TWI409848B - Ultraviolet radiation device - Google Patents

Description

紫外線照射裝置

本發明是關於具備準分子發光的準分子燈的紫外線照射裝置，尤其是關於具備複數準分子燈的紫外線照射裝置。

習知，在半導體基板或液晶基板的製造工程，將此些基板的洗淨作為目的使用著具備照射真空紫外線的準分子燈的紫外線照射裝置。在具備此種準分子燈的紫外線照射裝置，有專利文獻1所述者。

針對於習知的紫外線照射裝置1，使用第6圖進行說明。

第6圖是表示習知的紫外線照射裝置1的說明圖，對於具備於紫外線照射裝置1的準分子燈2的管軸方向的斷面圖。

習知的紫外線照射裝置1是由具備照射真空紫外線的準分子燈2的燈單元11，及搬運被照射物W的搬運單元12所構成。

燈單元11是由：準分子燈2，及昇壓對於準分子燈2的饋電電壓的變壓器6，及保持準分子燈2與變壓器6的筐體3所構成，針對於該詳細的構成，說明如下。

在筐體3，於其內部配置有準分子燈2與變壓器6，而在準分子燈2與變壓器6之間設有隔間壁32，設有配置有準分子燈2的光源部35與配置有變壓器6的電裝部 34。

筐體3的電裝部34是由：載置變壓器6的隔間壁32，及被連接於隔間壁32而且圍繞變壓器6的四方的電裝部側側壁341(在第6圖的變壓器6的紙面左右方向的電裝部側側壁341，及位於紙面內深正前方的未圖示的電裝部側側壁)，及設置成在電裝部側側壁341作成蓋的頂板31所構成。

筐體3的光源部35是由：保持準分子燈2的燈保持體36，及設有燈保持體36的隔間壁32，及被連接於隔間壁32而且圍繞準分子燈2的四方的光源部側側壁351(在第6圖的準分子燈2的紙面左右方向的光源部側側壁351，及位於紙面內深正前方的未圖示的光源部側側壁)所構成。

又，在光源部35，設有光透射窗4於光源部側側壁351成為蓋子。

為了電性地連接變壓器6與準分子燈2，在隔間壁32設有連通電裝部34與光源部35的貫通孔331，而在該貫通孔331，插通有電性地連接變壓器6與準分子燈2的饋電線5。

在隔間壁32的貫通孔331，為了空間性地隔開光源部35的內部與電裝部34的內部，而在插通饋電線5的狀態下設有密封體332。

上述的燈單元11是設置成被載置於搬運單元12上，搬運單元12是由搬運被照射物W的複數滾子121， 及旋轉驅動各滾子121的驅動體122所構成。

複數滾子121是排列成並行於燈單元11的光透射窗4的平面。

上述準分子燈2是由例如封入有如氙氣體的發光氣體的例如石英玻璃所成的放電容器，及設於放電容器的外周面的外側電極，及設於放電容器的內周面的內側電極所構成。

在準分子燈2的內側電極，經由饋電線5電性地連接有上述的變壓器6。又，在準分子燈2的外側電極，設有是例如不鏽鋼的電性傳導性的金屬構件所成的燈保持體36。

在準分子燈2的內側電極及外側電極，經由變壓器6連接有未圖示的高頻電源，而外側電極是經由抵接的燈保持體36被接地。所以，在燈點燈時，從未圖示的高頻電源饋電至準分子燈2的內側電極，而在位於被饋電的內側電極與被連接地的外側電極之間的放電容器21的內部開始準分子發光，例如在200nm以下具峰值波長的真空紫外線照射於放電容器21的外方。

從準分子燈2所照射的真空紫外線，是透射光透射窗4，而被照射於相對於光透射窗4被搬運的被照射物W。

搬運單元12的內部是大氣狀態，透射光透射窗4的真空紫外線，是在搬運單元12的內部被吸收在大氣中的氧氣，而發生臭氧氣體。所以，被照射物W是藉由真空紫外線與臭氧被處理。

作為設於準分子燈2的變壓器6，例如有專利文獻2者，在構成變壓器6的構件有包括例如矽樹脂的樹脂構件者。樹脂構件是當直接照射真空紫外線就被分解而有劣化的問題，又藉由臭氧也被分解而有劣化的問題。

