TWI426147B - Tantalum sputtering target - Google Patents
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Description
本發明,係關於一種具備均一微細之組織、電漿穩定、且膜之均勻性(uniformity)優異之高純度鉭濺鍍靶。另,本發明之高純度鉭,含有(添加)鎢與視需要之鉬及/或鈮,但是由於此等之元素的添加量少,因此於本說明書中,統稱為「高純度鉭」。
近年,用以形成金屬、陶瓷材料等被膜之濺鍍,係被使用於電子學領域、耐蝕性材料或裝飾之領域、觸媒領域、切削/研磨材或耐磨耗性材料之製作等眾多領域。
濺鍍法本身雖然於上述領域為眾所皆知之方法,但是最近,特別是於電子學領域,係要求適於形成複雜形狀之被膜、回路或障壁膜等之鉭濺鍍靶。
一般,此鉭靶,係重複進行鑄錠或小胚(對鉭原料進行電子束熔解、鑄造而成)之熱鍛、退火(熱處理),並且進行壓延及精加工(機械、研磨等)加工而被加工成靶。
此種製造步驟,鑄錠或小胚之熱鍛,會破壞鑄造組織,使氣孔及偏析擴散、消失,並且藉由對其進行退火以再結晶化,提高組織之緻密化與強度,藉此來加以製造。
一般,熔解鑄造而成之鑄錠或小胚,具有50mm以上之結晶粒徑。又,藉由鑄錠或小胚之熱鍛與再結晶退火,來破壞鑄造組織,而得到大致均一且微細(100μm以下)之晶粒。
另一方面,使用以此種方式所製得之靶實施濺鍍時,靶的再結晶組織越微細且均一,而且結晶方位一致於特定方向者,越可進行均勻之成膜,電弧作用、粒子(particle)之發生少,可得到具有穩定特性之膜。
因此,於靶的製造步驟中,係採取使再結晶組織微細化與均一化,並且使其一致於特定結晶方位之方法(例如,參照專利文獻1及專利文獻2)。
又,揭示有使用高純度Ta作為高純度Ta靶(用以形成使用作為對Cu配線膜之障壁層的TaN膜),其含有0.001~20ppm之選自Ag、Au及Cu之元素(為具有自持放電特性之元素),且使雜質元素之Fe、Ni、Cr、Si、Al、Na、K之合計量在100ppm以下,減去此等之值為99.99~99.999%之範圍(參照專利文獻3)。
此等之專利文獻,含有特定之元素係用以使組織微細化,而並無藉此使電漿穩定化。
特別是於專利文獻3,係含有0.001~20ppm之選自Ag、Au及Cu之元素,而添加至0.001ppm之極微量的元素,雖然可增加Ta離子的釋放量,但是正因為添加元素為微量,因此會有難以調節含量且難以均一添加(參差不齊)的問題。
而且,如專利文獻3之表1所示,Mo、W、Ge、Co量,分別容許未達10ppm、20ppm、10ppm、10ppm之含量。即使僅有如此,亦具有未達50ppm之雜質。
因此,雖然如上述,稱「使用雜質元素之Fe、Ni、Cr、
Si、Al、Na、K之合計量在100ppm以下且減去此等之值為99.99~99.999%之範圍之高純度Ta」,但是係實際純度之下限值低於99.99%之純度(容許其之純度)。
此係在以往之高純度鉭的水準以下,可強烈預料到並無法活用高純度鉭之特性。
專利文獻1:日本特表2002-518593號公報
專利文獻2:美國專利第6,331,233號
專利文獻3:日本特開2002-60934號公報
本發明之課題在於,提供一種藉由將鉭之純度維持在高純度,且添加特定之元素,以具備均一微細之組織、電漿穩定、膜之均勻性(uniformity)優異之高純度鉭濺鍍靶。
本發明,為了解決上述問題,得到如下之見解:藉由將鉭之純度維持在高純度,且添加特定之元素,可得到具備均一微細之組織、電漿穩定、膜之均勻性(uniformity)優異之高純度鉭濺鍍靶。
本發明,根據此見解,提供:
1)一種鉭濺鍍靶,其特徵在於,含有1massppm以上、100massppm以下之鎢作為必要成分,不計鎢及氣體成分之純度在99.998%以上。
2)一種鉭濺鍍靶,其特徵在於,含有10massppm以上、100massppm以下之鎢作為必要成分,不計鎢及氣體成分之純度在99.998%以上。
3)一種鉭濺鍍靶,其特徵在於,含有10massppm以上、
50massppm以下之鎢作為必要成分,不計鎢及氣體成分之純度在99.998%以上。
4)如上述1)~3)中任一項所記載之鉭濺鍍靶,其鎢含量的變動在±20%以下。
5)如上述1)~4)中任一項所記載之鉭濺鍍靶,其平均結晶粒徑在120μm以下。
6)如上述5)所記載之鉭濺鍍靶,其結晶粒徑的變動在±20%以下。
本發明,更提供:
7)如上述1)所記載之鉭濺鍍靶,其進一步含有0~100massppm(惟,不包括0massppm)之鉬及/或鈮,鎢、鉬、鈮的合計含量在1massppm以上、150massppm以下,不計鎢、鉬、鈮及氣體成分之純度在99.998%以上。
8)如上述7)所記載之鉭濺鍍靶,其進一步含有10massppm以上、100massppm以下之鉬及/或鈮。
9)如上述7)所記載之鉭濺鍍靶,其進一步含有10massppm以上、50massppm以下之鉬及/或鈮。
10)如上述7)~9)中任一項所記載之鉭濺鍍靶,其鎢、鉬、鈮之含量的變動在±20%以下。
11)如上述7)~10)中任一項所記載之鉭濺鍍靶,其平均結晶粒徑在120μm以下。
12)如上述11)所記載之鉭濺鍍靶,其結晶粒徑的變動在±20%以下。
本發明,具有以下之優異效果:藉由將鉭之純度維持
在高純度,且添加鎢作為必要成分,並進一步添加鉬及/或鈮,而可提供具備均一微細之組織、電漿穩定、膜之均勻性(uniformity)優異之高純度鉭濺鍍靶。又,濺鍍時之電漿穩定化,由於即使在初期之階段亦穩定化,因此具備有可縮短預燒時間之效果。
本發明所使用之鉭(Ta)靶的原料,係使用高純度鉭。此高純度鉭之例示於表1(參照社團法人發明協會編,公開技報2005-502770,公開技報名稱「高純度鉭及由高純度鉭所構成之濺鍍靶」)。
於此表1中,除了氣體成分,所有的雜質未達1massppm。亦即為99.999~99.9999mass%,可使用此種高純度鉭。
本發明之濺鍍靶,通常係藉由以下之步驟進行製造。
若顯示其一例,則首先使用鉭,例如4N(99.99%以上)之高純度鉭,對其添加適量之鎢(W),作為靶之原料。又,可進一步添加鉬及/或鈮作為靶之原料。藉由電子束熔解等將此等加以熔解、純化,提高純度,然後對其進行鑄造,製作鑄錠或小胚。當然,亦可使用最初表1所示之99.999
~99.9999mass%的高純度鉭。
接著,對此鑄錠或小胚進行退火-鍛造、壓延、退火(熱處理)、精加工等一連串之加工。
具體而言,例如係進行鑄錠-粗軋-於1373K~1673K之溫度之退火(第1次)-冷鍛造(第1次)-於再結晶開始溫度~1373K之溫度之再結晶退火(第2次)-冷鍛造(第2次)-於再結晶開始溫度~1373K間之再結晶退火(第3次)-冷(熱)壓延(第1次)-於再結晶開始溫度~1373K間之再結晶退火(第4次)-冷(熱)壓延(視需要,第2次)-於再結晶開始溫度~1373K間之再結晶退火(視需要,第5次)-精加工,製成靶材。
