TWI641457B - Carrier disk assembly and robot arm having the same - Google Patents

Abstract

本創作提出一種承載盤組件，其具有一承載盤及複數個墊片。承載盤的承載面形成有複數上窄下寬的容置槽。墊片容置於容置槽內，並具有一環斜面及一頂面。環斜面貼合於容置槽的側壁面。頂面與承載面齊平且與承載面連接。本創作還提出一種機械手臂，其具有前述承載盤組件及一操作本體。本創作的墊片可提供晶圓防滑的效果。由於承載面形成有排氣孔及第一通孔，且墊片形成有第二通孔，因此能平衡晶圓上下表面的壓力。由於墊片的頂面與承載面齊平並連接於承載面，因此墊片填滿了整個容置槽，能使墊片穩固地容置在容置槽內而不易向上變形凸出。

Description

承載盤組件及具有該承載盤組件的機械手臂

本創作是關於一種承載盤組件及具有該承載盤組件的機械手臂，尤其是一種用於承放晶圓的承載盤組件及機械手臂。

晶圓（Wafer）是指矽半導體積體電路製作所用的矽晶片，晶圓上可用以製作積體電路，而積體電路的製作過程需要經過相當大量的步驟，且由於現今電子產品皆朝著輕薄短小的方向發展，因此，現今的晶圓廠均改以機械手臂來取代人力搬運晶圓，以提升效率並減少人力作業所產生的誤差及衍生的各種問題。

一般的機械手臂如中華民國專利公告第I441719號之「產業用機械手臂」，其包含有一機械手、一多關節機械臂部以及一本體，該多關節機械臂部之兩端分別連接於該機械手與該本體，該機械手具有一承載一晶圓的載置構件以及一設置於該載置構件上遠離該多關節機械臂部的抵接構件，該多關節機械臂部可以進行伸縮以及上下平移，以取放該晶圓。上述機械手臂雖然設有該抵接構件使該晶圓可以抵靠，但在搬運晶圓時，晶圓仍容易因震動或其他因素而滑移，使晶圓偏離原本的位置。

有鑑於此，提供一種更佳的改善方案，乃為此業界亟待解決的問題。

本創作的主要目的在於，提供一種防滑效果的承載盤組件及具有該承載盤組件的機械手臂。

為達上述目的，本創作所提供的承載盤組件具有： 一承載盤，其具有： 一第一端； 一第二端；及 一承載面，其位於該第一端及該第二端間，並形成有複數個容置槽；以及 複數個墊片，其分別容置於該等容置槽內，且各該墊片具有： 一環斜面，其貼合於相對應的該容置槽的側壁面；及 一頂面，其與該承載面齊平，且該頂面的周緣與該容置槽開口的周緣連接，該頂面形成有複數凸塊及複數溝槽，該等凸塊凸出於該承載面，而該等溝槽位於該等凸塊間。

如前所述之承載盤組件中，該承載盤更形成有一排氣孔，該排氣孔貫穿該承載盤的該承載面。

如前所述之承載盤組件中，各該墊片的該等溝槽呈放射狀分佈於該墊片的頂面。

如前所述之承載盤組件中，該承載盤形成有複數個第一通孔，其分別貫穿形成於該等容置槽底面；各該墊片形成有一第二通孔，各該容置槽的該第一通孔與所容置的該墊片的該第二通孔相連通。

