TWI595531B - 加工室 - Google Patents

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TWI595531B
TWI595531B TW103100981A TW103100981A TWI595531B TW I595531 B TWI595531 B TW I595531B TW 103100981 A TW103100981 A TW 103100981A TW 103100981 A TW103100981 A TW 103100981A TW I595531 B TWI595531 B TW I595531B
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陳堂權
羅愷
袁曉波
蔣益民
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基準精密工業(惠州)有限公司
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    • H01L21/67Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere
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Description

加工室
本發明涉及一種加工室,尤其涉及一種具有惰性氛圍之密閉加工室。
易氧化之工件通常需要在一個密閉無氧加工環境中進行加工。目前加工易氧化工件之加工室一般包括加工倉及設置於加工倉上之真空泵,工件加工時藉由真空泵不斷地對加工倉進行抽真空。然,取出加工後之工件時,外界氣體會進入到加工倉內,影響工件加工品質。
鑒於上述狀況,有必要提供一種可有效隔絕外界空氣之加工室。
一種加工室,用於加工易氧化之工件,其包括加工倉,該加工室還包括出料倉、密封件、抵擋件、取料件及儲氣腔,該儲氣腔與該加工倉連通,該出料倉包括與該加工倉連通之主體,及由該主體相對二側向外凸伸形成之收容部及出料部,該收容部之位置與該出料部之位置相對應並均與該主體相連通,該密封件包括密封部及裝設於該密封部上之密封閥,該密封部活動且密封地收容於該收容部內並抵持於該收容部之側壁上,該抵擋件設於該出料部遠離該收容部之一端並封蓋該出料部,該取料件部份收容於該主體中,該取料件伸入該加工倉內並將加工後之工件取出移至該抵擋件上後,該密封部能夠朝向該抵擋件移動至該出料部中並抵持於該工件上以隔離該出料部與該主體。
本發明之加工室在取料時,藉由驅動密封部移動至出料部內,並密封主體及加工倉,避免外界空氣進入加工倉內,從而使加工室與外界空氣相隔離。
圖1為加工室之整體示意圖。
請參閱圖1,加工室100包括加工倉10、取料裝置30及儲氣裝置50。加工倉10、取料裝置30及儲氣裝置50構成密封加工環境。加工倉10用以對工件(圖未示)進行加工。取料裝置30與加工倉10連通,用以將加工完成後之工件取出。儲氣裝置50與加工倉10連通,用以向加工倉10提供氣體並回收加工倉10內氣體。
取料裝置30包括出料倉31、密封件33、抵擋件35及取料件37。出料倉31設置於加工倉10一側且與加工倉10連通。出料倉31包括主體311、收容部313及出料部315。主體311大致為中空圓柱狀,其由加工倉10之一側向外凸伸形成並與加工倉10連通。收容部313大致為中空圓柱狀,其由主體311一側凸伸形成並與主體311相連通。收容部313包括端壁3131及由端壁3131邊緣朝向同一方向垂直凸伸形成之第一側壁3133。出料部315大致為圓筒狀,其由主體311背離收容部313之一側凸伸形成,並與主體311相連通。出料部315之位置與收容部313之位置相對應。出料部315包括第二側壁3151。第二側壁3151之延伸線與第一側壁3133之延伸線相重合。
密封件33包括密封部331及密封閥333。密封部331之一端活動穿設端壁3131並伸出收容部313外以與推動件(圖未示)相連。密封部331之另一端活動且密封地收容於收容部313內並抵持於第一側壁3133。密封部331可沿第一側壁3133依次滑入主體311及出料部315內並抵持於第二側壁3151。密封部331上開設有與主體311相連通之閥孔3311。密封閥333收容於閥孔3311中並封閉閥孔3311。
