TWI586967B - Probe module - Google Patents

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TWI586967B TW104135300A TW104135300A TWI586967B TW I586967 B TWI586967 B TW I586967B TW 104135300 A TW104135300 A TW 104135300A TW 104135300 A TW104135300 A TW 104135300A TW I586967 B TWI586967 B TW I586967B
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Description

探針模組
本發明係與電子物件的檢測有關；特別是指一種探針模組。
按，探針模組係設置於一檢測機與一待測電子物件之間，用以傳送檢測機的檢測訊號至待測電子物件，以檢測待測電子物件之各電子元件間的電性連接是否確實。
圖1與圖2所示者為習用的探針模組1，包含一基座10、一結合座12、一訊號接頭14、一電訊號傳導件16與複數個探針18。該基座10供固定於一檢測機(圖未示)上。該結合座12結合於該基座10，且向下傾斜，該結合座12具有一前端面122以及一前端角124，該前端面122面對一測電子物件，且該前端面122的延伸參考面122a與該待測電子物件A的待測面A01之間夾一銳角，該前端角124位於遠離該基座10之相對側的位置。該訊號接頭14設置於該結合座12上。該電訊號傳導件16設置於該結合座12中，該電訊號傳導件16一端電性連接該訊號接頭14，另一端穿出該前端面122且與該些探針18電性連接。藉此，使用者即可由探針模組1上方以顯微鏡或肉眼觀察到該些探針18的位置，方便將探針18點觸至該待測電子物件A的待測部位。
該探針模組1於高頻測試時，其所附帶之微量電感將與訊號傳輸路徑的長度成正比，訊號傳輸路徑越長，因高頻訊號而形成之電抗將越高，使得訊號損耗增加。
為了減短訊號傳輸的路徑，最直接的作法是減少電訊號傳導件16的長度。然而，即使減少電訊號傳導件16的長度，仍需讓使用者可由探針模組1上方觀察到該些探針18的位置。礙於結構的限制，習用之探針模組1部分的電訊號傳導件16將會被該前端角124所遮蔽，使得電訊號傳導件16縮短的程度有限。
有鑑於此，本發明之目的用於提供一種探針模組，可以縮短訊號傳輸路徑的長度。
緣以達成上述目的，本發明所提供探針模組，係設置於一檢測機與一待測電子物件之間，用以接抵該待測電子物件之一待測面；該探針模組包含一基座、一結合座、一訊號接頭、一電訊號傳導件與至少二探針，其中，該基座供固定於該檢測機；該結合座結合於該基座，該結合座具有一結合孔及一第一端面，該結合孔貫穿該結合座，該第一端面的一第一延伸參考面垂直於該待測電子物件的該待測面；該訊號接頭設置於該結合座且位於該結合孔中，該訊號接頭供電性連接至該檢測機，該訊號接頭具有一訊號傳導部以及一接地傳導部；該電訊號傳導件係呈桿狀，包含有一以導體製成之訊號線、一包覆該訊號線且以絕緣材料製成之絕緣層、以及一包覆該絕緣層且以導體製成之接地層；該訊號線電性連接該訊號傳導部，該接地層電性連接該接地傳導部；該至少二探針以導體製成，且供與該待測物的該待測面接抵；該二探針分別與該 電訊號傳導件一端的該訊號線及該接地層電性連接；各該探針至少一部分由該結合座正下方伸出該第一延伸參考面。
本發明另提供一種探針模組，係設置於一檢測機與一待測電子物件之間，用以接抵該待測電子物件之一待測面；該探針模組包含：一基座、一結合座、一訊號接頭、一電訊號傳導件、至少二探針與一反射鏡，其中，該基座供固定於該檢測機；該結合座結合於該基座，該結合座具有一結合孔，該結合孔貫穿該結合座；該訊號接頭設置於該結合座且位於該結合孔中，該訊號接頭供電性連接至該檢測機，該訊號接頭具有一訊號傳導部以及一接地傳導部；該電訊號傳導件係呈桿狀且位於該結合座的正投影範圍內，該電訊號傳導件包含有一以導體製成之訊號線、一包覆該訊號線且以絕緣材料製成之絕緣層、以及一包覆該絕緣層且以導體製成之接地層；該訊號線電性連接該訊號傳導部，該接地層電性連接該接地傳導部；該至少二探針以導體製成，且供與該待測物的該待測面接抵；該二探針分別與該電訊號傳導件一端的該訊號線及該接地層電性連接；該二探針位於該結合座下方且位於該結合座的正投影範圍內；該反射鏡設置於該結合座之一側，該反射鏡具有一呈傾斜設置的反射面對應該二探針，該反射面將該二探針之影像向上反射。
