TWI603103B - 用於測試分選機的姿勢轉換裝置及測試分選機 - Google Patents

用於測試分選機的姿勢轉換裝置及測試分選機 Download PDF

Info

Publication number
TWI603103B
TWI603103B TW105124379A TW105124379A TWI603103B TW I603103 B TWI603103 B TW I603103B TW 105124379 A TW105124379 A TW 105124379A TW 105124379 A TW105124379 A TW 105124379A TW I603103 B TWI603103 B TW I603103B
Authority
TW
Taiwan
Prior art keywords
test
test tray
posture
holding
state
Prior art date
Application number
TW105124379A
Other languages
English (en)
Other versions
TW201706617A (zh
Inventor
羅閏成
李相沅
尹成龍
Original Assignee
泰克元有限公司
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by 泰克元有限公司 filed Critical 泰克元有限公司
Publication of TW201706617A publication Critical patent/TW201706617A/zh
Application granted granted Critical
Publication of TWI603103B publication Critical patent/TWI603103B/zh

Links

Classifications

    • B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B07—SEPARATING SOLIDS FROM SOLIDS; SORTING
    • B07C—POSTAL SORTING; SORTING INDIVIDUAL ARTICLES, OR BULK MATERIAL FIT TO BE SORTED PIECE-MEAL, e.g. BY PICKING
    • B07C5/00—Sorting according to a characteristic or feature of the articles or material being sorted, e.g. by control effected by devices which detect or measure such characteristic or feature; Sorting by manually actuated devices, e.g. switches
    • B07C5/34—Sorting according to other particular properties
    • B07C5/344—Sorting according to other particular properties according to electric or electromagnetic properties
    • B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B07—SEPARATING SOLIDS FROM SOLIDS; SORTING
    • B07C—POSTAL SORTING; SORTING INDIVIDUAL ARTICLES, OR BULK MATERIAL FIT TO BE SORTED PIECE-MEAL, e.g. BY PICKING
    • B07C5/00—Sorting according to a characteristic or feature of the articles or material being sorted, e.g. by control effected by devices which detect or measure such characteristic or feature; Sorting by manually actuated devices, e.g. switches
    • B07C5/02—Measures preceding sorting, e.g. arranging articles in a stream orientating
    • B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B07—SEPARATING SOLIDS FROM SOLIDS; SORTING
    • B07C—POSTAL SORTING; SORTING INDIVIDUAL ARTICLES, OR BULK MATERIAL FIT TO BE SORTED PIECE-MEAL, e.g. BY PICKING
    • B07C5/00—Sorting according to a characteristic or feature of the articles or material being sorted, e.g. by control effected by devices which detect or measure such characteristic or feature; Sorting by manually actuated devices, e.g. switches
    • B07C5/36—Sorting apparatus characterised by the means used for distribution
    • B07C5/361—Processing or control devices therefor, e.g. escort memory

Landscapes

  • Engineering & Computer Science (AREA)
  • Physics & Mathematics (AREA)
  • General Physics & Mathematics (AREA)
  • Testing Of Individual Semiconductor Devices (AREA)
  • Computer Hardware Design (AREA)
  • Microelectronics & Electronic Packaging (AREA)
  • General Engineering & Computer Science (AREA)
  • Environmental & Geological Engineering (AREA)

