TWI458950B - 孔徑可變檢查光學系統及彩色濾光片之評價方法 - Google Patents

Description

孔徑可變檢查光學系統及彩色濾光片之評價方法

本發明係關於適用於對諸如液晶顯示裝置等之中所搭載的彩色濾光片，施行光學特性檢查的檢查光學系統。

液晶顯示裝置的彩色濾光片通常係由R、G、B三色濾光片構成。本說明書中，將該一個R的濾光片所存在範圍稱「一像素」，將一個G的濾光片所存在範圍稱「一像素」，將一個B的濾光片所存在範圍稱「一像素」。

在施行該彩色濾光片的光學特性評價時，係將測定用光源的投光光點對準於R的一像素中心，並測定該中心部的穿透光譜、色度、白平衡等。接著，就G的像素、B的像素亦同樣地施行測定。將進行測定的彩色濾光片稱為「樣品」。

圖14所示係正對著樣品之一像素(該圖中為R像素)的照射光點(稱「投光光點U」)圖。

習知，投光光點U係如圖14所示，較一像素的尺寸為小。

依此，將小於一像素尺寸的投光光點U照射於像素中心部，並施行測定的理由，係因為假設在彩色濾光片一像素內的色度/穿透率大致呈均勻狀態。

但是，最近液晶顯示裝置的畫面已變大，彩色濾光片的像素亦變大。隨該像素的大型化與生產方法的變更，一像素內的彩色濾光片膜厚將如剖面圖的圖15所示，並非呈均勻狀態。所以，有指摘彩色濾光片的色度/穿透率在像素內亦非呈均勻分佈，而有必要重新評估彩色濾光片的色度/穿透率評價方法。

再者，習知的投光光點U係僅為固定尺寸。

實際上，因為彩色濾光片的像素尺寸將必須配合產品用途而改變形狀，因而形成投光光點的孔徑形狀在此時便必須進行變更。

所以，為變更投光光點U的尺寸，便必須更換***於光學系統中的孔徑單元，此時將需要施行光學系統的再調整。

緣是，本發明之目的在於提供在未更換孔徑單元的情況下，可變更投光光點U之尺寸的孔徑可變檢查光學系統。

再者，本發明之目的在於提供能檢查彩色濾光片一像素整體之光學特性的彩色濾光片之評價方法。

本發明的孔徑可變檢查光學系統，係將測定光源的光投光至樣品，再接受來自樣品的光並施行光學測定的檢查光學系統；其具備有：具有能改變大小之穿透部分的可變孔徑單元；以及在樣品位置處，形成穿透過上述可變孔徑單元之光的投光光點之聚光光學系統；上述可變孔徑單元係具備有：具有相對向邊緣之一組滑板的第一孔徑開閉機構；以及具有另外相對向邊緣之一組滑板的第二孔徑開閉機構；將第一孔徑開閉機構與第二孔徑開閉機構依既定角度進行交叉配置。

藉由該構造，便可在樣品位置處形成任意大小的投光光點。若使該投光光點與一像素整體一致，便可施行一像素整體的光學特性測定。將可配合任意的像素形狀而自動變更投光光點形狀。此外，即使樣品的像素尺寸不同，仍可在每次測定時均調整孔徑形狀，因此將不需要準備孔徑大小不同的複數孔徑單元。

亦可設置以心軸為中心可進行旋轉的1支桿，該桿二端將抵接於上述第一滑板的滑動方向之前端、與上述第二滑板的滑動方向前端，而採用可以使上述第一滑板的基端利用致動器而進行滑動驅動的構造。此情況下，利用致動器將第一滑板基端朝一方向進行滑動驅動，上述之桿便將旋轉而可將第二滑板朝相反方向移動。所以，第一、第二滑板的各邊緣將可朝相互相反方向移動，而孔徑的中心線若桿的旋轉角度在微小範圍內，便可視為經常保持不動狀態。