本發明另提供一種探針模組，係設置於一檢測機與一待測電子物件之間，用以接抵該待測電子物件之一待測面；該探針模組包含一基座、一結合座、一訊號接頭、一電訊號傳導件與至少二探針，其中該基座供固定於該檢測機；該結合座結合於該基座，該結合座具有一結合孔及一第一端面，該結合孔貫穿該結合座，該第一端面係自下而上往該基座的方向傾斜；該訊號接頭設置於該結合座且位於該結合孔中，該訊號接頭供電性連接至該檢測機，該訊號接頭具有一訊號傳導部以及一 接地傳導部，該接地傳導部具有一端緣與該第一端面的一下緣齊平；該電訊號傳導件係呈桿狀，包含有一以導體製成之訊號線、一包覆該訊號線且以絕緣材料製成之絕緣層、以及一包覆該絕緣層且以導體製成之接地層；該訊號線電性連接該訊號傳導部，該接地層電性連接該接地傳導部；該至少二探針以導體製成，結合於該電訊號傳導件上且供與該待測物的該待測面接抵；該二探針分別與該電訊號傳導件一端的該訊號線及該接地層電性連接；各該探針至少一部分由該結合座正下方伸出該結合座的正投影範圍之外。
本發明另提供一種探針模組，係設置於一檢測機與一待測電子物件之間，用以接抵該待測電子物件之一待測面；該探針模組包含一基座、一結合座、一訊號接頭、一電訊號傳導件與至少二探針，其中，該基座供固定於該檢測機；該結合座結合於該基座，該結合座具有一第一端面，該第一端面凹入形成有一缺口；該訊號接頭供電性連接至該檢測機，該訊號接頭具有一訊號傳導部以及一接地傳導部，該接地傳導部設置於該結合座且位於該缺口中；該電訊號傳導件係呈桿狀，包含有一以導體製成之訊號線、一包覆該訊號線且以絕緣材料製成之絕緣層、以及一包覆該絕緣層且以導體製成之接地層；該訊號線電性連接該訊號傳導部，該接地層電性連接該接地傳導部；該至少二探針以導體製成，結合於該電訊號傳導件上且供與該待測物的該待測面接抵；該二探針分別與該電訊號傳導件一端的該訊號線及該接地層電性連接；各該探針至少一部分由該結合座正下方伸出該結合座的正投影範圍之外。
本發明之效果在於，將結合座之第一端面設計成與待測電子物件之待面垂直，有效改善習用的探針模組之電訊號傳導件被結合座前端角遮蔽而無法縮短長度的缺失，使電訊號傳導件的長度可以盡可能 地縮短，以減短訊號傳輸路徑的長度，減少高頻訊號造成之訊號損耗。此外，利用在結合座旁設置反射鏡來反射探針之影像、結合座的第一端面自下而上往基座的方向傾斜、以及結合座位於缺口中，亦可改善習用的探針模組的電訊號傳導件被前端角遮蔽的缺失，使電訊號傳導件之長度可以更縮短。
〔習用〕
1‧‧‧探針模組
10‧‧‧基座
12‧‧‧結合座
122‧‧‧前端面
122a‧‧‧延伸參考面
124‧‧‧前端角
14‧‧‧訊號接頭
16‧‧‧電訊號傳導件
18‧‧‧探針
A‧‧‧測電子物件
A01‧‧‧待測面
〔本發明〕
2‧‧‧探針模組
20‧‧‧基座
202‧‧‧固定孔
204‧‧‧前側面
22‧‧‧結合座
222‧‧‧結合孔
224‧‧‧側螺孔
226‧‧‧第一端面
226a‧‧‧第一延伸參考面
228‧‧‧第二端面
228a‧‧‧第二延伸參考面
24‧‧‧訊號接頭
242‧‧‧接地傳導部
244‧‧‧訊號傳導部
26‧‧‧止付螺絲
28‧‧‧電訊號傳導件
28a‧‧‧訊號線
28b‧‧‧絕緣層
28c‧‧‧接地層
282‧‧‧第一段
284‧‧‧第二段
284a‧‧‧切削面
30‧‧‧吸波套管
32~34‧‧‧探針
32a~34a‧‧‧針尖
3‧‧‧探針模組
36‧‧‧電訊號傳導件
362‧‧‧第一段
364‧‧‧第二段
38‧‧‧吸波套管
40‧‧‧結合座
402a‧‧‧第一延伸參考面
404a‧‧‧第二延伸參考面
42‧‧‧探針
4‧‧‧探針模組
44‧‧‧基座
442‧‧‧第一座體
442a‧‧‧固定孔
444‧‧‧第二座體
46‧‧‧結合座
462‧‧‧第二端面
464a‧‧‧第一延伸參考面
48‧‧‧電訊號傳導件
482‧‧‧第二段
50‧‧‧探針
52‧‧‧訊號接頭
5‧‧‧探針模組
54‧‧‧基座
542‧‧‧前側面
56‧‧‧結合座
562‧‧‧結合孔
564‧‧‧側螺孔
566‧‧‧第一端面
566a‧‧‧第一延伸參考面
58‧‧‧訊號接頭
60‧‧‧電訊號傳導件
62~64‧‧‧探針
66‧‧‧印刷電路板
662‧‧‧導電線路
664‧‧‧導電線路
6‧‧‧探針模組
68‧‧‧基座
682‧‧‧前側面
