空氣調和裝置
本發明係關於空氣調和裝置。
半導體製造設備之無塵室之室內溫度通常係藉由空氣調和裝置而嚴格地進行管理。例如，於設置有進行光阻劑之塗布及顯影之裝置(塗布機等)之無塵室中，有要求將室內溫度控制為目標溫度之+0.05℃至-0.05℃之誤差範圍內之情形。作為可與此種無塵室對應之空氣調和裝置，自先前提出有各種裝置(例如、參照專利文獻1)。 [先前技術文獻] [專利文獻] [專利文獻1]日本專利特開2013-108652號公報
[發明所欲解決之問題] 然而，於此種空氣調和裝置中，通常，使用溫度範圍與溫度控制範圍已確定，若納入之空氣為使用溫度範圍內之溫度，則可將該空氣控制為溫度控制範圍內之期望之設定溫度而以特定之風量供給。然而，近來，於較多地域，報告有眾多頻繁發生由大寒潮或大熱浪等之產生所致之環境溫度之顯著變動，伴隨於此而空氣調和裝置之控制變得不穩定之不佳狀況。 如上所述之環境溫度之顯著變動有使空氣調和裝置納入之空氣顯著變動之情形，有產生使空氣調和裝置之冷凍能力或加熱能力急遽地較大變化之必要性之情形。此種冷凍能力或加熱能力之急遽變化可能成為使上述不佳狀況產生之要因之一。又，於產生使冷凍能力或加熱能力急遽地較大變化之必要性之情形時，亦可能產生空氣調和裝置無法充分地追隨期望之冷凍能力或加熱能力，而不得不停止其運轉之狀況。又，於因環境溫度之顯著變動而由空氣調和裝置納入之空氣偏離使用溫度範圍之情形時，基本上無法將納入之空氣控制為期望之溫度。 此處，作為對於如上所述之環境溫度之顯著變動之對策，考慮例如擴大空氣調和裝置之冷凍能力及加熱能力之範圍且提高冷凍能力及加熱能力之變化時之應答性。然而，由於此種對策有伴隨著冷凍能力或加熱能力之擴大或性能提高而使裝置非期望地大型化，或運轉所需之能量非期望地增加之虞，故不能說一定良好。 本發明係考慮此種實情而完成者，目的在於提供一種空氣調和裝置，其即使於環境溫度顯著變動之情形時，亦可將作為溫度控制對象之空氣以穩定之狀態且快速地控制為期望之溫度，且，可一方面確保此種較佳之控制性能，一方面抑制裝置整體非期望地大型化，或用以運轉之能量非期望地增加。 [解決問題之技術手段] 本發明係一種空氣調和裝置，其特徵在於具備：空氣流通路徑，其具有納入外部空氣之納入口及噴出自上述納入口納入之空氣之噴出口；送風機，其使空氣自上述納入口朝向上述噴出口流通；冷卻部，其係收納於上述空氣流通路徑內，以可變之冷凍能力冷卻自上述納入口納入之空氣；加熱部，其係收納於上述空氣流通路徑內，以可變之加熱能力加熱自上述納入口納入之空氣；及返回流路，其自上述冷卻部之下游側且上述加熱部之下游側之位置延伸至上述冷卻部之上游側且上述加熱部之上游側之位置；且經由上述返回流路供給至上述冷卻部之上游側且上述加熱部之上游側之位置之空氣與由上述納入口納入之前之外部空氣或由上述納入口納入之後之外部空氣合流。 根據本發明，可藉由返回流路，將通過冷卻部及加熱部之空氣之一部分供給至冷卻部之上游側且加熱部之上游側之位置，使其與由空氣流通路徑之納入口納入之前之空氣或由納入口納入之後之空氣合流。藉此，即使於根據環境溫度之顯著變動而由納入口納入之外部空氣之溫度較大地變動之情形時，該外部空氣藉由與經溫度控制之來自返回流路之空氣合流，其溫度亦接近於應被溫度控制之溫度。因此，即使根據外部空氣之溫度之較大變動而使冷凍能力或加熱能力急遽地較大變化，亦易於將與來自返回流路之空氣合流之外部空氣控制為期望之溫度。