上述第二滑板的基端若利用彈簧賦予勢能，便將減少第二滑板的顫動情形，將可保持孔徑形狀的精度。

再者，上述第一孔徑開閉機構中，上述一組滑板係利用第一、第二滑板構成；上述第二孔徑開閉機構中，上述一組滑板係利用第三、第四滑板構成；上述第一滑板之主面、與上述第二滑板之主面係形成同一平面；上述第三滑板之主面、與上述第四滑板之主面係形成同一平面；若上述2個平面形成相接觸的構造，藉由將可變孔徑單元進行2個串聯配置，便可形成任意形狀的孔徑。此外，藉由上述2個平面的相接觸，便可使投光光點的輪廓變清晰。

本發明的彩色濾光片之評價方法，係將測定光源的光投光至作為樣品的彩色濾光片之像素上，並接受來自該樣品的光且施行光學測定的彩色濾光片之評價方法；準備在一像素中形成有邊緣且當作參考物的透明板，利用具有可變大小之穿透部分的可變孔徑單元，調節上述穿透部分的大小，並依使測定光源的投光光點輪廓，涵蓋上述像素整體的方式進行設定，在該測定光源亮燈狀態下，測定參考物光之強度R，準備在一像素中形成有邊緣且當作樣品用的彩色濾光片，利用上述可變孔徑單元，調節上述穿透部分的大小，並依使測定光源的投光光點輪廓，涵蓋上述像素整體的方式進行設定，在該測定光源亮燈狀態下，測定樣品的測定強度S，藉由計算出S/R比而求得樣品穿透率的方法。

藉由該方法，照射於彩色濾光片一像素中的投光光點，便將形成落在BM(black matrix，黑矩陣)中的形狀，並可照射一像素的整個區域。所以，即便是一像素內的色度/穿透率呈非均勻的彩色濾光片情況，仍可進行一像素整體的色度/穿透率評價。此外，將可形成配合任意彩色濾光片像素形狀的投光光點。

當一次測定彩色濾光片一像素整體的色度/穿透率時，作為參考物的透明板亦可使用在進行彩色濾光片塗布前僅形成BM圖案的透明板。若穿透參考物一像素的面積、與穿透彩色濾光片一像素的面積不同時，便無法獲得正確的測定數據，因此，參考物便使用進行彩色濾光片塗布前僅形成相同BM圖案的透明板施行評價。

本發明中，上述或其他優點、特徵及效果，參照所附圖式並利用下述實施形態的說明便可清楚明瞭。

圖1係表示孔徑可變檢查光學系統的整體構造概略圖。

本發明的孔徑可變檢查光學系統係具備有：使投光光點正對著樣品S的投光光學單元；以及接受穿透過樣品S的光並進行測定的受光光學單元。

投光光學單元係具備有：對樣品S進行測定光照射的穿透測定光源11；為了將該穿透測定光源11的光聚光於樣品S的透鏡系統12a、12b；為了***於穿透測定光源11與樣品S之間，且形成四角形孔徑的可變孔徑單元13；***於穿透測定光源11與樣品S之間的半反射鏡(half－mirror)14；以及對半反射鏡14進行光照射的穿透觀察光源15。

受光光學單元係具備有：拍攝樣品S的CCD照相機17；調查樣品S穿透光光譜的分光器18；對樣品S進行對位用光點照射的區域標記19；將朝向CCD照相機17的光軸、與朝向分光器18及區域標記19的光軸進行分割的半反射鏡20。

將連結穿透測定光源11、可變孔徑單元13、及透鏡系統12a、12b的穿透光光軸方向設定為z，將與其成直角之方向設定為x、y。在投光光學單元與受光光學單元之間設置XY平台，並在此處設置有固定架，在該固定架上載置著樣品S。樣品S係可利用XY平台朝x、y方向進行自由移動。

圖2所示係可變孔徑單元13的孔徑開閉機構之詳細構造平面圖及剖面圖。

孔徑開閉機構係具備有：朝x方向移動讀取頭的脈衝控制電動致動器(Electric actuator)1、馬達座(Motor base)2、以及立方體狀本體(body)3。

