TWI428264B - 光罩用合成石英玻璃基板保管盒 - Google Patents

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Description

光罩用合成石英玻璃基板保管盒
本發明主要是關於半導體關聯電子材料當中的最先端用途的光罩用合成石英玻璃基板保管盒。
隨著半導體元件之高集積化的進展，對光微影製程之微細化的要求越來越高。光微影的前製程之一，是在合成石英玻璃基板上進行成膜，隨著配線圖案的微細化，係要求可抑制成膜不均一的技術。基於此理由，在保管時必須避免化學成分的吸附對成膜前的合成石英玻璃基板的影響。
化學成分的吸附造成的影響，對於液晶用光罩用合成石英玻璃基板特別顯著。液晶用光罩用合成石英玻璃基板的收納盒，由於收納的基板尺寸大，基於處理面的觀點，一個盒體中的收納片數有減少的傾向。例如長邊超過500mm的四角板狀基板，一般是使用一片裝的盒體。當收納片數減少的情形，盒體內側的表面積對於基板表面積的比例變大，更容易受到起因於盒體材質之排氣污染。
此外，由於光罩用合成石英玻璃基板屬大型基板，製造流程變長，而大多採用保有多餘產能的生產體制。亦即，以製品方式收納於盒體內的狀態下，作為庫存品進行保管的期間有拉長的傾向，如此也造成起因於盒體材質的排氣污染問題變得更嚴重。
為了防止該等化學成分的吸附造成的影響，日本特開2004-153221號公報(專利文獻1)、日本特開2004-179449號公報(專利文獻2)、日本特開2004-193272號公報(專利文獻3)記載著，裝設含活性碳的過濾器之盒體、以及該過濾器的機構。依據該等技術，可抑制盒體內外的氣壓差，而能防止輸送時產生的氣壓差所造成之來自外部環境的污染，但作為起因於盒體材質之盒體內部的排氣對策，尚嫌不足。
另一方面，在日本特開平8-148551號公報(專利文獻4)提出，為了除去有機物而在基板收納裝置內配置送風機和活性碳。又日本特開2000-174109號公報(專利文獻5)提出的收納裝置，是在盒體內具備活性碳等的乾燥劑和化學過濾器，並用換氣扇讓盒體內的空氣循環以維持清淨度。
這兩個公報所記載的收納盒，在單一場所保管基板時能有效發揮其性能，但由於具備風扇等的電氣驅動型的循環機構，並不適於搬運基板的用途。亦即，並不適用於作為對各式各樣的使用者出貨時的盒體。
[專利文獻1]日本特開2004-153221號公報[專利文獻2]日本特開2004-179449號公報[專利文獻3]日本特開2004-193272號公報[專利文獻4]日本特開平8-148551號公報[專利文獻5]日本特開2000-174109號公報
本發明是為了解決上述課題而構成者，其目的是提供一種光罩用合成石英玻璃基板的保管盒，藉由將安裝於保管盒內的活性碳等的吸收劑量及其配置予以控制，以抑制保管盒的排氣成分朝光罩用合成石英玻璃基板的吸附。
本申請案的發明人等，為了達成上述目的而進行深入探討的結果發現，藉由在保管盒內安裝活性碳等的吸收劑，並控制其量與配置，可抑制保管盒的排氣成分朝光罩用合成石英玻璃基板的吸附。
因此，本發明是提供以下的光罩用合成石英玻璃基板的保管盒。