所以，在變壓器6與準分子燈2之間，設有藉由未透射真空紫外線的例如鋁的金屬構件所構成的隔間壁32。又，配置變壓器6的電裝部34，是為了防止臭氧的流進，構成密閉構造。

又，在上述，說明了有關具有光透射窗4的紫外線照射裝置1，惟在習知的紫外線照射裝置，也有如專利文獻3所述的未具有光透射窗者。又，如專利文獻3所述的準分子燈，是記載著一對電極設於放電容器的外面者。

又，在上述，說明了具備一支準分子燈2的紫外線照射裝置1。惟在習知的紫外線照射裝置，如專利文獻4所述地也有設置複數準分子燈者，記載著在各準分子燈設有個別的變壓器的情形。

專利文獻1：日本特開2001-243923號公報

專利文獻2：日本特開2005-260007號公報

專利文獻3：日本特開2004-097986號公報

專利文獻4：日本特開2003-303694號公報

作為最近的期望，配合被照射物W的大型化而有準分子燈2的長度化，又為了縮短處理時間而有提昇來自準分子燈2的真空紫外線的照度。所以，以提昇被輸入於準 分子燈2的電力作為目的，必須提昇對於變壓器6的輸入電力。對於變壓器6的輸入電力成為如500W的高輸入時，則配置於如電裝部34的密閉空間的變壓器6是被加熱，若在構成變壓器6的構件含有樹脂時，則有藉由加熱會劣化該樹脂的問題。

尤其是，具備複數準分子燈2，而在各準分子燈2設置個別的變壓器6的情形，在燈點燈時各變壓器6被分別加熱之故，因而由各變壓器6相鄰接的變壓器6被加熱。而有提早樹脂劣化的問題。

所以，為了冷卻配置變壓器6的電裝部34內部，考量例如在電裝部34的電裝部側側壁341設置通風口，而且在該通風口設置導管，俾將冷卻風從導管朝著電裝部34內部送風，進行冷卻變壓器6。

然而，在構成變壓器6的構件含有樹脂時，則如上述地，則劣化變壓器6的例如臭氧氣體的腐蝕性氣體不會混進冷卻風的方式，設置除掉腐蝕性氣體的過濾器等，有裝置會複雜化的問題。又，若設置導管，則也有裝置變大型化的問題。

如此地，本發明的目的是在於提供一種一面把電裝部密閉，一面冷卻其密閉的電裝部的內部的紫外線照射裝置。

本發明的第1項發明的紫外線照射裝置，屬於由放電容器與經由該放電容器的放電空間相對配置的電極所構成的準分子燈；及分別電性地連接於複數該準分子燈，且配 置成左右交錯狀的變壓器；及保持該複數準分子燈與該複數變壓器，而且具備設於該複數準分子燈與該複數變壓器之間的隔間壁的筐體；及在該筐體內經由該隔間壁來圍繞該複數變壓器的電裝部所構成的紫外線照射裝置，其特徵為：在該電裝部，設有具備冷卻液的流路的冷卻手段，在該各變壓器的外方，設有個別地圍繞該各變壓器，而且具備經由該變壓器相對的一對開口部的風洞體，該風洞體是分別設置成左右交錯狀，而沿著前述準分子燈的管軸方向延伸，在該電裝部內部，設有從該風洞體的一方開口部送風至另一方開口部的送風手段。

第2項發明的紫外線照射裝置，是在第1項發明的紫外線照射裝置中，該隔間壁是在其內部具備冷卻液的流路的冷卻手段所構成。

第1項發明的紫外線照射裝置，是利用上述特徵，可冷卻變壓器。

第2項發明的紫外線照射裝置，是利用上述特徵，藉由以冷卻手段所構成的隔間壁進行冷卻來自準分子燈的照射熱，可抑制變壓器受到照射熱被加熱的情形。

本發明的紫外線照射裝置，是在圍繞變壓器的電裝部設有具冷卻液的流路的冷卻手段，而在變壓器的外方設置具有一對開口部的風洞體，設有從風洞體的一方開口部送風至另一方的開口部的送風手段。

