JP6018301B2 - 基板収納容器を梱包するための梱包構造 - Google Patents

Description

本発明は、半導体ウェーハ等の基板を収納する基板収納容器を梱包するための梱包構造体に関する。

半導体ウェーハ等の基板を収納する容器としては、容器本体と蓋体とを備える基板収納容器が、従来より知られている。このような基板収納容器が梱包箱内に梱包されて輸送される際には、梱包箱内に樹脂発泡体による緩衝材や、プラスチックシートにて形成された緩衝材が配置される。そして、これらが梱包箱内において基板収納容器を保持し、梱包箱外部からの基板収納容器への衝撃や振動の伝達を低減する（特許文献１参照）。

特開２０１０−１３２３３１号公報

しかし、従来の緩衝材を用いた梱包構造よりも、更に、基板収納容器への衝撃や振動の伝達を低減する梱包構造が要求されている。

本発明は、基板収納容器の運搬時に、基板収納容器に収納された複数の基板に、衝撃や振動が伝達されることを極力抑制できる、基板収納容器を梱包するための梱包構造体を提供することを目的とする。

本発明は、半導体ウェーハからなる基板を収納して輸送するための基板収納容器を梱包するための梱包構造体であって、梱包箱と、前記梱包箱内において前記基板収納容器の上部に載置される上部緩衝材と、前記基板収納容器が載置される下部緩衝材であって、前記上部緩衝材と下部緩衝材とで上下方向において前記基板収納容器を挟むように前記梱包箱内に配置された下部緩衝材と、前記梱包箱内に配置され、それぞれ平坦な上面及び下面を有し板状を有する第１の剛性体であって、前記第１の剛性体の上面が前記下部緩衝材の下端面に当接する第１の剛性体と、前記梱包箱内に配置され、上面及び下面を有する第１のクッション材であって、前記第１のクッション材の上面が前記第１の剛性体の下面に対して摺動可能に前記第１の剛性体の下面に面当接する第１のクッション材と、を備え、前記上部緩衝材及び下部緩衝材は、前記半導体ウェーハが収納された前記基板収納容器を前記上部緩衝材又は下部緩衝材に直接載置しても塑性変形せずに前記上部緩衝材及び下部緩衝材自体の形状を保持可能な硬さを有して、前記梱包箱内で上下方向に直交する方向における前記基板収納容器の位置及び姿勢を保持可能であり、且つ、前記梱包箱に作用して前記上部緩衝材及び下部緩衝材を介して前記基板収納容器に伝達される衝撃の少なくとも一部を吸収可能な柔軟性を有し、前記第１の剛性体の上面は、前記下部緩衝材の下端面よりも広く、前記第１の剛性体は、前記第１の剛性体の下面全体で前記第１のクッション材の上面に面当接可能に前記第１の剛性体自体の形状を保持できる硬さを有し、前記第１のクッション材は、前記半導体ウェーハが収納された前記基板収納容器を前記第１のクッション材に直接載置すると弾性変形し、載置した前記基板収納容器を取り除くと、元の形状に復元する弾性的な柔軟性を有する、基板収納容器を梱包するための梱包構造体に関する。

また、前記第１のクッション材は、それぞれ平坦な上面及び下面を有する複数の板状第１クッション材が上下方向に積層されて構成され、積層方向に隣接する下側の前記板状第１クッション材の上面と上側の前記板状第１クッション材の下面とは、摺動可能に面当接し、前記梱包箱内に配置され、それぞれ平坦な上面及び下面を有し板状を有する第２の剛性体であって、第２の剛性体の上面が最下層の前記板状第１クッション材の下面に摺動可能に面当接する第２の剛性体を備え、前記第２の剛性体は、前記第２の剛性体の上面全体で前記最下層の板状第１クッション材の下面に面当接可能に前記第２の剛性体自体の形状を保持できる硬さを有することが好ましい。

また、前記梱包箱内に配置され、上面と下面とを有する第２のクッション材であって、第２のクッション材の上面は、前記第２の剛性体の下面に対して摺動可能に前記第２の剛性体の下面に当接する第２のクッション材を備え、前記第２のクッション材は、前記半導体ウェーハが収納された前記基板収納容器を前記第２のクッション材に直接載置すると弾性変形し、載置した前記基板収納容器を取り除くと、元の形状に復元する弾性的な柔軟性を有することが好ましい。

また、前記第２のクッション材は、それぞれ上面及び下面を有する複数の板状第２クッション材が上下方向に積層されて構成され、積層方向に隣接する下側の前記板状第２クッション材の上面と上側の前記板状第２クッション材の下面とは、それぞれ平坦な形状を有し、積層方向に隣接する下側の前記板状第２クッション材の上面と上側の前記板状第２クッション材の下面とは、摺動可能に面当接することが好ましい。

また、前記第２のクッション材の上面は、上方へ突出する上突出部を有し、前記上突出部は、前記第２の剛性体の下面に対して摺動可能に前記第２の剛性体の下面に当接することが好ましい。

また、前記第２のクッション材の下面は、下方へ突出する下突出部を有し、前記下突出部は、前記梱包箱の内面に対して摺動可能に前記梱包箱の内面に当接することが好ましい。

また、上下方向に直交する方向における前記第２のクッション材の側面は、前記梱包箱の内面に常時当接していることが好ましい。

また、上下方向に直交する方向における前記第１のクッション材の側面は、前記梱包箱の内面に常時当接していることが好ましい。

また、前記梱包箱内において前記上部緩衝材の上部に載置される上部クッション材を備え、前記上部クッション材は、前記半導体ウェーハが収納された前記基板収納容器を前記上部クッション材に直接載置すると弾性変形し、載置した前記基板収納容器を取り除くと、元の形状に復元する弾性的な柔軟性を有することが好ましい。

本発明によれば、基板収納容器の運搬時に、基板収納容器に収納された複数の基板に、衝撃や振動が伝達されることを極力抑制できる、基板収納容器を梱包するための梱包構造体を提供することができる。