因此，即使於環境溫度顯著變動之情形時，亦可將作為溫度控制對象之空氣以穩定之狀態且快速地控制為特定之溫度，且，可一方面確保此種較佳之控制性能，一方面抑制裝置整體非期望地大型化，或用以運轉之能量非期望地增加。 又，根據本發明，藉由利用返回流路調節返回至上游側之空氣之風量，可一面將送風機之風量設定為某一定之值，一面變更未藉由返回流路返回而自噴出口對溫度控制對象空間噴出之空氣之風量。因此，若於空氣調和裝置中確保將送風機之風量設為某一定之值時之溫度控制之可靠性，則即使於根據要求將自噴出口噴出至溫度控制對象空間之空氣之風量變更為各種模式之情形時，亦可於各模式中確保溫度控制之可靠性。藉此，可根據所要求之空氣之風量，將空氣調和裝置快速地調整為可確保較佳之控制性能之狀態，故亦可於出貨前後之兩者有效地活用空氣調和裝置。 又，於本發明之空氣調和裝置中，亦可於上述返回流路內設置調節流經上述返回流路之空氣之風量之風量調節用阻尼器。 於該情形時，藉由調節風量調節用阻尼器，可靈活地設定與設想之環境溫度之變動相應之來自返回流路之空氣之較佳之返回量，可謀求控制之穩定性與有效之運轉相對於環境溫度之變動之平衡。 例如於由納入口納入之外部空氣之溫度較大變化之情形時，來自返回流路之空氣之返回量較大時，納入之外部空氣更為接近應被溫度控制之溫度。因此，於設想外部空氣之溫度較大變化之情形時，調節風量調節用阻尼器而增大來自返回流路之空氣之返回量，藉此可進行使相對於環境溫度之變動之控制之穩定性提高之設定。又，於設想外部空氣之溫度未較大變化之情形時，調節風量調節用阻尼器而減小來自返回流路之空氣之返回量，藉此可進行用以自噴出口向溫度控制對象空間有效地供給空氣之設定。 又，上述風量調節用阻尼器亦可以手動及自動調節流經上述返回流路之空氣之風量。 又，上述送風機亦可變更風量。 於該情形時，藉由可變更送風機之風量且可利用風量調節用阻尼器而調節流經返回流路之空氣之風量，可一面確保由使用者要求之自噴出口向溫度控制對象空間之空氣之風量，一面靈活地設定來自返回流路之空氣之返回量。藉此，可擴大空氣調和裝置之適用範圍，可極大地提高易用性。 又，亦可為於上述納入口連接有用以使外部空氣流通之納入流路，於上述納入流路設置有過濾器裝置，於上述納入流路之上述過濾器裝置之下游側之位置連通有上述返回流路。 於該情形時，來自返回流路之空氣不會受到通過過濾器裝置時所產生之壓力損失地被供給至納入流路內，故與通過過濾器裝置之外部空氣順利地合流，而抑制於送風機之輸出產生變動，藉此可提高溫度控制之穩定性。又，來自返回流路之空氣為已通過過濾器裝置之空氣，故亦不會產生污染問題。 又，於上述空氣流通路徑內，設置有將上述空氣流通路徑之一部分一分為二之分隔構件，藉由上述分隔構件而將上述空氣流通路徑之一部分區劃為第1流路與第2流路，於上述第1流路設置有上述冷卻部，設置有調節上述第1流路及上述第2流路之開度之流量調節阻尼器，以上游側溫度感測器檢測與來自上述返回流路之空氣合流之由上述納入口納入之前之空氣或由上述納入口納入之後之空氣之溫度，上述流量調節阻尼器藉由根據上述上游側溫度感測器檢測出之溫度進行控制，而調節上述第1流路及上述第2流路之開度。 於該情形時，根據與來自返回流路之空氣合流之由納入口納入前之空氣或由納入口納入後之空氣之溫度，可調節賦予至合流後之空氣之冷凍能力，藉此可將該空氣有效地控制為期望之溫度。 [發明之效果] 根據本發明，即使於環境溫度顯著變動之情形時，亦可將作為溫度控制對象之空氣以穩定之狀態且快速地控制為期望之溫度，且，可一方面確保此種較佳之控制性能，一方面抑制裝置整體非期望地大型化，或用以運轉之能量非期望地增加。