Description

用於測試分選機的姿勢轉換裝置及測試分選機
本發明涉及一種測試分選機技術，尤指一種用於測試分選機的姿勢轉換裝置及測試分選機。
測試分選機是支援通過預定製造工序製造的半導體元件能夠通過測試機進行測試並且根據測試結果按照等級分類半導體元件並將其裝載至客戶托盤的機器。為同時測試多個半導體元件，這種測試分選機具有能夠裝載多個半導體元件的測試托盤，並且這些半導體元件在裝載於測試托盤的狀態下進行測試。
測試分選機的種類有：在測試托盤處於水平的狀態下對半導體元件進行測試的水平式測試分選機及在測試托盤處於豎直的狀態下對半導體元件進行測試的豎直式測試分選機。本發明涉及豎直式測試分選機。
圖1為示出豎直式測試分選機100的概念性平面圖。
如圖1所示，測試分選機100包括測試托盤TT、第一手爪110、第一姿勢轉換裝置120、第一腔130、測試腔140、連接裝置150、第二腔160、第二姿勢轉換裝置170及第二手爪180。
參照韓國公開專利第10-2007-0088010號，測試托盤TT設置有可安裝半導體元件且能夠在一定程度上移動的多個嵌件，並且通過多個傳送裝置(未示出)沿指定的閉合路徑C循環。
第一手爪110將裝載于客戶托盤CTn的待測試的半導體元件裝載(Loading)到位於第一位置P1的測試托盤TT。在這種情況下，第一手爪110起到將半導體元件裝載到測試托盤TT的裝載裝置的作用，並且第一位置P1成為裝載位置(Loading Position)。
第一姿勢轉換裝置120將已完成半導體元件裝載的測試托盤TT的姿勢轉換為豎直狀態。此處，通過第一姿勢轉換裝置120姿勢轉換為豎直狀 態的測試托盤TT，如韓國專利授權公報第10-0648920號所公開的，通過豎直移動軌道下降之後在第一腔130內傳送至後方。
第一腔130設置為根據測試環境條件對姿勢轉換為豎直狀態的測試托盤TT所裝載的半導體元件進行預熱或預冷。
測試腔140設置為用於在第一腔130中預熱或預冷之後傳送至測試位置TP(Test Position)的豎直狀態的測試托盤TT上的半導體元件的測試。
連接裝置150將測試腔140內的位於測試位置TP的豎直狀態的測試托盤TT推向連接在測試腔140側的測試機(TESTER)側，使裝載於測試托盤TT的嵌件上的半導體元件電連接至測試機的測試插口。
第二腔160設置為將從測試腔140傳送過來的測試托盤TT所裝載的被加熱或冷卻的半導體元件恢復至常溫或接近常溫。另外，測試托盤TT以豎直狀態在第二腔160內部傳送至前方。
第二姿勢轉換裝置170使在第二腔160內部結束傳送的豎直狀態的測試托盤TT的姿勢轉換為水平狀態。此處，同樣地，通過豎直移動軌道使測試托盤TT上升，使得第二姿勢轉換裝置170能夠把持測試托盤TT。
第二手爪180按照測試等級對傳送到第二位置P2的水平狀態的測試托盤TT所裝載的半導體元件進行分類並將其卸載(Unloading)到空的客戶托盤CTe。在這種情況下，第二手爪180起到從測試托盤TT卸載半導體元件的卸載裝置的作用，並且第二位置P2成為卸載位置(Unloading Position)。
在具有上述結構的測試分選機100中，測試托盤TT沿著經過第一位置P1、測試位置TP及第二位置P2重新回到第一位置P1的循環路徑C循環移動。
另外，在本申請人最近提交的新型測試分選機中，測試托盤TT還可根據測試模式沿著循環路徑C的反方向循環移動。在這種情況下，第一手爪110與第二手爪160、第一腔120與第二腔150的作用調換，即，第二位置P2成為裝載位置，並且第一位置P1成為卸載位置。
作為參考，圖1所示的豎直式測試分選機100具有兩個姿勢轉換裝置120、170。然而，如韓國第10-2008-0102088號專利公開說明書所公開的，測試分選機可以僅具有一個姿勢轉換裝置(在該說明書中稱為“旋轉器(rotator)”)。本發明涉及這種姿勢轉換裝置。
另外，參照韓國第10-2009-0012667號專利公開說明書(以下稱為“現有技術”)的圖2，為了提高處理容量而在測試托盤佈置在上下兩個位置的狀態下對半導體元件進行測試。在這種情況下，先於在後的測試托盤進入浸潤腔的在先的測試托盤比在後的測試托盤後到達卸載位置。通常，如果在先的測試托盤與在後的測試托盤裝載的是同一批次(Lot)的半導體元件，則即使在先的測試托盤與在後的測試托盤在中間過程中順序顛倒也無妨。然而，在為了提高設備運轉率而連續地測試前批次與後批次的半導體元件的情況下，由於在前批次的物料與後批次的物料更替時到達卸載位置的測試托盤的順序顛倒，因此可能發生不同批次的物料混合的問題。因此，鑒於上述現有技術，提出了在循環路徑上使裝載有前批次的最後物料的測試托盤等待之後將裝載有後批次的第一個物料的測試托盤先傳送到下一道工序的技術。通過這種技術，能夠順序地將前批次的物料完全卸載之後卸載後批次的物料。
本發明涉及可適用於如上所述有必要根據前批次的物料與後批次的物料進行更替的時間點或者根據需要改變測試托盤的循環順序的情況的姿勢轉換裝置的一示例。