抵擋件35設於第二側壁3151遠離收容部313之同一端並封蓋出料部315。取料件37包括驅動部371、連接部373及取料部375。驅動部371鄰近主體311設置。連接部373之一端固定於驅動部371之驅動端上,其另一端活動且密封地伸入主體311內。取料部375固定於連接部373遠離驅動部371之一端並收容於主體311內。驅動部371能夠驅動取料部375伸入到加工倉10內以取出加工後之工件。本實施方式中,密封部331為密封活塞。
儲氣裝置50包括加壓腔51、第一閥門52、儲氣腔53、第二閥門54、通道55、連通閥56及加壓件57。加壓腔51設置於加工倉10之一側,並藉由第二閥門54與加工倉10選擇性連通。儲氣腔53設置於加壓腔51之一側,並藉由第一閥門52與加壓腔51選擇性連通。儲氣腔53用於存儲惰性氣體。通道55用於連通儲氣腔53與加工倉10。連通閥56裝設於儲氣腔53上,以使儲氣腔53經由通道55與加工倉10選擇性連通。加壓件57活動收容於加壓腔51內並部份伸出加壓腔51外,用以壓縮加壓腔51內氣體。本實施方式中,加壓件57為加壓活塞,第一閥門52及第二閥門54均為單向閥,加工倉10內氣體可經由加壓腔51回流至儲氣腔53中,連通閥56為手動閥。
組裝時,首先將密封閥333收容於閥孔3311內,並密封閥孔3311;將密封部331之一端活動地收容於收容部313內,且使密封部331抵持於第一側壁3133;將密封部331之另一端活動穿設於端壁3131上並伸出收容部313外;將端壁3131之二端分別固定於第一側壁3133上;將連接部373之一端固定於驅動部371之驅動端上,將取料部375固定於連接部373遠離驅動部371之一端並收容於主體311內;將抵擋件35設置於第二側壁3151遠離收容部313之同一端上並封蓋出料部315;將加壓腔51藉由第二閥門54與加工倉10選擇性連通,並將加壓件57活動收容於加壓腔51中;將儲氣腔53藉由連通閥56使儲氣腔53與通道55選擇性連通,並藉由通道55與加工倉10連通。
加工工件時,首先打開抵擋件35,將待加工工件放置於加工倉10內,推動件推動密封件33壓至出料部315遠離收容部313之一端。關閉密封閥333及連通閥56,用真空泵將加工倉10內之空氣抽出後充入預設惰性氣體。加工倉10充氣完成後,抵擋件35封蓋出料部315並抵接於密封部331上,將密封部331退回至收容部313,在密封部331退回時打開密封閥333,避免密封部331與抵擋件35之間形成真空而無法退回。關閉密封閥333,加工倉10內進行工件加工。
取出加工後之工件時,驅動部371驅動取料部375經主體311進入加工倉10內將工件取出並移動至出料部315,取料部375鬆開工件使其落至抵擋件35上。打開密封閥333,推動件驅動密封部331沿第一側壁3133朝向抵擋件35運動並抵持於工件上,此時出料部315內惰性氣體由密封閥333進入主體311內。關閉密封閥333,打開抵擋件35並取出工件,此時,外界空氣進入至出料部315中。取出工件後,推動件驅動密封部331沿第二側壁3151朝向抵擋件35運動,以將出料部315內空氣擠出。當密封部331抵接於抵擋件35時,密封部331停止運動。抵擋件35封蓋出料部315,密封部331退回至收容部313內,等待下一工件取出。
在工件加工過程中,當加工倉10內氣壓增至最大預設值時,第二閥門54因其二端存在壓差而打開,加工倉10內氣體進入到加壓腔51中,以減小加工倉10內氣壓,使其維持穩定。加壓件57壓縮加壓腔51內氣體,使第二閥門54關閉並且使加壓腔51內氣壓增大至大於儲氣腔53內氣壓,第一閥門52因其二端存在氣壓差而打開,加壓腔51內氣體進入儲氣腔53內,儲氣腔53將氣體存儲。當加工倉10內氣壓減小至最小預設值時,打開連通閥56,儲氣腔53內氣體經通道55進入到加工倉10中,以使加工倉10內氣壓維持穩定。
本發明之加工室100在取料時,藉由推動件驅動密封部331移動至出料部315內,並密封主體311及加工倉10,避免外界空氣進入加工倉10內,從而使加工室100與外界空氣相隔離;且密封件33移動至出料部315內時,藉由密封閥333之開閉,可將出料部315內惰性氣體回流至加工倉10中,減小了惰性氣體流失,節約成本;另外藉由儲氣裝置50向加工倉10提供氣體並回收加工倉10內氣體,從而使加工倉10內氣壓維持穩定。