以下，參照附加圖式而詳細地說明本發明之各實施形態。 (第1實施形態) 圖1係本發明之第1實施形態之空氣調和裝置1之概略圖。本實施形態之空氣調和裝置1係用於例如對進行光阻劑之塗布及顯影之裝置供給經溫度控制之空氣，而將裝置內溫度維持為一定。 如圖1所示，該空氣調和裝置1具備：空氣流通路徑30，其具有納入該裝置外部之空氣之納入口31及噴出自納入口31納入之空氣之噴出口32；送風機60，其使空氣自納入口31朝向噴出口32流通；冷卻部2，其係收納於空氣流通路徑30內，以可變之冷凍能力冷卻自納入口31納入之空氣；加熱部4，其係收納於空氣流通路徑30內，以可變之加熱能力加熱自納入口31納入之空氣；返回流路100，其自冷卻部2之下游側且加熱部4之下游側之位置延伸至冷卻部2之上游側且加熱部4之上游側之位置；及控制單元50，其控制冷卻部2之冷凍能力或加熱部4之加熱能力等。 於空氣流通路徑30內，冷卻部2配置於加熱部4之上游側，於加熱部4之下游側進而設置有加濕裝置70。加濕裝置70係與控制單元50電性連接，且可藉由控制單元50之控制，以可變之加濕量將自納入口31納入之空氣進行加濕。又，於本實施形態中，送風機60係於空氣流通路徑30內設置於加濕裝置70之下游側。送風機60係構成為可變更風量，但於空氣調和裝置1之驅動時，送風機60以輸出基本上一定之風量之方式驅動。另，於本實施形態中，將冷卻部2配置於加熱部4之上游側，但亦可將冷卻部2配置於加熱部4之下游側。又，送風機60之位置亦可為與圖示之例不同之位置。 於空氣流通路徑30之納入口31，連接有用以使外部空氣朝向納入口31流通之納入流路312，於納入流路312設置有過濾器裝置313。 於本實施形態中，藉由送風機60之驅動，外部空氣自過濾器裝置313流經納入流路312，且自納入口31流入至空氣流通路徑30內。上述過濾器裝置313係作為一例而為化學過濾器，但亦可為HEPA(High Efficiency Particulate Air：高效微粒空氣)過濾器或ULPA(Ultra Low Penetration Air：超低穿透率空氣)過濾器，亦可包含化學過濾器與HEPA過濾器或ULPA過濾器。 於噴出口32，連接有用以使經溫度控制之空氣朝向使用區域U流通之供給流路322，此處，使用區域U係指例如進行光阻劑之塗布及顯影之裝置(塗布機等)之內部空間等。於圖示之例中，於噴出口32內設置有溫度感測器41與濕度感測器42，該等溫度感測器41及濕度感測器42檢測通過冷卻部2、加熱部4及加濕裝置70之空氣之溫度或濕度。溫度感測器41及濕度感測器42將檢測出之溫度或濕度輸出至控制單元50，與此相應，控制單元50基於溫度感測器41檢測出之溫度而控制冷卻部2及加熱部4，且基於濕度感測器42檢測出之濕度而控制加濕裝置70。另，於圖1中，為了便於圖示，遠離噴出口32而顯示溫度感測器41及濕度感測器42，但溫度感測器41及濕度感測器42係以可檢測通過噴出口32之空氣之溫度或濕度之任意態樣配置。 返回流路100係於本實施形態中，以跨及納入流路312與供給流路322之方式設置，返回流路100之下游側之端部係與納入流路312之過濾器裝置313之下游側之位置連通。