本發明的第一目的，在於提供一種與姿勢轉換裝置相關的技術，這種姿勢轉換裝置在具有在先的測試托盤與在後的測試托盤之間的卸載順序顛倒的循環結構的測試分選機中，通過改變在先的測試托盤與在後的測試托盤之間的循環順序，使得原為在先的測試托盤上的半導體元件能夠優先卸載。
本發明的第二目的，在於提供一種能夠縮短豎直式測試分選機中用於轉換測試托盤的姿勢所需要的時間的技術。
為實現上述目的，本發明之一種用於測試分選機的姿勢轉換裝置，包括：設置框架，其能夠從水平狀態旋轉到豎直狀態或從豎直狀態旋轉到水平狀態；旋轉源，其使所述設置框架從水平狀態旋轉到豎直狀態或從豎直狀態旋轉到水平狀態；以及，一對把持塊，其設置於所述設置框架且彼此相對以把持至少兩個以上的測試托盤，其中，所述一對把持塊分別具有至少兩個把持槽。
所述姿勢轉換裝置還包括通過分別升降所述一對把持塊改變用於把持所述測試托盤的所述至少兩個把持槽的位置的一對升降機。
所述姿勢轉換裝置還包括：第一防脫離器，用於在所述設置框架的姿勢從水平狀態轉換為豎直狀態時，防止所述至少兩個把持槽中至少一個第一把持槽或第二把持槽所把持的測試托盤的隨機脫離；以及，第二防脫離器，用於在所述第一把持槽及第二把持槽的位置通過所述一對升降機的操作發生改變且所述設置框架的姿勢從水平狀態轉換為豎直狀態時，防止所述第一把持槽所把持的測試托盤的隨機脫離。
所述第二防脫離器優選地設置在這樣一種位置，即，所述第二防脫離器能夠防止測試托盤隨著所述升降機的操作狀態而進入所述第一把持槽或第二把持槽時對該測試托盤產生干涉，同時防止隨著所述升降機的操作而改變位置的所述第一把持槽所把持的測試托盤的脫離。
用於實現上述目的，本發明之一種測試分選機，包括：測試托盤，在經過裝載位置、測試位置及卸載位置後再次回到裝載位置的循環路徑上循環，並且可安裝半導體元件；裝載裝置，其在所述測試托盤位於裝載位置時，將半導體元件裝載至所述測試托盤；連接裝置，其使在通過所述裝載裝置完成半導體元件裝載之後到達測試位置的所述測試托盤上的半導體元件電連接至測試機；卸載裝置，從在結束測試之後從測試位置傳送到卸載位置的所述測試托盤卸載半導體元件；以及，至少一個所述姿勢轉換裝置，其在所述測試托盤的循環路徑上使水平狀態的所述測試托盤的姿勢轉換為豎直狀態或使豎直狀態的所述測試托盤的姿勢轉換為水平狀態。
如上所述，本發明可通過在姿勢轉換裝置中簡單地增加結構及操作來改變測試托盤的循環順序，因此具有在最大限度地減少測試分選機的結構變化並防止其尺寸增加的同時，能夠防止卸載順序顛倒的效果。
此外，本發明即使在無需糾正測試托盤的顛倒順序的情況下，由於能夠通過設置框架的一次姿勢轉換同時使兩個測試托盤改變姿勢，因此進一步具有能夠加快物料流動的效果。
〈習知〉
100‧‧‧測試分選機
110‧‧‧第一手爪
120‧‧‧第一姿勢轉換裝置
130‧‧‧第一腔
140‧‧‧測試腔
150‧‧‧連接裝置
160‧‧‧第二腔
170‧‧‧第二姿勢轉換裝置
180‧‧‧第二手爪
CTe‧‧‧客戶托盤
CTn‧‧‧客戶托盤
P1‧‧‧第一位置
P2‧‧‧第二位置
TP‧‧‧測試位置
TT‧‧‧測試托盤
〈本發明〉
100‧‧‧測試分選機
110‧‧‧第一手爪
120‧‧‧第一姿勢轉換裝置
121‧‧‧設置框架
121a‧‧‧底板
121b-1、121b-2‧‧‧豎直板
122‧‧‧旋轉源
123a‧‧‧第一把持塊
123b‧‧‧第二把持塊
124a、124b‧‧‧升降機
125‧‧‧第一防脫離器
125a‧‧‧防脫離部件
125b‧‧‧旋轉器
126‧‧‧第二防脫離器
RS‧‧‧旋轉軸
O‧‧‧旋轉中心
GS1、GS1'‧‧‧第一把持槽
GS2、GS2'‧‧‧第二把持槽
130‧‧‧第一腔
140‧‧‧測試腔
150‧‧‧連接裝置
160‧‧‧第二腔
170‧‧‧第二姿勢轉換裝置
180‧‧‧第二手爪
P1‧‧‧第一位置
TT‧‧‧測試托盤
TT1‧‧‧第一測試托盤
TT2‧‧‧第二測試托盤
VM‧‧‧豎直移動軌道
圖1為習知豎直式測試分選機的平面圖； 圖2為根據本發明的適用於測試分選機的第一姿勢轉換裝置的立體圖；圖3為圖2所示第一姿勢轉換裝置的側視圖，示出在先的測試托盤進入之前的狀態；圖4示出在圖3所示狀態下在先的測試托盤進入之後的狀態；圖5示出第一防脫離器在圖3所示狀態下操作，從而防止在先的測試托盤脫離的狀態；圖6示出在圖4所示狀態下把持塊上升的狀態；圖7示出在圖6所示狀態下在後的測試托盤進入之後的狀態；圖8示出第一防脫離器在圖7所示狀態下操作從而防止在後的測試托盤脫離的狀態；圖9示出在圖8所示狀態下設置框架的姿勢轉換為豎直狀態的狀態；圖10示出通過豎直移動軌道支撐在後的測試托盤的狀態；圖11示出通過下降豎直移動軌道使在後的測試托盤下降的狀態。
以下參照附圖說明如上所述的根據本發明的優選實施例，其中出於說明的簡潔性，將盡可能省略或壓縮重複的描述。
