TWI447782B - 圖案形成方法及用於它之感光性樹脂組成物 - Google Patents

Description

圖案形成方法及用於它之感光性樹脂組成物

本發明係關於光阻組成物。特別是本發明係有關於適於藉由狹縫塗布所塗布之光阻組成物。

習知之用於形成液晶顯示器用的驅動電路形成圖案的光阻，一般為將感光性樹脂組成物卸於玻璃中央部分並旋轉迴轉塗布後，藉由預烘烤乾燥所製造。然而，隨著基板的大型化、光阻量的少量化，塗布方法也隨之改變，變成在狹縫塗布後，亦使用旋轉迴轉、再預烘烤乾燥的方法。然後，隨著基板之更大型化的要求，而使旋轉迴轉變得困難，已不能利用在狹縫塗布後進行減壓乾燥、再預烘烤乾燥的製造方法。

在狹縫塗布後所進行的旋轉迴轉，係以蒸發包含於塗膜中之一部分溶劑，同時將塗膜均一化為目的。因而，在狹縫塗布後進行旋轉迴轉的方法中，係藉由旋轉迴轉保持塗布均一性。但是，在狹縫塗布後減壓乾燥的方法中，由於不可能藉由旋轉迴轉將塗膜均一化，故狹縫塗布後之塗膜必須為均一的。然而，根據本發明者等之研究，直接使用習知所用之感光性樹脂組成物，難以使狹縫塗布之後的塗膜變得充分均一。再者，在之後所進行的減壓乾燥中，亦變得容易引起所謂用於固定塗布後之基板之夾盤或針等痕跡殘留於膜面的問題。

又，雖然狹縫塗布後所進行之減壓乾燥的條件為各式 各樣，但基本上大多利用在室溫條件下、從大氣壓約101kPa至約20Pa、約30秒左右之激烈減壓的方法。為了適用如此之較為嚴格的減壓乾燥條件，必須調節塗布膜的乾燥程度。塗膜之乾燥程度不適當時則對於圖案形狀或塗布性產生大問題，成為引起各式各樣問題的要因。

用於此等之感光性樹脂組成物的溶劑方面，由於一般所使用之丙二醇單甲基醚乙酸酯(以下稱為PGMEA)之蒸氣壓係在20℃/l氣壓下為約500Pa，在減壓乾燥時非常容易蒸發。結果PGMEA迅速從塗布後之塗膜表面蒸發，在表面附近形成乾燥被覆膜，妨害塗膜內部之PGMEA的蒸發。使用如此之光阻膜以形成圖案時，由於光阻膜的表面附近不易顯像，內部變得容易顯像，故圖案形狀變成倒錐形的形狀(亦稱為T-頂)，在後烘烤時殘留圖案之邊角部分，而成為剝離不良的原因，又由於光阻圖案內部的乾燥變得不足，故耐蝕刻性亦變得不足，亦成為利用該光阻圖案所形成之金屬配線等變得不均一的原因。

又，在使用正型光阻之圖案形成中，在顯像已曝光之光阻膜時，一般已知當未曝光部分接觸顯像液時，由於感光劑與樹脂形成偶氮鍵，使得鹼顯像液的溶解性降低，而可形成曝光部分與未曝光部分的對比。使用習知之感光性組成物，在狹縫塗布後進行減壓乾燥的方法中，由於塗膜表面的乾燥，未曝光部分表面相較於內部，相對地較難溶解於鹼顯像液，故有表觀上對比變得過強的傾向。為了解 決此等問題，例如不添加與稱為對比加強劑之感光劑為高反應性之分子量樹脂成分，或減少感光劑的量。然而，在此等的方法中，關於圖案形狀，雖然認為有一定之改良效果，但同時由於感光劑的量不足而使圖案寬度不均一，以及由於無對比加強劑而實際之對比變低等的問題。

