TWI623397B - Horizontal articulated robot - Google Patents

Abstract

水平多關節機器人1具備：第1連桿41；第2連桿42，基端部連結於上述第1連桿41之前端部之上下一方；第3連桿43，基端部連結於上述第2連桿42之前端部之上下另一方；以及間隔件49，配置於上述第1連桿41及上述第3連桿43中之一連桿與上述第2連桿42之連結部，以上述第3連桿43之動作軌跡不與上述第1連桿41發生干涉之方式，使上述第2連桿42與上述一連桿上下隔開。

Description

水平多關節機器人

本發明係關於一種具備3根連桿之水平多關節機器人之構造。

以往以來，已知對作為半導體元件製造材料之半導體基板(以下有時簡稱作「基板」)進行元件形成等製程處理之基板處理設備。一般而言，基板處理設備中設置有製程(process)裝置或配置於製程裝置之前表面之基板移載裝置等。基板移載裝置具備基板移載機器人，該基板移載機器人進行基板對製程裝置之裝載及卸載、收容於步驟間搬送用之密閉載體之基板的收納及取出等。例如，專利文獻1中記載之基板移載裝置(亦稱作前端)具備深度淺且寬度寬之細長殼體、以及於殼體內在沿寬度方向(即長邊方向)延伸之軌道上移行之基板移載機器人。

於基板移載裝置之前表面設置有於寬度方向上排列之複數個裝載埠，1台基板移載裝置上可連結複數個載體。為了藉由一個基板移載裝置將複數個(例如4個)載體連結而提高產量，而基板移載裝置寬度變寬。另一方面，為了實現基板移載裝置之小型化，基板移載裝置之深度受到限制。因此，對基板移載機器人要求具有處於基板移載裝置之受限制之深度範圍內且基板移載裝置之寬度方向上較寬之作業區域。

為了因應上述要求，先前，如專利文獻1般構成為能夠使機 器人向基板移載裝置之寬度方向移行，或於1台基板移載裝置具備多台機器人。

然而，若於基板移載裝置之殼體內設置移行軌道及移行裝置，則容易自該些移行軌道及移行裝置產生灰塵，保持為潔淨之殼體內容易受到污染。而且，若於1台基板移載裝置設置多台機器人，則原始成本及運轉成本增加或裝置大型化。因此，專利文獻2中，藉由於水平多關節機器人中具備3個連桿，而能避免其他方法中所產生之問題，且使機器人之接近位置向更遠方擴展。

[先前技術文獻]

[專利文獻]

[專利文獻1]日本特開2002-76097號公報

[專利文獻2]日本特開2011-119556號公報

專利文獻2之水平多關節機器人中，自基台側起第1連桿、第2連桿及第3連桿自下向上依該順序配置。藉此，第3連桿之前端部(即，機器人臂之手腕部)與2連桿之機器人臂之手腕部相比，能夠接近之範圍向上方位移。由此，為了使3連桿之水平多關節機器人與既存之製程裝置等周邊機器對應，而需要採取周邊機器或機器人之高度調整之措施。

因此，本發明之一形態之水平多關節機器人具備： 第1連桿；第2連桿，基端部連結於上述第1連桿之前端部之上下一方；第3連桿，基端部連結於上述第2連桿之前端部之上下另一方；以及間隔件，配置於上述第1連桿及上述第3連桿中之一連桿與上述第2連桿之連結部，以上述第3連桿之動作軌跡不與上述第1連桿發生干涉之方式，使上述第2連桿與上述一連桿上下隔開。