請再參閱圖1所示，本發明的測試分選機100包括測試托盤TT、第一手爪110、第一姿勢轉換裝置120、第一腔130、測試腔140、連接裝置150、第二腔160、第二姿勢轉換裝置170及第二手爪180。因此，將省略對上文中已描述的測試托盤TT、第一手爪110、第一腔130、測試腔140、連接裝置150、第二腔160、第二姿勢轉換裝置170及第二手爪180的說明。
本發明的特徵在於第一姿勢轉換裝置120。
如圖2所示，根據本發明實施例的第一姿勢轉換裝置120包括設置框架121，旋轉源122，一對把持塊123a、123b，一對升降機124a、124b，第一防脫離器125及第二防脫離器126。
設置框架121可從豎直狀態旋轉到水平狀態或從水平狀態旋轉到豎直狀態。為此，設置框架121通過旋轉軸RS可旋轉地固定於構成測試分選機的骨架的壁面。這種設置框架121包括底板121a和一對豎直板121b-1、121b-2。
底板121a設置有第一防脫離器125等必要構件。
一對豎直板121b-1、121b-2設置成豎直地立於底板121a的兩端並且與旋轉軸RS結合。這種豎直板121b-1、121b-2設置有一對升降機124a、124b和第二防脫離器126。
旋轉源122通過推或拉豎直板121b-1、121b-2的一側P1使設置框架121從水平狀態旋轉到豎直狀態或從豎直狀態旋轉到水平狀態，其可以是汽缸(cylinder)或電機。此處，由於施加有旋轉源122的驅動力的豎直板121b-1、121b-2的一側P1距離旋轉軸RS具有預定間隔A，因此設置框架121能夠以旋轉軸RS為旋轉中心O進行旋轉。
一對把持塊123a、123b在設置框架121上設置成分別與一對豎直板121b-1、121b-2接觸，並且能夠升降。這樣的一對把持塊123a、123b具有用於把持測試托盤TT兩端的兩個把持槽GS1、GS2/GS1'、GS2'。此處，一對把持塊123a、123b設置成彼此相對，並且通過彼此相對的把持槽GS1、GS1'/GS2、GS2'把持測試托盤TT的兩端。即，以設置框架121為水平的狀態為基準，一對把持塊123a/123b分別具有上側的第一把持槽GS1、GS1'和下側的第二把持槽GS2、GS2'，並且通過第一把持槽GS1、GS1'或第二把持槽GS2、GS2'把持測試托盤TT。
一對升降機124a、124b可分別升降一對把持塊123a、123b。這種升降機124a、124b可包括汽缸或電機。因此，一對把持塊123a、123b上的兩個把持槽GS1、GS2/GS1'、GS2'也能夠通過上升或下降改變位置。
第一防脫離器125能夠防止由第一把持槽GS1、GS1'把持的測試托盤TT或由第二把持槽GS2、GS2'把持的測試托盤TT隨機脫離。換言之，第一防脫離器125在設置框架121的姿勢從水平狀態轉換為豎直狀態時，防止由第一把持槽GS1、GS1'把持的測試托盤TT或者由第二把持槽GS2、GS2'把持的測試托盤TT隨著把持塊123a、123b的升降狀態隨機脫離。這種第一防脫離器125包括防脫離部件125a及旋轉器125b。
防脫離部件125a設置成可旋轉的，並且根據旋轉狀態支撐測試托盤TT的一端或解除對測試托盤TT的一端的支撐。
旋轉器125b能夠使防脫離部件125a旋轉，並且可包括汽缸或電機。
第二防脫離器126在把持塊123a、123b以設置框架121為水平狀態為基準上升的狀態下，當設置框架121的姿勢從水平狀態轉換為豎直狀態時支撐由第一把持槽GS1、GS1'把持的測試托盤TT的一端。因此，能夠防止第一把持槽GS1、GS1'所把持的測試托盤TT脫離。此處，第二防脫離器126優選地設置在這樣一種位置，即，第二防脫離器126能夠防止測試托盤隨著升降機124a、124b的操作狀態而進入第一把持槽GS1、GS1'或第二把持槽GS2、GS2'時對該測試托盤TT產生干涉，同時也防止隨著升降機124a、124b的操作而改變位置的第一把持槽GS1、GS1'所把持的測試托盤TT脫離。為此，在本實施例中，第二防脫離器126設置在一側豎直板121b-2的一端上側，使得在把持塊123a、123b以水平狀態的設置框架121為基準上升時能夠在上側的第一把持槽GS1、GS1'所在位置處支撐測試托盤TT的一端。
接下來將說明具有上述結構的測試分選機的主要部位的操作。
圖3示出在先的測試托盤TT1進入之前的狀態。在圖3的狀態下，把持塊123a、123b處於下降狀態，並且防脫離部件125a旋轉到允許第一測試托盤TT1進入的狀態。在圖3的狀態下，第一測試托盤TT1通過如圖4所示進入上側的第一把持槽GS1、GS1'能夠被把持塊123a、123b的第一把持槽GS1、GS1'把持。第一測試托盤TT1如圖4所示完成進入之後，防脫離部件125a如圖5所示旋轉到支撐第一測試托盤TT1一端的狀態。在如待測試半導體元件的批次發生變化等需要改變測試托盤TT循環順序的情況下，在圖5所示狀態下將設置框架121的姿勢轉換為豎直狀態，並通過豎直移動軌道使第一測試托盤TT1下降即可。而在發生批次變化等需要改變在後的第二測試托盤與第一測試托盤TT1的循環順序的情況下，在圖4的狀態下操作升降機124a、124b使把持塊123a、123b如圖6所示上升。在圖6的狀態下，由第一把持槽GS1、GS1'把持的第一測試托盤TT1隨著把持塊123a、123b一同上升，使得第一測試托盤TT1的一端被第二防脫離器126支撐，並且第二把持槽GS2、GS2'位於可允許第二測試托盤TT2進入的位置。第二測試托盤TT2在圖6所示狀態下進入第二把持槽GS2、GS2'，則如圖7所示，第二測試托盤TT2位於上側的第一測試托 盤TT1的下方。並且，在圖7所示狀態之後，如圖8所示，防脫離部件125b旋轉為支撐第二測試托盤TT2一端的狀態。