首先，本發明的第1實施例的紫外線照射裝置，是針對於冷卻手段設於電裝部側側壁的構成加以說明。

第1圖是表示第1實施例的紫外線照射裝置1的說明圖，對於具備於紫外線照射裝置1的準分子燈2的管軸方向正交的斷面圖。第2圖是表示沿著第1圖的紫外線照射裝置1的準分子燈2的管軸方向的斷面圖(在第1圖中，紫外線照射裝置1的A-A斷面圖。

又，在第1圖及第2圖，與表示於第6圖者相同者給予同一符號。

第1實施例的紫外線照射裝置1是由：具備照射真空紫外線的準分子燈2的燈單元11，及搬運被照射物W的搬運單元12所構成。

燈單元11是由：準分子燈2，及昇壓對於準分子燈2的饋電電壓的變壓器6，及保持準分子燈2與變壓器6的筐體3所構成，針對於其詳細構成說明如下。

在筐體3，有準分子燈2與變壓器6配置於其內部，而在準分子燈2與變壓器6之間設有隔間壁32，設有準分子燈2所位置的光源部35及變壓器6所位置的電裝部34。

筐體3的電裝部34是由：具有載置變壓器6的長方形平面的板狀隔間壁32，及連接於隔間壁32的長方形平面的周緣，而且圍繞變壓器6的四方的電裝部側側壁341(對於第1圖的隔間壁32的長方形平面朝垂直方向的紙面上方延伸的電裝部側側壁341，及對於第2圖的隔間壁32的長方形平面朝垂直方向的紙面上方延伸的電裝部側側壁341)，及設置於電裝部側側壁341作成蓋子的頂板31所構成的六面構造所成，而在其內部具有密閉空間。

在電裝部34的密閉空間配置有複數變壓器6，複數變壓器6是成為被圍繞於電裝部34的狀態。

作為構成電裝部34的構件，例如有施以耐酸鋁處理的鋁或不鏽鋼所成的具耐臭氧性的金屬構件。

筐體3的光源部35是由：保持準分子燈2的兩端的燈保持體36，及設有燈保持體36，而且具有長方形平面的板狀隔間壁32，及連接於隔間壁32的長方形平面的周緣，而且圍繞準分子燈2的四方的光源部側側壁351(對於第1圖的隔間壁32的長方形平面朝垂直方向的紙面下方延伸的光源部側側壁351，及對於第2圖的隔間壁32的長方形平面朝垂直方向的紙面下方延伸的光源部側側壁351)所構成的五面構造所成。

在光源部35，於光源部側側壁351作成蓋子而且相對於隔間壁32的方式設有透射真空紫外線的例如石英玻璃的構件所成的板狀光透射窗4。

設有光透射窗4的光源部35是有複數準分子燈2配置於其內部，而複數準分子燈2是成為被圍繞於光源部35與光透射窗4的狀態。

作為構成光源部35的構件，例如有施以耐酸鋁處理的鋁或不鏽鋼所成的具耐紫外線性及耐臭氧性的金屬構件。

在複數準分子燈2，分別設有個別的變壓器6。例如在第1圖中，記載著3支準分子燈2，各準分子燈2的下述的內側電極(在第1圖及第2圖未圖示，而在下述的第3圖的符號222)分別經由饋電線5電性地連接有個別的變壓器6。

為了插通電性地連接各準分子燈2與各變壓器6的饋電線5，在隔間壁32，設有連通電裝部34與光源部35的貫通孔331。設於隔間壁32的貫通孔331是設置成削除位於準分子燈2與變壓器6之間的隔間壁32的一部分，例如第1圖所示地設有3支準分子燈2時，則設有對應於各準分子燈2的3部位的貫通孔331。

在設於隔間壁32的貫通孔331，在插通有電性地連接準分子燈2與變壓器6的饋電線5的狀態下，為了空間地隔開成未連通光源部35的內部與電裝部34的內部，設置具耐臭氧性的例如聚丙烯所成的密封體332。