根據上述水平多關節機器人，與第1~3連桿自下向上依序排列之情形相比，可降低第3連桿之前端部之高度。

根據本發明，與第1~3連桿自下向上依序排列之情形相比，可降低第3連桿之前端部之高度。

1‧‧‧水平多關節機器人

4‧‧‧機器人臂

5‧‧‧末端效應器

6‧‧‧控制裝置

21‧‧‧基台

30‧‧‧控制器

40‧‧‧升降軸

41‧‧‧第1連桿

42‧‧‧第2連桿

43‧‧‧第3連桿

49‧‧‧間隔件

60‧‧‧升降驅動裝置

61~64‧‧‧關節驅動裝置

90‧‧‧基板移載裝置

91‧‧‧載體

92‧‧‧製程裝置

100‧‧‧基板處理設備

A0~4‧‧‧伺服放大器

D0~4‧‧‧動力傳遞機構

E0~4‧‧‧位置檢測器

J1~4‧‧‧第1~4關節

L1~4‧‧‧第1~4軸

M0~4‧‧‧伺服馬達

W‧‧‧基板

圖1係用以對本發明之一實施形態之水平多關節機器人之使用形態進行說明之基板處理設備之俯視圖。

圖2係表示本發明之一實施形態之水平多關節機器人之概略構成之側視圖。

圖3係表示水平多關節機器人之控制系統之構成之方塊圖。

圖4係表示變形例1之水平多關節機器人之概略構成之側視圖。

圖5係表示變形例2之水平多關節機器人之概略構成之側視圖。

圖6係表示變形例3之水平多關節機器人之概略構成之側視圖。

圖1係用以對本發明之一實施形態之水平多關節機器人1之使用形態進行說明之基板處理設備100之俯視圖。如圖1所示，於基板處理設備100中設置著製程裝置92、設置於製程裝置92之前表面之基板移載裝置90。該基板處理設備100中，本實施形態之水平多關節機器人1設置於基板移載裝置90，且用作基板移載機器人，該基板移載機器人被用於進行基板W對製程裝置92之裝載及卸載、收容於步驟間搬送用之密閉載體91之基板W之收納及取出等。作為基板移載裝置90之一例，已知有前端模組(Equipment Front End Module(設備前端模組)，簡稱為EFEM)。而且，作為載體91之一例，已知有FOUP(Front Opening Unified Pod，前開式單元匣)。另外，水平多關節機器人1之用途不限定於上述。

圖2係表示本發明之一實施形態之水平多關節機器人1之概略構成之側視圖，圖3係表示水平多關節機器人1之控制系統之構成之方塊圖。如圖2及3所示，本發明之一實施形態之水平多關節機器人1具備基台21、支持於基台21之機器人臂4、連結於機器人臂4之手腕之末端效應器5、以及控制機器人臂4及末端效應器5之動作之控制裝置6。

機器人臂4具備支持於基台21之升降軸40、經由第1關節J1而與升降軸40連結之第1連桿41、經由第2關節J2而與第1連桿41之前端部連結之第2連桿42、及經由第3關節J3而與第2連桿42之前端部連結之第3連桿43。

第2連桿42之基端部連結於第1連桿41之前端部之下，第3連桿43之基端部連結於第2連桿42之前端部之上，末端效應器5連結於第3連桿之前端部之上。於將第2連桿42之前端部與第3連桿43之基端部 連結之第3關節J3，設置有將第2連桿42與第3連桿43於上下方向Z上隔開之間隔件49。

間隔件49具有沿上下方向Z延伸之中空軸形狀，該中空軸形狀之軸心與第3軸L3實質一致。間隔件49於其內部，將自後述之關節驅動裝置63向第3連桿43傳遞旋轉動力之中空軸(省略圖示)經由軸承能夠轉動地加以支承。而且，於該中空軸之內部插通配管、配線等。

末端效應器5經由第4關節J4(手腕關節)而連結於第3連桿43之前端部。當分別將第1關節J1之轉動軸規定為第1軸L1、第2關節J2之轉動軸規定為第2軸L2、第3關節J3之轉動軸規定為第3軸L3、第4關節J4之轉動軸規定為第4軸L4時，各軸之延伸方向為實質之鉛垂方向即上下方向Z。而且，第1~3連桿41、42、43之延伸方向為與上下方向Z大致正交之實質之水平方向。

升降軸40具有第1段40a及第2段40b之兩段構造，作為能夠升降及延伸之軸而構成。第1段40a及第2段40b均為角形柱狀之構件，且該些並聯配置。其中，第1段40a及第2段40b亦可形成可伸縮構造。

第1段40a經由上下方向Z之直動機構(圖示省略)而連結於基台21。而且，第2段40b經由上下方向Z之直動機構(圖示省略)而連結於第1段40a。而且，藉由升降驅動裝置60，使升降軸40以向上下方向Z升降及/或延伸之方式驅動，該升降驅動裝置60由使第1段40a相對於基台21向上下方向Z移動之第1升降驅動部60a、及使第2段40b相對於第1段40a向上下方向Z移動之第2升降驅動部60b而形成。升降驅動裝置60之第1升降驅動部60a及第2升降驅動部60b由將伺服馬達M0、位置檢 測器E0、及將伺服馬達M0之動力向升降軸40傳遞之動力傳遞機構D0等構成。

