TWI406093B - 鹼溶性光阻組成物 - Google Patents

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Description

鹼溶性光阻組成物
本發明係提供一種鹼溶性結合劑樹脂、其製備方法、以及用於液晶顯示元件用之彩色濾光片的透明光阻組成物；特別是一種包含支鏈上不含酸的鹼溶性結合劑樹脂之光阻組成物，其具有優秀的穩定性，且於顯影製程中可防止微小圖案流失，而可達到大幅降低圖案形成時的側蝕問題之效果。
使用於液晶顯示元件的液晶面板結構係可分為薄膜電晶體基板、彩色濾光片、液晶，其中以薄膜電晶體基板進行驅動作業，以彩色濾光片呈現色彩，且液晶係設置於兩個基板之間。彩色濾光片係將由顏料分散於感光性有機物質所製作而成，藉由使用光蝕刻法形成圖案後，使用具有三種以上透過-吸收波長的彩色墨水形成像素，以呈現彩色影像。除了在彩色濾光片上形成像素之外，可依需求使用保護膜(Overcoat)以降低像素之段差，亦可使用柵形間隔圖案(Column Spacer patterning)以使液晶面板內部的間格維持一定距離。
在形成保護膜或柵形間格圖案的過程中，一般係於可進行光蝕刻的感光性樹脂組成物中使用負型組成物，且通常係使用羧酸(carboxylic acid)，特別是使用含羧酸之結合劑，以使組成物具鹼溶性。
然而，若使用含羧酸之結合劑時，由於結合劑高分子會與其他結合劑高分子、架橋劑、或黏著促進劑發生架橋反應，故隨著時間過去而導致溶液黏度增加。
當溶液黏度增加時，容易在進行膜塗佈製程時引起厚度的變化，而導致不易控制塗佈製程條件。為解決此問題，通常係使用冷藏保管法，將溶液保存於攝氏約5℃下，但此方法也因另準備保管場所或冷藏設施而需要額外的費用。
另外，在結合劑本身含有羧酸時，在鹼性環境下，其溶解度明顯上升，因此溶液在顯影製程中產生側蝕(under cut)現象，而造成小於10微米的細微圖案流失。為防止這種現象，可降低顯影液之鹼性水溶液溫度或者加長預熱處理的時間；但若使用這種方法，則需隨著製程條件改變，調整最佳的溫度或時間，反而造成成本增加。
為了解決含有羧酸之鹼溶性結合劑樹脂所產生的問題，本發明之主要目的係提供一種包含於光阻組成物中之新穎鹼溶性結合劑樹脂及其製備方法。
本發明的另外一目的係提供一種含上述鹼溶性結合劑樹脂之光阻組成物。
為解決上述問題，本發明係藉由除去結合劑樹脂結構中的羧酸後再添加環氧基，以使包含於光阻組成物中的結合劑樹脂具有鹼溶性。
因此，本發明之光阻組成物，即使經長時間保管，其 黏度也不會增加，且在顯影製程中不會流失細微圖案而可抑制發生側蝕問題。另外，本發明之光阻組成物係使用佈含羧酸的高分子樹脂化合物做為結合劑樹脂，故不但可改善光阻組成物的貯存穩定性，更可以防止在顯影製程中流失細微圖案的問題。此外，在形成圖案的過程中，除了可達到降低側蝕情形之效果，更有助於液晶顯示元件之柵形間格體、保護膜、鈍化(Passivation)材料的硬化等製程，故可降低製程不良率。
本發明之鹼溶性結合劑樹脂，係如下列化學式1所示。
於上列化學式1中，R1~R3係各自獨立為氫原子、或甲基，且假設各重複單元之l、m、n合計為100莫耳百分比時，l與m的合計為50至85莫耳百分比，而n為15至50莫耳百分比；Sp為如-CkH2k-所示的亞烷基，且k=2~5之間的值。
另外，依本發明的鹼溶性結合劑樹脂之製造方法，係將含苯基與含環氧基之丙烯酸芐酯(benzyl acrylate)或甲基丙烯酸芐酯(benzyl methacrylate)的丙烯酸單體，以及含氫氧基(hydroxyl group)的丙烯酸單體，進行聚合反應。
另外，於本發明之光阻組成物中，係包含1至20重量 百分比之如化學式1所示的鹼溶性結合劑樹脂、1至20重量百分比之具乙烯性不飽和官能基的可聚合化合物、0.05至10重量百分比之光起始劑、以及10至95重量百分比之溶劑。
接下來，將更具體說明本發明內容。
