TWI610867B - 天花板設置型之物品搬送設備 - Google Patents

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Description

天花板設置型之物品搬送設備 發明領域
本發明係有關於一種天花板設置型之物品搬送設備。
發明背景
天花板設置型之物品搬送設備係設置在例如無塵室，用於搬送作為對象物品之收納半導體基板等基板之收納容器。此外，在此類物品搬送設備，於行進路徑設置分歧部和合流部，使物品搬送車以各種形態行進。舉例而言，設置自環狀行進路徑分歧，經過對基板進行多種處理之多數基板處理裝置之搬出入部之後，再次合流於環狀行進路徑之U字形行進路徑等，以及於行進路徑設置分歧部和合流部，並使物品搬送車行進。
一般而言，物品搬送車係包含有可升降(自由升降)之物品把持部，當對基板處理裝置之搬出入部移運物品時，會以停止在對應基板處理裝置之搬出入部之處之狀態，使物品把持部升降。
日本專利公開公報2002-37059號(專利文獻1) 揭示一種天花板設置型之物品搬送設備，係於行進路徑設置具有直進路徑與向左右之一方側分歧之分歧路徑之兩向分歧部者。例如，亦可利用與前述兩向分歧部結構相同之結構，於行進路徑設置具有直進路徑與自左右之一方側合流之合流路之兩向合流部。
發明概要
在天花板設置型之物品搬送設備中，若設在行進路徑之分歧部是兩向分歧部，且設在行進路徑之合流部是兩向合流部，則當設定用以使物品搬送車行進之行進路徑之佈置時，該設定就會有所限制。
例如，在行進路徑之分歧部，若可向左右兩側分歧，便可較少限制地進行行進路徑之佈置設定。同樣地，在行進路徑之合流部，若可自左右兩側合流，便可較少限制地進行行進路徑之佈置設定。因此，如專利文獻1所揭示之天花板設置型之物品搬送設備須得再行改善。
即，期望提供一種可較少限制地進行行進路徑之佈置設定之天花板設置型之物品搬送設備。
本發明之天花板設置型之物品搬送設備之第1特徵結構，係在於包含有：物品搬送車，係具有行進部，及位於前述行進部之下方之物品固持部，且於前述行進部之前後兩側處，分別具有左右行進輪者；及 導軌，係沿前述物品搬送車之行進路徑配設，前述導軌係以軌道寬向相距間隔之狀態具有左右一對軌道部，且前述左右一對軌道部具有供前述行進輪行進之行進面，前述導軌具有：將前述行進路徑在該行進路徑延伸之方向，自上游側行進路徑朝下游側行進路徑分歧成三向之三向分歧部；及，以自前述三向分歧部分別分歧延伸之狀態設置之直進路徑、左側分歧路、右側分歧路，前述直進路徑，係構造成沿前述直進路徑配設之前述左右一對軌道部，不與沿前述三向分歧部之前述上游側行進路徑配設之前述左右一對軌道部連結，而於路徑長向相距預定直進軌道間隔之狀態，前述左側分歧路，係構造成沿前述左側分歧路配設之前述左右一對軌道部中之左方軌道部，與前述上游側行進路徑之前述左右一對軌道部中之左方軌道部連結之狀態，前述右側分歧路，係構造成沿前述右側分歧路配設之前述左右一對軌道部中之右方軌道部，與前述上游側行進路徑之前述左右一對軌道部中之右方軌道部連結之狀態，前述物品搬送車具有：裝設於前述行進部之較前述行進輪上方側處之路徑切換用之被導引體；及，將導引前述被導引體之狀態加以切換之行進方向切換機構，前述物品搬送設備更包含有：上部導軌，係承接前述被導引體者；及，輔助承接機構，係在前述三向分歧部承接支持在前述上游側行進路徑之前述左右一對軌道部與前 述直進路徑之前述左右一對軌道部之間行進之前述物品搬送車者，前述上部導軌係以設有以下導引面之狀態設置：左分歧用導引面，係用以切換成使前述物品搬送車沿前述左側分歧路分歧行進之左分歧行進狀態者；右分歧用導引面，係用以切換成使前述物品搬送車沿前述右側分歧路分歧行進之右分歧行進狀態者；及，非分歧用導引面，係用以切換成使前述物品搬送車直進行進之非分歧行進狀態者，前述行進方向切換機構構造成可將導引前述被導引體之狀態切換為：前述被導引體藉由前述左分歧用導引面導引之左分歧導引狀態；前述被導引體藉由前述右分歧用導引面導引之右分歧導引狀態；及，前述被導引體藉由前述非分歧用導引面導引之非分歧導引狀態，前述左分歧用導引面，係設成在抑制前述左分歧行進狀態之前述物品搬送車朝右側傾斜之狀態，承接前述被導引體，前述右分歧用導引面，係設成在抑制前述右分歧行進狀態之前述物品搬送車朝左側傾斜之狀態，承接前述被導引體，前述輔助承接機構，係設成承接支持在前述非分歧行進狀態，於前述上游側行進路徑之前述左右一對軌道部與前述直進路徑之前述左右一對軌道部之間行進之前述物品搬送車。
本發明之天花板設置型之物品搬送設備之第2特 徵結構，係在於包含有：物品搬送車，係具有行進部及位於前述行進部之下方之物品固持部，且於前述行進部之前後兩側處，分別具有左右行進輪；及導軌，係沿前述物品搬送車之行進路徑配設，前述導軌係以軌道寬向相距間隔之狀態具有左右一對軌道部，且前述左右一對軌道部具有供前述行進輪行進之行進面，前述導軌設有：將前述行進路徑在該行進路徑延伸之方向，自上游側行進路徑朝下游側行進路徑從三向合流之三向合流部；及，以與前述三向合流部分別連接之狀態設置之直進合流路、左側合流路、右側合流路，前述直進合流路，係構造成沿前述直進合流路配設之前述左右一對軌道部，不與沿前述三向合流部之前述下游側行進路徑配設之前述左右一對軌道部連結，而呈於路徑長向相距預定直進軌道間隔之狀態，前述左側合流路，係構造成沿前述左側合流路配設之前述左右一對軌道部中之左方軌道部，與前述下游側行進路徑之前述左右一對軌道部中之左方軌道部連結之狀態，前述右側合流路，係構造成沿前述右側合流路配設之前述左右一對軌道部中之右方軌道部，與前述下游側行進路徑之前述左右一對軌道部中之右方軌道部連結之狀態，前述物品搬送車具有：裝設於前述行進部之較前述行進輪上方側處之合流用之被導引體；及，將導引前述被導 引體之狀態加以切換之合流狀態切換機構，前述物品搬送設備更包含有：合流用上部導軌，係承接前述被導引體者；及，合流用輔助承接機構，係在前述三向合流部承接支持在前述直進合流路之前述左右一對軌道部與前述下游側行進路徑之前述左右一對軌道部之間行進之前述物品搬送車者，前述合流用上部導軌係以設有以下導引面之狀態設置：左合流用導引面，係使前述物品搬送車自前述左側合流路合流至前述下游側行進路徑者；右合流用導引面，係使前述物品搬送車自前述右側合流路合流至前述下游側行進路徑者；及，直進合流用導引面，係使前述物品搬送車自前述直進合流路合流至前述下游側行進路徑者，前述合流狀態切換機構構造成可切換為：前述被導引體藉由前述左合流用導引面導引之左合流導引狀態；前述被導引體藉由前述右合流用導引面導引之右合流導引狀態；及，前述被導引體藉由前述直進合流用導引面導引之直進合流導引狀態，前述左合流用導引面，係設成在抑制自前述左側合流路合流至前述下游側行進路徑部分之左合流行進狀態之前述物品搬送車朝右側傾斜之狀態，承接前述被導引體，前述右合流用導引面，係設成在抑制自前述右側合流路合流至前述下游側行進路徑部分之右合流行進狀態之前述物品搬送車朝左側傾斜之狀態，承接前述被導引體，前述合流用輔助承接機構，係設成承接支持在自前述 直進合流路合流至前述下游側行進路徑之直進合流行進狀態，於前述直進合流路之前述左右一對軌道部與前述下游側行進路徑部分之前述左右一對軌道部之間行進之前述物品搬送車。
依前述第1特徵結構，可在三向分歧部使物品搬送車以非分歧行進狀態直進行進，還可使物品搬送車以左分歧行進狀態分歧行進，及以右分歧行進狀態分歧行進。又，依前述第2特徵結構，可在三向合流部使物品搬送車以自直進合流路合流至下游側行進路徑之直進合流行進狀態行進，亦可使物品搬送車以自左側合流路合流至下游側行進路徑之左合流行進狀態行進，及使物品搬送車以自右側合流路合流至下游側行進路徑之右合流行進狀態行進。
即，使物品搬送車在行經行進路徑之三向分歧部時，藉由行進方向切換機構切換成左分歧導引狀態；右分歧導引狀態；及非分歧導引狀態，便可使物品搬送車在三向分歧部左分歧行進；右分歧行進；及直進行進。又，當物品搬送車於直進合流路行進時，切換成被導引體藉由直進合流用導引面導引之直進合流導引狀態，當物品搬送車於左側合流路行進時，切換成被導引體藉由左合流用導引面導引之左合流導引狀態，當物品搬送車於右側合流路行進時，切換成被導引體藉由右合流用導引面導引之右合流導引狀態，如此可使物品搬送車以直進合流行進狀態；左合流行進狀態；及右合流行進狀態行進。
