TWI483337B - 用於判斷晶圓承載裝置的閘門是否關閉的閘門偵測系統 - Google Patents

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Description

用於判斷晶圓承載裝置的閘門是否關閉的閘門偵測系 統
本發明係有關於一種閘門偵測系統，尤指一種用於判斷晶圓承載裝置的閘門是否關閉的閘門偵測系統。
在半導體製作過程中，每一批晶圓都需經過多個加工程序才能製造成所需的半導體元件。而半導體製造商為了提升獲利，無不希望能減少每一批晶圓的製造時間，進而增加半導體廠的整體產能。影響晶圓的整體製造時間包括很多的因素，除了晶圓於每一個晶圓加工設備所花費的製造時間外，晶圓在不同晶圓加工設備之間的運送時間也是另一個關鍵因素。因此，一種自動化搬運系統因應而生。
舉例來說，在半導體製造廠的廠房內架設多個高架搬運軌道組，每一組高架搬運軌道組的下方配置有多組晶圓加工設備，而每一組高架搬運軌道組分別定義出一加工區域，且同一加工區域的晶圓加工設備間有較大的關連性。再者，上述多個搬運軌道組上裝設有多個高架起吊搬運車(OHT vehicle)，或是簡稱為搬運車。上述多個搬運車可在高架搬運軌道組上移動，藉此將晶圓承載裝置由一晶圓加工設備搬運至另一晶圓加工設備。另外，每一組高架搬運軌道組與另外一組高架搬運軌道組相連接，上述多個搬運車可移動至不同的高架搬運軌道組內，藉此將晶圓承載裝置搬運至另一加工區域中的晶圓加工設備內。
然而，傳統的自動化搬運系統並沒有提供任何用於判斷晶圓承載裝置的閘門是否關閉的閘門偵測系統。
本發明實施例在於提供一種閘門偵測系統，其可用於判斷晶圓承載裝置的閘門是否關閉。
本發明其中一實施例提供一種用於判斷晶圓承載裝置的閘門是否關閉的閘門偵測系統，其包括：一機械手臂單元及一可活動單元。機械手臂單元包括至少一承載平台及至少一設置於承載平台上的水平感測結構，其中水平感測結構包括多個接觸式感測器，且晶圓承載裝置設置於水平感測結構上。可活動單元包括至少一固定於機械手臂單元上的可活動結構，其中晶圓承載裝置具有一對應於閘門的晶圓取放開口。藉此，當晶圓承載裝置的閘門已關閉時，可活動結構的一末端接觸晶圓承載裝置的閘門，且晶圓承載裝置的底部同時接觸上述多個接觸式感測器；當晶圓承載裝置的閘門未關閉時，可活動結構的一末端從晶圓取放開口***晶圓承載裝置內，且晶圓承載裝置的底部只接觸上述多個接觸式感測器中的一部分。
本發明另外一實施例提供一種用於判斷晶圓承載裝置的閘門是否關閉的閘門偵測系統，其包括：一機械手臂單元及一可活動單元。機械手臂單元包括至少一承載平台及至少一設置於承載平台上的水平感測結構，其中水平感測結構包括多個接觸式感測器，且晶圓承載裝置設置於水平感測結構上。可活動單元包括至少一固定於機械手臂單元上的可活動結構，其中晶圓承載裝置具有一對應於閘門的晶圓取放開口，且可活動結構的一末端可選擇性地接觸晶圓承載裝置的閘門或從晶圓取放開口***晶圓承載裝置內。
綜上所述，本發明實施例所提供的閘門偵測系統，其可透過“可活動結構的一末端可選擇性地接觸晶圓承載裝置的閘門或從晶圓取放開口***晶圓承載裝置內”的設計，以使得本發明可用於判斷晶圓承載裝置的閘門是否關閉。
為使能更進一步瞭解本發明之特徵及技術內容，請參閱以下有關本發明之詳細說明與附圖，然而所附圖式僅提供參考與說明用，並非用來對本發明加以限制者。
 〔第一實施例〕
請參閱圖1A至圖1D所示，本發明第一實施例提供一種用於判斷晶圓承載裝置C的閘門D是否關閉的閘門偵測系統，其包括：一機械手臂單元1及一可活動單元2，其中晶圓承載裝置C的內部可用來承載多個晶圓W。
首先，如圖1A所示，機械手臂單元1包括至少一承載平台10及至少一設置於承載平台10上的水平感測結構11，其中水平感測結構11包括多個接觸式感測器110，且晶圓承載裝置C可設置於水平感測結構11上。當然，依據不同的使用需求，水平感測結構11亦可使用多個非接觸式感測器。因此，本發明所使用的水平感測結構11不以上述所舉的例子為限。