70‧‧‧結合座
72‧‧‧訊號接頭
74‧‧‧電訊號傳導件
742‧‧‧第一段
744‧‧‧第二段
76‧‧‧探針
78‧‧‧吸波套管
80‧‧‧反射鏡
802‧‧‧反射面
82‧‧‧連接肋
822‧‧‧開口
7‧‧‧探針模組
84‧‧‧基座
842‧‧‧第一座體
842a‧‧‧固定孔
842b‧‧‧前側面
844‧‧‧第二座體
844a‧‧‧傾斜段
844b‧‧‧平直段
85‧‧‧結合座
852‧‧‧第一端面
852a‧‧‧下緣
852b‧‧‧上緣
852c‧‧‧第一延伸參考 面
854‧‧‧第二端面
854a‧‧‧第二延伸參考面
86‧‧‧訊號接頭
862‧‧‧接地傳導部
862a‧‧‧端緣
87‧‧‧電訊號傳導件
872‧‧‧第一段
874‧‧‧第二段
88‧‧‧吸波套管
89‧‧‧探針
8‧‧‧探針模組
90‧‧‧結合座
902‧‧‧第一端面
904‧‧‧缺口
904a‧‧‧壁面
91‧‧‧訊號接頭
912‧‧‧接地傳導部
912a‧‧‧平面
912b‧‧‧肩部
92‧‧‧基座
93‧‧‧探針
9‧‧‧探針模組
94‧‧‧結合座
942‧‧‧第一端面
95‧‧‧基座
952‧‧‧前側面
96‧‧‧訊號接頭
97‧‧‧電訊號傳導件
A1‧‧‧探針模組
98‧‧‧基座
982‧‧‧座體
984‧‧‧延伸臂
984a‧‧‧底端
99‧‧‧結合座
992‧‧‧第二端面
100‧‧‧鏤空區
A2‧‧‧探針模組
102‧‧‧基座
104‧‧‧結合座
1042‧‧‧第一端面
1042a‧‧‧第一延伸參考面
1044‧‧‧第二端面
1044a‧‧‧第二延伸參考面
A3‧‧‧探針模組
106‧‧‧基座
1062‧‧‧第一座體
1062a‧‧‧固定孔
1064‧‧‧第二座體
108‧‧‧結合座
1082‧‧‧第一端面
1082a‧‧‧第一延伸參考面
1082b‧‧‧缺口
110‧‧‧訊號接頭
112‧‧‧接地傳導部
θ1‧‧‧夾角
θ2‧‧‧夾角
θ3‧‧‧夾角
A‧‧‧待測電子物件
A01‧‧‧待測面
圖1係習用的探針模組之立體圖。
圖2係習用的探針模組之側視圖。
圖3係本發明第一較佳實施例探針模組之立體圖。
圖4係第一較佳實施例探針模組之側視圖。
圖5係第一較佳實施例電訊號傳導件之局部剖視圖。
圖6係本發明第二較佳實施例探針模組之立體圖。
圖7係第二較佳實施例探針模組之側視圖。
圖8係本發明第三較佳實施例探針模組之立體圖。
圖9係第三較佳實施例探針模組之側視圖。
圖10係本發明第四較佳實施例探針模組之立體圖。
圖11係第四較佳實施例探針模組另一方向之分解立體圖。
圖12係第四較佳實施例探針模組之局部俯視圖。
圖13係本發明第五較佳實施例探針模組之立體圖。
圖14係第五較佳實施例探針模組之側視圖。
圖15係第五較佳實施例探針模組之局部俯視圖。
圖16係本發明第六較佳實施例探針模組之立體圖。
圖17係第六較佳實施例探針模組之側視圖。
圖18係本發明第七較佳實施例探針模組之立體圖。
圖19係本發明第七較佳實施例探針模組之局部分解立體圖。
圖20係第七較佳實施例探針模組之側視圖。
圖21係本發明第八較佳實施例探針模組之立體圖。
圖22係第八較佳實施例探針模組之側視圖。
圖23係本發明第九較佳實施例探針模組之立體圖。
圖24係第九較佳實施例探針模組之側視圖。
圖25係本發明第十較佳實施例探針模組之立體圖。
圖26係第十較佳實施例探針模組之側視圖。
圖27係本發明第十一較佳實施例探針模組之立體圖。
圖28係第十一較佳實施例探針模組之側視圖。
為能更清楚地說明本發明，茲舉較佳實施例並配合圖式詳細說明如后，請參圖3與圖5所示，為本發明第一較佳實施例之探針模組2，其係設置於一檢測機(圖未示)與一待測電子物件A之間，且該待測電子物件A具有一待測面A01。該探針模組2包含一基座20、一結合座22、一訊號接頭24、一電訊號傳導件28與三探針32~34。
該基座20具有二固定孔202，該二固定孔202係供二螺栓(圖未示)穿過，以將該基座20固定於該檢測機上。
該結合座22係結合於該基座20的一前側面204上，該結合座22係由該基座20的前側面204往外傾斜。該結合座22具有一結合孔222以及一側螺孔224，該結合孔222係傾斜地貫穿該結合座22，且該結合孔 222的底部較頂部遠離該基座20。該側螺孔224與該結合孔222相通。此外，該結合座22具有一第一端面226與一第二端面228，該第一端面226位於遠離該基座20之前側面204的相對側，該第二端面228位於該結合座22的最底部。該第一端面226的一第一延伸參考面226a與該第二端面228的一第二延伸參考面228a相垂直，且該第一延伸參考面226a垂直於該待測電子物件A的該待測面A01，該第二延伸參考面228a平行於該待測電子物件A的該待測面A01。