於返回流路100內，設置有調節流通返回流路100之空氣之風量之風量調節用阻尼器101，本實施形態之風量調節用阻尼器101可以手動及自動調節流經返回流路100之空氣之風量。 藉由於打開上述風量調節用阻尼器101之狀態下驅動送風機60，而於本實施形態中，經由返回流路100供給至冷卻部2之上游側且加熱部4之上游側之位置之空氣係與由納入口31納入之前之外部空氣合流。此處，空氣調和裝置1較佳構成為藉由風量調節用阻尼器101等之調節，可使送風機60輸出之風量之0%～90%之風量之空氣返回至冷卻部2之上游側且加熱部4之上游側之位置，更佳構成為可使0%～100%之風量之空氣返回。另，於使100%之風量之空氣返回之情形時，除風量調節用阻尼器101外，還需要調節供給流路322之流路面積之機構。 又，於本實施形態中，如上所述，返回流路100之下游側之端部係與納入流路312之過濾器裝置313之下游側之位置連通，但返回流路100之下游側之端部亦可與納入流路312之過濾器裝置313之上游側之位置連通。又，返回流路100之下游側之端部亦可與納入口31之下游側之位置連通。於該情形時，經由返回流路100供給至冷卻部2之上游側且加熱部4之上游側之位置之空氣係與由納入口31納入之後之外部空氣合流。 其次對冷卻部2及加熱部4進行說明。若首先對冷卻部2進行說明，則本實施形態之冷卻部2係如圖1所示，由第1冷卻單元10之冷卻盤管14、與第2冷卻單元20之冷卻盤管24構成。於本實施形態中，包含冷卻盤管14之第1冷卻單元10係將以可變運轉頻率運轉且可調節旋轉數之壓縮機11、冷凝器12、膨脹閥13、及冷卻盤管14以使熱媒循環之方式依序藉由配管15連接而構成，包含冷卻盤管24之第2冷卻單元20係將以可變運轉頻率運轉且可調節旋轉數之壓縮機21、冷凝器22、膨脹閥23、及冷卻盤管24以使熱媒循環之方式依序藉由配管25連接而構成。 於該等第1及第2冷卻單元10、20中，壓縮機11、21將自冷卻盤管14、24流出之低溫且低壓之氣體狀態之熱媒進行壓縮，而作為高溫且高壓之氣體之狀態供給至冷凝器12、22。壓縮機11、21係以可變運轉頻率運轉且可根據運轉頻率調節旋轉數之變頻壓縮機。於壓縮機11、21中，運轉頻率越高，對冷凝器12、22供給更多之熱媒。作為壓縮機11，較佳為採用一體地具有變頻器與馬達之渦捲型壓縮機。然而，若可藉由變頻器之運轉頻率之調節而調節旋轉數從而調節熱媒之供給量(流量)，則壓縮機11、21之形式並非特別限定。 又，冷凝器12、22係藉由冷卻水將經壓縮機11、21壓縮之熱媒冷卻且冷凝，而作為特定之冷卻溫度之高壓液體之狀態供給至膨脹閥13、23。對於冷凝器12、22之冷卻水，可使用水，亦可使用其他冷媒。又，膨脹閥13、23係藉由使自冷凝器12、22供給之熱媒膨脹而使其減壓，而作為低溫且低壓之氣液混合狀態供給至冷卻盤管14、24。冷卻盤管14、24係使供給之熱媒與溫度控制對象之空氣進行熱交換而冷卻空氣。與空氣進行熱交換之熱媒成為低溫且低壓之氣體之狀態而自冷卻盤管14、24流出並再次由壓縮機11、21壓縮。 於如以上之各冷卻單元10、20中，藉由使壓縮機11、21之運轉頻率變化而調節旋轉數，可調節供給至冷凝器12、22之熱媒之供給量，且可調節膨脹閥13、23之開度，藉此可調節供給至冷卻盤管14、24之熱媒之供給量。