本體3係在上面(朝向z方向之一面)形成有相互平行之沿x方向的2條導引溝。在各導溝中設置沿x方向且可滑動的細長導引件(Guide)4a、4b。導引件4a、4b將被在本體3的導引溝中進行導引，並朝x方向移動。

再者，在本體3上面，用來形成孔徑用的2片矩形狀滑板(Slide plate)5a、5b係可朝±x方向進行滑動地配置著。滑板5a係利用螺絲對導引件4a進行固定，滑板5b係利用螺絲對導引件4b進行固定。

電動致動器1的讀取頭係連結於導引件4a上端(＋x方向之一端)。

再者，在本體3下端，設置沿光軸方向(即z方向)且形成心軸的銷6a，在該銷6a上旋轉自如地安裝著中心部開鑿著供貫通上述銷6a用之孔的桿(Lever)6。該桿6的一端抵接於上述導引件4a的下端(－x方向之一端)，而該桿6的另一端則抵接於上述導引件4b的下端(－x方向之一端)。

在導引件4b上端經由彈簧(Spring)7，抵接在本體3上所固定的止動栓(Stopper bolt)8。彈簧7係為消除導引件4b的鬆隙，而對導引件4b賦予適度反抗力。

在滑板5a上邊、與滑板5b下邊分別將形成沿y方向的直線上之刀口，各邊緣呈相對向。

再者，用來測定電動致動器1讀取頭之移動量的編碼器(Encoder)9，係連結於電動致動器1的後端軸。

針對該可變孔徑單元13的動作進行說明。

在開啟孔徑時，將使電動致動器1進行脈衝驅動，使讀取頭朝－x方向移動。藉此，滑板5a便朝下移動。

因應該移動，導引件4a下端便將桿6的一端押下，藉此桿6的另一端便上升，而將導引件4b押上。藉由此項動作，滑板5b便朝＋x方向移動。

藉由該等滑板5a朝－x方向移動，與滑板5b朝＋x方向移動，孔徑便將朝上下均等地開啟。孔徑之中心線W(參照圖2)係若桿6的旋轉角度在微小範圍內時，便可視為經常保持不動狀態。所謂「微小範圍」係指例如桿6的旋轉角偏離水平狀態±10度以內的範圍。

在將孔徑關閉時，便驅動電動致動器1，使讀取頭朝＋x方向移動。一端固定於止動栓8上的彈簧7將押下滑板5b。藉此，桿6便朝反方向旋轉，而將滑板5a押上。所以，孔徑便被關閉。

截至目前為止，就使滑板5a、5b朝上下(±x)方向移動的孔徑開閉機構之構造進行說明。但是，為能將穿透過四角形孔徑的光之投光光點正對著樣品S的位置，亦必須設置朝左右(±y)方向進行開閉的孔徑開閉機構。

此情況下，只要將與圖2所示孔徑開閉機構M1為相同的孔徑開閉機構M2，在x－y平面內作90°旋轉移動地設置便可。

圖3所示之構造係配置有：朝上下(x)方向使孔徑進行開閉的孔徑開閉機構M1，與對孔徑開閉機構M1呈90°交叉配置，且朝左右(y)方向使孔徑進行開閉的另一孔徑開閉機構M2。孔徑開閉機構M2係以虛線標示。

孔徑開閉機構M1的滑板、與孔徑開閉機構M2的滑板，係在z方向上串聯配置。藉由分別對孔徑開閉機構M1的電動致動器、與孔徑開閉機構M2的電動致動器進行驅動，便可形成如圖3所示的四角形狀可變孔徑AP。

即，若將四角形沿x方向的邊長設為a，並將沿y方向的邊長設為b，則藉由對孔徑開閉機構M1的電動致動器進行驅動，便可任意設定長度a，藉由對孔徑開閉機構M2的電動致動器進行驅動，便可任意設定長度b。所以，四角形的長邊與短邊比率亦可任意設定，而可使四角形的形狀、大小有所變化。