(1)一種光罩用合成石英玻璃基板保管盒，係用來收容、保管光罩用合成石英玻璃基板的塑膠製保管盒，該光罩用合成石英玻璃基板形成為短邊300mm以上、長邊400mm以上的四角板狀，在與收容於該保管盒之光罩用合成石英玻璃基板的表面、或表面及背面相對向之保管盒的內面，安裝用來保持保管盒產生的排氣成分的吸收劑之吸收劑保持構件1個或複數個，該保持構件所保持的吸收劑的總量(g)和該吸收劑的BET比表面積(m2 /g)的乘積A(m2 )，相對於與安裝著上述保持構件的保管盒的內面相對向的上述玻璃基板的表面或表面及背面的合計面積B(cm2 )的比(A/B)為1.0~120m2 /cm2 。
(2)在(1)記載之光罩用合成石英玻璃基板保管盒中，上述保持構件的配置位置，係使保持構件和與其相對 向的合成石英玻璃基板的最長直線距離L(mm)在800mm以內。
(3)在(1)記載之光罩用合成石英玻璃基板保管盒中，長方體狀保管盒中上述保持構件的配置位置，係使保持構件和與其相對向的合成石英玻璃基板的最長直線距離在800mm以內，而且，將與合成石英玻璃基板的表面或表面及背面相對向的保管盒內面的短邊長度(mm)及長邊長度(mm)分別除以450mm所得的值捨去小數點獲得整數值，該配置位置係選自以該整數值為分割線進行等分分割的交叉點及該保管盒內面的中央點之1或2個以上的位置。
(4)在(1)~(3)中任一項記載之光罩用合成石英玻璃基板保管盒中，保管盒係具備：用來收容四角板狀的光罩用合成石英玻璃基板之四角箱形的盒本體、以覆蓋其上端開放部的方式在盒本體裝設成可拆裝之蓋體；在上述盒本體之相對向的一方的兩內側面以相對向的方式安裝支承體(用來支承上述光罩用合成石英玻璃基板的一方的相對向的兩端部)，上述玻璃基板在其一方的相對向的兩端部藉由上述支承體支承以保持成垂直或水平。
(5)在(4)記載之光罩用合成石英玻璃基板保管盒中，當保管盒在盒本體內將光罩用合成石英玻璃基板保持成垂直或水平時，藉由該光罩用合成石英玻璃基板將保管盒內分割成複數室。
(6)在(1)~(3)中任一項記載之光罩用合成石英 玻璃基板保管盒中，上述比(A/B)為1.0~20m2 /cm2 。
(7)在(1)~(3)中任一項記載之光罩用合成石英玻璃基板保管盒中，吸收劑為活性碳。
(8)在(1)~(3)中任一項記載之光罩用合成石英玻璃基板保管盒中，吸收劑保持構件是用合成樹脂製不織布所形成的具有透氣性的扁平袋狀物。
依據本發明，即使將在使用光微影法來形成圖案時相當重要的光罩用合成石英玻璃基板長期保存，仍可抑制基板表面之化學吸附的進展，藉此在合成石英玻璃基板進行Cr膜等的成膜時可抑制成膜不均，能提昇生產性及良率。
以下更詳細地說明本發明，但本發明並不限於此。
在保管光罩用合成石英玻璃基板的情形，期望能抑制氣體成分朝光罩用合成石英玻璃基板的吸附。一般而言，來自塑膠製保管盒的排氣成分和其中所含的塑化劑氣化後的成分，可能會吸附於光罩用合成石英玻璃基板而造成問題。
於是，在本發明，是將用來吸收上述排氣成分的活性碳、矽膠等的吸收劑，特別是將活性碳配置於光罩用合成石英玻璃基板的保管盒內側，並控制其量及位置，以讓活性碳等的吸收劑吸附保持構件和包裝袋等所產生的排氣，而讓充滿於保管盒內的排氣成分減少。