在電裝部34的內部，複數變壓器6，是被載置於隔間壁32而且圍繞其外方的方式設有風洞體72。

風洞體72是表示於第1圖的斷面形狀構件，如第2圖所示地圍繞變壓器6外方的方式，設置成沿著準分子燈2的管軸方向延伸。在風洞體72，經由變壓器6設有相對的一對開口部721、722。風洞體72是設置複數成個別地圍繞配置於電裝部34內部的複數變壓器6。例如如第1圖地設有3具變壓器6時，則風洞體72也變壓器6別地設置，而設有合計3個風洞體72。作為構成風洞體72的構件，有具有電性絕緣性的例如玻璃環氧所成的樹脂構件。

在風洞體72一方開口部721，設有從一方開口部721朝另一方開口部722進行送風的例如冷卻風扇的送風手段71。送風手段71是為了冷卻變壓器6而設置之故，因而對應於各變壓器6的風洞體72別地被設置。

在電裝部34的內部，設有例如散熱器等的熱交換器的冷卻手段73。

冷卻手段73是在電裝部34內部，經由送風手段71配置成相對於一方的開口部721。又，如第1實施例所示地，具備複數變壓器6的情形，冷卻手段73是為了有效率地冷卻複數變壓器6，配置複數成為相對於設在各變壓器的各風洞體的各一方的開口部72。[參照下述的第4(b)圖]。

在冷卻手段73，設有流路731成為冷卻液L供應，排出於其內部。

如第2圖所示地，冷卻手段73的流路731，是從電裝部34的內部朝外部延伸的方式，從設於電裝部側側壁341的貫通孔342被導出。

在電裝部側側壁341的貫通孔342與冷卻手段73的流路731之間，設有例如鋁所成的密封體343，而將電裝部34的內部構成密閉空間。

從電裝部34所導出的流路731，是在電裝部34的外部，設有未圖示的循環手段，則流路731內部的冷卻液L被循環。

上述的燈單元11是設成被載置於搬運單元12上。

搬運單元12是由：搬運被照射物W的複數圓筒狀滾子121，及對於各滾子121的中心軸進行旋轉驅動的驅動體122所構成。

複數圓筒狀滾子121，是排列成並行於燈單元11的光透射窗4的平面。

針對於具備於上述的燈單元11的準分子燈2的構成的一例子，使用第3圖進行說明。

第3圖是表示第1圖所述的準分子燈2的說明圖。第3(a)圖是表示沿著構成準分子燈2的放電容器21的管軸方向的斷面圖，第3(b)圖表示對於構成準分子燈2的放電容器21的管軸方向正交的擴大斷面圖[參照第3(a)圖的B-B斷面的擴大圖]。

又，在第3圖中，在與表示於第1圖及第2圖者相同者給與同一符號。

準分子燈2是由：具有封入發光氣體的放電空間214的放電容器21，及經由放電空間214而相對配置的電極221、222所構成。

放電容器21是由：圓筒狀外側管211，及位於外側管211的內部，而且具有比外側管211的直徑還要小徑的直徑的圓筒狀內側管212，及將圓筒狀外側管211的管軸與圓筒狀內側管212的管軸保持成一致，而且設於外側管211與內側管212之管軸方向的兩端的圓環狀端壁部213所構成的雙重管構造所成。