再者，配合圖1A、圖1B、及圖1C所示，可活動單元2包括至少一用於固定於機械手臂單元1上的可活動結構20，其中晶圓承載裝置C具有一對應於閘門D的晶圓取放開口P。舉例來說，可活動結構20包括一固定於承載平台10上的固定部200、一從固定部200往上延伸的彈性 延伸部201、及一從彈性延伸部201彎折的接觸部202。然而，本發明所使用的可活動結構20不以上述所舉的例子為限。
此外，如圖1C所示，當晶圓承載裝置C的閘門D已關閉時，可活動結構20的一末端可直接接觸晶圓承載裝置C的閘門D(亦即接觸部202可直接接觸晶圓承載裝置C的閘門D)，而且同一時間，晶圓承載裝置C的底部可同時接觸上述多個接觸式感測器110。換言之，當晶圓承載裝置C的閘門D已關閉時，機械手臂單元1可平順地向上移動而不會撥動到晶圓承載裝置C，進而維持晶圓承載裝置C所處於的水平位置，因此上述多個接觸式感測器110將持續保持被晶圓承載裝置C的底部所接觸。藉此，當上述多個接觸式感測器110被晶圓承載裝置C的底部所持續接觸時，則可偵測出晶圓承載裝置C的閘門D已經關閉。
另外，如圖1D所示，當晶圓承載裝置C的閘門D未關閉時，可活動結構20的一末端可從晶圓取放開口P***晶圓承載裝置C內(亦即接觸部202可從晶圓取放開口P***晶圓承載裝置C內)，然後晶圓承載裝置C的底部只能夠接觸上述多個接觸式感測器110中的一部分，亦即晶圓承載裝置C的底部並未同時接觸上述多個接觸式感測器110。換言之，當晶圓承載裝置C的閘門D未關閉時，機械手臂單元1會因向上移動而撥動到晶圓承載裝置C，進而破壞晶圓承載裝置C所處於的水平位置，因此上述多個接觸式感測器110中的一部分將無法持續保持被晶圓承載裝置C的底部所接觸。藉此，當上述多個接觸式感測器110中的一部分無法持續保持被晶圓承載裝置C的底部所接觸 時，則可偵測出晶圓承載裝置C的閘門D處於未關閉的狀態。
綜上所述，本發明可依據晶圓承載裝置C的閘門D處於「已關閉」或「未關閉」情況，來讓可活動結構20的一末端(亦即接觸部202)可選擇性地接觸晶圓承載裝置C的閘門D或從晶圓取放開口P***晶圓承載裝置C內。換言之，本發明可以經由上述多個接觸式感測器110是否被晶圓承載裝置C的底部所持續接觸，以判斷圓承載裝置C的閘門D目前處於「已關閉」或「未關閉」的情況。
〔第二實施例〕
請參閱圖2A至圖2C所示，本發明第二實施例提供一種用於判斷晶圓承載裝置C的閘門D是否關閉的閘門偵測系統。由圖2B與圖1C的比較、及圖2C與圖1D的比較可知，第二實施例與第一實施例最大的差別在於：在第二實施例中，可活動結構20包括一可用於固定於承載平台10上的固定底座20A、一可活動地固定於固定底座20A上的支撐架20B、及一可活動地設置於支撐架20B上且可選擇性地接觸晶圓承載裝置C的閘門D(如圖2B所示)或從晶圓取放開口P***晶圓承載裝置C內(如圖2C所示)的可活動元件20C。
舉例來說，支撐架20B包括一U形架體200B、一設置於U形架體200B內的限位件201B、及兩個設置於U形架體200B上且相對稱的弧形滑動槽202B。此外，可活動元件20C包括一可選擇性地接觸限位件201B或遠離限位件201B的活動塊200C及兩個分別設置於活動塊200C的兩相反側端上且分別可滑動地設置於上述兩個弧形滑 動槽202B內的樞接柱201C，且可活動元件20C的活動塊200C可選擇性地接觸晶圓承載裝置C的閘門D(如圖2B所示)或從晶圓取放開口P***晶圓承載裝置C內(如圖2C所示)。然而，本發明所使用的可活動結構20不以上述所舉的例子為限。
綜上所述，本發明可依據晶圓承載裝置C的閘門D處於「已關閉」或「未關閉」情況，來讓可活動結構20的一末端(亦即可活動元件20C的活動塊200C)可選擇性地接觸晶圓承載裝置C的閘門D或從晶圓取放開口P***晶圓承載裝置C內。換言之，本發明可以經由上述多個接觸式感測器110是否被晶圓承載裝置C的底部所持續接觸，以判斷圓承載裝置C的閘門D目前處於「已關閉」或「未關閉」的情況。
〔第三實施例〕
請參閱圖3A至圖3C所示，本發明第三實施例提供一種用於判斷晶圓承載裝置C的閘門D是否關閉的閘門偵測系統。由圖3B與圖1C的比較、及圖3C與圖1D的比較可知，第三實施例與第一實施例最大的差別在於：在第三實施例中，可活動結構20包括一用於固定於承載平台10上的固定底座20A(如圖2A所示)、一可活動地固定於固定底座20A上的支撐架20B、及一可活動地設置於支撐架20B上且可選擇性地接觸晶圓承載裝置C的閘門D(如圖3B所示)或從晶圓取放開口P***晶圓承載裝置C內(如圖3C所示)的可活動元件20C。