在此，本發明是在與收容於保管盒之光罩用合成石英 玻璃基板的表面、或表面及背面相對向之保管盒的內面，安裝用來保持保管盒產生的排氣成分的吸收劑之吸收劑保持構件1個或複數個，該保持構件所保持的吸收劑的總量(g)和該吸收劑的BET比表面積(m2 /g)的乘積A (m2 )，相對於與安裝著上述保持構件的保管盒的內面相對向的上述玻璃基板的表面或表面及背面的合計面積B (cm2 )的比(A/B)為1.0~120m2 /cm2 ，較佳為2.0~20m2 /cm2 ，更佳為2.0~10m2 /cm2 。若上述比值比1.0 m2 /cm2 小，無法充分吸附排氣成分，若比120m2 /cm2 大，則保管盒的內壁全部會被吸收劑覆蓋，吸收劑和包裝吸收劑的材料所產生的粉塵增加，且配置大量吸收劑的作業須花費很長的時間。
又合成石英玻璃基板的表面是指，在其上方形成光罩圖案的面，為了至少防止在該玻璃基板表面吸附排氣成分，因此在與合成石英玻璃基板的表面相對向的盒內面配置上述吸收劑。排氣成分的影響中，與基板表面相對向的盒內面的影響佔大部分，因此在與合成石英玻璃基板背面相對向的盒內面不配置吸收劑亦可，但考慮到在基板表面的端部附近，雖僅微量但會受與基板背面相對向的盒內面的排氣的影響，因此較佳為在與合成石英玻璃基板背面相對向的保管盒內面也配置吸收劑。用來計算上述A/B比的面積B是指，與配置著吸收劑之保管盒內面相對向的合成石英玻璃基板面的面積，在僅於基板表面側配置吸收劑的情形僅指基板表面的面積，在基板的表面側及背面側分別 配置吸收劑的情形是指基板表面和背面的合計面積。又上述吸收劑的BET比表面積，是依氮吸附法所求出的值。又在使用活性碳的情形，其種類例如為粉末活性碳、粒狀活性碳、球狀活性碳、纖維狀活性碳等。
關於保持構件的配置關係，係規定保持構件和與其相對向的玻璃基板對向面的關係，具體而言如以下所說明。
亦即，用來保持配置於上述保管盒內的吸收劑之保持構件是配置成：保持構件和與其相對向的合成石英玻璃基板的最長直線距離L (mm)為800mm以內，較佳為550mm以內。隨著保持構件的配置位置遠離上述範圍，其效果會變弱，若保持構件的配置位置離合成石英玻璃基板過遠，可能無法完全防止朝基板表面進行之排氣成分的化學吸附。又求出最長直線距離L時之保持構件的基點，是取其中心部。但在配置有複數個保持構件的情形上述最長直線距離L是指，在將保持構件和與其相對向的合成石英玻璃基板之間的連結直線投影於配置著該保持構件之保管盒內面時，以一個保持構件為基點的直線不會橫切過其他保持構件的直線當中，最長的直線距離。
關於更佳的保持構件的配置位置，特別是在長方體狀保管盒的情形，是將與合成石英玻璃基板的表面或表面及背面相對向的保管盒內面的短邊長度(mm)及長邊長度(mm)分別除以450mm所得的值捨去小數點獲得整數值，該配置位置係選自以該整數值為分割線進行等分分割(以下稱整數分割)的交叉點及該保管盒內面的中央點之 1或2個以上的位置。
例如，以與短邊1220mm×長邊1400mm的合成石英玻璃基板的表面相對向的方式，在保管盒的長方形狀內面配置保持構件的情形，將短邊長度(mm)及長邊長度(mm)分別除以450mm所得的值捨去小數點獲得整數值(上述的情形，短邊為2，長邊為3)，保持構件的安裝部位係選自以該整數值為分割線進行等分分割而得之短邊的3等分線和長邊的4等分線的交叉點計6點及配置著保持構件之保管盒的長方形內面的中央點，並在其中1或2個以上的部位安裝保持構件。為了使上述各交叉點的保持構件和與其相對向的合成石英玻璃基板之間的最長直線距離在800mm以內，可在中央點及上述交叉點合計4~6個部位配置保持構件。