藉由此種調節而使冷凍能力可變。另，於本實施形態中，出於使控制之穩定性提高之目的，以固定之頻率運轉第1冷卻單元10之壓縮機11。於實施此種運轉之情形時，壓縮機11可為以固定頻率運轉之壓縮機，於該情形時，可降低製造成本。 又，若對冷卻部2之配置態樣進行詳述，則於本實施形態中，如圖1所示，於空氣流通路徑30內，設置有將空氣流通路徑30之一部分沿著空氣之流束延伸而一分為二之分隔構件200，藉由分隔構件200而將空氣流通路徑30之一部分區劃為第1流路30A與第2流路30B。且於第1流路30A設置有冷卻部2。又，於分隔構件200之下游側之端部，設置有調節第1流路30A及第2流路30B之開度之流量調節阻尼器201。另一方面，於納入口31內，設置有上游側溫度感測器44，上游側溫度感測器44檢測與來自返回流路100之空氣合流之由納入口31納入後之空氣之溫度。此處，本實施形態之流量調節阻尼器201可藉由根據上游側溫度感測器44檢測出之溫度由控制單元50控制，而調節第1流路30A及第2流路30B之開度。 若接著對加熱部4進行說明，則本實施形態之加熱部4具有如下之構造：使第1冷卻單元10之自壓縮機11朝向冷凝器12流出之熱媒之一部分分支，且以經由加熱盤管16及設置於其下游側之加熱量調節閥18而於壓縮機11之下游側流入至冷凝器12之方式返回。 詳細而言，加熱盤管16具有熱媒入口與熱媒出口，熱媒入口、及壓縮機11與冷凝器12之間之配管之上游側係藉由另一配管連接，熱媒出口、及壓縮機11與冷凝器12之間之配管之下游側係進而藉由另一配管連接。且，於自熱媒出口延伸之配管，設置有加熱量調節閥18。藉此，加熱部4可使自壓縮機11朝向冷凝器12流出之熱媒之一部分分支，且以經由加熱盤管16及加熱量調節閥18流入至冷凝器12之方式返回。 於該加熱部4中，將由壓縮機11壓縮之高溫且高壓之氣體狀態之熱媒供給至加熱盤管16。加熱盤管16係使供給之熱媒與溫度控制對象之空氣進行熱交換而加熱空氣。然後，與空氣進行熱交換之熱媒係自加熱盤管16返回至壓縮機11與冷凝器12之間之配管。 此處，加熱量調節閥18可藉由調節來自加熱盤管16之熱媒之返回量，而變更加熱盤管16之加熱能力。熱媒之返回量越多，加熱能力越增加。此種加熱部4之加熱能力可根據壓縮機11之運轉頻率及/或加熱量調節閥18之開度而調節。 其次，對本實施形態之空氣調和裝置1之動作進行說明。於本實施形態之空氣調和裝置1中，自溫度控制對象之納入口31納入之空氣係藉由冷卻部2冷卻，藉由加熱部4加熱，且朝向預先設定之目標溫度而控制。 於運轉本實施形態之空氣調和裝置1時，首先於控制單元50中納入目標溫度與目標濕度。又，藉由驅動送風機60，空氣流通路徑30內之空氣流動至噴出口32側，藉此自空氣流通路徑30之納入口31納入溫度控制對象之空氣。再者，亦驅動各冷卻單元10、20之壓縮機11、21。又，以相對於送風機60輸出之風量的特定比例之風量之空氣自返回流路100返回至冷卻部2之上游側且加熱部4之上游側之位置之方式，調節風量調節用阻尼器101之開度。 若如上述般驅動送風機60等，則自空氣流通路徑30之納入口31納入之空氣於以上游側溫度感測器44檢測出溫度後，首先，通過冷卻部2(第1流路30A)及/或第2流路30B，其後，通過加熱部4。其後，該空氣係於藉由加濕裝置70加濕後，自噴出口32噴出，且一部分到達使用區域U，另一部分返回至冷卻部2之上游側且加熱部4之上游側之位置。