本発明の第１実施形態に係る、基板収納容器を梱包するための梱包構造体１を示す分解斜視図である。 本発明の第１実施形態に係る、基板収納容器を梱包するための梱包構造体１の梱包箱１０を示す斜視図である。 本発明の第１実施形態に係る、基板収納容器を梱包するための梱包構造体１の梱包箱１０を示す平面図である。 図３のＡ−Ａ線に沿った断面図である。 図３のＢ−Ｂ線に沿った断面図である。 本発明の第１実施形態に係る、基板収納容器を梱包するための梱包構造体１によって梱包される基板収納容器２を示す分解斜視図である。 本発明の第２実施形態に係る、基板収納容器を梱包するための梱包構造体１Ａを示す分解斜視図である。 本発明の第２実施形態に係る、基板収納容器を梱包するための梱包構造体１Ａの梱包箱１０を示す平面図である。 図８のＣ−Ｃ線に沿った断面図である。 図８のＤ−Ｄ線に沿った断面図である。

以下、本発明の第１実施形態に係る、基板収納容器を梱包するための梱包構造体１について、図面を参照しながら説明する。図１は、本発明の第１実施形態に係る、基板収納容器を梱包するための梱包構造体１を示す分解斜視図である。図２は、本発明の第１実施形態に係る、基板収納容器を梱包するための梱包構造体１の梱包箱１０を示す斜視図である。図３は、本発明の第１実施形態に係る、基板収納容器を梱包するための梱包構造体１の梱包箱１０を示す平面図である。図４は、図３のＡ−Ａ線に沿った断面図である。図５は、図３のＢ−Ｂ線に沿った断面図である。図６は、本発明の第１実施形態に係る、基板収納容器を梱包するための梱包構造体１によって梱包される基板収納容器２を示す分解斜視図である。

ここで、説明の便宜上、後述の梱包箱１０の背板１４から前板１３へ向かう方向（図１における左下方向）を前方向Ｄ１１と定義し、その反対の方向を後方向Ｄ１２と定義し、これらを前後方向Ｄ１と定義する。また、後述の底板１６から天板１５へと向かう方向（図１における上方向）を上方向Ｄ２１と定義し、その反対の方向を下方向Ｄ２２と定義し、これらを上下方向Ｄ２と定義する。また、後述する第２側板１２から第１側板１１へと向かう方向（図１における左上方向）を左方向Ｄ３１と定義し、その反対の方向を右方向Ｄ３２と定義し、これらを左右方向Ｄ３と定義する。

図６に示すように、基板収納容器を梱包するための梱包構造体１により梱包される基板収納容器２は、容器本体２０２と、蓋体２０３とを有している。

容器本体２０２は、一端部に容器本体開口部２２１が形成され、他端部が閉塞された筒状の壁部２２０を有する。容器本体２０２内には基板収納空間２２７が形成されている。基板収納空間２２７は、壁部２２０により取り囲まれて形成されている。壁部２２０の部分であって基板収納空間２２７を形成している部分には、基板支持板状部２０５及びリアリテーナ（図示せず）が配置されている。基板収納空間２２７には、複数の基板Ｗを収納可能である。

基板支持板状部２０５は、基板収納空間２２７内において対をなすように壁部２２０に設けられている。基板支持板状部２０５は、蓋体２０３によって容器本体開口部２２１が閉塞されていないときに、隣接する基板Ｗ同士を所定の間隔で離間させて並列させた状態で、複数の基板Ｗの縁部を支持可能である。リアリテーナ（図示せず）は、蓋体２０３によって容器本体開口部２２１が閉塞されているときに、複数の基板Ｗの縁部の後部を支持可能である。

蓋体２０３は、容器本体開口部２２１に対して着脱可能であり、容器本体開口部２２１を閉塞可能である。蓋体２０３には、フロントリテーナ（図示せず）が設けられている。フロントリテーナ（図示せず）は、蓋体２０３の部分であって蓋体２０３によって容器本体開口部２２１が閉塞されているときに基板収納空間２２７に対向する部分に設けられている。フロントリテーナ（図示せず）は、リアリテーナ（図示せず）と対をなすように配置されている。

フロントリテーナ（図示せず）は、蓋体２０３によって容器本体開口部２２１が閉塞されているときに、複数の基板Ｗの縁部の前部を支持可能である。フロントリテーナ（図示せず）は、蓋体２０３によって容器本体開口部２２１が閉塞されているときに、リアリテーナ（図示せず）と協働して複数の基板Ｗを支持することにより、隣接する基板Ｗ同士を所定の間隔で離間させて並列させた状態で、複数の基板Ｗを保持する。

基板収納容器２に収納される基板Ｗ（図６参照）は、円盤状のシリコンウェーハ、ガラスウェーハ、サファイアウェーハ等であり、産業に用いられる薄いものである。本実施形態における基板Ｗは、直径３００ｍｍ〜４５０ｍｍのシリコンウェーハである。

図１に示すように、基板収納容器２を梱包するための梱包構造体１は、梱包箱１０と、上部クッション材２０と、上部緩衝材３０と、下部緩衝材４０と、第１の剛性体５０と、第１のクッション材６０と、第２の剛性体７０と、第２のクッション材８０とを備えている。基板収納容器２を梱包するための梱包構造体１は、半導体ウェーハからなる基板Ｗを収納して輸送するため基板収納容器２を梱包する。

図１及び図２に示すように、梱包箱１０は、いわゆるプラスチック段ボール箱（プラダン）により構成されており、第１側板１１と、第２側板１２と、前板１３と、背板１４と、天板１５と、底板１６とを有する。第１側板１１と第２側板１２とは、平行の位置関係を有する。前板１３と背板１４とは平行の位置関係を有する。天板１５と底板１６とは、平行の位置関係を有する。第１側板１１、第２側板１２、前板１３、及び、背板１４は、それぞれ長方形状を有する。第１側板１１、第２側板１２、前板１３、及び、背板１４により、上端及び下端に開口が形成された四角柱状の筒状体１１０が構成される。