又上述保持構件的形狀、材質並沒有特別的限制，為了具有透氣性較佳為用聚酯等的合成樹脂製不織布形成扁平袋，例如大小為20×20~200×200mm，而能收納吸收劑1~100g、較佳為5~20g左右。
此外，將吸收劑保持構件配設於保管盒內面的手段，可採用將保持構件用黏著劑等貼合於保管盒內面的方法，但不限於此。
在保管盒內收容、保管合成石英玻璃基板的情形，關於保管盒的保管方法，可在保管盒內使光罩用合成石英玻璃基板以垂直於地面的狀態豎起來進行保管，也能在保管盒內使光罩用合成石英玻璃基板以和地面呈水平的狀態平 躺保管。
這時，收容於保管盒內之合成石英玻璃基板的數目可以是1片、2片或2片以上的複數片，在收容複數片的合成石英玻璃基板的情形較佳為配設成，複數片的合成石英玻璃基板的兩端側的表面與保管盒內面相對向。
這時，最接近保管盒內面之合成石英玻璃基板的面向保管盒內面的表面、和與其相對向的保管盒內面的間隔較佳為1~15cm，較佳為2~10cm。在1片裝保管盒的情形也是同樣的，合成石英玻璃基板的表面和與該表面相對向的保管盒內面的間隔較佳為1~15cm，較佳為2~10cm。若合成石英玻璃基板表面和保管盒內面過於接近，所配置之活性碳等的吸收劑會接觸基板，且吸收劑和收容吸收劑的保持構件產生粉塵的危險性變高。另一方面，若間隔過遠，代表保管盒本身變大，由於大型化而可能在搬運或收納時較不方便。
再者，光罩用合成石英玻璃基板的保管盒，適用於收納的基板，例如為尺寸短邊(mm)×長邊(mm)330×450、370×450、420×520、420×530、430×530、440×520、500×750、520×610、520×800、620×720、650×750、650×800、700×800、800×920、700×1100、800×960、830×960、850×1000、830×1196、850×1200、830×1396、810×1380、850×1400、1220×1400、1300×1500等的四角板狀光罩用合成石英玻璃基板。基於處理容易性的觀點，短邊未達500mm的光罩用合成石英玻璃基板較佳為使用可裝複 數片的保管盒，短邊500mm以上時較佳為使用1片裝的保管盒。該等基板的厚度，雖依基板大小而有不同，通常為1~50mm，較佳為5~20mm。本發明的保管盒，係適用於短邊300mm以上、長邊400mm以上，較佳為短邊400~3000mm、長邊500~5000mm，更佳為短邊500~3000mm、長邊610~5000mm的光罩用合成石英玻璃基板。
以下參照圖式來說明本發明。
第1圖係顯示本發明的光罩用合成石英玻璃基板的保管盒的一例。該保管盒係具備：用來收容四角板狀的合成石英玻璃基板(未圖示)的四角箱形的盒本體1、以覆蓋其上端開放部的方式在盒本體1裝設成可拆裝的蓋體2；在上述盒本體1之相對向的一方的兩內側面分別形成順沿深度方向且相對向的溝槽3a、3b，在內底面也形成用來連結該等溝槽3a、3b之溝槽3c，在上述溝槽3a、3b及3c以相對向的方式嵌合截面ㄈ字狀的支承體(未圖示，是用來挾持上述合成石英玻璃基板的一方的相對向的兩端部)，上述合成石英玻璃基板在其一方的相對向的兩端部藉由上述支承體挾持以保持成垂直。蓋體2可具備和保管盒本體同樣的截面ㄈ字狀的支承體，也能具備除此以外的支承體。在蓋體2具備和保管盒本體同樣的截面ㄈ字狀的支承體的情形，在蓋體2也是，對應於上述溝槽3a、3b而在相對向的一方的兩內側面形成溝槽4a、4b，雖未圖示出，但截面ㄈ字狀的支承體是嵌合於該等溝槽4a、4b。