可藉由鍛造或壓延,破壞鑄造組織,使氣孔、偏析擴散或消失,並且藉由對其進行退火,使其再結晶化,然後藉由重複進行該冷鍛造或冷壓延與再結晶退火,可提高組織之緻密化、微細化與強度。於上述之加工製程中,再結晶退火可僅為1次,但藉由重複進行2次,可極力減少組織上之缺陷。又,冷(熱)壓延與再結晶開始溫度~1373K間之再結晶退火,可重複進行,但亦可為1循環。然後,藉由機械加工、研磨加工等之精加工,以精加工成最後之靶形狀。
通常係藉由上述製造步驟來製造鉭靶,但是此製造步驟僅是顯示一例,本發明並非以此製造步驟作為發明。因此當然可以藉由其他的步驟來進行製造,本發明包含其等全部。
為了活用鉭靶之特性,雖然大多使用6N等級純度之材料,但總是會有靶之結晶粒容易粗大化的缺點。
本發明人等,發現於此種6N等級之靶的製造步驟中,若為一般情形,則在0.5massppm左右之含量的鎢偶爾偏析出1massppm左右的部分,結晶粒徑會局部地微細化。因此,得到鎢的添加是否會有助於鉭靶之微細化的啟發,此係成為完成本發明之契機。
又,於此探討中,對於與鎢同質之材料或可與鎢共同添加之材料,經大多數實驗的結果,得到鉬與鈮為有效的見解。
亦即,本發明之鉭濺鍍靶,重點為,於不計鎢及氣體成分之純度在99.998%以上之鉭,含有1massppm以上、100massppm以下之鎢作為必要成分。並視需要,進一步添加0~100massppm(惟,不包括0massppm)之鉬及/或鈮。鎢之下限值1massppm係用以發揮效果之數值,鎢之上限值100massppm,則是用以持續本發明之效果的上限值。當超過此上限值時,會引起鎢的偏析,而發生鎢之一部分未再結晶部,結果,預燒變長,因此以鎢100massppm作為上限值。
從以上之鎢的見解,探討是否無同質的添加材,可知該添加材具有相同的效果。此為鉬與鈮。於本發明中,說明添加鎢或鎢與鉬及/或鈮的情形。
含有此鎢或鎢與鉬及/或鈮,會形成靶之均一微細的組織,藉此可使電漿穩定化,而可藉此提升濺鍍膜之均勻
性(uniformity)。又,此濺鍍時之電漿穩定化,由於即使於初期之階段亦穩定化,因此可縮短預燒時間。
此時,鉭的純度,必須為高純度,亦即要在99.998%以上。此情形時,可不計原子半徑小的氧、氫、碳、氮等氣體成分。一般而言,氣體成分若不以特殊方法則會難以去除,難以在通常的生產步驟於純化時加以去除,因此本發明之鉭的純度並不包括氣體成分。
鉬與鈮,由於具有與添加鎢同等的作用(功能),因此可共添加。添加鉬與鈮的下限值,並無特別限制,但使上限值為100massppm。若超過此上限值,則由於與鎢同樣地容易引起偏析,因此使上限值為100massppm。當共添加鎢與鉬及/或鈮時,要注意鎢與鉬及/或鈮的合計量須在1massppm以上、150massppm以下。
此係由於如後述之比較例般會有下述傾向的緣故:發生未再結晶,結晶粒的參差不齊變大,並且薄片內電阻分布及至初期穩定的電力量亦會變大。此結果,膜之均勻性亦會變差。此傾向,與大量添加鎢(單獨添加)在本發明所規定之量以上時為同樣的結果。
然而,共添加時特徴若為鎢與鉬及/或鈮的合計量在150massppm以下,則不會發生如上述般之問題。
此理由,雖然不一定明確,但認為鎢、鉬、鈮雖然分別亦具有相似點,但分別為不同的物質,偏析之問題或對結晶化之作用,會以各別之問題的形態發生之故。然而,此共添加亦有界限,鎢與鉬及/或鈮的合計量超過
150massppm之添加,會得到不佳的結果。
如上述,鎢或鎢與鉬及/或鈮會使鉭具有均一微細的組織,但其他之金屬成分、金屬性非金屬成分、氧化物、氮化物、碳化物等陶瓷的混入則為有害,故無法容許。
係認為由於此等雜質會產生抑制鎢、鉬、鈮之作用的作用之故。又,此等雜質明顯與鎢、鉬、鈮不同,難以將鉭靶之結晶粒徑精加工成均一,無助於濺鍍特性之穩定化。
本發明之鉭濺鍍靶,更佳之範圍,係含有10massppm以上、100massppm以下之鎢作為必要成分,不計鎢及氣體成分之純度在99.999%以上。
進一步為含有10massppm以上、50massppm以下之鎢作為必要成分,不計鎢及氣體成分之純度超過99.999%之鉭濺鍍靶。
於共添加鎢與鉬及/或鈮的情形,此等之合計量,較佳亦為進行與前述鎢同樣之成分調整來添加。
本發明之鉭濺鍍靶,更佳為使靶中之鎢含量的變動在±20%以下。於共添加鎢與鉬及/或鈮的情形,亦相同。
含有適度的鎢,具有形成鉭濺鍍靶之均一微細組織的功能(性質),而且鎢更均勻分散,可對靶組織之均一微細組織更有貢獻。此效果,於共添加鎢與鉬及/或鈮的情形,同樣地亦可得到。
當然,於通常之製造步驟,此等可輕易達成,但要注意使靶之鎢含量的變動在±20%以下之點,必須明確地具有其意圖。於共添加鎢與鉬及/或鈮的情形,亦相同。
對於此靶之鎢、鉬及/或鈮之含量的變動,例如於圓盤狀之靶,在通過圓盤中心之等分的8條線上,採樣3點(中心點、半徑之1/2點、外周或其附近點),對合計17點{16點+中心點(由於中心點共通,故為1點)}之鎢、鉬及/或鈮的含量進行分析。
又,於各點,可根據{(最大值-最小值)/(最大值+最小值)}×100之式,來計算變動。
本發明之鉭濺鍍靶,更佳為平均結晶粒徑在120μm以下。鎢之適度添加與通常之製造步驟,雖可達成結晶粒徑之微細化,但要注意使平均結晶粒徑在120μm以下之點,必須明確地具有其意圖。
又,更佳為使此結晶粒徑之變動在±20%以下。於共添加鎢與鉬及/或鈮的情形,亦相同。
對於此鉭靶之平均結晶粒徑的變動,例如於圓盤狀之靶,在通過圓盤中心之等分的8條線上,採樣3點(中心點、半徑之1/2點、外周或其附近點),對合計17點{16點+中心點(由於中心點共通,故為1點)}之鉭的結晶粒徑進行測量。
又,於各點,可根據{(最大值-最小值)/(最大值+最小值)}×100之式,來計算結晶粒徑之變動。
此種靶組織,電漿穩定,膜的均勻性(uniformity)優異。又,濺鍍時之電漿穩定化,即使於初期階段亦穩定化,因此具有可縮短預燒時間之效果。
接著,說明實施例。另,本實施例僅是用以表示發明之一例者,本發明並不受到此等實施例之限制。亦即,包含本發明之技術思想所含之其他態樣及變形。
對純度99.998%之鉭添加有鎢1massppm相當量之原料進行電子束熔解,對其進行鑄造製成厚度200mm、直徑200mmψ之鑄錠。此時之結晶粒徑約為55mm。
接著,以室溫對此鑄錠或小胚進行粗軋後,以1500K之溫度進行再結晶退火。藉此得到平均結晶粒徑具有200μm之組織之厚度120mm、直徑130mmψ的材料。
接著,再次以室溫對其進行粗軋及鍛粗鍛造後,再次以1480K溫度實施再結晶退火。再次重複進行鍛造、熱處理,藉此得到平均結晶粒徑具有150μm之組織之厚度120mm、直徑130mmψ的材料。