末端效應器5呈2組基板搬送手50於上下方向Z上堆積而成之被稱作雙手構造之形態。各基板搬送手50具備用以載置圓形平板狀之基板W之叉形葉片、用以握持載置於葉片之上之基板W之握持爪及其驅動機構等。2組基板搬送手50藉由第4關節J4而能夠分別獨立地相對於第3連桿43轉動而連結。

於第1~4關節J1~J4設置著使各關節J1~J4繞其轉動軸旋轉之第1~4關節驅動裝置61~64。關節驅動裝置61~64由伺服馬達M1~M4、位置檢測器E1~E4及將伺服馬達M1~M4之動力向對應之連桿傳遞之動力傳遞機構D1~D4等構成。上述動力傳遞機構D1~D4例如亦可為具備減速機之齒輪動力傳遞機構。該些動力傳遞機構D1~D4亦可至少一部分含有皮帶傳動機構。上述各位置檢測器E0~E4例如由旋轉編碼器構成。各伺服馬達M0~M4能夠彼此獨立地驅動。而且，若上述各伺服馬達M0~M4被驅動，則藉由上述各位置檢測器E0~E4進行上述各伺服馬達M0~M4之輸出軸之旋轉位置之檢測。

機器人臂4之動作藉由控制裝置6而控制。如圖3所示，控制裝置6具備控制器30及與伺服馬達M0~M4對應之伺服放大器A0~A4。控制裝置6中，進行使安裝於機器人臂4之手腕之末端效應器5沿著任意之路徑向任意之姿勢(空間內之位置及姿勢)移動之伺服控制。

控制器30為所謂的電腦，例如具有微控制器、CPU(Central Processing Unit，中央處理單元)、MPU(Micro Processor Unit，微處理器單元)、 PLC(Programmable Logic Controller，可程式邏輯控制器)、DSP(digital signal processor，數位訊號處理器)、ASIC(application specific integrated circuit，應用特定積體電路)或FPGA(field programmable gate array，現場可程式閘陣列)等運算處理部，及ROM(Read-Only Memory，唯讀記憶體)、RAM(Random Access Memory，隨機存取記憶體)等記憶部(均未圖示)。記憶部中記憶有運算處理部執行之程式、各種固定資料等。而且，記憶部中儲存有：用以控制機器人臂4之動作之提示點資料，末端效應器5之形狀、尺寸相關之資料，及保持於末端效應器5之基板W之形狀、尺寸相關之資料等。控制器30中，由運算處理部讀出並執行記憶部中記憶之程式等軟體，藉此進行用以控制水平多關節機器人1之動作之處理。另外，控制器30亦可由單個電腦所進行之集中控制而執行各處理，還可由複數個電腦之協動所進行之分散控制而執行各處理。

控制器30基於與位置檢測器E0~E4之各者中所檢測到之旋轉位置對應的末端效應器5之姿勢及記憶部中記憶之提示點資料，而運算出規定之控制時間後之目標姿勢。控制器30以於規定之控制時間後末端效應器5為目標姿勢之方式，對伺服放大器A0~A4輸出控制指令(位置指令)。伺服放大器A0~A4中，基於控制指令對各伺服馬達M0~M4供給驅動電力。藉此，可使末端效應器5向所需姿勢移動。另外，本實施形態之水平多關節機器人1中，各關節J1~J4係獨立地受到驅動，但亦可於該些關節J1~J4中包含相應於其他關節之移動而被動地動作之至少1個關節。

上述構成之機器人臂4中，第3連桿43之長邊方向之尺寸與第2連桿42之長邊方向之尺寸實質相等或更長，第1連桿41之長邊方向 之尺寸較第2連桿42及第3連桿43之長邊方向之尺寸稍小。而且，第3連桿長度(即，第3軸L3與第4軸L4之水平距離)與第2連桿長度(即，第2軸L2與第3軸L3之水平距離)實質相等或更長，第1連桿長度(即，第1軸L1與第2軸L2之水平距離)較第2連桿長度及第3連桿長度稍短。如此，於規定了各連桿41、42、43之長邊方向尺寸之機器人臂4中，當第2連桿42相對於第1連桿41繞第2軸L2轉動時，第2連桿42及第3連桿43之動作軌跡(即，第2連桿42及第3連桿43所通過之三維區域)於俯視時一部分與第1連桿41重疊。而且，當第3連桿43相對於第2連桿42繞第3軸L3轉動時，第3連桿43之動作軌跡(即，第3連桿43所通過之三維區域)於俯視時一部分與第1連桿41及第2連桿42重疊。

