TWI399784B - A high pressure discharge lamp, a manufacturing method thereof, and a light irradiation device - Google Patents

Description

高壓放電燈及其製造方法以及光照射裝置

本發明是關於高壓放電燈及其製造方法，以及具備該高壓放電燈的光照射裝置。

現在，例如在接著劑等的樹脂的硬化處理或印刷基板等的露光處理，利用著紫外線照射裝置，而作為該紫外線照射裝置的紫外線光源，例如使用著高壓放電燈。

作為高壓放電燈，至少提案著各種型式者，例如在專利文獻1，如第10圖所示地，揭示著在兩端被密封的玻璃管部81內部相對配置著一對電極83而且封入有水銀，在前端具有電極83的引線端子84氣密地貫通密封部82而朝軸方向外方突出延伸般地所設置的構成的毛細管型高壓水銀燈80。

通常高壓放電燈是在點亮燈時被冷卻，惟為了防止放電管的破損而欲得到充分的冷卻效果，則位於放電管的電極周圍的部分被過冷卻，藉由此，在放電管內部的兩端部分不會有蒸發水銀而無法得到充分的水銀蒸氣壓的結果，產生著降低照度的問題。

對於此種問題，在上述毛細管高壓水銀燈80中，過冷卻防止手段的中空層85形成於位在玻璃管部81的電極83周圍的部分。

又，如第11圖所示地，在玻璃管部81的外周面之間 配置有形成冷卻水W的流路89的管狀冷卻套88，而在點亮燈時，藉由冷卻水W沿著玻璃管部81壁面朝軸方向流過流路89內被冷卻。

然而，藉由具備中空層85，依照上述毛細管型高壓水銀燈80，玻璃管部81是藉由冷卻水W直接被冷卻之故，因而可得到充分的冷卻效果，而且玻璃管部81的電極周圍的部分是藉由中空層85會減弱冷卻效果之故，因而作成可防止過冷卻。

專利文獻1：日本專利第2617978號公報

然而，依照如上述的構造，雖可防止位於玻璃管部81的電極周圍的部分被過冷卻的情形，但很難形成中空層85之故，因而有個體差容易產生，穩定的輸出所得到者無法確實地得到的問題。

又，在點亮燈中，在玻璃管部81破損時，被封入於玻璃管部81內的水銀例如經由冷卻水的流路89會流出至外部之虞。

本發明是依據如上的情形而創作者，第1目的是在於提供穩定的輸出在長時間的期間內確實地可得到的高壓放電燈。

本發明的第2目的是在於提供確實地可製造具有所期待的性能者的高壓放電燈的製造方法。

本發明的第3目的是在於提供具備上述高壓放電燈， 可確實地進行所期望的光照射處理的光照射裝置。

本發明的高壓放電燈，其特徵為：在兩端被密封的內管的內部，具有一對電極被相對配置，而且至少水銀被封入所成的整體成棒狀的放電管，及外管，在外管內部，放電管為其外周面的至少一部分以接觸狀態或密接狀態配置於外管的內周面所成，在位於放電管的至少上述電極周圍的部分的外周面與外管的內周面之間形成有朝全周延伸的空隙。

在本案發明的說明書中，「接觸狀態」是指外管的內周面(內壁)與放電管的外周面(外壁)進行點接觸或線接觸的狀態，也包含一部分進行面接觸的狀態。又，「密接狀態」是指外管的內周面與放電管的外周面為主的面接觸的狀態，為指放電管及外管兩者被一體化的狀態。

在本發明的高壓放電燈中，作為外管，藉由使用在兩端具有擴徑部者，或是作為使用直管狀者，而作為放電管 ，藉由使用位於電極周圍的兩端部比中央部還小徑者，可作成形成空隙的構成。

本發明的高壓放電燈的製造方法，其特徵為：具備：在外管內***放電管所配置的狀態下，藉由加熱把放電管予以膨脹，而在位於放電管的至少電極周圍的部分的外周面與外管的內周面之間形成有朝全周延伸的空隙的狀態下 ，密接放電管與外管的工程。

