TWI541181B - Carrier transfer device - Google Patents

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TWI541181B
TWI541181B TW099135072A TW99135072A TWI541181B TW I541181 B TWI541181 B TW I541181B TW 099135072 A TW099135072 A TW 099135072A TW 99135072 A TW99135072 A TW 99135072A TW I541181 B TWI541181 B TW I541181B
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Takumi Mizokawa
Mitsutoshi Ochiai
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Sinfonia Technology Co Ltd
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Description

載具移載促進裝置
本發明是關於：用來縮短「載具朝載入埠搬運之等待時間」的載具移載促進裝置。
關於這種技術，舉例來說，存有如專利文獻1所記載的技術。專利文獻1所記載的搬運系統具備：載入埠(loading port)、鄰接於載入埠所配置的中繼單元、及「被組裝入載入埠及中繼單元」的載具移載裝置。載具移載裝置具有：被設置於載入埠及中繼單元的載置台下方之載具的移動裝置與升降裝置。而載具朝載入埠(載入埠群)的搬運，是由OHT(Overhead Hoist Transfer高架行走式無人搬運車)之類的搬運車所執行。根據這樣的搬運系統，能在1次OHT的移動中，進行載具的放置(place：意指載具的載置)及拾取(pick：意指載具的收取)，因此無須採用具有大量載入埠的裝置，便可縮短載具之等待搬運的時間。
[專利文獻1]日本特開2008-244416號公報
然而，在專利文獻1所記載的搬運系統中，由於在載入埠及中繼單元本身(內部)裝入有載具移載裝置，因此當該搬運系統應用於既有的載入埠(不具有載具移載裝置的載入埠)時，既有的載入埠在原本的狀態下是無法使用。換言之，具有以下的問題：既有的載入埠必須改造、或更新(替換)全部的載入埠。
本發明，是有鑒於上述的實情所研發而成的的發明，本發明的目的是提供一種：無需更新(替換)既有的載入埠之載具移載促進裝置。
本發明的載具移載促進裝置，是相對於載置有「由載具搬運手段所搬運之載具」的載入埠，所設置的載具移載促進裝置，其中具備：暫置台，該暫置台是用來暫時放置載具；和載具移載台車，該載具移載台車是在前述載入埠的載置台及前述暫置台的上方行走於水平方向上，且促使載具升降，而在該載置台與該暫置台之間執行載具的移載；和支承構件，該支承構件是用來支承前述暫置台及前述載具移載台車；及移載台車控制部，該移載台車控制部是用來控制前述載具移載台車的動作，以避免在前述載置台、或者前述暫置台與前述載具搬運手段之間收授載具的過程中，前述載具移載台車與載具之間的接觸。
在本發明中，是使載具移載台車在載入埠支載置台的上方行走於水平方向上，並在載入埠的載置台與暫置台之間執行載具的移載。此外，暫置台及載具移載台車是由支承構件所支承。不僅如此，還構成：藉由移載台車控制部來控制載具移載台車的動作，以避免在「在載入埠的載置台、或者暫置台與載具搬運手段之間收授載具」的過程中，載具移載台車與載具之間的接觸。
