TWI398647B - 測試裝置、測試方法以及半導體元件 - Google Patents

Description

測試裝置、測試方法以及半導體元件

本發明是有關於一種測試裝置、測試方法以及半導體元件，且特別是有關於一種用於檢測從多個輸出端子分別輸出對應於輸入資料的輸出電壓或者輸出電流的半導體元件的測試裝置及測試方法、以及將該測試裝置作為診斷電路而裝入的半導體元件。又，該申請案與下述日本申請案相關，關於因文獻參照而允許併入的指定國，因參照下述申請案的內容而併入該申請案中，作為本申請案的一部分。

日本專利特願2005－136075申請日2005年05月09日

近年來，半導體測試裝置正被使用於多種半導體元件的測試中。作為如此測試對象的半導體元件(DUT：Device Under Test，被測試元件)之一，可列舉驅動顯示器用面板的驅動IC(參照非專利文獻1)。

例如在液晶面板中，各畫素是排列為矩陣狀，且於每個畫素中設置有畫素電極。驅動IC將對應於每個畫素中所指定的灰階資料的畫素驅動電壓，施加至該畫素的畫素電極。藉此，驅動IC使該畫素內液晶的偏光度變化，以使透過率產生變化，並控制畫素的亮度。

更具體而言，液晶面板的各畫素是藉由畫素驅動電壓的輸入而在列單位啟動。驅動IC從多個輸出端子分別將畫素驅動電壓並列供給至對應於該輸出端子的行上的各畫素。藉此，在畫素驅動電壓的輸入啟動的列上之多個畫素上，分別供給有從多個輸出端子所輸出的多個畫素驅動電壓，且設定各畫素的亮度。

此處，相對於同一灰階資料，若驅動IC從多個輸出端子所輸出的畫素驅動電壓中存在誤差，則所顯示的圖像中會產生色差。因此，於驅動IC的測試中，相對於同一灰階資料，測試裝置將從多個輸出端子所輸出的多個畫素驅動電壓之不均勻度較大的驅動IC判定為不良品。

於上述半導體元件的測試中，測試裝置藉由測定器分別測定從多個輸出端子所輸出的輸出電壓，並判定測定值之不均勻度。

非專利文獻1：堀浩雄、鈴木幸治編，「彩色液晶顯示器」，初版，共立出版株式會社，2001年6月25日，第229－252頁。

人類的眼睛可靈敏地檢測出畫素的亮度之差，故相對於同一灰階資料所容許的畫素驅動電壓之不均勻度必須非常小。作為其一例，在最大20 V的畫素驅動電壓下顯示1024灰階的灰階資料時，每一灰階的電壓差為20 mV。對此，必須設法將畫素驅動電壓之不均勻度抑制於例如1 mV的範圍內。

於上述先前的測試裝置中，藉由測定器直接測定從多個輸出端子所輸出的多個畫素驅動電壓。因此，設法使各測定器在從最小亮度至最大亮度的較廣範圍內測定電壓，且以充分可檢測的精度測定畫素驅動電壓之不均勻度會較為困難。於上述例中，使用16位元的數位類比轉換器(A/D converter)時，其解析度約為320 μV(＝20 V/2^{1 6} )，亦無法高精度地檢測出1 mV的範圍內之不均勻度。

為了消除該問題，亦可考慮由測試裝置產生基準電壓，並測定各畫素驅動電壓減去基準電壓後之差分電壓。藉此，可行的是，對應於灰階資料的變更而變更基準電壓，並且測定差分電壓的測定器可測定從1灰階至數灰階量程度的電壓範圍，故可提高測定電壓的解析度。然而，基準電壓的設定需要時間，故導致測試時間增長。

因此，本發明之目的在於提供一種可解決上述課題的測試裝置、測試方法、以及半導體元件。該目的藉由申請專利範圍中獨立項的特徵之組合而達成。而且附屬項規定有本發明更加有利的具體例。

根據本發明的第1形態，提供一種測試裝置，測試從多個輸出端子分別輸出對應於輸入資料的輸出電壓或輸出電流的半導體元件，包括：測試訊號供給部，將用以測試上述半導體元件的測試訊號供給至上述半導體元件；訊號輸入部，從上述多個輸出端子分別接收上述輸出電壓或者上述輸出電流；差分檢測器，對應於上述多個輸出端子中不同於作為基準的基準輸出端子的差分測定對象輸出端子而設置，並檢測從上述基準輸出端子所輸入的上述輸出電壓或者上述輸出電流、與從該差分測定對象輸出端子所輸入的上述輸出電壓或上述輸出電流的差分值；以及判定部，根據從上述差分測定對象輸出端子所檢測出的上述差分值，判定從上述差分測定對象輸出端子所輸出的上述輸出電壓或者上述輸出電流之不均勻度是否在預定的基準範圍內。

上述差分檢測器分別對應於兩個或兩個以上的上述差分測定對象輸出端子而設置兩個或兩個以上，並且上述判定部亦可對應於從上述兩個或兩個以上差分測定對象輸出端子輸出上述同一輸入資料所對應的上述輸出電壓或者上述輸出電流，並根據從該兩個或兩個以上的差分測定對象輸出端子所檢測出的兩個或兩個以上的上述差分值，而判定從上述兩個或兩個以上差分測定對象輸出端子所輸出的上述輸出電壓或者上述輸出電流之不均勻度是否在預定的基準範圍內。

上述半導體元件對應於多個畫素而包括上述多個輸出端子，且該半導體元件是將對上述各畫素所指定的上述輸入資料相對應的輸出電壓或輸出電流，作為畫素驅動電壓或畫素驅動電流而輸出的圖像顯示用元件，並且上述判定部亦可對應於從上述兩個或兩個以上的差分測定對象輸出端子輸出上述同一輸入資料所對應的上述畫素驅動電壓或者上述畫素驅動電流，並根據從該兩個或兩個以上的差分測定對象輸出端子所檢測出的兩個或兩個以上的上述差分值，而判定從上述兩個或兩個以上的差分測定對象輸出端子所輸出的上述畫素驅動電壓或者上述畫素驅動電流之不均勻度是否在預定的範圍內。

上述測試裝置更包括基準值測定部，將從上述基準輸出端子所輸入的上述輸出電壓或者上述輸出電流作為基準電壓或基準電流而進行測定，且上述判定部亦可根據上述基準電壓或上述基準電流、以及上述兩個或兩個以上的差分值，而判定該半導體元件的良否。