該訊號接頭24設置於該結合座22且位於該結合孔222中，透過一止付螺絲26鎖入該側螺孔224並緊抵於該訊號接頭24之外周面以固定該訊號接頭24。該訊號接頭24具有一接地傳導部242與一訊號傳導部244，於本實施例中，該接地傳導部242為一金屬外殼，該訊號傳導部244為位於該接地傳導部242中的一金屬凸柱。該訊號傳導部244及該接地傳導部242供一訊號端子(圖未示)電性連接至該檢測機。
請參閱圖5，該電訊號傳導件28呈桿狀，包含有一以導體製成之訊號線28a、一包覆該訊號線28a且以絕緣材料製成之絕緣層28b、一包覆該絕緣層28b且以導體製成之接地層28c。該電訊號傳導件28具有相連接且位於該結合座22下方的一第一段282與一第二段284，該第一段282之一端位於該訊號接頭24內，且位於該第一段282的訊號線28a及接地層28c分別電性連接該訊號傳導部244及該接地傳導部242。該第一段282套設有一吸波套管30，且該第一段282及該吸波套管30的一部分裸露於該結合座22下方。該吸波套管30係以吸波材料所製成，用以吸收雜訊，以避免雜訊干擾電訊號的傳輸。於本實施例中，該第一段282的一部分、吸波套管30的一部分及該第二段284係伸出該第一延伸參考面226a。該電訊號傳導件28的第二段284的一端具有一切削面284a，使 該訊號線28a、該絕緣層28b及該接地層28c裸露於外。本實施例的該電訊號傳導件28的長軸向與該第二延伸參考面228a之間的夾角θ1為42度。
該些探針32~34係以導體製成，各該探針32~34之一端具有一針尖32a~34a，該針尖32a~34a供接抵於該待測電子物件A的待測面A01的待測部位。各該探針32~34的一面則焊設於該第一段282的切削面284a上，其中一該探針32與該訊號線28a電性連接，而另外二探針33,34則與該接地層28c電性連接。藉此，使各該探針32~34的整體由該結合座22正下方伸出該第一延伸參考面226a而位於該結合座22的正投影範圍之外，且各該針尖32a~34a之位置低於該第二延伸參考面228a。實務上，亦可視待測部位的不同而僅使用二個探針，使該二探針分別與該訊號線及該接地層電性連接。
透過上述之設計，在使用該探針模組2點測該待測電子物件A時，即可由該探針模組2上方以顯微鏡或肉眼觀察到該些探針32~34的位置，而可將該些探針32~34移至該待測電子物件A的待測部位上進行點測。值得一提的是，由於該第一端面226係垂直於該待測電子物件A的待測面A01，因此，相較於習用的探針模組，該電訊號傳導件28的長度可以再縮短，而不會如同習用的探針模組其電訊號傳導件被結合座的前端角所遮蔽的部分成為多餘的長度。因此，本實施例的電訊號傳導件28可以省去多餘的長度，減短訊號傳輸的路徑，有效地減少高頻訊號造成之訊號損耗，而使得高頻檢測能更加地準確。
此外，由於該第二端面228平行於該待測面A01，因此，該結合座22可較接近該待測電子物件A，而可更減短電訊號傳導件28的長度。
圖6與圖7所示為本發明第二較佳實施例之探針模組3，其具有大致相同於前述第一較佳實施例之結構，不同的是，本實施例之電訊號傳導件36的長軸向與第二延伸參考面404a之間的夾角θ2為55度，且該電訊號傳導件36的第一段362及吸波套管38位於結合座40的正投影範圍內。而第二段364的一部分及探針42的一部分亦位於結合座40的正投影範圍內，意即各該探針42僅一部分伸出第一延伸參考面402a。藉此，該電訊號傳導件36的長度相較於第一實施例之電訊號傳導件28的長度可更為縮短。
圖8與圖9所示為本發明第三較佳實施例之探針模組4，其具有大致相同於前述第一較佳實施例之結構，不同的是，本實施例的基座44包括相連接的一第一座體442與一第二座體444，該第一座體442上具有複數個固定孔442a供固定於該檢測機，該第二座體444與該第一座體442之間具有一段差，使該第二座體444的位置低於該第一座體442。本實施例的結合座46係結合於該第二座體444，且該結合座46位於最底部的第二端面462與該第二座體444的最底端齊平。電訊號傳導件48的第二段482一部分及探針50的一部分亦位於結合座46的正投影範圍內，僅各該探針50的一部分伸出第一延伸參考面464a。由於該第二座體444的低於第一座體442，使得訊號接頭52周圍具有較多的空間方便使用者將檢測機的訊號端子安裝至該訊號接頭52上。