另外，孔徑開閉機構M1、與孔徑開閉機構M2係朝90°正交方向配置，惟未必一定要為90°。例如亦可如圖4所示，依滿足0<θ<90°的角度θ交叉。藉由依此種角度θ交叉，便可以非屬正方形或長方形，而是以形成具有任意角度的四角形孔徑。此外，亦可如圖5所示，在使滑板的移動方向為正交之前提下，使其中一滑板的刀口依任意角度交叉。另外，亦可如圖6所示，其中一滑板的刀口形成既定角β(超過0°、且未滿180°的角度)而形成六角形之投光光點。該等圖4~圖6所示之情況，係因為當作為檢查對象的像素形狀非為正方形或長方形的情況，而可形成配合像素形狀的投光光點，因而將屬有效方式。

另外，在滑板形成有刀口(參照圖2所示B截面)。若滑板彼此間相靠近，刀口便形成截面V字狀。將滑板上呈刀口間的彼此間隔變狹窄之一面稱為「主面K」。當將孔徑開閉機構M1的滑板、與孔徑開閉機構M2的滑板進行串聯配置時，最好使該等滑板的主面K彼此間相接觸而配置，而可使投光光點的輪廓較清晰。

其次，針對該孔徑可變檢查光學系統的使用方法，根據流程圖(圖7)進行說明。

在此，就樣品係以液晶顯示裝置中所安裝的彩色濾光片為例，並實施彩色濾光片之評價方法。

首先，如圖8所示，準備有以格子狀印刷之形成有一像素邊緣之BM(黑矩陣)的透明玻璃板。將使其用作為參考物。

此情況下，若穿透過參考物一像素的面積、與穿透過彩色濾光片一像素的面積不同，便無法獲得正確的測定數據，因此參考物的BM圖案便必須與彩色濾光片的BM圖案相同。其中，參考物最好使用進行彩色濾光片塗布前之僅形成BM圖案的玻璃板。另外，一像素的像素尺寸係例如90 μm×300 μm左右。

孔徑可變檢查光學系統中經常設有：可設置樣品的樣品固定架，以及至少能設置數十像素份大小之參考物的參考物固定架。樣品固定架與參考物固定架係可由單一固定架區分使用，亦可為個別的固定架。

首先，將孔徑可變檢查光學系統移動至參考固定架的位置(步驟S1)。從區域標記19照射檢查光(步驟S2)，並使CCD照相機17與分光器18的透鏡進行自動對焦，並操縱XY平台，使參考物的像素移動至區域標記19的中心位置處(步驟S3)，將區域標記19的檢查光熄燈(步驟S4)。藉此，便可將參考物放置於受光光學單元的CCD照相機17與分光器18之光軸上。

接著，將使穿透測定光源11亮燈(步驟S5)，執行透鏡系統12a、12b的自動對焦(步驟S6)。然後，進行投光光點的光軸合致(步驟S7)。此步驟係一邊觀察CCD照相機17，一邊使參考物像素到達CCD照相機17畫面的中心位置。

接著，調節可變孔徑單元13，並使投光光點的輪廓為如圖8中的白色虛線所示，落在一像素邊緣(即BM(黑矩陣))上的方式，設定投光光點形狀(尺寸a、b)。藉此，投光光點便形成照射一像素整個區域的狀態。

在該穿透測定光源11之亮燈狀態下，利用CCD照相機17測定參考物的穿透光強度。亦可利用分光器18測定參考物的穿透強度光譜。將所測得參考物的測定強度記為R。

其次，如圖9所示，所準備的樣品係在有印刷之形成有一像素邊緣之格子狀BM(黑矩陣)的透明玻璃板之各像素上塗布著彩色濾光片。其設置於樣品固定架上。

使穿透測定光源11熄燈(步驟S9)，操縱XY平台，使樣品在透鏡系統12a、12b的光軸上進行移動(步驟S10)。

照射區域標記19(步驟S11)，使CCD照相機17與分光器18的透鏡進行自動對焦，操縱XY平台，使樣品的像素移動至區域標記19的中心位置(步驟S12)，並使區域標記19熄燈(步驟S13)。藉此，便可將樣品放置於受光光學單元的CCD照相機17與分光器18之光軸上。

