JP4587130B2 - 高圧放電ランプおよびその製造方法並びに光照射装置 - Google Patents
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Description
高圧放電ランプとしては、これまでに種々のタイプのものが提案されており、例えば特許文献1には、図10に示すように、両端が封止されたガラス管部81の内部に一対の電極83が対向配置されていると共に水銀が封入されており、電極83を先端に有するリード端子84が封止部82を気密に貫通して軸方向外方に突出して伸びるよう設けられた構成の毛細管型高圧水銀ランプ80が開示されている。
このような問題に対して、上記毛細管型高圧水銀ランプ80においては、ガラス管部81における電極83の周囲に位置される部分に、過冷却防止手段である中空層85が形成されている。
そして、図11に示すように、ガラス管部81の外周面との間に冷却水Wの流路89を形成する管状の冷却ジャケット88が配置され、ランプ点灯時において、流路89内を冷却水Wがガラス管部81の壁面に沿って軸方向に流過されることにより冷却される。
然るに、中空層85を具えていることにより、上記毛細管型高圧水銀ランプ80によれば、ガラス管部81は冷却水Wによって直接冷却されるため、十分な冷却効果を得ることができ、しかもガラス管部81における電極の周囲の部分は中空層85により冷却効果が弱められるため、過冷却を防止することができる、とされている。
また、ランプ点灯中に、ガラス管部81が破損した場合には、ガラス管部81内に封入された水銀が例えば冷却水の流路89を介して外部に流出してしまうおそれがある。
本発明の第2の目的は、所期の性能を有するものを確実に製造することのできる高圧放電ランプの製造方法を提供することにある。
本発明の第3の目的は、上記高圧放電ランプを具え、所期の光照射処理を確実に行うことのできる光照射装置を提供することにある。
放電管における、少なくとも前記電極の周囲に位置される両端部の外周面と外管の両端部の内周面との間に全周に伸びる空隙が形成されていることを特徴とする。
本明細書において、『接触状態』とは、外管の内周面(内壁)と放電管の外周面(外壁)とが点接触または線接触する状態をいい、一部が面接触している状態も含む。また、『密着状態』とは、外管の内周面と放電管の外周面とが主として面接触した状態をいい、放電管および外管の両者が一体化されている状態をいう。
また、二重管構造であるので、ランプ点灯時に、万一、放電管が破損してしまった場合であっても、水銀が外部に流出することを防止することができる。
本発明の高圧放電ランプは、放電管を構成する内管と、外管とにより構成された二重管構造のものであって、放電管における電極の周囲に位置される部分の外周面と、外管の内周面との間に全周に伸びる空隙が形成され、これにより、過冷却防止構造が形成されてなるものである。
第1実施形態に係る高圧放電ランプは、外管として特定の構成のものが用いられることにより、放電管における電極周囲の部分の外周面と外管の内周面との間に全周に伸びる空隙が形成された構成のものである。以下、この第1実施形態に係る高圧放電ランプの構成について具体的に説明する。
この高圧放電ランプ10は、両端が封止された、例えば石英ガラスからなる直管状の内管12の内部に、各々例えばタングステンからなる一対の棒状の電極16が対向配置され、各電極16が内管12に形成されたロッド状の封止部13に気密に埋設された例えばモリブデンからなる金属箔17を介して封止部13の外端より軸方向外方に突出して伸びる外部リード18に電気的に接続されてなる、全体が棒状の放電管11と、この放電管11が内部に配置された、例えば石英ガラスからなる外管20とにより構成されている。
放電管11における封止部13は、例えば、内管12の構成材料であるパイプ体における両端部を溶融状態にして内部を減圧するシュリンクシール法により形成されたものであり、放電管11の中央部14(発光領域に相当する部分)より小径とされている。
空隙30の大きさ、すなわち外管20における拡径部22の内径L2と放電管11における過冷却防止部分15の外径L1との差は、例えば2mm以上であることが好ましく、これにより、ランプ点灯時に冷却される際に、放電管11の過冷却防止部分15が過冷却されることを確実に防止することができる。
先ず、例えば円筒状のパイプ体の内部に、適宜の量の水銀を封入すると共に各々ロッド状の電極16と外部リード18とが金属箔17を介して電気的に接続されてなる電極構造体をパイプ体の両側から挿入して電極16を対向配置させた状態において、例えばシュリンクシール法によりパイプ体の両端部を封止することにより、放電管11を作製する。