圖10與圖11所示為本發明第四較佳實施例之探針模組5，其具有大致相同於第一實施例的一基座54、一結合座56、一訊號接頭58、一電訊號傳導件60與三探針62~64，不同的是，本實施例的結合座56之結合孔562係垂直地貫穿該結合座56，側螺孔564係位於遠離該基座54前側面542的相對側之位置。該結合座56的第一端面566則位於鄰近該 基座54的前側面542之位置。該電訊號傳導件60係垂直地設置於該訊號接頭58中且位於該結合座56的正投影範圍內。此外，該探針模組5更包括一印刷電路板66位於該結合座56的正投影範圍內，該印刷電路板66的底面以電路佈局的方式佈置有至少二導電線路662,664，其中一該導電線路662電性連接至該電訊號傳導件60的訊號線，另一該導電線路664電連接至該電訊號傳導件60的接地層。實施上，該電訊號傳導件60與該二導電線路662,664可透過貫穿該印刷電路板66的導電貫孔電性連接。
各該探針62~64設置於該印刷電路板66鄰近於該第一端面566的邊緣部位，各該探針62~64的一部分伸出該第一端面566的第一延伸參考面566a。其中一該探針62銲接於該導電線路662，且透過該導電線路662電性連接該電訊號傳導件60的訊號線，另外二該探針63,64銲接於與該導電線路664且透過該導電線路664電性連接至該電訊號傳導件60的接地層。
藉由上述之設計，同樣可以達到僅使探針62~64的一部分露出該第一延伸參考面566a，以減短訊號傳輸路徑的長度。
圖13與圖14為本發明第五較佳實施例之探針模組6，其具有類似於前述第四實施例之結構，同樣包含一基座68、一結合座70、一訊號接頭72、一電訊號傳導件74與三探針76，不同的是，該電訊號傳導件74具有相連的一第一段742與一第二段744，該第一段742套設有一吸波套管78，該第一段742之一端位於該訊號接頭72內，且位於該第一段742的訊號線及接地層分別電性連接該訊號接頭的訊號傳導部及接地傳導部。該第一段742向下延伸且該第一段742及該吸波套管78的一部分裸露於該結合座70下方。該電訊號傳導件74的長軸向垂直於該待測電子物件A的該待測面A01。該些探針76位於結合座70下方且位於該結合座70 的正投影範圍內。該些探針76分別電性連接於該電訊號傳導件74第二段744底端的訊號線及接地層。
此外，該探針模組6更包含一反射鏡80，該反射鏡80設置於該結合座70相對於該基座68前側面682之一側。本實施例中，該反射鏡80透過二連接肋82而設置於該結合座70，各該連接肋82一端鎖固於該結合座70，另一端連接該反射鏡80。該二連接肋82之彼此相隔一間距而形成一開口822。該反射鏡80具有一反射面802位於該開口822下方，該反射面802呈傾斜設置且對應該二探針76，該反射面802將該二探針76及該待測電子物件A之影像向上反射。該反射鏡80之最底端的位置高於該二探針76的針尖。
請配合圖15，使用者由該探針模組6上方以顯微鏡或肉眼觀察時，即可由該開口822觀察到該些探針76相對於該待測電子物件A的位置。值得一提的是，由於該電訊號傳導件74係垂直於該待測電子物件A的待測面A01，因此，該電訊號傳導件74具有最短的訊號傳輸路徑，有效地縮短檢測機與該待測電子物件A之間訊號傳輸路徑的長度。
圖16與圖17為本發明第六較佳實施例之探針模組7，其具有大致相同於前述第一較佳實施例之結構，不同的是，本實施例的基座84包括一第一座體842與一第二座體844，該第一座體842上具有複數個固定孔842a供固定於該檢測機。該第二座體844之寬度小於該第一座體842之寬度，該第二座體844具有一傾斜段844a與一平直段844b，該傾斜段844a的上端係連接於該第一座體842的前側面842b且呈向下傾斜，該平直段844b之一端連接於該傾斜段844a的下端。
本實施例的結合座85一體連接於該平直段844b的另一端。此外，該結合座85同樣具有第一端面852與第二端面854，不同的是， 第一端面852係自其下緣852a往上緣852b的方向往該基座的方向傾斜，第一端面852的第一延伸參考面852c與待測電子物件A的待測面A01之間的夾角θ3小於90度。而訊號接頭86的接地傳導部862之端緣862a與該第一端面852的下緣852a齊平。第二端面854同樣為結合座85的最底部的端面且與該第二座體844之平直段844b的底端齊平，第二端面854其第二延伸參考面854a同樣平行於該待測電子物件A的該待測面A01。
