TWI525254B - 一種防止失速控制的真空設備 - Google Patents

Description

一種防止失速控制的真空設備

本揭露係為一種真空設備與方法，尤其是指一種防止失速控制的真空設備與方法。

在伺服驅動系統中，伺服馬達性能是非常重要的，伺服馬達性能與編碼器的解析度有關，解析度越高，伺服馬達速度控制與定位控制的性能愈佳。

目前高效率伺服驅動系統的設計多以永磁無刷馬達為主，而在真空泵的設備中，並沒有辦法加裝編碼器，因此無感測控制技術就產生，因為沒有編碼器回授馬達角度資料，角度則必須依靠無感測控制技術估測角度，在真空泵系統中，馬達負載與轉速有關聯性，轉速越高負載越大，因此在應用場合有一項特殊規格，在破真空時，負載會瞬間變化增加，超過伺服馬達最大操作電流，因此需要將轉速降低，且維持輸出轉矩在馬達最大操作電流，同時若系統負載有瞬間變化，角度估測會因此有改變，無感測控制技術必須要有相對應機制配合負載瞬間變化去降低轉速且維持輸出轉矩在最大操作條件，否則角度估測會因此發散，真空泵系統會因此失速。

高性能伺服馬達實現上，對於定位控制與變頻速度的要求有一定的規格規範，因此大部份的應用環境都會安裝編碼器或解角器，關於馬達角度位置回授感測器，另外一方面伺服驅動系統的性能跟編碼器有一定的關聯性存在， 高性能的伺服馬達其配備的編碼器解析度也有一定的限制。

另外也有伺服馬達驅動系統也有不安裝位置回授的感測器的應用，這一類的應用有的是以成本為考量點，也有對於定位控制沒有需求的系統，單純以速度控制為主要述求，以真空泵的應用為例，因為其為了氣密的需求或者是如軸向壓縮機的場合，其流體具有腐蝕性或者有其它考量，沒有辦法安裝編碼器，因此會使用無位置感測控制技術，其馬達角度使用估測的方式來取得，因為沒有位置回授其角度使用估測的場合，對於其頻寬響應並沒有辦法與位置回授的控制系統相比擬，因此對於負載變動的反應會較慢，因此在使用無位置感測控制時需要注意這個現象。

在真空泵的應用場合，馬達輸出扭力與馬達轉速有相關聯，通常為越高轉速所需越大的扭力，而真空泵的操作規格中，在破真空時，若要維持相同的最高轉速時，其所需要的扭力會遠大於馬達額定工作點，因此需要降低轉速來調低輸出扭力，但在降低轉速的同時，卻要維持馬達輸出扭力在額定工作點，若以傳統的驅動控制架構會無法滿足這種限制，並且使用無位置感測控制時，因為其較低的頻寬而會有失速的狀態發生。

在一實施例中，本揭露提供一種防止失速控制的真空設備，其係具有回授的功能，包括：一失速控制的回授單元，其第5端係連接速度命令；一較高限制器，其第3端 係連接失速控制的回授單元的第7端，其第4端係輸出一轉矩命令至一中間控制單元，當該較高限制器的輸入大於0且低於一第2臨限值時，該較高限制器的輸入值與輸出值呈線性增加，當該較高限制器的輸入大於一第2臨限值時，該較高限制器的輸出係一第2最高限制正值；以及一馬達，其係連接該中間控制單元，由該中間控制單元控制該馬達，產生該防止失速控制的真空設備的旋轉扭力，該馬達的一速度回授經由該中間控制單元傳回該失速控制的回授單元的第6端；其中該失速控制的回授單元，於破真空時，該馬達負載上升，該失速控制的回授單元自動控制該馬達的旋轉扭力下降，維持不超過額定工作點；其中該失速控制的回授單元，再由破真空回到真空時，該馬達負載下降，該失速控制的回授單元自動控制該馬達的旋轉扭力，回復至真空時的旋轉扭力，並維持不超過額定工作點。