本發明的光照射裝置，其特徵為：具備上述的高壓放電燈，設有形成在點亮燈時冷卻該高壓放電燈的冷卻水沿 著外管壁面流過的流路的流路形成構件。

依照本發明的高壓放電燈，外管在與位於放電管的至少電極的周圍的部分之間形成有朝全周延伸的空隙的狀態下，藉由作成以接觸或密接狀態配置於放電管的外周面的雙重管構造，在點亮燈時，藉由沿著外管壁面流過例如冷卻水，位於電極周圍的部分是藉由空隙(空氣層)的存在把冷卻作用減弱。因此與放電管的外管接觸成密接的部分是藉由冷卻水充分地被冷卻而可防止放電管的破損的構成 ，確實地防止位於電極周圍的部分被過冷卻的情形而不會產生起因於水銀未蒸發的照度降低，因此，長久時間的期間內確實地可得到穩定的輸出。

又，雙重管構造之故，因而點亮燈時，萬一即使有放電管破損之情形，也可防止水銀流出至外部的情事。

依照本發明的高壓放電燈的製造方法，不需要例如將中空層形成於放電管等的特殊加工，構成作為雙重管構造者，在所定位置空隙形成於外管與內管之間的狀態下藉由加熱密接兩者就可以之故，因而極容易地可製造具有所期望的性能。

依照本發明的高壓放電燈的製造方法，藉由具備上述高壓放電燈，可將從高壓放電燈所放射的紫外線以充分的照度穩定地照射被處理對象物(工件)之故，因而確實地可進行所期望的紫外線照射處理。

(高壓放電管)

本發明的高壓放電燈是由構成放電管的內管與外管所構成的雙重管構造者，朝全周延伸的空隙形成於位在放電管的電極周圍的部分的外周面，與外管的內周面之間，藉由此，成為形成有過冷卻防止構造者。

<第1實施形態>

第1實施形態的高壓放電燈，是藉由作為外管使用特定構成者，朝全周延伸的空隙形成於放電管的電極周圍的部分的外周面與外管的內周面之間的構成者。以下，針對於該第1實施形態的高壓放電燈的構成具體地說明。

第1圖是表示本發明的第1實施形態的高壓放電燈的一例的構成的概略說明用斷面圖，第2圖是表示圖示於第1圖的高壓放電燈的主要部分的擴大斷面圖。

該高壓放電燈10是例如鎢所成的一對棒狀電極16分別相對配置於兩端被密封的例如石英玻璃所成的直管狀內管12的內部，藉由各電極16經由氣密地埋設於形成在內管12的棒狀密封部13的例如鉬所成的金屬箔17電性地連接於從密封部13的外端朝軸方向外方突出所延伸的外部引線18所成的全體為棒狀的放電管11，及該放電管11配置於內部的例如石英玻璃所成的外管20所構成。

放電管11的密封部13，是例如將內部12的構成材料的管體的兩端部藉由作成熔融狀態進行減壓內部的收縮封閉法所形成者，作成比放電管11的中央部14(相當於發 光領域的部分)還小徑。

該高壓放電燈10是例如構成作為被稱為「毛細管型燈」的毛細管型高壓水銀燈，在放電管11的內部，例如封入有1mg/cm³ 以上的水銀，而且以適當量封入有氬氣體等的稀有氣體。又，例如放射包含波長為350~450nm的紫外線的光。

外管20是在兩端部形成有比中央部21內徑尺寸還大的擴徑部22的例如管狀者，各擴徑部22是形成在位於位在放電管11的內部空間(放電空間)內的電極部分周圍的部分。換言之對應於該電極部分的軸方向長度的端部部分(以下，稱為「過冷卻防止部分15」。)的位置，因此，外管20是在放電管11的過冷卻防止部分15的外周面及連續於該過冷卻防止部分15的密封部13的一部分外周面，與外管20內周面之間形成有朝全周的空隙30的狀態下，中央部21的內周面以例如接觸狀態設於放電管11的中央部14的外周面。

放電管11與外管20是經由設於外部引線18的底座25藉由接著劑26被固定，而在放電管11與外管20之間的空隙，形成有空氣層或依適當氣體所成的氣體層。

空隙30的大小，亦即，外管20的擴徑部22的內徑L2與放電管11的過冷卻防止部分15的外徑Ll的差距，是例如為2mm以上較佳，藉由此，點亮燈時被冷卻之際，放電管11的過冷卻防止部分15確實地可防止過冷卻的情形。