接著，使穿透觀察光源15亮燈，並利用從下方的穿透觀察光照射整個影像區域(步驟S14)，利用CCD照相機17辨識R、G、B之顏色，並使欲測定的R、G、B中任一像素，例如R像素之中心藉由影像處理進行對位(步驟S15)。另外，穿透觀察光源15的光點徑係約6mm，將可涵蓋多數像素。

若對位已結束後，便使穿透觀察光源15熄燈(步驟S16)，並使穿透測定光源11亮燈(步驟S17)，且使穿透測定光源11照射該樣品，再利用CCD照相機17進行樣品光測定(步驟S18)。亦可利用分光器18測定樣品的穿透強度光譜。將所測得樣品的測定強度設定為S。

另一方面，將所有的光源熄燈，使周圍呈黑暗狀態，並關閉孔徑，將CCD照相機17所測得的測定強度設定為D。

樣品的穿透率係可依下式求得：穿透率＝(S－D)/(R－D)

當D較小至可忽視的情況，便成為下式：T＝S/R藉此便可完成一個樣品的測定。

下一個樣品測定便回到步驟S14，利用從下方的穿透觀察光照射整個影像區域，並利用CCD照相機17，使下一個欲測定的R、G、B中任一像素，例如G像素之中心，藉由影像處理進行自動對位(步驟S15)，使穿透觀察光源15熄燈(步驟S16)，並使穿透測定光源11亮燈(步驟S17)，而使穿透測定光源11照射於樣品，並利用CCD照相機17或分光器18進行樣品光測定(步驟S18)。

藉由以影像處理進行之自動對位，便可正確地設定投光光點形狀，將可彌補因自動可變孔徑單元13的機械裝置所造成的誤差。藉此，便可對樣品、參考物的任意之指定地方進行自動測定。

依此進行複數樣品光的測定。另外，參考物的強度R係只要一次測定，短時間內將不會有變動，因此亦可減少參考物的強度測定頻率。例如以上午一次、下午一次程度的頻率進行參考物的光測定便可。

另外，亦可將本發明的孔徑可變檢查光學系統，利用於樣品的反射率測定。此情況下，孔徑可變檢查光學系統的構造，係如圖10所示，投光光學單元與受光光學單元將相對於樣品均位於相同側。

對樣品S照射測定光的反射測定光源21之光，將通過在反射測定光源21與樣品S之間所***的可變孔徑單元13，再通過半反射鏡22，並利用透鏡系統12而聚光於樣品S。此外，在半反射鏡22與樣品之間***半反射鏡23，並在半反射鏡23上設置將光進行照射的反射觀察光源24。

使用該孔徑可變檢查光學系統進行樣品反射率的測定時，將可依如下述實施。

首先，在有以格子狀印刷之形成有一像素邊緣之黑矩陣的透明玻璃板上，進行高反射率材料，例如鋁等之塗布。並將其使用為參考物。

使參考物的像素到達CCD照相機17畫面之中心位置的方式，將反射測定光源21亮燈，並調節可變孔徑單元13，而使投光光點的輪廓如圖8中的白色虛線所示，落在一像素邊緣，即黑矩陣上的方式，設定投光光點之形狀(尺寸a、b)。藉此，投光光點便成為照射一像素整個區域的狀態。

利用CCD照相機17測定參考物的反射光強度。亦可利用分光器18測定參考物的反射強度光譜。將所測得參考物的測定強度記為R’。

接著，將樣品放置於受光光學單元的CCD照相機17與分光器18的光軸下，使反射觀察光源24亮燈，並以反射板25所反射回來的光(穿透觀察光)照射整體影像區域，且利用CCD照相機17辨識R、G、B顏色，並使欲測定的R、G、B中任一像素，例如R像素之中心藉由影像處理進行對位。