因此，藉由間隔件49，以第3連桿43之動作軌跡不會與第1連桿41發生干涉之方式，將第2連桿42與第3連桿43於上下方向Z上隔開。換言之，當第2連桿42相對於第1連桿41繞第2軸L2轉動時，以第2連桿42及第3連桿43之動作軌跡不會與第1連桿41發生干涉之方式，且，當第3連桿43相對於第2連桿42繞第3軸L3轉動時，以第3連桿43之動作軌跡不會與第1連桿41及第2連桿42發生干涉之方式，規定間隔件49之上下方向Z之尺寸。

另外，本實施形態之水平多關節機器人1中，第1連桿41能夠繞第1軸L1轉動360度。雖然第2連桿42能夠相對於第1連桿41繞第2軸L2轉動，但為了避免升降軸40與第2連桿42之干涉而限制第2連桿42之轉動範圍。而且，第3連桿43能夠繞第3軸轉動360度。

如以上般說明般，本實施形態之水平多關節機器人1具備第 1連桿41、基端部連結於第1連桿41之前端部之下之第2連桿42、基端部連結於第2連桿42之前端部之上之第3連桿43、以及配置於第1連桿41及第3連桿43中之一連桿與第2連桿42之連結部之間隔件。另外，第1連桿41、第2連桿42及第3連桿43均為沿水平方向延伸之連桿構件，本實施形態中係將第3連桿43、第1連桿41、及第2連桿42按照該順序自上向下排列。

上述水平多關節機器人1中，以第3連桿43之動作軌跡不會與第1連桿41發生干涉之方式，藉由間隔件49將第2連桿42與所連結之第1連桿41和第3連桿43中之一連桿上下隔開。本實施形態中，間隔件49配置於第2連桿42與第3連桿43之連結部，將第2連桿42與第3連桿43於上下方向Z上隔開。

上述水平多關節機器人1中，與將第1連桿41、第2連桿42及第3連桿43自下向上依序排列之情形相比，可降低第3連桿43之前端部(即，機器人臂4之手腕部)之能夠接近之高度。即，於將第1連桿41、第2連桿42及第3連桿43自下向上依序排列之情形時，與2連桿之機器人臂相比較，機器人臂4之手腕部之接近範圍向上方移動了相當於第3連桿43之高度之量，本申請案發明中可避免該情況。由此，既存之基板處理設備100中，無須對製程裝置92等既存之周邊機器施加變更，可代替既存之2連桿之機器人臂而導入本實施形態之水平多關節機器人1。

而且，上述水平多關節機器人1中，因機器人臂4具有第1連桿41、第2連桿42及第3連桿43之3連桿，故手腕部之水平方向之行程(stroke)較之2連桿之機器人臂而長了1個連桿量。由此，實施形態之 水平多關節機器人1適合作為如基板移載裝置90般在細長(即，深度淺而寬度寬之)作業區域中進行作業之機器人。

上述實施形態之水平多關節機器人1進一步具備基端部連結於第3連桿43之前端部之上末端效應器5。

由此，末端效應器5之動作軌跡不與第3連桿43及第2連桿42之動作軌跡重複。由此，可避免末端效應器5與第2連桿42及第3連桿43之干涉。

尤其，本實施形態之水平多關節機器人1中，第3連桿43較其他連桿41、42而位於上方，因而連結於第3連桿43之前端部之上之末端效應器5之動作不會被其他2個連桿41、42所妨礙。

以上對本發明之較佳之實施形態進行了說明，但上述構成例如可如以下般變更。

水平多關節機器人1之連桿之連結構成不限定於上述實施形態。即，第2連桿42之基端部連結於第1連桿41之前端部之上下一方，第3連桿43之基端部連結於第2連桿42之前端部之上下另一方即可。而且，於第1連桿41及第3連桿43中之一連桿與第2連桿42之連結部設置有間隔件49即可。

例如，圖4所示之變形例1之水平多關節機器人1A中，第2連桿42之基端部連結於第1連桿41之前端部之上，第3連桿43之基端部連結於第2連桿42之前端部之下，末端效應器5連結於第3連桿之前端部之下。而且，於將第1連桿41之前端部與第2連桿42之基端部連結之第2關節J2，設置有將第1連桿41與第2連桿於上下方向Z上隔開之間隔件 49。