可理解,第一閥門52為手動閥時,加壓腔51、第二閥門54、通道55及加壓件57均可省略,儲氣腔53與加工倉10藉由第一閥門52及連通閥56選擇性連通即可。
綜上所述,本發明符合發明專利要件,爰依法提出專利申請。惟,以上所述者僅為本發明之較佳實施例,舉凡熟悉本案技藝之人士,在爰依本發明精神所作之等效修飾或變化,皆應涵蓋於以下之如申請專利範圍內。
100‧‧‧加工室
10‧‧‧加工倉
30‧‧‧取料裝置
31‧‧‧出料倉
311‧‧‧主體
313‧‧‧收容部
3131‧‧‧端壁
3133‧‧‧第一側壁
315‧‧‧出料部
3151‧‧‧第二側壁
33‧‧‧密封件
331‧‧‧密封部
3311‧‧‧閥孔
333‧‧‧密封閥
35‧‧‧抵擋件
37‧‧‧取料件
371‧‧‧驅動部
373‧‧‧連接部
375‧‧‧取料部
50‧‧‧儲氣裝置
51‧‧‧加壓腔
52‧‧‧第一閥門
53‧‧‧儲氣腔
54‧‧‧第二閥門
55‧‧‧通道
56‧‧‧連通閥
57‧‧‧加壓件
100‧‧‧加工室
10‧‧‧加工倉
30‧‧‧取料裝置
31‧‧‧出料倉
311‧‧‧主體
313‧‧‧收容部
3131‧‧‧端壁
3133‧‧‧第一側壁
315‧‧‧出料部
3151‧‧‧第二側壁
33‧‧‧密封件
331‧‧‧密封部
3311‧‧‧閥孔
333‧‧‧密封閥
35‧‧‧抵擋件
37‧‧‧取料件
371‧‧‧驅動部
373‧‧‧連接部
375‧‧‧取料部
50‧‧‧儲氣裝置
51‧‧‧加壓腔
52‧‧‧第一閥門
53‧‧‧儲氣腔
54‧‧‧第二閥門
55‧‧‧通道
56‧‧‧連通閥
57‧‧‧加壓件

Claims (8)

  1. 一種加工室,用於加工易氧化之工件,其包括加工倉,其改良在於:該加工室還包括出料倉、密封件、抵擋件、取料件及儲氣腔,該儲氣腔與該加工倉連通,該出料倉包括與該加工倉連通之主體,及由該主體之相對二側向外凸伸形成之收容部及出料部,該收容部之位置與該出料部之位置相對應並均與該主體相連通,該密封件包括密封部及裝設於該密封部上之密封閥,該密封部活動且密封地收容於該收容部內並抵持於該收容部之側壁上,該抵擋件設於該出料部遠離該收容部之一端並封蓋該出料部,該取料件部份收容於該主體中,該取料件伸入該加工倉內並將加工後之工件取出移至該抵擋件上後,該密封部能夠朝向該抵擋件移動至該出料部中並抵持於該工件上以隔離該出料部與該主體。
  2. 如申請專利範圍第1項所述之加工室,其中該收容部為中空圓柱狀,其包括端壁及由該端壁邊緣朝向同一方向垂直延伸形成之第一側壁,該出料部為圓筒狀,其包括第二側壁,且第二側壁之延伸線與第一側壁之延伸線相重合,該密封部抵持於該第一側壁,並能夠沿該第一側壁滑入該出料部內且抵持於與該第二側壁。
  3. 如申請專利範圍第1項所述之加工室,其中該取料件包括驅動部、連接部及取料部,該驅動部鄰近該主體設置,該連接部之一端固定於該驅動部之驅動端上,該取料部固定於該連接部遠離該驅動部之一端並收容於該主體內,該驅動部能夠驅動該取料部伸入該加工倉內並將加工完成之工件取出移至該抵擋件上。
  4. 如申請專利範圍第1項所述之加工室,其中該加工室還包括裝設於該儲氣腔上之第一閥門及連通閥,該儲氣腔藉由該第一閥門與該加工倉選擇性連通,用以回收該加工倉內氣體,該儲氣腔藉由該連通閥與該加工倉選擇性連通,用於向該加工倉提供氣體。
  5. 如申請專利範圍第4項所述之加工室,其中該加工室還包括加壓腔及裝設於該加壓腔上之第二閥門,該加壓腔設置於該加工倉與該儲氣腔之間,並藉由該第二閥門與該加工倉選擇性連通,且藉由該第一閥門與該儲氣腔選擇性連通。
  6. 如申請專利範圍第5項所述之加工室,其中該加工室還包括收容於該加壓腔中之加壓件,該加壓件用以壓縮該加壓腔內氣體使其進入該儲氣腔內進行存儲。
  7. 如申請專利範圍第4項所述之加工室,其中該加工室還包括通道,該通道與該加工倉連通,該儲氣腔藉由該連通閥與該通道選擇性連通。
  8. 如申請專利範圍第1項所述之加工室,其中該密封部上開設有一閥孔,該密封閥收容於該閥孔中,並密封該閥孔。
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