本實施例的電訊號傳導件87與第一實施例相同，吸波套管88、電訊號傳導件的第二段874伸出該結合座85的正投影範圍之外。藉此，由該探針模組7上方即可容易地觀察到探針89的位置。
實務上，亦可如同第二實施例，使電訊號傳導件的第一段872及吸波套管88位於結合座85的正投影範圍內，僅第二段874的一部分及探針89的一部分位於結合座85的正投影範圍外。
圖18至圖20為本發明第七較佳實施例之探針模組8，其具有大致相同於第六實施例之結構，不同的是，本實施例結合座90的第一端面902凹入形成有一缺口904，而訊號接頭91的接地傳導部912係設置於該結合座90且位於該缺口904中。該訊號接頭91的接地傳導部912的一部分自該缺口904突出該第一端面902，意即使該接地傳導部912遠離該基座92的一側未被結合座90所包覆而裸露於外。此外，該訊號接頭91之接地傳導部912的外周面具有一平面912a及一肩部912b，該平面912a抵於該缺口904的壁面904a，該肩部912b抵於該缺口904周圍，以固定該訊號接頭91的位置。藉此，同樣可以由該探針模組8上方很容易地觀察到探針93的位置。
圖21與圖22為本發明第八較佳實施例之探針模組9，其具有大致相同於第二實施例之結構，不同的是，本實施例結合座94的第一 端面942係與基座95的前側面952相鄰，且實質上與該前側面952垂直。訊號接頭96的軸向及電訊號傳導件97的長軸向則是實質上與該前側面952平行。
圖23與圖24為本發明第九較佳實施例之探針模組A1，其具有大致相同於第三實施例之結構，不同的是，本實施例的基座98包括一座體982與二延伸臂984，該二延伸臂984與該座體982之間具有一段差，使該延伸臂984的位置低於該座體982。該二延伸臂984彼此相隔一距離，各該延伸臂984一端結合於該座體982，另一端結合於結合座99上。該座體982、該二延伸臂984及該結合座99之間形成一鏤空區100。該二延伸臂984的底端984a與該結合座99的第二端面992齊平。
圖25與圖26為本發明第十較佳實施例之探針模組A2，其具有大致相同於第一實施例之結構，不同的是，本實施例的基座102及結合座104為一體延伸形成，該基座102與該結合座104二者的寬度相同且二者的厚度相同。該結合座104的第一端面1042的第一延伸參考面1042a同樣與待測電子物件A的待測面A01實質上垂直。該結合座104第二端面1044的第二延伸參考面1044a同樣平行於該待測電子物件A的該待測面A01。實務上，亦可如第六實施例，使第一端面的第一延伸參考面與待測電子物件A的待測面A01之間的夾角小於90度。
圖27與圖28為本發明第十一較佳實施例之探針模組A3，其具有大致相同於第十實施例之結構，不同的是，本實施例的基座106包括有相連的第一座體1062與第二座體1064，第一座體1062具有固定孔1062a，第二座體1064的寬度與第一座體1062寬度相同，而第二座體1064的厚度大於第一座體1062的厚度。結合座108連接於第二座體1064，且二者的寬度相同，二者的厚度亦相同。此外，結合座108的第一端面1082 的第一延伸參考面1082a與待測電子物件A的待測面A01之間的夾角小於90度。該第一端面1082凹入形成有一缺口1082b，而訊號接頭110的接地傳導部112係設置於該結合座108且位於該缺口1082b中。
據上所述，本發明巧妙地將結合座之第一端面設計成與待測電子物件之待測面垂直，改善習用的探針模組之電訊號傳導件被結合座前端角遮蔽而無法縮短長度的缺失，使電訊號傳導件的長度可以盡可能地縮短，以減短訊號傳輸路徑的長度，有效地減少高頻訊號造成之訊號損耗，而使得高頻檢測能更加地準確。此外，第五~第七實施例利用在結合座旁設置反射鏡來反射探針之影像、結合座的第一端面自下而上往基座的方向傾斜、以及結合座位於缺口中，亦可改善習用的探針模組之電訊號傳導件被結合座前端角遮蔽而無法縮短長度的缺失，使電訊號傳導件之長度可以縮短。
以上所述僅為本發明較佳可行實施例而已，舉凡應用本發明說明書及申請專利範圍所為之等效變化，理應包含在本發明之專利範圍內。
3探針模組 36電訊號傳導件 362第一段 364第二段 38吸波套管 40結合座 402a第一延伸參考面 404a第二延伸參考面 42探針 θ2夾角

Claims (30)