接著,以低溫對其進行壓延及1173K之再結晶退火,然後進行精加工,製成厚度10mm、直徑450mmψ的靶材。
靶的平均結晶粒徑為120μm,結晶粒徑之變動為±20%。且,鎢含量之變動為±20%。此結果示於表2。
由於薄片電阻(sheet resistance)取決於膜厚,因此對晶圓(12吋)內之薄片電阻之分布進行測量,藉此調查膜厚的分布狀況。具體而言,係對晶圓上之49點的薄片電阻進行測量,算出其標準偏差(σ)。
其結果同樣地示於表2。由表2清楚可知,於本實施例,從濺鍍初期至後期,薄片內電阻分布之變動小(2.6~3.2
%),亦即表示膜厚分布之變動小。
又,對濺鍍之至初期穩定化為止的電力量進行測量,為120kWh,已減少。此結果亦示於表2。以此方式可將預燒時間縮短化,且膜之均勻性(uniformity)良好,可提升濺鍍成膜之品質。
對純度99.999%之鉭添加有鎢5massppm相當量之原料進行電子束熔解,對其進行鑄造製成厚度200mm、直徑200mmψ之鑄錠。此時之結晶粒徑約為50mm。
接著,以室溫對此鑄錠或小胚進行粗軋後,以1500K之溫度進行再結晶退火。藉此得到平均結晶粒徑具有200μm之組織之厚度120mm、直徑130mmψ的材料。
接著,再次以室溫對其進行粗軋及鍛粗鍛造後,再次以1400~1500K溫度實施再結晶退火。再次重複進行鍛造、熱處理,藉此得到平均結晶粒徑具有100μm之組織之厚度120mm、直徑130mmψ的材料。
接著,以低溫對其進行壓延及再結晶退火,然後進行精加工,製成厚度10mm、直徑450mmψ之靶材。以成為以下之平均結晶粒徑及結晶粒徑之變動的方式,調節中途及最後之冷加工以及再結晶退火。另,此平均結晶粒徑與變動,雖然亦會因鎢的添加量而變化,但於本實施例中,可進行此等之調節。
靶的平均結晶粒徑為110μm,結晶粒徑之變動為±17%。且,鎢含量之變動為±18%。此結果同樣地示於表2。
由於薄片電阻取決於膜厚,因此對晶圓(12吋)內之薄片電阻之分布進行測量,藉此調查膜厚的分布狀況。具體而言,係對晶圓上之49點的薄片電阻進行測量,算出其標準偏差(σ)。
其結果同樣地示於表2。由表2清楚可知,於本實施例,
從濺鍍初期至後期,薄片內電阻分布之變動小(2.5~3.0%),亦即表示膜厚分布之變動小。
又,對濺鍍之至初期穩定化為止的電力量進行測量,為100kWh,已減少。此結果亦示於表2。以此方式可將預燒時間縮短化,且膜之均勻性(uniformity)良好,可提升濺鍍成膜之品質。
對純度99.999%之鉭添加有鎢10massppm相當量之原料進行電子束熔解,對其進行鑄造製成厚度200mm、直徑200mmψ之鑄錠。此時之結晶粒徑約為45mm。
接著,以室溫對此鑄錠或小胚進行粗軋後,以1500K之溫度進行再結晶退火。藉此得到平均結晶粒徑具有200μm之組織之厚度120mm、直徑130mmψ的材料。
接著,再次以室溫對其進行粗軋及鍛粗鍛造後,再次以1400~1500K溫度實施再結晶退火。再次重複進行鍛造、熱處理,藉此得到平均結晶粒徑具有100μm之組織之厚度120mm、直徑130mmψ的材料。
接著,以低溫對其進行壓延及再結晶退火,然後進行精加工,製成厚度10mm、直徑450mmψ之靶材。以成為以下之平均結晶粒徑及結晶粒徑之變動的方式,調節中途及最後之冷加工以及再結晶退火。另,此平均結晶粒徑與變動,雖然亦會因鎢的添加量而變化,但於本實施例中,可進行此等之調節。
靶的平均結晶粒徑為90μm,結晶粒徑之變動為±15
%。且,鎢含量之變動為±16%。此結果同樣地示於表2。
由於薄片電阻取決於膜厚,因此對晶圓(12吋)內之薄片電阻之分布進行測量,藉此調查膜厚的分布狀況。具體而言,係對晶圓上之49點的薄片電阻進行測量,算出其標準偏差(σ)。
其結果同樣地示於表2。由表2清楚可知,於本實施例,從濺鍍初期至後期,薄片內電阻分布之變動小(2.3~2.7%),亦即表示膜厚分布之變動小。
又,對濺鍍之至初期穩定化為止的電力量進行測量,為90kWh,已減少。此結果亦示於表2。以此方式可將預燒時間縮短化,且膜之均勻性(uniformity)良好,可提升濺鍍成膜之品質。
對純度99.999%之鉭添加有鎢20massppm相當量之原料進行電子束熔解,對其進行鑄造製成厚度200mm、直徑200mmψ之鑄錠。此時之結晶粒徑約為40mm。
接著,以室溫對此鑄錠或小胚進行粗軋後,以1500K之溫度進行再結晶退火。藉此得到平均結晶粒徑具有200μm之組織之厚度120mm、直徑130mmψ的材料。
接著,再次以室溫對其進行粗軋及鍛粗鍛造後,再次以1400~1500K溫度實施再結晶退火。再次重複進行鍛造、熱處理,藉此得到平均結晶粒徑具有100μm之組織之厚度120mm、直徑130mmψ的材料。
接著,以低溫對其進行壓延及再結晶退火,然後進行
精加工,製成厚度10mm、直徑450mmψ之靶材。以成為以下之平均結晶粒徑及結晶粒徑之變動的方式,調節中途及最後之冷加工以及再結晶退火。另,此平均結晶粒徑與變動,雖然亦會因鎢的添加量而變化,但於本實施例中,可進行此等之調節。
靶的平均結晶粒徑為85μm,結晶粒徑之變動為±10%。且,鎢含量之變動為±12%。此結果同樣地示於表2。
由於薄片電阻取決於膜厚,因此對晶圓(12吋)內之薄片電阻之分布進行測量,藉此調查膜厚的分布狀況。具體而言,係對晶圓上之49點的薄片電阻進行測量,算出其標準偏差(σ)。
其結果同樣地示於表2。由表2清楚可知,於本實施例,從濺鍍初期至後期,薄片內電阻分布之變動小(2.0~2.2%),亦即表示膜厚分布之變動小。
又,對濺鍍之至初期穩定化為止的電力量進行測量,為87kWh,已減少。此結果亦示於表2。以此方式可將預燒時間縮短化,且膜之均勻性(uniformity)良好,可提升濺鍍成膜之品質。
對純度99.999%之鉭添加有鎢50massppm相當量之原料進行電子束熔解,對其進行鑄造製成厚度200mm、直徑200mmψ之鑄錠。此時之結晶粒徑約為35mm。
接著,以室溫對此鑄錠或小胚進行粗軋後,以1500K之溫度進行再結晶退火。藉此得到平均結晶粒徑具有200
μm之組織之厚度120mm、直徑130mmψ的材料。
接著,再次以室溫對其進行粗軋及鍛粗鍛造後,再次以1400~1500K溫度實施再結晶退火。再次重複進行鍛造、熱處理,藉此得到平均結晶粒徑具有100μm之組織之厚度120mm、直徑130mmψ的材料。
接著,對其以低溫進行粗軋與鍛粗鍛造及再結晶退火,然後進行精加工,製成厚度10mm、直徑450mmψ之靶材。以成為以下之平均結晶粒徑及結晶粒徑之變動的方式,調節中途及最後之冷加工以及再結晶退火。另,此平均結晶粒徑與變動,雖然亦會因鎢的添加量而變化,但於本實施例中,可進行此等之調節。