本揭露提供一種防止失速控制的真空設備，其係具有回授的功能，如圖1所示，包括：一失速控制的回授單元31、一較高限制器16、以及一馬達19。一失速控制的回授單元31，其第5端25係連接速度命令；一較高限制器16，其第3端23係連接失速控制的回授單元31的第7端，其第4端24係輸出一轉矩命令至一中間控制單元20，當該較高限制器16的輸入大於0且低於一第2臨限值時，該較高限制器16的輸入值與輸出值呈線性增加，當該較高限制器16的輸入大於一第2臨限值時，該較高限制器16的輸 出係一第2最高限制正值；以及一馬達19，其係連接該中間控制單元20，由該中間控制單元20控制該馬達19，產生該防止失速控制的真空設備的旋轉扭力，該馬達19的一速度回授經由該中間控制單元20傳回該失速控制的回授單元31的第6端26；其中該失速控制的回授單元31，於破真空時，該馬達19負載上升，該失速控制的回授單元31自動控制該馬達19的旋轉扭力下降，維持不超過額定工作點；其中該失速控制的回授單元31，再由破真空回到真空時，該馬達19負載下降，該失速控制的回授單元31自動控制該馬達19的旋轉扭力，回復至真空時的旋轉扭力，並維持不超過額定工作點。

本揭露的失速控制的回授單元31，如圖1所示，包括：一較低限制器15、一第3加法器13、一補償器11、一第1加法器14、一第2加法器17、一第一積分器18以及一比較器12。

該較低限制器15的第1端21係輸入端，經由該失速控制的回授單元31的第7端27與該較高限制器16的第3端23相連，該較低限制器15的第2端22係輸出端，當該較低限制器15的輸入大於0且低於一第1臨限值時，該較低限制器15的輸入值與輸出值呈線性增加，當該較低限制器15的輸入大於一第1臨限值時，該較低限制器15的輸出係一第1最高限制正值。

第3加法器13係與該較低限制器15的第1端21以及第2端22相連，該較低限制器15的第2端22輸出訊號減第1端21輸入訊號，所產生的訊號輸入該第3加法器13。 一補償器11，其係接收該第3加法器13的輸出訊號；一第1加法器14，該第1加法器14係經由該失速控制的回授單元31第5端25與該速度命令相接，該第1加法器14並與該補償器11相接，其中，該第1加法器14係將該速度命令與該補償器11的輸出訊號相加；一第2加法器17，其係經由該失速控制的回授單元31的第6端26連接該中間控制單元20，該中間控制單元20傳回該速度回授至該第2加法器17，該第1加法器14將該速度命令與該補償器11的輸出訊號相加後的訊號傳入該第2加法器17，該第2加法器17係將所有輸入該第2加法器17的訊號相加後，再產生該第2加法器17的輸出訊號，其中該速度回授係一負值；一第一積分器18，其係與該第2加法器17相接，接受該第2加法器17產生的輸出訊號，該第一積分器18並與該較低限制器15的第1端21相接；以及一比較器12，其係與該第一積分器18相接，接收該第一積分器18的輸出訊號，該比較器12並與該補償器11相接，並將該比較器12的輸出訊號傳入該補償器11，該比較器12小於額定工作點時，該比較器12的輸出係為1，該比較器12大於以及等於額定工作點時，該比較器12的輸出係為0。