此外，物品搬送車之行進部係沿著沿行進路徑配 設之導軌行進者。另，由於導軌具有於軌道寬向相距間隔之狀態之左右一對軌道部，所以使物品搬送車沿導軌行進，並且將左右一對軌道部之間之空間，作為於行進部以懸吊物品固持部之狀態加以支持支持部，或者，供物品固持部之上方部分插通之空間利用。
因此，物品搬送車在行進路徑之三向分歧部，不論是當以非分歧行進狀態直進行進時；以左分歧行進狀態分歧行進時；及以右分歧行進狀態分歧行進時之其中任一種狀態時，均必須確保於行進部以懸吊物品固持部之狀態加以支持之支持部，或者，供物品固持部之上方部分插通之空間。同樣地，物品搬送車在行進路徑之三向合流部，不論是當以直進合流行進狀態行進時；以左合流行進狀態行進時；及以右合流行進狀態行進時之其中任一種狀態時，均必須確保於行進部以懸吊物品固持部之狀態加以支持之支持部，或者，供物品固持部之上方部分插通之空間。
依前述第1特徵結構，直進路徑之左右一對軌道部與上游側行進路徑之左右一對軌道部之間之空間，當於上游側行進路徑行進之物品搬送車沿左側分歧路徑分歧行進時，和於上游側行進路徑行進之物品搬送車沿右側分歧路徑分歧行進時，係發揮作為於行進部以懸吊物品固持部之狀態加以支持之支持部，或者，供物品固持部之上方部分插通之空間之功能。當然，直進路徑之左右一對軌道部與上游側行進路徑之間之空間，當物品搬送車直進行進時，係發揮作為於行進部以懸吊物品固持部之狀態加以支 持之支持部，或者，供物品固持部之上方部分插通之空間之功能。
依第2特徵結構，直進合流路之左右一對軌道部與下游側行進路徑之左右一對軌道部之間之空間，當物品搬送車以左合流行進狀態行進時，和於當物品搬送車以右合流行進狀態行進時，係發揮作為於行進部以懸吊物品固持部之狀態加以支持之支持部，或者，供物品固持部之上方部分插通之空間之功能。當然，直進合流路之左右一對軌道部與下游側行進路徑之間之空間，當物品搬送車以直進合流行進狀態行進時，係發揮作為於行進部以懸吊物品固持部之狀態加以支持之支持部，或者，供物品固持部之上方部分插通之空間之功能。
如前述，依第1特徵結構，雖然在三向分歧部，無法藉由導軌之左右軌道部承接支持物品搬送車之行進部之左右行進輪，但可使物品搬送車保持於適當狀態。同樣地，依第2特徵結構，雖然在三向合流部，無法藉由導軌之左右軌道部承接支持物品搬送車之行進部之左右行進輪，但可使物品搬送車保持於適當狀態。
例如，當於上游側行進路徑行進之物品搬送車沿左側分歧路分歧行進時，雖然行進部之左右行進輪之中之左方行進輪維持載置於軌道部之行進面之狀態，但行進部之左右行進輪之中之右方行進輪變成不由軌道部承接之浮上狀態，所以物品搬送車會朝右側傾斜。同樣地，當於左側合流路行進之物品搬送車以左合流行進狀態行進時，雖 然行進部之左右行進輪之中之左方行進輪維持載置於軌道部之行進面之狀態，但行進部之左右行進輪之中之右方行進輪變成不由軌道部承接之浮上狀態，所以物品搬送車會朝右側傾斜。
對應於前述，依第1特徵結構，左分歧用導引面設成在抑制前述左分歧行進狀態之物品搬送車朝右側傾斜之狀態，承接前述被導引體。因此，當於上游側行進路徑行進之物品搬送車沿左側分歧路分歧行進時，若行進部之左右行進輪之中之左方行進輪是載置於軌道部之行進面之狀態，且行進部之左右行進輪之中之右方行進輪變成不由軌道部承接之浮上狀態時，可抑制物品搬送車朝右側傾斜之狀況。又，依第2特徵結構，左合流用導引面設成在抑制左合流行進狀態之物品搬送車朝右側傾斜之狀態，承接前述被導引體。因此，當物品搬送車以左合流行進狀態行進時，若行進部之左右行進輪之中之左方行進輪是載置於軌道部之行進面之狀態，且行進部之左右行進輪之中之右方行進輪變成不由軌道部承接之浮上狀態時，可抑制物品搬送車朝右側傾斜之狀況。
與前述朝左向之分歧及來自左向之合流同樣地，當於上游側行進路徑行進之物品搬送車沿右側分歧路分歧行進時，雖然行進部之左右行進輪之中之右方行進輪維持載置於軌道部之行進面之狀態，但行進部之左右行進輪之中之左方行進輪變成不由軌道部承接之浮上狀態，所以物品搬送車會朝左側傾斜。同樣地，當於右側合流路行 進之物品搬送車以右合流行進狀態行進時，雖然行進部之左右行進輪之中之右方行進輪維持載置於軌道部之行進面之狀態，但行進部之左右行進輪之中之左方行進輪變成不由軌道部承接之浮上狀態，所以物品搬送車會朝左側傾斜。
對應於前述，依第1特徵結構，右分歧用導引面設成在抑制右分歧行進狀態之物品搬送車朝左側傾斜之狀態，承接前述被導引體。因此，當於上游側行進路徑行進之物品搬送車沿右側分歧路分歧行進時，若行進部之左右行進輪之中之右方行進輪是載置於軌道部之行進面之狀態，且行進部之左右行進輪之中之左方行進輪變成不由軌道部承接之浮上狀態時，可抑制物品搬送車朝左側傾斜之狀況。又，依第2特徵結構，右合流用導引面設成在抑制右合流行進狀態之物品搬送車朝左側傾斜之狀態，承接前述被導引體。因此，當物品搬送車以右合流行進狀態行進時，若行進部之左右行進輪之中之右方行進輪是載置於軌道部之行進面之狀態，且行進部之左右行進輪之中之左方行進輪變成不由軌道部承接之浮上狀態時，可抑制物品搬送車朝左側傾斜之狀況。
另，在三向分歧部，於上游側行進路徑行進之物品搬送車直進行進時，若沒有藉由上游側行進路徑之左右一對軌道部之承接支持，則在直到藉由直進路徑之左右一對軌道部承接支持之期間，行進部之左右行進輪就成為浮上狀態。同樣地，在三向合流部，物品搬送車以直進合流行進狀態行進時，若沒有藉由直進合流路之左右一對軌道 部之承接支持，則在直到藉由下游側行進路徑之左右一對軌道部承接支持之期間，行進部之左右行進輪就成為浮上狀態。
對應於前述，依第1特徵結構，由於設有輔助承接機構，所以當於上游側行進路徑行進之物品搬送車以非分歧行進狀態直進行進時，即使行進部之左右行進輪不藉由上游側行進路徑之左右一對軌道部和直進路徑之左右一對軌道部承接支持，仍然可由輔助承接機構承接支持物品搬送車。又，依第2特徵結構，由於設有輔助承接機構，所以當物品搬送車以直進合流行進狀態行進時，即使行進部之左右行進輪不藉由直進合流路之左右一對軌道部和下游側路徑之左右一對軌道部承接支持，仍然可由輔助承接機構承接支持物品搬送車。
如前述，依第1特徵結構，由於可使物品搬送車在三向分歧部直進行進，還可使物品搬送車左分歧行進和右分歧行進，所以便可較少限制地進行行進路徑之佈置設定。又，依第2特徵結構，由於可使物品搬送車在三向合流部以自直進合流路合流至下游側行進路徑之直進合流行進狀態行進，以自左側合流路合流至下游側行進路徑之左合流行進狀態行進，及以自右側合流路合流至下游側行進路徑之右合流行進狀態行進，所以便可較少限制地進行行進路徑之佈置設定。
即，依第1及第2之特徵結構，可提供一種可較少限制地進行行進路徑之佈置設定之天花板設置型之物品搬 送設備。
本發明其中一較佳態樣，係前述物品搬送車於前述行進部之上方處更設有輔助車輪，且前述輔助車輪設成可切換於承接支持在前述三向分歧部之上方處所設之輔助導軌之被承接位置、與不承接在前述輔助導軌之退避位置，前述輔助承接機構構造成藉由前述輔助導軌承接前述輔助車輪，來於前述輔助導軌懸吊支持前述物品搬送車。又，較佳地，前述物品搬送車於前述行進部之上方處更設有輔助車輪，且前述輔助車輪設成可切換於承接支持在前述三向合流部之上方處所設之輔助導軌之被承接位置、與不承接在前述輔助導軌之退避位置，前述合流用輔助承接機構構造成藉由前述輔助導軌承接前述輔助車輪，來於前述輔助導軌懸吊支持前述物品搬送車。
即，當使於上游側行進路徑行進之物品搬送車直進行進時，將設於行進部之上方處之輔助車輪切換至被承接位置並由輔助導軌承接支持輔助車輪，藉此即使行進部之左右行進輪不由上游測行進路徑之左右一對軌道部和直進路徑之左右一對軌道部承接支持，依然可於輔助導軌懸吊支持物品搬送車。另一方面，當使於上游側行進路徑行進之物品搬送車左分歧行進時和右分歧行進時，將設於行進部之上方處之輔助車輪切換至退避位置，使得輔助車輪不由輔助導軌承接支持，藉此令物品搬送車左分歧行進時和右分歧行進時可在避開輔助導軌與輔助車輪之干擾之狀態下進行。