在放電容器21，構成有藉由外側管211與內側管212及一對端壁部213所圍繞的放電空間214，而例如氙氣體的稀有氣體作為發光氣體封入於該放電空間214。

作為構成放電容器21的構件，例舉有如石英玻璃地具有介質性，而且對具有200nm以下的峰值波長的真空紫外線具有光透射性的構件。

在構成放電容器21的內側管212的內周面，設有圓筒狀內側電極222成為密接於其長度方向全面。

又，在構成放電容器21的外側管211的外周面，設有網狀外側電極221成為密接於其長度方向全面。

外側電極221與內側電極222，是藉由如此地設置，經由介質所構成的放電容器21的外側管211與內側管212及放電空間214被相對。

作為構成內側電極222及外側電極221的構件，例舉具有電性傳導性的例如銅．鎳合金的金屬構件。

在第3圖所表示的內側電極222及外側電極221，電性地連接有在第1圖所表示的變壓器6的未圖示的二次側，而變壓器6的未圖示的一次側電性地連接於未圖示的高頻電源。

又，在外側電極221的外周，設有例如施以耐酸鋁處理的鋁或不鏽鋼的金屬構件所成的燈保持體36，外側電極221是經由燈保持體36被接地。

上述第1實施例的紫外線照射裝置1是在燈點燈時，來自未圖示的高頻電源的饋電電壓藉由變壓器6被昇壓，而被饋電至準分子燈2。

被饋電的準分子燈2是藉由一對電極221、222間的電位差，開始依被封入在放電容器21的內部的發光氣體所致的準分子發光，而發光氣體為例如氙氣體時產生在172nm以下具有峰值波長的真空紫外線。在放電空間214所產生的真空紫外線是透射放電容器21，而被照射至準分子燈2的外方。

筐體3的光源部35是填充有例如氮氣體的惰性氣體之故，因而來自準分子燈2的真空紫外線，是不被吸收於惰性氣體，而透射光透射窗4而照射搬運單元12側。

搬運單元12的驅動體121，是被連接於未圖示的電源，旋轉驅動各滾子121。被載置於滾子121上的被照射物W，是藉由滾子121的旋轉驅動被搬運，而相對於光透射窗4。例如在第1圖中，被照射物W是從紙面右側被搬運至紙面左側，被移動至相對於光透射窗4的下方側。

搬運單元12的內部是大氣環境之故，因而透射光透射窗4的真空紫外線是一部分被吸收於大氣中的氧氣，惟被搬運的被照射物W與光透射窗4被近接配置，在全部被吸收於氧氣之前被照射於被照射物W。

如第2圖所示地，被照射物W，是在紙面左右方向為大型的情形，藉由將準分子燈2配置成鋸齒狀(在第2圖中，在紙面正前方側，將一方的準分子燈2配置於紙面右側，而在紙面內深側，將另一方的準分子燈2配置於紙面左側)，來自準分子燈2的真空紫外線照射於被照射物W全體，而被處理。又，在搬運單元12的內部，真空紫外線被氧氣吸收而產生臭氧，藉由該臭氧，被照射物W是被處理。

如上述地，第1實施例的紫外線照射裝置1，是筐體3的電裝部34的內部成為密閉空間之故，因而防止在搬運單元12所產生的臭氧流進電裝部34，可防止配置於電裝部34的內部的變壓器6被曝露在臭氧的情形。

第1實施例的紫外線照射裝置1是在燈點燈時，將對於準分子燈2的饋電電壓藉由變壓器6予以昇壓之故，因而變壓器6被加熱。針對於冷卻第1實施例的紫外線照射裝置1的變壓器6的構成及其作用‧效果，表示風洞體72，與此相較來說明。

第4(a)圖是表示比較例的紫外線照射裝置1的說明圖，沿著電裝部側側壁341的長度方向的斷面圖，第4(b)圖是表示第1實施例的紫外線照射裝置1的說明圖，沿著電裝部側側壁341的長度方向的斷面圖(在第1圖的C-C斷面圖)。

又，在第4圖，與表示於第1圖及第2圖者相同者給予同一符號。

比較例的紫外線照射裝置1是未設置風洞體72之處，與第1實施例不相同。

比較例及第1實施例的紫外線照射裝置1是準分子燈2配置成鋸齒狀之故，因而變壓器6也配合於準分子燈2的排列而配置成鋸齒狀。藉此，電性地連接準分子燈2與變壓器6的饋電線5，是不會不期望地變長，而可將其處理作成簡便。

比較例及第1實施例的紫外線照射裝置1是在燈點燈時，藉由未圖示的電源，送風手段71及冷卻手段73被運轉。

比較例及第1實施例的紫外線照射裝置1是藉由所具備的送風手段71，將冷卻風A送風至變壓器6。

如比較例的紫外線照射裝置1地，在所具備的複數準分子燈2設置個別的變壓器6的情形，則藉由送風手段71所送風的冷卻風A與變壓器6相撞之後會擴散。具體而言，如第4(a)圖所示地，冷卻風A相撞於變壓器6之後，紙面上側及下側的變壓器6，是冷卻風A擴散至沒有電裝部側側壁341的一邊，而紙面正中央的變壓器6，冷卻風A會朝紙面上下方向擴散。如此地，比較例的紫外線照射裝置1的情形，則對於相對於變壓器6的冷卻手段73的一邊相反側的冷卻會成為不充分。