本揭露該補償器11，如圖2所示，其係包括：一回復增益單元52、一乘法器55、一積分負值比較器51、一第4加法器56、一積分增益單元53、一比例增益單元54、一第5加法器58、一第二積分器57、以及一輸出限制器59。該回復增益單元52係與該比較器12相接，接受該比較器12的輸出值；該乘法器55係與該回復增益單元52相接， 當該比較器12的輸出值係1時，該回復增益單元52的輸出值輸入該乘法器55，當該比較器12的輸出值係0時，該回復增益單元52的輸出值，不輸入該乘法器55；一積分負值比較器51，當輸入該積分負值比較器51的值係小於0時，該積分負值比較器51的輸出值係1，當輸入該積分負值比較器51的值係大於等於0時，該積分負值比較器51的輸出值係0；一第4加法器56，該回復增益單元52的輸出值與該積分負值比較器51的輸出值於該乘法器55內相乘後，輸出至該第4加法器56；該積分增益單元53連接該第3加法器13，由該第3加法器13的輸出值，輸至該積分增益單元53，該積分增益單元53並連接該第4加法器56，由該積分增益單元53的輸出值，輸至第4加法器56；一比例增益單元54，該積分增益單元53連接該第3加法器13，由該第3加法器13的輸出值，輸至由該比例增益單元54；一第5加法器58，該比例增益單元54並連接該第5加法器58，由該比例增益單元54的輸出值，輸至第5加法器58；一第二積分器57，該第4加法器56與該第二積分器57相接，由該第4加法器56的輸出值輸入該第二積分器57，該第二積分器57的輸出值，輸至該第5加法器58、該第4加法器56、以及該積分負值比較器51，該第二積分器57的輸出值端與該第5加法器58、該第4加法器56、以及該積分負值比較器51相接，其中該乘法器55、該積分增益單元53、以及該第二積分器57的輸出值相加總後，輸至該第4加法器56；以及該輸出限制器59係與該第5加法器58相接，當該輸出限制器59的輸 入值係低於一第3臨界負值時，該輸出限制器59的輸出值係一最低輸出負值，當該輸出限制器59的輸入值係高於一第3臨界負值且低於0時，該輸出限制器59的輸出值係與該輸入值呈線性增加，當該輸出限制器59的輸入值係大於等於0時，該輸出限制器59的輸出值係等於0，該輸出限制器59的輸出值輸至該第1加法器14。

其中該失速控制的回授單元31，於破真空時，該馬達19負載上升，於第1時間點(T1)，如圖3所示，橫軸表示時間，縱軸表示馬達的旋轉速度，產生該馬達19旋轉速度瞬間下降，使該速度回授成一負值，輸至該第2加法器17，再經由該第一積分器18輸出至該較高限制器16，使該轉矩命令的輸出低於該較高限制器16的第2最高限制正值，於第2時間點(T2)，經由該中間控制單元20控制該馬達19的旋轉速度上升，並維持不超過額定工作點。於破真空時，其中於第2時間點(T2)，經由該中間控制單元20控制該馬達19的旋轉速度上升後，該速度回授的負值漸減小，由該第一積分器18輸出至該較低限制器15的輸入值漸增，當該較低限制器15的輸入值累積高於第4臨限值時，該防止失速控制的真空設備由第2時間點(T2)，逐漸進入第3時間點(T3)時，該較低限制器15的輸出值限制在該第1最高限制正值，由該較低限制器15的輸出值減該較低限制器15的輸入值後，經該第3加法器13加總後，產生一負值輸至該補償器11。其中該第4臨限值，係選自額定工作點的65%~85%中的一個值。

由第2時間點(T2)，逐漸進入第3時間點(T3)，當該較 低限制器15的輸入值累積高於第4臨限值時，該比較器12輸出為0，並控制該回覆增益單元輸出值為0以及經由該乘法器55的輸出為0，此時該第3加法器13加總後產生一負值輸至該補償器11的該積分增益單元53以及該比例增益單元54，由該第二積分器57的負值輸出至該第4加法器56係一負值，此時由輸入該第4加法器56加總該乘法器55的輸出為0、該第二積分器57的負值輸出至該第4加法器56係一負值以及該積分增益單元53的輸出負值，最後為一負值輸出至該第5加法器58，再經由該輸出限制器59的輸出係一負值，而由該補償器11輸出一負值至該第1加法器14。