又，當使於直進合流路行進之物品搬送車以直進合流行進狀態行進時，將設於行進部之上方處之輔助車輪切換至被承接位置並由輔助導軌承接支持輔助車輪，藉此即使行進部之左右行進輪不由直進合流路之左右一對軌道部和下游側行進路徑之左右一對軌道部承接支持，依然可於輔助導軌懸吊支持物品搬送車。另一方面，當使於物品搬送車以左合流行進狀態和以右合流行進狀態行進時，將設於行進部之上方處之輔助車輪切換至退避位置，使得輔助車輪不由輔助導軌承接支持，藉此在使物品搬送車以左合流行進狀態和以右合流行進狀態行進時，可在避開輔助導軌與輔助車輪之干擾之狀態下進行。
此外，由於輔助承接機構係構造成藉由輔助導軌承接輔助車輪，來於輔助導軌懸吊支持物品搬送車之設備，所以易於達成設備整體結構之簡易化。
例如，作為輔助承接機構，有一提案係將承接行進部之左右行進輪之可動軌道設成可切換於承接作用位置與退避位置，而構成承接支持左右行進輪之設備。然而，若為此結構，當於行進路徑中設置多數三向分歧部和三向合流部時，就須在該等三向分歧部和三向合流部之各個，設置可動軌道及用以將該可動軌道切換於承接作用位置與退避位置之致動器，於是設備整體結構變得複雜。
不過，於行進路徑中之三向分歧部，以固定狀態設置輔助導軌，並於物品搬送車裝設可切換於被承接位置與退避位置之輔助車輪，藉此，即使於行進路徑中設置多 數三向分歧部，依然可於該等三向分歧部之各個，以固定狀態設置輔助導軌即可，也就易於達成設備整體結構之簡易化。同樣地，於行進路徑中之三向合流部，以固定狀態設置輔助導軌，並於物品搬送車裝設可切換於被承接位置與退避位置之輔助車輪，藉此，即使於行進路徑中設置多數三向合流部，依然可於該等三向合流部之各個，以固定狀態設置輔助導軌即可，也就易於達成設備整體結構之簡易化。
因此，可提供一種易於達成設備整體結構簡易化之天花板設置型之物品搬送設備。
本發明另一較佳態樣，係前述非分歧用導引面構造成自與前述上部導軌之延伸方向正交之截面觀看為朝上之傾斜面，且前述被導引體係由自前述截面觀看為繞與前述非分歧用導引面平行之旋轉軸心旋轉之輪體構成，且前述上部導軌構造成發揮作為前述輔助導軌之功能，且前述被導引體構造成發揮作為前述輔助車輪之功能。同樣地，前述直進合流用導引面構造成自與前述合流用上部導軌之延伸方向正交之截面觀看為朝上之傾斜面，且前述被導引體係由自前述截面觀看為繞與前述直進合流用導引面平行之旋轉軸心旋轉之輪體構成，且前述合流用上部導軌構造成發揮作為前述輔助導軌之功能，且前述被導引體構造成發揮作為前述輔助車輪之功能。
由於係切換物品搬送車之行進方向、使用用以使物品搬送車合流行進而設之上部導軌、被導引體作為輔助 承接機構之構成構件，所以可以達成物品搬送車之結構簡易化之形態來構成輔助承接機構。
因此，還可提供一種可以達成物品搬送車之結構簡易化之形態來構成輔助承接機構之天花板設置型之物品搬送設備。
又，本發明另一較佳態樣，係發揮作為前述輔助車輪之功能之前述被導引體構造成藉由朝與前述非分歧用導引面平行之前述旋轉軸心方向之移動，切換於前述被承接位置與前述退避位置。同樣地，另一較佳態樣，係發揮作為前述輔助車輪之功能之前述被導引體構造成藉由朝與前述直進合流用導引面平行之前述旋轉軸心方向之移動，切換於前述被承接位置與前述退避位置。
即，可使發揮作為輔助車輪之功能之被導引體，藉由朝與非分歧用導引面和直進合流用導引面平行之旋轉軸心方向移動，而切換於被承接位置與退避位置。
因此，例如，可妥善進行在使物品搬送車停止在三向分歧部和三向合流部之狀態下，為了維修等目的而將被導引體切換於被承接位置與退避位置等，良好地切換於被導引體於被承接位置與退避位置。另，當在使物品搬送車停止在三向分歧部和三向合流部之狀態下，被導引體切換於被承接位置與退避位置時，當然必須藉由其他設備承接支持物品搬送車。
藉前述結構，更可提供一種可妥善進行將被導引體切換於被承接位置與退避位置之天花板設置型之物品搬 送設備。
另，本發明再一較佳態樣，係前述直進軌道間隔設定為較車輪前後間隔短之長度，前述車輪前後間隔為前述物品搬送車之前述行進部所設之前述行進輪之前後方向之間隔。如此便可以簡單結構，妥善且確實地構成輔助承接機構。
1‧‧‧導軌
1a‧‧‧軌道部
1g‧‧‧導引面
1r‧‧‧行進面
2‧‧‧物品搬送車
3‧‧‧次行進路徑
4‧‧‧行進路徑
5A‧‧‧分歧連接路徑
5B‧‧‧合流連接路徑
6‧‧‧短路路徑
8‧‧‧行進軌道用支持體
9‧‧‧車體本體部
10‧‧‧行進部
10F‧‧‧前方行進部
10R‧‧‧後方行進部
11‧‧‧把持部
12‧‧‧連結軸
13‧‧‧驅動馬達
14‧‧‧行進輪
15‧‧‧導引輪
16‧‧‧第1輪體
16A‧‧‧支持軸
17‧‧‧第2輪體
18‧‧‧第3輪體
18A‧‧‧第1輪體部分
18B‧‧‧第2輪體部分
19‧‧‧筒體
20‧‧‧小齒輪
21‧‧‧可動軌道
21A‧‧‧致動器
21a‧‧‧軌道部分
23‧‧‧小型輪
24‧‧‧滑動軌道
B‧‧‧物品
DK‧‧‧上游側行進路徑
DL‧‧‧左側分歧路
DR‧‧‧右側分歧路
DS‧‧‧直進路徑
E‧‧‧輔助承接機構
E1‧‧‧上向面
E2‧‧‧橫向面
F‧‧‧合流用輔助承接機構
GJ‧‧‧下游側行進路徑
GL‧‧‧左側合流路
GR‧‧‧右側合流路
GS‧‧‧直進合流路
L‧‧‧行進軌道部
M‧‧‧分歧部
M3‧‧‧三向分歧部
N‧‧‧合流部
N3‧‧‧三向合流部
P‧‧‧物品處理部
R‧‧‧輪體
SL‧‧‧左分歧用導引面
SR‧‧‧右分歧用導引面
SS‧‧‧非分歧用導引面
TL‧‧‧左合流用導引面
TR‧‧‧右合流用導引面
TS‧‧‧直進合流用導引面
U‧‧‧上部導軌
UL‧‧‧左分歧用軌道
UR‧‧‧右分歧用軌道
US‧‧‧直進用軌道
W‧‧‧合流用上部導軌
WL‧‧‧左合流用軌道
WR‧‧‧右合流用軌道
WS‧‧‧直進合流用軌道
X1‧‧‧第1旋轉軸心
X2‧‧‧第2旋轉軸心
Y1‧‧‧右傾斜旋轉軸心
Y2‧‧‧左傾斜旋轉軸心
第1圖係天花板設置型之物品搬送設備之概略平面圖。
第2圖係物品搬送車之側面圖。
第3圖係物品搬送車之正面圖。
第4圖係第1實施形態之三向分歧部之平面圖。
第5圖係顯示物品搬送車在三向分歧部之直進行進狀態之正面圖。
第6圖係顯示物品搬送車在三向分歧部之右分歧行進狀態之正面圖。
第7圖係第1實施形態之三向分歧部之平面圖。
第8圖係顯示物品搬送車在三向合流部之直進合流行進狀態之正面圖。
第9圖係物品搬送車在三向合流部之右合流行進狀態之正面圖。
第10圖係顯示第2實施形態之上部導軌之正面縱截面圖。
第11圖係顯示第3實施形態之直進用導軌之正面縱截 面圖。
第12圖係第4實施形態之三向分歧部之平面圖。
第13圖係該同一形態之要部之立體圖。
第14圖係該同一形態之要部之正面圖。
第15圖係第5實施形態之三向分歧部之平面圖。
第16圖係第6實施形態之三向分歧部之平面圖。
第17圖係該同一形態之要部之正面圖。
第18圖係該同一形態之要部之立體圖。
用以實施發明之形態 〔第1實施形態〕
以下，配合圖式，說明本發明之天花板設置型之物品搬送設備之第1實施形態。如第2圖及第3圖所示，具有導軌1之行進軌道部L設在無塵室之天花板側，且設有沿行進軌道部L行進之多數物品搬送車2。在本實施形態，物品搬送車2構造成搬送作為物品B之收納著半導體基板之容器。
如第1圖所示，行進軌道部L設置狀態係形成有：多數環狀之次行進路徑3，係經過多數物品處理部P者；環狀之行進路徑4；分歧連接路徑5A，係使於行進路徑4行進之物品搬送車2分歧行進至次行進路徑3者；合流連接路徑5B，係使於次行進路徑3行進之物品搬送車2合流行進至行進路徑4者；及短路路徑6，係連接環狀之行進路徑4之左右一對直線狀路徑(路徑之一部分)者。此外，本實施形態中，環狀之次行進路徑3及環狀之行進路徑，係形成藉圓弧 狀路徑連接左右一對直線狀路徑之橢圓狀(田徑體育場之跑道形狀)。
物品搬送車2構造成進行：朝一方向行進並於行進路徑4和次行進路徑3循環行進；自行進路徑4分歧行進至次行進路徑3；自次行進路徑3合流行進至行進路徑4；及通過短路路徑6短路行進。另，第1圖中，以箭頭顯示物品搬送車2之行進方向。