本發明之鹼溶性結合劑樹脂係為如化學式1所示的化合物。
於上述化學式1所示的黏合劑樹脂中，l、m、n係為重複單元，其中l為含苯基之丙烯酸芐酯或甲基丙烯酸芐酯的丙烯酸單體，m為含環氧基之丙烯酸環氧丙酯(Glycidyl acrylate)或甲基丙烯酸環氧丙酯(Glycidyl methacrylate)的丙烯酸單體，而n為含氫氧基之的丙烯酸羥乙酯(Hydroxyl-Ethyl acrylate)或甲基丙烯酸羥乙酯(Hydroxyl-Ethyl methacrylate)的丙烯酸單體。若上述l、m、n的合計為100莫耳百分比時，l與m的合計較佳為50至85莫耳百分比，n為15至50莫耳百分比。特別是，上述n需為l+m+n之15至50莫耳百分比；若n小於15莫耳百分比時，會導致顯影品質降低的現象，而若n大於50莫耳百分比時，會導致氫結合現象而其黏度上升的問題。
於本發明中，雖如化學式1所示的鹼溶性結合劑樹脂不含羧酸，但因另外含有環氧基，因此即使不含羧酸仍具有鹼性顯影液的溶解特性。
然而，在不會影響本發明之效果的範圍之內，除了上述的重複單元l、m、n之單體外，更可以添加其他單體進 行聚合反應。如，可添加一種以上選自由苯乙烯(styrene)、甲基丙烯酸甲酯(methylmethacrylate)、N-苯基馬來醯亞胺(N-phenylmaleimide)、及丙烯酸甲酯(methyl acrylate)所組成之群組的反應性單體。於鹼溶性結合劑樹脂中，上述反應性單體之添加量係在30莫耳百分比以內的範圍中。
在本發明之鹼溶性結合劑樹脂的製備方法中，包含將含苯基的丙烯酸單體、含環氧基的丙烯酸單體、以及含氫氧基的丙烯酸單體進行聚合反應的步驟。
上述聚合反應的步驟，可採用一般習知的方法。較佳係採用自由基反應的方法。更具體說明的話，首先將聚合起始劑溶解於溶劑後，再於溶劑中添加丙烯酸芐酯或甲基丙烯酸芐酯、丙烯酸羥乙酯或甲基丙烯酸羥乙酯、以及丙烯酸環氧丙酯或甲基丙烯酸環氧丙酯，接著於30~100℃的氮氣氛下放置10~15小時後，即完成鹼溶性結合劑樹脂。
上述自由基聚合反應所使用的聚合起始劑，係為一種以上選自由過氧苯醯(benzoic peroxide,BPO)、雙第三丁基過氧化物(di-t-butyl peroxide,DTBPO)、異丙苯過氧化氫(cumene hydroperoxide,CHPO)、第三丁基過氧化氫(t-butyl hydroperoxide)、第三丁基過氧-2-乙基己酸酯(t-butyl peroxy-2-ethylhexanoate)、第三丁基過氧苯甲酸酯(t-butyl peroxy-benzoate)、偶氮二甲基戊腈(azobis-dimethyl valeronitrile,V-65)、偶氮二異丁腈(azobis-isobutylonitriel,AIBN)所組成之群組。
另外，在未脫離本發明精神的範圍內，為了改善耐熱 性或耐化學性，上述化學式1所示的鹼溶性結合劑樹脂可更添加一種以上選自由苯乙烯、N-苯基馬來醯亞胺、丙烯酸甲酯、及甲基丙烯酸甲酯所組成之群組之反應性單體。
於本發明中，使用上述的方法所製備之鹼溶性結合劑樹脂，其重量平均分子量較佳係保持在1000及50000之間。若分子量小於1000時，則不易形成薄膜，反之，若分子量大於50000時，因其黏度過高而不易操作。
另外，本發明更提供一種鹼溶性光阻組成物，其包含1至20重量百分比之具上述特徵的鹼溶性結合劑樹脂、1至20重量百分比之具乙烯性不飽和官能基的可聚合化合物、0.05至10重量百分比之光起始劑、及10至95重量百分比之溶劑。
於本發明之光阻組成物中，上述不包含羧酸等的有機酸單體之鹼溶性結合劑樹脂，其具體結構如下列化學式2與3所示。
於化學式2中，l、m、n、及Sp之定義係與上述化學式1相同。
[化學式3]
於化學式3中，l、m、n、及Sp之定義係與上述化學式1相同。