由第2時間點(T2)，逐漸進入第3時間點(T3)，當該較低限制器15的輸入值累積高於第4臨限值時，該補償器11輸出一負值與該速度命令相加後，輸出至該第1加法器14，產生馬達19旋轉的減速作用，此時該防止失速控制的真空設備，由第3時間點(T3)，逐漸進入第4時間點(T4)，該較低限制器15的輸入值累積由高於第4臨限值，逐漸進入低於第4臨限值。

由第4時間點(T4)，逐漸進入第5時間點(T5)，當該較低限制器15的輸入值累積低於第4臨限值時，該比較器12輸出為1，並控制該回覆增益單元輸出值為正值，此時若該第二積分器57內的值為負值，則該積分負值比較器51的輸出為1，經由該乘法器55將該回覆增益單元輸出值以及該積分負值比較器51的輸出為1的乘積後，產生該乘法器55的輸出為正值至第4加法器56，此時該比較器12 輸出為1時，該第3加法器13的輸出值為0，以及該積分增益單元53輸出值為0，且該比例增益單元54為0，因此輸入該第4加法器56的加總為正值，再經由該第二積分器57循迴加總後，該第二積分器57的輸出由負值逐漸增至正值，經由該第5加法器58輸出至該輸出限制器59，該輸出限制器59輸入由負值逐漸增至正值，而該輸出限制器59的輸出，由負值逐漸增至該限制器的輸出上限0，而由該補償器11逐漸輸出由負值至0，並由該補償器11輸出值到該第1加法器14。

由第4時間點(T4)，逐漸進入第5時間點(T5)，當該較低限制器15的輸入值累積低於第4臨限值時，由該補償器11逐漸輸出由負值至0，並由該補償器11輸出值到該第1加法器14與該速度命令相加總後，產生該馬達19旋轉速度逐漸恢復至額定工作點。

由破真空狀態，經由馬達19抽真空，進入第5時間點(T5)以後，由於該較高限制器16的限制，該馬達19旋轉速度恢復維持至額定工作點。

如圖4所示，係破真空恢復至真空的馬達19電流示意圖，其中橫軸表為時間，縱軸表為馬達19電流。

以上所述，乃僅記載本發明為呈現解決問題所採用的技術手段之較佳實施方式或實施例而已，並非用來限定本發明專利實施之範圍。即凡與本發明專利申請範圍文義相符，或依本發明專利範圍所做的均等變化與修飾，皆為本發明專利範圍所涵蓋。

11‧‧‧補償器

12‧‧‧比較器

13‧‧‧第3加法器

14‧‧‧第1加法器

15‧‧‧較低限制器

16‧‧‧較高限制器

17‧‧‧第2加法器

18‧‧‧第一積分器

19‧‧‧馬達

20‧‧‧中間控制單元

21‧‧‧第1端

22‧‧‧第2端

23‧‧‧第3端

24‧‧‧第4端

25‧‧‧第5端

26‧‧‧第6端

27‧‧‧第7端

31‧‧‧失速控制的回授單元

51‧‧‧積分負值比較器

52‧‧‧回復增益單元

53‧‧‧積分增益單元

54‧‧‧比例增益單元

55‧‧‧乘法器

56‧‧‧第4加法器

57‧‧‧第二積分器

58‧‧‧第5加法器

59‧‧‧輸出限制器

T1‧‧‧第1時間點

T2‧‧‧第2時間點

T3‧‧‧第3時間點

T4‧‧‧第4時間點

T5‧‧‧第5時間點

圖1 防止失速控制的真空設備示意圖。

圖2 補償氣示意圖。

圖3 破真空恢復至真空的馬達轉速示意圖。

圖4 破真空恢復至真空的馬達電流示意圖。

11‧‧‧補償器

12‧‧‧比較器

13‧‧‧第3加法器

14‧‧‧第1加法器

15‧‧‧較低限制器

16‧‧‧較高限制器

17‧‧‧第2加法器

18‧‧‧第一積分器

19‧‧‧馬達

20‧‧‧中間控制單元

21‧‧‧第1端

22‧‧‧第2端

23‧‧‧第3端

24‧‧‧第4端

25‧‧‧第5端

26‧‧‧第6端

27‧‧‧第7端

31‧‧‧失速控制的回授單元

Claims (17)