第1實施例的紫外線照射裝置1的情形，在與比較例相同具備的複數準分子燈2設置個別的變壓器6，而且藉由具備風洞體72，可防止藉由送風手段71進行送風的冷卻風A相撞於變壓器6之後的擴散。具體地，如第4(b)圖所示地，在筐體3的電裝部34，設有個別地圍繞各變壓器6，而且具備經由變壓器6相對的一對開口部721，722的風洞體72，且送風手段71為設於風洞體72的一方的開口部721，而且藉由送風手段71有冷卻風A從風洞體72的 一方開口部721朝著另一方開口部722被送風。利用該構成，來自送風手段71的冷卻風A是經過風洞體72的內方而不會擴散，剛好噴在配置於風洞體72的內方的變壓器6，而適當地可冷卻被加熱的變壓器6。

第1實施例的紫外線照射裝置1，是筐體3的電裝部34構成在密閉空間之故，因而從風洞體72的另一方開口部722導出藉由被加熱的變壓器6成為高溫的排熱風，而循環筐體3的內部。第1實施例的紫外線照射裝置1是在電裝部34的密閉空間設有具備冷卻液L的流路731的冷卻手段73，藉此來自被加熱的變壓器6的排熱風藉由冷卻手段73被熱交換，而可冷卻被密閉的電裝部34。該冷卻手段73是經由送風手段71，個別地相對配置於各變壓器6之故，因而可將藉由冷卻手段73被熱交換的冷卻風A適當地噴在各變壓器6。

如上述地，第1實施例的紫外線照射裝置1是將電裝部34構成在密閉空間，在該電裝部34，設有具備冷卻液L的流路731的冷卻手段73，在該各變壓器6的外方，設有個別地圍繞該各變壓器6，而且經由具有經由該變壓器6相對的開口部721、722的風洞體72，在該電裝部34的內部，設有從該風洞體72的一方開口部721送風至另一方的開口部722的送風手段71，為其特徵者。藉此，第1實施例的紫外線照射裝置1，可防止來自外部的腐蝕性氣體進到電裝部34的內部，而藉由冷卻手段73進行熱交換而可防止電裝部34的內部成為高溫的情形，而藉由送風手段71可冷卻在被防止成為高溫的電裝部34的內部配置於風洞體72內方的變壓器6。

又，第1實施例的紫外線照射裝置1是針對於設置光透射窗4的構成加以說明，惟本發明的紫外線照射裝置1是可防止配置於電裝部34的變壓器6曝露於腐蝕性氣體就可以，若電裝部34的內部與光源部35的內部為未大氣地相連通的構成，則未設置光透射窗也可以。

又，具備於本發明的紫外線照射裝置1的準分子燈2，是經由放電空間214與介質21而相對配置有一對電極221、222，而照射真空紫外線者也可以，例如如上述的專利文獻3所示地，一對電極221、222設於放電容器21的外面的準分子燈2也可以。

在上述第1實施例的紫外線照射裝置1中，在電裝部34的內部設置冷卻手段73，惟針對於以冷卻手段73構成隔間壁32的紫外線照射裝置1，作為第2實施例加以說明。

第5圖是表示第2實施例的紫外線照射裝置1的說明圖，對於具備於紫外線照射裝置1的準分子燈2的管軸方向正交的斷面圖。

又，在第5圖，與表示於第1圖者相同者給予同一符號。

表示於第5圖的紫外線照射裝置1，是以冷卻手段73構成隔間壁32之處，與表示於第1圖的紫外線照射裝置1不相同。

作為表示於第5圖的紫外線照射裝置1的說明，省略了與在第1圖所表示的紫外線照射裝置1的說明共通的部分，針對於與第1圖不同處加以說明。

載置變壓器6的隔間壁32，是藉由例如施以耐酸鋁處理的鋁的具有熱傳導性的金屬構件所構成，而在其內部設有流通冷卻液L的流路731，就可構成作為冷卻手段73。

如此地，第2實施例的紫外線照射裝置1是隔間壁32以冷卻手段73所構成，而且以可進行電裝部34的密閉空間的熱交換的具熱傳導性的構件所構成，而在燈點燈時，奪取變壓器6的熱的排熱風藉由構成隔間壁32的冷卻手段73被熱交換，而可冷卻被密閉的電裝部34。