天板１５は、それぞれ長方形状を有する前部板１５１と、後部板１５２と、左部板１５３と、右部板１５４（図２参照）とを備える。前部板１５１は、前板１３の上辺に一体で接続されている。後部板１５２は、背板１４の上辺に一体で接続されている。左部板１５３は、第１側板１１の上辺に一体で接続されている。右部板１５４は、第２側板１２の上辺に一体で接続されている。

前部板１５１及び後部板１５２が、前板１３及び背板１４に対して直交する位置関係（水平の位置関係）とされて、筒状体１１０の上端開口が、部分的に塞がれる。そして、その上から左部板１５３及び右部板１５４が、第１側板１１及び第２側板１２に対して直交する位置関係（水平の位置関係）とされて、筒状体１１０の上端開口の全体が塞がれる。底板１６は、天板１５と同様の構成を有するため、説明を省略する。

上部クッション材２０は、基板Ｗが収納された基板収納容器２を上部クッション材２０に直接載置すると弾性変形し、載置した基板収納容器２を取り除くと、元の形状に復元する弾性的な柔軟性を有する材質により構成されており、本実施形態では、スポンジにより構成されている。上部クッション材２０は、長方形状の板状を有しており、この長方形状は、左右方向Ｄ３及び前後方向Ｄ１に平行な面で切った筒状体１１０の断面における筒状体１１０の内面により囲まれる長方形状に一致する。上部クッション材２０は、長方形状の上面２１及び下面２２が左右方向Ｄ３及び前後方向Ｄ１に平行な位置関係で、梱包箱１０内において最上部に配置され、上部緩衝材３０の上部に載置される。上下方向Ｄ２に平行な位置関係を有する上部クッション材２０の側面２３の全面は、筒状体１１０の内面に常時当接している。上部クッション材２０の側面２３は、筒状体１１０の内面には接着等されておらず、筒状体１１０の内面に対して摺動可能である。

上部緩衝材３０は、基板Ｗが収納された基板収納容器２を上部緩衝材３０に直接載置しても塑性変形せずに上部緩衝材３０自体の形状を保持可能な硬さを有している。具体的には上部緩衝材３０は、梱包箱１０内で上下方向Ｄ２に直交する方向における基板収納容器２の位置及び姿勢を保持可能であり、且つ、梱包箱１０に作用して上部緩衝材３０を介して基板収納容器２に伝達される衝撃の少なくとも一部を吸収可能な柔軟性を有する材質により構成されている。従って、上部緩衝材３０は、所定の衝撃よりも強い衝撃を受けると塑性変形して形状が元に戻らなくなるが、所定の衝撃よりも弱い衝撃については吸収可能であり、このような衝撃では、ほとんど変形しない。上部クッション材２０、第１のクッション材６０、第２のクッション材８０よりも硬いが、第１の剛性体５０、第２の剛性体７０よりも柔らかい。本実施形態では、発泡スチロールにより構成されている。

上部緩衝材３０は、略直方体形状を有している。上部緩衝材３０の上面３１は、平坦面により構成されている。上部緩衝材３０の前後の側面３３には、凸部３３１が３つずつ設けられており、上部緩衝材３０の左右の側面３４には、直方体形状の凸部３４１が４つずつ設けられている。上部緩衝材３０の下部３２は、凹部３２１を有する。凹部３２１は、基板収納容器２の蓋体２０３と略同一形状を有しており、凹部３２１には、蓋体２０３が係合する。

上部緩衝材３０は、上面３１が左右方向Ｄ３及び前後方向Ｄ１に平行な位置関係で、上部クッション材２０の下面２２に対して上部緩衝材３０の上面３１が面当接するように、梱包箱１０内において基板収納容器２の上部に載置される。上部クッション材２０の下面２２は、上部緩衝材３０の上面３１には接着等されておらず、上部クッション材２０の下面２２は、上部緩衝材３０の上面３１に対して摺動可能である。また、上部緩衝材３０の凸部３３１、３４１の先端面は、梱包箱１０内において筒状体１１０の内面に常時当接している。凸部３３１、３４１の先端面は、筒状体１１０の内面には接着等されておらず、筒状体１１０の内面に対して摺動可能である。

下部緩衝材４０は、基板Ｗが収納された基板収納容器２を下部緩衝材４０に直接載置しても塑性変形せずに下部緩衝材４０自体の形状を保持可能な硬さを有している。具体的には下部緩衝材４０は、梱包箱１０内で上下方向Ｄ２に直交する方向における基板収納容器２の位置及び姿勢を保持可能であり、且つ、梱包箱１０に作用して下部緩衝材４０を介して基板収納容器２に伝達される衝撃の少なくとも一部を吸収可能な柔軟性を有する材質により構成されている。本実施形態では、上部緩衝材３０と同一の発泡スチロールにより構成されている。

下部緩衝材４０は、略直方体形状を有している。下部緩衝材４０の上部４１は、凹部４１１を有する。凹部４１１は、基板収納容器２の蓋体２０３を上側に配置させたときの基板収納容器２の下側の部分（基板収納容器２において容器本体開口部２２１に対する壁部２２０の奥の部分）と略同一形状を有しており、凹部４１１には、当該下側の部分が係合する。即ち、下部緩衝材４０には、基板収納容器２が載置され、上部緩衝材３０と下部緩衝材４０とで上下方向Ｄ２において基板収納容器２を挟むように梱包箱１０内に配置される。下部緩衝材４０の前後の側面４３には、凸部４３１が３つずつ設けられており、下部緩衝材４０の左右の側面４４には、直方体形状の凸部４４１が４つずつ設けられている。下部緩衝材４０の下面４２には、左右方向Ｄ３に３列、前後方向Ｄ１に３列で計９個の下部凸部４２１が設けられている。