旋轉源122在圖8所示狀態下操作使得設置框架121旋轉為如圖9所示的豎直狀態。並且，在豎直移動軌道VM如圖10所示支撐第二測試托盤TT2之後，防脫離部件125a旋轉為允許第二測試托盤TT2下降的狀態。然後，第二測試托盤TT2通過豎直移動軌道VM的操作下降以脫離第二把持槽GS2、GS2'，從而達到如圖11所示的狀態。然後，第二測試托盤TT2以如圖11所示狀態傳送至後方。與此同時，升降機124a、124b操作為使第一測試托盤TT1移動到下降位置，並且利用豎直移動軌道VM使第一測試托盤TT1下降。而根據其他實施方式，也可以實施為在圖11所示狀態下將設置框架121旋轉回水平狀態之後通過操作升降機124a、124b使第一測試托盤TT1下降，並重新將設置框架121的姿勢轉換為豎直狀態之後使第一測試托盤TT1下降。
如上所述，通過第一姿勢轉換裝置120的簡單的姿勢轉換使在先的第一測試托盤TT1在第一姿勢轉換裝置120中等待，並使在後的第二測試托盤TT2先離開。隨後，由於兩個測試托盤TT1、TT2的移動順序重新顛倒，因此第一測試托盤TT1先到達卸載位置，第二測試托盤TT2其後到達卸載位置。
另外，雖然在本實施例中通過第一姿勢轉換裝置120的姿勢轉換在第一姿勢轉換裝置120中改變測試托盤TT1、TT2的移動順序，但是根據具體的實施，完全可以考慮在第二姿勢轉換裝置170中改變測試托盤TT1、TT2的移動順序。即，不在第一姿勢轉換裝置120中改變測試托盤TT1、TT2的移動順序，而是在採用了與如上所述的第一姿勢轉換裝置120相同的結構的第二姿勢轉換裝置170中改變第一測試托盤TT1與第二測試托盤TT1的移動順序。在這種情況下，也能夠使第一測試托盤TT1比第二測試托盤TT2先到達卸載位置。
另外，對於可根據測試模式將測試托盤TT的循環方向設置為正向或逆向的測試分選機，可以在第一姿勢轉換裝置120和第二姿勢轉換裝置170中均採用根據本發明圖2所示的姿勢轉換裝置，也可以僅在任意一側採用圖2所示的姿勢轉換裝置。若僅在任意一側採用圖2所示的姿勢轉換裝置，則在測試托盤TT正向循環的第一模式下按照圖3至圖11的順序改變測試托盤TT間的順序，而在測試托盤TT逆向循環的第二模式下按照與圖3至圖11所示順序相反的順序改變測試托盤TT間的順序。
此外，本實施例示出了姿勢轉換裝置同時把持兩個測試托盤的示例，但是根據具體的實施，也可以考慮在各把持塊上設置三個以上的把持槽並將步進電機作為升降機使姿勢轉換裝置同時把持三個以上的測試托盤的示例。在這種情況下，優選地設置與能夠同時把持的測試托盤的數量相同數量的防脫離器。
另外，雖然本實施例實施為通過使把持塊升降使得在先的第一測試托盤等待，但是根據具體的實施，也可以在把持塊不進行升降的情況下，通過改變提供第一測試托盤與在後的第二測試托盤的提供位置的高度將第一測試托盤與第二測試托盤提供到姿勢轉換裝置，並改變基於豎直移動軌道的下降位置來實現本發明的目的。在這種情況下，第二防脫離器也應設置為能夠支撐測試托盤或解除對測試托盤的支撐。
應理解，根據本發明的與第一姿勢轉換裝置相關的技術不僅可以適用於具有兩個姿勢轉換裝置的測試分選機，還可適用於具有一個姿勢轉換裝置的測試分選機。
此外，在本發明中，在設置框架121的姿勢轉換為豎直的狀態下將在後的測試托盤移動到後端，並且在設置框架121為豎直的狀態下不進行姿勢轉換而將在先的測試托盤移動到下降位置之後傳送至後端，從而能夠加快物流的處理速度。在這種情況下，對同一批次的物料進行測試時，同樣由於一次使兩個測試托盤同時進行姿勢轉換，因此能夠加快物流的流動速度。
以上參照附圖所示的實施例對本發明進行了具體說明，但是上述實施例僅為本發明的優選實施例，因此不應理解為本發明僅限於所述實施例，而應理解為本發明的範圍包括所附權利要求及其等同的概念。
120‧‧‧第一姿勢轉換裝置
121‧‧‧設置框架
121a‧‧‧底板
121b-1、121b-2‧‧‧豎直板
122‧‧‧旋轉源
123a‧‧‧第一把持塊
123b‧‧‧第二把持塊
124a、124b‧‧‧升降機
125‧‧‧第一防脫離器
125a‧‧‧防脫離部件
125b‧‧‧旋轉器
126‧‧‧第二防脫離器
RS‧‧‧旋轉軸
O‧‧‧旋轉中心
GS1、GS1'‧‧‧第一把持槽
GS2、GS2'‧‧‧第二把持槽
P1‧‧‧第一位置
TT‧‧‧測試托盤