藉此，可利用載入埠之載置台的上方空間來執行載具的移載。如此一來，不必如傳統技術般，將載具移載裝置裝入載入埠本身(內部)，而使載具移載促進裝置(載具移載裝置)的追加(對既有的載入埠進行追加)變得可能。換言之，既有的載入埠可在原有的狀態下使用。
此外，在本發明中，又以下述的方式最佳：前述載具搬運手段，是行走於較前述載具移載台車更上方的搬運手段，而前述移載台車控制部，是使前述載具移載台車在前述收授過程中，退避至「避開前述載置台或前述暫置台之上方位置」的位置。不僅如此，載具移載台車的退避位置，最好是以下的作業可馬上到達的位置。
根據該構造，便可使載具移載台車及載具搬運手段的其中任一個，行走於載入埠之載置台的上方。藉此，可更有效地利用載置台的上方空間，可達成整個載具搬運系統的省空間化。
不僅如此，在本發明中，又以下述的方式最佳：前述載具搬運手段，是朝單一方向搬運載具的搬運手段；前述暫置台是較前述載置台更配置於載具的搬運方向下游側；前述移載台車控制部，是當載具的處理完成時，將前述載置台上之處理完畢的載具，立即朝前述暫置台上移載。
根據該構造，可縮短處理完畢的載具殘留於載入埠之載置台上的時間。如此一來，可更進一步縮短載具朝載入埠搬運的等待時間。
不僅如此，在本發明中，當由前述載具移載台車抬起載具時，該載具的底面水平高度，最好是較「載具被放置於前述載置台及前述暫置台上之狀態」的上表面水平高度更高。
根據該構造，可以使載具越過「位於載入埠的載置台上或暫置台上的其他載具的上方」，而橫向移動。如此一來，即使既有的複數個載入埠被緊鄰配置，也可以在所有的載入埠與暫置台之間執行載具的移載，可更進一步縮短載具朝載入埠搬運的等待時間。
不僅如此，在本發明中，當前述載入埠與前述暫置台被緊鄰配置，且由前述載具移載台車抬起載具時，該載具的底面水平高度，最好是較「載具被放置於前述載置台及前述暫置台上之狀態」的上表面水平高度更低。
根據該構造，可極力降低(抑制)載具移載台車行走的高度。如此一來，可使載具移載促進裝置的高度被整體性地降低，可形成小型化的載具移載促進裝置。此外，由於載具的升降量少，可縮短載具移載台車的動作時間，就結果而言，可更進一步縮短載具朝載入埠搬運的等待時間。
不僅如此，在本發明中，前述支承構件最好是形成具備以下構件：被配置於水平方向，用來供前述載具移載台車行走的行走軌道；和被設成從前述行走軌道朝下方延伸的至少2支腳構件；及被安裝於前述腳構件下端的腳輪。
根據該構造，便形成可行走的自立式(self-standing)載具移載促進裝置，而更容易適用於既有的載入埠。如此一來，可縮短載具移載促進裝置的設置作業時間，可縮短既有工場設備的停止時間。此外，朝其他處理裝置用的移設(載具移載促進裝置的移設)也變得更容易。
根據本發明，可利用載入埠之載置台的上方空間來執行載具的移載，如此一來，使得載具移載促進裝置(載具移載裝置)的追加變得可能。藉此，可提供「不需要既有載入埠之更新(替換)等」的載具移載促進裝置。不僅如此，由於也能朝其他的處理裝置移設(載具移載促進裝置的移設)，因此具有絕佳的擴張性。
以下，參考圖面說明來實施本發明的形態。
(載具搬運系統)
針對載具搬運系統50及載具移載促進裝置1的構造，參考第1、2圖來說明。如第1圖所示，載具搬運系統50具備：行走於工場內之頂棚側的OHT7(Overhead Hoist Transfer高架行走式無人搬運車)、和OHT7所行走的軌道9(rail)、和被設置於軌道9下方的載入埠6、及相對於載入埠6所設置的載具移載促進裝置1。
(OHT)