較佳地，上述鹼溶性結合劑樹脂之含量，在整個光阻組成物中為1至20重量百分比，而在這種含量下較易形成1~100微米厚度的薄膜。若其含量小於1重量百分比時，則不能形成薄膜；反之，若其含量大於20重量百分比時，會造成黏度增加而使薄膜厚度也隨之增厚。
另外，於本發明之光阻組成物中，上述具有乙烯性不飽和官能基的可聚合化合物之結構，如化學式4至7所示，但在未超過本發明精神之範圍下，並不限此例。
由於上述具乙烯性不飽和官能基的可聚合化合物不包含環氧基，故與結合劑樹脂不同；且亦可使用如化學式5與化學式7所示之包含有機酸的結構。
[化學式5]
上述之具乙烯性不飽和官能基的可聚合化合物之使用量，較佳為1至20重量百分比。若小於1重量百分比時，則無法完全聚合；反之，若大於20重量百分比時，因鹼溶性結合劑樹脂之相對含量不足而較難形成薄膜。
除上述化學式所示的具乙烯性不飽和官能基之可聚合 化合物之外，其他可用的聚合物之具體例子如下：導入有D-季戊四醇(D-pentaerytritol)之KAYARAD DPCA-20、KAYARAD DPCA-30、KAYARAD DPCA-60、KAYARAD DPCA-120；導入有四氫呋喃丙烯酸酯(tetrahydro furfuryl acrylatel)之KAYARAD TC-110S；以及導入有新戊二醇羥基特戊酸酯(neo-pentyl-glycol hydroxypivalate)之KAYARAD HX-220、KAYARAD HK-620。此外，亦可使用雙官能基單體，如雙酚A(Bisphenol A)誘導體之環氧基丙烯酸酯(epoxy group acrylate)、酚醛環氧基丙烯酸酯(Novolac-epoxy group acrylate)，及胺甲酸乙酯(urethane)系之多官能基丙烯酸酯，如U-324A、U15HA、U-4HA。其中，上述之具乙烯性不飽和雙重結合的雙官能基單體可單獨使用或兩種以上混合使用。
於本發明之光阻組成物中，上述具有光活性特性的自由基起始劑為可以單獨使用或兩種以上混合使用。例如可使用本技術領域常用之起始劑，如2,4-三氯甲基-(4’-甲氧基苯基)-6-三嗪(2,4-trichloromethyl-(4’-methoxyphenyl)-6-triazine)的三嗪(triazine)系化合物；如2,2’-二(2-氯苯基)-4,4’,5,5’-四苯二咪唑(2,2’-bis(2-chlorophenyl)-4,4’,5,5’-tetraphenyl biimidazole)之二咪唑(biimidazole)系化合物；如2-羥基-2-甲基-1-苯基丙-1-酮(2-hydroxy-2-methyl-1-phenylpropane-1-on)之苯乙酮(acetophenone)系化合物；如4,4’-雙(二甲基胺)二苯基酮(4,4’-bis(dimethylamino) benzophenone)之二苯基酮(benzophenone)系化合物；如2,4-二乙基噻噸酮(2,4-diethyl tioxanton)之噻噸酮(Tioxanton)系化合物；如2,4,6-三甲基苯甲醯基二苯基氧化膦(2,4,6-trimethyl benzoyl diphenyl phosphine oxide)之氧化膦(phosphine oxide)系化合物；如3,3’-羧基乙烯基-7-(二乙基胺)香豆素(3,3’-carboxyvinyl-7-(diethylamino)coumarin)之香豆素(coumarin)系化合物；像Ciba Geigy的Irgacure OXE-01、OXE-02等的芳肟(O-acyloxime)系化合物，但不限此例。且起始劑在整個光阻組成物中之含量，較佳為0.05至10重量百分比。