1. 一種防止失速控制的真空設備，其包含有：一失速控制的回授單元，其第5端係連接速度命令；一較高限制器，其第3端係連接失速控制的回授單元的第7端，其第4端係輸出一轉矩命令至一中間控制單元；以及一馬達，其係連接該中間控制單元，由該中間控制單元控制該馬達，產生該防止失速控制的真空設備的旋轉扭力，該馬達的一速度回授經由該中間控制單元傳回該失速控制的回授單元的第6端；其中該失速控制的回授單元，再由破真空回到真空時，該馬達負載下降，該失速控制的回授單元自動控制該馬達的旋轉扭力，回復至真空時的旋轉扭力，並維持不超過額定工作點；其中，該失速控制的回授單元，包括：一較低限制器，該較低限制器的第1端係輸入端，經由該失速控制的回授單元的第7端與該較高限制器的第3端相連；一第3加法器，該第3加法器係與該較低限制器的第1端以及第2端相連；一補償器，其係接收該第3加法器的輸出訊號；一第1加法器，該第1加法器係經由該失速控制的回授單元第5端與該速度命令相接，該第1加法器並與該補償器相接，其中，該第1加法器係將該速度命令與該補償器的輸出訊號相加； 一第2加法器，其係經由該失速控制的回授單元的第6端連接該中間控制單元；一第一積分器，其係與該第2加法器相接，接受該第2加法器產生的輸出訊號，該第一積分器並與該較低限制器的第1端相接；以及一比較器，其係與該第一積分器相接，接收該第一積分器的輸出訊號，該比較器並與該補償器相接，並將該比較器的輸出訊號傳入該補償器；其中，該補償器，其係包括：一回復增益單元，該回復增益單元係與該比較器相接，接受該比較器的輸出值；一乘法器，該乘法器係與該回復增益單元相接；一積分負值比較器，當輸入該積分負值比較器的值係小於0時，該積分負值比較器的輸出值係1，當輸入該積分負值比較器的值係大於等於0時，該積分負值比較器的輸出值係0；一第4加法器，該回復增益單元的輸出值與該積分負值比較器的輸出值於該乘法器內相乘後，輸出至該第4加法器；一積分增益單元，該積分增益單元連接該第3加法器，由該第3加法器的輸出值，輸至該積分增益單元，該積分增益單元並連接該第4加法器，由該積分增益單元的輸出值，輸至該第4加法器；一比例增益單元，該積分增益單元連接該第3加法器，由該第3加法器的輸出值，輸至由該比例增益單元； 一第5加法器，該比例增益單元並連接該第5加法器，由該比例增益單元的輸出值，輸至該第5加法器；一第二積分器，該第4加法器與該第二積分器相接，由該第4加法器的輸出值輸入該第二積分器，該第二積分器的輸出值，輸至該第5加法器、該第4加法器、以及該積分負值比較器，該第二積分器的輸出值端與該第5加法器、該第4加法器、以及該積分負值比較器相接，其中該乘法器、該積分增益單元、以及該第二積分器的輸出值相加總後，輸至該第4加法器；以及一輸出限制器，該輸出限制器係與該第5加法器相接，當該輸出限制器的輸入值係低於一第3臨界負值時，該輸出限制器的輸出值係一最低輸出負值，當該輸出限制器的輸入值係高於一第3臨界負值且低於0時，該輸出限制器的輸出值係與該輸入值呈線性增加，當該輸出限制器的輸入值係大於等於0時，該輸出限制器的輸出值係等於0，該輸出限制器的輸出值輸至該第1加法器。
2. 一種用於如請求項1之真空設備的防止失速控制方法，包括：該較高限制器第4端係輸出轉矩命令至中間控制單元；由該中間控制單元控制該馬達，產生所述真空設備的旋轉扭力；該馬達的該速度回授經由該中間控制單元傳回該 失速控制的回授單元的第6端；以及該失速控制的回授單元，再由破真空回到真空時，該馬達負載下降，該失速控制的回授單元自動控制該馬達的旋轉扭力，回復至真空時的旋轉扭力，並維持不超過額定工作點。