下部緩衝材４０は、左右方向Ｄ３及び前後方向Ｄ１に平行な位置関係で、第１の剛性体５０の上面５１に対して下部緩衝材４０の下部凸部４２１の先端面が面当接するように、梱包箱１０内において基板収納容器２の下方に配置される。下部緩衝材４０の下端面としての下部凸部４２１の先端面は、第１の剛性体５０の上面５１には接着等されておらず、第１の剛性体５０の上面５１に対して摺動可能である。下部緩衝材４０の凸部４３１、４４１の先端面は、梱包箱１０内において筒状体１１０の内面に常時当接している。凸部４３１、４４１の先端面は、筒状体１１０の内面には接着等されておらず、筒状体１１０の内面に対して摺動可能である。

第１の剛性体５０は、第１の剛性体５０の下面５２全体で第１のクッション材６０の上面６２に面当接可能に第１の剛性体５０自体の形状を保持できる硬さを有する材質により構成されており、本実施形態では、ダンボールの板又はプラスチックの板により構成されている。即ち、第１の剛性体５０は、それ自体で振動や衝撃を吸収しなくてもよく、それ自体の形状が維持できる比較的硬い材質により構成される。従って、第１の剛性体５０は、上部クッション材２０、上部緩衝材３０、下部緩衝材４０、第１のクッション材６０、第２のクッション材８０のいずれよりも硬い。第１の剛性体５０は、長方形状の板状を有しており、この長方形状は、左右方向Ｄ３及び前後方向Ｄ１に平行な面で切った筒状体１１０の断面における、筒状体１１０の内面により囲まれる長方形状に一致する。

第１の剛性体５０は、それぞれ平坦な上面５１及び下面５２を有し、上面５１及び下面５２が左右方向Ｄ３及び前後方向Ｄ１に平行な位置関係で、梱包箱１０内において下部緩衝材４０の下方に配置される。上下方向Ｄ２に平行な位置関係を有する第１の剛性体５０の側面５３の全面は、筒状体１１０の内面に常時当接している。第１の剛性体５０の側面５３は、筒状体１１０の内面には接着等されておらず、筒状体１１０の内面に対して摺動可能である。第１の剛性体５０の上面５１の面積は、下部緩衝材４０の下端面としての下部凸部４２１の先端面の合計面積よりも広く、全ての下部凸部４２１の先端面は、第１の剛性体５０の上面５１に面で当接している。

第１のクッション材６０は、基板Ｗが収納された基板収納容器２を第１のクッション材６０に直接載置すると弾性変形し、載置した基板収納容器２を取り除くと、元の形状に復元する弾性的な柔軟性を有する。本実施形態では、第１のクッション材６０は、上部クッション材２０と同一のスポンジにより構成されている。

より詳細には、第１のクッション材６０は、それぞれスポンジにより構成され平坦な上面６２及び下面６３を有する５枚の長方形状の板状第１クッション材６１が上下方向Ｄ２に積層されて構成されている。板状第１クッション材６１は、それぞれ上面６２及び下面６３が左右方向Ｄ３及び前後方向Ｄ１に平行な位置関係で、梱包箱１０内において第１の剛性体５０の下方に配置されている。上下方向Ｄ２に平行な位置関係を有する板状第１クッション材６１の側面６４の全面は、筒状体１１０の内面に常時当接している。

また、積層方向としての上下方向Ｄ２に隣接する下側の板状第１クッション材６１の上面６２と、上側の板状第１クッション材６１の下面６３とは、それぞれ面当接している。積層方向に隣接する下側の板状第１クッション材の上面６２と、上側の板状第１クッション材の下面６３とは、それぞれ接着等されておらず、互いに摺動可能である。最上層の板状第１クッション材６１の上面６２は、第１の剛性体５０の下面５２に対して接着等されておらず、面当接しており、摺動可能である。従って、第１のクッション材６０の上面６２が第１の剛性体５０の下面５２に対して摺動可能に、第１の剛性体５０の下面５２に面当接する。

第２の剛性体７０は、第２の剛性体７０の上面７１全体で最下層の板状第１クッション材６１の下面６３に面当接可能に第２の剛性体７０自体の形状を保持できる硬さを有しており、本実施形態では、第１の剛性体５０と同一のダンボールの板又はプラスチックの板により構成されている。第２の剛性体７０は、長方形状の板状を有しており、この長方形状は、左右方向Ｄ３及び前後方向Ｄ１に平行な面で切った筒状体１１０の断面における筒状体１１０の内面により囲まれる長方形状に一致する。

第２の剛性体７０は、それぞれ平坦な上面７１及び下面７２を有し、上面７１及び下面７２が左右方向Ｄ３及び前後方向Ｄ１に平行な位置関係で、梱包箱１０内において最下層の板状第１クッション材６１の下方に配置される。上下方向Ｄ２に平行な位置関係を有する第２の剛性体７０の側面７３の全面は、筒状体１１０の内面に常時当接している。第２の剛性体７０の側面７３は、筒状体１１０の内面には接着等されておらず、筒状体１１０の内面に対して摺動可能である。

第２の剛性体７０の上面７１は、最下層の板状第１クッション材の下面６３に、接着等されておらず、摺動可能に面当接する。第２の剛性体７０の下面７２の面積は、後述の第２のクッション材８０の上面８１１の上突出部８１４の、第２の剛性体７０の下面７２への当接面の面積よりも広い。全ての当該当接面は、第２の剛性体７０の下面７２に、接着等されておらず、摺動可能に面当接している。

第２のクッション材８０は、基板Ｗが収納された基板収納容器２を第２のクッション材８０に直接載置すると弾性変形し、載置した基板収納容器２を取り除くと、元の形状に復元する弾性的な柔軟性を有する。本実施形態では、第２のクッション材８０は、第１のクッション材６０と同一のスポンジにより構成されている。