即，本實施形態，各物品搬送車2如前所述，進行朝一方向行進並將自物品處理部P收取之物品B搬送至進行其他處理之物品處理部P之作業。另，雖未圖示，不過一般而言，在次行進路徑3和行進路徑4之一部分之處，設有暫時保管物品B之多數保管部。因此，各物品搬送車2亦進行將自物品處理部P收取之物品B搬送至保管部之作業，及將自保管部收取之物品B搬送至物品處理部P之作業。
第1圖中，分歧部M存在有於行進路徑4連接著分歧連接路徑5A之處，及於次行進路徑3連接著合流連接路徑5B之處，合流部N存在有於次行進路徑3連接著分歧連接路徑5A之處，及於行進路徑4連接著合流連接路徑5B之處。
此外，本實施形態中，短路路徑6設置狀態係連接分歧部M之中於行進路徑4連接著分歧連接路徑5A之分歧部M，與合流部N之中於行進路徑4連接著合流連接路徑5B之合流部N。因此，分歧部M之中之分歧有短路路徑6之分歧部M成為三向分歧部M3，合流部N之中有合流短路路徑6之合流部N成為三向合流部N3。
如第4圖所示，三向分歧部M3設置狀態係延伸有直進路徑DS、左側分歧路DL、及右側分歧路DR，在本實施形態中，直進路徑DS相當於行進路徑4，左側分歧路DL相當於分歧連接路徑5A，右側分歧路DR相當於短路路徑6。
如第7圖所示，三相合流部N3設置狀態係連接有直進合流路GS、左側合流路GL、及右側合流路GR，在本實施形態中，直進合流路GS相當於行進路徑4，左側合流路GL相當於合流連接路徑5B，右側合流路GR相當於短路路徑6。
接著，繼續說明各部之結構。行進軌道部L之導軌1，係配設成沿行進路徑4和次行進路徑3延伸，如第3圖所示，設置成藉行進軌道用支持體8懸吊於天花板部之狀態，且如第3圖及第4圖所示，構造成具有於軌道寬向相距間隔之狀態之左右一對軌道部1a。
另，以下說明中，物品搬送車2之寬向簡稱為車體寬向，物品搬送車2之前後寬向簡稱為車體前後寬向，物品搬送車2之上下寬向簡稱為車體上下寬向。
如第2圖及第3圖所示，物品搬送車2包含有：位於行進軌道部L之下方之車體本體部9；及沿行進軌道部L行進之行進部10，車體本體部9具有以懸吊狀態把持物品B之把持部11。行進部10具有前後排列之前方行進部10F及後方行進部10R，分別自該等前方行進部10F及後方行進部10R之下方延伸之上下方向延伸之連結軸12設成通過左右一對軌道部1a,1a之間並朝下方延伸之狀態。然後，車體本 體部9藉由連結軸12以可繞連結軸12之軸心相對旋轉(自由相對旋轉)之狀態懸吊支持於前方行進部10F及後方行進部10R之各個。
如第3圖所示，在前方行進部10F及後方行進部10R之各個，裝配有藉電動式驅動馬達13驅動旋轉，且呈行進於形成在左右一對軌道部1a,1a之各個上面之行進面1r之狀態之左右行進輪14，又，裝配有繞沿車體上下寬向之軸心(繞上下軸心)自由旋轉，且呈與形成在左右一對軌道部1a,1a之內方側之側面之導引面1g抵接之狀態之左右導引輪15。另，左右導引輪15以在台車前後方向排列之狀態分別各配二個在前方行進部10F及後方行進部10R之各個。
因此，物品搬送車2構造成：藉前方行進部10F及後方行進部10R之導引輪15由一對軌道部1a,1a導引，限制在車體寬向之位置，並藉前方行進部10F及後方行進部10R之行進輪14被驅動旋轉，而沿導軌1行進。又，物品搬送車2構造成：相對於車體本體部9，前方行進部10F及後方行進部10R繞連結軸12之軸心(繞沿車體上下寬向之軸心)彎曲，藉此亦可順暢地於行進路徑4之圓弧狀路徑和次行進路徑3之圓弧狀路徑等之圓弧狀路徑行進。
車體本體部9具有可升降操作(自由升降操作)且可旋動操作(自由旋動操作)之前述把持部11，而該其結構乃為周知，故本實施形態中省略其說明。此外，在物品搬送車2，設有控制前方行進部10F及後方行進部10R之行進作動、把持部11之升降作動及旋動作動等以控制物品搬送車2 之運轉之台車側控制部(未圖示)，當該台車側控制部藉無線通訊等，自管裡多數物品搬送車2之運行之設備管理用電腦，接收用以指定搬送源作業站及搬送目的地作業站之搬送指令時，進行將物品B從由該搬送指令指定之搬送源作業站搬送至搬送目的地作業站之搬送處理。
另，雖未圖示，不過在行進軌道部L，與左右一對軌道部1a,1a同樣地，設有狀態呈沿行進路徑4和次行進路徑3等延伸之用以對物品搬送車2供給驅動用電力之左右一對供電線，對應於此，在物品搬送車2之車體本體部9，設有由左右供電線以無接觸狀態供給驅動用電力之受電部(受電線圈)。此外，於供電線通電交流電流以產生磁場，藉由該磁場在受電部產生驅動用電力，進行以無接觸狀態對物品搬送車2供電。
接著，說明用以使物品搬送車2在分歧部M分歧行進且在合流部N合流行進之結構。另，朝兩向分歧之分歧部M，使用在三向分歧部M3用以使物品搬送車2分歧行進之一部分結構來分歧行進，且自兩向合流之合流部N，使用在三向合流部N3用以使物品搬送車2合流行進之一部分結構來合流行進，所以首先說明在三向分歧部M3用以使物品搬送車2分歧行進之結構，及在三向合流部N3用以使物品搬送車2合流行進之結構。
如第4圖所示，在三向分歧部M3，沿自該三向分歧部M3延伸之直進路徑DS配設之左右一對軌道部1a,1a，設置成相對於沿行進路徑4之三向分歧部M3之上游側行進 路徑DK配設之左右一對軌道部1a,1a，在路徑長向(行進路徑之直進延伸方向)為分離之狀態。另，沿直進路徑DS配設之左右一對軌道部1a,1a與沿上游側行進路徑DK配設之左右一對軌道部1a,1a之間間隔(直進軌道間隔)，係較前方行進部10F裝配之行進輪14與後方行進部10R裝配之行進輪14之間間隔(車輪前後間隔)小之間隔。
又，沿自三向分歧部M3延伸之左側分歧路DL配設之左右一對軌道部1a,1a之中之左方軌道部1a，設置成與上游側行進路徑DK之左右一對軌道部1a,1a之中之左方軌道部1a相連之狀態。另，在本實施形態，沿自三向分歧部M3延伸之左側分歧路DL配設之左右一對軌道部1a,1a之中之右方軌道部1a，設置成與沿直進路徑DS配設之左右一對軌道部1a,1a與之中之左方軌道部1a連接之狀態，不過亦可實施不進行該連接之形態。
又，沿自三向分歧部M3延伸之右側分歧路DR配設之左右一對軌道部1a,1a之中之右方軌道部1a，設置成與上游側行進路徑DK之左右一對軌道部1a,1a之中之右方軌道部1a相連之狀態。另，在本實施形態，沿自三向分歧部M3延伸之右側分歧路DR配設之左右一對軌道部1a,1a之中之左方軌道部1a，設置成與沿直進路徑DS配設之左右一對軌道部1a,1a與之中之右方軌道部1a連接之狀態，不過亦可實施不進行該連接之形態。
如第7圖所示，在三向合流部N3，沿與該三向合流部N3連接之直進合流路GS配設之左右一對軌道部 1a,1a，設置成相對於沿行進路徑4之三向合流部N3之下游側行進路徑GJ配設之左右一對軌道部1a,1a，在路徑長向(行進路徑之直進延伸方向)為分離之狀態。
又，沿與三向合流部N3連接之左側合流路GL配設之左右一對軌道部1a,1a之中之左方軌道部1a，設置成與下游側行進路徑GJ之左右一對軌道部1a,1a之中之左方軌道部1a相連之狀態。另，在本實施形態，沿與三向合流部N3連接之左側合流路GL配設之左右一對軌道部1a,1a之中之右方軌道部1a，設置成與沿直進合流路GS配設之左右一對軌道部1a,1a與之中之左方軌道部1a連接之狀態，不過亦可實施不進行該連接之形態。
又，沿與三向合流部N3連接之右側合流路GR配設之左右一對軌道部1a,1a之中之右方軌道部1a，設置成與下游側行進路徑GJ配設之左右一對軌道部1a,1a之中之右方軌道部1a相連之狀態。另，在本實施形態，沿與三向合流部N3連接之右側合流路GR配設之左右一對軌道部1a,1a之中之左方軌道部1a，設置成與沿直進合流路GS配設之左右一對軌道部1a,1a與之中之右方軌道部1a連接之狀態，不過亦可實施不進行該連接之形態。
如第2圖及第3圖所示，在較前方行進部10F及後方行進部10R之行進輪14上方側處裝設有輪體R，輪體R在分歧部M發揮作為路徑切換用之被導引體之功能，且在合流部N發揮作為合流用之被導引體之功能。