此處，通過噴出口32之空氣係藉由溫度感測器41檢測溫度，藉由濕度感測器42檢測濕度。然後，溫度感測器41將檢測出之溫度輸出至控制單元50，濕度感測器42將檢測出之濕度輸出至控制單元50。 然後，控制單元50基於溫度感測器41檢測出之溫度與目標溫度之差分，控制加熱量調節閥18之開度、第1冷卻單元10之膨脹閥13之開度、第2冷卻單元20之膨脹閥23之開度、及壓縮機21之運轉頻率，且以輸出與上述差分相應之加熱能力及冷凍能力之方式進行控制。又，控制單元50亦基於濕度感測器42檢測出之濕度與目標濕度之差分，控制加濕裝置70之加濕能力。 於此種運轉時，於本實施形態之空氣調和裝置1中，可藉由返回流路100，將通過冷卻部2及加熱部4之空氣之一部分供給至冷卻部2之上游側且加熱部4之上游側之位置，使其與由空氣流通路徑30之納入口31納入前之空氣合流。藉此，即使於根據環境溫度之顯著變動而由納入口31納入之外部空氣之溫度較大變動之情形時，該外部空氣藉由與經溫度控制之來自返回流路100之空氣合流，其溫度亦接近於應被溫度控制之溫度。即，產生對於環境變動之影響之影響緩和效果。因此，即使不根據外部空氣之溫度之較大變動而使冷凍能力或加熱能力急遽地較大變化，亦可容易地將與來自返回流路100之空氣合流之外部空氣控制為期望之溫度。 一面參照圖2至圖6，一面說明空氣調和裝置1之對於環境變動之影響之影響緩和效果(環境變動減少效果)。圖2係顯示環境變動條件之一例之圖表，橫軸表示時間，縱軸表示溫度，顯示自納入口31納入之外部空氣(開放空氣)之與時間相應之溫度之變動。於圖2之圖表中，顯示22℃之外部空氣之溫度於5分鐘內上升1℃(1.0℃/5 min)，於10分鐘後成為24℃之環境條件。圖3至圖6顯示與藉由返回流路100返回之空氣(返回空氣)之風量相應之表示對於圖2所示之環境變動條件之影響之影響緩和效果的圖表。於圖3至圖6之例中，與返回空氣混合之外部空氣係藉由返回空氣之混合，抑制流入至冷卻部2及加熱部4之前之狀態之環境變動之影響所致之溫度變化，其後，於通過冷卻部2及加熱部4時，控制為23℃。 於圖3中，顯示以使相對於送風機60輸出之風量之10%之風量之空氣返回至冷卻部2之上游側且加熱部4之上游側之位置之方式調節風量調節用阻尼器101之開度之情形時(返回率10%)之混合之空氣之溫度變化。於圖3中，成為溫度控制對象之經混合之空氣(混合空氣)之溫度於開放空氣之溫度成為24℃之10分鐘後之峰值時，成為約23.9℃。混合空氣之溫度之變動比例成為5分鐘內0.9℃(0.9℃/5 min)。 於圖4中，顯示以使相對於送風機60輸出之風量之30%之風量之空氣返回至冷卻部2之上游側且加熱部4之上游側之位置之方式調節風量調節用阻尼器101之開度之情形時(返回率30%)之混合之空氣之溫度變化。於圖4中，成為溫度控制對象之經混合之空氣(混合空氣)之溫度於開放空氣之溫度成為24℃之10分鐘後之峰值時，成為約23.7℃。混合空氣之溫度之變動比例成為5分鐘內0.7℃(0.7℃/5 min)。 於圖5中，顯示以使相對於送風機60輸出之風量之60%之風量之空氣返回至冷卻部2之上游側且加熱部4之上游側之位置之方式調節風量調節用阻尼器101之開度之情形時(返回率60%)之混合之空氣之溫度變化。於圖5中，成為溫度控制對象之經混合之空氣(混合空氣)之溫度於開放空氣之溫度成為24℃之10分鐘後之峰值時，成為約23.4℃。