靶的平均結晶粒徑為80μm,結晶粒徑之變動為±8%。且,鎢含量之變動為±10%。此結果同樣地示於表2。
由於薄片電阻取決於膜厚,因此對晶圓(12吋)內之薄片電阻之分布進行測量,藉此調查膜厚的分布狀況。具體而言,係對晶圓上之49點的薄片電阻進行測量,算出其標準偏差(σ)。
其結果同樣地示於表2。由表2清楚可知,於本實施例,從濺鍍初期至後期,薄片內電阻分布之變動小(1.7~1.9%),亦即表示膜厚分布之變動小。
又,對濺鍍之至初期穩定化為止的電力量進行測量,為85kWh,已減少。此結果亦示於表2。以此方式可將預燒時間縮短化,且膜之均勻性(uniformity)良好,可提升濺鍍成膜之品質。
對純度99.999%之鉭添加有鎢70massppm相當量之原料進行電子束熔解,對其進行鑄造製成厚度200mm、直徑200mmψ之鑄錠。此時之結晶粒徑約為30mm。
接著,以室溫對此鑄錠或小胚進行粗軋後,以1500K之溫度進行再結晶退火。藉此得到平均結晶粒徑具有200μm之組織之厚度120mm、直徑130mmψ的材料。
接著,再次以室溫對其進行粗軋及鍛粗鍛造後,再次以1400~1500K溫度實施再結晶退火。再次重複進行鍛造、熱處理,藉此得到平均結晶粒徑具有100μm之組織之厚度120mm、直徑130mmψ的材料。
接著,以低溫對其進行壓延及再結晶退火,然後進行精加工,製成厚度10mm、直徑450mmψ之靶材。以成為以下之平均結晶粒徑及結晶粒徑之變動的方式,調節中途及最後之冷加工以及再結晶退火。另,此平均結晶粒徑與變動,雖然亦會因鎢的添加量而變化,但於本實施例中,可進行此等之調節。
靶的平均結晶粒徑為75μm,結晶粒徑之變動為±7%。且,鎢含量之變動為±8%。此結果同樣地示於表2。
由於薄片電阻取決於膜厚,因此對晶圓(12吋)內之薄片電阻之分布進行測量,藉此調查膜厚的分布狀況。具體而言,係對晶圓上之49點的薄片電阻進行測量,算出其標準偏差(σ)。
其結果同樣地示於表2。由表2清楚可知,於本實施例,
從濺鍍初期至後期,薄片內電阻分布之變動小(1.3~1.5%),亦即表示膜厚分布之變動小。
又,對濺鍍之至初期穩定化為止的電力量進行測量,為82kWh,已減少。此結果亦示於表2。以此方式可將預燒時間縮短化,且膜之均勻性(uniformity)良好,可提升濺鍍成膜之品質。
對純度99.999%之鉭添加有鎢100massppm相當量之原料進行電子束熔解,對其進行鑄造製成厚度200mm、直徑200mmψ之鑄錠。此時之結晶粒徑約為25mm。
接著,以室溫對此鑄錠或小胚進行粗軋後,以1500K之溫度進行再結晶退火。藉此得到平均結晶粒徑具有200μm之組織之厚度120mm、直徑130mmψ的材料。
接著,再次以室溫對其進行粗軋及鍛粗鍛造後,再次以1400~1500K溫度實施再結晶退火。再次重複進行鍛造、熱處理,藉此得到平均結晶粒徑具有100μm之組織之厚度120mm、直徑130mmψ的材料。
接著,以低溫對其進行壓延及再結晶退火,然後進行精加工,製成厚度10mm、直徑450mmψ之靶材。以成為以下之平均結晶粒徑及結晶粒徑之變動的方式,調節中途及最後之冷加工以及再結晶退火。另,此平均結晶粒徑與變動,雖然亦會因鎢的添加量而變化,但於本實施例中,可進行此等之調節。
靶的平均結晶粒徑為70μm,結晶粒徑之變動為±5%。
且,鎢含量之變動為±6%。此結果同樣地示於表2。
由於薄片電阻取決於膜厚,因此對晶圓(12吋)內之薄片電阻之分布進行測量,藉此調查膜厚的分布狀況。具體而言,係對晶圓上之49點的薄片電阻進行測量,算出其標準偏差(σ)。
其結果同樣地示於表2。由表2清楚可知,於本實施例,從濺鍍初期至後期,薄片內電阻分布之變動小(1.0~1.2%),亦即表示膜厚分布之變動小。
又,對濺鍍之至初期穩定化為止的電力量進行測量,為80kWh,已減少。此結果亦示於表2。以此方式可將預燒時間縮短化,且膜之均勻性(uniformity)良好,可提升濺鍍成膜之品質。
對純度99.995%之鉭添加有鎢0.5massppm相當量之原料進行電子束熔解,對其進行鑄造製成厚度200mm、直徑200mmψ之鑄錠。此時之結晶粒徑約為60mm。
接著,以室溫對此鑄錠或小胚進行粗軋後,以1500K之溫度進行再結晶退火。藉此得到平均結晶粒徑具有200μm之組織之厚度120mm、直徑130mmψ的材料。
接著,再次以室溫對其進行粗軋及鍛粗鍛造後,再次以1400~1500K溫度實施再結晶退火。再次重複進行鍛造、熱處理,藉此得到平均結晶粒徑具有100μm之組織之厚度120mm、直徑130mmψ的材料。
接著,以低溫對其進行壓延及再結晶退火,然後進行
精加工,製成厚度10mm、直徑450mmψ之靶材。以成為適度之平均結晶粒徑及結晶粒徑之變動的方式,調節中途及最後之冷加工以及再結晶退火,但是於本比較例中,無法進行此等之調節。
靶的平均結晶粒徑為130μm,結晶粒徑之變動為±35%。且,鎢含量之變動為±40%。此結果同樣地示於表2。
由於薄片電阻取決於膜厚,因此對晶圓(12吋)內之薄片電阻之分布進行測量,藉此調查膜厚的分布狀況。具體而言,係對晶圓上之49點的薄片電阻進行測量,算出其標準偏差(σ)。
其結果同樣地示於表2。由表2清楚可知,於本比較例,從濺鍍初期至後期,薄片內電阻分布之變動大(3.8~6.0%),亦即表示膜厚分布之變動大。
又,對濺鍍之至初期穩定化為止的電力量進行測量,為200kWh,已增加。此結果亦示於表2。以此方式無法將預燒時間縮短化,膜之均勻性(uniformity)亦不良,無法提升濺鍍成膜之品質。
以上,雖然亦對純度99.999%之鉭添加有鎢0.5massppm之情形進行相同的試驗,但是發現與此比較例1相同的傾向。此清楚可知亦會對鉭的純度造成影響。
對純度99.999%之鉭添加有鎢150massppm相當量之原料進行電子束熔解,對其進行鑄造製成厚度200mm、直徑200mmψ之鑄錠。此時之結晶粒徑約為20mm。
接著,以室溫對此鑄錠或小胚進行粗軋後,以1500K之溫度進行再結晶退火。藉此得到平均結晶粒徑具有200μm之組織之厚度120mm、直徑130mmψ的材料。
接著,再次以室溫對其進行粗軋及鍛粗鍛造後,再次以1400~1500K溫度實施再結晶退火。再次重複進行鍛造、熱處理,藉此得到平均結晶粒徑具有100μm之組織之厚度120mm、直徑130mmψ的材料。
接著,以低溫對其進行壓延及再結晶退火,然後進行精加工,製成厚度10mm、直徑450mmψ之靶材。以成為適度之平均結晶粒徑及結晶粒徑之變動的方式,調節中途及最後之冷加工以及再結晶退火,但是於本比較例中,無法進行此等之調節,靶的平均結晶粒徑大致為80μm,但結晶粒徑之變動為±50%,偏析所引起之變動大。且,鎢含量之變動為±70%。此結果同樣地示於表2。