於本發明之光阻組成物中，上述溶劑為可以單獨使用或兩種以上混合使用。例如，可使用本技術領域上廣用的溶劑，且可使用選自由甲乙酮(methyl ethylketone)、甲基溶纖劑(methyl cellosolve)、乙基溶纖劑(ethyl cellosolve)、丙基溶纖劑(propyl cellosolve)、乙二醇二甲醚(ethyleneglycol dimethyl ether)、乙二醇二***(ethyleneglycol diethyl ether)、乙二醇甲***(ethyleneglycol methyl ethylether)、丙二醇二甲醚(propyleneglycol dimethyl ether)、丙二醇二***(propylglycol diethyl ether)、丙二醇甲***(propyleneglycol methyl ethyl ether)、2-乙氧基丙醇(2-ethoxypropanol)、2-甲氧基丙醇(2-methoxypropanol)、3-甲氧基丁醇(3-methoxybutanol)、環戊酮(cyclopentanone)、環己酮(cyclohexanone)、丙二醇甲醚乙酸酯(propyleneglycol methyl ether acetate)、丙二醇***乙酸酯(propyleneglycol ethylether acetate)、3-甲氧基丁基乙酸酯(3-methoxybutyl Acetate)、乙基-3-乙氧基丙酸酯(ethyl 3-ethoxy propionate)、乙基溶纖劑乙酸酯(ethyl cellosolve acetate)、甲基溶纖劑乙酸酯(methyl cellosolve acetate)、乙酸丁酯(butyl acetate)、及二丙二醇單甲醚(diropyleneglycol mono methyl ether)所組成之群組，但不限此例。
於本發明之光阻組成物中，若需要可更添加一種以上的硬化促進劑、熱聚合抑制劑、可塑劑、黏著促進劑、充電劑、界面活性劑等成分。
上述之硬化促進劑可使用本技術領域上常用的成分，且可選自由2-巰基苯並咪唑(2-mercaptobenzimidazole)、2-巰基苯並噻唑(2-mercaptobenzothiazole)、2-巰基苯並噁唑(2-mercaptobenzo oxazole)、2,5,-二巰基-1,3,4-噻唑(2,5,-dimercapto-1,3,4-thiadiazole)、2-巰基-4,6,-二甲基胺基砒啶(2-mercapto-4,6,-dimethyl aminopyridine)所組成之群組，但不限此例。
其中上述熱聚合抑制劑可使用於本技術領域上廣用的成分，且可選自由對苯甲醚(p-anisole)、或苯二酚(hydroquinone)，但不限此例。
其中上述可塑劑、黏著促進劑、充電劑、界面活性劑等成分亦可選自習知添加於光阻組成物的化合物。
本發明的光阻組成物，可利用滾筒式圖佈(roll coater)、淋幕式塗佈(curtain coater)、旋轉式塗佈(spin coater)、狹縫式塗佈(slot die coater)、各種印刷、沉積等各 種方法，塗佈在金屬、紙、玻璃、塑膠基板等的支撐體上。
另外，轉印方法為，先將本發明之光阻組成物塗佈於上述支撐體之後再轉印至其他支撐體；或者將它塗佈於第一支撐體之後，先轉寫至橡皮布上後，再轉寫至第二支撐體；但轉印方法並不限此例。
為了使本發明之光阻組成物硬化，其所使用的光源可採用波長介於250~450nm之間的光線，例如，可使用本技術領域上廣用的光源，如汞蒸汽弧、碳素弧、氙弧、鹵素弧等，但不限此例。
本發明之光阻組成物其用途上並無特別限制，可用於製造光硬化性塗料、光硬化性墨水、製造LCD彩色濾光片用之透明感光性組成物、顏料分散性光阻組成物、形成LCD或有機發光二極體之遮光膜用之光阻組成物。
另外，本發明提供一種以本發明之光阻組成物所製成之液晶顯示裝置用之透明薄膜層。但液晶顯示裝置用透明薄膜，除了使用以本發明之光阻組成物所製成的液晶顯示裝置用透明薄膜層之外，更可使用以本技術領域上普遍使用的製造方法所製成的液晶顯示裝置用透明薄膜層。