上述差分檢測器亦可以解析度大於上述基準值測定部的上述基準電壓或上述基準電流的測定解析度，而檢測上述輸出電壓或上述輸出電流的差分值。

上述測試裝置更包括：第1上述基準值測定部，測定從第1上述基準輸出端子所輸入的第1上述基準電壓或者第1上述基準電流，該第1上述基準輸出端子對應於更大的輸入資料而輸出更大的上述輸出電壓或者上述輸出電流；第2上述基準值測定部，測定從第2上述基準輸出端子所輸入的第2上述基準電壓或第2上述基準電流，該第2上述基準輸出端子對應於更大的輸入資料而輸出更小的上述輸出電壓或者上述輸出電流；兩個或兩個以上的第1上述差分檢測器，對應於更大的輸入資料而輸出更大的上述輸出電壓或者上述輸出電流的上述輸出端子中，與不同於上述第1基準輸出端子的兩個或兩個以上的第1差分測定對象輸出端子分別對應而設置，且檢測出從上述第1基準輸出端子所輸入的上述輸出電壓或者上述輸出電流、與從該第1差分測定對象輸出端子所輸入的上述輸出電壓或者上述輸出電流的差分值；以及兩個或兩個以上的第2上述差分檢測器，對應於更大的輸入資料而輸出更小的上述輸出電壓或者上述輸出電流的上述輸出端子中，與不同於上述第2基準輸出端子的兩個或兩個以上第2差分測定對象輸出端子分別對應而設置，且檢測出從上述第2基準輸出端子所輸入的上述輸出電壓或上述輸出電流與從該第2差分測定對象輸出端子所輸入的上述輸出電壓或上述輸出電流之差分值，且上述判定部亦可對應於從上述兩個或兩個以上第1差分測定對象輸出端子及上述兩個或兩個以上第2差分測定對象輸出端子輸出上述同一輸入資料所對應的上述輸出電壓或上述輸出電流，並根據上述兩個或兩個以上第1差分檢測器及上述兩個或兩個以上第2差分檢測器分別輸出的上述差分值、上述第1基準電壓或上述第1基準電流、以及上述第2基準電壓或上述第2基準電流，判定該半導體元件的良否。

上述測試裝置更包括輸出端子選擇部，選擇是否將上述多個輸出端子中之任一個作為上述基準輸出端子，並將所選擇的除了上述基準輸出端子以外的兩個或兩個以上的上述輸出端子作為上述兩個或兩個以上的差分測定對象輸出端子。

上述測試裝置更包括：兩個或兩個以上的第1上述差分檢測器，與屬於將上述多個輸出端子分割後的第1群組之兩個或兩個以上的第1上述差分測定對象輸出端子分別對應而設置，且檢測出從屬於上述第1群組的第1上述基準輸出端子所輸入的上述輸出電壓或者上述輸出電流、與從該第1差分測定對象輸出端子所輸入的上述輸出電壓或者上述輸出電流之第1差分值；兩個或兩個以上的第2上述差分檢測器，與屬於將上述多個輸出端子分割後的第2群組之兩個或兩個以上的第2上述差分測定對象輸出端子分別對應而設置，且檢測出從屬於上述第2群組的第2上述基準輸出端子所輸入的上述輸出電壓或者上述輸出電流、與從該第2差分測定對象輸出端子所輸入的上述輸出電壓或者上述輸出電流之第2差分值；以及第3差分檢測器，檢測出從上述第1基準輸出端子所輸入的上述輸出電壓或者上述輸出電流、與從上述第2基準輸出端子所輸入的上述輸出電壓或者上述輸出電流之第3差分值，且上述判定部亦可對應於從上述多個輸出端子輸出上述同一輸入資料所對應的上述輸出電壓或者上述輸出電流，並根據上述兩個或兩個以上第1差分檢測器所檢測出出的兩個或兩個以上的上述第1差分值、上述兩個或兩個以上第2差分檢測器所檢測出的兩個或兩個以上的上述第2差分值、上述第3差分檢測器所檢測出的上述第3差分值，判定從上述多個輸出端子所輸出的上述輸出電壓或上述輸出電流的不均勻度是否在預定的基準範圍內。

根據本發明的第2形態，提供一種測試方法，測試從多個輸出端子分別輸出對應於輸入資料的輸出電壓或輸出電流的半導體元件，包括：測試訊號供給階段，將用以測試上述半導體元件的測試訊號供給至上述半導體元件；訊號輸入階段，從上述多個輸出端子分別輸入上述輸出電壓或者上述輸出電流；差分檢測階段，分別對應不同於上述多個輸出端子中作為基準的基準輸出端子的兩個或兩個以上的差分測定對象輸出端子，且檢測出從上述基準輸出端子所輸入的上述輸出電壓或者上述輸出電流、與從該差分測定對象輸出端子所輸入的上述輸出電壓或者上述輸出電流之差分值；以及判定階段，對應於從上述兩個或兩個以上的差分測定對象輸出端子輸出上述同一輸入資料所對應的上述輸出電壓或者上述輸出電流，並根據從該兩個或兩個以上的差分測定對象輸出端子所檢測出的兩個或兩個以上的上述差分值，判定從上述兩個或兩個以上差分測定對象輸出端子所輸出的上述輸出電壓或者上述輸出電流的不均勻度是否在預定的基準範圍內。

根據本發明的第3形態，提供一種半導體元件，包括主電路與診斷電路，該主電路從多個輸出端子分別輸出對應於輸入資料的輸出電壓或輸出電流，該診斷電路對上述主電路進行診斷，且上述診斷電路包括：訊號輸入部，從上述多個輸出端子分別輸入上述輸出電壓或者上述輸出電流；差分檢測器，與不同於上述多個輸出端子中作為基準的基準輸出端子的差分測定對象輸出端子對應而設置，且檢測出從上述基準輸出端子所輸入的上述輸出電壓或者上述輸出電流、與從該差分測定對象輸出端子所輸入的上述輸出電壓或者上述輸出電流的差分值；以及判定部，根據從上述差分測定對象輸出端子所檢測出的上述差分值，判定從上述差分測定對象輸出端子所輸出的上述輸出電壓或者上述輸出電流的不均勻度是否在預定的基準範圍內。

再者，上述發明概要並未列出本發明的所有必要特徵，上述多個特徵群的次組合亦可成為發明。

根據本發明，可對從多個輸出端子輸出對應於輸入資料的輸出電壓或輸出電流的半導體元件進行高效測試。

為讓本發明之上述和其他目的、特徵和優點能更明顯易懂，下文特舉較佳實施例，並配合所附圖式，作詳細說明如下。

以下，通過發明的實施形態以說明本發明，但以下實施形態並非限定於申請專利範圍中的發明，而且實施形態中所說明的所有特徵的組合並不限於發明內容中。

圖1是本實施形態的測試裝置10的構成示意圖。測試裝置10對DUT 100(Device Under Test：被測試元件)進行測試。作為本實施形態測試裝置10之測試對象的DUT 100，其是從多個輸出端子分別輸出對該輸出端子所指定的輸入資料相對應的輸出電壓之半導體元件。作為DUT 100之一例，可列舉驅動液晶面板等的圖像顯示用元件。如此之DUT 100對應於多個畫素而包括多個輸出端子，且將對各個畫素所指定的輸入資料相對應的輸出電壓作為畫素驅動電壓而輸出。藉此，DUT 100可將對各畫素所指定的灰階資料相對應的灰階電壓供給至該畫素，並設定該畫素的亮度。

測試裝置10將基於用以測試DUT 100的測試圖案的測試訊號輸入至DUT 100，並根據DUT 100對應於測試訊號而輸出的輸出訊號，判定DUT 100的良否。測試裝置10包括測試訊號供給部110、訊號輸入部160、測定部170、以及判定部180。

測試訊號供給部110將用以測試DUT 100的測試訊號供給至DUT 100。該測試訊號的一部分是作為控制用訊號而供給至DUT 100。又，該測試訊號的其他部分是作為灰階資料等的輸入資料而供給至DUT 100的資料用輸入端子。測試訊號供給部110包括時序產生器120、圖案產生器130、波形成形器140、以及驅動器150。