另外，為了抑制塗布感光性樹脂組成物形成光阻膜時的塗布不均，正研究混合複數種溶劑。例如，在專利文獻1中揭示使用二乙二醇二烷基醚、3-乙氧基丙酸乙酯、乙酸烷基酯、及乳酸烷基酯作為溶劑的感光性樹脂組成物。記載於該引用文獻1的感光性樹脂組成物，係以改善在狹縫塗布中之橫線不均、縱線不均、及在基板全面上之無定型不均等為目的者。然後，此等之溶劑組合雖考慮到蒸發速度，但該蒸發速度為塗布時的蒸發速度，而並非考慮到在減壓乾燥等的蒸發速度。因此，在本發明者等所知之限度下，在解決如前述之減壓乾燥時的問題點中仍有改善的空間。

又，在引用文獻2中，記載著包含苄醇之感光性樹脂組成物。其中所用之苄醇係為了改良塗布不均而混合於丙二醇單甲基醚乙酸酯等之主溶劑中使用。然而，在該引用文獻中記載著專門使用旋轉塗布法作為塗布方法的方法，針對在伴隨著如上述之減壓乾燥之狹縫塗布中的問題則無任何記載。

【專利文獻1】特開2006-171670號公報

【專利文獻2】國際專利公開2004/095142號小冊

如前述，根據本發明者等之研究，感光性樹脂組成物使用包含一般作為溶劑之丙二醇單甲基醚乙酸酯者時，對於塗布時之塗布不均或塗布均一性有改良的空間，又，由於塗膜表面比內部容易乾燥，故圖案形狀成為倒錐形狀，成為剝離不良或過度對比。因此，正尋求解決彼等問題的手段。

本發明中之圖案形成方法，其特徵為包含下列步驟：藉由狹縫塗布法塗布包含鹼可溶性樹脂、感光劑、及混合溶劑所構成的感光性樹脂組成物於基板上而形成塗膜，前述混合溶劑係包含丙二醇單甲基醚乙酸酯與在1大氣壓20℃下之蒸氣壓為150Pa以下之共溶劑；減壓乾燥所形成的塗膜；接著進行加熱乾燥，並蒸發除去至少一部份溶劑；進行圖案曝光成為所希望之圖案；進行顯像以形成圖案；進行加熱以硬化顯像後之圖案。

又，本發明中之狹縫塗布用感光性樹脂組成物，係以包含鹼可溶性樹脂、感光劑、及混合溶劑所構成、前述混合溶劑包含丙二醇三甲基醚乙酸酯與在1大氣壓20℃下之蒸氣壓為150Pa以下之共溶劑所構成為特徴者。

根據本發明，改良塗布時之塗布不均或塗布之不均一 性，再者由於使所形成之圖案形狀為較佳之錐狀，可改良剝離不良或線寬的不均一性。在改良圖案形狀中，亦無伴隨如以往所進行之感光劑量或對比加強劑降低等方法之圖案寬度不均等的問題。

本發明中之用於圖案形成方法的感光性樹脂組成物，必要成分係包含鹼可溶性樹脂、感光劑、及混合溶劑。本發明中之用於圖案形成方法的感光性樹脂組成物，係針對所形成之圖案用途等來調整感光性組成物的成分，亦可為正型或負型中任一種。

其中，混合溶劑係由丙二醇單甲基醚乙酸酯與共溶劑所構成。其中，共溶劑方面，則使用在1大氣壓20℃下所測定之蒸氣壓為150Pa以下、較佳為100Pa以下者。又，共溶劑之蒸氣壓的下限雖無特別限制，但在1大氣壓20℃下所測定的蒸氣壓一般為5Pa以上、較佳為10Pa以上、更佳為15Pa以上。在共溶劑之蒸氣壓較此等範圍低的情況下，一方面減壓乾燥中之乾燥條件的調整變困難，一方面減壓乾燥及接著進行之預烘烤則不能充份乾燥，因殘留溶劑於光阻膜中而必須注意。共溶劑可從滿足此等條件者，針對包含於感光性樹脂組成物中之其他固體成分的種類、感光性樹脂組成物的用途、塗布或乾燥的條件等來適切地選擇。