即，作為前述輪體R，在車體寬向排列設有：在 三向分歧部M3發揮作為左分歧用之功能，且在三向合流部N3發揮作為左合流用之功能之第1輪體16；在三向分歧部M3發揮作為右分歧用之功能，且在三向合流部N3發揮作為右合流用之功能之第2輪體17；及在三向分歧部M3發揮作為直進用之功能，且在三向合流部N3發揮作為直進流用之功能之左右一對第3輪體18。
換言之，在車體寬向排列設有第1輪體16、第2輪體17、及第3輪體18，其狀態為第1輪體16位於車體寬向之左方側，第2輪體17位於車體寬向之右方側，然後第3輪體18位於第1輪體16與2輪體17之間。
此外，第1輪體16設成可繞愈上方愈朝車體內方側傾斜之第1旋轉軸心X1旋轉(自由旋轉)且可沿該第1旋轉軸心X1升降操作，同樣地，第2輪體17設成可繞愈上方愈朝車體內方側傾斜之第2旋轉軸心X2旋轉且可沿該第2旋轉軸心X2升降操作。
又，一對第3輪體18之中之左方第3輪體18，設成可繞愈上方愈朝右方側傾斜之右傾斜旋轉軸心Y1旋轉且可沿該右傾斜旋轉軸心Y1升降操作，並且一對第3輪體18之中之右方第3輪體18，設成可繞愈上方愈朝左方側傾斜之左傾斜旋轉軸心Y2旋轉且可沿該左傾斜旋轉軸心Y2升降操作。
支持第1輪體16可沿第1旋轉軸心X1升降操作之結構，係第1輪體16之支持軸16A以可升降狀態***設在行進部10之筒體19，且藉由電動馬達(未圖示)驅動與形成在支持軸16A之齒條卡合之小齒輪20朝正方向及反方向移動。然 後，關於第2輪體17及第3輪體18，亦構造成藉由同樣結構作升降操作，故不再詳述。即，關於第2輪體17及第3輪體18，亦設成升降操作用之小齒輪20藉由電動馬達(未圖示)驅動朝正方向及反方向移動之狀態。
如第3圖及第4圖所示，在三向分歧部M3，設有由導軌1之天花板部支持之狀態之上部導軌U，該上部導軌U承接輪體R。在本實施形態，上部導軌U具有左分歧用軌道UL、右分歧用軌道UR、及直進用軌道US。即，左分歧用軌道UL配設在行進路徑4之左方側，右分歧用軌道UR配設在行進路徑4之右方側，直進用軌道US配設在左分歧用軌道UL與右分歧用軌道UR之間。
另，在此，說明在三向分歧部M3承接輪體R之軌道為上部導軌U，不過包括後述在三向合流部N3承接輪體R之軌道(合流用上部導軌W)亦可稱為“上部導軌”。即，標號“U”所表示之上部導軌為“分歧用上部軌道”，後述標號“W”所表示之上部導軌為“合流用上部軌道”，亦可統稱兩者為“上部導軌”。另，在此，說明在三向分歧部M3直進之上部導軌U為直進用軌道US，不過包括後述在三向合流部N3直進並合流之導軌(直進合流用軌道WS)亦可稱為“直進用軌道”。即，標號“US”所表示之上部導軌為“直進分歧用軌道”，後述標號“WS”所表示之上部導軌為“直進合流用軌道”，亦可統稱兩者為“直進用軌導”。
左分歧用軌道UL構造成平面視形狀為自上游側行進路徑DK沿左側分歧路DL彎曲狀延伸之形態。右分歧用 軌道UR構造成平面視形狀為自上游側行進路徑DK沿右側分歧路DR彎曲狀延伸之形態。直進用軌道US構造成平面視形狀為自上游側行進路徑DK沿直進路徑DS直線狀延伸之形態。又，如第3圖所示，直進用軌道US、左分歧用軌道UL、右分歧用軌道UR之各個，形成與沿延伸方向之方向正交之截面形狀為類二等邊三角形之形狀。因此，直進用軌道US、左分歧用軌道UL、右分歧用軌道UR之側面，自與沿上部導軌U延伸方向之方向正交之截面觀看(上部導軌U之長向觀看)為朝上之傾斜面。
又，左右之第3輪體18之右傾斜旋轉軸心Y1及左傾斜旋轉軸心Y2，構造成自與沿上部導軌U延伸方向之方向正交之截面觀看(上部導軌U之長向觀看)為與直進用軌道US之左右側面平行之狀態。同樣地，第1輪體16之第1旋轉軸心X1構造成與左分歧用軌道UL之側面平行之狀態，第2輪體17之第2旋轉軸心X2構造成與右分歧用軌道UR之側面平行之狀態。
此外，左分歧用軌道UL之左側之側面，構造成形成有用以切換成使物品搬送車2沿左側分歧路DL分歧行進之左分歧行進狀態之左分歧用導引面SL。又，右分歧用軌道UR之右側之側面，構造成形成有用以切換成使物品搬送車2沿右側分歧路DR分歧行進之右分歧行進狀態之右分歧用導引面SR。另外，直進用軌道US之左右之側面，構造成形成有用以切換成使物品搬送車2直進行進之非分歧行進狀態之非分歧用導引面SS。
因此，前方行進部10F及後方行進部10R之各個之第1輪體16，構造成藉著由電動馬達驅動朝正方向及反方向移動之小齒輪20進行升降操作，而切換於由左分歧用軌道UL之左分歧用導引面SL承接之被承接位置與不由該左分歧用導引面SL承接之退避位置。同樣地，第2輪體17構造成藉著由電動馬達驅動朝正方向及反方向移動之小齒輪20進行升降操作，而切換於由右分歧用軌道UR之右分歧用導引面SR承接之被承接位置與不由該右分歧用導引面SR承接之退避位置。
又，左右一對之第3輪體18構造成藉著由電動馬達驅動朝正方向及反方向移動之小齒輪20進行升降操作，而切換於由左右之非分歧用導引面SS承接之被承接位置與不由左右之非分歧用導引面SS承接之退避位置。
即，構造成可藉著將第1輪體16、第2輪體17及左右第3輪體18之其中之一切換至被承接位置，且將其餘輪體切換至退避位置，如此切換於第1輪體16藉由左分歧用導引面SL導引之左分歧導引狀態；第2輪體17藉由右分歧用導引面SR導引之右分歧導引狀態；及第3輪體18藉由非分歧用導引面SS導引之非分歧導引狀態。另，在本實施形態，可切換於左分歧導引狀態、右分歧導引狀態及非分歧導引狀態之行進方向切換機構(行進方向切換設備)構造成以可升降操作第1輪體16、第2輪體17及第3輪體18之小齒輪20為主要部分。
又，在本實施形態，左分歧用導引面SL構造成 在抑制左分歧行進狀態之物品搬送車2朝右側傾斜之狀態，承接第1輪體16。即，由於雖然前方行進部10F及後方行進部10R之各個之左右行進輪14之中之左側行進輪14載置於軌道部1a，但右側行進輪14未載置於軌道部1a，所以左分歧行進狀態之物品搬送車2會朝右側傾斜，而藉由左分歧用導引面SL承接第1輪體16，抑制左分歧行進狀態之物品搬送車2朝右側傾斜。
又，在本實施形態，右分歧用導引面SR構造成在抑制右分歧行進狀態之物品搬送車2朝左側傾斜之狀態，承接第2輪體17。即，雖然左右行進輪14之中之右側行進輪14載置於軌道部1a，但左側行進輪14未載置於軌道部1a，所以右分歧行進狀態之物品搬送車2會朝左側傾斜，而藉由右分歧用導引面SR承接第2輪體17，抑制右分歧行進狀態之物品搬送車2朝左側傾斜。
此外，在本實施形態，如第5圖所示設有輔助承接機構E(輔助承接設備)，係利用非分歧用導引面SS及左右一對之第3輪體18，承接支持在非分歧行進狀態於上游側行進路徑DK之左右一對軌道部1a,1a與直進路徑DS之左右一對軌道部1a,1a之間行進之物品搬送車2者。即，由於左右之非分歧用導引面SS如前述自上部導軌U之長向觀看為朝上之傾斜面，且左右之第3輪體18自上部導軌U之長向觀看為繞與非分歧用導引面SS平行之旋轉軸心旋轉之輪體，所以構造成在非分歧導引狀態，藉由上部導軌U之直進用軌道US承接左右之第3輪體18，來於上部導軌U之直進用軌道US 懸吊支持物品搬送車2。另，在此，係說明輔助承接機構E作為三向分歧部M3之機構，不過包括後述設在三向合流部N3之機構(合流用輔助承接機構F)亦可稱為“輔助承接機構”。即，標號“E”所表示之機構為“分歧用輔助承接機構”，後述標號“F”所表示之機構為“合流用輔助承接機構”亦可統稱兩者為“輔助承接機構”。
進一步說明，輔助承接機構E係藉由使左右之第三輪體18發揮作為裝設於行進部10之上方處之輔助車輪之功能，且使上部導軌U之直進用軌道US發揮作為設在三向分歧部M3之上方處之輔助導軌之功能，而由上部導軌U之直進用軌道US承接左右之第3輪體18，如此來構造成於上部導軌U之直進用軌道US懸吊支持物品搬送車2之機構(設備)。
如第7圖及第8圖所示，在三向合流部N3，設有由導軌1之天花板部支持之狀態之合流用上部導軌W，該合流用上部導軌W承接輪體R。在本實施形態，合流用上部導軌W具有左合流用軌道WL、右合流用軌道WR、及直進合流用軌道WS。即，左合流用軌道WL配設在行進路徑4之左方側，右合流用軌道WR配設在行進路徑4之右方側，直進合流用軌道WS配設在右合流用軌道WR與右合流用軌道WR之間。