時序產生器120根據由圖案產生器130所指定的時序資料，而生成作為測試裝置10之動作基準的基準時脈(clock)。又，時序產生器120對應來自於圖案產生器130的指示，而產生表示測試程式的各執行週期的週期時脈，並供給至圖案產生器130。又，時序產生器120在每個測試週期，生成將基於測試圖案的測試訊號供給至DUT 100的時序(timing)。

圖案產生器130執行測試裝置10的使用者所指定的測試程式的序列(sequence)，並生成利用週期時脈所指定的每個測試週期中供給至DUT 100的測試圖案。又，圖案產生器130生成從DUT 100所輸出的輸出電壓的期待值，並將其供給至判定部180。

波形成形器140是從圖案產生器130中接收測試圖案並成形，其並是根據從時序產生器120中所接收的時序而輸出測試訊號的波形格式器(formatter)。換言之，例如，波形成形器140利用時序產生器120所指定的時序，將利用測試圖案所指定的波形訊號輸出至驅動器150。驅動器150將從波形成形器140中接收的測試訊號供給至DUT 100。

訊號輸入部160從多個輸出端子分別接收DUT 100所輸出的輸出電壓。DUT 100為圖像顯示用元件時，該輸出電壓為該輸出端子所對應畫素的畫素驅動電壓。測定部170分別測定從多個輸出端子所輸入的多個輸出電壓。判定部180根據測定部170的測定結果，判定DUT 100的良否。

圖2是本實施形態的訊號輸入部160、測定部170、以及判定部180的構成示意圖。訊號輸入部160包括分別對應於多個輸出端子而設置的放大器200。各放大器200將從各個輸出端子所輸入的輸出電壓放大並輸出，使後段電路可充分動作。

測定部170用於測定將多個輸出端子的輸出電壓經由放大器200而輸入的電壓值。關於本實施形態的測定部170，其為了對DUT 100的輸出電壓進行高精度的測定，將多個輸出端子的至少一個作為以其為基準的基準輸出端子，並將多個輸出端子中不同於作為基準的基準輸出端子的輸出端子作為差分測定對象輸出端子。繼而，測定部170測定與基準輸出端子的輸出電壓的差分電壓，以取代直接測定各差分測定對象輸出端子的輸出電壓。

測定部170包括：一個或多個的差分檢測器210，以及基準值測定部240。差分檢測器210分別對應於差分測定對象輸出端子而設置，並檢測出從基準輸出端子所輸入的輸出電壓、與從該差分測定對象輸出端子所輸入的輸出電壓的差分值。

各差分檢測器210包括差分運算器220與差分測定部230。差分運算器220輸出從基準輸出端子所輸入的輸出電壓即基準電壓、與從對應的差分測定對象輸出端子所輸入的輸出電壓之差分電壓。本實施形態的差分運算器220輸出各差分測定對象輸出端子的輸出電壓減去基準電壓後之差分電壓。差分測定部230藉由測定對應的差分運算器220所輸出的差分電壓，而對各差分測定對象輸出端子的輸出電壓與基準電壓的差分值進行檢測。

基準值測定部240將從DUT 100的基準輸出端子所接收的輸出電壓作為基準電壓而進行測定。判定部180接收利用基準值測定部240所測定的電壓值、以及利用兩個或兩個以上的差分檢測器210分別測定的差分值，並判定從多個輸出端子所輸出的輸出電壓是否在正常值的範圍內。繼而，判定部180根據該判定結果，判定DUT 100的良否。

圖3是關於本實施形態之測試裝置10的動作示意圖。

測試裝置10對DUT 100可指定的各輸入資料值進行從S310至S340的處理(S300、S350)。此處，測試裝置10可利用將該輸入資料值從最小值依次進行增量(increment)，或者從最大值依次進行減量(decrement)等的方式，對所有輸入資料值從S310至S340進行處理。

其次，測試訊號供給部110將作為測試對象的輸入資料設定於DUT 100中(S310)。本實施形態的測試訊號供給部110對兩個或兩個以上的差分測定對象輸出端子供給同一輸入資料，並使對應於同一輸入資料的輸出電壓從兩個或兩個以上差分測定對象輸出端子而輸出。又，測試訊號供給部110對基準端子亦供給同一輸入資料，並輸出與差分測定對象輸出端子對應於同一輸入資料的基準電壓。

其次，基等值測定部240將從DUT 100的基準輸出端子所輸入的輸出電壓作為基準電壓而進行測定(S320)。繼之，各差分檢測器210藉由差分運算器220而求出從基準輸出端子所輸入的基準電壓、與從各差分測定對象輸出端子所輸入的輸出電壓的差分值，並藉由差分測定部230測定該差分值(S330)。此處，差分運算器220亦可將從各差分測定對象輸出端子所輸入的輸出電壓與基準電壓的差分電壓，放大例如100倍等，以作為該差分值而輸出。藉此，使用可測定的電壓之解析度較低的差分測定部230，亦可以必要的精度而測定差分電壓。

其次，判定部180根據測定部170的測定結果，對該輸入資料判定從多個輸出端子所輸出的輸出電壓之不均勻度的良否(S340)。換言之，判定部180對應於在S310中所供給的同一輸入資料，並根據從兩個或兩個以上的差分測定對象輸出端子所檢測出之兩個或兩個以上的差分值，而判定從兩個或兩個以上的差分測定對象輸出端子所輸出的輸出電壓之不均勻度是否在預定的基準範圍內。進而，判定部180根據基準值測定部240所測定的基準電壓、以及上述兩個或兩個以上的差分值，而判斷測試對象的所有輸出端子是否輸出對應於該輸入資料而確定的基準範圍內的電壓。繼而，判定部180根據該判斷而判定DUT 100的良否。

藉由對各輸入資料值進行上述之從S320至S340的處理，測試裝置10可測試DUT 100的各個輸出端子對作為測試對象的所有輸入資料值是否輸出基準範圍內的電壓。繼而，判定部180在結束上述處理時，對測試裝置10的使用者輸出測試結果。換言之，例如，判定部180相對於至少一個輸入資料值，當各個輸出端子所輸出的輸出電壓之不均勻度在基準範圍以外時，可判定該DUT 100為不良。又，判定部180相對於至少一個輸入資料值，當至少一個輸出端子所輸出的電壓，在對應於輸入資料值所確定的上限與下限電壓之範圍以外時，可判定該DUT 100為不良。

圖4是當測試圖像顯示用元件時，測試裝置10所測定的輸出電壓的不均勻度之一例的示意圖。圖4中，橫軸對應於各輸出端子，作為其一例，將各輸出端子依次排列於對應該輸出端子的畫素的行位置上。縱軸表示各輸出端子的輸出電壓。

基準值測定部240測定基準輸出端子所輸出的基準輸出電壓。藉此，例如在基準輸出端子是對應於行位置0之畫素的輸出端子時，可獲得輸出端子0的輸出電壓。各差分檢測器210檢測出對應的輸出端子所輸出的輸出電壓與基準輸出電壓的差分電壓。此處，基準電壓是藉由基準值測定部240而測定，判定部180藉由在差分電壓上附加基準電壓等的處理，可根據基準電壓及差分電壓而求出各輸出端子的輸出電壓。