另一方面，在具備與蓋本體不同的支承體的情形，是在蓋的 內側頂部配置例如直徑10~20mm左右的伸縮性良好的矽酮管，藉由將蓋閉合，矽酮管會接觸合成石英玻璃基板的蓋頂部側端面，合成石英玻璃基板的兩端面部會被蓋側矽酮管和盒本體底面的溝槽3c挾持。這時，除接觸矽酮管的部位以外的玻璃基板端面和蓋體2之間雖會有些微的間隙，但該間隙至多為10mm左右。如此般，不管使用那種蓋體，藉由盒本體1和蓋體2來支承合成石英玻璃基板的情形，保管盒內會分離成複數個室(第1圖的情形僅支承1片的玻璃基板，故分離成5及6共2室)。
此外，在上述盒本體1之分別與玻璃基板表面及背面相對向的另一方的兩內側面側，藉由黏著劑9來貼合聚酯系不織布製等的吸收劑保持構件8(收納保持著吸收劑7)。這時，保持構件8的配設數目是依上述A/B的比例而適當地選定，在第1圖是在相對向的另一方的兩內側面分別配設2個，但不限於此，如第3圖所示分別配設1個(合計2個)亦可，又採用互為不同配設數亦可。再者，僅在與合成石英玻璃基板的表面相對向的內側面配設保持構件，而在與玻璃基板的背面相對向的內側面未配設保持構件亦可。
又第1圖雖採用將合成石英玻璃基板垂直支承的態樣，但將玻璃基板水平支承亦可。這時，是在保管盒本體之相對向的一方的兩內側面以相對向的方式設置截面L字狀的支承體，將合成石英玻璃基板之相對向的一方的兩端部分別藉由上述支承體支承，以將合成石英玻璃基板水平 配置。如此般將合成石英玻璃基板水平配置的情形，與合成石英玻璃基板的表面或表面及背面相對向的保管盒面，乃保管盒本體的內底面和蓋體的內側頂面，因此是在該等面安裝吸收劑保持構件。
在第1圖，保持構件7和與其相對向的玻璃基板對向面的最長直線距離為直線L (mm)，而將保持構件配置成使L成為800mm以內。
又在最長直線距離為800mm以內，且在將短邊長度(mm)及長邊長度(mm)分別除以450mm而進行整數分割所得的交叉點2部位配置保持構件。
在如此般構成的保管盒內***光罩用合成石英玻璃基板，蓋上蓋體後，用膠帶纏繞接縫處而使其密閉。
就盒本體1、蓋體2及支承體的材質而言，例如可適當地選自：聚乙烯(PE)、聚對苯二甲酸丁二酯(PBT)、聚對苯二甲酸乙二酯(PET)、聚丙烯(PP)、丙烯腈丁二烯苯乙烯(ABS)、聚碳酸酯(PC)、聚丙烯腈(PAN)、聚甲醛(POM)、聚氧乙烯(POE)、聚氯乙烯(PVC)、聚偏二氯乙烯(PVDC)、聚偏氟乙烯(PVDF)、聚醚醚酮(PEEK)、聚胺酯(PU)、聚烯烴(PO)、聚苯乙烯(PS)、聚甲基丙烯酸甲酯(PMMA)、聚四氟乙烯(PTFE)、聚異丁烯(PIB)、聚甲基丙烯腈(PMAN)、聚丙烯酸甲酯(PMA)、聚甲基丙烯酸乙酯(PEMA)等的樹脂、或是其等的共聚物所構成的樹脂。其中，就盒本體1及蓋體2 的材質而言，較佳為聚碳酸酯(PC)或聚丙烯腈(PAN)；就支承體的材質而言，較佳為聚碳酸酯(PC)或聚四氟乙烯(PTFE)。
又本發明並不限於四角形的光罩用合成石英玻璃基板，也適用於收納其他形狀、例如圓形基板的情形。
[實施例]
以下用實施例及比較例來具體說明本發明，但本發明並不限於下述的實施例。
[實施例1]
準備具有短邊800mm、長邊920mm之長方形表面且厚10mm的合成石英玻璃基板4片，實施洗淨操作後，用接觸角測定機測定該合成石英玻璃基板的表面的撥水度。