左合流用軌道WL構造成平面視形狀為自左側合流路GL沿下游側行進路徑GJ彎曲狀延伸之形態。右合流用軌道WR構造成平面視形狀為自右側合流路GR沿下游側行 進路徑GJ彎曲狀延伸之形態。直進合流用軌道WS構造成平面視形狀為自直進合流路GS沿下游側行進路徑GJ直線狀延伸之形態。
如第8圖及第9圖所示，直進合流用軌道WS、左合流用軌道WL及右合流用軌道WR之各個，形成與沿延伸方向之方向正交之截面形狀為類二等邊三角形之形狀。因此，直進合流用軌道WS、左合流用軌道WL及右合流用軌道WR之側面，自與沿合流用上部導軌W延伸方向之方向正交之截面觀看(合流用上部導軌W之長向觀看)為朝上之傾斜面。
又，左右之第3輪體18之右傾斜旋轉軸心Y1及左傾斜旋轉軸心Y2，構造成自與沿合流用上部導軌W延伸方向之方向正交之截面觀看(合流用上部導軌W之長向觀看)為與直進合流用軌道WS之左右側面平行之狀態。同樣地，第1輪體16之第1旋轉軸心X1構造成與左合流用軌道WL之側面平行之狀態，第2輪體17之第2旋轉軸心X2構造成與右合流用軌道WR之側面平行之狀態。
此外，左合流用軌道WL之左側之側面，構造成形成有使物品搬送車2自左側合流路GL合流至下游側行進路徑GJ之左合流用導引面TL。又，右合流用軌道WR之右側之側面，構造成形成有使物品搬送車2自右側合流路GR合流至下游側行進路徑GJ之右合流用導引面TR。另外，直進合流用軌道WS之左右之側面，構造成形成有使物品搬送車2自直進合流路GS合流至下游側行進路徑GJ之直進合流 用導引面TS。
因此，第1輪體16，構造成藉著由電動馬達驅動朝正方向及反方向移動之小齒輪20進行升降操作，而切換於由左合流用軌道WL之左合流用導引面TL承接之被承接位置與不由該左合流用導引面TL承接之退避位置。同樣地，第2輪體17構造成藉著由電動馬達驅動朝正方向及反方向移動之小齒輪20進行升降操作，而切換於由右合流用軌道WR之右合流用導引面TR承接之被承接位置與不由該右合流用導引面TR承接之退避位置。
又，左右一對之第3輪體18構造成藉著由電動馬達驅動朝正方向及反方向移動之小齒輪20進行升降操作，而切換於由左右之直進合流用導引面TS承接之被承接位置與不由左右之直進合流用導引面TS承接之退避位置。
即，構造成可藉著將第1輪體16、第2輪體17及左右第3輪體18之其中之一切換至被承接位置，且將其餘輪體切換至退避位置，如此切換於第1輪體16藉由左合流用導引面TL導引之左合流導引狀態；第2輪體17藉由右合流用導引面TR導引之右合流導引狀態；及第3輪體18藉由直進合流用導引面TS導引之直進合流導引狀態。另，在本實施形態，可切換於左合流導引狀態、右合流導引狀態及直進合流導引狀態之合流狀態切換機構(合流狀態切換設備)構造成以可升降操作第1輪體16、第2輪體17及第3輪體18之小齒輪20為主要部分。
又，在本實施形態，左合流用導引面TL構造成 在抑制自左側合流路GL合流至下游側行進路徑GJ之物品搬送車2朝右側傾斜之狀態，承接第1輪體16。即，雖然左右行進輪14之中之左側行進輪14載置於軌道部1a，但右側行進輪14未載置於軌道部1a，所以左合流行進狀態之物品搬送車2會朝右側傾斜，而藉由左合流用導引面TL承接第1輪體16，抑制左合流行進狀態之物品搬送車2朝右側傾斜。
又，在本實施形態，右合流用導引面TR構造成在抑制自右側合流路GR合流至下游側行進路徑GJ之物品搬送車2朝左側傾斜之狀態，承接第2輪體17。即，雖然左右行進輪14之中之右側行進輪14載置於軌道部1a，但左側行進輪14未載置於軌道部1a，所以右合流行進狀態之物品搬送車2會朝左側傾斜，而藉由右合流用導引面TR承接第2輪體17，抑制右合流行進狀態之物品搬送車2朝左側傾斜。
此外，在本實施形態，設有合流用輔助承接機構F(合流用輔助承接設備)，係利用直進合流用導引面TS及左右一對之第3輪體18，承接支持在自直進合流路GS合流至下游側行進路徑GJ之直進合流狀態於直進合流路GS之左右一對軌道部1a,1a與下游側行進路徑GJ之左右一對軌道部1a,1a之間行進之物品搬送車2者。即，由於左右之直進合流用導引面TS如前述自合流用上部導軌W之長向觀看為朝上之傾斜面，且左右之第3輪體18自合流用上部導軌W之長向觀看為繞與直進合流用導引面TS平行之旋轉軸心旋轉之輪體，所以構造成在直進合流導引狀態，藉由合流用上部導軌W之直進合流用軌道WS承接左右之第3輪體18，來於合 流用上部導軌W之直進合流用軌道WS懸吊支持物品搬送車2。
進一步說明，合流用輔助承接機構F係藉由使左右之第三輪體18發揮作為裝設於行進部10之上方處之輔助車輪之功能，且使合流用上部導軌W之直進合流用軌道WS發揮作為設在三向合流部N3之上方處之輔助導軌之功能，而由合流用上部導軌W之直進合流用軌道WS承接左右之第3輪體18，如此來構造成於合流用上部導軌W之直進合流用軌道WS懸吊支持物品搬送車2之機構(設備)。
接著，說明於行進路徑4連接著分歧連接路徑5A之處之雙向之分歧部M，及於次行進路徑3連接著合流連接路徑5B之處之雙向之分歧部M。即，三向分歧部M3如前述包含有具有左分歧用軌道UL、右分歧用軌道UR、及直進用軌道US之上部導軌U。相對於此，在於行進路徑4連接著分歧連接路徑5A之處之雙向之分歧部M，設置具有左分歧用軌道UL及直進用軌道US之上部導軌U，且在於次行進路徑3連接著合流連接路徑5B之處之雙向之分歧部M，設置具有右分歧用軌道UR及直進用軌道US之上部導軌U。
又，在雙向之分歧部M，將導軌1之左右一對軌道部1a,1a之中，存在有左側分歧路DL或右側分歧路DR之分歧路側之軌道部1a，於分歧部M之形成處切斷，且將位於離開左側分歧路DL或右側分歧路DR之側之分歧路分離側之軌道部1a，於分歧部M之形成處亦連結成一列。然後，使左側分歧路DL或右側分歧路DR之左右一對軌道部 1a,1a，與左右一對軌道部1a,1a之中之分歧路側之軌道部1a連接。
因此，當直進行進時，由直進用軌道US承接導引第3輪體18，並且當分歧行進時，由左分歧用軌道UL或右分歧用軌道UR承接導引第1輪體16或第2輪體17。又，在雙向之分歧部M，左右一對軌道部1a,1a之中之分歧路分離側之軌道部1a，於分歧部M之形成處也設成連結成一列之狀態，所以當直進行進時，為抑制物品搬送車2朝分歧路側之軌道部1a所在之側傾斜，便切換成由直進用軌道US承接導引僅左右之第3輪體18之其中之一之狀態。
接下來，說明於次行進路徑3連接著分歧連接路徑5A之處之雙向之合流部N，及於行進路徑4連接著合流連接路徑5B之處之雙向之合流部N。即，三向合流部N3包含有具有左合流用軌道WL、右合流用軌道WR、及直進合流用軌道WS之合流用上部導軌W。相對於此，在於次行進路徑3連接著分歧連接路徑5A之處之雙向之合流部N，設置具有右合流用軌道WR及直進合流用軌道WS之合流用上部導軌W，且在於行進路徑4連接著合流連接路徑5B之處之雙向之合流部N，設置具有左合流用軌道WL及直進合流用軌道WS之合流用上部導軌W。
又，在雙向之合流部N，將導軌1之左右一對軌道部1a,1a之中，存在有左側合流路GL或右側合流路GR之合流路側之軌道部1a，於合流部N之形成處切斷，且將位於離開左側合流路GL或右側合流路GR之側之合流路分離側 之軌道部1a，於合流部N之形成處亦連結成一列。然後，使左側合流路GL或右側合流路GR之左右一對軌道部1a,1a，與左右一對軌道部1a,1a之中之合流路側之軌道部1a連接。
因此，當使物品搬送車2直進合流時，由直進合流用軌道WS承接導引第3輪體18，並且當使物品搬送車2左合流行進或右合流行進時，由左合流用軌道WL或右合流用軌道WR承接導引第1輪體16或第2輪體17。又，在雙向之合流部N，左右一對軌道部1a,1a之中之合流路側之軌道部1a，於合流部N之形成處也設成連結成一列之狀態，所以當直進合流時，為抑制物品搬送車2朝合流路側之軌道部1a所在之側傾斜，便切換成由直進合流用軌道WS承接導引僅左右之第3輪體18之其中之一之狀態。