第２のクッション材８０は、それぞれ上面８１１、８２１、８３１と、下面８１２、８２２、８３２とを有する複数の板状第２クッション材８１、８２、８３が上下方向Ｄ２に積層されて構成されている。積層方向としての上下方向Ｄ２に隣接する下側の板状第２クッション材８２、８３の上面８２１、８３１と上側の板状第２クッション材８１、８２の下面８１２、８２２とは、それぞれ平坦な形状を有する。積層方向に隣接する下側の板状第２クッション材８２、８３の上面８２１、８３１と上側の板状第２クッション材の下面８１２、８２２とは、それぞれ接着等されておらず、摺動可能に面当接している。

より詳細には、第２のクッション材８０は、それぞれスポンジにより構成された、上側板状第２クッション材８１と、板状第２クッション材８２と、下側板状第２クッション材８３とを有する。

上側板状第２クッション材８１は、多数の上突出部８１４を有する上面８１１と、平坦な下面８１２とを有する、長方形状の板状を有する。上突出部８１４は上方へ突出する。上突出部８１４は、第２の剛性体７０の下面７２に対して接着等されておらず、摺動可能に第２の剛性体７０の下面７２に当接する。

上側板状第２クッション材８１は、下面８１２が左右方向Ｄ３及び前後方向Ｄ１に平行な位置関係で、梱包箱１０内において第２の剛性体７０の下方に配置されている。上下方向Ｄ２に平行な位置関係を有する上側板状第２クッション材８１の側面８１３の全面は、筒状体１１０の内面に常時接触している。

板状第２クッション材８２は、平坦な上面８２１及び下面８２２を有する長方形状の板状を有する。板状第２クッション材８２の上面８２１は、上側板状第２クッション材８１の下面８１２に対して接着等されておらず、摺動可能に上側板状第２クッション材８１の下面８１２に当接する。

板状第２クッション材８２は、それぞれ上面８２１及び下面８２２が左右方向Ｄ３及び前後方向Ｄ１に平行な位置関係で、梱包箱１０内において上側板状第２クッション材８１の下方に配置されている。上下方向Ｄ２に平行な位置関係を有する板状第２クッション材８２の側面８２３の全面は、筒状体１１０の内面に常時接触している。

下側板状第２クッション材８３は、平坦な上面８３１と、多数の下突出部８３４を有する下面８３２とを有する、長方形状の板状を有する。下側板状第２クッション材８３の上面８３１は、板状第２クッション材８２の下面８２２に対して接着等されておらず、摺動可能に板状第２クッション材８２の下面８２２に当接する。下突出部８３４は下方へ突出する。下突出部８３４は、梱包箱１０の底板１６の内面に対して接着等されておらず、摺動可能に梱包箱１０の底板１６の内面に当接する。

下側板状第２クッション材８３は、上面８３１が左右方向Ｄ３及び前後方向Ｄ１に平行な位置関係で、梱包箱１０内において板状第２クッション材８２の下方に配置されている。上下方向Ｄ２に平行な位置関係を有する下側板状第２クッション材８３の側面８３３の全面は、筒状体１１０の内面に常時接触している。

上記構成の第１実施形態に係る、基板収納容器２を梱包するための梱包構造体１によれば、以下のような効果を得ることができる。

前述のように、基板収納容器２を梱包するための梱包構造体１は、梱包箱１０内において基板収納容器２の上部に載置される上部緩衝材３０と、基板収納容器２が載置される下部緩衝材４０であって、上部緩衝材３０と下部緩衝材４０とで上下方向Ｄ２において基板収納容器２を挟むように梱包箱１０内に配置された下部緩衝材４０とを備える。この構成により、梱包箱１０内において基板収納容器２の姿勢及び位置を所定の姿勢及び位置に安定して保持することができる。

また、基板収納容器２を梱包するための梱包構造体１は、梱包箱１０内に配置され、それぞれ平坦な上面５１及び下面５２を有し板状を有する第１の剛性体５０であって、第１の剛性体５０の上面５１が下部緩衝材４０の下部凸部４２１の下端面に当接する第１の剛性体５０と、梱包箱１０内に配置され、上面６２及び下面６３を有する第１のクッション材６０であって、第１のクッション材６０の上面６２が第１の剛性体５０の下面５２に対して摺動可能に第１の剛性体５０の下面５２に面当接する第１のクッション材６０と、を備える。

上部緩衝材３０及び下部緩衝材４０は、基板Ｗが収納された基板収納容器２を上部緩衝材３０又は下部緩衝材４０に直接載置しても塑性変形せずに上部緩衝材３０及び下部緩衝材４０自体の形状を保持可能な硬さを有して、梱包箱１０内で上下方向Ｄ２に直交する方向における基板収納容器２の位置及び姿勢を保持可能であり、且つ、梱包箱１０に作用して上部緩衝材３０及び下部緩衝材４０を介して基板収納容器２に伝達される衝撃の少なくとも一部を吸収可能な柔軟性を有する。

また、第１の剛性体５０の上面５１は、下部緩衝材４０の下端面よりも広く、第１の剛性体５０は、第１の剛性体５０の下面５２全体で第１のクッション材６０の上面６２に面当接可能に第１の剛性体５０自体の形状を保持できる硬さを有する。また、第１のクッション材６０は、基板Ｗが収納された基板収納容器２を第１のクッション材６０に直接載置すると弾性変形し、載置した基板収納容器２を取り除くと、元の形状に復元する弾性的な柔軟性を有する。

この構成により、第１の剛性体５０の上面５１は、下部緩衝材４０の下部凸部４２１の下端面よりも広く、第１の剛性体５０の上面５１の一部のみが下部緩衝材４０の下部凸部４２１の下端面の全面に当接する構成であっても、第１の剛性体５０の下面５２の広い面で、第１のクッション材６０の上面６２に面当接することができる。このため、第１の剛性体５０を介して、第１のクッション材６０の上面６２全体で、下部緩衝材４０を支持することができる。この結果、衝撃を第１の剛性体５０の上面５１及び下面５２全体で分散させることができ、広い面積の第１のクッション材６０で、梱包箱１０に加わる衝撃や振動を吸収することができ、下部緩衝材４０に衝撃や振動が伝達されることを、極力抑えることができる。