藉由上述處理，可獲得測試對象的所有輸出端子的輸出電壓。根據該些值，判定部180可求出相對於同一灰階資料所輸出之輸出電壓的平均值即灰階平均值、輸出電壓的分佈範圍、以及輸出電壓之不均勻度的偏差等。繼而，判定部180根據該些值，判定DUT 100相對於該灰階資料所輸出的輸出電壓之良否。

以此方式，判定部180根據藉由兩個或兩個以上的差分檢測器210所檢測出之從兩個或兩個以上差分測定對象輸出端子相對於同一輸入資料所輸出的畫素驅動電壓之結果，而可判定從兩個或兩個以上的差分測定對象輸出端子所輸出的畫素驅動電壓之不均勻度是否在預定的範圍內。

如上所示，根據本實施形態的測試裝置10，對預定的基準輸出端子在最小亮度至最大亮度範圍內測定輸出電壓，並對其他輸出端子測定與基準輸出端子的輸出電壓之差分電壓，藉此可獲得測試對象的所有輸出端子的輸出電壓。此處，在測定對應於同一輸入資料的輸出電壓時，差分電壓的可取得電壓值的範圍較小，故差分檢測器210使用輸出位元數較少的數位類比轉換器時，亦可以較高的解析度測定差分電壓。因此，差分檢測器210以解析度大於基準值測定部240的基準電壓的測定解析度，而檢測輸出電壓之差分值，藉此判定部180可高精度地檢測出各輸出電壓的細微不均勻度。

另一方面，對應於灰階資料的輸出電壓的絕對值與每個畫素之不均勻度相比，允許稍大的誤差。因此，基準值測定部240與差分測定部230相比，能夠測定的電壓的解析度亦可較低。又，根據本實施形態的測試裝置10，與DUT 100的輸出端子的數量相比，基準值測定部240的數量非常少，故使用以較高解析度而可測定最小亮度至最大亮度範圍內的基準值測定部240時，亦可抑制測試裝置10的成本增加。

再者，於本實施形態中，以輸出對應於輸入資料的輸出電壓的DUT 100為例而說明，亦可取代之，使DUT 100輸出對應於輸入資料的輸出電流。於此情形時，差分運算器220將各差分測定對象輸出端子的輸出電流與基準電流之差分電流作為差分值而求出，且差分測定部230測定該差分電流。又，基準值測定部240測定基準電流。上述DUT 100可列舉例如具有以對應於畫素驅動電流的亮度而發光的畫素之有機電激發光顯示器等圖像顯示用元件。

又，DUT 100並非限於圖像顯示用元件，例如亦可為具有多個數位類比轉換器之半導體元件等。

圖5是關於本實施形態之第1變形例的訊號輸入部160、測定部170以及判定部180的構成示意圖。本變形例的測試裝置10具有與圖1大致同樣的功能與構成。又，圖5中與圖2附以同一符號的構件，具有與圖2同樣的功能與構成。因此，除了與圖1至圖4所示的測試裝置10的不同之處以外，以下省略其說明。

本變形例中，DUT 100是藉由將正灰階電壓及負灰階電壓交替施加至各畫素，而防止液晶劣化的圖像顯示用元件。為了測試上述DUT 100，測試裝置10於輸出同一極性電壓的每組輸出端子中，包括一個或多個差分檢測器210與基準值測定部240的群組。

更具體而言，著眼於輸出畫素驅動電壓的某週期時，DUT 100包括：正極性的多個第1輸出端子與負極性的多個第2輸出端子，該正極性的多個第1輸出端子對應於更大的輸入資料而輸出更大的輸出電壓，該負極性的多個第2輸出端子對應於更大的輸入資料而輸出更小的輸出電壓。此處，在下一週期中，DUT 100將第1輸出端子更替為負極性，並將第2輸出端子更替為正極性。

訊號輸入部160包括放大器200a與放大器200b，該放大器200a分別對應於多個第1輸出端子而設置，該放大器200b分別對應於多個第2輸出端子而設置。放大器200a及放大器200b是對應於圖2所示的放大器200。測定部170包括：兩個或兩個以上的差分檢測器210a及基準值測定部240a的群組，用以測定多個第1輸出端子群組的輸出電壓，以及兩個或兩個以上的差分檢測器210b及基準值測定部240b的群組，用以測定多個第2輸出端子群組的輸出電壓。差分檢測器210a及差分檢測器210b對應於如圖2所示的差分檢測器210，且基準值測定部240a及基準值測定部240b對應於如圖2所示的基準值測定部240。

基準值測定部240a測定從多個第1輸出端子中作為基準的第1基準輸出端子所輸入的第1基準電壓。基準值測定部240b測定從多個第2輸出端子中作為基準的第2基準輸出端子所輸入的第2基準電壓。差分檢測器210a與多個第1輸出端子中不同於第1基準輸出端子的兩個或兩個以上之第1差分測定對象輸出端子分別對應而設置。差分檢測器210a檢測出從第1基準輸出端子所輸入的輸出電壓、與從對應的第1差分測定對象輸出端子所輸入的輸出電壓的差分值。差分檢測器210a包括差分運算器220a與差分測定部230a，該差分運算器220a對應於圖2的差分運算器220，該差分測定部230a對應於圖2的差分測定部230。又，差分檢測器210a亦可連接於差分運算器220a的輸出與差分測定部230a的輸入之間，且差分檢測器210a更包括濾波器250a，使差分運算器220a所輸出的差分電壓穩定化，並供給至差分測定部230a。

差分檢測器210b與多個第2輸出端子中不同於第2基準輸出端子的兩個或兩個以上之第2差分測定對象輸出端子分別對應而設置。差分檢測器210b檢測出從第2基準輸出端子所輸入的輸出電壓、與從對應的第2差分測定對象輸出端子所輸入的輸出電壓的差分值。又，差分檢測器210b與差分檢測器210a相同，差分檢測器210b可連接於差分運算器220b的輸出與差分測定部230b的輸入之間，且差分檢測器210b更包括濾波器250b，以使差分運算器220b所輸出的差分電壓穩定化，並供給至差分測定部230b。

判定部180根據測定部170的測定結果而判定DUT 100的良否。更具體而言，於圖3的S310中，藉由測試訊號供給部110，使對應於同一輸入資料的輸出電壓從兩個或兩個以上的第1差分測定對象輸出端子以及兩個或兩個以上的第2差分測定對象輸出端子而輸出。繼而，判定部180根據兩個或兩個以上的差分檢測器210a及兩個或兩個以上的差分檢測器210b所分別輸出的差分值、第1基準電壓以及第2基準電壓，進而判定該DUT 100的良否。此處，判定部180可使用將多個第1輸出端子的輸出電壓與多個第2輸出端子的輸出電壓進行反轉的電壓，進而判定輸出端子的輸出電壓之不均勻度。亦可取代之，判定部180分別判定多個第1輸出端子的輸出電壓之不均勻度，以及多個第2輸出端子的輸出電壓之不均勻度，進而判定DUT 100的良否。