另外，本發明提供一種包含上述液晶顯示裝置用透明薄膜層的液晶顯示裝置。其中，此液晶顯示裝置除包含以本發明之光阻組成物所製成的液晶顯示裝置用透明薄膜層之外，還可以包含以本技術領域上普遍使用的製造方法所製成的液晶顯示裝置用透明薄膜層。
綜上所述，舉凡依本發明申請專利範圍及發明說明書 內容所作之簡單等效變化與修飾，皆應仍屬本發明專利涵蓋之範圍。
合成例1
將做為聚合起始劑的偶氮二甲基戊腈(V-65)溶於二乙二醇甲***之後，加入35：40：25比例之甲基丙烯酸芐酯：甲基丙烯酸環氧丙酯：甲基丙烯酸羥乙酯後，再於溫度為50~70℃之間的氮氣氛下擺放10~14小時，即完成鹼溶性結合劑樹脂。以此方法製作而成的鹼溶性結合劑樹脂，其重量平均分子量為19,500。
合成例2
本合成例之合成條件與合成例1相同，除了加入29：43：28比例之甲基丙烯酸芐酯：甲基丙烯酸環氧丙酯：甲基丙烯酸羥乙酯之後，將反應溫度設定為40~50℃。此時，鹼溶性結合劑樹脂之重量平均分子量為13,100。
合成例3
將做為聚合起始劑的偶氮二甲基戊腈(V-65)溶二乙二醇甲***之後，加入35：40：25比例之甲基丙烯酸芐酯：甲基丙烯酸環氧丙酯：丙烯酸羥乙酯後，再於溫度50~70℃之間的氮氣氛下擺放10~14小時，即完成鹼溶性結合劑樹脂。以此方法製作而成的鹼溶性結合劑樹脂，其重量平均分子量為19,800。
合成例4
本合成例之合成條件與合成例3相同，除了將反應溫度設定為40~50℃。此時，鹼溶性結合劑樹脂之重量平均分子量為13,300。
合成例5
本合成例之合成條件與合成例1相同，除了加入30：35：25：10比例之甲基丙烯酸芐酯：甲基丙烯酸環氧丙酯：甲基丙烯酸羥乙酯：苯乙烯等單體。此時，鹼溶性結合劑樹脂之重量平均分子量為19,100。
合成例6
本合成例之合成條件與合成例3相同，除了加入30：35：25：10比例之甲基丙烯酸芐酯：甲基丙烯酸環氧丙酯：丙烯酸羥乙酯：苯乙烯等單體。此時，鹼溶性結合劑樹脂之重量平均分子量為19,300。
實施例1
將8重量份之合成例1的鹼溶性結合劑樹脂、16重量份之化學式4之聚合物、1重量份之光聚合起始劑Ciba Geigy之IrgacureOXE-02、75重量份之有機溶劑環己酮等，放入混合容器後進行3小時的混合作業。接著，利用5微米大小的過濾器將混合之感光性溶液過濾後，再以旋轉式塗佈法塗佈於玻璃上。接著，以攝氏約100℃進行2分種的預熱後，即完成厚度約4微米的薄膜。
使用1至20微米且具有1微米間格的圓形獨立圖案光罩，將薄膜於高壓汞燈管下曝光後，再利用pH 11~12之間 的KOH鹼性水溶液顯影圖案。而後，經利用去離子水洗滌之後，觀察基板上的圖案。此時，為了檢查細微圖案之流失程度，係依據光罩大小判斷殘留於玻璃基板上的最小圖案(最小殘留圖案)，並且利用電子顯微鏡觀察斷面以判斷側時發生與否。此時，以直經大小20微米的圖案所發生的側時程度為基準。
為了測定透明感光性組成物之貯存穩定性，將上述混合而成的感光性溶液20g放入50mL透明聚乙烯瓶密封後，存放於溫度為45℃的烤箱內。經24小時後，觀察黏度的上升程度(%)。
實施例2
本實施例之光阻組成物之製備方法與實施例1相同，除了使用8重量份之合成例2方法所製成的結合劑樹脂作為鹼溶性結合劑樹脂。
實施例3
本實施例之光阻組成物之製備方法與實施例1相同，除了使用8重量份之合成例3方法所製成的結合劑樹脂作為鹼溶性結合劑樹脂。
實施例4
本實施例之光阻組成物之製備方法與實施例1相同，除了使用8重量份之合成例4方法所製成的結合劑樹脂作為鹼溶性結合劑樹脂。
實施例5
本實施例之光阻組成物之製備方法與實施例1相同， 除了使用8重量份之合成例5方法所製成的結合劑樹脂作為鹼溶性結合劑樹脂。
實施例6
本實施例之光阻組成物之製備方法與實施例1相同，除了使用8重量份之合成例6方法所製成的結合劑樹脂作為鹼溶性結合劑樹脂。
實施例7