また、第１のクッション材６０の上面６２が第１の剛性体５０の下面５２に対して摺動可能に第１の剛性体５０の下面５２に面当接する第１のクッション材６０を備える。このため、第１のクッション材６０の上面６２が第１の剛性体５０の下面５２に対して摺動することにより、梱包箱１０に加わる所定の周波数の振動を吸収することができ、基板収納容器２内において、フロントリテーナ及びリアリテーナに対して、基板Ｗが振動することを極力抑えることができる。この結果、フロントリテーナ及びリアリテーナに対して基板Ｗが擦れて、基板Ｗが削れ、基板収納容器２内において基板Ｗが汚染されることを極力抑えることができる。

また、第１のクッション材６０は、それぞれ平坦な上面６２及び下面６３を有する複数の板状第１クッション材６１が上下方向Ｄ２に積層されて構成され、積層方向に隣接する下側の板状第１クッション材６１の上面６２と上側の板状第１クッション材６１の下面６３とは、摺動可能に面当接する。このため、積層方向に隣接する下側の板状第１クッション材６１の上面６２と上側の板状第１クッション材６１の下面６３とが摺動することにより、梱包箱１０に加わる所定の周波数の振動を効果的に吸収することができる。また、複数の板状第１クッション材６１を繰り返し使用することができる。そして、複数の板状第１クッション材６１のうちのいずれかが破損等した場合に、当該破損等した板状第１クッション材６１のみを交換することができる。

また、梱包箱１０内に配置され、それぞれ平坦な上面７１及び下面７２を有し板状を有する第２の剛性体７０であって、第２の剛性体７０の上面７１が最下層の板状第１クッション材６１の下面６３に摺動可能に面当接する第２の剛性体７０を備え、第２の剛性体７０は、第２の剛性体７０の上面７１全体で最下層の板状第１クッション材６１の下面６３に面当接可能に第２の剛性体７０自体の形状を保持できる硬さを有する。このため、天板１５と同様に分割されて構成された底板１６の強度を補い、図中上方向Ｄ２１へ向かう衝撃を分散させ、クッション材の緩衝効果を高めることができる。

また、梱包箱１０内に配置され、上面８１１と下面８３２とを有する第２のクッション材８０であって、第２のクッション材８０の上面８１１は、第２の剛性体７０の下面７２に対して摺動可能に第２の剛性体７０の下面７２に当接する第２のクッション材８０を備え、第２のクッション材８０は、基板Ｗが収納された基板収納容器２を第２のクッション材８０に直接載置すると弾性変形し、載置した基板収納容器２を取り除くと、元の形状に復元する弾性的な柔軟性を有する。

このため、第２のクッション材８０の上面８１１が第２の剛性体７０の下面７２に対して摺動することにより、梱包箱１０に加わる所定の周波数の振動を効果的に吸収することができる。更に、第２のクッション材８０において、梱包箱１０に加わる衝撃を効果的に吸収することができる。

また、第２のクッション材８０は、それぞれ上面８１１、８２１、８３１及び下面８１２、８２２、８３２を有する複数の板状第２クッション材８１、８２、８３が上下方向Ｄ２に積層されて構成され、積層方向に隣接する下側の板状第２クッション材８２、８３の上面と上側の板状第２クッション材８１、８２の下面８１２、８２２とは、それぞれ平坦な形状を有し、積層方向に隣接する下側の板状第２クッション材８２、８３の上面８２１、８３１と上側の板状第２クッション材８１、８２の下面８１２、８２２とは、摺動可能に面当接する。

このため、積層方向に隣接する下側の板状第２クッション材８２、８３の上面８２１、８３１と上側の板状第２クッション材８１、８２の下面８１２、８２２とが摺動することにより、梱包箱１０に加わる所定の周波数の振動を効果的に吸収することができる。また、複数の板状第２クッション材８１、８２、８３を繰り返し使用することができる。そして、複数の板状第２クッション材８１、８２、８３のうちのいずれかが破損等した場合に、当該破損等した板状第２クッション材のみを交換することができる。

また、第２のクッション材８０の上面８１１は、上方へ突出する上突出部８１４を有し、上突出部８１４は、第２の剛性体７０の下面７２に対して摺動可能に第２の剛性体７０の下面７２に当接する。上突出部８１４が第２の剛性体７０の下面７２に対して摺動することにより、梱包箱１０に加わる所定の周波数の振動を効果的に吸収することができる。また、上突出部８１４が第２の剛性体７０の下面７２によって部分的に押しつぶされることにより、梱包箱１０に加わる衝撃を、効果的に吸収することができる。

また、第２のクッション材８０の下面８３２は、下方へ突出する下突出部８３４を有し、下突出部８３４は、梱包箱１０の底板１６の内面に対して摺動可能に梱包箱１０の底板１６の内面に当接する。下突出部８３４が梱包箱１０の底板１６の内面に対して摺動することにより、梱包箱１０に加わる所定の周波数の振動を効果的に吸収することができる。また、下突出部８３４が梱包箱１０の底板１６の内面に当接して部分的に押しつぶされることにより、梱包箱１０に加わる衝撃を、効果的に吸収することができる。

また、上下方向Ｄ２に直交する方向における第２のクッション材８０の側面８１３、８２３、８３３は、梱包箱１０の内面に常時当接している。このため、第２のクッション材８０の側面８１３、８２３、８３３が梱包箱１０の内面に摺動することにより、梱包箱１０に加わる所定の周波数の振動を効果的に吸収することができる。

また、上下方向Ｄ２に直交する方向における第１のクッション材６０の側面６４は、梱包箱１０の内面に常時当接している。このため、第１のクッション材６０の側面６４が梱包箱１０の内面に摺動することにより、梱包箱１０に加わる所定の周波数の振動を効果的に吸収することができる。