3. 如申請專利範圍第2項所述之一種用於真空設備的防止失速控制方法，其中當該較高限制器的輸入大於0且低於一第2臨限值時，該較高限制器的輸入值與輸出值呈線性增加，當該較高限制器的輸入大於一第2臨限值時，該較高限制器的輸出係一第2最高限制正值。
4. 如申請專利範圍第3項所述之一種用於真空設備的防止失速控制方法，其中該失速控制的回授單元，於破真空時，該馬達負載上升，該失速控制的回授單元自動控制該馬達的旋轉扭力下降，維持不超過額定工作點。
5. 如申請專利範圍第4項所述之一種用於真空設備的防止失速控制方法，其中該失速控制的回授單元，再由破真空回到真空時，該馬達負載下降，該失速控制的回授單元自動控制該馬達的旋轉扭力，回復至真空時的旋轉扭力，並維持不超過額定工作點。
6. 如申請專利範圍第5項所述之一種用於真空設備的防止失速控制方法，包括：該補償器係接收該第3加法器的輸出訊號，該第1加法器係將該速度命令與該補償器的輸出訊號相加，該第一積分器係接受該第2加法器產生的輸出訊號，該比較器係接收該第一積分器的輸出訊號，將該比較器的輸 出訊號傳入該補償器；以及該較低限制器的第2端係輸出端，當該較低限制器的輸入大於0且低於一第1臨限值時，該較低限制器的輸入值與輸出值呈線性增加，當該較低限制器的輸入大於一第1臨限值時，該較低限制器的輸出係一第1最高限制正值。
7. 如申請專利範圍第6項所述之一種用於真空設備的防止失速控制方法，其中該中間控制單元傳回該速度回授至該第2加法器，該第1加法器將該速度命令與該補償器的輸出訊號相加後的訊號傳入該第2加法器，該第2加法器係將所有輸入該第2加法器的訊號相加後，再產生該第2加法器的輸出訊號，其中該速度回授係一負值。
8. 如申請專利範圍第7項所述之一種用於真空設備的防止失速控制方法，其中該比較器小於額定工作點時，該比較器的輸出係為1，該比較器大於以及等於額定工作點時，該比較器的輸出係為0。
9. 如申請專利範圍第8項所述之一種用於真空設備的防止失速控制方法包括：該回復增益單元係接受該比較器的輸出值；該回復增益單元的輸出值與該積分負值比較器的輸出值於該乘法器內相乘後，輸出至該第4加法器；當輸入該積分負值比較器的值係小於0時，該積分負值比較器的輸出值係1，當輸入該積分負值比較器的值係大於等於0時，該積分負值比較器的輸出值係0；當該輸出限制器的輸入值係低於一第3臨界負值 時，該輸出限制器的輸出值係一最低輸出負值，當該輸出限制器的輸入值係高於一第3臨界負值且低於0時，該輸出限制器的輸出值係與該輸入值呈線性增加，當該輸出限制器的輸入值係大於等於0時，該輸出限制器的輸出值係等於0，該輸出限制器的輸出值輸至該第1加法器；當該比較器的輸出值係1時，該回復增益單元的輸出值輸入該乘法器，當該比較器的輸出值係0時，該回復增益單元的輸出值，不輸入該乘法器。
10. 如申請專利範圍第9項所述之一種用於真空設備的防止失速控制方法，其中該失速控制的回授單元，於破真空時，該馬達負載上升，於第1時間點，產生該馬達旋轉速度瞬間下降，使該速度回授成一負值，輸至該第2加法器，再經由該第一積分器輸出至該較高限制器，使該轉矩命令的輸出低於該較高限制器的第2最高限制正值，於第2時間點，經由該中間控制單元控制該馬達的旋轉速度上升，並維持不超過額定工作點。