Claims (5)

  1. 一種用於測試分選機的姿勢轉換裝置，包括：設置框架，能夠從水平狀態旋轉到豎直狀態或從豎直狀態旋轉到水平狀態，並且包括底板和設置成豎直地立於底板兩端的一對豎直板；旋轉源，使所述設置框架從水平狀態旋轉到豎直狀態或從豎直狀態旋轉到水平狀態；以及一對把持塊，設置於所述設置框架並且彼此相對以把持至少兩個以上的測試托盤；以及一對升降機，設置在所述一對豎直板上；其中，所述一對把持塊分別具有至少兩個把持槽，並且所述一對升降機通過使所述一對把持塊升降來改變所述至少兩個把持槽的位置。
  2. 如請求項1所述之用於測試分選機的姿勢轉換裝置，其中所述至少兩個把持槽把持所述測試托盤，所述一對升降機能夠使所述一對把持塊與所述設置框架的所述底板隔開。
  3. 如請求項2所述之用於測試分選機的姿勢轉換裝置，還包括：第一防脫離器，在所述設置框架的姿勢從水平狀態轉換為豎直狀態時，防止所述至少兩個把持槽中的至少一個第一把持槽或第二把持槽所把持的測試托盤的隨機脫離；以及第二防脫離器，在所述第一把持槽及第二把持槽的位置通過所述一對升降機的操作發生改變並且所述設置框架的姿勢從水平狀態轉換為豎直狀態時，能夠防止所述第一把持槽所把持的測試托盤的隨機脫離。
  4. 如請求項3所述之用於測試分選機的姿勢轉換裝置，其中所述第二防脫離器設置在這樣一種位置，即，所述第二防脫離器能夠防止測試托盤隨著所述升降機的操作狀態而進入所述第一把持槽或所述第二把持槽時對所述測試托盤產生干涉，同時防止隨著所述升降機的操作而改變位置的所述第一把持槽所把持的測試托盤的脫離。
  5. 一種測試分選機，包括：測試托盤，在經過裝載位置、測試位置及卸載位置後再次回到裝載位置的循環路徑上循環，並且可安裝半導體元件； 裝載裝置，在所述測試托盤位於裝載位置時，將半導體元件裝載至所述測試托盤；連接裝置，使在通過所述裝載裝置完成半導體元件裝載之後到達測試位置的所述測試托盤上的所述半導體元件電連接至測試機；卸載裝置，從在結束測試之後從測試位置傳送到卸載位置的所述測試托盤卸載所述半導體元件；以及至少一個姿勢轉換裝置，在所述測試托盤的循環路徑上使水平狀態的所述測試托盤的姿勢轉換為豎直狀態或使豎直狀態的所述測試托盤的姿勢轉換為水平狀態；其中，所述至少一個姿勢轉換裝置中的一個姿勢轉換裝置是如請求項1至4中任意一項所述的姿勢轉換裝置。
TW105124379A 2015-08-04 2016-08-02 用於測試分選機的姿勢轉換裝置及測試分選機 TWI603103B (zh)