由於薄片電阻取決於膜厚,因此對晶圓(12吋)內之薄片電阻之分布進行測量,藉此調查膜厚的分布狀況。具體而言,係對晶圓上之49點的薄片電阻進行測量,算出其標準偏差(σ)。
其結果同樣地示於表2。由表2清楚可知,於本比較例,從濺鍍初期至後期,薄片內電阻分布之變動大(4.5~7.0%),亦即表示膜厚分布之變動大。
又,對濺鍍之至初期穩定化為止的電力量進行測量,為130kWh,已增加。此結果亦示於表2。以此方式無法將預燒時間縮短化,膜之均勻性(uniformity)亦不良,無法提
升濺鍍成膜之品質。
對純度99.998%之鉭添加有2.2massppm之鎢、32massppm之鉬、12massppm之鈮(合計添加量為46.2massppm)之原料進行電子束熔解,對其進行鑄造製成厚度200mm、直徑200mmψ之鑄錠。此時之結晶粒徑約為55mm。
接著,以室溫對此鑄錠或小胚進行粗軋後,以1500K之溫度進行再結晶退火。藉此得到平均結晶粒徑具有200μm之組織之厚度120mm、直徑130mmψ的材料。
接著,再次以室溫對其進行粗軋及鍛粗鍛造後,再次以1400~1500K溫度實施再結晶退火。再次重複進行鍛造、熱處理,藉此得到平均結晶粒徑具有130μm之組織之厚度120mm、直徑130mmψ的材料。
接著,以低溫對其進行壓延及1173K之再結晶退火,然後進行精加工,製成厚度10mm、直徑450mmψ之靶材。
靶的平均結晶粒徑為85μm,結晶粒徑之變動為±11%。且,鎢、鉬、鈮含量的變動在±6%以內。以上之結果示於表3。
由於薄片電阻取決於膜厚,因此對晶圓(12吋)內之薄片電阻之分布進行測量,藉此調查膜厚的分布狀況。具體而言,係對晶圓上之49點的薄片電阻進行測量,算出其標準偏差(σ)。
其結果同樣地示於表3。由表3清楚可知,於本實施例,
從濺鍍初期至後期,薄片內電阻分布之變動小(2.0~2.5%),亦即表示膜厚分布之變動小。
又,對濺鍍之至初期穩定化為止的電力量進行測量,為55kWh,已減少。此結果亦示於表3。以此方式可將預燒時間縮短化,且膜之均勻性(uniformity)良好,可提升濺鍍成膜之品質。
對純度99.998%之鉭添加有3.2massppm之鎢、67massppm之鉬、2.4massppm之鈮(合計添加量為72.6massppm)之原料進行電子束熔解,對其進行鑄造製成厚度200mm、直徑200mmψ之鑄錠。此時之結晶粒徑約為55mm。
接著,以室溫對此鑄錠或小胚進行粗軋後,以1500K之溫度進行再結晶退火。藉此得到平均結晶粒徑具有200μm之組織之厚度120mm、直徑130mmψ的材料。
接著,再次以室溫對其進行粗軋及鍛粗鍛造後,再次以1400~1500K溫度實施再結晶退火。再次重複進行鍛造、熱處理,藉此得到平均結晶粒徑具有130μm之組織之厚度120mm、直徑130mmψ的材料。
接著,以低溫對其進行壓延及1173K之再結晶退火,然後進行精加工,製成厚度10mm、直徑450mmψ之靶材。
靶的平均結晶粒徑為50μm,結晶粒徑之變動為±7%。且,鎢、鉬、鈮含量的變動在±8%以內。以上之結果示於表3。
由於薄片電阻取決於膜厚,因此對晶圓(12吋)內之薄片電阻之分布進行測量,藉此調查膜厚的分布狀況。具體而言,係對晶圓上之49點的薄片電阻進行測量,算出其標準偏差(σ)。
其結果同樣地示於表3。由表3清楚可知,於本實施例,從濺鍍初期至後期,薄片內電阻分布之變動小(1.5~1.9
%),亦即表示膜厚分布之變動小。
又,對濺鍍之至初期穩定化為止的電力量進行測量,為40kWh,已減少。此結果亦示於表3。以此方式可將預燒時間縮短化,且膜之均勻性(uniformity)良好,可提升濺鍍成膜之品質。
對純度99.998%之鉭添加有3.7massppm之鎢、0.9massppm之鉬、5.1massppm之鈮(合計添加量為9.7massppm)之原料進行電子束熔解,對其進行鑄造製成厚度200mm、直徑200mmψ之鑄錠。此時之結晶粒徑約為55mm。
接著,以室溫對此鑄錠或小胚進行粗軋後,以1500K之溫度進行再結晶退火。藉此得到平均結晶粒徑具有200μm之組織之厚度120mm、直徑130mmψ的材料。
接著,再次以室溫對其進行粗軋及鍛粗鍛造後,再次以1400~1500K溫度實施再結晶退火。再次重複進行鍛造、熱處理,藉此得到平均結晶粒徑具有150μm之組織之厚度120mm、直徑130mmψ的材料。
接著,以低溫對其進行壓延及1173K之再結晶退火,然後進行精加工,製成厚度10mm、直徑450mmψ之靶材。
靶的平均結晶粒徑為95μm,結晶粒徑之變動為±18%。且,鎢、鉬、鈮含量的變動在±12%以內。此結果示於表3。
由於薄片電阻取決於膜厚,因此對晶圓(12吋)內之薄
片電阻之分布進行測量,藉此調查膜厚的分布狀況。具體而言,係對晶圓上之49點的薄片電阻進行測量,算出其標準偏差(σ)。
其結果同樣地示於表3。由表3清楚可知,於本實施例,從濺鍍初期至後期,薄片內電阻分布之變動小(2.3~3.2%),亦即表示膜厚分布之變動小。
又,對濺鍍之至初期穩定化為止的電力量進行測量,為80kWh,已減少。此結果亦示於表3。以此方式可將預燒時間縮短化,且膜之均勻性(uniformity)良好,可提升濺鍍成膜之品質。
對純度99.998%之鉭添加有11massppm之鎢、16massppm之鈮(此情形,未添加鉬;合計添加量為27massppm)之原料進行電子束熔解,對其進行鑄造製成厚度200mm、直徑200mmψ之鑄錠。此時之結晶粒徑約為55mm。
接著,以室溫對此鑄錠或小胚進行粗軋後,以1500K之溫度進行再結晶退火。藉此得到平均結晶粒徑具有200μm之組織之厚度120mm、直徑130mmψ的材料。
接著,再次以室溫對其進行粗軋及鍛粗鍛造後,再次以1400~1500K溫度實施再結晶退火。再次重複進行鍛造、熱處理,藉此得到平均結晶粒徑具有130μm之組織之厚度120mm、直徑130mmψ的材料。
接著,以低溫對其進行壓延及1173K之再結晶退火,
然後進行精加工,製成厚度10mm、直徑450mmψ之靶材。
靶的平均結晶粒徑為92μm,結晶粒徑之變動為±13%。且,鎢、鈮含量的變動在±16%以內。此結果示於表3。
由於薄片電阻取決於膜厚,因此對晶圓(12吋)內之薄片電阻之分布進行測量,藉此調查膜厚的分布狀況。具體而言,係對晶圓上之49點的薄片電阻進行測量,算出其標準偏差(σ)。
其結果同樣地示於表3。由表3清楚可知,於本實施例,從濺鍍初期至後期,薄片內電阻分布之變動小(2.2~2.9%),亦即表示膜厚分布之變動小。
又,對濺鍍之至初期穩定化為止的電力量進行測量,為60kWh,已減少。此結果亦示於表3。以此方式可將預燒時間縮短化,且膜之均勻性(uniformity)良好,可提升濺鍍成膜之品質。