如以上所述，本第一實施形態，藉由設置三向分歧部M3及三向合流部N3，當使物品搬送車2自搬送源行進至搬送目的地時，可將其行進路徑設定為較短路徑以效率優異地行進。
本實施形態，係顯示將左分歧用導引面SL及左合流用導引面TL形成為朝上之傾斜面，並使第1輪體16繞傾斜之軸心旋轉之例，不過亦可將左分歧用導引面SL及左合流用導引面TL形成為沿垂直方向之面，並使第1輪體16繞沿垂直方向之軸心旋轉。
同樣地，本實施形態，係顯示將右分歧用導引面SR及右合流用導引面TR形成為朝上之傾斜面，並使第2輪體17繞傾斜之軸心旋轉之例，不過亦可將右分歧用導引面 SR及右合流用導引面TR形成為沿垂直方向之面，並使第2輪體17繞沿垂直方向之軸心旋轉。
〔第2實施形態〕
接著，配合第10圖說明第2實施形態，該第2實施形態除上部導軌U及合流用上部導軌W之結構不同以外，其餘均與第1實施形態相同結構。因此，為省略重複之記載，僅就上部導軌U及合流用上部導軌W之結構作說明。
該第2實施形態中，上部導軌U形成自長向觀看為十字狀之框體，且於上部側形成有左右排列之狀態之左分歧用軌道UL與右分歧用軌道UR，且於下部側形成有直進用軌道US。
又，雖未圖示，不過與上部導軌U同樣地，合流用上部導軌W形成自長向觀看為十字狀之框體，且於上部側形成有左右排列之狀態之左合流用軌道WL與右合流用軌道WR，且於下部側形成有直進合流用軌道WS。
該第2實施形態中，由於上部導軌U形成具有左分歧用軌道UL、右分歧用軌道UR、及直進用軌道US之一框體狀，同樣地，合流用上部導軌W形成具有左合流用軌道WL、右合流用軌道WR、及直進合流用軌道WS之一框體狀，所以上部導軌U和合流用上部導軌W之設置易於進行。
〔第3實施形態〕
接下來，說明第3實施形態，該第3實施形態除上部導軌U之直進用軌道US及合流用上部導軌W之直進合流用軌道WS之結構以及第3輪體18之結構不同以外，其餘均與第1 實施形態相同結構。因此，為省略重複之記載，僅就上部導軌U之直進用軌道US及合流用上部導軌W之直進合流用軌道WS之結構以及第3輪體18之結構作說明。
該第3實施形態中，如第11圖所示，上部導軌U之直進用軌道US形成自長向觀看為倒T字狀，並構造成具有左右一對之上向面E1及左右一對之橫向面E2。此外，左右一對之第3輪體18之各個，具有繞沿水平方向之軸心旋轉並於上向面E1行進之第1輪體部分18A，及繞沿垂直方向之軸心旋轉並與橫向面E2抵接之第2輪體部分18B。
又，雖未圖示，不過合流用上部導軌W之直進合流用軌道WS，與上部導軌U之直進用軌道US同樣地，形成自長向觀看為倒T字狀，並構造成具有供第3輪體18之第1輪體部分18A行進之左右一對之上向面，及與第3輪體18之第2輪體部分18B抵接之左右一對之橫向面。
因此，輔助承接機構E構造成藉由直進用軌道US承接支持第3輪體18之第1輪體部分18A，以懸吊支持物品搬送車2之設備，且合流用輔助承接機構F構造成藉由直進合流用軌道WS承接支持第3輪體18之第1輪體部分18A，以懸吊支持物品搬送車2之設備。
〔第4實施形態〕
接下來，說明第4實施形態，該第4實施形態除輔助承接機構E之結構不同以外，其餘均與第1實施形態相同結構。因此，為省略重複之記載，以下僅就與第1實施形態不同之部分作說明，與第1實施形態相同之部分則省略說明。
如第12圖~第14圖所示，在自三向分歧部M3以直進狀態延伸之直進路徑DS之左右一對軌道部1a之各個，裝設有滑動式可動軌道21。即，可動軌道21構造成可藉由電動氣缸等致動器21A操作滑動於：與三向分歧部M3之上游側行進路徑DK之軌道部1a相連之突出狀態，與縮退至直進路徑DS之左右之軌道部1a之內部之狀態。
又，可動軌道21具有位在行進輪14之寬度內之左右一對之軌道部分21a，該軌道部分21a可滑移地(自由滑移)***形成在導軌1之軌道部1a之上面部之槽內。另外，軌道部分21a之縱截面形狀係下方部分較上方部分寬，而阻止軌道部分21a自軌道部1a浮上。
因此，輔助承接機構E構造成在使物品搬送車2直進行進之非分歧導引狀態時，使可動軌道21切換成突出狀態而由可動軌道21承接行進輪14之機構(設備)。
又，在該第4實施形態，上部導軌U之直進用軌道US之非分歧用導引面SS形成為沿垂直方向之面，並使第3輪體18繞沿垂直方向之軸心旋轉。
另，雖未圖示，不過亦可與輔助承接機構E同樣地，利用可動軌道21構成合流用輔助承接機構F。
〔第5實施形態〕
接下來，說明第5實施形態，該第5實施形態除輔助承接設備E之結構不同以外，其餘均與第1實施形態相同結構。因此，為省略重複之記載，以下僅就與第1實施形態不同之部分作說明，與第1實施形態相同之部分則省略說明。
如第15圖所示，左側分歧路DL之左右一對軌道部1a之中之左側軌道部1a之接近三向分歧部M3之部分，構造成可切換(自由切換)於沿左側分歧路DL彎曲之彎曲狀態，與朝直進路徑DS直線狀延伸之直線狀態。又，右側分歧路DR之左右一對軌道部1a之中之右側軌道部1a之接近三向分歧部M3之部分，構造成可切換於沿右側分歧路DR彎曲之彎曲狀態，與朝直進路徑DS直線狀延伸之直線狀態。
另，將軌道部1a切換於彎曲狀態與直線狀態之具體結構，係軌道部1a由多數軌道構成構件連結構成可彎折(自由彎折)狀態，並且雖未圖示，不過還裝設有操作切換於彎曲狀態與直線狀態之致動器。
因此，輔助承接機構E係構造成在使物品搬送車2直進行進之非分歧導引狀態時，將接近左側分歧路DL之左側軌道部1a之三向分歧部M3，及右側分歧路DR之右側軌道部1a之三向分歧部M3之部分切換成直線狀態，以承接行進輪14之設備。
另，雖未圖示，不過合流用輔助承接機構F亦可構造成與該第5實施形態之輔助承接機構E相同之結構。
〔第6實施形態〕
接下來，說明第6實施形態，該第6實施形態除輔助承接機構E之結構不同以外，其餘均與第1實施形態相同結構。因此，為省略重複之記載，以下僅就與第1實施形態不同之部分作說明，與第1實施形態相同之部分則省略說明。
如第16圖~第18圖所示，於物品搬送車2之行進 輪14之橫側部，設有較行進輪14小徑之小型輪23，呈與行進輪14一體旋轉之狀態。又，在三向分歧部M3之上游側行進路徑DK之左右之軌道部1a之上部，設有供小型輪23行進之滑動軌道24，設置狀態呈可藉由電動氣缸等致動器(未圖示)操作滑動於：跨越上游側行進路徑DK之左右之軌道部1a與直進路徑DS之左右之軌道部1a之突出狀態，與縮退至上游側行進路徑DK之左右之軌道部1a之上方之縮退狀態。
因此，輔助承接機構E係構造成在使物品搬送車2直進行進之非分歧導引狀態時，將滑動軌道24切換成突出狀態以承接小型輪23之機構(設備)。
另，雖未圖示，不過合流用輔助承接機構F亦可構造成與該第6實施形態之輔助承接機構E相同之結構。
〔其他實施形態〕
(1)在前述第1~第6實施形態，係顯示物品搬送車2之行進部10具有分開之前方行進部10F及後方行進部10R之例，不過行進部10亦可構造成不分割之狀態。
(2)在前述第1~第6實施形態，係顯示在環狀行進路徑4之橫側翼，配置經過物品處理部P之次行進路徑3之例，不過用以使物品搬送車2行進之路徑之形態可進行各種變更。
(3)在前述第1~第6實施形態，係顯示同時設置三向分歧部M3與三向合流部N3之例，不過亦可實施僅設三向分歧部M3之形態或僅設三向合流部N3之形態。
(4)在前述第1~第6實施形態，係顯示具有第1 輪體16、第2輪體17、及一對之第3輪體18之例，不過亦可藉著將一對之第3輪體18設成可沿車體寬向移動操作(自由移動操作)等，來將左側之第3輪體18兼用作第1輪體16，且將右側之第3輪體18兼用作第2輪體17。
(5)在前述第1實施形態，係使第1輪體16、第2 輪體17、及一對之第3輪體18沿旋轉軸心方向滑動，來切換於被承接位置與退避位置，不過切換於被承接位置與退避位置之具體結構可進行各種變更，如組合車體寬向之移動與車體上下寬向之移動之形態來切換於被承接位置與退避位置等。
1‧‧‧導軌
1a‧‧‧軌道部
2‧‧‧物品搬送車
4‧‧‧行進路徑
5A‧‧‧分歧連接路徑
6‧‧‧短路路徑
DK‧‧‧上游側行進路徑
DL‧‧‧左側分歧路
DR‧‧‧右側分歧路
DS‧‧‧直進路徑