一方、このようにして得られた放電管11の外径寸法と同等の大きさの内径寸法を有すると共に、放電管11の中央部14に相当する長さ(発光領域に相当する部分の長さ)を有する円筒状の主パイプ体、および、各々主パイプ体より内径寸法の大きい2つの拡径部形成用パイプ体を用意し、主パイプ体の両端に拡径部形成用パイプ体を接続することにより、放電管11が内部に配置された状態において、少なくとも放電管11における過冷却防止部分15に対応する部分に拡径部22を有する外管20を作製する。
次いで、放電管11を外管20の内部に嵌合することにより、上記構成の高圧放電ランプ10を得ることができる。
ランプ点灯時における高圧放電ランプ10の定格電圧が2000V、定格電流が1.25Aであり、ランプ電力が2500Wである。
而して、上記構成の高圧放電ランプ10によれば、外管20が、放電管11における過冷却防止部分15の外周面およびこれに連続する封止部13の外周面との間に全周に伸びる空隙30が形成された状態で、放電管11の中央部14における外周面に接触状態で配置された二重管構造とされていることにより、ランプ点灯時において、外管20の壁面に沿って例えば冷却水を流過させて高圧放電ランプ10を冷却することにより、過冷却防止部分15は空隙30(空気層)の存在によって冷却作用が弱められる。従って、放電管11の外管20と接触する中央部は冷却水によって十分に冷却されて放電管11の破損を防止することができる構成でありながら、過冷却防止部分15が過冷却されることを確実に防止することができる結果、水銀の未蒸発に起因する照度低下を生ずることがなく、安定した出力を長時間の間にわたって確実に得ることができる。
ここに、この高圧放電ランプ10においては、放電管11の中央部14における外周面と外管20の内周面とが接触状態(点接触または線接触している状態)とされており、また、各々例えば石英ガラスからなる放電管11および外管20はその表面に微細な凹凸を有するものであるため、実際上、放電管11と外管20との間に極微小な隙間が点在しているが、例えば最大で100μm程度の隙間が存在している場合であっても、十分な冷却効果を得ることができる。
このような過冷却防止構造が形成された高圧放電ランプ10は、例えば中空層を放電管に形成するなどの特殊な加工を必要とせず、所定位置に拡径部22が形成された外管20内に放電管11を挿入して配置して二重管構造のものとして構成することにより作製することができ、しかも、管軸方向に対して均一な内径寸法を有するパイプ体を加工して拡径部22を形成することは容易に行うことができるので、所期の性能を有するものを容易にかつ確実に作製することができる。
図3(a)に示すように、上記と同様にして、放電管11を作製すると共に、放電管11の外径より若干大きい内径寸法を有すると共に、放電管11の中央部14に相当する長さを有する円筒状の主パイプ体と、各々、主パイプ体より内径寸法が大きい2つの拡径部形成用パイプ体とを用意し、主パイプ体の両端に拡径部形成用パイプ体を接続することにより、放電管11が内部に配置された状態において少なくとも放電管11における過冷却防止部分15に対応する部分に拡径部22を有する外管20を作製する。
そして、放電管11が外管20内に配置された状態において、例えば電気炉等で加熱することにより、図3(d)に示すように、放電管11における中央部14の外周面と、外管20の内周面とを密着させる。すなわち、放電管11における内管12、および、外管20は、いずれも例えば石英ガラス製のものであるが、一般に、石英ガラスは、例えば1250℃程度の温度で加熱されると、わずかに柔軟性を有する状態となることが知られている。そして、放電管11内には、水銀が封入されていることから、加熱されることにより水銀が蒸発して放電管11内の圧力が上昇するため、放電管11が膨張して外管20の内壁に接する状態となり、さらに、放電管11の膨張に伴って外管20が変形し、これにより、放電管11の中央部14における外周面と外管20の内周面が密着状態となり、放電管11および外管20の両者が一体化される。
加熱処理が終了した後、高圧放電ランプは冷却されるが、放電管11は水銀が封入されているので、放電管11の内圧は大気圧よりも高く、放電管11の温度が水銀の蒸発が収まる例えば360℃程度に至るまでには、石英ガラスは十分に硬くなっているので、高圧放電ランプが冷却されることによっても、放電管11は収縮することはなく、放電管11と外管20との密着状態は維持される。
例えば内管12の肉厚が2mm、外管20の肉厚が1mmである場合であって寸法差が0.1mmである場合には、例えば1250℃の温度で、加熱保持時間が3.5時間程度に設定される。