OHT7，是相較於後述的載具移載台車3行走於更上方的載具搬運手段(載具搬運車)，具有利用皮帶驅動而上下移動的吊車部71。OHT7，是利用吊車部71吊起晶圓匣38(8)(FOUP(Front Opening Unified Pod))且朝單一方向行走，而搬運晶圓匣38(8)。以晶圓匣(FOUP)作為載具的其中一個例子進行說明。
然而，載具搬運手段，除了OHT7以外，也可以是OHS(Over Head Shuttle高架行走式台車)、RGV(Rail Guided Vehicle軌道式無人搬運車)、AGV(Automated Guided Vehicle無人搬運車)等。RGV及AGV是行走於工場內之地面側的載具搬運手段。
晶圓匣38(8)具有：本體81、及被安裝於本體81之上表面的突緣部82。舉例來說，在本體81內收納著複數個半導體基板。晶圓匣38(8)，是利用其突緣部82被OHT7所吊起而搬運。晶圓匣38(8)，是相當於本發明中的載具。但載具並不侷限於晶圓匣38(8)。
(軌道)
軌道9，是以「從工場的頂棚垂吊而下」等方式所設置。在載具搬運手段為RGV的場合中，軌道則被設置於工場的地面等。
(載入埠)
載入埠6，是用來開閉「被載置於其載置台61上的晶圓匣8的蓋83(請參考第2圖)」的裝置。在載入埠6的前面側設有載置台61。在載入埠6的後面側配置有：用來處理半導體基板等的處理裝置(圖面中未顯示)。
(第1實施形態的載具移載促進裝置)
載具移載促進裝置1是具備以下構件所形成：暫置台2、和載具移載台車3、和用來支承暫置台2與載具移載台車3的支承構件4、及用來控制載具移載台車3之動作的控制器5(移載台車控制裝置)。
(暫置台)
暫置台2，是可供晶圓匣8暫時放置於其上的台。暫置台2是具備以下構件所形成：安裝於支承構件4之腳構件42側面的托架21、及被固定於托架21之上表面的台座22。在本實施形態中，暫置台2是被配置在較載置台61(載入埠6)更朝晶圓匣8之搬運方向的下游側。
(載具移載台車)
載具移載台車3，是在載入埠6的載置台61及暫置台2的上方，行走於水平方向，且用來使晶圓匣8升降，而在載置台61與暫置台2之間執行晶圓匣8的移載。
載具移載台車3是具備以下構件所形成：安裝有車輪的台車31、及被安裝於台車31的升降裝置32。升降裝置32，譬如是採用皮帶驅動。載具移載台車3，是藉由台車31，而在載入埠6的載置台61與暫置台2的上方行走於水平方向上，並藉由升降裝置32，而使晶圓匣8升降。載具移載台車3也可以是複數台。
(支承構件)
支承構件4是具有以下構件所形成：被配置於水平方向，其上表面可供載具移載台車3行走的行走軌道41；及被設成「從行走軌道41的端部，垂直向下延伸」的4支腳構件42。如第2圖所示，行走軌道41是由以下所構成：並行配置的2支軌道構件41a、及連結於軌道構件41a之間的2支連結構件41b。2支軌道構件41a之間的間隔，是設成：在軌道構件41a彼此之間升降的晶圓匣8，不會對軌道構件41a造成干涉的尺寸。同樣地，在晶圓匣8的升降中，為避免晶圓匣8與連結構件41b接觸，乃將連結構件41b的位置設成：避開晶圓匣8之鉛直上方的位置。
在本實施形態中，支承構件4，是藉由其4支腳構件42而豎立設置於工場內的地面，並未接觸於載入埠6。但也可以是下述形態的支承構件：將托架(圖面中未顯示，支承構件的一個構成構件)等安裝於載入埠6，而形成由載入埠6所支承。此外，亦可將處理裝置側的軌道構件41a安裝於處理裝置。
(控制器)
控制器5，在內部具有用來控制載具移載台車3之動作的移載台車控制部，以避免在載置台61、或者暫置台2與OHT7之間收授晶圓匣8的過程中，載具移載台車3與晶圓匣8之間產生接觸。在此，所謂的移載台車控制部是指：譬如，被組裝入控制器之微電腦(microcomputer)的程式部(program part)。控制器5被配置於暫置台2的下方空間，且被安裝於支承構件4之腳構件42的側面。