また、梱包箱１０内において上部緩衝材３０の上面３１に載置される上部クッション材２０を備え、上部クッション材２０は、基板Ｗが収納された基板収納容器２を上部クッション材２０に直接載置すると弾性変形し、載置した基板収納容器２を取り除くと、元の形状に復元する弾性的な柔軟性を有する。このため、梱包箱１０の上部に加わる所定の周波数の衝撃及び振動を吸収することができる。

以下、本発明の第２実施形態による基板収納容器２を梱包するための梱包構造体１Ａについて説明する。図７は、本発明の第２実施形態に係る、基板収納容器２を梱包するための梱包構造体１Ａを示す分解斜視図である。図８は、本発明の第２実施形態に係る、基板収納容器を梱包するための梱包構造体１Ａの梱包箱１０を示す平面図である。図９は、図８のＣ−Ｃ線に沿った断面図である。図１０は、図８のＤ−Ｄ線に沿った断面図である。

第２実施形態では、第２のクッション材８０は、それぞれ平坦な上面８２１及び下面８２２を有する３枚の板状第２クッション材８２が上下方向Ｄ２に積層されて構成されている点において、第１実施形態とは異なる。また、上部クッション材２０が設けられていない点において、第１実施形態とは異なる。これ以外の構成については、第１実施形態と同一であるため、同一の部材については、同一の符号で図示し、説明を省略する。

３枚の板状第２クッション材８２のうちの最上層の板状第２クッション材８２の上面８２１は、第２の剛性体７０の下面７２に対して接着等されておらず、摺動可能に第２の剛性体７０の下面７２に当接する。３枚の板状第２クッション材８２のうちの中間層の板状第２クッション材８２の上面８２１は、最上層の板状第２クッション材８２の下面８２２に対して接着等されておらず、摺動可能に最上層の板状第２クッション材８２の下面８２２に当接する。３枚の板状第２クッション材８２のうちの中間層の板状第２クッション材８２の下面８２２は、最下層の板状第２クッション材８２の上面８２１に対して接着等されておらず、摺動可能に最下層の板状第２クッション材８２の上面８２１に当接する。３枚の板状第２クッション材８２のうちの最下層の板状第２クッション材８２の下面８２２は、梱包箱１０の底板１６の内面に対して接着等されておらず、摺動可能に梱包箱１０の底板１６の内面に当接する。

各板状第２クッション材８２は、上面８２１及び下面８２２が左右方向Ｄ３及び前後方向Ｄ１に平行な位置関係で、梱包箱１０内において第２の剛性体７０の下方に配置されている。上下方向Ｄ２に平行な位置関係を有する板状第２クッション材８２の側面８２３の全面は、筒状体１１０の内面に常時接触している。

上記構成の第２実施形態による基板収納容器２を梱包するための梱包構造体１Ａによれば、以下のような効果を得ることができる。

第２のクッション材８０は、それぞれ平坦な上面８２１及び下面８２２を有する３枚の板状第２クッション材８２が上下方向Ｄ２に積層されて構成されている。このため、より広い面積で最上層の板状第２クッション材８２の上面８２１が第２の剛性体７０の下面７２に対して摺動することができ、梱包箱１０に加わる所定の周波数の振動を効果的に吸収することができる。また、より広い面積で最下層の板状第２クッション材８２の下面８２２が梱包箱１０の底板１６の内面に対して摺動することができ、梱包箱１０の下部に加わる所定の周波数の振動を効果的に吸収することができる。即ち、本実施形態では、梱包箱１０に加わる所定の周波数の振動を、第１実施形態に係る梱包構造体１よりも、効果的に吸収することができる。

本発明は、上述した実施形態に限定されることはなく、特許請求の範囲に記載された技術的範囲において変形が可能である。例えば、上部クッション材２０、第１のクッション材６０、第２のクッション材８０、上部緩衝材３０、下部緩衝材４０、第１の剛性体５０、第２の剛性体７０の材質は、本実施形態のそれぞれの材質に限定されない。例えば、第１の剛性体５０、第２の剛性体７０は、ベニヤ板や石の板で構成されてもよい。

また、梱包箱１０は、いわゆるプラスチックダンボール箱（プラダン）により構成されたが、これに限定されない。例えば、紙製の段ボールやアルミフレームにより構成されてもよい。

また、上下方向Ｄ２に平行な位置関係を有する上部クッション材２０、第１の剛性体５０、第２の剛性体７０、第１のクッション材６０、第２のクッション材８０の側面２３、５３、７３、６４、８１３、８２３、８３３の全面、及び、上部緩衝材３０、下部緩衝材４０の凸部３３１、３４１、４３１、４４１の先端面の全面は、筒状体１１０の内面に常時当接していたが、これに限定されない。

例えば、側面の全面ではなく側面の一部が筒状体１１０の内面に常時当接していて、側面の一部が筒状体１１０の内面に摺動可能であってもよい。または、側面及び先端面の全面が、筒状体１１０の内面に全く当接していなくてもよい。

また、第１のクッション材６０は、それぞれスポンジにより構成され平坦な上面６２及び下面６３を有する複数の長方形状の板状第１クッション材６１が上下方向Ｄ２に積層されて構成されていたが、これに限定されない。例えば、板状第１クッション材６１の枚数は、本実施形態における枚数に限定されない。また、スポンジにより構成され平坦な上面及び下面を有する１枚の厚い第１クッション材により構成されてもよい。

同様に、第２のクッション材８０は、それぞれスポンジにより構成される複数の長方形状の板状第２クッション材８１、８２、８３が上下方向Ｄ２に積層されて構成されていたが、これに限定されない。例えば、板状第２クッション材８２の枚数は、本実施形態における枚数に限定されない。また、スポンジにより構成され平坦な上面及び下面を有する１枚の厚い第２クッション材により構成されてもよい。