なお、加熱処理は、電気炉による方法に限定されるものではなく、長時間の時間を要するもののバーナーによって加熱することによって行うこともできる。
この第2実施形態に係る高圧放電ランプは、外管として、例えば内径寸法が軸方向に対して均一な直管状のものが用いられると共に、放電管として、電極の周囲に位置される過冷却防止部分が中央部より小径である棒状のものが用いられることにより、放電管における、少なくとも過冷却防止部分の外周面と外管の内周面との間に全周に伸びる空隙が形成された構成のものである。以下、この第2実施形態に係る高圧放電ランプの構成について具体的に説明する。
この高圧放電ランプ40は、放電空間内に位置される電極部分の周囲に位置される過冷却防止部分45に、中央部44の外形寸法L4より小さい外径寸法L3の封止部43に連続する、軸方向外方に向かって外径寸法が小さくなる縮径部46が形成された内管42を具えてなるものであることの他は、上記第1実施形態に係るものと同一の構成を有する放電管41と、この放電管41が内部に配置された、内径寸法が管軸方向に対して均一な直管状の外管50とにより構成されており、放電管41の過冷却防止部分45およびこの過冷却防止部分45に連続する封止部43の外周面と、外管50の内周面との間に全周に伸びる空隙30が形成されている。
また、二重管構造であるので、ランプ点灯時に、放電管41が破損しても水銀が外部に流出することを防止することができる。
さらに、放電管41をその過冷却防止部分45を中央部44より小径のものとして構成することは容易に行うことができるので、所期の性能を有するものを容易にかつ確実に作製することができる。
この第2実施形態に係る高圧放電ランプ40においても、放電管41がその中央部44が外管50の内周面に接触状態で配置された構成とされていれば、ランプ点灯時における十分な冷却効果を得ることができるが、放電管41がその中央部44が外管50の内周面に密着状態で配置された構成とされていることにより、一層高い冷却効率を得ることができる。
本発明の光照射装置は、上記高圧放電ランプを具備し、ランプ点灯時においてランプを冷却する冷却水が外管の壁面に沿って流過される流路を区画する流路形成部材が設けられた構成のものである。
この光照射装置は、例えば上記第1実施形態に係る高圧放電ランプ10を光源として具えてなり、高圧放電ランプ10が内部に挿通された状態で高圧放電ランプ10の管軸に沿って伸びるよう設けられて高圧放電ランプ10の外周面との間に冷却水Wが流過される冷却水流路65を形成する流路形成部材である円筒状の冷却ジャケット60と、高圧放電ランプ10および冷却ジャケット60の両端に配置された、内部空間が高圧放電ランプ10と冷却ジャケット60との間の冷却水流路65に連通する冷却水供給流路形成部材61および冷却水排出流路形成部材62とにより構成された冷却機構を有する。
冷却ジャケット60は、高圧放電ランプ10から放射される紫外線を透過する材料、例えば石英ガラスにより構成されている。
供給される冷却水Wは、高圧放電ランプ10と冷却ジャケット60との間に形成された冷却水流路65内を、高圧放電ランプ10の壁面、具体的には外管20の外周面に沿って軸方向に流過されて高圧放電ランプ10全体を冷却した後、冷却水排出流路形成部材62を介して排出される。
而して、上記光照射装置によれば、ランプ点灯時において、高圧放電ランプ10が選択的に冷却される、すなわち放電管11における過冷却防止部分15は空隙30(空気層)の存在によって冷却作用が弱められると共に、放電管11の外管20と接触する中央部14は冷却水Wによって十分に冷却されるので、放電管11の破損を防止することができる構成でありながら、過冷却防止部分15が過冷却されることを確実に防止して水銀の未蒸発に起因する照度低下を生ずることがなく、安定した出力を長時間の間にわたって確実に得ることができ、従って、所期の紫外線照射処理を確実に行うことができる。
また、高圧放電ランプ10が二重管構造であるので、万一、ランプ点灯時に、放電管11が破損してしまった場合であっても、水銀が冷却水Wの循環流路を介して外部に流出することを防止することができ、光照射装置が汚染することを防止することができる。
例えば、第1実施形態に係る高圧放電ランプにおいては、外管の拡径部は、放電管の、少なくとも内部空間内に突出する電極部分の周囲に位置される過冷却防止部分の外周面と外管の内周面との間に全周に伸びる空隙が形成されるよう構成されていればよく、例えば図8に示すように、拡径部22を、放電管11の過冷却防止部分15より軸方向内方側の位置される部分から軸方向外方に伸びるよう、形成し、放電管11の過冷却防止部分15の外周面と外管20の内周面との間の領域を含む部分に全周に伸びる空隙30が形成される構成とされていてもよい。