  1. 一種探針模組，係設置於一檢測機與一待測電子物件之間，用以接抵該待測電子物件之一待測面；該探針模組包含：一基座，供固定於該檢測機；一結合座，結合於該基座，該結合座具有一結合孔及一第一端面，該結合孔貫穿該結合座，該第一端面的一第一延伸參考面垂直於該待測電子物件的該待測面；一訊號接頭，設置於該結合座且位於該結合孔中，該訊號接頭供電性連接至該檢測機，該訊號接頭具有一訊號傳導部以及一接地傳導部；一電訊號傳導件，係呈桿狀，包含有一以導體製成之訊號線、一包覆該訊號線且以絕緣材料製成之絕緣層、以及一包覆該絕緣層且以導體製成之接地層；該訊號線電性連接該訊號傳導部，該接地層電性連接該接地傳導部；以及至少二探針，以導體製成，且供與該待測物的該待測面接抵；該二探針分別與該電訊號傳導件一端的該訊號線及該接地層電性連接；各該探針至少一部分由該結合座正下方伸出該第一延伸參考面。
  2. 如請求項1所述之探針模組，包含一吸波套管，係以吸波材料製成；該電訊號傳導件包括有相連接且位於該結合座下方的一第一段與一第二段；該吸波套管套設於該第一段上，且該吸波套管一部分裸露於該結合座外；該二探針結合於該第二段的一端。
  3. 如請求項2所述之探針模組，其中該電訊號傳導件的該第一段的一部分及該第二段由該結合座正下方伸出該第一延伸參考面，使各該探針的整體伸出該第一延伸參考面。
  4. 如請求項2所述之探針模組，其中該第一段及該吸波套管位於該結合座的正投影範圍內。
  5. 如請求項4所述之探針模組，其中各該探針僅一部分伸出該第一延伸參考面。
  6. 如請求項1所述之探針模組，其中該結合座具有位於最底部的一第二端面，該第二端面之一第二延伸參考面平行於該待測電子物件的該待測面，該二探針具有一針尖，該針尖之位置低於該第二延伸參考面。
  7. 如請求項6所述之探針模組，其中該基座包括相連接的一第一座體與一第二座體，該第一座體供固定於該檢測機，該第二座體與該結合座結合，其中，該第二座體的位置低於該第一座體，且該第二座體的底端與該結合座的該第二端面齊平。
  8. 如請求項6所述之探針模組，其中該基座包括相連接的一座體與二延伸臂，該二延伸臂彼此相隔一距離，各該延伸臂一端結合於該座體，另一端結合於該結合座上；該座體、該二延伸臂及該結合座之間形成一鏤空區；該二延伸臂的底端與該結合座的該第二端面齊平。
  9. 如請求項1所述之探針模組，包括有一印刷電路板，該印刷電路板上佈設有至少二導電線路；該印刷電路板與該電訊號傳導件位於該結合座的正投影範圍內；該些探針分別銲接於該二導電線路，且該二探針分別透過該二導電線路電性連接該電訊號傳導件的該訊號線與該接地層。
  10. 一種探針模組，係設置於一檢測機與一待測電子物件之間，用以接抵該待測電子物件之一待測面；該探針模組包含：一基座，供固定於該檢測機； 一結合座，結合於該基座，該結合座具有一結合孔，該結合孔貫穿該結合座；一訊號接頭，設置於該結合座且位於該結合孔中，該訊號接頭供電性連接至該檢測機，該訊號接頭具有一訊號傳導部以及一接地傳導部；一電訊號傳導件，係呈桿狀且位於該結合座的正投影範圍內，該電訊號傳導件包含有一以導體製成之訊號線、一包覆該訊號線且以絕緣材料製成之絕緣層、以及一包覆該絕緣層且以導體製成之接地層；該訊號線電性連接該訊號傳導部，該接地層電性連接該接地傳導部；至少二探針，以導體製成，且供與該待測物的該待測面接抵；該二探針分別與該電訊號傳導件一端的該訊號線及該接地層電性連接；該二探針位於該結合座下方且位於該結合座的正投影範圍內；以及一反射鏡，設置於該結合座之一側，該反射鏡具有一呈傾斜設置的反射面對應該二探針，該反射面將該二探針之影像向上反射。
  11. 如請求項10所述之探針模組，包含二連接肋，各該連接肋一端連接結合座，另一端連接該反射鏡，該二連接肋之間形成一開口，且該反射面位於該開口下方。
  12. 如請求項11所述之探針模組，其中該反射鏡之最底端的位置高於該二探針的針尖。
  13. 如請求項10所述之探針模組，其中該電訊號傳導件的長軸向垂直於該待測面。
  14. 如請求項10所述之探針模組，包含一吸波套管，係以吸波材料製成；該電訊號傳導件包括有相連接且位於該結合座下方的一第一段與一第二段；該吸波套管套設於該第一段上，且該吸波套管一部分裸露於該結合座外；該二探針結合於該第二段的一端。