また、基板収納容器は、本実施形態の形状のものに限定されない。

１ 基板収納容器を梱包するための梱包構造体
２ 基板収納容器
１０ 梱包箱
２０ 上部クッション材
３０ 上部緩衝材
４０ 下部緩衝材
５０ 第１の剛性体
５１ 上面
５２ 下面
６０ 第１のクッション材
６１ 板状第１クッション材
６２ 上面
６３ 下面
７０ 第２の剛性体
７１ 上面
７２ 下面
８０ 第２のクッション材
８１ 上側板状第２クッション材
８２ 板状第２クッション材
８３ 下側板状第２クッション材
８１４ 上突出部
８３４ 下突出部
Ｗ 基板

Claims (9)

1. 半導体ウェーハからなる基板を収納して輸送するための基板収納容器を梱包するための梱包構造体であって、
   梱包箱と、
   前記梱包箱内において前記基板収納容器の上部に載置される上部緩衝材と、
   前記基板収納容器が載置される下部緩衝材であって、前記上部緩衝材と下部緩衝材とで上下方向において前記基板収納容器を挟むように前記梱包箱内に配置された下部緩衝材と、
   前記梱包箱内に配置され、それぞれ平坦な上面及び下面を有し板状を有する第１の剛性体であって、前記第１の剛性体の上面が前記下部緩衝材の下端面に当接する第１の剛性体と、
   前記梱包箱内に配置され、上面及び下面を有する第１のクッション材であって、前記第１のクッション材の上面が前記第１の剛性体の下面に対して摺動可能に前記第１の剛性体の下面に面当接する第１のクッション材と、を備え、
   前記上部緩衝材及び下部緩衝材は、前記半導体ウェーハが収納された前記基板収納容器を前記上部緩衝材又は下部緩衝材に直接載置しても塑性変形せずに前記上部緩衝材及び下部緩衝材自体の形状を保持可能な硬さを有して、前記梱包箱内で上下方向に直交する方向における前記基板収納容器の位置及び姿勢を保持可能であり、且つ、前記梱包箱に作用して前記上部緩衝材及び下部緩衝材を介して前記基板収納容器に伝達される衝撃の少なくとも一部を吸収可能な柔軟性を有し、
   前記第１の剛性体の上面は、前記下部緩衝材の下端面よりも広く、
   前記第１の剛性体は、前記第１の剛性体の下面全体で前記第１のクッション材の上面に面当接可能に前記第１の剛性体自体の形状を保持できる硬さを有し、
   前記第１のクッション材は、前記半導体ウェーハが収納された前記基板収納容器を前記第１のクッション材に直接載置すると弾性変形し、載置した前記基板収納容器を取り除くと、元の形状に復元する弾性的な柔軟性を有する、基板収納容器を梱包するための梱包構造体。
2. 前記第１のクッション材は、それぞれ平坦な上面及び下面を有する複数の板状第１クッション材が上下方向に積層されて構成され、
   積層方向に隣接する下側の前記板状第１クッション材の上面と上側の前記板状第１クッション材の下面とは、摺動可能に面当接し、
   前記梱包箱内に配置され、それぞれ平坦な上面及び下面を有し板状を有する第２の剛性体であって、第２の剛性体の上面が最下層の前記板状第１クッション材の下面に摺動可能に面当接する第２の剛性体を備え、
   前記第２の剛性体は、前記第２の剛性体の上面全体で前記最下層の板状第１クッション材の下面に面当接可能に前記第２の剛性体自体の形状を保持できる硬さを有する請求項１に記載の基板収納容器を梱包するための梱包構造体。
3. 前記梱包箱内に配置され、上面と下面とを有する第２のクッション材であって、第２のクッション材の上面は、前記第２の剛性体の下面に対して摺動可能に前記第２の剛性体の下面に当接する第２のクッション材を備え、
   前記第２のクッション材は、前記半導体ウェーハが収納された前記基板収納容器を前記第２のクッション材に直接載置すると弾性変形し、載置した前記基板収納容器を取り除くと、元の形状に復元する弾性的な柔軟性を有する請求項２に記載の基板収納容器を梱包するための梱包構造体。
4. 前記第２のクッション材は、それぞれ上面及び下面を有する複数の板状第２クッション材が上下方向に積層されて構成され、
   積層方向に隣接する下側の前記板状第２クッション材の上面と上側の前記板状第２クッション材の下面とは、それぞれ平坦な形状を有し、
   積層方向に隣接する下側の前記板状第２クッション材の上面と上側の前記板状第２クッション材の下面とは、摺動可能に面当接する請求項３に記載の基板収納容器を梱包するための梱包構造体。
5. 前記第２のクッション材の上面は、上方へ突出する上突出部を有し、前記上突出部は、前記第２の剛性体の下面に対して摺動可能に前記第２の剛性体の下面に当接する請求項３〜請求項４のいずれかに記載の基板収納容器を梱包するための梱包構造体。
6. 前記第２のクッション材の下面は、下方へ突出する下突出部を有し、前記下突出部は、前記梱包箱の内面に対して摺動可能に前記梱包箱の内面に当接する請求項３〜請求項５のいずれかに記載の基板収納容器を梱包するための梱包構造体。
7. 上下方向に直交する方向における前記第２のクッション材の側面は、前記梱包箱の内面に常時当接している請求項３〜請求項６のいずれかに記載の基板収納容器を梱包するための梱包構造体。
8. 上下方向に直交する方向における前記第１のクッション材の側面は、前記梱包箱の内面に常時当接している請求項１〜請求項７のいずれかに記載の基板収納容器を梱包するための梱包構造体。
9. 前記梱包箱内において前記上部緩衝材の上部に載置される上部クッション材を備え、
   前記上部クッション材は、前記半導体ウェーハが収納された前記基板収納容器を前記上部クッション材に直接載置すると弾性変形し、載置した前記基板収納容器を取り除くと、元の形状に復元する弾性的な柔軟性を有する請求項１〜請求項８のいずれかに記載の基板収納容器を梱包するための梱包構造体。

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