上述構成之水平多關節機器人1A中，第3連桿43之長邊方向之尺寸與第2連桿42之長邊方向之尺寸實質相等或更長，第1連桿41之長邊方向之尺寸較第2連桿42及第3連桿43之長邊方向之尺寸稍小。而且，第3連桿長度與第2連桿長度實質相等或更長，第1連桿長度較第2連桿長度及第3連桿長度稍短。於如此般規定了各連桿41、42、43之長邊方向尺寸之水平多關節機器人1A中，當第2連桿42相對於第1連桿41繞第2軸L2轉動時，第2連桿42及第3連桿43之動作軌跡於俯視時一部分與第1連桿41重疊。而且，當第3連桿43相對於第2連桿42繞第3軸L3轉動時，第3連桿43之動作軌跡於俯視時一部分與第1連桿41及第2連桿42重疊。

因此，藉由間隔件49，將第1連桿41與第2連桿42於上下方向Z上隔開。間隔件49之上下方向Z之尺寸以如下方式而決定，即，當第2連桿42相對於第1連桿41繞第2軸L2轉動時，第2連桿42及第3連桿43之動作軌跡不會與第1連桿41發生干涉，且，當第3連桿43相對於第2連桿42繞第3軸L3轉動時，第3連桿43之動作軌跡不會與第1連桿41及第2連桿42發生干涉。

另外，變形例1之水平多關節機器人1A中，第1連桿41能夠繞第1軸L1轉動360度。第2連桿42能夠相對於第1連桿41繞第2軸L2轉動。而且，第3連桿43能夠繞第3軸轉動，但為了避免間隔件49與第3連桿43之干涉而限制第3連桿43之轉動範圍。

如上述般，變形例1之水平多關節機器人1A中，第2連桿 42、第3連桿43及第1連桿41按照該順序自上向下排列。由此，當假定由第1連桿41與第3連桿43構成之2連桿之比較用機器人臂時，可使水平多關節機器人1A之第3連桿43之前端部(即，機器人臂4之手腕部)之上下方向Z之位置下降至與該比較用機器人臂之手腕部之上下方向Z之位置實質相同之位置。

而且，例如，圖5所示之變形例2之水平多關節機器人1B中，第2連桿42之基端部連結於第1連桿41之前端部之下，第3連桿43之基端部連結於第2連桿42之前端部之上，末端效應器5連結於第3連桿之前端部之上。於將第1連桿41之前端部與第2連桿42之基端部連結之第2關節J2，設置有將第1連桿41與第2連桿42於上下方向Z上隔開之間隔件49。

上述構成之水平多關節機器人1B中，第3連桿43之長邊方向之尺寸與第2連桿42之長邊方向之尺寸實質相等或更長，第1連桿41之長邊方向之尺寸較第2連桿42及第3連桿43之長邊方向之尺寸稍小。而且，第3連桿長度與第2連桿長度實質相等或更長，第1連桿長度較第2連桿長度及第3連桿長度稍短。於如此般規定了各連桿41、42、43之長邊方向尺寸之水平多關節機器人1B中，當第2連桿42相對於第1連桿41繞第2軸L2轉動時，第2連桿42及第3連桿43之動作軌跡於俯視時一部分與第1連桿41重疊。而且，當第3連桿43相對於第2連桿42繞第3軸L3轉動時，第3連桿43之動作軌跡於俯視時一部分與第1連桿41及第2連桿42重疊。

因此，藉由間隔件49，將第1連桿41與第2連桿42於上下 方向Z上隔開。間隔件49之上下方向Z之尺寸以如下方式而決定，即，當第2連桿42相對於第1連桿41繞第2軸L2轉動時，第2連桿42及第3連桿43之動作軌跡不會與第1連桿41發生干涉，且，當第3連桿43相對於第2連桿42繞第3軸L3轉動時，第3連桿43之動作軌跡不會與第1連桿41及第2連桿42發生干涉。

另外，變形例2之水平多關節機器人1B中，第1連桿41能夠繞第1軸L1轉動360度。第2連桿42能夠相對於第1連桿41繞第2軸L2轉動，但為了避免與升降軸40之干涉而限制第2連桿42之轉動範圍。而且，第3連桿43能夠繞第3軸轉動，但為了避免間隔件49與第3連桿43之干涉而限制第3連桿43之轉動範圍。

如上述般，變形例2之水平多關節機器人1B中，第1連桿41、第3連桿43及第2連桿42按照該順序自上向下排列。由此，可使水平多關節機器人1B之第3連桿43之前端部(即，機器人臂4之手腕部)之上下方向Z之位置下降至第1連桿41之上下方向Z之位置或較其更低之位置。