舉例來說，支撐架20B包括一U形架體200B、一設置於U形架體200B內的限位件201B、及兩個設置於U 形架體200B上且相對稱的定位孔203B。此外，可活動元件20C包括一固定地設置於上述兩個定位孔203B之間的固定塊202C、至少一容置於固定塊202C內的彈性元件203C(例如彈簧、彈片…等等)、及一接觸彈性元件203C且可滑動地與固定塊202C相互配合的滑動塊204C。滑動塊204C的兩個滑動凸塊2040分別可滑動地設置於固定塊202C的兩個滑動狹槽2020內，且可活動元件20C的滑動塊204C可選擇性地接觸晶圓承載裝置C的閘門D(如圖3B所示)或從晶圓取放開口P***晶圓承載裝置C內(如圖3C所示)。然而，本發明所使用的可活動結構20不以上述所舉的例子為限。
綜上所述，本發明可依據晶圓承載裝置C的閘門D處於「已關閉」或「未關閉」情況，來讓可活動結構20的一末端(亦即可活動元件20C的滑動塊204C)可選擇性地接觸晶圓承載裝置C的閘門D或從晶圓取放開口P***晶圓承載裝置C內。換言之，本發明可以經由上述多個接觸式感測器110是否被晶圓承載裝置C的底部所持續接觸，以判斷圓承載裝置C的閘門D目前處於「已關閉」或「未關閉」的情況。
〔實施例的可能功效〕
綜上所述，本發明實施例所提供的閘門偵測系統，其可透過“可活動結構的一末端可選擇性地接觸晶圓承載裝置的閘門或從晶圓取放開口***晶圓承載裝置內”的設計，以使得本發明可用於判斷晶圓承載裝置的閘門是否關閉。
以上所述僅為本發明之較佳可行實施例，非因此侷限 本發明之專利範圍，故舉凡運用本發明說明書及圖式內容所為之等效技術變化，均包含於本發明之範圍內。
C‧‧‧晶圓承載裝置
D‧‧‧閘門
P‧‧‧晶圓取放開口
W‧‧‧晶圓
1‧‧‧機械手臂單元
10‧‧‧承載平台
110‧‧‧接觸式感測器
11‧‧‧水平感測結構
2‧‧‧可活動單元
20‧‧‧可活動結構
200‧‧‧固定部
201‧‧‧彈性延伸部
202‧‧‧接觸部
20A‧‧‧固定底座
20B‧‧‧支撐架
200B‧‧‧U形架體
201B‧‧‧限位件
202B‧‧‧弧形滑動槽
203B‧‧‧定位孔
20C‧‧‧可活動元件
200C‧‧‧活動塊
201C‧‧‧樞接柱
202C‧‧‧固定塊
2020‧‧‧滑動狹槽
203C‧‧‧彈性元件
204C‧‧‧滑動塊
2040‧‧‧滑動凸塊
圖1A為本發明第一實施例的晶圓承載裝置設置於機械手臂單元上的側視示意圖。
圖1B為本發明第一實施例的可活動單元的立體示意圖。
圖1C為本發明第一實施例的可活動單元接觸晶圓承載裝置的閘門的側視示意圖。
圖1D為本發明第一實施例的可活動單元從晶圓取放開口***晶圓承載裝置內的側視示意圖。
圖2A為本發明第二實施例的可活動單元的立體分解示意圖。
圖2B為本發明第二實施例的可活動單元接觸晶圓承載裝置的閘門的立體示意圖。
圖2C為本發明第二實施例的可活動單元從晶圓取放開口***晶圓承載裝置內的立體示意圖。
圖3A為本發明第三實施例的可活動單元的立體分解示意圖。
圖3B為本發明第三實施例的可活動單元接觸晶圓承載裝置的閘門的立體示意圖。
圖3C為本發明第三實施例的可活動單元從晶圓取放開口***晶圓承載裝置內的立體示意圖。
C‧‧‧晶圓承載裝置
P‧‧‧晶圓取放開口
W‧‧‧晶圓
1‧‧‧機械手臂單元
10‧‧‧承載平台
110‧‧‧接觸式感測器
11‧‧‧水平感測結構
2‧‧‧可活動單元
20‧‧‧可活動結構
200‧‧‧固定部
201‧‧‧彈性延伸部
202‧‧‧接觸部

Claims (8)

