TWI571356B - 可顯色使用壽命終點之吸附墊及其製造方法 - Google Patents

可顯色使用壽命終點之吸附墊及其製造方法 Download PDF

Info

Publication number
TWI571356B
TWI571356B TW105101771A TW105101771A TWI571356B TW I571356 B TWI571356 B TW I571356B TW 105101771 A TW105101771 A TW 105101771A TW 105101771 A TW105101771 A TW 105101771A TW I571356 B TWI571356 B TW I571356B
Authority
TW
Taiwan
Prior art keywords
layer
dye
adsorption
adsorption pad
capsule
Prior art date
Application number
TW105101771A
Other languages
English (en)
Other versions
TW201726314A (zh
Inventor
馮崇智
姚伊蓬
王良光
宋欣如
Original Assignee
三芳化學工業股份有限公司
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by 三芳化學工業股份有限公司 filed Critical 三芳化學工業股份有限公司
Priority to TW105101771A priority Critical patent/TWI571356B/zh
Priority to US15/149,965 priority patent/US20170203407A1/en
Application granted granted Critical
Publication of TWI571356B publication Critical patent/TWI571356B/zh
Publication of TW201726314A publication Critical patent/TW201726314A/zh

Links

Classifications

    • B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B24—GRINDING; POLISHING
    • B24B—MACHINES, DEVICES, OR PROCESSES FOR GRINDING OR POLISHING; DRESSING OR CONDITIONING OF ABRADING SURFACES; FEEDING OF GRINDING, POLISHING, OR LAPPING AGENTS
    • B24B37/00—Lapping machines or devices; Accessories
    • B24B37/11—Lapping tools
    • B24B37/20—Lapping pads for working plane surfaces
    • B24B37/24—Lapping pads for working plane surfaces characterised by the composition or properties of the pad materials

Landscapes

  • Engineering & Computer Science (AREA)
  • Mechanical Engineering (AREA)
  • Laminated Bodies (AREA)