作為此等共溶劑之較佳者方面，舉出有醇類、酯類、 醚類、二醇醚類等。較佳之共溶劑的具體範例方面，舉出有苄醇、乙二醇丁基醚乙酸酯，較具體有乙二醇正-/異-/第二-/第三丁基醚乙酸酯、丙二醇、丙二醇二乙酸酯、丙二醇單烷基醚(烷基之碳數為4~5)、二丙二醇二烷基醚(烷基之碳數為1~5)、二丙二醇單烷基醚(烷基之碳數為1~5)、二乙二醇二烷基醚(烷甚之碳數為2~5)、二乙二醇單烷基醚(烷基之碳數為1~5)、3-乙氧基丙酸乙酯、乙酸-3-甲氧基-3-甲基丁酯、3-甲氧基-3-甲基丁醇、乳酸丁酯及彼等之混合物所構成之群組者。

還有，苄醇雖為作為共溶劑之較佳者之一，亦可進一步與其他共溶劑組合，藉由形成3成分之混合溶劑而可使塗布性變成較優異。此等較佳之3成分的混合溶劑方面，舉例有PGMEA與苄醇與乙二醇-正丁基醚乙酸酯的混合溶劑。PGMEA與苄醇之2成分的混合溶劑與上述3成分混合溶劑比較，有稍許塗布性差的傾向。

在本發明中，混合此等之共溶劑與PGMEA而成為混合溶劑。混合溶劑的混合比例雖無特別限制，但共溶劑的含量以混合溶劑之全體重量為基準則為5~70重量%，較佳為5~60重量%。此時，在使用揮發性高、即蒸氣壓高之共溶劑的情況下，較佳為相對上共溶劑的含量多。殘餘部分雖然較佳為僅有PGMEA，但在無損於本發明之效果的範圍內，亦可包含其他溶劑，例如在1大氣壓20℃下所測定之蒸氣壓超過150Pa的溶劑。還有，在本發明中，混合溶劑 不一定需要使用混合狀態之PGMEA與共溶劑，亦可在調製感光性樹脂組成物時，個別添加PGMEA與共溶劑，在組成物中混合。

還有，在使用組合在1氣壓20℃下之條件中的蒸氣壓超過150Pa的共溶劑與PGMEA之混合溶劑的情況下，雖有發現感光性樹脂組成物之塗布特性提升的情況，但在減壓乾燥時難以充分抑制膜表面的乾燥。再者由於膜表面乾燥，顯像時則難以引起膜磨損而殘膜率變得接近於100%，圖案形狀容易變成倒錐狀。相對於此，作為共溶劑之蒸氣壓為150Pa以下的溶劑，即使藉由預烘烤亦不易乾燥。因此在習知之旋轉塗布法中，雖發現由於其添加而使殘膜率降低，但在該情況亦組合減壓乾燥的情況下，即使在激烈的減壓下亦可抑制膜表面的乾燥，而且可保持殘膜率。

可用於本發明中之圖案形成方法的鹼可溶性樹脂方面，可使用習知之任意者。具體而言，例如有酚醛清漆樹脂、具有矽氮烷構造之聚合物、丙烯酸聚合物、矽醇聚矽氧、聚亞醯胺等。彼等之中，較佳為酚樹脂、特別是甲酚醛清漆樹脂、二甲酚醛清漆樹脂等之酚性酚醛清漆樹脂。