利用本變形例的測試裝置10可根據具有極性反轉功能的DUT 100的輸出電壓，而恰當地判定DUT 100的良否。又，藉由設置濾波器250(250a、250b)，而可降低雜訊對差分運算器220(220a、220b)所輸出的差分電壓的影響。此處，輸出端子的輸出電壓對應於輸入資料而產生較大變化，故將濾波器250設置於基準輸出端子的基準值測定部240(240a、240b)之間時，該濾波器250的輸出直至穩定化為止要耗費時間。相對於此，差分運算器220所輸出的差分電壓與輸出端子的輸出電壓相比，其為非常狹窄範圍的電壓值。因此，濾波器250在使該差分電壓處於低波通過(loss pass)時，亦可以較短時間使輸出成為穩定狀態。

圖6是本實施形態之第2變形例的訊號輸入部160、測定部170、以及判定部180的構成示意圖。圖6中，與圖1至圖5附以同一符號的構件，其具有與圖1至圖5大致同樣的功能與構成，故省略除了以下不同之處以外的說明。關於本變形例的測定部170除了圖2所示之測定部170的各構成要素以外，此測定部170更包括輸出端子選擇部260，用以將訊號輸入部160內的各放大器200的輸出，以及基準值測定部240與各差分檢測器210之間的連接進行切換。輸出端子選擇部260根據測試裝置10的使用者或者在測試裝置10上所執行的測試程式等的指示，而選擇是否將多個輸出端子中的任一個作為基準輸出端子，並將對應所選擇的基準輸出端子的放大器200連接於基準值測定部240。繼而，使除了所選擇的基準輸出端子以外的兩個或兩個以上之輸出端子作為兩個或兩個以上的差分測定對象輸出端子，並將各差分測定對象輸出端子連接於各差分檢測器210。

根據本變形例的測試裝置10可切換DUT 100的基準輸出端子。藉此，測試裝置10例如可根據將兩個或兩個以上輸出端子依次作為基準輸出端子而測定的結果，以判定DUT 100的良否。又，測試裝置10亦可藉由基準值測定部240依次測定多個輸出端子的輸出電壓，並進行例如使輸出最小輸出電壓的輸出端子為基準輸出端子等的處理。

圖7是關於本實施形態之第3變形例的訊號輸入部160、測定部170、以及判定部180的構成示意圖。圖7中，與圖1至圖6附以同一符號的構件，其具有與圖1至圖6大致同樣的功能與構成，故省略除了以下不同之處以外的說明。關於本變形例的測試裝置10，其是對於將多個輸出端子分割後的第1群組及第2群組，分別將該群組內的至少一個輸出端子作為該群組內所使用的基準輸出端子。繼而，藉由差分檢測器710檢測出第1群組之基準輸出端子的輸出電壓與第2群組之基準輸出端子的輸出電壓的差分電壓，並使用該結果獲得各輸出端子之不均勻度。

本變形例的測定部170包括：兩個或兩個以上的差分檢測器210a、兩個或兩個以上的差分檢測器210b、基準值測定部240以及差分檢測器710。差分檢測器210a與屬於將多個輸出端子分割後的第1群組的兩個或兩個以上之第1差分測定對象輸出端子分別對應而設置，其並與圖5所示的差分檢測器210具有同樣的功能及構成。差分檢測器210a檢測出從屬於第1群組的第1基準輸出端子所輸入的輸出電壓與從對應的第1差分測定對象輸出端子所輸入的輸出電壓的差分值，即第1差分值。

差分檢測器210b與屬於將多個輸出端子分割後的第2群組的兩個或兩個以上之第2差分測定對象輸出端子分別對應而設置，其並與圖5所示的差分檢測器210具有同樣的功能及構成。差分檢測器210b檢測出從屬於第2群組的第2基準輸出端子所輸入的輸出電壓與從對應的第2差分測定對象輸出端子所輸入的輸出電壓的差分值，即第2差分值。

差分檢測器710檢測出從第1基準輸出端子所輸入的輸出電壓與從第2基準輸出端子所輸入的輸出電壓的差分值，即第3差分值。差分檢測器710包括：與差分運算器220、差分測定部230以及濾波器250具有同樣功能及構成的差分運算器720、差分測定部730以及濾波器750。

判定部180根據測定部170的測定結果，判定DUT 100的良否。更具體而言，於圖3的S310中，藉由測試訊號供給部110，使對應於同一輸入資料的輸出電壓或者輸出電流從多個輸出端子而輸出。繼而，判定部180對應於該輸出，根據一個或多個差分檢測器210a所檢測出的一個或多個第1差分值、一個或多個差分檢測器210b所檢測出的一個或多個第2差分值、以及差分檢測器710所檢測出的第3差分值，而判定從多個輸出端子所輸出的輸出電壓或者輸出電流之不均勻度是否在預定的基準範圍內。此處，判定部180將利用差分檢測器710所測定的第3差分值與利用基準值測定部240所測定的第1基準輸出電壓相加，而求出第2基準輸出電壓。繼而，判定部180對於屬於第1群組的各差分測定對象輸出端子，將所測定的第1差分值與第1基準輸出電壓相加，而求出該差分測定對象輸出端子的輸出電壓。又，對於屬於第2群組的各差分測定對象輸出端子，可將所測定的第2差分值與第2基準輸出電壓相加，而求出該差分測定對象輸出端子的輸出電壓。

根據有關本變形例的測試裝置10，在將多個輸出端子分割為兩個或兩個以上的群組並對其分別設置基準輸出端子時，可藉由測定基準輸出端子彼此之間的差分電壓而獲得各輸出端子的輸出電壓之不均勻度。

圖8是關於本實施形態之第4變形例的半導體元件800的構成示意圖。半導體元件800將診斷電路820作為BIST(Built－in Self Test，內建自我測試)電路而內置，該診斷電路820包括如圖2、圖5、圖6或圖7中的訊號輸入部160、測定部170、以及判定部180。圖8中，附以與圖1至圖7相同符號的構件，其與圖1至圖7具有大致同樣的結構及功能，故省略除了以下不同之處以外的說明。

半導體元件800包括主電路810與診斷電路820。主電路810從多個輸出端子分別輸出對應於輸入資料的輸出電壓或者輸出電流。作為主電路810之一例，其可為液晶面板等的驅動電路。本變形例中的主電路810將從多個輸出端子分別輸出的輸出電壓或者輸出電流，經由半導體元件800的多個外部輸出端子而向半導體元件800的外部輸出。亦可取代上述之主電路800，使該些輸出電壓或者輸出電流不向半導體元件800的外部直接輸出，而是對半導體元件800內的其他電路輸出。

診斷電路820包括：訊號輸入部160、測定部170以及判定部180，並藉由對主電路810的診斷而進行半導體元件800的診斷測試。訊號輸入部160從主電路810的多個輸出端子分別輸入了輸出電壓或者輸出電流。本變形例中，訊號輸入部160亦可在進行半導體元件800的診斷測試時連接於主電路810的各個輸出端子，並從各個輸出端子輸入了輸出電壓或者輸出電流。藉此，在主電路810通常動作時，可將診斷電路820自主電路810上切離，且可提高輸出電壓及輸出電流的精度，並且降低通常動作時半導體元件800的消耗電流。