接著劑26是可使用無機接著劑或有機接著劑。尤其是，無機接著劑〔例如斯密施拉姆(音譯)S(日本朝日化學工業份有限公司)〕是可進行高強度的固定。又，在僅任一方的密封部的接著劑，可容許放電管與外管的膨脹量不相同，藉由該膨脹量的不相同可防止破損。又，在任一方的密封部使用無機接著劑，而在另一方的密封部也可使用有機接著劑(例如聚矽氧接著劑)。有機接著劑是比無機接著劑還具有柔軟性之故，因而在放電管膨脹時，則藉由有機接著劑的柔軟性可吸收。

該高壓放電燈10是如下地可製作。

首先，例如在圓管狀的管體內部，封入適當量的水銀，而且經由金屬箔17電性地連接各該棒狀電極16與外部引線18所成的電極構造體從管體的兩側***而相對配置電極16的狀態下，例如藉由收縮封閉法密封管體的兩端部，進行製作放電管11。

一方面，準備具有與如此所得到的放電管11的外徑尺寸同等的大小的內徑尺寸，而且具有相當於放電管11的中央部14的長度(相當於發光領域的部分的長度)的圓筒狀的主管體，及比各該主管體內徑尺寸還大的兩個擴徑部形成用管體，藉由在主管體的兩端連接擴徑部形成用管體，在放電管11配置於內部的狀態下，在對應於至少放電管11的過冷卻防止部分15的部分製作具有擴徑部22的外管20。

之後，藉由將放電管11嵌合於外管20內部，而可得 到上述構成的高壓放電燈10。

表示上述高壓放電燈10的一構成例，則放電管11的中央部14的內徑為3.4mm，放電管11的中央部的外徑為7.4mm，密封部13的外徑為6mm，放電管11的全長為150mm，電極間距離為100mm，位於放電空間內的電極部分的長度為3mm，水銀的封入量為44mg//ccm³ ，外管20的中央部21的外徑為9.5mm，外管20的中央部的內徑為7.4mm，擴徑部22的長度為60mm，擴徑部22的內徑為11mm，放電管的過冷卻防止部分與外管之間的空隙的大小為3.6mm。

點亮燈時的高壓放電燈10的額定電壓為2000V，額定電流為1.25A，而燈電力為2500W。

上述高壓放電燈10，是例如點亮燈時的管壁負荷為100w/cm² 以上的高輸出者，而在點亮燈時，例如高壓放電燈10全體藉由冷卻水被冷卻。

如此，依照上述構成的高壓放電燈10，外管20在放電管11的過冷卻防止部分15的外周面及連續的密封部13的外周面之間形成有朝全周延伸的空隙30的狀態，藉由作為以接觸狀態配置於放電管11的中央部14的外周面的雙重管構造，在點亮燈時，藉由沿著外管20的壁面流通例如冷卻水來冷卻高壓放電燈10，過冷卻防止部分15是藉由空隙30(空氣層)的存在把冷卻作用減弱。因此，與放電管11的外管20接觸的中央部是藉由冷卻水充分地被冷卻而可防止放電管11的破損的構成，而確實地可防止 過冷卻防止部分15被過冷卻部的情形，結果，不會產生起因於水銀的未蒸發的照度降低，長久時間的期間確實地可得到穩定的輸出。

在此，在該高壓放電燈10中，放電管11的中央部14的外周面與外管20的內周面作成接觸狀態(點接觸或線接觸的狀態)，又，各該例如石英玻璃所成的放電管11及外管20是在其表面具有微細凹凸者之故，因而實際上，極微小的間隙點在於放電管11與外管20之間，惟例如存在著最大100 μm左右的間隙時，也可得到充分的冷卻效果。

又，雙重管構造之故，因而點亮燈時，即使放電管11破損也可防止水銀流出至外部。

此種過冷卻防止構造所形成的高壓放電燈10，是例如不需要將中空層形成在放電管等的特殊加工，藉由將放電管11***於擴徑部22所形成的外管20內配置於所定位置構成作為雙重管構造者就可製作，而且加工對於管軸方向具有均勻的內徑尺寸的管體而形成擴徑部22容易地可進行之故，因而容易且確實地可製作具有所期望的性能者。