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
KR1020150110104A KR102390564B1 (ko) 2015-08-04 2015-08-04 테스트핸들러용 자세변환장치 및 테스트핸들러

Publications (2)

Publication Number Publication Date
TW201706617A TW201706617A (zh) 2017-02-16
TWI603103B true TWI603103B (zh) 2017-10-21

Family

ID=58121079

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
TW105124379A TWI603103B (zh) 2015-08-04 2016-08-02 用於測試分選機的姿勢轉換裝置及測試分選機

Country Status (3)

Country Link
KR (1) KR102390564B1 (zh)
CN (1) CN106423917B (zh)
TW (1) TWI603103B (zh)

Families Citing this family (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN110907805A (zh) * 2019-12-11 2020-03-24 杭州易正科技有限公司 一种移动式分类出料的集成电路封装测试装置
KR20220134117A (ko) * 2021-03-26 2022-10-05 (주)테크윙 전자부품 테스트용 핸들러

Citations (5)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US6498472B1 (en) * 1998-11-30 2002-12-24 Mirae Corporation Method for handling a module IC and a carrier of a module IC handler
TW200828480A (en) * 2006-10-04 2008-07-01 Techwing Co Ltd Side-docking type test handler and apparatus for transferring test tray for same
US20080297140A1 (en) * 2007-05-31 2008-12-04 Jung Ug An System and method for transferring trays within a test handler
TW200901355A (en) * 2007-01-23 2009-01-01 Mirae Corp Test tray and handler using the test tray
CN101506674A (zh) * 2006-08-22 2009-08-12 泰克元有限公司 用于转移侧对接式测试机械手中测试盘的方法

