１Ａをガラス基板Ｍ（図１参照）から剥がすときには、支持枠１Ａの治具穴７０Ａに治具８０を挿入し、ガラス基板Ｍから支持枠１Ａを引き離す力を治具８０を介して支持枠１Ａに付与する。このとき、治具穴７０Ａの内周面の平面と治具８０の外周面の平面とが面接触し、治具８０からの力が一点に集中しないため、支持枠１Ａの変形を抑制することができる。

また、図１０に示すように、枠体１０の外周面１０ｃに七つの治具穴７１〜７７を形成してもよい。なお、図１０に示す各治具穴７１〜７７は、長円形の長穴に形成されているが、円形の治具穴でもよい。
この構成では、枠体１０の四つの角部の一つ（左前の角部）に第一治具穴７１が形成されている。
また、前側の横枠部１１の左端部に第二治具穴７２が形成され、前側の横枠部１１の右端部に第四治具穴７４が形成されている。
また、後側の横枠部１１の左端部に第五治具穴７５が形成され、後側の横枠部１１の右端部に第七治具穴７７が形成されている。
また、左側の縦枠部１２の前後方向の中央に第三治具穴７３が形成され、右側の縦枠部１２の前後方向の中央に第六治具穴７６が形成されている。

前記したように、七つの治具穴７１〜７７を有する支持枠１Ａをガラス基板Ｍ（図１参照）から剥がすときには、各治具穴７１〜７７に治具を挿入し、最初に角部の第一治具穴７１を引き上げる。続いて、第一治具穴７１に最も近い第二治具穴７２に治具を挿入して引き上げる。以降は、第二治具７１から近い順に第三治具穴７３、第四治具穴７４、第五治具穴７５、第六治具穴７６、七治具穴７７を順次に引き上げていくことで、支持枠１Ａの変形を抑制しつつ支持枠１Ａをガラス基板Ｍ（図１参照）から剥がすことができる。

１Ａ〜１Ｃ 支持枠
２ ペリクル膜
４ 接着層
５ 接着層
１０ 枠体
１０ａ 表面
１０ｂ 裏面
１１ 横枠部
１２ 縦枠部
２０ 貫通孔
３１ 表側の第一凹溝
３２ 表側の第二凹溝
３３ 表側の第三凹溝
３５ 表側のピット穴
４１ 裏側の第一凹溝
４２ 裏側の第二凹溝
４３ 裏側の第三凹溝
４５ 裏側のピット穴
５０ 表側の吸引孔
６０ 裏側の吸引孔
７０〜７７ 治具穴
８０ 治具
Ｍ ガラス基板
Ｐ ペリクル

Claims (14)

1. アルミニウム合金製の枠体を有し、
   前記枠体の表面にペリクル膜が接着され、前記枠体の裏面にガラス基板が接着されるペリクル用の支持枠であって、
   前記枠体の表面には、前記枠体の周方向に延びる表側の凹溝が形成されるとともに、
   前記枠体の外周面から前記表側の凹溝の内面に至る表側の吸引孔が形成されていることを特徴とするペリクル用の支持枠。
2. 複数の前記表側の凹溝が前記枠体の周方向に並設されており、
   前記各表側の凹溝に前記表側の吸引孔が連通していることを特徴とする請求項１に記載のペリクル用の支持枠。
3. 前記枠体の裏面には、前記枠体の周方向に延びる裏側の凹溝が形成されるとともに、
   前記枠体の外周面から前記裏側の凹溝の内面に至る裏側の吸引孔が形成されていることを特徴とする請求項１または請求項２に記載のペリクル用の支持枠。
4. 複数の前記裏側の凹溝が前記枠体の周方向に並設されており、
   前記各裏側の凹溝に前記裏側の吸引孔が連通していることを特徴とする請求項３に記載のペリクル用の支持枠。
5. 前記枠体の裏面には、前記枠体の周方向に延びる複数の裏側の凹溝が前記枠体の周方向に並設され、
   前記枠体の外周面から前記各裏側の凹溝の内面に至る裏側の吸引孔が形成されており、
   前記表側の吸引孔は、隣り合う前記裏側の凹溝同士の間に形成され、
   前記裏側の吸引孔は、隣り合う前記表側の凹溝同士の間に形成されていることを特徴とする請求項２に記載のペリクル用の支持枠。
6. 前記凹溝の底面には、有底のピット穴が形成されており、
   前記吸引孔は、前記ピット穴の内周面に開口していることを特徴とする請求項５に記載のペリクル用の支持枠。
7. 前記ピット穴は、前記枠体の表側および裏側の一方に開口され、
   前記ピット穴の底面は、前記吸引孔よりも前記枠体の表側および裏側の他方に形成されていることを特徴とする請求項６に記載のペリクル用支持枠。
8. 前記吸引孔は、前記枠体の高さ方向の中央に形成されていることを特徴とする請求項１から請求項７のいずれか一項に記載のペリクル用の支持枠。
9. 少なくとも一つの前記凹溝は、前記凹溝の延長方向の中間部に前記吸引孔が連通していることを特徴とする請求項２から請求項８のいずれか一項に記載のペリクル用の支持枠。
10. 前記枠体の外周面から内周面に至る貫通孔が形成されており、
    前記貫通孔は、前記枠体の周方向に隣り合う前記凹溝同士の間に形成されていることを特徴とする請求項２から請求項９のいずれか一項に記載のペリクル用の支持枠。
11. 前記枠体の各辺に複数の前記表側の吸引孔が形成されていることを特徴とする請求項１から請求項１０のいずれか一項に記載のペリクル用の支持枠。
12. 前記枠体は、前後一対の横枠部と、左右一対の縦枠部と、を備え、
    前記枠体の外周面には、複数の治具穴が形成されており、
    前記治具穴は、前記両横枠部の両端部に形成されていることを特徴とする請求項１から請求項１１のいずれか一項に記載のペリクル用の支持枠。
13. 前記枠体の外周面には、複数の治具穴が形成されており、
    前記治具穴は、前記枠体の周方向に延びている長穴であることを特徴とする請求項１から請求項１２のいずれか一項に記載のペリクル用の支持枠。
14. 前記枠体は、前後一対の横枠部と、左右一対の縦枠部と、を備え、
    前記枠体の外周面には、複数の治具穴が形成されており、
    前記治具穴は、
    前記両横枠部に形成されているとともに、
    前記枠体の四つの角部の少なくとも一つに形成されていることを特徴とする請求項１から請求項１３のいずれか一項に記載のペリクル用の支持枠。

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