  15. 一種探針模組，係設置於一檢測機與一待測電子物件之間，用以接抵該待測電子物件之一待測面；該探針模組包含：一基座，供固定於該檢測機；一結合座，結合於該基座，該結合座具有一結合孔及一第一端面，該結合孔貫穿該結合座，該第一端面係自下而上往該基座的方向傾斜；一訊號接頭，設置於該結合座且位於該結合孔中，該訊號接頭供電性連接至該檢測機，該訊號接頭具有一訊號傳導部以及一接地傳導部，該接地傳導部具有一端緣與該第一端面的一下緣齊平；一電訊號傳導件，係呈桿狀，包含有一以導體製成之訊號線、一包覆該訊號線且以絕緣材料製成之絕緣層、以及一包覆該絕緣層且以導體製成之接地層；該訊號線電性連接該訊號傳導部，該接地層電性連接該接地傳導部；以及至少二探針，以導體製成，結合於該電訊號傳導件上且供與該待測物的該待測面接抵；該二探針分別與該電訊號傳導件一端的該訊號線及該接地層電性連接；各該探針至少一部分由該結合座正下方伸出該結合座的正投影範圍之外。
  16. 如請求項15所述之探針模組，包含一吸波套管，係以吸波材料製成；該電訊號傳導件包括有相連接且位於該結合座下方的一第一段與一第二段；該吸波套管套設於該第一段上，且該吸波套管一部分裸露於該結合座外；該二探針結合於該第二段的一端。
  17. 如請求項16所述之探針模組，其中該電訊號傳導件的該第一段的一部分及該第二段由該結合座正下方伸出伸出該結合座的正投影範圍之外，使各該探針的整體伸出該第一延伸參考面。
  18. 如請求項16所述之探針模組，其中該第一段及該吸波套管位於該結合座的正投影範圍內。
  19. 如請求項18所述之探針模組，其中各該探針僅一部分伸出該結合座的正投影範圍外。
  20. 如請求項15所述之探針模組，其中該結合座具有位於最底部的一端面，該端面之一延伸參考面平行於該待測電子物件的該待測面，該二探針具有一針尖，該針尖之位置低於該第二延伸參考面。
  21. 如請求項20所述之探針模組，其中該基座包括相連接的一第一座體與一第二座體，該第一座體供固定於該檢測機，該第二座體與該結合座結合，其中，該第二座體的位置低於該第一座體，且該第二座體的底端與該結合座的該第二端面齊平。
  22. 一種探針模組，係設置於一檢測機與一待測電子物件之間，用以接抵該待測電子物件之一待測面；該探針模組包含：一基座，供固定於該檢測機；一結合座，結合於該基座，該結合座具有一第一端面，該第一端面凹入形成有一缺口；一訊號接頭，供電性連接至該檢測機，該訊號接頭具有一訊號傳導部以及一接地傳導部，該接地傳導部設置於該結合座且位於該缺口中；一電訊號傳導件，係呈桿狀，包含有一以導體製成之訊號線、一包覆該訊號線且以絕緣材料製成之絕緣層、以及一包覆該絕緣層且以導體製成之接地層；該訊號線電性連接該訊號傳導部，該接地層電性連接該接地傳導部；以及至少二探針，以導體製成，結合於該電訊號傳導件上且供與該待測物的該待測面接抵；該二探針分別與該電訊號傳導件一端的該訊號線及 該接地層電性連接；各該探針至少一部分由該結合座正下方伸出該結合座的正投影範圍之外。
  23. 如請求項22所述之探針模組，包含一吸波套管，係以吸波材料製成；該電訊號傳導件包括有相連接且位於該結合座下方的一第一段與一第二段；該吸波套管套設於該第一段上，且該吸波套管一部分裸露於該結合座外；該二探針結合於該第二段的一端。
  24. 如請求項23所述之探針模組，其中該電訊號傳導件的該第一段的一部分及該第二段由該結合座正下方伸出伸出該結合座的正投影範圍之外，使各該探針的整體伸出該第一延伸參考面。
  25. 如請求項23所述之探針模組，其中該第一段及該吸波套管位於該結合座的正投影範圍內。
  26. 如請求項25所述之探針模組，其中各該探針僅一部分伸出該結合座的正投影範圍外。
  27. 如請求項22所述之探針模組，其中該結合座具有位於最底部的一端面，該端面之一延伸參考面平行於該待測電子物件的該待測面，該二探針具有一針尖，該針尖之位置低於該第二延伸參考面。
  28. 如請求項22所述之探針模組，其中該基座包括相連接的一第一座體與一第二座體，該第一座體供固定於該檢測機，該第二座體與該結合座結合，其中，該第二座體的位置低於該第一座體，且該第二座體的底端與該結合座的該第二端面齊平。
  29. 如請求項22所述之探針模組，其中該訊號接頭之接地傳導部的一部分自該缺口突出該第一端面。
  30. 如請求項22所述之探針模組，其中該訊號接頭之接地傳導部具有一平面及一肩部，該平面抵於該缺口的壁面，該肩部抵於該缺口周圍。
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