以上，針對於本發明的第1實施形態的高壓放電燈的一例加以說明，惟在本發明的高壓放電燈中，可得到更高冷卻效率之故，因而放電管的中央部的外周面與外管的內周面作為密接狀態的構成較佳。亦即，藉由避免存在於放電管的中央部的外周面與外管的內周面僅作為接觸的狀態 時的極微小的間隙。可防止藉由該間隙妨礙來自點亮燈時的放電管的熱傳達，藉由此，可得到更高冷卻效率。

此種高壓放電燈是例如如下所示地可製作。

如第3(a)圖所示地，與上述同樣，準備製作放電管11，而且具有比放電管11的外徑還稍大的內徑尺寸，又具有相當於放電管11的中央部14的長度的圓筒狀的主管體，及分別內徑尺寸比主管體還大的兩個擴徑部形成用管體，藉由在主管體的兩端連接擴徑部形成用管體，製作放電管11配置於內部的狀態下在對應於至少放電管11的過冷卻防止部分15的部分具有擴徑部22的外管20。

之後，如第3(b)圖所示地，在外管20的內部***配置放電管11。在該狀態下，如第3(c)圖所示地在放電管11的中央部14的外周面，及外管20的內周面之間存在著微小的環狀空隙35的狀態。

又，在放電管11配置於外管20內的狀態下，藉由例如以電爐等進行加熱，如第3(d)圖所示地，密接放電管11的中央部14的外周面，及外管20的內周面。亦即，放電管11的內管12及外管20，都是例如石英玻璃製者，惟一般，眾知在石英玻璃是例如在1250℃左右的溫度被加熱，則成為稍具柔軟性的狀態。又，在放電管11內，水銀被封入，藉由被加熱把水銀蒸發而使得放電管11內的壓力上昇之故，因而把放電管11膨脹而成為接觸於外管20的內壁的狀態，又，隨著放電管11的膨脹使得外管20變形，藉由此，使得放電管11的中央部14的外周面與外管 20的內周面成為密接狀態，則放電管11及外管20的兩者被一體化。

終了加熱處理之後，高壓放電燈是被冷卻，惟放電管11是封入有水銀之故，因而放電管11的內壓是比大氣壓還高，而放電管11的溫度一直到水銀的蒸發收斂的例如360℃左右，石英玻璃是成為充分地堅硬之故，因而藉由高壓放電燈被冷卻，放電管11是也不會收縮，而放電管11與外管20的密接狀態是被維持。

在以上的製造方法中，加熱保持時間是因應於外管20的內徑與放電管11的外徑之尺寸差距(環狀空隙35的大小)被設定，具體上，隨著尺寸變大使得加熱保持時間設定較久。

例如內管12的管厚為2mm，而外管20的管厚為1mm時，而尺寸差距為0.1mm時，例如在1250℃的溫度，把加熱保持時間設定在3.5小時左右。

又，加熱處理是並不被限定於依電爐的方法者，藉由需要長久時間的時間者的燃燒器施以加熱所進行也可以。

<第2實施形態>

該第2實施形態的高壓放電燈，是作為外管，使用著例如內徑尺寸為對於軸方向均勻的直管狀者，而且作為放電管，使用著位於電極周圍的過冷卻防止部分比中央部還小徑的棒狀者，藉由此，在放電管的至少過冷卻防止部分的外周面與外管的內周面之間形成有朝全周延伸的空隙的 構成者。以下，針對於該第2實施形態的高壓放電燈的構成具體地說明。

第4圖是表示本發明的第2實施形態的高壓放電燈的一例的構成的概略說明用斷面圖，第5圖是表示圖示於第4圖的高壓放電燈的主要部分的擴大斷面圖。在第4圖及第5圖中，針對與上述第1實施形態的高壓放電燈相同的構成構件，為了方便，附有相同的符號之同時，省略說明。

該高壓放電燈40是除了在位於放電空間內的電極部分的周圍的過冷卻防止部分45，具備連續於比中央部44的外形尺寸L4還小的外徑尺寸L3的密封部43的朝軸方向外方形成有外徑尺寸變小的縮徑部46的內管42所成者之外，具有與上述第1實施形態者相同的構成的放電管41，及該放電管41配置於內部的內徑尺寸對於管軸方向呈均勻的直管狀的外管50所構成，在放電管41的過冷卻防止部分45及連續於該過冷卻防止部分45的密封部43的外周面，及外管50的內周面之間形成有朝全周延伸的空隙30。