本實施例之光阻組成物之製備方法與實施例1相同，除了使用16重量份之化學式5之化合物做為具乙烯性不飽和官能基的可聚合化合物。
實施例8
本實施例之光阻組成物之製備方法與實施例2相同，除了使用16重量份之化學式5之化合物做為具乙烯性不飽和官能基的可聚合化合物。
實施例9
本實施例之光阻組成物之製備方法與實施例3相同，除了使用16重量份之化學式5之化合物做為具乙烯性不飽和官能基的可聚合化合物。
實施例10
本實施例之光阻組成物之製備方法與實施例4相同，除了使用16重量份之化學式5之化合物做為具乙烯性不飽和官能基的可聚合化合物。
實施例11
本實施例之光阻組成物之製備方法與實施例5相同， 除了使用16重量份之化學式5之化合物做為具乙烯性不飽和官能基的可聚合化合物。
實施例12
本實施例之光阻組成物之製備方法與實施例6相同，除了使用16重量份之化學式5之化合物做為具乙烯性不飽和官能基的可聚合化合物。
實施例13
本實施例之光阻組成物之製備方法與實施例1相同，除了使用16重量份之化學式6之化合物做為具乙烯性不飽和官能基的可聚合化合物。
實施例14
本實施例之光阻組成物之製備方法與實施例2相同，除了使用16重量份之化學式6之化合物做為具乙烯性不飽和官能基的可聚合化合物。
實施例15
本實施例之光阻組成物之製備方法與實施例3相同，除了使用16重量份之化學式6之化合物做為具乙烯性不飽和官能基的可聚合化合物。
實施例16
本實施例之光阻組成物之製備方法與實施例4相同，除了使用16重量份之化學式6之化合物做為具乙烯性不飽和官能基的可聚合化合物。
實施例17
本實施例之光阻組成物之製備方法與實施例5相同， 除了使用16重量份之化學式6之化合物做為具乙烯性不飽和官能基的可聚合化合物。
實施例18
本實施例之光阻組成物之製備方法與實施例6相同，除了使用16重量份之化學式6之化合物做為具乙烯性不飽和官能基的可聚合化合物。
實施例19
本實施例之光阻組成物之製備方法與實施例1相同，除了使用16重量份之化學式7之化合物做為具乙烯性不飽和官能基的可聚合化合物。
實施例20
本實施例之光阻組成物之製備方法與實施例2相同，除了使用16重量份之化學式7之化合物做為具乙烯性不飽和官能基的可聚合化合物。
實施例21
本實施例之光阻組成物之製備方法與實施例3相同，除了使用16重量份之化學式7之化合物做為具乙烯性不飽和官能基的可聚合化合物。
實施例22
本實施例之光阻組成物之製備方法與實施例4相同，除了使用16重量份之化學式7之化合物做為具乙烯性不飽和官能基的可聚合化合物。
實施例23
本實施例之光阻組成物之製備方法與實施例5相同， 除了使用16重量份之化學式7之化合物做為具乙烯性不飽和官能基的可聚合化合物。
實施例24
本實施例之光阻組成物之製備方法與實施例6相同，除了使用16重量份之化學式7之化合物做為具乙烯性不飽和官能基的可聚合化合物。
比較例1
將下列化學式8的化合物(l：m：n=35：40：25，其重量平均分子量為20,500)8重量份作為鹼溶性結合劑樹脂，並以與上述實施例1相同的方法製作光阻組成物。
比較例2
本比較例之光阻組成物之製備方法與比較例1相同，除了使用16重量份之化學式5之化合物做為具乙烯性不飽和官能基的可聚合化合物。
比較例3
本比較例之光阻組成物之製備方法與比較例1相同，除了使用16重量份之化學式6之化合物做為具乙烯性不飽和官能基的可聚合化合物。
比較例4
本比較例之光阻組成物之製備方法與比較例1相同，除了使用16重量份之化學式7之化合物做為具乙烯性不飽和官能基的可聚合化合物。
上述實施例與比較例所得到的結果為如表1所示。
由表1之結果可知，相較於比較例1~4，實施例1~24在貯存中上的黏度變化較低。這種結果表示本發明之鹼溶性結合劑樹脂在貯存中比較不會發生黏度上升問題且具有相當高的穩定性。並且，相較於比較例1~4，實施例1~24所觀察到的最小殘留圖案大小也較小，因此可證明本發明之鹼溶性結合劑樹脂除了具有相當高之圖案黏著力外，更能相當有效地抑制圖案與基板之間的側蝕現象。一般來說，當側蝕現象變嚴重時，圖案與基板之間的面積會變減少，而導致圖案黏著力也一起降低。因此使用實施例1~24所述的方法，可以避免製程過程中流失圖案之現象。