Family Cites Families (13)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US5865319A (en) * 1994-12-28 1999-02-02 Advantest Corp. Automatic test handler system for IC tester
IT1319594B1 (it) * 2000-12-20 2003-10-20 Cml Handling Technology S P A Apparecchiatura e metodo per l'attivazione ed il controllo delleunita' di smistamento in una macchina smistatrice
KR100648920B1 (ko) * 2005-12-15 2006-11-24 (주)테크윙 테스트핸들러용 자세변환장치 및 테스트핸드러용동력전달장치
KR100771474B1 (ko) * 2006-02-24 2007-10-30 (주)테크윙 테스트핸들러용 테스트트레이
KR20080046356A (ko) * 2006-11-22 2008-05-27 미래산업 주식회사 핸들러의 테스트 트레이 이송방법
KR100845979B1 (ko) * 2006-11-28 2008-07-11 미래산업 주식회사 핸들러의 테스트트레이 반송장치
KR100873188B1 (ko) * 2007-05-18 2008-12-10 미래산업 주식회사 테스트 트레이 이송장치, 그를 구비한 테스트 핸들러, 및그를 이용한 반도체 소자 제조방법
KR100924915B1 (ko) * 2007-05-18 2009-11-03 미래산업 주식회사 로테이터, 그를 포함하는 테스트 핸들러, 및 그를 이용한반도체 소자 제조방법
KR100894082B1 (ko) * 2007-07-31 2009-04-21 (주)테크윙 테스트핸들러의 테스트트레이 이송방법
KR100938466B1 (ko) * 2008-04-21 2010-01-25 미래산업 주식회사 핸들러, 반도체 소자 언로딩방법, 테스트트레이 이송방법,및 반도체 소자 제조방법
CN102240644A (zh) * 2010-05-11 2011-11-16 中山天贸电池有限公司 电池产品测试分选机和测试分选机的分选方法
KR101334766B1 (ko) * 2012-04-12 2013-11-29 미래산업 주식회사 반도체 소자 핸들링 시스템
KR101347531B1 (ko) * 2013-01-22 2014-01-10 미래산업 주식회사 테스트 트레이 스핀장치 및 이를 포함하는 인라인 테스트 핸들러

Patent Citations (5)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US6498472B1 (en) * 1998-11-30 2002-12-24 Mirae Corporation Method for handling a module IC and a carrier of a module IC handler
CN101506674A (zh) * 2006-08-22 2009-08-12 泰克元有限公司 用于转移侧对接式测试机械手中测试盘的方法
TW200828480A (en) * 2006-10-04 2008-07-01 Techwing Co Ltd Side-docking type test handler and apparatus for transferring test tray for same
TW200901355A (en) * 2007-01-23 2009-01-01 Mirae Corp Test tray and handler using the test tray
US20080297140A1 (en) * 2007-05-31 2008-12-04 Jung Ug An System and method for transferring trays within a test handler

Also Published As

Publication number Publication date
CN106423917B (zh) 2019-04-26
CN106423917A (zh) 2017-02-22
KR20170016682A (ko) 2017-02-14
TW201706617A (zh) 2017-02-16
KR102390564B1 (ko) 2022-04-27

Similar Documents

Publication Publication Date Title
KR100301750B1 (ko) 반도체디바이스용트레이꺼내기장치및반도체디바이스용트레이수납장치
JP5264508B2 (ja) テストハンドラー
KR20000038870A (ko) 모듈 아이씨 핸들러의 엘리베이터부에서 팔레트를 순환시키는방법 및 그 장치
JP2011145307A (ja) テストハンドラー
KR20170103496A (ko) 전자부품 공급용 트레이 공급대차 및 전자부품을 처리하는 핸들러
TWI603103B (zh) 用於測試分選機的姿勢轉換裝置及測試分選機
JPH01502866A (ja) 自動ウェファーローディング方法及び装置
TWI720560B (zh) 測試托盤以及電子部件測試用分選機
KR20000034619A (ko) 모듈 아이씨 핸들러의 모듈 아이씨 및 캐리어 핸들링방법
KR20190061291A (ko) 전자부품 테스트용 핸들러 및 그 작동 방법
KR100938170B1 (ko) 핸들러, 테스트트레이 이송방법, 및 반도체 소자 제조방법
KR102249574B1 (ko) 전자부품 언로딩장비
KR102214037B1 (ko) 전자부품 로딩장비
KR101007934B1 (ko) 테스트 트레이 이송 방법 및 장치
KR102035413B1 (ko) 반도체 소자 핸들러
KR102252639B1 (ko) 전자부품 언로딩장비
US6190111B1 (en) Tray inverting apparatus and methods
KR20080104515A (ko) 기판 적재장치
KR20200122266A (ko) 반도체 소자 검사 장치
KR102471189B1 (ko) 기판 이송 장치
KR100338158B1 (ko) 수평식 핸들러의 테스트 트레이 승하강 장치
WO2009107231A1 (ja) 電子部品移載装置およびそれを備えた電子部品試験装置
KR102289107B1 (ko) 전자부품 테스트용 핸들러
KR100316805B1 (ko) 핸들러의 얼라이너 상승장치
WO2020213923A1 (ko) 반도체 소자 검사 장치