測定部170在半導體元件800的診斷測試時，測定主電路810的多個輸出端子的輸出電壓或者輸出電流。判定部180根據測定部170的測定結果，而判定多個輸出端子的輸出電壓或者輸出電流是否在預定的基準範圍內。此處，判定部180亦可經由半導體元件800的端子而輸出判定結果。又，判定部180亦可將判定結果儲存在連接於半導體元件800的掃描鏈(scan chain)之正反器(flip－flop)等中。於此情形時，半導體元件800對應於來自外部的掃描輸出(scan out)動作，而將判定結果向外部LSI(Large Scale Integration，大型積體電路)等輸出。

以上是使用實施形態說明本發明，但本發明的技術範圍並非限定於上述實施形態所揭示的範圍。本領域技術人員顯然瞭解，可於上述實施形態中附加多種變更或改良。而由申請專利範圍顯然可瞭解，上述變更或改良的附加形態亦可包含於本發明的技術範圍內。

雖然本發明已以較佳實施例揭露如上，然其並非用以限定本發明，任何熟習此技藝者，在不脫離本發明之精神和範圍內，當可作些許之更動與潤飾，因此本發明之保護範圍當視後附之申請專利範圍所界定者為準。

10．．．測試裝置

100．．．被測試元件(DUT)

110．．．測試訊號供給部

120．．．時序產生器

130．．．圖案產生器

140．．．波形成形器

150．．．驅動器

160．．．訊號輸入部

170．．．測定部

180．．．判定部

200、200a、200b．．．放大器

210、210a、210b、710．．．差分檢測器

220、220a、220b、720．．．差分運算器

230、230a、230b、730．．．差分測定部

240、240a、240b．．．基準值測定部

250、250a、250b、750．．．濾波器

260．．．輸出端子選擇部

800．．．半導體元件

810．．．主電路

820．．．診斷電路

S300、S310、S320、S330、S340、S350、S360．．．步驟

圖1是本發明之實施形態的測試裝置10的構成示意圖。

圖2是本發明之實施形態的訊號輸入部160、測定部170、以及判定部180的構成示意圖。

圖3是關於本發明之實施形態的測試裝置10的動作示意圖。

圖4是關於本發明之實施形態的測試裝置10所測定的輸出電壓的不均勻度之一例的示意圖。

圖5是關於本發明之實施形態的第1變形例之訊號輸入部160、測定部170、以及判定部180的構成示意圖。

圖6是本發明之實施形態的第2變形例之訊號輸入部160、測定部170、以及判定部180的構成示意圖。

圖7是關於本發明之實施形態的第3變形例之訊號輸入部160、測定部170、以及判定部180的構成示意圖。

圖8是關於本發明之實施形態的第4變形例之半導體元件800的構成示意圖。

10．．．測試裝置

100．．．被測試元件(DUT)

110．．．測試訊號供給部

120．．．時序產生器

130．．．圖案產生器

140．．．波形成形器

150．．．驅動器

160．．．訊號輸入部

170．．．測定部

180．．．判定部

Claims (10)