混合空氣之溫度之變動比例成為5分鐘內0.4℃(0.4℃/5 min)。 於圖6中，顯示以使相對於送風機60輸出之風量之90%之風量之空氣返回至冷卻部2之上游側且加熱部4之上游側之位置之方式調節風量調節用阻尼器101之開度之情形時(返回率90%)之混合之空氣之溫度變化。於圖6中，成為溫度控制對象之經混合之空氣(混合空氣)之溫度於開放空氣之溫度成為24℃之10分鐘後之峰值時，成為約23.1℃。混合空氣之溫度之變動比例成為5分鐘內0.1℃(0.1℃/5 min)。 如以上之圖3～圖6之圖表所示般，於本實施形態之空氣調和裝置1中，即使於根據環境溫度之顯著變動而由納入口31納入之外部空氣之溫度較大地變動之情形時，該外部空氣藉由與經溫度控制之來自返回流路100之空氣合流，其溫度亦接近於應被溫度控制之溫度。藉此，可易於將與來自返回流路100之空氣合流之外部空氣控制為期望之溫度。 因此，根據本實施形態之空氣調和裝置1，即使於環境溫度顯著變動之情形時，亦可以穩定之狀態且快速地將溫度控制對象之空氣控制為期望之溫度，且，可一方面確保此種較佳之控制性能，一方面抑制裝置整體非期望地大型化，或用以運轉之能量非期望地增加。 又，根據本實施形態之空氣調和裝置1，藉由利用返回流路100調節返回至上游側之空氣之風量，可一面將送風機60之風量設定為某一定之值，一面變更未藉由返回流路100返回而自噴出口32噴出至溫度控制對象空間(使用區域U)之空氣之風量。因此，若於空氣調和裝置1中確保將送風機60之風量設為某一定之值時之溫度控制之可靠性，則即使於根據要求將自噴出口32噴出至溫度控制對象空間之空氣之風量變更為各種模式之情形時，亦可於各模式中確保溫度控制之可靠性。藉此，可根據所要求之空氣之風量，將空氣調和裝置1快速地調整為可確保較佳之控制性能之狀態，故亦可於出貨前後之兩者有效地活用空氣調和裝置1。 又，於返回流路100內，設置有調節流經返回流路100之空氣之風量之風量調節用阻尼器101。藉此，藉由調節風量調節用阻尼器101，可靈活地設定與設想之環境溫度之變動相應之來自返回流路100之空氣之較佳之返回量，可謀求控制之穩定性與有效之運轉相對於環境溫度之變動之平衡。例如於由納入口31納入之外部空氣之溫度較大變化之情形時，來自返回流路100之空氣之返回量較大時，納入之外部空氣更為接近應被溫度控制之溫度。因此，於設想外部空氣之溫度較大變化之情形時，調節風量調節用阻尼器101而增大來自返回流路100之空氣之返回量，藉此可進行使相對於環境溫度之變動之控制之穩定性提高之設定。又，於設想外部空氣之溫度未較大變化之情形時，調節風量調節用阻尼器101而減小來自返回流路100之空氣之返回量，藉此可進行用以自噴出口32向溫度控制對象空間有效地供給空氣之設定。 又，送風機60可變更風量。藉此，可變更送風機60之風量且可利用風量調節用阻尼器101而調節流經返回流路100之空氣之風量，藉此可一面確保由使用者要求之自噴出口32向溫度控制對象空間之空氣之風量，一面靈活地設定來自返回流路100之空氣之返回量。藉此，可擴大空氣調和裝置1之適用範圍，可極大地提高易用性。 又，於納入口31連接有用以使外部之空氣流經之納入流路312，於納入流路312設置有過濾器裝置313。且，於納入流路312之過濾器裝置313之下游側之位置，連通有返回流路100。