又，在從準分子燈2所照射的光，真空紫外線以外也包括不同波長領域的光，而在該光中，也包括加熱隔間壁32的光。又，從準分子燈2，被饋電就被加熱之故，因而其輻射熱被放射。

第2實施例的紫外線照射裝置1，是藉由冷卻手段73構成位於準分子燈2與變壓器6之間的隔間壁32，藉此將來自準分子燈2的照射熱或輻射熱藉由隔間壁32進行熱交換，而可防止變壓器6被加熱的情形。

1．．．紫外線照射裝置

11．．．燈單元

12．．．搬運單元

121．．．滾子

122．．．驅動體

2．．．準分子燈

21．．．放電容器

211．．．外側管

212．．．內側管

213．．．端壁部

214．．．放電空間

221．．．外側電極

222．．．內側電極

3．．．筐體

31．．．頂板

32．．．隔間壁

331．．．貫通孔

332．．．密封體

34．．．電裝部

341．．．電裝部側側壁

342．．．貫通孔

343．．．密封體

35．．．光源部

351．．．光源部側側壁

36．．．燈保持體

4．．．光透射窗

5．．．饋電線

6．．．變壓器

71．．．送風手段

72．．．風洞體

721．．．一方的開口部

722．．．另一方的開口部

73．．．冷卻手段

731．．．流路

A．．．冷卻風的流動

L．．．冷卻液的流動

W．．．被照射物

第1圖是表示第1實施例的紫外線照射裝置的說明圖。

第2圖是表示第1實施例的紫外線照射裝置的說明圖。

第3(a)圖及第3(b)圖是表示具備於本發明的第1實施例的紫外線照射裝置的準分子燈說明圖。

第4(a)圖及第4(b)圖是表示將比較例的紫外線照射裝置與本發明的第1實施例的紫外線照射裝置予以比較的說明圖。

第5圖是表示本發明的第2實施例的紫外線照射裝置的說明圖。

第6圖是表示習知的紫外線照射裝置的說明圖。

1．．．紫外線照射裝置

11．．．燈單元

12．．．搬運單元

121．．．滾子

122．．．驅動體

2．．．準分子燈

3．．．筐體

31．．．頂板

32．．．隔間壁

331．．．貫通孔

332．．．密封體

34．．．電裝部

341．．．電裝部側側壁

35．．．光源部

351．．．光源部側側壁

36．．．燈保持體

4．．．光透射窗

5．．．饋電線

6．．．變壓器

72．．．風洞體

A．．．冷卻風的流動

W．．．被照射物

Claims (2)

1. 一種紫外線照射裝置，屬於由放電容器與經由該放電容器的放電空間相對配置的電極所構成的準分子燈；及分別電性地連接於複數該準分子燈，且配置成左右交錯狀的變壓器；及保持該複數準分子燈與該複數變壓器，而且具備設於該複數準分子燈與該複數變壓器之間的隔間壁的筐體；及在該筐體內經由該隔間壁來圍繞該複數變壓器的電裝部所構成的紫外線照射裝置，其特徵為：在該電裝部，設有具備冷卻液的流路的冷卻手段，在該各變壓器的外方，設有個別地圍繞該各變壓器，而且具備經由該變壓器相對的一對開口部的風洞體，該風洞體是分別設置成左右交錯狀，而沿著前述準分子燈的管軸方向延伸，在該電裝部內部，設有從該風洞體的一方開口部送風至另一方開口部的送風手段。
2. 如申請專利範圍第1項所述的紫外線照射裝置，其中，該隔間壁是在其內部具備冷卻液的流路的冷卻手段所構成。