GJ‧‧‧下游側行進路徑
M3‧‧‧三向分歧部
SL‧‧‧左分歧用導引面
SR‧‧‧右分歧用導引面
SS‧‧‧非分歧用導引面
U‧‧‧上部導軌
UL‧‧‧左分歧用軌道
UR‧‧‧右分歧用軌道
US‧‧‧直進用軌道

Claims (8)

  1. 一種天花板設置型之物品搬送設備，包含有：物品搬送車，係具有行進部，及位於前述行進部之下方之物品固持部，且於前述行進部之前後兩側處，分別具有左右行進輪者；及導軌，係沿前述物品搬送車之行進路徑配設，前述導軌係以軌道寬向相距間隔之狀態具有左右一對軌道部，且前述左右一對軌道部具有供前述行進輪行進之行進面，前述導軌具有：將前述行進路徑在該行進路徑延伸之方向，自上游側行進路徑朝下游側行進路徑分歧成三向之三向分歧部；及，以自前述三向分歧部分別分歧延伸之狀態設置之直進路徑、左側分歧路、右側分歧路，前述直進路徑係構造成：沿前述直進路徑配設之前述左右一對軌道部，不與沿前述三向分歧部之前述上游側行進路徑配設之前述左右一對軌道部連結，而於路徑長向相距預定直進軌道間隔之狀態，前述左側分歧路係構造成：沿前述左側分歧路配設之前述左右一對軌道部中之左方軌道部，與前述上游側行進路徑之前述左右一對軌道部中之左方軌道部連結之狀態，前述右側分歧路係構造成：沿前述右側分歧路配設之前述左右一對軌道部中之右方軌道部，與前述上游側 行進路徑之前述左右一對軌道部中之右方軌道部連結之狀態，前述物品搬送車具有：裝設於前述行進部之較前述行進輪上方側處之路徑切換用之被導引體；及，將導引前述被導引體之狀態加以切換之行進方向切換機構，前述物品搬送設備更包含有：上部導軌，係承接前述被導引體者；及，輔助承接機構，係在前述三向分歧部承接支持在前述上游側行進路徑之前述左右一對軌道部與前述直進路徑之前述左右一對軌道部之間行進之前述物品搬送車者，前述上部導軌係以設有以下導引面之狀態設置：左分歧用導引面，係用以切換成使前述物品搬送車沿前述左側分歧路分歧行進之左分歧行進狀態者；右分歧用導引面，係用以切換成使前述物品搬送車沿前述右側分歧路分歧行進之右分歧行進狀態者；及，非分歧用導引面，係用以切換成使前述物品搬送車直進行進之非分歧行進狀態者，前述行進方向切換機構構造成可將導引前述被導引體之狀態切換為：前述被導引體藉由前述左分歧用導引面導引之左分歧導引狀態；前述被導引體藉由前述右分歧用導引面導引之右分歧導引狀態；及，前述被導引體藉由前述非分歧用導引面導引之非分歧導引狀態，前述左分歧用導引面係設成在抑制前述左分歧行進狀態之前述物品搬送車朝右側傾斜之狀態，承接前述 被導引體，前述右分歧用導引面係設成在抑制前述右分歧行進狀態之前述物品搬送車朝左側傾斜之狀態，承接前述被導引體，前述輔助承接機構係設成承接支持在前述非分歧行進狀態，於前述上游側行進路徑之前述左右一對軌道部與前述直進路徑之前述左右一對軌道部之間行進之前述物品搬送車，前述物品搬送車於前述行進部之上方處更設有輔助車輪，且前述輔助車輪設成可切換於承接支持在前述三向分歧部之上方處所設之輔助導軌之被承接位置、與不承接在前述輔助導軌之退避位置，前述輔助承接機構構造成藉由前述輔助導軌承接前述輔助車輪，來於前述輔助導軌懸吊支持前述物品搬送車。
  2. 如申請專利範圍第1項之天花板設置型之物品搬送設備，其中，前述非分歧用導引面構造成自與前述上部導軌之延伸方向正交之截面觀看為朝上之傾斜面，前述被導引體係由自前述截面觀看為繞與前述非分歧用導引面平行之旋轉軸心旋轉之輪體構成，前述上部導軌構造成發揮作為前述輔助導軌之功能，且前述被導引體構造成發揮作為前述輔助車輪之功能。
  3. 如申請專利範圍第2項之天花板設置型之物品搬送設備，其中，發揮作為前述輔助車輪之功能之前述被導引體構造成藉由朝與前述非分歧用導引面平行之前述旋轉軸心方向之移動，切換於前述被承接位置與前述退避位置。
  4. 如申請專利範圍第1至3項中任一項之天花板設置型之物品搬送設備，其中，前述直進軌道間隔設定為較車輪前後間隔短之長度，前述車輪前後間隔為前述物品搬送車之前述行進部所設之前述行進輪之前後方向之間隔。
  5. 一種天花板設置型之物品搬送設備，包含有：物品搬送車，係具有行進部及位於前述行進部之下方之物品固持部，且於前述行進部之前後兩側處，分別具有左右行進輪；及導軌，係沿前述物品搬送車之行進路徑配設，前述導軌係以軌道寬向相距間隔之狀態具有左右一對軌道部，且前述左右一對軌道部具有供前述行進輪行進之行進面，前述導軌設有：將前述行進路徑在該行進路徑延伸之方向，自上游側行進路徑朝下游側行進路徑從三向合流之三向合流部；及，以與前述三向合流部分別連接之狀態設置之直進合流路、左側合流路、右側合流路，前述直進合流路係構造成：沿前述直進合流路配設之前述左右一對軌道部，不與沿前述三向合流部之前述下游側行進路徑配設之前述左右一對軌道部連結，而呈 於路徑長向相距預定直進軌道間隔之狀態，前述左側合流路係構造成：沿前述左側合流路配設之前述左右一對軌道部中之左方軌道部，與前述下游側行進路徑之前述左右一對軌道部中之左方軌道部連結之狀態，前述右側合流路係構造成：沿前述右側合流路配設之前述左右一對軌道部中之右方軌道部，與前述下游側行進路徑之前述左右一對軌道部中之右方軌道部連結之狀態，前述物品搬送車具有：裝設於前述行進部之較前述行進輪上方側處之合流用之被導引體；及，將導引前述被導引體之狀態加以切換之合流狀態切換機構，前述物品搬送設備更包含有：合流用上部導軌，係承接前述被導引體者；及，合流用輔助承接機構，係在前述三向合流部承接支持在前述直進合流路之前述左右一對軌道部與前述下游側行進路徑之前述左右一對軌道部之間行進之前述物品搬送車者，前述合流用上部導軌係以設有以下導引面之狀態設置：左合流用導引面，係使前述物品搬送車自前述左側合流路合流至前述下游側行進路徑者；右合流用導引面，係使前述物品搬送車自前述右側合流路合流至前述下游側行進路徑者；及，直進合流用導引面，係使前述物品搬送車自前述直進合流路合流至前述下游側行進路徑者， 前述合流狀態切換機構構造成可切換為：前述被導引體藉由前述左合流用導引面導引之左合流導引狀態；前述被導引體藉由前述右合流用導引面導引之右合流導引狀態；及，前述被導引體藉由前述直進合流用導引面導引之直進合流導引狀態，前述左合流用導引面係設成在抑制自前述左側合流路合流至前述下游側行進路徑部分之左合流行進狀態之前述物品搬送車朝右側傾斜之狀態，承接前述被導引體，前述右合流用導引面係設成在抑制自前述右側合流路合流至前述下游側行進路徑部分之右合流行進狀態之前述物品搬送車朝左側傾斜之狀態，承接前述被導引體，前述合流用輔助承接機構係設成承接支持在自前述直進合流路合流至前述下游側行進路徑之直進合流行進狀態，於前述直進合流路之前述左右一對軌道部與前述下游側行進路徑部分之前述左右一對軌道部之間行進之前述物品搬送車，前述物品搬送車於前述行進部之上方處更設有輔助車輪，且前述輔助車輪設成可切換於承接支持在前述三向合流部之上方處所設之輔助導軌之被承接位置、與不承接在前述輔助導軌之退避位置，前述合流用輔助承接機構構造成藉由前述輔助導 軌承接前述輔助車輪，來於前述輔助導軌懸吊支持前述物品搬送車。
  6. 如申請專利範圍第5項之天花板設置型之物品搬送設備，其中，前述直進合流用導引面構造成自與前述合流用上部導軌之延伸方向正交之截面觀看為朝上之傾斜面，前述被導引體係由自前述截面觀看為繞與前述直進合流用導引面平行之旋轉軸心旋轉之輪體構成，前述合流用上部導軌構造成發揮作為前述輔助導軌之功能，且前述被導引體構造成發揮作為前述輔助車輪之功能。
  7. 如申請專利範圍第6項之天花板設置型之物品搬送設備，其中，發揮作為前述輔助車輪之功能之前述被導引體構造成藉由朝與前述直進合流用導引面平行之前述旋轉軸心方向之移動，切換於前述被承接位置與前述退避位置。
  8. 如申請專利範圍第5至7項中任一項之天花板設置型之物品搬送設備，其中，前述直進軌道間隔設定為較車輪前後間隔短之長度，前述車輪前後間隔為前述物品搬送車之前述行進部所設之前述行進輪之前後方向之間隔。
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