其中所謂酚性酚醛清漆樹脂，係藉由至少1種酚類與福馬林等之醛類縮合聚合所得之酚醛清漆型的酚樹脂。

用於製造此等酚性酚醛清漆樹脂所用的酚類方面，可舉例有鄰甲酚、對甲酚及間甲酚等之甲酚類；3,5-二甲酚、2,5-二甲酚、2,3-二甲酚、3,4-二甲酚等之二甲酚類；2,3,4- 三甲酚、2,3,5-三甲酚、2,4,5-三甲酚、3,4,5-三甲酚等之三甲酚類；2-第三丁酚、3-第三丁酚、4-第三丁酚等之第三丁酚類；2-甲氧酚、3-甲氧酚、4-甲氧酚、2,3-二甲氧酚、2,5-二甲氧酚、3,5-二甲氧酚等之甲氧酚類；2-乙酚、3-乙酚、4-乙酚、2,3-二乙酚、3,5-二乙酚、2,3,5-三乙酚、3,4,5-三乙酚等之乙酚類；鄰氯酚、間氯酚、對氯酚、2,3-二氯酚等之氯酚類；間苯二酚、2-甲基間苯二酚、4-甲基間苯二酚、5-甲基間苯二酚等之間苯二酚類；5-甲基兒茶酚等之兒茶酚類；5-甲基五倍子酚等之五倍子酚類；雙酚A、B、C、D、E、F等之雙酚類；2,6-二羥甲基對甲酚等之羥甲基化甲酚類；α-萘酚、β-萘酚等之萘酚類等。彼等係可單獨或以複數種之混合物來使用。

又，醛類方面，除了福馬林之外，舉出有鄰羥苯甲醛、三聚甲醛、乙醛、苯甲醛、羥基苯甲醛、氯乙醛等，彼等係以單獨或以複數種之混合物來使用。

雖然鹼可溶性樹脂之含量並無特別限制，一般以感光性樹脂組成物之總重量為基準為5~25重量%，較佳為7~20重量%。較該範圍低時，由於最終之光阻膜為得到一定的膜厚而必須塗布厚的組成物，容易引起塗膜內部的流動，而發生塗布不均。另外，樹脂含量較該範圍高時，則必須塗布薄的組成物，膜厚均一性變得不足。因而，在樹脂含量在前述範圍外的情況下則必需注意。

又，用於本發明中之圖案形成方法的感光劑方面，雖 可任意選擇一般所用者，但舉出包含醌二醯胺基之感光劑為較佳。此等之感光劑方面，舉出有萘醌二醯胺磺酸氯化物或苯醌二醯胺磺酸氯化物等、及藉由與具有可與彼等酸氯化物縮合反應之官能基的低分子量化合物或高分子量化合物反應所得的化合物。其中可與酸氯化物縮合的官能基方面，舉出有羥基、胺基等，特別以羥基為適。包含羥基之可與酸氯化物縮合的化合物方面，可舉例有氫醌、間苯二酚、2,4-二羥基二苯基酮、2,3,4-三羥基二苯基酮、2,4,6-三羥基二苯基酮、2,4,4’-三羥基二苯基酮、2,3,4,4’-四羥基二苯基酮、2,2’,4,4’-四羥基二苯基酮、2,2’,3,4,6’-五羥基二苯基酮等之羥基二苯基酮類；雙(2,4-二羥苯基)甲烷、雙(2,3,4-三羥苯基)甲烷、雙(2,4-二羥苯基)丙烷等之羥苯基烷類；4,4’,3”,4”-四羥基-3,5,3’,5’-四甲基三苯基甲烷、4,4’,2”,3”,4”-五羥基-3,5,3’,5’-四甲基三苯基甲烷等之羥基三苯基甲烷類等。彼等係以單獨或組合2種以上來使用均可。

又，萘醌二醯胺磺酸氯化物或苯醌二醯胺磺酸氯化物等之酸氯化物方面，舉例有1,2-萘醌二醯胺-5-磺醯基氯化物、1,2-萘醌二醯胺-4-磺醯基氯化物等為較佳者。包含醌二醯胺基之感光劑的配合量，平均100重量份鹼可溶性樹脂，通常為5~50重量份，較佳為10~40重量份。較其少時，不能得到作為感光性樹脂組成物之足夠感度，又較其多時必須注意引起成分之析出問題。