如前所述之承載盤組件中，該承載盤的各該容置槽上窄下寬。

如前所述之承載盤組件中，該承載盤的該第一端形成至少一第一弧形凸緣，該承載盤的該第二端形成有一第二弧形凸緣。

如前所述之承載盤組件中，該承載盤的該第一端形成有一凹陷部，該凹陷部形成有一第一凹部及一第二凹部，該第二凹部形成於該第一凹部的一側邊並向該承載盤的該第二端凹陷。

如前所述之承載盤組件中，該第一凹部呈矩形，而該第二凹部呈弧形。

如前所述之承載盤組件中，該承載盤的該第二端形成有一穿孔。

為達上述目的，本創作所提供的機械手臂具有： 至少一如前所述的承載盤組件；以及 一操作本體，該操作本體連接於該至少一承載盤組件的該承載盤的該第二端。

因此，本創作的優點在於，當使用本創作運送晶圓時，藉由墊片的凸塊凸出於承載盤的承載面，墊片可提供晶圓適度的摩擦力並達到防滑的效果，而不會因為震動而滑移。此外，由於承載面上形成有排氣孔及第一通孔，且墊片形成有與第一通孔連通的第二通孔，因此能平衡晶圓上下表面的壓力，不會在晶圓的底面產生低壓的真空區，造成晶圓不易由承載盤取下的現象。另外，墊片的頂面與承載面齊平並連接於承載面，因此墊片填滿了整個容置槽，並配合容置槽的形狀為上窄下寬，能使墊片穩固地容置在容置槽內而不易向上變形凸出；藉此，各墊片的高度皆在同一水平面上，讓晶圓的受力更平均。

首先請參考圖1。本創作提出一種具防滑效果的機械手臂，其具有至少一承載盤組件及一操作本體30。承載盤組件具有一承載盤10、複數個墊片20。

接著請參考圖2及圖3。承載盤10具有一第一端11、一第二端12及一承載面13。第一端11形成有一凹陷部111及二第一弧形凸緣112，二第一弧形凸緣112分別位於凹陷部111的兩側。凹陷部111形成有一第一凹部1111及一第二凹部1112，第二凹部1112形成於第一凹部1111的一側邊並向承載盤10的第二端12凹陷。第一凹部1111呈矩形，而第二凹部1112呈弧形。第一凹部1111的寬度大於第二凹部1112。第二端12形成有一穿孔121及一第二弧形凸緣122。承載面13位於第一端11及第二端12間，並形成有複數個容置槽131、複數個第一通孔132及一排氣孔133。各容置槽131上窄下寬，且各第一通孔132貫穿形成於各容置槽131底面。排氣孔133貫穿承載盤10的承載面13。第一弧形凸緣112及第二弧形凸緣122可依使用需要而能有不同的寬度及厚度。

接著請一併參考圖4及圖5。墊片20分別容置於容置槽131內，並具有一環斜面21以及一頂面22。環斜面21貼合於容置槽131的側壁面。頂面22與承載面13齊平，且頂面22的周緣與容置槽131的開口的周緣相連接。具體來說，頂面22的周緣即為頂面22與環斜面21的連接處，且頂面22與承載面13連接形成一平面。頂面22形成有複數凸塊221及複數溝槽222，凸塊221凸出於承載面13，而該等溝槽222成形於該等凸塊221間。因此，各凸塊221呈扇形且相間隔地環設於墊片20的頂面22，而溝槽222底面為墊片20的頂面22，並與承載面13齊平。各墊片20還形成有一第二通孔23，各容置槽131的第一通孔132與所容置的墊片20的第二通孔23相連通，且第二通孔23也與溝槽222連通。於本實施例中，第二通孔23位於墊片20的中央，因此也位於放射狀的溝槽222中央。

接著請再次參考圖1。操作本體30連接於第二端12，並具有一基座31、至少一伸縮平移件32，伸縮平移件32設置於該基座31上，且各伸縮平移件32分別連接於承載盤組件的承載盤10，因此伸縮平移件32可控制承載盤組件移動，進而取放晶圓。且本實施例中，操作本體30具有二伸縮平移件32，而二伸縮平移件32分別連接二承載盤組件。

透過上述結構，可將晶圓放置於承載盤10的承載面13上，且晶圓的周緣抵靠於第一弧形凸緣112及第二弧形凸緣122，而晶圓的底面抵靠於墊片20上。且由於承載面13上形成有排氣孔133及第一通孔132，且墊片20形成有與第一通孔132連通的第二通孔23，因此能平衡晶圓上下表面的壓力，不會在晶圓的底面產生低壓的真空區，造成晶圓不易由承載盤取下的現象。