而且，例如，圖6所示之變形例3之水平多關節機器人1C中，第2連桿42之基端部連結於第1連桿41之前端部之上，第3連桿43之基端部連結於第2連桿42之前端部之下，末端效應器5連結於第3連桿之前端部之下。於將第2連桿42之前端部與第3連桿43之基端部連結之第3關節J3，設置有將第2連桿42與第3連桿43於上下方向Z上隔開之間隔件49。

上述構成之水平多關節機器人1C中，第3連桿43之長邊方 向之尺寸與第2連桿42之長邊方向之尺寸實質相等或更長，第1連桿41之長邊方向之尺寸較第2連桿42及第3連桿43之長邊方向之尺寸稍小。而且，第3連桿長度與第2連桿長度實質相等或更長，第1連桿長度較第2連桿長度及第3連桿長度稍短。於如此般規定了各連桿41、42、43之長邊方向尺寸之水平多關節機器人1C中，當第2連桿42相對於第1連桿41繞第2軸L2轉動時，第2連桿42及第3連桿43之動作軌跡於俯視時一部分與第1連桿41重疊。而且，當第3連桿43相對於第2連桿42繞第3軸L3轉動時，第3連桿43之動作軌跡於俯視時一部分與第1連桿41及第2連桿42重疊。

因此，藉由間隔件49，將第3連桿43與第2連桿42於上下方向Z上隔開。間隔件49之上下方向Z之尺寸以如下方式而決定，即，當第2連桿42相對於第1連桿41繞第2軸L2轉動時，第2連桿42及第3連桿43之動作軌跡不會與第1連桿41發生干涉，且，當第3連桿43相對於第2連桿42繞第3軸L3轉動時，第3連桿43之動作軌跡不會與第1連桿41及第2連桿42發生干涉。

另外，變形例3之水平多關節機器人1C中，第1連桿41能夠繞第1軸L1轉動360度。第2連桿42能夠相對於第1連桿41繞第2軸L2轉動，但為了避免間隔件49與第1連桿41之干涉而限制第2連桿42之轉動範圍。而且，第3連桿43能夠繞第3轉動，但為了避免末端效應器5與升降軸40之干涉而限制第3連桿43之轉動範圍。

如上述般，變形例3之水平多關節機器人1C中，將第2連桿42、第1連桿41、及第3連桿43按照該順序自上向下排列。由此，可使 水平多關節機器人1C之第3連桿43之前端部(即，機器人臂4之手腕部)之上下方向Z之位置下降至第1連桿41之上下方向Z之位置或較其更低之位置。

以上，對本發明之實施形態(及其變形例)進行了說明，但對於業者而言，當然知曉本發明之許多改良或其他實施形態。因此，上述說明僅應作為例示而解釋，提供之目的在於教導業者執行本發明之最佳形態。可不脫離本發明之精神而實質變更其構造及/或功能之詳細情況。

Claims (6)

1. 一種水平多關節機器人，具備：第1連桿；第2連桿，基端部連結於上述第1連桿之前端部之上下一方；第3連桿，基端部連結於上述第2連桿之前端部之上下另一方；間隔件，配置於上述第1連桿及上述第3連桿中之一連桿與上述第2連桿之連結部，以上述第3連桿之動作軌跡不與上述第1連桿發生干涉之方式，使上述第2連桿與上述一連桿上下隔開；以及末端效應器，以動作軌跡不與上述第1連桿及上述第2連桿發生干涉之方式，其基端部連結於上述第3連桿之前端部之上述上下另一方。
2. 如申請專利範圍第1項之水平多關節機器人，其中，上述間隔件具有中空軸形狀。
3. 如申請專利範圍第1或2項之水平多關節機器人，其中，上述第3連桿、上述第1連桿及上述第2連桿按照該順序自上向下排列，於上述第2連桿與上述第3連桿之連結部之上下間設置有上述間隔件。
4. 如申請專利範圍第1或2項之水平多關節機器人，其中，上述第2連桿、上述第3連桿、及上述第1連桿按照該順序自上向下排列，於上述第1連桿與上述第2連桿之連結部之上下間設置有上述間隔件。
5. 如申請專利範圍第1或2項之水平多關節機器人，其中，上述第1連桿、上述第3連桿、及上述第2連桿按照該順序自上向下排列，於上述第1連桿與上述第2連桿之連結部之上下間設置有上述間隔 件。
6. 如申請專利範圍第1或2項之水平多關節機器人，其中，上述第2連桿、上述第1連桿及上述第3連桿按照該順序自上向下排列，於上述第2連桿與上述第3連桿之連結部之上下間設置有上述間隔件。