用於本發明之圖案形成方法的感光性樹脂組成物，雖包含前述混合溶劑、鹼可溶性樹脂、感光劑作為必要成分，但可進一步包含界面活性劑。界面活性劑係以感光性樹脂組成物之均一性的維持、塗布性的改良等為目的。特別是在塗布感光性樹脂組成物於基材時，在表面上產生魚鱗狀的模樣(以下，稱為「魚鱗狀不均」)，藉由在本發明中之感光性樹脂組成物中使用界面活性劑，抑制該魚鱗狀不均。在本發明的感光性樹脂組成物中，特別以使用非離子系界面活性劑為佳。非離子系界面活性劑方面有氟系界面活性劑、矽系界面活性劑、烴系界面活性劑等，特別以使用氟系界面活性劑為佳。彼等界面活性劑的配合量係相對於鹼可溶性樹脂與感光劑之合計量1重量份，通常添加200~10000ppm。界面活性劑的含量過多時，由於引起顯像不良等問題而必須注意。

用於本發明中之圖案形成方法的感光性樹脂組成物，進一步於必要時亦可包含添加劑，例如對比加強劑、環氧化合物或含矽之化合物等的黏著助劑。此等之添加劑係從習知已知之任意者中，在無損於本發明之效果的範圍中選擇。

用於本發明中之圖案形成方法之的感光性樹脂組成物，雖然亦可藉由旋轉塗布法、浸漬塗布法、狹縫塗布法(亦稱為狹孔塗布法或無旋轉塗布法)進行塗布，但在使用於狹縫塗布法、特別是組合狹縫塗布法與減壓乾燥之圖案形成 方法時，發現本發明之強效果。在藉由該狹縫塗布法塗布光阻組成物於基板上的情況，光阻組成物一般貯藏於供給容器中，從該處經由配管及塗布裝置的噴嘴等塗布於基板上。本發明中之感光性樹脂組成物藉由該狹縫塗布法，可以高速塗布無塗膜剝離或塗布不均之優異的塗布膜。

使用本發明中之感光性樹脂組成物並藉由狹縫塗布形成光阻膜的基板，之後可藉由與習知同一方法進行處理。一般而言，在減壓或真空條件下除去至少一部份溶劑，進一步於必要時藉由烘烤以除去溶劑，圖案曝光、顯像成為所希望的圖案，進一步藉由加熱使光阻膜硬化。還有，在除去溶劑的步驟中，不一定必須從塗布膜中完全除去溶劑，亦可在之後步驟中除去至不會妨害的程度。彼等處理係針對所製造之光阻圖案的用途、感光性樹脂組成物的種類等來任意地選擇。

藉由此等之方法所製造的光阻圖案係可用於各種電子零件的製造。在光阻膜中，由於膜面之均一性特別重要，故本發明之圖案形成方法係有利於製造性能優異之電子零件、例如半導體構件。又，藉由狹縫塗布等，可特佳地利用於要求在較大基板上形成光阻膜之領域、例如液晶顯示器的製造。

[實例]

以下藉由實例來說明本發明。

[實例1]

相對於以聚苯乙烯換算之重量平均分子量8,000的酚醛清漆樹脂100重量份，添加25重量份2,3,4,4’-四羥基二苯基酮與1,2-萘醌二醯胺-5-磺醯基氯化物的酯化物作為感光劑、相對於全部固體成份添加1000ppm氟系界面活性劑、美加伐克R-08(大日本油墨化學工業股份有限公司製非離子性界面活性劑)，加入丙二醇單甲基醚乙酸酯與乙二醇正丁基醚乙酸酯(在1大氣壓、20℃條件下的蒸氣壓為20Pa)的混合溶劑(混合重量比為70：30)並攪拌後，以0.2μm的過濾器進行過濾以調製本發明的感光性組成物。

[實例2]

除了變更所溶解之溶劑為丙二醇單甲基醚乙酸酯與丙二醇二乙酸酯(在1大氣壓20℃條件下的蒸氣壓為60Pa)的混合溶劑(混合重量比為60：40)以外，與實例1同樣地進行而得到實例2的感光性組成物。