綜上所述，透過墊片20的凸塊221凸出於承載面13，當本創作的機械手臂承載晶圓時，墊片20可提供適度的摩擦力並達到防滑的效果。此外墊片20的頂面22與承載面13齊平並連接於承載面13，因此墊片20填滿了整個容置槽131，並配合容置槽131的形狀為上窄下寬，能使墊片20穩固地容置在容置槽131內而不易向上變形凸出。藉此，各墊片20的高度皆在同一水平面上，讓晶圓的受力更平均。

以上所述僅是本創作的較佳實施例而已，並非對本創作做任何形式上之限制，雖然本創作已以較佳實施例揭露如上，然而並非用以限定本創作，任何所屬技術領域中具有通常知識者，在不脫離本創作技術方案的範圍內，當可利用上述揭示的技術內容做出些許更動或修飾為等同變化的等效實施例，但凡是未脫離本創作技術方案的內容，依據本創作的技術實質對以上實施例所作的任何簡單修改、等同變化與修飾，均仍屬於本創作技術方案的範圍內。

10 承載盤 11 第一端 111 凹陷部 1111 第一凹部 1112 第二凹部 112 第一弧形凸緣 12 第二端 121 穿孔 122 第二弧形凸緣 13 承載面 131 容置槽 132 第一通孔 133 排氣孔 20 墊片 21 環斜面 22 頂面 221 凸塊 222 溝槽 23 第二通孔 30 操作本體 31 基座 32 伸縮平移件

圖1為本創作的機械手臂的立體示意圖。 圖2為本創作的承載盤組件的立體示意圖。 圖3為本創作的承載盤組件的分解示意圖。 圖4為本創作的墊片的立體示意圖。 圖5為本創作的承載盤組件的剖面示意圖。

Claims (10)

1. 一種承載盤組件，其具有： 一承載盤，其具有： 一第一端； 一第二端；及 一承載面，其位於該第一端及該第二端間，並形成有複數個容置槽；以及 複數個墊片，其分別容置於該等容置槽內，並各該墊片具有： 一環斜面，其貼合於相對應的該容置槽的側壁面；及 一頂面，其與該承載面齊平，且該頂面的周緣與該容置槽開口的周緣連接，該頂面形成有複數凸塊及複數溝槽，該等凸塊凸出於該承載面，而該等溝槽位於該等凸塊間。
2. 如請求項1所述之承載盤組件，其中，該承載盤更形成有一排氣孔，該排氣孔貫穿該承載盤的該承載面。
3. 如請求項1所述之承載盤組件，其中，各該墊片的該等溝槽呈放射狀分佈於該墊片的頂面。
4. 如請求項1所述之承載盤組件，其中，該承載盤形成有複數個第一通孔，其分別貫穿形成於該等容置槽底面；各該墊片形成有一第二通孔，該承載盤的各該第一通孔與各該墊片的該第二通孔相連通。
5. 如請求項1至4中任一項所述之承載盤組件，其中，該承載盤的各該容置槽上窄下寬。
6. 如請求項1至4中任一項所述之承載盤組件，其中，該承載盤的該第一端形成至少一第一弧形凸緣，該承載盤的該第二端形成有一第二弧形凸緣。
7. 如請求項1至4中任一項所述之承載盤組件，其中，該承載盤的該第一端形成有一凹陷部，該凹陷部形成有一第一凹部及一第二凹部，該第二凹部形成於該第一凹部的一側邊並向該承載盤的該第二端凹陷。
8. 如請求項7所述之承載盤組件，其中，該第一凹部呈矩形，而該第二凹部呈弧形。
9. 如請求項1至4中任一項所述之承載盤組件，其中，該承載盤的該第二端形成有一穿孔。
10. 一種機械手臂，其具有： 至少一如請求項1至9中任一項所述的承載盤組件；以及 一操作本體，該操作本體連接於該至少一承載盤組件的該承載盤的該第二端。