  1. 一種用於判斷晶圓承載裝置的閘門是否關閉的閘門偵測系統，其包括：一機械手臂單元，其包括至少一承載平台及至少一設置於上述至少一承載平台上的水平感測結構，其中上述至少一水平感測結構包括多個接觸式感測器，且該晶圓承載裝置設置於上述至少一水平感測結構上；以及一可活動單元，其包括至少一固定於該機械手臂單元上的可活動結構，其中該晶圓承載裝置具有一對應於該閘門的晶圓取放開口；其中，當該晶圓承載裝置的閘門已關閉時，上述至少一可活動結構的一末端接觸該晶圓承載裝置的閘門，且該晶圓承載裝置的底部同時接觸上述多個接觸式感測器；當該晶圓承載裝置的閘門未關閉時，上述至少一可活動結構的一末端從該晶圓取放開口***該晶圓承載裝置內，且該晶圓承載裝置的底部只接觸上述多個接觸式感測器中的一部分；其中，上述至少一可活動結構包括一固定於上述至少一承載平台上的固定部、一從該固定部往上延伸的彈性延伸部、及一從該彈性延伸部彎折且可選擇性地接觸該晶圓承載裝置的閘門或從該晶圓取放開口***該晶圓承載裝置內的接觸部。
  2. 一種用於判斷晶圓承載裝置的閘門是否關閉的閘門偵測系統，其包括：一機械手臂單元，其包括至少一承載平台及至少一設置於上述至少一承載平台上的水平感測結構，其中上述 至少一水平感測結構包括多個接觸式感測器，且該晶圓承載裝置設置於上述至少一水平感測結構上；以及一可活動單元，其包括至少一固定於該機械手臂單元上的可活動結構，其中該晶圓承載裝置具有一對應於該閘門的晶圓取放開口；其中，當該晶圓承載裝置的閘門已關閉時，上述至少一可活動結構的一末端接觸該晶圓承載裝置的閘門，且該晶圓承載裝置的底部同時接觸上述多個接觸式感測器；當該晶圓承載裝置的閘門未關閉時，上述至少一可活動結構的一末端從該晶圓取放開口***該晶圓承載裝置內，且該晶圓承載裝置的底部只接觸上述多個接觸式感測器中的一部分；其中，上述至少一可活動結構包括一固定於上述至少一承載平台上的固定底座、一可活動地固定於該固定底座上的支撐架、及一可活動地設置於該支撐架上且可選擇性地接觸該晶圓承載裝置的閘門或從該晶圓取放開口***該晶圓承載裝置內的可活動元件。
  3. 如申請專利範圍第2項所述之用於判斷晶圓承載裝置的閘門是否關閉的閘門偵測系統，其中該支撐架包括一U形架體、一設置於該U形架體內的限位件、及兩個設置於該U形架體上且相對稱的弧形滑動槽，其中該可活動元件包括一可選擇性地接觸該限位件或遠離該限位件的活動塊及兩個分別設置於該活動塊的兩相反側端上且分別可滑動地設置於上述兩個弧形滑動槽內的樞接柱，且該可活動元件的活動塊可選擇性地接觸該晶圓承載裝置的閘門或從該晶圓取放開口***該晶圓承載裝置內。
  4. 如申請專利範圍第2項所述之用於判斷晶圓承載裝置的閘門是否關閉的閘門偵測系統，其中該支撐架包括一U形架體、一設置於該U形架體內的限位件、及兩個設置於該U形架體上且相對稱的定位孔，其中該可活動元件包括一固定地設置於上述兩個定位孔之間的固定塊、至少一容置於該固定塊內的彈性元件、及一接觸上述至少一彈性元件且可滑動地與該固定塊相互配合的滑動塊，且該可活動元件的滑動塊可選擇性地接觸該晶圓承載裝置的閘門或從該晶圓取放開口***該晶圓承載裝置內。
  5. 一種用於判斷晶圓承載裝置的閘門是否關閉的閘門偵測系統，其包括：一機械手臂單元，其包括至少一承載平台及至少一設置於上述至少一承載平台上的水平感測結構，其中上述至少一水平感測結構包括多個接觸式感測器，且該晶圓承載裝置設置於上述至少一水平感測結構上；以及一可活動單元，其包括至少一固定於該機械手臂單元上的可活動結構，其中該晶圓承載裝置具有一對應於該閘門的晶圓取放開口，且上述至少一可活動結構的一末端可選擇性地接觸該晶圓承載裝置的閘門或從該晶圓取放開口***該晶圓承載裝置內；其中，上述至少一可活動結構包括一固定於上述至少一承載平台上的固定部、一從該固定部往上延伸的彈性延伸部、及一從該彈性延伸部彎折且可選擇性地接觸該晶圓承載裝置的閘門或從該晶圓取放開口***該晶圓承載裝置內的接觸部。
  6. 一種用於判斷晶圓承載裝置的閘門是否關閉的閘門偵測 系統，其包括：一機械手臂單元，其包括至少一承載平台及至少一設置於上述至少一承載平台上的水平感測結構，其中上述至少一水平感測結構包括多個接觸式感測器，且該晶圓承載裝置設置於上述至少一水平感測結構上；以及一可活動單元，其包括至少一固定於該機械手臂單元上的可活動結構，其中該晶圓承載裝置具有一對應於該閘門的晶圓取放開口，且上述至少一可活動結構的一末端可選擇性地接觸該晶圓承載裝置的閘門或從該晶圓取放開口***該晶圓承載裝置內；其中，上述至少一可活動結構包括一固定於上述至少一承載平台上的固定底座、一可活動地固定於該固定底座上的支撐架、及一可活動地設置於該支撐架上且可選擇性地接觸該晶圓承載裝置的閘門或從該晶圓取放開口***該晶圓承載裝置內的可活動元件。