(載具移載促進裝置的動作)
接下來，根據第3~6圖，對其中一種利用載具移載促進裝置1之晶圓匣8的搬運流程的例子進行說明，並針對由控制器5(在內部具有移載台車控制部的控制裝置)對載具移載台車3的控制進行說明。以下所說明之載具移載台車3的動作，是由被組裝入控制器5的移載台車控制部所實現。
(載具移載台車的退避)
在OHT7欲將晶圓匣8載置於載入埠6之載置台61上的場合中，根據來自於控制器5的訊號，使載具移載台車3退避至：避開載置台61之上方位置的位置(步驟(1))。在本實施形態中，是使載具移載台車3退避至暫置台2的上方位置。
亦可如第3圖中的假想線(二點鎖線)所示，使行走軌道41從暫置台2更朝搬運方向下游側延長。接著，亦可使載具移載台車3退避至「在下方不具暫置台2」的位置(步驟(1)-2)。根據上述的描述，載具移載台車3不會對「晶圓匣在暫置台2與其他OHT之間的收授」造成妨礙。
此外，在OHT7欲將晶圓匣8載置於載入埠6之載置台61上的場合中形成：當載具移載台車3並未位於載置台61的上方位置時，由控制器5確認載具移載台車3並未位於載置台61的上方位置。
(OHT對晶圓匣的載置)
呈現保持著晶圓匣8之狀態的OHT7，是行走至載入埠6之載置台61的上方位置為止(步驟(2))。一旦OHT7到達載入埠6之載置台61的上方位置，OHT7便將晶圓匣8卸下至載置台61上(步驟(3))。
(OHT對其他晶圓匣的收取)
接下來，如第4圖所示，OHT7在升起其吊車部71之後，開始行走至暫置台2的上方位置為止(步驟(4))。另外，將「OHT7開始行走」、或「在載置台61上方之載具移載台車3的行走空間不具吊車部71」的狀態作為條件，並由控制器5控制，使載具移載台車3從暫置台2的上方位置朝向載置台61的上方位置移動(步驟(5))。
而如第4圖等所示，處理完畢的晶圓匣18暫時放置於暫置台2上(該晶圓匣18是由載具移載台車3從載置台61朝暫置台2移載)，前述處理完畢的晶圓匣18收納著已由「配置於載入埠6之後面側的處理裝置(圖面中未顯示)」所處理的半導體基板等。
此時，如第5圖所示，一旦未保持晶圓匣8的空置OHT7到達暫置台2的上方位置，OHT7便將暫置台2上之處理完畢的晶圓匣18予以升起(步驟(6))。在此之後，OHT7將晶圓匣18搬運至特定位置為止(步驟(7))。
根據該搬運系統50，變成可藉由OHT7朝單一方向搬運，達成晶圓匣的放置(晶圓匣的載置(步驟(3))及拾取(晶圓匣的收取(步驟(6))(放置&拾取)，不必採用載入埠數量多的裝置，可縮短晶圓匣之搬運的等待時間。換言之，可提高載具搬運系統50的搬運效率。
(載具移載台車對晶圓匣的移載)
一旦載具移載台車3到達載置台61的上方位置，便由處理裝置等對半導體基板等進行處理，在成為「收納著處理完畢之半導體基板等的狀態」的晶圓匣8(處理完畢的晶圓匣8)之前，是由控制器5使載具移載台車3在載置台61的上方位置保持待機。
在此，控制器5當晶圓匣8的處理結束時，控制載具移載台車3，使載置台61上處理完畢的晶圓匣8立即朝暫置台2上移載。具體地說，如第6圖所示，一旦載置台61上的晶圓匣8形成「已收納著處理完畢之半導體基板」的狀態，載具移載台車3便立即吊起晶圓匣8(步驟(8))，並橫向移動(步驟(9))，接著將晶圓匣8卸下於暫置台2上(步驟(10))。
暫置台2被配置在較載置台61(載入埠6)更朝晶圓匣8的搬運方向下游側，藉由執行上述的控制，可縮短處理完畢的晶圓匣殘留於載入埠6之載置台61上的時間。如此一來，可更進一步縮短晶圓匣朝載入埠6搬運的待帶時間。而所謂「晶圓匣8的處理結束時」是指：由處理裝置等對半導體基板等進行處理，且晶圓匣8將處理完畢的半導體基板等收納於其本體81內的狀態時。