對純度99.998%之鉭添加有12massppm之鎢、1.5massppm之鉬、18massppm之鈮(合計添加量為31.5massppm)之原料進行電子束熔解,對其進行鑄造製成厚度200mm、直徑200mmψ之鑄錠。此時之結晶粒徑約為55mm。
接著,以室溫對此鑄錠或小胚進行粗軋後,以1500K之溫度進行再結晶退火。藉此得到平均結晶粒徑具有200μm之組織之厚度120mm、直徑130mmψ的材料。
接著,再次以室溫對其進行粗軋及鍛粗鍛造後,再次
以1400~1500K溫度實施再結晶退火。再次重複進行鍛造、熱處理,藉此得到平均結晶粒徑具有130μm之組織之厚度120mm、直徑130mmψ的材料。
接著,以低溫對其進行壓延及1173K之再結晶退火,然後進行精加工,製成厚度10mm、直徑450mmψ之靶材。
靶的平均結晶粒徑為90μm,結晶粒徑之變動為±14%。且,鎢、鉬、鈮含量的變動在±10%以內。以上之結果示於表3。
由於薄片電阻取決於膜厚,因此對晶圓(12吋)內之薄片電阻之分布進行測量,藉此調查膜厚的分布狀況。具體而言,係對晶圓上之49點的薄片電阻進行測量,算出其標準偏差(σ)。
其結果同樣地示於表3。由表3清楚可知,於本實施例,從濺鍍初期至後期,薄片內電阻分布之變動小(2.0~2.5%),亦即表示膜厚分布之變動小。
又,對濺鍍之至初期穩定化為止的電力量進行測量,為55kWh,已減少。此結果亦示於表3。以此方式可將預燒時間縮短化,且膜之均勻性(uniformity)良好,可提升濺鍍成膜之品質。
對純度99.998%之鉭添加有17massppm之鎢、42massppm之鈮(此情形,未添加鉬;合計量為59massppm)之原料進行電子束熔解,對其進行鑄造製成厚度200mm、直徑200mmψ之鑄錠。此時之結晶粒徑約為55mm。
接著,以室溫對此鑄錠或小胚進行粗軋後,以1500K之溫度進行再結晶退火。藉此得到平均結晶粒徑具有200μm之組織之厚度120mm、直徑130mmψ的材料。
接著,再次以室溫對其進行粗軋及鍛粗鍛造後,再次以1400~1500K溫度實施再結晶退火。再次重複進行鍛造、熱處理,藉此得到平均結晶粒徑具有130μm之組織之厚度120mm、直徑130mmψ的材料。
接著,以低溫對其進行壓延及1173K之再結晶退火,然後進行精加工,製成厚度10mm、直徑450mmψ之靶材。
靶的平均結晶粒徑為55μm,結晶粒徑之變動為±7%。且,鎢、鈮含量的變動在±11%以內。以上之結果示於表3。
由於薄片電阻取決於膜厚,因此對晶圓(12吋)內之薄片電阻之分布進行測量,藉此調查膜厚的分布狀況。具體而言,係對晶圓上之49點的薄片電阻進行測量,算出其標準偏差(σ)。
其結果同樣地示於表3。由表3清楚可知,於本實施例,從濺鍍初期至後期,薄片內電阻分布之變動小(1.4~1.7%),亦即表示膜厚分布之變動小。
又,對濺鍍之至初期穩定化為止的電力量進行測量,為45kWh,已減少。此結果亦示於表3。以此方式可將預燒時間縮短化,且膜之均勻性(uniformity)良好,可提升濺鍍成膜之品質。
對純度99.998%之鉭添加有18massppm之鎢、
2.1massppm之鉬、22massppm之鈮(合計添加量為42.1massppm)之原料進行電子束熔解,對其進行鑄造製成厚度200mm、直徑200mmψ之鑄錠。此時之結晶粒徑約為55mm。
接著,以室溫對此鑄錠或小胚進行粗軋後,以1500K之溫度進行再結晶退火。藉此得到平均結晶粒徑具有200μm之組織之厚度120mm、直徑130mmψ的材料。
接著,再次以室溫對其進行粗軋及鍛粗鍛造後,再次以1400~1500K溫度實施再結晶退火。再次重複進行鍛造、熱處理,藉此得到平均結晶粒徑具有130μm之組織之厚度120mm、直徑130mmψ的材料。
接著,以低溫對其進行壓延及1173K之再結晶退火,然後進行精加工,製成厚度10mm、直徑450mmψ之靶材。
靶的平均結晶粒徑為87μm,結晶粒徑之變動為±12%。且,鎢、鉬、鈮含量的變動在±11%以內。以上之結果示於表3。
由於薄片電阻取決於膜厚,因此對晶圓(12吋)內之薄片電阻之分布進行測量,藉此調查膜厚的分布狀況。具體而言,係對晶圓上之49點的薄片電阻進行測量,算出其標準偏差(σ)。
其結果同樣地示於表3。由表3清楚可知,於本實施例,從濺鍍初期至後期,薄片內電阻分布之變動小(1.9~2.3%),亦即表示膜厚分布之變動小。
又,對濺鍍之至初期穩定化為止的電力量進行測量,
為50kWh,已減少。此結果亦示於表3。以此方式可將預燒時間縮短化,且膜之均勻性(uniformity)良好,可提升濺鍍成膜之品質。
對純度99.998%之鉭添加有23massppm之鎢、0.69massppm之鉬、25massppm之鈮(合計添加量為48.69massppm)之原料進行電子束熔解,對其進行鑄造製成厚度200mm、直徑200mmψ之鑄錠。此時之結晶粒徑約為55mm。
接著,以室溫對此鑄錠或小胚進行粗軋後,以1500K之溫度進行再結晶退火。藉此得到平均結晶粒徑具有200μm之組織之厚度120mm、直徑130mmψ的材料。
接著,再次以室溫對其進行粗軋及鍛粗鍛造後,再次以1400~1500K溫度實施再結晶退火。再次重複進行鍛造、熱處理,藉此得到平均結晶粒徑具有130μm之組織之厚度120mm、直徑130mmψ的材料。
接著,以低溫對其進行壓延及1173K之再結晶退火,然後進行精加工,製成厚度10mm、直徑450mmψ之靶材。
靶的平均結晶粒徑為73μm,結晶粒徑之變動為±8%。且,鎢、鉬、鈮含量的變動在±15%以內。以上之結果示於表3。
由於薄片電阻取決於膜厚,因此對晶圓(12吋)內之薄片電阻之分布進行測量,藉此調查膜厚的分布狀況。具體而言,係對晶圓上之49點的薄片電阻進行測量,算出其標
準偏差(σ)。
其結果同樣地示於表3。由表3清楚可知,於本實施例,從濺鍍初期至後期,薄片內電阻分布之變動小(1.7~2.3%),亦即表示膜厚分布之變動小。
又,對濺鍍之至初期穩定化為止的電力量進行測量,為45kWh,已減少。此結果亦示於表3。以此方式可將預燒時間縮短化,且膜之均勻性(uniformity)良好,可提升濺鍍成膜之品質。
對純度99.998%之鉭添加有24massppm之鎢、0.97massppm之鉬、75massppm之鈮(合計添加量為99.97massppm)之原料進行電子束熔解,對其進行鑄造製成厚度200mm、直徑200mmψ之鑄錠。此時之結晶粒徑約為55mm。
接著,以室溫對此鑄錠或小胚進行粗軋後,以1500K之溫度進行再結晶退火。藉此得到平均結晶粒徑具有200μm之組織之厚度120mm、直徑130mmψ的材料。
接著,再次以室溫對其進行粗軋及鍛粗鍛造後,再次以1400~1500K溫度實施再結晶退火。再次重複進行鍛造、熱處理,藉此得到平均結晶粒徑具有120μm之組織之厚度120mm、直徑130mmψ的材料。