此種第2實施形態的高壓放電燈，是藉由與上述第1實施形態的高壓放電燈同樣的方法可加以製作。

依照上述構成的高壓放電燈40，與第1實施形態有關者相同的效果，亦即，在點亮燈時，藉由沿著外管50的壁面流通例如冷卻水來冷卻高壓放電燈40，因過冷卻防止部分45是藉由空隙30(空氣層)的存在把冷卻作用減弱 。因此，與放電管41的外管50接觸或密接的中央部44是藉由冷卻水充分地被冷卻而可防止放電管41的破損的構成，而確實地可防止過冷卻防止部分45被過冷卻部的情形，結果，不會產生起因於水銀的未蒸發的照度降低，長久時間的期間確實地可得到穩定的輸出。

又，為雙重管構造之故，因而在點亮燈時，即使放電管41被損也可防止水銀流出至外部的情形。

又，可將放電管41構成將其過冷卻防止部分45比中央部44還小徑者容易地進行之故，因而容易且確實地可製作具有所期望的性能者。

在該第2實施形態的高壓放電燈40若放電管41的該中央部44也作成以接觸狀態配置於外管50的內周面的構成，則可得點亮燈時的充分的冷卻效果，惟藉由放電管41的該中央部44作成以密接狀態配置於外管50的內周面的構成，可得到更高冷卻效果。

〔光照射裝置〕

本發明的光照射裝置是具備上述高壓放電燈，設有區劃在點亮燈時冷卻燈的冷卻水沿著外管的壁面所流過的流路的流路形成構件的構成者。

第6圖是表示本發明的光照射裝置的一例的構成的概略說明用斷面圖，第7圖是表示第6圖的B－B線斷面圖。

該光照射裝置是將例如上述第1實施形態的高壓放電燈10具備作為光源所成，在高壓放電燈10玻璃通於內部 的狀態下設置成沿著高壓放電燈10的管軸延伸而在與高壓放電燈10的外周面之間具有形成冷卻水W所流過的冷卻水流路65的流路形成構件的圓筒狀冷卻套60，及配置於高壓放電燈10與冷卻套60的兩端的內部空間藉由連通於高壓放電燈10與冷卻套60之間的冷卻水流路65的冷卻水供應流路形成構件61及冷卻水排出流路形成構件62所構成的冷卻機構。

冷卻水供應流路形成構件61及冷卻水排出流路形成構件62是整體大約L型管狀，高壓放電燈10及冷卻套60，在例如管軸以朝水平方向延伸的姿勢被連接的狀態下，藉由軸方向內方側的鎖口部63例如經由O形環(未圖示)保持固定著冷卻套60的外周面，而且藉由方向外方側的鎖口部64例如O形環(未圖示)保持固定著高壓放電燈10的外周面。

冷卻套60是透射高壓放電燈10所放射的紫外線的材料，例如由石英玻璃所構成。

對於光照射方向(在第6圖及第7圖中的下方向)在高壓放電燈10的背面側，例如斷面具有拋物狀反射面71的槽狀反射鏡70，在其第1焦點與高壓放電燈10的中心(連結高壓放電燈10的一對電極16的中心的直線)一致的狀態下，配置成沿著高壓放電燈10延伸，而從高壓放電燈10所放射的光直接地或藉由反射鏡70被反射作成平行光而經由被保持於罩幕平台75的罩幕M被照射至載置於工件平台76上的塗佈有例如光阻等的感光劑的液晶面 板或半導體元件等的工件77。在此，反射面71是藉由交互地蒸鍍，例如二氧化鈦及二氧化矽等的不相同的反射層所形成的多層膜所形成。

在上述光照射裝置中，在點亮高壓放電燈10時，冷卻水W藉由未圖示的適當的冷卻水供應手段(泵)所構成。在此，高壓放電燈10的冷卻，是藉由以例如5公升/min的流量進行循環冷卻水W所達成。

所供應的冷卻水W是在被形成於高壓放電燈10與冷卻套60之間的冷卻水流路65內，沿著高壓放電燈10的壁面，具體上為沿著外管20的外周面朝軸方向流過而冷卻高壓放電燈10全體之後，經由冷卻水排出流路形成構件62被排出。