而在本實施形態中，當由載具移載台車3抬起晶圓匣8時，晶圓匣8(晶圓匣8的本體81)的底面水平高度H1，是較處於被放置於載置台61及暫置台2上的狀態之晶圓匣8(晶圓匣8的突緣部82)的上表面水平高度h1更低。
而有時複數個載入埠6(載置台61)具有複數個暫置台2。在該場合中所謂「抬起晶圓匣8時，晶圓匣8的底面水平高度H1，是較處於被放置於載置台61及暫置台2上的狀態之晶圓匣8的上表面水平高度h1更低」是指：前述底面水平高度H1，較呈現被放置於載置台61及暫置台2上的狀態之各個晶圓匣8的上表面水平高度h1中最高水平高度的上表面水平高度h1更低。
藉由行走軌道41的設置水平高度、載具移載台車3之升降裝置32的升降量等，來決定「抬起晶圓匣8時」之晶圓匣8的底面水平高度H1。
然而，雖然在本實施形態中，載置台61的上表面水平高度與暫置台2的上表面水平高度相等，但也有載置台61的上表面水平高度與暫置台2的上表面水平高度不同的場合。
此外，如第6圖所示，晶圓匣8從載置台61(或暫置台2)抬起的高度(載當由具移載台車3抬起晶圓匣8時，載置台61(或暫置台2)的上表面與晶圓匣8之底面間的距離)，最好是儘可能的小。
如以上所說明，根據載具移載促進裝置1，可利用載入埠6之載置台61的上方空間來執行晶圓匣8的移載。如此一來，不必如傳統技術般，將載具移載裝置組裝入載入埠本身(內部)，而使載具移載促進裝置(載具移載裝置)的追加變得可能。換言之，可直接使用既有的載入埠。
在此，在專利文獻1所記載之利用OHT的單一方向搬運的搬運系統中，是將1個載入埠與1個中繼單元予以鄰接配置。另外，載入埠及中繼單元決定了前面側(載具的被載置側)。因此，在1組的搬運系統(由1個載入埠、1個中繼單元及1個載具移載裝置所形成)中，存有左右方向的問題。
但是，如先前所述，載具移載促進裝置1可對既有的載入埠追加。換言之，在利用OHT之單一方向搬運的搬運系統中，在既有載入埠的上游側或者下游側可適當地配置載具移載促進裝置1的暫置台2(移設容易)，因此沒有左右方向的問題(擴張性佳)。
雖然在上述的實施形態中，是舉出「首先，由OHT7將未處理的晶圓匣8載置於載入埠6的載置台61上，在此之後，由載具移載臺車3將處理完畢的晶圓匣8從載置台61朝暫置台2上移載」的例子，但也可以是：首先，由OHT7將未處理的晶圓匣8暫時放置於暫置台2上，在此之後，由載具移載臺車3將未處理的晶圓匣8從暫置台2朝載置台61上移載。
在該場合中，當OHT7欲將晶圓匣8載置於暫置台2上時，是形成：由來自於控制器5的訊號，使載具移載台車3退避至「避開暫置台2之上方位置」的位置(上述實施形態中，載置台61的上方位置)。而所謂未處理的晶圓匣8是指：處於「收納著未處理之半導體基板等」狀態的晶圓匣8。
此外，雖然在上述實施形態中，是舉出「暫置台2配置在較載置台61(載入埠6)更朝晶圓匣8之搬運方向下游側」的例子，但亦可將暫置台2配置在較載置台61(載入埠6)更朝晶圓匣8的搬運方向上游側。
在該場合中，可以首先藉由OHT7，將未處理的晶圓匣8暫時放置於暫置台2上，在此之後，藉由載具移載台車3將未處理的晶圓匣8從暫置台2朝載置台61上移載；相反地，也可以首先藉由OHT7，將未處理的晶圓匣8載置於載入埠6的載置台61上，在此之後，藉由載具移載台車3將處理完畢的晶圓匣8從載置台61朝暫置台2上移載。
共通之處在於：控制器5來控制載具移載台車3的動作，而在載置台61或暫置台2與OHT7之間收授晶圓匣的過程中，使載具移載台車3退避至「避開載置台61或暫置台2之上方位置」的位置，而避免載具移載台車3與晶圓匣之間的接觸。
(載具移載促進裝置的變形例)