1. 一種測試裝置，適於測試從多個輸出端子分別輸出對應於輸入資料的輸出電壓或輸出電流的半導體元件，該測試裝置包括：測試訊號供給部，將用以測試上述半導體元件的測試訊號供給至上述半導體元件；訊號輸入部，從上述多個輸出端子分別接收上述輸出電壓或者上述輸出電流；差分檢測器，對應於上述多個輸出端子中不同於作為基準的基準輸出端子之差分測定對象輸出端子而設置，該差分檢測器並檢測從上述基準輸出端子所輸入的上述輸出電壓或者上述輸出電流、與從該差分測定對象輸出端子所輸入的上述輸出電壓或者上述輸出電流的差分值；以及判定部，根據從上述差分測定對象輸出端子所檢測出的上述差分值，判定從上述差分測定對象輸出端子所輸出的上述輸出電壓或者上述輸出電流之不均勻度是否在預定的基準範圍內；其中，分別對應於兩個或兩個以上的上述差分測定對象輸出端子，而設置兩個或兩個以上的上述差分檢測器，且上述判定部對應於從上述兩個或兩個以上的差分測定對象輸出端子輸出上述同一輸入資料所對應的上述輸出電壓或者上述輸出電流，並根據從該兩個或兩個以上的差分測定對象輸出端子所檢測出的兩個或兩個以上的上述差分 值，而判定從上述兩個或兩個以上的差分測定對象輸出端子所輸出的上述輸出電壓或者上述輸出電流之不均勻度是否在預定的基準範圍內；上述測試裝置更包括：兩個或兩個以上的第1上述差分檢測器，與屬於將上述多個輸出端子分割後的第1群組之兩個或兩個以上的第1上述差分測定對象輸出端子分別對應而設置，且檢測出來自屬於上述第1群組的第1上述基準輸出端子所輸入的上述輸出電壓或者上述輸出電流、與從該第1差分測定對象輸出端子所輸入的上述輸出電壓或者上述輸出電流之第1差分值；兩個或兩個以上的第2上述差分檢測器，與屬於將上述多個輸出端子分割後的第2群組之兩個或兩個以上的第2上述差分測定對象輸出端子分別對應而設置，且檢測出來自屬於上述第2群組的第2上述基準輸出端子所輸入的上述輸出電壓或者上述輸出電流、與從該第2差分測定對象輸出端子所輸入的上述輸出電壓或上述輸出電流之第2差分值；以及第3差分檢測器，檢測出從上述第1基準輸出端子所輸入的上述輸出電壓或者上述輸出電流、與從上述第2基準輸出端子所輸入的上述輸出電壓或者上述輸出電流之第3差分值，且上述判定部對應於從上述多個輸出端子輸出上述同一輸入資料所對應的上述輸出電壓或者上述輸出電流，並根 據上述兩個或兩個以上的第1差分檢測器所檢測出的兩個或兩個以上的上述第1差分值、上述兩個或兩個以上的第2差分檢測器所檢測出的兩個或兩個以上的上述第2差分值、上述第3差分檢測器所檢測出的上述第3差分值，而判定從上述多個輸出端子所輸出的上述輸出電壓或上述輸出電流的不均勻度是否在預定的基準範圍內。
2. 如申請專利範圍第1項所述之測試裝置，更包括基準值測定部，將從上述基準輸出端子所輸入的上述輸出電壓或者上述輸出電流作為基準電壓或基準電流而進行測定，且上述判定部根據上述基準電壓或上述基準電流、以及上述兩個或兩個以上的差分值，而判定該半導體元件的良否。
3. 如申請專利範圍第2項所述之測試裝置，其中，上述差分檢測器以解析度大於上述基準值測定部的上述基準電壓或上述基準電流的測定解析度，而檢測上述輸出電壓或上述輸出電流的差分值。
4. 如申請專利範圍第3項所述之測試裝置，更包括：第1上述基準值測定部，測定從第1上述基準輸出端子所輸入的第1上述基準電壓或第1上述基準電流，該第1上述基準輸出端子對應於更大的輸入資料而輸出更大的上述輸出電壓或者上述輸出電流；第2上述基準值測定部，測定從第2上述基準輸出端子所輸入的第2上述基準電壓或第2上述基準電流，該第 2上述基準輸出端子對應於更大的輸入資料而輸出更小的上述輸出電壓或者上述輸出電流；兩個或兩個以上的第1上述差分檢測器，在對應於更大的輸入資料而輸出更大的上述輸出電壓或者上述輸出電流的上述輸出端子中，與不同於上述第1基準輸出端子的兩個或兩個以上的第1差分測定對象輸出端子分別對應而設置，且檢測出從上述第1基準輸出端子所輸入的上述輸出電壓或者上述輸出電流、與從該第1差分測定對象輸出端子所輸入的上述輸出電壓或者上述輸出電流的差分值；以及兩個或兩個以上的第2上述差分檢測器，在對應於更大的輸入資料而輸出更小的上述輸出電壓或者上述輸出電流的上述輸出端子中，與不同於上述第2基準輸出端子的兩個或兩個以上的第2差分測定對象輸出端子分別對應而設置，且檢測出從上述第2基準輸出端子所輸入的上述輸出電壓或者上述輸出電流、與從該第2差分測定對象輸出端子所輸入的上述輸出電壓或者上述輸出電流的差分值，且上述判定部對應於從上述兩個或兩個以上的第1差分測定對象輸出端子及上述兩個或兩個以上的第2差分測定對象輸出端子輸出上述同一輸入資料所對應的上述輸出電壓或者上述輸出電流，並根據上述兩個或兩個以上的第1差分檢測器及上述兩個或兩個以上的第2差分檢測器分別輸出的上述差分值、上述第1基準電壓或上述第1基準電 流、以及上述第2基準電壓或上述第2基準電流，而判定該半導體元件的良否。
5. 如申請專利範圍第1項所述之測試裝置，更包括輸出端子選擇部，選擇是否將上述多個輸出端子中之任一個作為上述基準輸出端子，並將所選擇的除了上述基準輸出端子以外的兩個或兩個以上的上述輸出端子作為上述兩個或兩個以上的差分測定對象輸出端子。
6. 一種測試方法，適於測試從多個輸出端子分別輸出對應於輸入資料的輸出電壓或輸出電流的半導體元件，該測試方法包括：測試訊號供給階段，將用以測試上述半導體元件的測試訊號供給至上述半導體元件；訊號輸入階段，從上述多個輸出端子分別輸入上述輸出電壓或者上述輸出電流；差分檢測階段，分別對應不同於上述多個輸出端子中作為基準的基準輸出端子的兩個或兩個以上的差分測定對象輸出端子，且檢測出從上述基準輸出端子所輸入的上述輸出電壓或者上述輸出電流、與從該差分測定對象輸出端子所輸入的上述輸出電壓或者上述輸出電流的差分值；以及判定階段，對應於從上述兩個或兩個以上的差分測定對象輸出端子輸出上述同一輸入資料所對應的上述輸出電壓或者上述輸出電流，並根據從該兩個或兩個以上的差分測定對象輸出端子所檢測出的兩個或兩個以上的上述差分 值，而判定從上述兩個或兩個以上的差分測定對象輸出端子所輸出的上述輸出電壓或者上述輸出電流的不均勻度是否在預定的基準範圍內；其中，分別對應於兩個或兩個以上的上述差分測定對象輸出端子，而設置兩個或兩個以上的上述差分檢測器，且；上述測試方法更包括：兩個或兩個以上的第1上述差分檢測器，與屬於將上述多個輸出端子分割後的第1群組之兩個或兩個以上的第1上述差分測定對象輸出端子分別對應而設置，且檢測出來自屬於上述第1群組的第1上述基準輸出端子所輸入的上述輸出電壓或者上述輸出電流、與從該第1差分測定對象輸出端子所輸入的上述輸出電壓或者上述輸出電流之第1差分值；兩個或兩個以上的第2上述差分檢測器，與屬於將上述多個輸出端子分割後的第2群組之兩個或兩個以上的第2上述差分測定對象輸出端子分別對應而設置，且檢測出來自屬於上述第2群組的第2上述基準輸出端子所輸入的上述輸出電壓或者上述輸出電流、與從該第2差分測定對象輸出端子所輸入的上述輸出電壓或上述輸出電流之第2差分值；以及第3差分檢測器，檢測出從上述第1基準輸出端子所輸入的上述輸出電壓或者上述輸出電流、與從上述第2基準輸出端子所輸入的上述輸出電壓或者上述輸出電流之第 3差分值，且上述判定階段對應於從上述多個輸出端子輸出上述同一輸入資料所對應的上述輸出電壓或者上述輸出電流，並根據上述兩個或兩個以上的第1差分檢測器所檢測出的兩個或兩個以上的上述第1差分值、上述兩個或兩個以上的第2差分檢測器所檢測出的兩個或兩個以上的上述第2差分值、上述第3差分檢測器所檢測出的上述第3差分值，而判定從上述多個輸出端子所輸出的上述輸出電壓或上述輸出電流的不均勻度是否在預定的基準範圍內。