接觸角測定，如第2圖所示，是在從合成石英玻璃基板表面的4個角落部往內側縱橫各移10mm的位置(位置10~13)和基板表面的大致中心位置14合計5點進行。結果，4片都是在5點的接觸角沒有發生參差，平均為3.9∘。
接著，準備在單面側的2部位配設吸收劑保持構件之第1圖所示的保管盒(四角箱形盒本體之與玻璃基板相對向的長方形內側面的短邊800mm、長邊920mm)共4個，在各個保管盒分別收納1片的合成石英玻璃基板。保管盒的本體和蓋體的材質為聚丙烯腈(PAN)，嵌合於溝槽之支承體的材質為四氟乙烯(PTFE)。
吸收劑保持構件的配置位置，是將上述盒本體的內側面的短邊長度(800mm)及長邊長度(920mm)分別除了450mm進行整數分割，而在短邊的2等分線和長邊的3等分線的交叉點2處，保管盒內面和合成石英玻璃基板之間的距離為45mm。
吸收劑保持構件，是將纖維狀的活性碳用聚酯系不織布包住而構成之東洋紡製K過濾器(活性碳7.5g/個，BET比表面積1500m2 /g)。收納後，將保管盒的接縫纏繞膠帶以使其密閉。將保管盒全體用包裝袋捆包，進行36天的保管。收納作業及保管，是在用ULPA過濾器清淨化後的無塵室內進行。
然後在該無塵室內開封，用接觸角測定機測定該合成石英玻璃基板的撥水度，結果基板內5個的接觸角幾乎沒有參差，平均為6.4∘。這時角落附近的4點和吸收劑保持構件的距離為492mm，中央點和吸收劑保持構件的距離為160mm。4片合成石英玻璃基板都有同樣的傾向，接觸角幾乎沒有變化(參照表1)。
[實施例2]
準備具有短邊800mm、長邊920mm之長方形表面且厚10mm的合成石英玻璃基板4片，和實施例1同樣地測定接觸角的結果，4片都是在5點的接觸角沒有參差，平均為4.1∘。
將該合成石英玻璃基板4片，在片面1處安裝有吸收 劑保持構件之第3圖所示的保管盒(四角箱形盒本體之與玻璃基板相對向的長方形狀內側面的短邊800mm、長邊920mm)4個分別以和實施例1同樣的態樣收納1片。又保管盒的材質及保管盒內面和基板表面之間的距離是和實施例1相同，吸收劑保持構件的配置位置是在上述盒本體的內側面的短邊之2等分線和長邊之2等分線的交叉點(中心點)1處。
對於經36天保管後之合成石英玻璃基板的撥水度，用接觸角測定機測定的結果，基板內5點的接觸角當中，遠離吸收劑保持構件配設位置之角落附近的4點稍高(4點平均9.2∘)，中心點為較低的6.3∘。這時角落附近的4點和吸收劑保持構件的距離為597mm，中央點和吸收劑保持構件的距離為160mm。接觸角的分布，在4片基板有相同的傾向(參照表1)。
[實施例3]
準備具有短邊800mm、長邊920mm之長方形表面且厚10mm的合成石英玻璃基板4片，和實施例1同樣地測定接觸角的結果，4片都是在5點的接觸角沒有參差，平均為3.9∘。
將該合成石英玻璃基板4片，在片面1處安裝有吸收劑保持構件之第4圖所示的保管盒(四角箱形盒本體之與玻璃基板相對向的長方形狀內側面的短邊800mm、長邊920mm)4個分別以和實施例1同樣的態樣收納1片。又 保管盒的材質及保管盒內面和基板表面之間的距離是和實施例1相同，吸收劑保持構件的配置位置是在上述盒本體的內側面的短邊之2等分線和長邊之3等分線的交叉點當中的1處。