また、外管の形状は特に限定されるものではなく、放電管の外形形状に応じた内形形状を有するものが用いられ、例えば放電管の外形形状が楕円状の場合には、外管の内形形状が放電管を内包可能な大きさの楕円状に加工(形成)され、上述した方法により、内部に放電管を配置した状態において、放電管の中央部における外周面と外管の内周面とを密着させればよい。
さらに、上記実施例に係る高圧放電ランプにおける封止部は、石英ガラスのパイプ体を溶融状態にして圧潰するピンチシール法によるものや、電極の外周に加熱した中間ガラス(電極と石英ガラスの中間的な線膨張率のガラス)を直接巻きつけ、石英ガラスに溶着して封止するグレーテッドシール法によるものであってもよく、すなわち限定されるものではない。
なお、図9に示すように、封止方法によっては、封止部13Aが高圧放電ランプ10の管軸方向に対して垂直方向に縮小されない場合(拡大される場合も含む)があるが、この場合には、第1実施形態に係る構成、すなわち外管20として両端部に拡径部22を有するものを用いればよく、外管22の拡径部22の内径L6を封止部13Aの最大外径L5より大きくすることにより、放電管11の過冷却防止部分15の外周面と外管20の内周面との間に全周に伸びる空隙30が形成され、これにより、所期の過冷却防止構造を形成することができる。
例えば、反射鏡は、処理目的に応じた所望の光の特性、具体的には平行光としてワークに照射する機能、あるいは集光してワークに照射する機能が得られるよう、選択され、例えば断面が楕円状の反射面を有する樋状のものが用いることができる。この場合には、高圧放電ランプがその中心が反射鏡の第1焦点と一致する位置に配置されることにより、高圧放電ランプからの光が反射鏡の第2焦点の位置で集光される。
11,41 放電管
12,42 内管
13,13A,43 封止部
14,44 中央部
15,45 過冷却防止部分
16 電極
17 金属箔
18 外部リード
20,50 外管
21 中央部
22 拡径部
25 ベース
26 接着剤
30 空隙
35 環状空隙
46 縮径部
60 冷却ジャケット
61 冷却水供給流路形成部材
62 冷却水排出流路形成部材
63,64 口締め部
65 冷却水流路
W 冷却水
70 反射鏡
71 反射面
75 マスクステージ
M マスク
76 ワークステージ
77 ワーク
80 高圧放電ランプ
81 ガラス管部
82 封止部
83 電極
84 リード端子
85 中空層
88 冷却ジャケット
89 流路
Claims (5)
- 両端が封止された内管の内部に、一対の電極が対向配置されると共に少なくとも水銀が封入されてなる全体が棒状の放電管と、この放電管が内部に配置された外管とを具え、外管の内部において、放電管がその中央部における外周面の少なくとも一部が外管の中央部における内周面に接触状態ないしは密着状態で配置された二重管構造を有し、
放電管における、少なくとも前記電極の周囲に位置される両端部の外周面と外管の両端部の内周面との間に全周に伸びる空隙が形成されていることを特徴とする高圧放電ランプ。 - 外管は両端部に拡径部を有し、この拡径部により空隙が形成されていることを特徴とする請求項1に記載の高圧放電ランプ。
- 外管が直管状であり、
放電管は、電極の周囲に位置される両端部が中央部より小径であるものであり、これにより空隙が形成されていることを特徴とする請求項1に記載の高圧放電ランプ。 - 外管内に放電管を挿入して配置した状態において、加熱することにより放電管を膨張させて、放電管における、少なくとも電極の周囲に位置される両端部の外周面と外管の両端部の内周面との間に全周に伸びる空隙が形成された状態で、放電管の中央部における外周面と外管の中央部における内周面とを密着させる工程を有することを特徴とする高圧放電ランプの製造方法。
- 請求項1〜請求項3のいずれかに記載の高圧放電ランプを具備し、ランプ点灯時において当該高圧放電ランプを冷却する冷却水が外管の壁面に沿って流過される流路を形成する流路形成部材が設けられていることを特徴とする光照射装置。
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Citations (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
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