Description

可顯色使用壽命終點之吸附墊及其製造方法
本發明係關於一種吸附墊及其製造方法，特別係關於一種可顯色使用壽命終點之吸附墊及其製造方法。
參考圖1，其係顯示美國公告專利第US5,871,393號所揭示之具有習知吸附墊之研磨設備之示意圖。該研磨設備10包括一下平台(Lower Base Plate)11、一吸附墊(Sheet)12、一基材(Workpiece)13、一上平台(Upper Base Plate)14、一拋光墊(Polishing Pad)15及一研磨漿液(Slurry)16。該下平台11係相對於該上平台14。該吸附墊12係設置於該下平台11上，且該吸附墊12係用以承載及固定該基材13。該拋光墊15係固定於該上平台14，且面向該下平台11，用以對該基材13進行拋光。
該研磨設備10之作動方式如下。首先將該基材13置於該吸附墊12上，且該基材13被該吸附墊12吸住。接著，該上平台14及該下平台11係以相反方向旋轉，且同時將該上平台14向下移動，使該拋光墊15接觸到該基材13之表面，藉由不斷補充該研磨漿液16以及該拋光墊15的作用，可對該基材13進行拋光作業。
惟上述之該吸附墊12經長時間使用後，皆會面臨滲水至墊內而造成虹吸現象被破壞之情形，以致該基材13與該吸附墊12間之吸附力 變差，進而使得該基材13無法拋平甚至破片。當上述之滲水情形發生時，即表示該吸附墊12已達使用壽命終點而必須更換。
然而，由於無法準確得知滲水情形發生的第一時間，故亦無法在滲水情形發生的第一時間立即更換該吸附墊12，以致大量之基材13因拋光不良或破片而需廢棄。因此，若能準確判斷出滲水情形發生的第一時間(即吸附墊12之使用壽命終點)，並立即更換該吸附墊12，將可避免基材13之耗損。
基於上述理由，有必要提供一創新且具進步性之可顯色使用壽命終點之吸附墊及其製造方法，以解決上述問題。
本發明提供一種可顯色使用壽命終點之吸附墊，包括一吸附層、一染料膠囊層及一載體層。該吸附層具有一表面。該染料膠囊層設置於該吸附層之表面。該載體層貼合於該染料膠囊層上。
本發明另提供一種可顯色使用壽命終點之吸附墊之製造方法，包括以下步驟：提供一吸附層，該吸附層具有一表面；形成一染料膠囊層於該吸附層之表面；及貼合一載體層於該染料膠囊層上。
本發明之染料膠囊層可在吸附墊滲水後溶解出染料，透過染料之顯色效果，可輕易判斷出吸附墊之使用壽命終點。
為了能夠更清楚瞭解本發明的技術手段，而可依照說明書的內容予以實施，並且為了讓本發明所述目的、特徵和優點能夠更明顯易懂，以下特舉較佳實施例，並配合附圖，詳細說明如下。
10‧‧‧研磨設備
11‧‧‧下平台
12‧‧‧吸附墊
13‧‧‧基材
14‧‧‧上平台
15‧‧‧拋光墊
16‧‧‧研磨漿液
20‧‧‧可顯色使用壽命終點之吸附墊
21‧‧‧吸附層
21S‧‧‧表面
22‧‧‧染料膠囊層
221‧‧‧染料微膠囊
221C‧‧‧水溶性膠囊體
221D‧‧‧染料
23‧‧‧載體層
24‧‧‧黏著層
S61~S63‧‧‧步驟
圖1顯示美國公告專利第US5,871,393號所揭示之具有習知吸附墊之研磨設備之示意圖；圖2顯示本發明可顯色使用壽命終點之吸附墊之結構示意圖；圖3顯示本發明染料微膠囊之結構示意圖； 圖4顯示本發明另一實施例吸附墊之結構示意圖；圖5顯示本發明可顯色使用壽命終點之吸附墊之滲水顯色示意圖；圖6顯示本發明可顯色使用壽命終點之吸附墊之製造方法流程圖；圖7A顯示本發明之製造方法中之一吸附層之示意圖；圖7B顯示依據本發明之製造方法形成一染料膠囊層於吸附層之表面之示意圖；及圖7C顯示依據本發明之製造方法貼合一載體層於染料膠囊層上之示意圖。
參閱圖2，其係顯示本發明可顯色使用壽命終點之吸附墊之結構示意圖。本發明之可顯色使用壽命終點之吸附墊20包括一吸附層21、一染料膠囊層22及一載體層23。
在本實施例中，該吸附層21係為聚氨酯(PU)膜，且該吸附層21具有一表面21S。
該染料膠囊層22設置於該吸附層21之表面21S，且該染料膠囊層22包括至少一染料微膠囊221。在本實施例中，該染料膠囊層22包括複數個染料微膠囊221。
參閱圖3，其係顯示本發明染料微膠囊之結構示意圖。該染料微膠囊221包括一水溶性膠囊體221C及一染料221D，該染料221D設置於該水溶性膠囊體221C內。在本實施例中，該水溶性膠囊體221C遇水係會溶解，並釋放出該染料221D，以達到顯色之效果。
再參閱圖2及圖3，為維持該載體層23與該吸附層21之結合強度及該可顯色使用壽命終點之吸附墊20之結構強度，該染料膠囊層22之厚度不應太薄或太厚，故較佳地，該染料膠囊層22之厚度應控制在10 至1000微米，且該染料膠囊層22之厚度應小於該吸附層21之厚度及小於該載體層23之厚度。
此外，為使該染料膠囊層22之厚度能順利控制在10至1000微米，較佳地，該染料微膠囊221之長度應控制在10至100微米。
該載體層23係貼合於該染料膠囊層22上。在本實施例中，該載體層23係為背膠膜，該背膠膜係可直接貼合於該染料膠囊層22上。此外，該可顯色使用壽命終點之吸附墊20亦可藉由該背膠膜貼合於一研磨設備(圖未繪出)上。
參閱圖4，其係顯示本發明另一實施例吸附墊之結構示意圖。在另一實施例中，係可設置一黏著層24於該染料膠囊層22與該載體層23之間，以使該載體層23可透過該黏著層24貼合於該染料膠囊層22上。較佳地，該黏著層24係為背膠膜或糊劑，而該載體層23之材質係可為聚對苯二甲酸乙二酯(PET)。
參閱圖5，其係顯示本發明可顯色使用壽命終點之吸附墊之滲水顯色示意圖。當該可顯色使用壽命終點之吸附墊20滲水後，該染料膠囊層22之該等染料微膠囊221因遇水而溶解，並釋放出該等染料221D，透過該等染料221D之顯色效果，即可輕易判斷出該吸附墊20之使用壽命終點。
圖6顯示本發明可顯色使用壽命終點之吸附墊之製造方法流程圖。圖7A顯示本發明之製造方法中之一吸附層之示意圖。圖7B顯示依據本發明之製造方法形成一染料膠囊層於吸附層之表面之示意圖。圖7C顯示依據本發明之製造方法貼合一載體層於染料膠囊層上之示意圖。
配合參閱圖6之步驟S61及圖7A，提供一吸附層21，該吸附層21具有一表面21S。在本實施例中，該吸附層21係為聚氨酯(PU)膜。
配合參閱圖6之步驟S62及圖7B，形成一染料膠囊層22於該吸附 層21之表面21S。在此步驟中，係可以塗佈或噴霧方式形成該染料膠囊層22於該吸附層21之表面21S。
此外，該染料膠囊層22包括至少一染料微膠囊221。在本實施例中，該染料膠囊層22包括複數個染料微膠囊221。
再參閱圖3及圖7B，該染料微膠囊221包括一水溶性膠囊體221C及一染料221D，該染料221D設置於該水溶性膠囊體221C內。在本實施例中，該水溶性膠囊體221C遇水係會溶解，並釋放出該染料221D，以達到顯色之效果。
配合參閱圖6之步驟S63及圖7C，貼合一載體層23於該染料膠囊層22上。在本實施例中，該載體層23係為背膠膜，該背膠膜係可直接貼合於該染料膠囊層22上。
再參閱圖4，或者，在另一實施例中，係可設置一黏著層24於該染料膠囊層22與該載體層23之間，以使該載體層23可透過該黏著層24貼合於該染料膠囊層22上。較佳地，該黏著層24係為背膠膜或糊劑，而該載體層23之材質係可為聚對苯二甲酸乙二酯(PET)。
此外，該黏著層24係可採用下列兩種方法中之任一方法設置於該染料膠囊層22與該載體層23之間：
1.於步驟S62中，先設置該黏著層24於該染料膠囊層22上，使步驟S63之該載體層23可透過該黏著層24貼合於該染料膠囊層22上。
2.於步驟S63中，先設置該黏著層24於該載體層23上，該載體層23再透過該黏著層24貼合於該染料膠囊層22上。
再參閱圖7C，為維持該載體層23與該吸附層21之結合強度及該可顯色使用壽命終點之吸附墊20之結構強度，該染料膠囊層22之厚度不應太薄或太厚，故較佳地，該染料膠囊層22之厚度應控制在10至1000微米，且該染料膠囊層22之厚度應小於該吸附層21之厚度及小於 該載體層23之厚度。
此外，為使該染料膠囊層22之厚度能順利控制在10至1000微米，較佳地，該染料微膠囊221之長度應控制在10至100微米。
上述實施例僅為說明本發明之原理及其功效，並非限制本發明，因此習於此技術之人士對上述實施例進行修改及變化仍不脫本發明之精神。本發明之權利範圍應如後述之申請專利範圍所列。
20‧‧‧可顯色使用壽命終點之吸附墊
21‧‧‧吸附層
21S‧‧‧表面
22‧‧‧染料膠囊層
221‧‧‧染料微膠囊
23‧‧‧載體層