於是，依照上述光照射裝置，在點亮燈時，高壓放電燈10選擇性地被冷卻的亦即放電管11的過冷卻防止部分15是藉由空隙30(空氣層)的存在會減弱冷卻作用，而且與放電管11的外管20接觸的中央部14是藉由冷卻水W充分地被冷卻之故，因而可防止放電管11的破損的構成，而確實地可防止過冷卻防止部分15被過冷卻的情形 ，不會產生起因於水銀的未蒸發明的照度降低，長久時間的期間確實地可得到穩定的輸出，因此確實地可進行所期望的紫外線照射處理。

又，高壓放電燈10為雙重管構造之故，因而萬一在點亮燈時，即使有放電管11破損的情形，水銀也經由冷卻水W的循環流路可防止流出至外部的情形，而可防止 光照射裝置受到污染的情形。

以上，針對於本發明的實施形態加以說明，惟本發明並不被限定於上述實施形態者，可作各種變更。

例如在第1實施形態的高壓放電燈中，外管的擴徑部是構成在位於放電管的至少突出於內部空間內的電極部分的周圍的過冷卻防止部分的外周面與外管的內周面之間形成有朝全周延伸的空隙就可以，例如第8圖所示地，作成由比放電管11的過冷卻防止部分15還位於軸方向內方側的部朝軸方向外方延伸般地形成擴徑部22，而在包含放電管11的過冷卻防止部分15的外周面與外管20的內周面之間的領域的部分形成有朝全面延伸的空隙30的構成也可以。

又，外管的形狀是並沒有特別地加以限定者，使用著具有因應於放電管的外形形狀的內形形狀者，例如放電管的外形形狀為橢圓狀時，則外管的內形形狀被加工(形成)可內包放電管的大小的橢圓狀，藉由上述的方法，在內部配置放電管的狀態下，密接放電管的中央部的外周面與外管的內周面就可以。

又，本發明是並不被限定於毛細管型燈者，可適用於在點亮燈時須做冷卻的例如金屬鹵化物燈等的高輸出的高壓放電燈，在金屬鹵化物燈的情形，例如碘化鐵等的金屬鹵化物及例如氬氣體等的稀有氣體與水銀一起被封入在放電管內。

又，上述實施例的高壓放電燈的密封部，是依將石英 玻璃的管體作成熔融狀態使之壓潰的夾緊封閉法者，或是在極的外周直接纏住在經加熱的中間玻璃(電極與石英玻璃的中間性線膨脹率的玻璃)，熔敷於石英玻璃而依密封的漸變封閉法者也可以，亦即並不被限定者。

又，如第9圖所示地，藉由密封方法，有密封部13A為高壓放電燈10對於管軸方向未朝垂直方向縮小的情形(也包含擴大的情形)，惟在該情形，第1實施形態的構成，亦即作為外管20使用在兩端部具有擴徑部22者，藉由將外管22的擴徑部22的內徑L6作成比密封部13A的最大外徑L5還大，而在放電管11的過冷卻防止部分15的外周面與外管20的內周面之間形成有朝全周延伸的空隙30，藉由此，可形成所期望的過冷卻防止部分的情形。

又，在本發明的光照射裝置，具備本發明的高壓放電燈，若具備在點亮燈時依冷卻高壓放電燈的冷卻水的冷卻機構的構成，則其他構成構件的具體性構成是並未特別加以限定者。

例如，反射鏡是因應於處理目的的所期望的光特性，具體上作為平行光照射工件的功能，或是聚光而能得到照射於工件般地被選擇，可使用例如斷面具有橢圓狀反射面的槽狀者。這時候，藉由高壓放電燈為配置該中心與反射鏡的第1焦點一致的位置，使得來自高壓放電燈的光被聚光在反射鏡的第2焦點的位置。