[實例3]

變更所溶解之溶劑為丙二醇單甲基醚乙酸酯與丙酸-3-乙氧基乙酯(在1大氣壓20℃條件下的蒸氣壓為93Pa)的混合溶劑(混合重量比為40：60)以外，與實例1同樣地進行而得到實例3的感光性組成物。

[實例4]

變更所溶解之溶劑為丙二醇單甲基醚乙酸酯與苄醇(在1大氣壓20℃條件下的蒸氣壓為13Pa)的混合溶劑(混合重量比為90：10)以外，與實例1同樣地進行而得到實例4 的感光性組成物。

[實例5]

變更所溶解之溶劑為丙二醇單甲基醚乙酸酯與苄醇(在1大氣壓20℃條件下的蒸氣壓為13Pa)的混合溶劑(混合重量比為95：5)以外，與實例1同樣地進行而得到實例5的感光性組成物。

[實例6]

變更所溶解之溶劑為丙二醇單甲基醚乙酸酯與乙二醇正丁基醚乙酸酯(在1大氣壓、20℃條件下的蒸氣壓為20Pa)與苄醇(在1大氣壓20℃條件下的蒸氣壓為13Pa)的混合溶劑(混合重量比為80：15：5)以外，與實例1同樣地進行而得到實例6的感光性組成物。

[比較例1]

僅變更所溶解之溶劑為丙二醇單甲基醚乙酸酯以外，與實例1同樣地進行而得到比較例1的感光性組成物。

[比較例2]

變更所溶解之溶劑為丙二醇單甲基醚乙酸酯與乙酸正丁酯(在1大氣壓20℃條件下的蒸氣壓為1000Pa)的混合溶劑(混合重量比為40：60)以外，與實例1同樣地進行而得到比較例2的感光性組成物。

[比較例3]

變更所溶解之溶劑為丙二醇單甲基醚乙酸酯與乳酸乙酯(在1大氣壓、20℃條件下的蒸氣壓為279Pa)的混合溶劑 (混合重量比為40:60)以外，與實例1同樣地進行而得到比較例3的感光性組成物。

[比較例4]

變更所溶解之溶劑為丙二醇單甲基醚乙酸酯與乙二醇乙基醚乙酸酯(在1大氣壓20℃條件下的蒸氣壓為160Pa)的混合溶劑(混合重量比為60：40)以外，與實例1同樣地進行而得到比較例4的感光性組成物。

[比較例5]

變更所溶解之溶劑為丙二醇單甲基醚乙酸酯與乙二醇乙基醚乙酸酯(在1大氣壓20℃條件下的蒸氣壓為160Pa)的混合溶劑(混合重量比為40：60)以外，與實例1同樣地進行而得到比較例5的感光性組成物。

[塗布不均與塗布均一性的確認]

以使用120mm×200mm之鍍鉻玻璃基板的小型狹縫噴嘴(寬度100mm)，與鍍鉻玻璃基板之距離間隔0.05mm的狀態進行狹縫塗布。塗布速度係設定為1秒鐘100mm，塗布後置入真空烤箱進行40秒真空乾燥。在室溫下調整40秒後的真空壓為約80Pa。之後以加熱板100℃烘烤90秒後得到2.0 μm的光阻膜。在Na燈下觀察所得之光阻膜魚鱗狀或線紋不均之有無，以評估塗布不均。塗布均一性係以奈米規格M6500型光干涉膜厚測定器(奈米․日本股份有限公司製)進行膜厚測定來評估。彼等係以差者為1、稍差者為2、優異者為3來以進行3段階評估。

[真空乾燥時之不均的確認]