接著,以低溫對其進行壓延及1173K之再結晶退火,然後進行精加工,製成厚度10mm、直徑450mmψ之靶材。
靶的平均結晶粒徑為47μm,結晶粒徑之變動為±5%。
且,鎢、鉬、鈮含量的變動在±8%以內。以上之結果示於表3。
由於薄片電阻取決於膜厚,因此對晶圓(12吋)內之薄片電阻之分布進行測量,藉此調查膜厚的分布狀況。具體而言,係對晶圓上之49點的薄片電阻進行測量,算出其標準偏差(σ)。
其結果同樣地示於表3。由表3清楚可知,於本實施例,從濺鍍初期至後期,薄片內電阻分布之變動小(1.3~1.6%),亦即表示膜厚分布之變動小。
又,對濺鍍之至初期穩定化為止的電力量進行測量,為35kWh,已減少。此結果亦示於表3。以此方式可將預燒時間縮短化,且膜之均勻性(uniformity)良好,可提升濺鍍成膜之品質。
對純度99.998%之鉭添加有53massppm之鎢、1.4massppm之鉬(此情形,未添加鈮;合計添加量為54.4massppm)之原料進行電子束熔解,對其進行鑄造製成厚度200mm、直徑200mmψ之鑄錠。此時之結晶粒徑約為55mm。
接著,以室溫對此鑄錠或小胚進行粗軋後,以1500K之溫度進行再結晶退火。藉此得到平均結晶粒徑具有200μm之組織之厚度120mm、直徑130mmψ的材料。
接著,再次以室溫對其進行粗軋及鍛粗鍛造後,再次以1400~1500K溫度實施再結晶退火。再次重複進行鍛造、
熱處理,藉此得到平均結晶粒徑具有130μm之組織之厚度120mm、直徑130mmψ的材料。
接著,以低溫對其進行壓延及1173K之再結晶退火,然後進行精加工,製成厚度10mm、直徑450mmψ之靶材。
靶的平均結晶粒徑為60μm,結晶粒徑之變動為±10%。且,鎢、鉬含量的變動在±9%以內。以上之結果示於表3。
由於薄片電阻取決於膜厚,因此對晶圓(12吋)內之薄片電阻之分布進行測量,藉此調查膜厚的分布狀況。具體而言,係對晶圓上之49點的薄片電阻進行測量,算出其標準偏差(σ)。
其結果同樣地示於表3。由表3清楚可知,於本實施例,從濺鍍初期至後期,薄片內電阻分布之變動小(1.6~2.6%),亦即表示膜厚分布之變動小。
又,對濺鍍之至初期穩定化為止的電力量進行測量,為50kWh,已減少。此結果亦示於表3。以此方式可將預燒時間縮短化,且膜之均勻性(uniformity)良好,可提升濺鍍成膜之品質。
對純度99.998%之鉭添加有57massppm之鎢、48massppm之鉬、45massppm之鈮(合計添加量為150massppm)之原料進行電子束熔解,對其進行鑄造製成厚度200mm、直徑200mmψ之鑄錠。此時之結晶粒徑約為55mm。
接著,以室溫對此鑄錠或小胚進行粗軋後,以1500K之溫度進行再結晶退火。藉此得到平均結晶粒徑具有200μm之組織之厚度120mm、直徑130mmψ的材料。
接著,再次以室溫對其進行粗軋及鍛粗鍛造後,再次以1400~1500K溫度實施再結晶退火。再次重複進行鍛造、熱處理,藉此得到平均結晶粒徑具有100μm之組織之厚度120mm、直徑130mmψ的材料。
接著,以低溫對其進行壓延及1173K之再結晶退火,然後進行精加工,製成厚度10mm、直徑450mmψ之靶材。
靶的平均結晶粒徑為40μm,結晶粒徑之變動為±7%。且,鎢、鉬、鈮含量的變動在±15%以內。以上之結果示於表3。
由於薄片電阻取決於膜厚,因此對晶圓(12吋)內之薄片電阻之分布進行測量,藉此調查膜厚的分布狀況。具體而言,係對晶圓上之49點的薄片電阻進行測量,算出其標準偏差(σ)。
其結果同樣地示於表3。由表3清楚可知,於本實施例,從濺鍍初期至後期,薄片內電阻分布之變動小(1.5~2.3%),亦即表示膜厚分布之變動小。
又,對濺鍍之至初期穩定化為止的電力量進行測量,為55kWh,已減少。此結果亦示於表3。以此方式可將預燒時間縮短化,且膜之均勻性(uniformity)良好,可提升濺鍍成膜之品質。
對純度99.998%之鉭添加有70massppm之鎢、31.5massppm之鉬、44.7massppm之鈮(合計添加量為146.2massppm)之原料進行電子束熔解,對其進行鑄造製成厚度200mm、直徑200mmψ之鑄錠。此時之結晶粒徑約為55mm。
接著,以室溫對此鑄錠或小胚進行粗軋後,以1500K之溫度進行再結晶退火。藉此得到平均結晶粒徑具有200μm之組織之厚度120mm、直徑130mmψ的材料。
接著,再次以室溫對其進行粗軋及鍛粗鍛造後,再次以1400~1500K溫度實施再結晶退火。再次重複進行鍛造、熱處理,藉此得到平均結晶粒徑具有100μm之組織之厚度120mm、直徑130mmψ的材料。
接著,以低溫對其進行壓延及1173K之再結晶退火,然後進行精加工,製成厚度10mm、直徑450mmψ之靶材。
靶的平均結晶粒徑為41μm,結晶粒徑之變動為±8%。且,鎢、鉬、鈮含量的變動在±17%以內。以上之結果示於表3。
由於薄片電阻取決於膜厚,因此對晶圓(12吋)內之薄片電阻之分布進行測量,藉此調查膜厚的分布狀況。具體而言,係對晶圓上之49點的薄片電阻進行測量,算出其標準偏差(σ)。
其結果同樣地示於表3。由表3清楚可知,於本實施例,從濺鍍初期至後期,薄片內電阻分布之變動小(1.6~2.1%),亦即表示膜厚分布之變動小。
又,對濺鍍之至初期穩定化為止的電力量進行測量,為50kWh,已減少。此結果亦示於表3。以此方式可將預燒時間縮短化,且膜之均勻性(uniformity)良好,可提升濺鍍成膜之品質。
對純度99.998%之鉭添加有69.8massppm之鎢、50massppm之鉬、30massppm之鈮(合計添加量為149.8massppm)之原料進行電子束熔解,對其進行鑄造製成厚度200mm、直徑200mmψ之鑄錠。此時之結晶粒徑約為55mm。
接著,以室溫對此鑄錠或小胚進行粗軋後,以1500K之溫度進行再結晶退火。藉此得到平均結晶粒徑具有200μm之組織之厚度120mm、直徑130mmψ的材料。
接著,再次以室溫對其進行粗軋及鍛粗鍛造後,再次以1400~1500K溫度實施再結晶退火。再次重複進行鍛造、熱處理,藉此得到平均結晶粒徑具有100μm之組織之厚度120mm、直徑130mmψ的材料。
接著,以低溫對其進行壓延及1173K之再結晶退火,然後進行精加工,製成厚度10mm、直徑450mmψ之靶材。
靶的平均結晶粒徑為45μm,結晶粒徑之變動為±6%。且,鎢、鉬、鈮含量的變動在±15%以內。以上之結果示於表3。
由於薄片電阻取決於膜厚,因此對晶圓(12吋)內之薄片電阻之分布進行測量,藉此調查膜厚的分布狀況。具體
而言,係對晶圓上之49點的薄片電阻進行測量,算出其標準偏差(σ)。
其結果同樣地示於表3。由表3清楚可知,於本實施例,從濺鍍初期至後期,薄片內電阻分布之變動小(1.5~2.4%),亦即表示膜厚分布之變動小。