參考第7圖，說明第1實施形態之載具移載促進裝置1的變形例。在本變形例之載具移載促進裝置101的說明中，主要是針對與第1實施形態的載具移載促進裝置1不同之處進行說明。此外，在第7圖中省略了暫置台2及控制器5的圖示。
如第7圖所示，本變形例的載具移載促進裝置101，更進一步具備腳輪43及區域感測器44。
在本變形例中，4個腳輪43是各自安裝於4支腳構件42的下端。此外，在相對於載入埠6所設定的狀態中，區域感測器44是被安裝在：在晶圓匣之搬運方向上相對的2支腳構件42。
藉由將腳輪43安裝於腳構件42的下端，形成可行走的自立式載具移載促進裝置101，變得能更容易適用於既有的載入埠。此外，藉由設置區域感測器44，可偵測作業者是否侵入「藉由OHT7使晶圓匣的升降、或藉由載具移載台車3而執行晶圓匣之橫向移動」之載具移載促進裝置101的內側空間，可預防作業者受傷之類的事故。此外，藉由以支承構件4形成框體構造，使得區域感測器44的安裝變得容易。而在專利文獻1所記載的載具移載裝置中，具有以下的問題：「發出從載具移載裝置的一端到達另一端為止之光束」的區域感測器的安裝極為困難。
(第2實施形態)
接下來，參考第8圖說明第2實施形態的載具移載促進裝置201。在本實施形態的說明中，主要是針對與第1實施形態不同之處進行說明。
如第8圖所示，本實施形態的載具移載促進裝置201是構成：暫置台2a、2b分別為於相鄰的2個載入埠6a、6b的兩側。此外，暫置台2a及暫置台2b是被配置成各自鄰近於載入埠6a及載入埠6b。與第1實施形態的載具移載促進裝置1相同，當由載具移載台車3抬起晶圓匣8時，晶圓匣8(晶圓匣8的本體)的底面水平高度構成：較「呈現被放置於載入埠6的載置台及暫置台2上之狀態」的晶圓匣8(晶圓匣8的突緣部)的上表面水平高度更低。
以下，針對一種「利用載具移載促進裝置201搬運晶圓匣8之流程」的例子，說明其概要。
首先，OHT7將晶圓匣8暫時放置於暫置台2a上(步驟(1))，再朝搬運方向下游側移動(步驟(2))(移動至搬運方向下游側之相鄰的載入埠6a的載置台上方)。在此，是呈現：在載入埠6a的載置台上，已載置著處理完畢之其他晶圓匣18的狀態。
而在OHT7欲將晶圓匣8暫時放置於暫置台2a上的場合中，是根據來自於控制器5的訊號，使載具移載台車3退避至「避開暫置台2a之上方位置」的位置。在本實施形態中，是使載具移載台車3退避至載入埠6b之載置台的上方位置。
接著，已移動至載入埠6a之載置台上方的OHT7，將載置台上的晶圓匣18予以吊起，在此之後，將晶圓匣18搬運至特定位置為止(步驟(3))。即使在本例中，能以OHT7的1次移動，完成晶圓匣的放置(晶圓匣的載置(步驟(1))及拾取(晶圓匣的收取(步驟(3))，無須採用載入埠數量多的裝置，可縮短晶圓匣的搬運等待時間(在後述的第3實施形態中也相同)。
另外，控制器5控制載具移載台車3，將暫置台2a上之未處理的晶圓匣8朝載入埠6a的載置台上移載(步驟(4))。藉此，執行晶圓匣8的移載。
根據本實施形態的載具移載促進裝置201，可抑制(壓低)載具移載台車3行走的高度(換言之，行走軌道41的高度)。如此一來，可整體性地抑制(壓低)載具移載促進裝置201的高度，可形成小型化的載具移載促進裝置。此外，由於晶圓匣的升降量少，故可縮短載具移載台車3的動作時間，就結果而言，可更進一步縮短晶圓匣朝載入埠6搬運的等待時間。
(第3實施形態)
接下來，參考第9圖說明第3實施形態的載具移載促進裝置301。在本實施形態的說明中，主要是針對與第1實施形態的不同之處進行說明。
如第9圖所示，本實施形態的載具移載促進裝置301是設成：圍繞著所有彼此緊鄰配置的複數個(5個)載入埠6a～6e。暫時放置晶圓匣8的暫置台2，則被配置成位於載入埠6e的下游側，而鄰近於最下游側的載入埠6e。
