JP4136911B2 - 赤外顕微鏡及びその測定位置確定方法 - Google Patents
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Description
また、反射対物鏡としてカセグレン鏡を使用した場合は、カセグレン鏡の構造上、反射光量による調整で両者のずれはある程度小さくすることができるが、完全に一致させることは困難であり、通常、10〜100μmもしくはそれ以上のずれが生じる。
このため、この差異よりも小さい試料を測定しようとした際に別の位置の測定をすることになり、有用な結果が得られないことになる。
また、測定した位置を正確に把握できない。
本発明の第2の目的は、ATR法以外で観測した試料観測位置とATR法でプリズムが接触し実際に測定する試料測定位置とのずれをなくすことのできる赤外顕微鏡を提供することである。
前記記憶部に記憶するずれ量はどのような方法で求めたものでもよいが、その1つの方法は本発明の方法における観測位置座標と測定位置座標との差を用いることである。
2は赤外測定を行なう際の測定モードを透過モードか反射モードかに切り換える透過/反射切換え鏡であり、透過/反射切換え鏡2には図示されていないFTIR(フーリエ変換赤外分光光度計)の干渉計から赤外光が導かれる。赤外反射分光測定モードのために切換え鏡2からの赤外光をカセグレン鏡からなる反射対物鏡10の光軸上に導くために、平面鏡4、球面鏡6及びハーフミラー8が設けられている。反射対物鏡10の焦点が試料上の位置14にくるように、反射対物鏡10の下部には試料ステージ12が設けられている。
試料ステージ12はステージ移動制御部50により水平面内でのX,Y方向に移動させられる。
通常の赤外顕微鏡測定(透過、正反射)では測定対象を顕微鏡視野の中央に移動させ、測定対象の大きさに合わせてアパーチャ16を開閉、回転させる。それにより、アバーチヤ開口部にある測定対象を透過又は反射した光のみが検出器26に到達し、それ以外の光は遮蔽されるため、測定対象のスペクトルが得られる。アパーチャ16の開口中心と観測視野の中心とにずれがあっても、観測においてアパーチャ16の状態を確認できるため、それに合わせて測定対象の位置を調整することができる。
図5(A)に示すように、プリズムの空間分解能よりも幅の小さい線状の試料70を顕微鏡の試料ステージ12上に固定し、試料ステージ12を動かすことによりその線状試料70の幅方向に移動させ、各位置でのATRスペクトルを測定していく。図で四角の枠は観察視野を表わしており、試料ステージ12の移動により線状試料70が矢印の方向に移動していく。移動量は線状試料70の線幅と同じかそれよりも小さくする.移動と測定を繰り返すことにより線状試料のATRスペクトルが得られる位置を探す。線状試料のATRスペクトルが得られる位置が確認できたら、そのときの線状試料のある位置(線上)70aに実際に測定する位置が存在する。そのときの試料ステージ12の座標を求めておく。
以上の結果、得られた2つの線70aと70bの交わる点がプリズム60が試料と接触し実際に測定するポイントである。その位置は上の(A),(B)の2つのステップで得られた試料ステージの座標から求めることができる。
プリズムを介さない観測モードで、可視光により、又は赤外光により試料観測位置を求める方法も、図5と同様に行なうことができる。
12 試料ステージ
14 反射対物鏡の焦点位置
16 アパーチャ
26 赤外検出器
46,48 接眼レンズ
50 ステージ移動制御部
52 記憶部
70 線状試料
Claims (3)
- プリズムを試料ステージ上の試料に接触させ、赤外光を前記プリズムを介して試料表面に向けて全反射臨界角以上の入射角で照射して、試料表面で反射された赤外光の吸収スペクトルを測定するATR測定モードをもつ赤外顕微鏡において、
前記プリズムを介さない観測モードで、プリズムの空間分解能よりも幅の小さい線状試料を観測し、前記線状試料が観察視野中心を横切るように試料ステージを位置決めしたときの試料ステージの座標と、その状態から試料を90°回転させ、再び前記線状試料が観察視野中心を横切るように試料ステージを位置決めしたときの試料ステージの座標とから試料観測位置座標を求めるステップと、
ATR測定モードで前記線状試料を測定し、前記線状試料をその幅方向に走査して線状試料が検出されたときの試料ステージの座標と、その状態から試料を90°回転させ、再び前記線状試料をその幅方向に走査して線状試料が検出されたときの試料ステージの座標とからATR測定モードでの試料の測定位置座標を求めるステップとを備えて、
前記試料観測位置座標と前記測定位置座標との間のずれ量を求め、ATR測定モードでの試料測定時に試料観測位置座標とそのずれ量に基づいて試料の測定位置を確定する方法。 - プリズムを試料ステージ上の試料に接触させ、赤外光を前記プリズムを介して試料表面に向けて全反射臨界角以上の入射角で照射して、試料表面で反射された赤外光の吸収スペクトルを測定するATR測定モードをもつ赤外顕微鏡において、
前記プリズムを介さない観測モードでの試料観測位置と、ATR測定モードでの試料測定位置とのずれ量を記憶しておく記憶部と、
ATR測定モード時には前記試料観測位置と試料測定位置とが一致するように前記記憶部に記憶されているずれ量だけ前記試料ステージを移動させるステージ移動制御部とを備えたことを特徴とする赤外顕微鏡。 - 前記記憶部に記憶するずれ量として、請求項1に記載の方法における観測位置座標と測定位置座標との差を用いる請求項2に記載の赤外顕微鏡。
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