又,對濺鍍之至初期穩定化為止的電力量進行測量,為55kWh,已減少。此結果亦示於表3。以此方式可將預燒時間縮短化,且膜之均勻性(uniformity)良好,可提升濺鍍成膜之品質。
對純度99.995%之鉭添加有1.5massppm之鎢、120massppm之鉬、40massppm之鈮(合計添加量為161.5massppm)之原料進行電子束熔解,對其進行鑄造製成厚度200mm、直徑200mmψ之鑄錠。此時之結晶粒徑約為60mm。
接著,以室溫對此鑄錠或小胚進行粗軋後,以1500K之溫度進行再結晶退火。藉此得到平均結晶粒徑具有200μm之組織之厚度120mm、直徑130mmψ的材料。
接著,再次以室溫對其進行粗軋及鍛粗鍛造後,再次以1400~1500K溫度實施再結晶退火。再次重複進行鍛造、熱處理,藉此得到平均結晶粒徑具有100μm之組織之厚度120mm、直徑20mmψ的材料。
接著,以低溫對其進行壓延及再結晶退火,然後進行精加工,製成厚度10mm、直徑450mmψ之靶材。以成為適
度之平均結晶粒徑及結晶粒徑之變動的方式,調節中途及最後之冷加工以及再結晶退火,但是於本比較例中,無法進行此等之調節。
靶的平均結晶粒徑為34μm(存在未再結晶),結晶粒徑之變動為±60%。且,鎢、鉬、鈮含量的變動為±25%。此結果同樣地示於表3。
由於薄片電阻取決於膜厚,因此對晶圓(12吋)內之薄片電阻之分布進行測量,藉此調查膜厚的分布狀況。具體而言,係對晶圓上之49點的薄片電阻進行測量,算出其標準偏差(σ)。
其結果同樣地示於表3。由表3清楚可知,於本比較例,從濺鍍初期至後期,薄片內電阻分布之變動大(4.0~6.5%),亦即表示膜厚分布之變動大。
又,對濺鍍之至初期穩定化為止的電力量進行測量,為150kWh,已增加。此結果亦示於表3。以此方式無法將預燒時間縮短化,膜之均勻性(uniformity)亦不良,無法提升濺鍍成膜之品質。
對純度99.998%之鉭添加有5.5massppm之鎢、1.5massppm之鉬、150massppm之鈮(合計添加量為157massppm)之原料進行電子束熔解,對其進行鑄造製成厚度200mm、直徑200mmψ之鑄錠。此時之結晶粒徑約為20mm。
接著,以室溫對此鑄錠或小胚進行粗軋後,以1500K
之溫度進行再結晶退火。藉此得到平均結晶粒徑具有200μm之組織之厚度120mm、直徑130mmψ的材料。
接著,再次以室溫對其進行粗軋及鍛粗鍛造後,再次以1400~1500K溫度實施再結晶退火。再次重複進行鍛造、熱處理,藉此得到平均結晶粒徑具有100μm之組織之厚度120mm、直徑130mmψ的材料。
接著,以低溫對其進行壓延及再結晶退火,然後進行精加工,製成厚度10mm、直徑450mmψ之靶材。以成為適度之平均結晶粒徑及結晶粒徑之變動的方式,調節中途及最後之冷加工以及再結晶退火,但是於本比較例中,無法進行此等之調節,靶的平均結晶粒徑為15μm,含有未再結晶,結晶粒徑之變動為±50%,偏析所引起之變動大。且,鎢、鉬、鈮含量的變動為±30%。此結果同樣地示於表3。
由於薄片電阻取決於膜厚,因此對晶圓(12吋)內之薄片電阻之分布進行測量,藉此調查膜厚的分布狀況。具體而言,係對晶圓上之49點的薄片電阻進行測量,算出其標準偏差(σ)。
其結果同樣地示於表3。由表3清楚可知,於本比較例,從濺鍍初期至後期,薄片內電阻分布之變動大(5.2~7.5%),亦即表示膜厚分布之變動大。
又,對濺鍍之至初期穩定化為止的電力量進行測量,為300kWh,已增加。此結果亦示於表3。以此方式無法將預燒時間縮短化,膜之均勻性(uniformity)亦不良,無法提升濺鍍成膜之品質。
對純度99.998%之鉭添加有62.7massppm之鎢、53.4massppm之鉬、48.7massppm之鈮(合計添加量為164.8massppm)之原料進行電子束熔解,對其進行鑄造製成厚度200mm、直徑200mmψ之鑄錠。此時之結晶粒徑約為20mm。
接著,以室溫對此鑄錠或小胚進行粗軋後,以1500K之溫度進行再結晶退火。藉此得到平均結晶粒徑具有200μm之組織之厚度120mm、直徑130mmψ的材料。
接著,再次以室溫對其進行粗軋及鍛粗鍛造後,再次以1400~1500K溫度實施再結晶退火。再次重複進行鍛造、熱處理,藉此得到平均結晶粒徑具有100μm之組織之厚度120mm、直徑130mmψ的材料。
接著,以低溫對其進行壓延及再結晶退火,然後進行精加工,製成厚度10mm、直徑450mmψ之靶材。以成為適度之平均結晶粒徑及結晶粒徑之變動的方式,調節中途及最後之冷加工以及再結晶退火,但是於本比較例中,無法進行此等之調節,靶的平均結晶粒徑為20μm,含有未再結晶,結晶粒徑之變動為±50%,偏析所引起之變動大。
且,鎢、鉬、鈮含量的變動為±25%。此結果同樣地示於表3。
由於薄片電阻取決於膜厚,因此對晶圓(12吋)內之薄片電阻之分布進行測量,藉此調查膜厚的分布狀況。具體而言,係對晶圓上之49點的薄片電阻進行測量,算出其標
準偏差(σ)。
其結果同樣地示於表3。由表3清楚可知,於本比較例,從濺鍍初期至後期,薄片內電阻分布之變動大(4.1~6.7%),亦即表示膜厚分布之變動大。
又,對濺鍍之至初期穩定化為止的電力量進行測量,為170kWh,已增加。此結果亦示於表3。以此方式無法將預燒時間縮短化,膜之均勻性(uniformity)亦不良,無法提升濺鍍成膜之品質。
以上,當在純度99.998%之鉭添加鎢、鉬、鈮時,總添加量超過150massppm,結晶粒徑之粗大化與變動會快速變大,並且鎢、鈮、鉬含量之變動亦會變得顯著。此被認為是鎢、鉬、鈮產生偏析的結果,可知添加過量的鎢、鉬、鈮並不佳。
本發明具有以下之優異效果,藉由使鉭濺鍍靶中含有1massppm以上、100massppm以下之鎢作為必要成分,並使不計鎢及氣體成分之純度在99.998%以上,而可提供具備均一微細之組織、電漿穩定、膜之均勻性(uniformity)優異之高純度鉭濺鍍靶。又,濺鍍時之電漿穩定化,由於即使在初期之階段亦穩定化,因此具有可縮短預燒時間之效果,故適用作為適於電子學領域,特別是形成複雜形狀之被膜、回路或障壁膜等之靶。
Claims (3)
- 一種鉭濺鍍靶,含有1massppm以上、100massppm以下之鎢作為必要成分,惟,不包括10massppm以上、100massppm以下,另不計鎢及氣體成分之純度在99.998%以上,靶中之鎢含量的變動在±20%以下。
- 一種鉭濺鍍靶,含有1massppm以上、100massppm以下之鎢作為必要成分,不計鎢及氣體成分之純度在99.998%以上,靶中之鎢含量的變動在±20%以下,平均結晶粒徑在120μm以下。
- 如申請專利範圍第2項之鉭濺鍍靶,其結晶粒徑的變動在±20%以內。
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