而暫置台2亦可被配置在載入埠6a～6e中的任何一個載入埠間(意指：載置台可位於載入埠間)，或亦可將暫置台2配置成位於載入埠6a的上游側，而鄰近於最上游側的載入埠6a。
第1實施形態的載具移載促進裝置1、與本實施形態的載具移載促進裝置301之間的差異點，除了起因於載入埠數量不同之行走軌道41的長度以外，還在於載具移載台車3抬起晶圓匣8的高度。在本實施形態中，當由載具移載台車3抬起晶圓匣8時，晶圓匣8(晶圓匣8的本體81)的底面水平高度H2，是較呈現「被放置於載入埠6的載置台及暫置台2上之狀態」的晶圓匣8(晶圓匣8的突緣部82)的上表面水平高度h1更高。
不僅如此，所謂「當抬起晶圓匣8時，晶圓匣8的底面水平高度H2，是較呈現『被放置於載入埠6的載置台及暫置台2上之狀態』的晶圓匣8的上表面水平高度h1更高」是指：前述底面水平高度H2，是較呈現「被放置於各載入埠6a～6e的載置台及暫置台2上之狀態」的晶圓匣8的上表面水平高度h1中，最高之水平高度的上表面水平高度h1更高。而在本實施形態中，各載入埠6a~6e之載置台的上表面水平高度、與暫置台2的上表面水平高度相等。
藉由行走軌道41的設置水平高度、載具移載台車3之升降裝置32的升降量等，來決定「抬起晶圓匣8時」之晶圓匣8的底面水平高度H1。
根據本實施形態的載具移載促進裝置301，可以晶圓匣8越過「位於載入埠6之載置台上的其他晶圓匣的上方」，而橫向移動。如此一來，即使既有的複數個載入埠被緊鄰配置，也可以在所有的載入埠與暫置台之間執行載具的移載，可更進一步縮短載具朝載入埠搬運的等待時間。此外，本實施形態的載具移載促進裝置301，藉由其「抬起晶圓匣8時之晶圓匣8的底面水平高度H2，較呈現放置狀態之晶圓匣8的上表面水平高度h1更高」的特徵，而容易應用於經鄰接配置的既有載入埠群。
以上，雖然是針對本發明的實施形態所作的說明，但是本發明並不侷限於上述的實施形態，可在申請專利範圍所記載的範圍內，進行各種的變更並加以實施。
1‧‧‧載具移載促進裝置
2‧‧‧暫置台
3‧‧‧載具移載台車
4‧‧‧支承構件
5‧‧‧控制器
6‧‧‧載入埠
7‧‧‧OHT(載具搬運手段)
8‧‧‧晶圓匣(載具)
9‧‧‧軌道
21‧‧‧托架
22‧‧‧台座
31‧‧‧台車
32‧‧‧升降裝置
38‧‧‧晶圓匣
41‧‧‧行走軌道
42‧‧‧腳構件
50‧‧‧載具搬運系統
61‧‧‧載置台
71‧‧‧吊車部
81‧‧‧本體
82‧‧‧突緣部
第1圖：是顯示本發明第1實施形態之載具移載促進裝置的概略前視圖。
第2圖：為第1圖所示之載具移載促進裝置的概略俯視圖(A-A箭號圖)。
第3圖：是顯示晶圓匣之搬運流程的圖。
第4圖：是顯示晶圓匣之搬運流程的圖。
第5圖：是顯示晶圓匣之搬運流程的圖。
第6圖：是顯示晶圓匣之搬運流程的圖。
第7圖：是顯示第1實施形態之載具移載促進裝置的變形例的概略立體圖。
第8圖：是顯示本發明第2實施形態之載具移載促進裝置的概略前視圖。
第9圖：是顯示本發明第3實施形態之載具移載促進裝置的概略前視圖。
1‧‧‧載具移載促進裝置
2‧‧‧暫置台
21‧‧‧托架
22‧‧‧台座
3‧‧‧載具移載台車
31‧‧‧台車
32‧‧‧升降裝置
38‧‧‧晶圓匣
4‧‧‧支承構件
41‧‧‧行走軌道
42‧‧‧腳構件
5‧‧‧控制器
50‧‧‧載具搬運系統
6‧‧‧載入埠
61‧‧‧載置台
7‧‧‧OHT(載具搬運手段)
71‧‧‧吊車部
8‧‧‧晶圓匣(載具)
81‧‧‧本體
82‧‧‧突緣部
9‧‧‧軌道

Claims (8)