Claims (9)

  1. 一種可顯色使用壽命終點之吸附墊，包括：一吸附層，具有一表面；一染料膠囊層，設置於該吸附層之表面，該染料膠囊層之厚度小於該吸附層之厚度；及一載體層，貼合於該染料膠囊層上。
  2. 如請求項1之可顯色使用壽命終點之吸附墊，其中該吸附層係為聚氨酯(PU)膜。
  3. 如請求項1之可顯色使用壽命終點之吸附墊，其中該染料膠囊層包括至少一染料微膠囊。
  4. 如請求項3之可顯色使用壽命終點之吸附墊，其中該染料微膠囊之長度為10至100微米。
  5. 如請求項3之可顯色使用壽命終點之吸附墊，其中該染料微膠囊包括一水溶性膠囊體及一染料，該染料設置於該水溶性膠囊體內。
  6. 如請求項1之可顯色使用壽命終點之吸附墊，其中該染料膠囊層之厚度為10至1000微米。
  7. 如請求項1之可顯色使用壽命終點之吸附墊，其中該染料膠囊層之厚度小於該載體層之厚度。
  8. 如請求項1之可顯色使用壽命終點之吸附墊，其中該載體層係為背膠膜。
  9. 如請求項1之可顯色使用壽命終點之吸附墊，另包括一黏著層，該黏著層設置於該染料膠囊層與該載體層之間。
TW105101771A 2016-01-20 2016-01-20 可顯色使用壽命終點之吸附墊及其製造方法 TWI571356B (zh)

Priority Applications (2)

Application Number Priority Date Filing Date Title
TW105101771A TWI571356B (zh) 2016-01-20 2016-01-20 可顯色使用壽命終點之吸附墊及其製造方法
US15/149,965 US20170203407A1 (en) 2016-01-20 2016-05-09 Back pad capable of color rendering end-of-life and manufacturing method thereof