藉此，來自返回流路100之空氣不會受到通過過濾器裝置313時所產生之壓力損失地被供給至納入流路312內，故與通過過濾器裝置313之外部空氣順利地合流，而抑制於送風機60之輸出產生變動，藉此可提高溫度控制之穩定性。又，來自返回流路100之空氣為已通過過濾器裝置313之空氣，故亦不會產生污染問題。 又，於空氣流通路徑30內，設置有將空氣流通路徑30之一部分一分為二之分隔構件200，藉由分隔構件200而將空氣流通路徑30之一部分區劃為第1流路30A與第2流路30B，且於第1流路30A設置有冷卻部2。又，設置有調節第1流路30A及第2流路30B之開度之流量調節阻尼器201。又，以上游側溫度感測器44檢測與來自返回流路100之空氣合流之由納入口31納入後之空氣之溫度，且流量調節阻尼器201係藉由根據上游側溫度感測器44檢測出之溫度進行控制，而調節第1流路30A及第2流路30B之開度。藉此，根據與來自返回流路100之空氣合流之由納入口31納入後之空氣之溫度，可調節賦予至合流後之空氣之冷凍能力，藉此可將該空氣有效地控制為期望之溫度。 (第2實施形態) 其次，一面參照圖7一面對本發明之第2實施形態之空氣調和裝置1'進行說明。對本實施形態之構成部分中之與第1實施形態之構成部分相同者標注相同之符號並省略說明。 如圖7所示，於第2實施形態之空氣調和裝置1'中，未設置有以第1實施形態說明之第2冷卻單元20。於該空氣調和裝置1'中，藉由調節第1冷卻單元10之壓縮機11之頻率與膨脹閥13之開度，而靈活地調節冷凍能力。其他構成係與第1實施形態相同。 藉由此種第2實施形態之空氣調和裝置1'，於環境溫度顯著變動之情形時，亦可將作為溫度控制對象之空氣以穩定之狀態且快速地控制為期望之溫度，且，可一方面確保此種較佳之控制性能，一方面抑制裝置整體非期望地大型化，或用以運轉之能量非期望地增加。 以上，對本發明之一實施形態進行說明，但本發明並非限定於上述實施形態。例如，冷卻部2及加熱部4之數量並非限定於上述各實施形態之態樣。
1 空氣調和裝置 1' 空氣調和裝置 2 冷卻部 4 加熱部 10 第1冷卻單元 11 壓縮機 12 冷凝器 13 膨脹閥 14 冷卻盤管 15 配管 16 加熱盤管 18 加熱量調節閥 20 第2冷卻單元 21 壓縮機 22 冷凝器 23 膨脹閥 24 冷卻盤管 25 配管 30 空氣流通路徑 30A 第1流路 30B 第2流路 31 納入口 32 噴出口 41 溫度感測器 42 濕度感測器 44 上游側溫度感測器 50 控制單元 60 送風機 70 加濕裝置 100 返回流路 101 風量調節用阻尼器 200 分隔構件 201 流量調節阻尼器 312 納入流路 313 過濾器裝置 322 供給流路 U 使用區域
圖1係本發明之第1實施形態之空氣調和裝置之概略圖。 圖2係顯示用於說明圖1所示之空氣調和裝置之對於環境變動之影響之影響緩和效果的表示環境變動條件之一例之圖表之圖。 圖3係顯示用以說明圖1所示之空氣調和裝置之對於環境變動之影響之影響緩和效果之圖表之圖。 圖4係顯示用以說明圖1所示之空氣調和裝置之對於環境變動之影響之影響緩和效果之圖表之圖。 圖5係顯示用以說明圖1所示之空氣調和裝置之對於環境變動之影響之影響緩和效果之圖表之圖。 圖6係顯示用以說明圖1所示之空氣調和裝置之對於環境變動之影響之影響緩和效果之圖表之圖。 圖7係本發明之第2實施形態之空氣調和裝置之概略圖。