上述實施例僅係為了方便說明而舉例而已，本發明所主張之權利範圍自應以申請專利範圍所述為準，而非僅限於上述實施例。

Claims (6)

  1. 一種鹼溶性光阻組成物，其包含：1至20重量百分比之下列化學式1所示之鹼溶性結合劑樹脂；1至20重量百分比之具乙烯性不飽和官能基的可聚合化合物，且該具乙烯性不飽和官能基的可聚合化合物係選自由下列化學式4至7所組成之群組之至少一者；0.05至10重量百分比之光起始劑(Photoinitiator)；以及10至95重量百分比之溶劑；其中，該鹼溶性光阻組成物不包含一側鏈具有羧基之結合劑樹脂， 其中，R1~R3係各自獨立為氫原子、或甲基，且假設各重複單元之l、m、n合計為100莫耳百分比時，l與m合計為50至85莫耳百分比，而n為15至50莫耳百分比；Sp為如-CkH2k-所示的亞烷基，且k=2~5之間的值；[化學式4] [化學式7]
  2. 如申請專利範圍第1項所述之鹼溶性光阻組成物，其中該光起始劑係為一種以上選自由三嗪(triazine)化合物、二咪唑(Biimidazole)化合物、苯乙酮(Acetophenone)化合物、噻噸酮(Tioxanton)化合物、氧化膦(Phosphine oxide)化合物、香豆素(coumarin)化合物、及芳肟(O-acyloxime)化合物所組成之群組。
  3. 如申請專利範圍第1項所述之鹼溶性光阻組成物，其中該溶劑係為一種以上選自由甲乙酮(methyl ethylketone)、甲基溶纖劑(methyl cellosolve)、乙基溶纖劑(ethyl cellosolve)、丙基溶纖劑(propyl cellosolve)、乙二醇二甲醚(ethyleneglycol dimethyl ether)、乙二醇二***(ethyleneglycol diethyl ether)、乙二醇甲***(ethyleneglycol methyl ethylether)、丙二醇二甲醚(propyleneglycol dimethyl ether)、丙二醇二***(propylglycol diethyl ether)、丙二醇甲***(propyleneglycol methyl ethyl ether)、2-乙氧基丙醇(2-ethoxypropanol)、2-甲氧基丙醇(2-methoxypropanol)、3-甲氧基丁醇(3-methoxybutanol)、環戊酮(cyclopentanone)、 環己酮(cyclohexanone)、丙二醇甲醚乙酸酯(propyleneglycol methyl ether acetate)、丙二醇***乙酸酯(propyleneglycol ethylether acetate)、3-甲氧基丁基乙酸酯(3-methoxybutyl Acetate)、乙基-3-乙氧基丙酸酯(ethyl 3-ethoxy propionate)、乙基溶纖劑乙酸酯(ethyl cellosolve acetate)、甲基溶纖劑乙酸酯(methyl cellosolve acetate)、乙酸丁酯(butyl acetate)、及二丙二醇單甲醚(diropyleneglycol mono methyl ether)所組成之群組。
  4. 如申請專利範圍第1項所述之鹼溶性光阻組成物，更包含一種以上選自由硬化促進劑、熱聚合抑制劑、可塑劑、黏著促進劑、充電劑、界面活性劑所組成之群組之添加劑。
  5. 一種彩色濾光片，其係以如申請專利範圍第1至4項任一項所述之鹼溶性光阻組成物而製得。
  6. 一種液晶顯示元件，其包含如申請專利範圍第5項所述之彩色濾光片。
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