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
TW105101771A TWI571356B (zh) 2016-01-20 2016-01-20 可顯色使用壽命終點之吸附墊及其製造方法

Publications (2)

Publication Number Publication Date
TWI571356B true TWI571356B (zh) 2017-02-21
TW201726314A TW201726314A (zh) 2017-08-01

Family

ID=58608600

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
TW105101771A TWI571356B (zh) 2016-01-20 2016-01-20 可顯色使用壽命終點之吸附墊及其製造方法

Country Status (2)

Country Link
US (1) US20170203407A1 (zh)
TW (1) TWI571356B (zh)

Citations (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN101298129B (zh) * 2007-04-30 2010-06-09 三芳化学工业股份有限公司 用以固定基材的复合式吸附垫片及其制造方法

Family Cites Families (11)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US2994404A (en) * 1959-04-28 1961-08-01 Richard E Schifferly Moisture absorbing device
US4022211A (en) * 1974-08-14 1977-05-10 Kimberly-Clark Corporation Wetness indicator for absorbent pads
US4527504A (en) * 1980-11-28 1985-07-09 Arlie Byerley Safety device to quickly locate a drowning victim
JPH09254027A (ja) * 1996-03-25 1997-09-30 Chiyoda Kk 研磨用マウンテン材
US6358160B1 (en) * 1997-10-03 2002-03-19 Performance Dynamics Llc Golf ball with water immersion indicator
CA2340720C (en) * 1998-08-14 2011-09-27 Biocontrol Systems, Inc. Detection of contaminants using self-contained devices employing target material binding dyes
JP4477809B2 (ja) * 2000-06-02 2010-06-09 バイオコントロール システムズ，インコーポレイティド 生物学的混入物を検出するための独立式デバイス
US7160413B2 (en) * 2004-01-09 2007-01-09 Mipox International Corporation Layered support and method for laminating CMP pads
US8968422B2 (en) * 2010-01-21 2015-03-03 Nike, Inc. Systems and methods for applying markings to an article
KR20130031183A (ko) * 2011-09-20 2013-03-28 노예솔 2중 코팅 캡슐 구조를 이용한 침수라벨
US8976271B2 (en) * 2012-07-19 2015-03-10 Canon Kabushiki Kaisha Optical system and image pickup apparatus

Patent Citations (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN101298129B (zh) * 2007-04-30 2010-06-09 三芳化学工业股份有限公司 用以固定基材的复合式吸附垫片及其制造方法

Also Published As

Publication number Publication date
TW201726314A (zh) 2017-08-01
US20170203407A1 (en) 2017-07-20

Similar Documents

Publication Publication Date Title
US8083570B2 (en) Chemical mechanical polishing pad having sealed window
KR100267597B1 (ko) 워크피스리테이닝기구및그의생산방법
JP5001619B2 (ja) 窓漏れの少ない透明窓を有するケミカルメカニカルポリシング装置用ポリシングパッド
US11894353B2 (en) Driving substrate and manufacturing method thereof, and micro LED bonding method
TWI610760B (zh) 多層化學機械硏磨墊
JP2014172169A5 (zh)
JP4193983B2 (ja) 基板保持具
JP6671908B2 (ja) 研磨パッド
CN106061681A (zh) 工件的两面研磨装置
TW201941286A (zh) 研磨墊整理器的反鍍製造方法及由此製造的研磨墊整理器
TWI571356B (zh) 可顯色使用壽命終點之吸附墊及其製造方法
JP2019145689A (ja) 研磨パッド積層体
JP2008023659A (ja) バッキングパッド並びにワークの研磨装置及びワークの研磨方法
KR20150073334A (ko) 화학 기계적 연마장치용 캐리어 헤드 및 화학 기계적 연마 장치의 제어 방법
KR100879086B1 (ko) 웨이퍼 연마용 리테이너 링
JP5347235B2 (ja) 基板接合装置および基板接合方法
TW201139056A (en) Glass substrate holding film body, and glass substrate polishing method
CN107042469A (zh) 可显色使用寿命终点的吸附垫及其制造方法
KR20150140218A (ko) 적층 웨이퍼 형성 방법
JP2018133510A (ja) ウェハ吸着装置及びｃｍｐ装置
CN107452769A (zh) 一种oled微型显示器及其焊盘键合方法
TWI409137B (zh) 研磨墊及其微型結構形成方法
JP5799993B2 (ja) 基板接合装置及び基板接合方法
JP2006068882A (ja) 被加工物保持部材
KR101596561B1 (ko) 웨이퍼 연마 장치

Legal Events

Date Code Title Description
MM4A Annulment or lapse of patent due to non-payment of fees