與上述塗布不均與塗布均一性的確認同樣地在使用狹縫噴嘴塗布後，豎立針於真空乾燥烤箱並在其上放置鍍鉻玻璃基板並進行乾燥。真空乾燥後以加熱板在100℃下乾燥90秒而在Na燈下評估在真空乾燥烤箱之針痕跡的強弱。以眼見針痕跡者為1、勉強辨識針痕跡者為2、不能辨識針痕跡之優異者為3以進行3段階評估。

[圖案形狀的測定]

在4吋晶圓上少量滴下後以800迴轉，迴轉2秒而得到類似狹縫膜。之後，置入真空烤箱進行40秒真空乾燥。在室溫下調整40秒後之真空壓為約80Pa。之後以加熱板100℃烘烤90秒後得到2.0 μm的光阻膜。以日光製g+h射線分檔曝光器(FX-604F)曝光該光阻膜，並以2.38重量%氫氧化四甲銨水溶液進行23℃、60秒顯像。以SEM進行觀察4.0 μm遮罩尺寸的曝光部份、未曝光的比例為1：1之曝光位置。第1圖係該模式截面圖。針對該形狀則以接近倒錐狀之第1(a)圖者為1，形狀稍微接近第1(b)圖者為2，形狀為錐狀之優異者、接近第1(c)圖者為3來進行3段階評估。

所得結果如表1所示。

1‧‧‧基板

2‧‧‧顯像後的光阻圖案

第1圖係顯像後之光阻圖案的截面模式圖。

Claims (6)

1. 一種正型圖案形成方法，其特徵為包含下列步驟：藉由狹縫塗布法塗布包含酚醛清漆樹脂、感光劑、及混合溶劑的感光性樹脂組成物於基板上而形成塗膜，該混合溶劑係包含丙二醇單甲基醚乙酸酯、與選自由苄醇、乙二醇丁基醚乙酸酯、丙二醇、丙二醇二乙酸酯、丙二醇單烷基醚(烷基之碳數為4~5)、二丙二醇二烷基醚(烷基之碳數為1~5)、二丙二醇單烷基醚(烷基之碳數為1~5)、二乙二醇單烷基醚(烷基之碳數為1~5)、3-乙氧基丙酸乙酯、乙酸-3-甲氧基-3-甲基丁酯、3-甲氧基-3-甲基丁醇、乳酸丁酯及彼等之混合物所組成之群組且在1大氣壓20℃下之蒸汽壓為150Pa以下之共溶劑；減壓乾燥所形成的塗膜；接著進行加熱乾燥，並蒸發除去至少一部份溶劑；進行圖案曝光成為所希望之圖案；進行顯像以形成圖案；進行加熱以硬化顯像後的圖案。
2. 如申請專利範圍第1項之正型圖案形成方法，其中該共溶劑之含量以混合溶劑全體之重量為基準為5~70重量%。
3. 如申請專利範圍第1項之正型圖案形成方法，其係進一步包含界面活性劑。
4. 如申請專利範圍第2項之正型圖案形成方法，其係進一 步包含界面活性劑。
5. 如申請專利範圍第1至4項中任一項之正型圖案形成方法，其中所製造之圖案為用於液晶顯示器之製造者。
6. 一種狹縫塗布用感光性樹脂組成物，其特徵為包含酚醛清漆樹脂、感光劑、及混合溶劑，其中該混合溶劑係包含丙二醇單甲基醚乙酸酯、與選自由苄醇、乙二醇丁基醚乙酸酯、丙二醇、丙二醇二乙酸酯、丙二醇單烷基醚(烷基之碳數為4~5)、二丙二醇二烷基醚(烷基之碳數為1~5)、二丙二醇單烷基醚(烷基之碳數為1~5)、二乙二醇單烷基醚(烷基之碳數為1~5)、3-乙氧基丙酸乙酯、乙酸-3-甲氧基-3-甲基丁酯、3-甲氧基-3-甲基丁醇、乳酸丁酯及彼等之混合物所組成之群組且在1大氣壓20℃下之蒸汽壓為150Pa以下之共溶劑；在塗布後，予以減壓乾燥。