若對位已結束後，便使反射觀察光源24熄燈，並使反射測定光源21亮燈，且使反射測定光源21照射樣品，再利用CCD照相機17進行樣品的反射光測定。亦可利用分光器18測定樣品的反射強度光譜。將所測得樣品的反射測定強度記為S’。

樣品的反射率係可依下式求得：反射率＝(S’－D)/(R’－D)

以上就本發明實施形態進行說明，惟本發明的實施並不僅侷限於上述形態。例如在上述的實施形態中，雖將照射一像素整體的投光光點形成落在BM上的形狀，而進行穿透率、反射率的測定，但是亦可如圖11所示，依非落在BM上的形狀進行評價。該圖8所示方式亦是可測定一像素的整體穿透率、反射率。但，當BM附近的彩色濾光片膜厚變動較大時，恐有色度/穿透率較難控制的情況發生。

再者，亦可使投光光點不照射於一像素整體，而是僅照射一像素的其中一部分。例如圖12所示，形成將1像素分割成9份的投光光點，而可以評估1像素內的斑點(分割數係可任意設定)。藉此，便可檢查彩色濾光片像素內的光學特性斑點。

再者，如圖13所示，當欲測定非為四角形的不同形狀之濾光片時，亦可一邊改變四角形的位置、形狀，一邊進行複數次測定，再利用該等的組合進行評價。此外，在本發明範疇內將可實施各種變更。

1．．．電動致動器

2．．．馬達座

3．．．本體

4a、4b．．．導引件(Guide)

5a、5b．．．滑板(Slide plate)

6．．．桿(Lever)

6a．．．銷

7．．．彈簧(Spring)

8．．．止動栓

9．．．編碼器(Encoder)

11．．．穿透測定光源

12、12a、12b．．．透鏡系統

13．．．可變孔徑單元

14．．．半反射鏡

15．．．穿透觀察光源

17．．．CCD照相機

18．．．分光器

19．．．區域標記

20．．．半反射鏡

21．．．反射測定光源

22．．．半反射鏡

23．．．半反射鏡

24．．．反射觀察光源

25．．．反射板

AP．．．可變孔徑

M1．．．孔徑開閉機構

M2．．．孔徑開閉機構

S．．．樣品

U．．．投光光點

W．．．中心線

K．．．主面

圖1為孔徑可變檢查光學系統的整體構造概略圖。

圖2為孔徑開閉機構詳細構造的平面圖與剖面圖。

圖3為配置有朝上下(x)方向使孔徑進行開閉的孔徑開閉機構M1，與90°交叉配置，且朝左右(y)方向將孔徑進行開閉的另一孔徑開閉機構M2之構造平面圖與剖面圖。

圖4為使孔徑開閉機構M1與孔徑開閉機構M2的滑板，依滿足0<θ<90°的角度θ進行交叉狀態的平面圖。

圖5為正交於滑板移動方向，並將滑板刀口形成任意之角度狀態的平面圖。

圖6為正交於滑板移動方向，並將滑板刀口形成既定角狀態的平面圖。

圖7為孔徑可變檢查光學系統的使用方法說明流程圖。

圖8為將成為一像素邊緣的黑矩陣以格子狀印刷的參考物透明玻璃板的平面圖。

圖9為將成為一像素邊緣的格子狀黑矩陣印刷成樣品之透明玻璃板的平面圖。

圖10為將本發明孔徑可變檢查光學系統，利用於樣品S的反射率測定時，孔徑可變檢查光學系統的構造圖。

圖11為當依投光光點不落在BM中的方式，對一像素整體進行照射的情況，投光光點與BM間之位置關係的平面圖。

圖12為形成將1像素分割為9份的投光光點，並評價1像素內斑點之方法的平面圖。

圖13為一邊改變四角形的位置、形狀，一邊進行複數次測定，並利用該等的組合而評價不同形狀濾光片之方法的平面圖。

圖14為習知之正對著樣品的一定大小之投光光點U的圖。

圖15為一像素內的彩色濾光片膜厚分佈的剖面圖。

11．．．穿透測定光源

12a、12b．．．透鏡系統

13．．．可變孔徑單元

14．．．半反射鏡

15．．．穿透觀察光源

17．．．CCD照相機

18．．．分光器

19．．．區域標記

20．．．半反射鏡

S．．．樣品

Claims (10)