  7. 如申請專利範圍第6項所述之用於判斷晶圓承載裝置的閘門是否關閉的閘門偵測系統，其中該支撐架包括一U形架體、一設置於該U形架體內的限位件、及兩個設置於該U形架體上且相對稱的弧形滑動槽，其中該可活動元件包括一可選擇性地接觸該限位件或遠離該限位件的活動塊及兩個分別設置於該活動塊的兩相反側端上且分別可滑動地設置於上述兩個弧形滑動槽內的樞接柱，且該可活動元件的活動塊可選擇性地接觸該晶圓承載裝置的閘門或從該晶圓取放開口***該晶圓承載裝置內。
  8. 如申請專利範圍第6項所述之用於判斷晶圓承載裝置的閘門是否關閉的閘門偵測系統，其中該支撐架包括一U 形架體、一設置於該U形架體內的限位件、及兩個設置於該U形架體上且相對稱的定位孔，其中該可活動元件包括一固定地設置於上述兩個定位孔之間的固定塊、至少一容置於該固定塊內的彈性元件、及一接觸上述至少一彈性元件且可滑動地與該固定塊相互配合的滑動塊，且該可活動元件的滑動塊可選擇性地接觸該晶圓承載裝置的閘門或從該晶圓取放開口***該晶圓承載裝置內。
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Citations (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2000133697A (ja) * 1998-10-23 2000-05-12 Rorze Corp ウエハ搬送装置に於けるウエハ認識装置
TW533174B (en) * 2000-12-04 2003-05-21 Ebara Corp Substrate transportation device, container and substrate transportation method
TWM316254U (en) * 2006-12-01 2007-08-01 Santa Phoenix Technology Inc Conveying mechanism

Family Cites Families (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPH0964156A (ja) * 1995-08-25 1997-03-07 Nikon Corp 基板搬送装置
US20010048866A1 (en) * 1997-12-01 2001-12-06 Fumio Sakiya Container and loader for substrate
US7074000B2 (en) * 2002-12-31 2006-07-11 Applied Materials, Inc. Method and apparatus for undocking substrate pod with door status check
JP5518513B2 (ja) * 2010-02-04 2014-06-11 平田機工株式会社 フープオープナ及びその動作方法

Patent Citations (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2000133697A (ja) * 1998-10-23 2000-05-12 Rorze Corp ウエハ搬送装置に於けるウエハ認識装置
TW533174B (en) * 2000-12-04 2003-05-21 Ebara Corp Substrate transportation device, container and substrate transportation method
TWM316254U (en) * 2006-12-01 2007-08-01 Santa Phoenix Technology Inc Conveying mechanism

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