11. 如申請專利範圍第10項所述之一種用於真空設備的防止失速控制方法，其中於破真空時，於第2時間點，經由該中間控制單元控制該馬達的旋轉速度上升後，該速度回授的負值漸減小，由該第一積分器輸出至該較低限制器的輸入值漸增，當該較低限制器的輸入值累積高於第4臨限值時，該防止失速控制的真空設備由第2時間點，逐漸進入第3時間點時，該較低限制器的輸出值限制在該第1最高限制正值，由該較低限制器的輸出值減 該較低限制器的輸入值後，經該第3加法器加總後，產生一負值輸至該補償器。
12. 如申請專利範圍第11項所述之一種用於真空設備的防止失速控制方法，其中該第4臨限值，係選自額定工作點的65%~85%中的一個值。
13. 如申請專利範圍第12項所述之一種用於真空設備的防止失速控制方法，其中由第2時間點，逐漸進入第3時間點，當該較低限制器的輸入值累積高於第4臨限值時，該比較器輸出為0，並控制該回覆增益單元輸出值為0以及經由該乘法器的輸出為0，此時該第3加法器加總後產生一負值輸至該補償器的該積分增益單元以及該比例增益單元，由該第二積分器的負值輸出至該第4加法器係一負值，此時由輸入該第4加法器加總該乘法器的輸出為0、該第二積分器的負值輸出至該第4加法器係一負值以及該積分增益單元的輸出負值，最後為一負值輸出至該第5加法器，再經由該輸出限制器的輸出係一負值，而由該補償器輸出一負值至該第1加法器。
14. 如申請專利範圍第13項所述之一種用於真空設備的防止失速控制方法，其中由第2時間點，逐漸進入第3時間點，當該較低限制器的輸入值累積高於第4臨限值時，該補償器輸出一負值與該速度命令相加後，輸出至該第1加法器，產生馬達旋轉的減速作用，此時該防止失速控制的真空設備，由第3時間點，逐漸進入第4時間點，該較低限制器的輸入值累積由高於第4臨限值，逐漸進入低於第4臨限值。
15. 如申請專利範圍第14項所述之一種用於真空設備的防止失速控制方法，其中由第4時間點，逐漸進入第5時間點，當該較低限制器的輸入值累積低於第4臨限值時，該比較器輸出為1，並控制該回覆增益單元輸出值為正值，此時若該第二積分器內的值為負值，則該積分負值比較器的輸出為1，經由該乘法器將該回覆增益單元輸出值以及該積分負值比較器的輸出為1的乘積後，產生該乘法器的輸出為正值至第4加法器，此時該比較器輸出為1時，該第3加法器的輸出值為0，以及該積分增益單元輸出值為0，且該比例增益單元為0，因此輸入該第4加法器的加總為正值，再經由該第二積分器循迴加總後，該第二積分器的輸出由負值逐漸增至正值，經由該第5加法器輸出至該輸出限制器，該輸出限制器輸入由負值逐漸增至正值，而該輸出限制器的輸出，由負值逐漸增至該限制器的輸出上限0，而由該補償器逐漸輸出由負值至0，並由該補償器輸出值到該第1加法器。
16. 如申請專利範圍第15項所述之一種用於真空設備的防止失速控制方法，其中由第4時間點，逐漸進入第5時間點，當該較低限制器的輸入值累積低於第4臨限值時，由該補償器逐漸輸出由負值至0，並由該補償器輸出值到該第1加法器與該速度命令相加總後，產生該馬達旋轉速度逐漸恢復至額定工作點。
17. 如申請專利範圍第16項所述之一種用於真空設備的防止失速控制方法，其中由破真空狀態，經由馬達抽真空， 進入第5時間點以後，由於該較高限制器的限制，該馬達旋轉速度恢復維持至額定工作點。