對於經36天保管後之合成石英玻璃基板的撥水度，用接觸角測定機測定的結果，基板內5點的接觸角當中，遠離吸收劑保持構件配設位置之角落附近的2點稍高(2點平均11.6∘)，接近吸收劑保持構件配設位置的角落附近的2點及中心點為較低的平均5.9∘。這時遠離吸收劑保持構件配設位置之角落附近的2點和吸收劑保持構件的距離為720mm，接近吸收劑保持構件配設位置之角落附近的2點和吸收劑保持構件的距離為492mm，中央點和吸收劑保持構件的距離為160mm。接觸角的分布，在4片基板有相同的傾向(參照表1)。
[實施例4]
準備具有短邊800mm、長邊920mm之長方形表面且厚10mm的合成石英玻璃基板4片，和實施例1同樣地測定接觸角的結果，4片都是在5點的接觸角沒有參差，平均為3.8∘。
將該合成石英玻璃基板4片，在片面1處安裝有吸收劑保持構件之第5圖所示的保管盒(四角箱形盒本體之與玻璃基板相對向的長方形狀內側面的短邊800mm、長邊920mm)4個分別以和實施例1同樣的態樣收納1片。又 保管盒的材質及保管盒內面和基板表面之間的距離是和實施例1相同，吸收劑保持構件的配置位置是在上述盒本體的內側面的短邊之4等分線和長邊之4等分線的交叉點共9處。
對於經36天保管後之合成石英玻璃基板的撥水度，用接觸角測定機測定的結果，基板內5點的接觸角幾乎沒有參差，平均5.1∘。這時角落附近的4點和吸收劑保持構件的距離為294mm，中央點和吸收劑保持構件的距離為45mm。在4片合成石英玻璃基板都有相同的傾向，接觸角幾乎不會改變(參照表1)。
[比較例1]
準備具有短邊800mm、長邊920mm之長方形表面且厚10mm的合成石英玻璃基板4片，和實施例1同樣地測定接觸角的結果，4片都是在5點的接觸角沒有參差，平均為3.8∘。
將該合成石英玻璃基板4片，在未配設吸收劑保持構件之保管盒4個分別以和實施例1同樣的態樣收納1片，並和實施例1同樣的，對於經36天保管後之合成石英玻璃基板的撥水度，用接觸角測定機進行測定。
結果，合成石英玻璃基板內5點的接觸角都呈增加，平均為16.7∘，接觸角的分布在4片合成石英玻璃基板都有同樣的傾向(參照表2)。
據推測，這是因為合成石英玻璃基板表面被排氣成分 污染，因吸附化學成分等而使其帶有撥水性。
[比較例2]
準備具有短邊800mm、長邊920mm之長方形表面且厚10mm的合成石英玻璃基板4片，和實施例1同樣地測定接觸角的結果，4片都是在5點的接觸角沒有參差，平均為3.5∘。
接著，除了活性碳為1.0g/個(BET比表面積1500m2 /g)以外，是和實施例1同樣地，對於經36天保管後之合成石英玻璃基板的撥水度，用接觸角測定機進行測定。
結果，合成石英玻璃基板內5點的接觸角稍有參差，昇高至平均10.8∘，接觸角的分布在4片合成石英玻璃基板都有同樣的傾向(參照表2)。
1‧‧‧盒本體
2‧‧‧蓋體
3‧‧‧盒本體的基板收納溝槽
4‧‧‧蓋體的基板收納溝槽
5‧‧‧被基板分割成之盒內的室
6‧‧‧被基板分割成之盒內的室
7‧‧‧吸收劑
8‧‧‧吸收劑保持構件
9‧‧‧黏著劑
10‧‧‧基板左上的測定位置(從角落部往內移10mm的部儃)
11‧‧‧基板右上的測定位置(從角落部往內移10mm的部位)
12‧‧‧基板左下的測定位置(從角落部往內移10mm的部位)
13‧‧‧基板右下的測定位置(從角落部往內移10mm的部位)
14‧‧‧基板中心的測定位置