  1. 一種載具移載促進裝置，是相對於載置有由載具搬運手段所搬運之載具的載入埠，所設置的載具移載促進裝置，其特徵為：具備：載具移載台車，該載具移載台車是在前述載入埠的載置台的上方行走，且促使載具升降，而在該載置台執行載具的移載；及支承構件，該支承構件是用來支承前述載具移載台車，前述載具搬運手段，是在較前述載具移載台車更上方行走的搬運手段，由前述載具搬運手段所保持之載具的下端部，較前述載具移載台車的上端部更高，並且較前述載具移載台車所保持之載具的上端部更高。
  2. 一種載具移載促進裝置，是相對於載置有由載具搬運手段所搬運之載具的載入埠，所設置的載具移載促進裝置，其特徵為：具備：暫置台，該暫置台是用來暫時放置載具；和載具移載台車，該載具移載台車是在前述載入埠的載置台及前述暫置台的上方行走於水平方向，且促使載具升 降，而在該載置台與該暫置台之間執行載具的移載；及支承構件，該支承構件是用來支承前述暫置台及前述載具移載台車，前述載具搬運手段，是在較前述載具移載台車更上方行走的搬運手段，由前述載具搬運手段所保持之載具的下端部，較前述載具移載台車的上端部更高，並且較前述載具移載台車所保持之載具的上端部更高。
  3. 一種載具移載促進裝置，是相對於載置有由載具搬運手段所搬運之載具的載入埠，所設置的載具移載促進裝置，其特徵為：具備：載具移載台車，該載具移載台車是在前述載入埠的載置台的上方行走，且促使載具升降，而在該載置台執行載具的移載；及支承構件，該支承構件是用來支承前述載具移載台車，前述載具搬運手段，是在較前述載具移載台車更上方行走的搬運手段，由前述載具搬運手段所保持之載具的下端部，較前述載具移載台車的上端部更高，並且與前述載入埠、以及安裝有前述載入部的處理裝置構成不同個體。
  4. 一種載具移載促進裝置，是相對於載置有由載具搬運手段所搬運之載具的載入埠，所設置的載具移載促進裝置，其特徵為：具備：暫置台，該暫置台是用來暫時放置載具；和載具移載台車，該載具移載台車是在前述載入埠的載置台及前述暫置台的上方行走於水平方向，且促使載具升降，而在該載置台與該暫置台之間執行載具的移載；及支承構件，該支承構件是用來支承前述暫置台及前述載具移載台車，前述載具搬運手段，是在較前述載具移載台車更上方行走的搬運手段，由前述載具搬運手段所保持之載具的下端部，較前述載具移載台車的上端部更高，並且與前述載入埠、以及安裝有前述載入部的處理裝置構成不同個體。
  5. 如申請專利範圍第2或4項所述之載具移載促進裝置，其中具備：移載台車控制部，該移載台車控制部是用來控制前述載具移載台車的動作，以避免在前述載置台、或前述暫置台與前述載具搬運手段之間收授載具的過程中，前述載具移載台車與載具之間的接觸，前述移載台車控制部，是在前述收授過程中，使前述載具移載台車退避至：避開前述載置台或前述暫置台之上 方位置的位置。
  6. 如申請專利範圍第2或4項所述之載具移載促進裝置，其中前述載具搬運手段，是將載具朝一個方向搬運的搬運手段，前述暫置台，被配置在較前述載置台更位於載具的搬運方向下游側，前述移載台車控制部，在載具的處理結束時，立即將前述載置台上之處理完畢的載具朝前述暫置台上移載。
  7. 如申請專利範圍第2或4項所述之載具移載促進裝置，其中由前述載具移載台車抬起載具時，該載具的底面水平高度，是較被放置於前述載置台及前述暫置台上狀態之載具的上表面水平高度更高。
  8. 如申請專利範圍第2或4項所述之載具移載促進裝置，其中前述載入埠與前述暫置台是相鄰配置，當由前述載具移載台車抬起載具時，該載具的底面水平高度，是較被放置於前述載置台及前述暫置台上狀態之載具的上表面水平高度更低。
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