1. 一種孔徑可變檢查光學系統，係將測定光源的光投光至樣品，再接受來自樣品的光並進行光學測定的檢查光學系統；其特徵在於：其具備有：可變孔徑單元，其係具有能改變大小的穿透部分；以及聚光光學系統，其係在樣品位置處，形成穿透過上述可變孔徑單元之穿透光的投光光點；而上述可變孔徑單元係具備有：第一孔徑開閉機構，其係包含具有相對向邊緣之一組滑板；以及第二孔徑開閉機構，其係包含具有另外之相對向邊緣之一組滑板；且使第一孔徑開閉機構與第二孔徑開閉機構，依既定角度進行交叉配置，上述第一孔徑開閉機構中，上述一組滑板係由第一、第二滑板構成；並以平行於上述穿透光之穿透方向所設置的心軸為中心，設置有可進行旋轉的1支桿，該桿二端係抵接於上述第一滑板之用於開啟上述孔徑所產生滑動之方向的前端、及上述第二滑板之用於關閉上述孔徑所產生滑動之方向的前端；上述第一滑板的基端與上述第二滑板的基端之任一者，係利用致動器而進行滑動驅動，而另一者係利用彈簧賦予勢能。
2. 如申請專利範圍第1項之孔徑可變檢查光學系統，其中，上述可變孔徑單元的上述穿透部分係具有多角形之形狀。
3. 如申請專利範圍第1項之孔徑可變檢查光學系統，其中，上述既定角度係90°。
4. 如申請專利範圍第1項之孔徑可變檢查光學系統，其中，上述相對向的邊緣係在上述第一、第二滑板所形成直線上的邊緣。
5. 如申請專利範圍第4項之孔徑可變檢查光學系統，其中，上述第一、第二滑板係均可朝上述邊緣的直角方向進行滑動。
6. 如申請專利範圍第1項之孔徑可變檢查光學系統，其中，上述一組滑板的邊緣係形成截面V之形狀。
7. 如申請專利範圍第1項之孔徑可變檢查光學系統，其中，上述第二孔徑開閉機構中，上述一組滑板係利用第三、第四滑板構成；上述第一滑板之主面、與上述第二滑板之主面係形成同一平面；上述第三滑板之主面、與上述第四滑板之主面係形成同一平面；上述2個平面係相接觸。
8. 一種彩色濾光片之評價方法，係將測定光源的光投光 至作為樣品的彩色濾光片之像素上，並接受來自該樣品的光而進行光學測定的彩色濾光片之評價方法；其包括有：(a)準備作為參考物用的透明板，其在以一個顏色的彩色濾光片所覆蓋之一像素形成有邊緣；(b)利用具有可變大小之穿透部分的可變孔徑單元，調節上述穿透部分的大小，並使測定光源的投光光點之輪廓，依涵蓋上述像素整體的方式進行設定；(c)在該測定光源亮燈狀態下，測定參考物光強度R；(d)準備在一像素中形成有邊緣而作為樣品的彩色濾光片；(e)利用上述可變孔徑單元，調節上述穿透部分的大小，並使測定光源的投光光點之輪廓，依涵蓋上述像素整體的方式進行設定；(f)在該測定光源亮燈狀態下，測定樣品的測定強度S；(g)藉由計算出S/R比而求得樣品之穿透率。
9. 如申請專利範圍第8項之彩色濾光片之評價方法，其中，上述作為參考物的透明板係為進行彩色濾光片塗布前之僅形成BM圖案的透明板。
10. 如申請專利範圍第8項之彩色濾光片之評價方法，其中，上述(b)或(e)的步驟中，測定光源的投光光點輪廓係依落在上述像素邊緣的方式進行設定。