第1圖係本發明之安裝有活性碳的箱本體及蓋體的概略圖。
第2圖係本發明之撥水度測定位置的說明圖。
第3圖係本發明的實施例2所使用之安裝有活性碳的箱本體及蓋體的概略圖。
第4圖係本發明的實施例3所使用之安裝有活性碳的 箱本體及蓋體的概略圖。
第5圖係本發明的實施例4所使用之安裝有活性碳的箱本體及蓋體的概略圖。
1‧‧‧盒本體
2‧‧‧蓋體
3a、3b、3c‧‧‧盒本體的基板收納溝槽
4a、4b‧‧‧蓋體的基板收納溝槽
5‧‧‧被基板分割成之盒內的室
6‧‧‧被基板分割成之盒內的室
7‧‧‧吸收劑
8‧‧‧吸收劑保持構件
9‧‧‧黏著劑

Claims (8)

  1. 一種光罩用合成石英玻璃基板保管盒，係用來收容、保管光罩用合成石英玻璃基板的塑膠製保管盒，該光罩用合成石英玻璃基板形成為短邊300mm以上、長邊400mm以上的四角板狀，在與收容於該保管盒之光罩用合成石英玻璃基板的表面、或表面及背面相對向之保管盒的內面，安裝用來保持保管盒產生的排氣成分的吸收劑之吸收劑保持構件1個或複數個，該保持構件所保持的吸收劑的總量(g)和該吸收劑的BET比表面積(m2 /g)的乘積A(m2 )，相對於與安裝著上述保持構件的保管盒的內面相對向的上述玻璃基板的表面或表面及背面的合計面積B(cm2 )的比(A/B)為1.0~120m2 /cm2 。
  2. 如申請專利範圍第1項記載之光罩用合成石英玻璃基板保管盒，其中，上述保持構件的配置位置，係使保持構件和與其相對向的合成石英玻璃基板的最長直線距離L(mm)在800mm以內。
  3. 如申請專利範圍第1項記載之光罩用合成石英玻璃基板保管盒，其中，長方體狀保管盒中上述保持構件的配置位置，係使保持構件和與其相對向的合成石英玻璃基板的最長直線距離在800mm以內，而且，將與合成石英玻璃基板的表面或表面及背面相對向的保管盒內面的短邊長度(mm)及長邊長度(mm)分別除以450mm所得的值捨去小數點獲得整數值，該配置位置係選自以該整數值為分割線進行等分分割的交叉點及該保管盒內面的中央點之1 或2個以上的位置。
  4. 如申請專利範圍第1至3項中任一項記載之光罩用合成石英玻璃基板保管盒，其中，保管盒係具備：用來收容四角板狀的光罩用合成石英玻璃基板之四角箱形的盒本體、以覆蓋其上端開放部的方式在盒本體裝設成可拆裝之蓋體；在上述盒本體之相對向的一方的兩內側面以相對向的方式安裝支承體(用來支承上述光罩用合成石英玻璃基板的一方的相對向的兩端部)，上述玻璃基板在其一方的相對向的兩端部藉由上述支承體支承以保持成垂直或水平。
  5. 如申請專利範圍第4項記載之光罩用合成石英玻璃基板保管盒，其中，當保管盒在盒本體內將光罩用合成石英玻璃基板保持成垂直或水平時，藉由該光罩用合成石英玻璃基板將保管盒內分割成複數室。
  6. 如申請專利範圍第1至3項中任一項記載之光罩用合成石英玻璃基板保管盒，其中，上述比(A/B)為1.0~20m2 /cm2 。
  7. 如申請專利範圍第1至3項中任一項記載之光罩用合成石英玻璃基板保管盒，其中，吸收劑為活性碳。
  8. 如申請專利範圍第1至3項中任一項記載之光罩用合成石英玻璃基板保管盒，其中，吸收劑保持構件是用合成樹脂製不織布所形成的具有透氣性的扁平袋狀物。
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