7. 一種半導體元件，包括：主電路，從多個輸出端子分別輸出對應於輸入資料的輸出電壓或者輸出電流；診斷電路，對上述主電路進行診斷；上述診斷電路包括：訊號輸入部，從上述多個輸出端子分別輸入上述輸出電壓或者上述輸出電流；差分檢測器，與不同於上述多個輸出端子中作為基準的基準輸出端子的差分測定對象輸出端子對應而設置，且檢測出從上述基準輸出端子所輸入的上述輸出電壓或者上述輸出電流、與從該差分測定對象輸出端子所輸入的上述輸出電壓或者上述輸出電流的差分值；以及判定部，根據從上述差分測定對象輸出端子所檢測出的上述差分值，而判定從上述差分測定對象輸出端子所輸 出的上述輸出電壓或者上述輸出電流的不均勻度是否在預定的基準範圍內；其中，分別對應於兩個或兩個以上的上述差分測定對象輸出端子，而設置兩個或兩個以上的上述差分檢測器，且上述判定部對應於從上述兩個或兩個以上的差分測定對象輸出端子輸出上述同一輸入資料所對應的上述輸出電壓或者上述輸出電流，並根據從該兩個或兩個以上的差分測定對象輸出端子所檢測出的兩個或兩個以上的上述差分值，而判定從上述兩個或兩個以上的差分測定對象輸出端子所輸出的上述輸出電壓或者上述輸出電流之不均勻度是否在預定的基準範圍內；上述半導體元件更包括：兩個或兩個以上的第1上述差分檢測器，與屬於將上述多個輸出端子分割後的第1群組之兩個或兩個以上的第1上述差分測定對象輸出端子分別對應而設置，且檢測出來自屬於上述第1群組的第1上述基準輸出端子所輸入的上述輸出電壓或者上述輸出電流、與從該第1差分測定對象輸出端子所輸入的上述輸出電壓或者上述輸出電流之第1差分值；兩個或兩個以上的第2上述差分檢測器，與屬於將上述多個輸出端子分割後的第2群組之兩個或兩個以上的第2上述差分測定對象輸出端子分別對應而設置，且檢測出來自屬於上述第2群組的第2上述基準輸出端子所輸入的 上述輸出電壓或者上述輸出電流、與從該第2差分測定對象輸出端子所輸入的上述輸出電壓或上述輸出電流之第2差分值；以及第3差分檢測器，檢測出從上述第1基準輸出端子所輸入的上述輸出電壓或者上述輸出電流、與從上述第2基準輸出端子所輸入的上述輸出電壓或者上述輸出電流之第3差分值，且上述判定部對應於從上述多個輸出端子輸出上述同一輸入資料所對應的上述輸出電壓或者上述輸出電流，並根據上述兩個或兩個以上的第1差分檢測器所檢測出的兩個或兩個以上的上述第1差分值、上述兩個或兩個以上的第2差分檢測器所檢測出的兩個或兩個以上的上述第2差分值、上述第3差分檢測器所檢測出的上述第3差分值，而判定從上述多個輸出端子所輸出的上述輸出電壓或上述輸出電流的不均勻度是否在預定的基準範圍內。
8. 一種測試裝置，適於測試從多個輸出端子分別輸出對應於輸入資料的輸出電壓或輸出電流的半導體元件，該測試裝置包括：測試訊號供給部，將用以測試上述半導體元件的測試訊號供給至上述半導體元件；訊號輸入部，從上述多個輸出端子分別接收上述輸出電壓或者上述輸出電流；差分檢測器，對應於上述多個輸出端子中不同於作為基準的基準輸出端子之差分測定對象輸出端子而設置，該 差分檢測器並檢測從上述基準輸出端子所輸入的上述輸出電壓或者上述輸出電流、與從該差分測定對象輸出端子所輸入的上述輸出電壓或者上述輸出電流的差分值；以及判定部，根據從上述差分測定對象輸出端子所檢測出的上述差分值，判定從上述差分測定對象輸出端子所輸出的上述輸出電壓或者上述輸出電流之不均勻度是否在預定的基準範圍內；其中，分別對應於兩個或兩個以上的上述差分測定對象輸出端子，而設置兩個或兩個以上的上述差分檢測器，且上述判定部對應於從上述兩個或兩個以上的差分測定對象輸出端子輸出上述同一輸入資料所對應的上述輸出電壓或者上述輸出電流，並根據從該兩個或兩個以上的差分測定對象輸出端子所檢測出的兩個或兩個以上的上述差分值，而判定從上述兩個或兩個以上的差分測定對象輸出端子所輸出的上述輸出電壓或者上述輸出電流之不均勻度是否在預定的基準範圍內；其中，上述半導體元件包括對應於多個畫素的上述多個輸出端子，且該半導體元件是將對上述各畫素所指定的上述輸入資料相對應的輸出電壓或輸出電流，作為畫素驅動電壓或畫素驅動電流而輸出的圖像顯示用元件，上述判定部對應於從上述兩個或兩個以上的差分測定對象輸出端子輸出上述同一輸入資料所對應的上述畫素驅動電壓或者上述畫素驅動電流，並根據從該兩個或兩個以 上的差分測定對象輸出端子所檢測出的兩個或兩個以上的上述差分值，而判定從上述兩個或兩個以上的差分測定對象輸出端子所輸出的上述畫素驅動電壓或者上述畫素驅動電流之不均勻度是否在預定的範圍內。
9. 一種測試方法，適於測試從多個輸出端子分別輸出對應於輸入資料的輸出電壓或輸出電流的半導體元件，該測試方法包括：測試訊號供給階段，將用以測試上述半導體元件的測試訊號供給至上述半導體元件；訊號輸入階段，從上述多個輸出端子分別輸入上述輸出電壓或者上述輸出電流；差分檢測階段，分別對應不同於上述多個輸出端子中作為基準的基準輸出端子的兩個或兩個以上的差分測定對象輸出端子，且檢測出從上述基準輸出端子所輸入的上述輸出電壓或者上述輸出電流、與從該差分測定對象輸出端子所輸入的上述輸出電壓或者上述輸出電流的差分值；以及判定階段，對應於從上述兩個或兩個以上的差分測定對象輸出端子輸出上述同一輸入資料所對應的上述輸出電壓或者上述輸出電流，並根據從該兩個或兩個以上的差分測定對象輸出端子所檢測出的兩個或兩個以上的上述差分值，而判定從上述兩個或兩個以上的差分測定對象輸出端子所輸出的上述輸出電壓或者上述輸出電流的不均勻度是否在預定的基準範圍內； 其中，分別對應於兩個或兩個以上的上述差分測定對象輸出端子，而設置兩個或兩個以上的上述差分檢測器，且；其中，上述半導體元件包括對應於多個畫素的上述多個輸出端子，且該半導體元件是將對上述各畫素所指定的上述輸入資料相對應的輸出電壓或輸出電流，作為畫素驅動電壓或畫素驅動電流而輸出的圖像顯示用元件，上述判定階段對應於從上述兩個或兩個以上的差分測定對象輸出端子輸出上述同一輸入資料所對應的上述畫素驅動電壓或者上述畫素驅動電流，並根據從該兩個或兩個以上的差分測定對象輸出端子所檢測出的兩個或兩個以上的上述差分值，而判定從上述兩個或兩個以上的差分測定對象輸出端子所輸出的上述畫素驅動電壓或者上述畫素驅動電流之不均勻度是否在預定的範圍內。
10. 一種半導體元件，包括：主電路，從多個輸出端子分別輸出對應於輸入資料的輸出電壓或者輸出電流；診斷電路，對上述主電路進行診斷；上述診斷電路包括：訊號輸入部，從上述多個輸出端子分別輸入上述輸出電壓或者上述輸出電流；差分檢測器，與不同於上述多個輸出端子中作為基準的基準輸出端子的差分測定對象輸出端子對應而設置，且檢測出從上述基準輸出端子所輸入的上述輸 出電壓或者上述輸出電流、與從該差分測定對象輸出端子所輸入的上述輸出電壓或者上述輸出電流的差分值；以及判定部，根據從上述差分測定對象輸出端子所檢測出的上述差分值，而判定從上述差分測定對象輸出端子所輸出的上述輸出電壓或者上述輸出電流的不均勻度是否在預定的基準範圍內；其中，分別對應於兩個或兩個以上的上述差分測定對象輸出端子，而設置兩個或兩個以上的上述差分檢測器，且上述判定部對應於從上述兩個或兩個以上的差分測定對象輸出端子輸出上述同一輸入資料所對應的上述輸出電壓或者上述輸出電流，並根據從該兩個或兩個以上的差分測定對象輸出端子所檢測出的兩個或兩個以上的上述差分值，而判定從上述兩個或兩個以上的差分測定對象輸出端子所輸出的上述輸出電壓或者上述輸出電流之不均勻度是否在預定的基準範圍內；其中，上述半導體元件包括對應於多個畫素的上述多個輸出端子，且該半導體元件是將對上述各畫素所指定的上述輸入資料相對應的輸出電壓或輸出電流，作為畫素驅動電壓或畫素驅動電流而輸出的圖像顯示用元件，上述判定部對應於從上述兩個或兩個以上的差分測定對象輸出端子輸出上述同一輸入資料所對應的上述畫素驅動電壓或者上述畫素驅動電流，並根據從該兩個或兩個以 上的差分測定對象輸出端子所檢測出的兩個或兩個以上的上述差分值，而判定從上述兩個或兩個以上的差分測定對象輸出端子所輸出的上述畫素驅動電壓或者上述畫素驅動電流之不均勻度是否在預定的範圍內。