10，40‧‧‧高壓放電燈

11，41‧‧‧放電管

12，42‧‧‧內管

13，13A，43‧‧‧密封部

14，44‧‧‧中央部

15，45‧‧‧過冷卻防止部分

16‧‧‧電極

17‧‧‧金屬箔

18‧‧‧外部引線

20，50‧‧‧外管

21‧‧‧中央部

22‧‧‧擴徑部

25‧‧‧底座

26‧‧‧接著劑

30‧‧‧空隙

35‧‧‧環狀空隙

46‧‧‧縮徑部

60‧‧‧冷卻套

61‧‧‧冷卻水供應流路形成構件

62‧‧‧冷卻排出流路形成構件

63，64‧‧‧鎖口部

65‧‧‧冷卻水流路

W‧‧‧冷卻水

70‧‧‧反射鏡

71‧‧‧反射面

75‧‧‧罩幕平台

M‧‧‧罩幕

76‧‧‧工件平台

77‧‧‧工作

80‧‧‧高壓水銀燈

81‧‧‧玻璃管部

82‧‧‧密封部

83‧‧‧電極

84‧‧‧引線端子

85‧‧‧中空層

88‧‧‧冷卻套

89‧‧‧流路

第1圖是表示本發明的第1實施形態的高壓放電燈的一例的構成的概略說明用斷面圖。

第2圖是表示圖示於第1圖的高壓放電燈的主要部分的擴大斷面圖。

第3圖是表示用以說明圖示於第1圖的高壓放電燈的製造方法的圖式，(a)是表示外管及放電管的構成的說明用斷面圖，(b)是表示在外管內配置有放電管的狀態的說明用斷面圖，(c)是表示(b)的A－A線斷面圖，(d)是表示藉由經加熱處理使得放電管的外周面與外管的內周面被密接的狀態的與(c)相同的切斷部的斷面圖。

第4圖是表示本發明的第2實施形態的高壓放電燈的一例的構成的概略說明用斷面圖。

第5圖是表示圖示於第4圖的高壓放電燈的主要部分的擴大斷面圖。

第6圖是表示本發明的光照射裝置的一例的構成的概略說明用斷面圖。

第7圖是表示第6圖的B－B線斷面圖。

第8圖是表示本發明的高壓放電燈的其他構成例的主要部分的斷面圖。

第9圖是表示本發明的高壓放電燈的另一構成例的主要部分的斷面圖。

第10圖是表示習知的高壓放電燈的一例的構成的概略說明用斷面圖。

第11圖是表示用以說明圖示於第10圖的高壓放電燈 的使用狀態的說明用斷面圖。

10‧‧‧高壓放電燈

11‧‧‧放電管

12‧‧‧內管

13‧‧‧密封部

14‧‧‧中央部

15‧‧‧過冷卻防止部分

16‧‧‧電極

17‧‧‧金屬箔

18‧‧‧外部引線

20‧‧‧外管

21‧‧‧中央部

22‧‧‧擴徑部

25‧‧‧底座

26‧‧‧接著劑

30‧‧‧空隙

Claims (6)

1. 一種高壓放電燈，其特徵為：在兩端被密封的內管的內部，具有一對電極被相對配置，而且至少水銀被封入所成的整體成棒狀的放電管，及將該放電管配置於其內部之外管，在外管內部，放電管為其中央部之外周面的至少一部分以接觸狀態或密接狀態配置於外管的的中央部之內周面而具有雙重管構造，在位於放電管的至少上述電極周圍的兩端部的外周面與外管的兩端部的內周面之間形成有朝全周延伸的空隙。
2. 如申請專利範圍第1項所述的高壓放電燈，其中，外管是在兩端部具有擴徑部，藉由該擴徑部形成有空隙。
3. 如申請專利範圍第1項所述的高壓放電燈，其中，外管是直管狀，放電管是位於電極周圍的兩端部比中央部還小徑者，藉由此形成有空隙。
4. 如申請專利範圍第1項所述的高壓放電燈，其中，上述放電管與上述外管是藉由接著劑被固定。
5. 一種高壓放電燈的製造方法，其特徵為：具有：在外管內***放電管所配置的狀態下，藉由加熱把放電管予以膨脹，而在位於放電管的至少電極周圍的兩端部的外周面與外管的兩端部的內周面之間形成有朝全周延伸的空隙的狀態下，將放電管的中央部之外周面與外管的中央部之外周面加以密接的工程。
6. 一種光照射裝置，其特徵為： 具備申請專利範圍第1項至第3項中任一項所述的高壓放電燈，設有形成在點亮燈時冷卻該高壓放電燈的冷卻水沿著外管壁面流過的流路的流路形成構件。