JPH09264931A - 半導体集積回路測定装置および半導体集積回路装置 - Google Patents
半導体集積回路測定装置および半導体集積回路装置Info
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- JPH09264931A JPH09264931A JP8077657A JP7765796A JPH09264931A JP H09264931 A JPH09264931 A JP H09264931A JP 8077657 A JP8077657 A JP 8077657A JP 7765796 A JP7765796 A JP 7765796A JP H09264931 A JPH09264931 A JP H09264931A
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- JP
- Japan
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- circuit
- power supply
- supply current
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- Tests Of Electronic Circuits (AREA)
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Abstract
(57)【要約】
【課題】ＬＣＤドライバのような電源電流の最大値と最
小値との差が大きいデバイスにおいて、電源電流値の瞬
時的な異常を検出し、自動試験の精度向上を図る。 【解決手段】入力クロックの立ち下がりの変化点では、
レベル検出回路７がＨからＬレベルへの信号変化を検出
し、Ｈレベルの検出信号を一定期間出力する。この検出
信号は測定規格切替回路８に入力される。一方、電源電
流測定回路４で測定された値は、電源電流値比較回路Ａ
５及びＢ６に入力され、それぞれの比較回路でそれぞれ
の規格値によって判定される。測定規格切替回路８はレ
ベル検出回路からのＨレベルの検出信号により電源電流
値比較回路Ａを選択し、電源電流大区間の良否判定が判
定信号保持回路９に出力される。また入力クロックが立
ち下がりの変化点ではない時、レベル検出回路はＬレベ
ルの検出信号を出力するため電源電流値比較回路Ｂが選
択され電源電流小区間の良否判定が出力される。
小値との差が大きいデバイスにおいて、電源電流値の瞬
時的な異常を検出し、自動試験の精度向上を図る。 【解決手段】入力クロックの立ち下がりの変化点では、
レベル検出回路７がＨからＬレベルへの信号変化を検出
し、Ｈレベルの検出信号を一定期間出力する。この検出
信号は測定規格切替回路８に入力される。一方、電源電
流測定回路４で測定された値は、電源電流値比較回路Ａ
５及びＢ６に入力され、それぞれの比較回路でそれぞれ
の規格値によって判定される。測定規格切替回路８はレ
ベル検出回路からのＨレベルの検出信号により電源電流
値比較回路Ａを選択し、電源電流大区間の良否判定が判
定信号保持回路９に出力される。また入力クロックが立
ち下がりの変化点ではない時、レベル検出回路はＬレベ
ルの検出信号を出力するため電源電流値比較回路Ｂが選
択され電源電流小区間の良否判定が出力される。
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は半導体集積回路測定
装置および半導体集積回路装置に関し、特に自動試験に
おける精度向上を図る技術に関するものである。
装置および半導体集積回路装置に関し、特に自動試験に
おける精度向上を図る技術に関するものである。
【０００２】
【従来の技術】半導体集積回路装置の試験項目の一つに
動作時電源電流の測定がある。これについてＣ−ＭＯＳ
で構成されたＬＣＤドライバを例にとり説明する。
動作時電源電流の測定がある。これについてＣ−ＭＯＳ
で構成されたＬＣＤドライバを例にとり説明する。
【０００３】ＬＣＤドライバとは、入力として画像デー
タを入力し、液晶表示パネルを駆動するための駆動信号
を出力ドライバから出力する半導体集積回路装置であ
る。一般にＬＣＤドライバは使用する電源の電圧が高い
こと、出力ピンが多いこと、といった特徴がある。その
ため出力ドライバの状態変化時に電源電流値の変化が大
きい。出力ドライバの出力波形とそのときの電源電流の
変化の様子を図３に示す。
タを入力し、液晶表示パネルを駆動するための駆動信号
を出力ドライバから出力する半導体集積回路装置であ
る。一般にＬＣＤドライバは使用する電源の電圧が高い
こと、出力ピンが多いこと、といった特徴がある。その
ため出力ドライバの状態変化時に電源電流値の変化が大
きい。出力ドライバの出力波形とそのときの電源電流の
変化の様子を図３に示す。
【０００４】図３において、ＣＬＫは入力クロックの変
化、ｖ１、ｖ２、ｖ３、ｖ４はそれぞれ出力ドライバの
出力変化（縦軸は電位、横軸は時間）、ｉｓは電源電流
の変化（縦軸は電流値、横軸は時間）である。出力ドラ
イバの状態がローレベル（以下Ｌレベルと記述）からハ
イレベル（以下Ｈレベルと記述）へと変化する時（図３
の部分）、あるいはＨレベルからＬレベルへと変化す
る時（図３の部分）（、部分を電源電流大区間と
する）の電源電流は、出力ドライバの状態変化がない時
（図３の部分。電源電流小区間とする）の電源電流と
比較して、より大きい。
化、ｖ１、ｖ２、ｖ３、ｖ４はそれぞれ出力ドライバの
出力変化（縦軸は電位、横軸は時間）、ｉｓは電源電流
の変化（縦軸は電流値、横軸は時間）である。出力ドラ
イバの状態がローレベル（以下Ｌレベルと記述）からハ
イレベル（以下Ｈレベルと記述）へと変化する時（図３
の部分）、あるいはＨレベルからＬレベルへと変化す
る時（図３の部分）（、部分を電源電流大区間と
する）の電源電流は、出力ドライバの状態変化がない時
（図３の部分。電源電流小区間とする）の電源電流と
比較して、より大きい。
【０００５】従来の電源電流測定方法としては、電源電
流の平均値を測定する方法と電源電流の瞬時値を測定す
る方法とがある。
流の平均値を測定する方法と電源電流の瞬時値を測定す
る方法とがある。
【０００６】電源電流の平均値を測定する方法では、電
源電流値を何回か測定し、その平均を計算して電源電流
値の平均値とする。そして電源電流値の平均値の規格値
と、先の計算によって得られた平均値とを比較し電源電
流値の良否判定をする。
源電流値を何回か測定し、その平均を計算して電源電流
値の平均値とする。そして電源電流値の平均値の規格値
と、先の計算によって得られた平均値とを比較し電源電
流値の良否判定をする。
【０００７】また、電源電流の瞬時値を測定する方法で
は、電源電流値は出力ドライバの変化点における値が大
きいので、この時の電源電流値に対する上限規格値を、
測定するすべての瞬時値に対する上限規格値として、電
源電流値の良否判定をする。
は、電源電流値は出力ドライバの変化点における値が大
きいので、この時の電源電流値に対する上限規格値を、
測定するすべての瞬時値に対する上限規格値として、電
源電流値の良否判定をする。
【０００８】
【発明が解決しようとする課題】しかしながら電源電流
の平均値を測定する方法では、何回かの測定の平均値で
しか電源電流値の良否を判定することができない。仮に
電源電流測定時に１度だけ異常であるレベルの電流値が
得られたとしても、その異常値自身も測定回数分で平均
化されてしまう。そのため異常が見過ごされ、結果とし
て良品と判定されることがありうる。電流値の平均値で
の良否の判定では、測定する区間において全体的に電流
値が大きい場合でないと異常とは判定されにくい。
の平均値を測定する方法では、何回かの測定の平均値で
しか電源電流値の良否を判定することができない。仮に
電源電流測定時に１度だけ異常であるレベルの電流値が
得られたとしても、その異常値自身も測定回数分で平均
化されてしまう。そのため異常が見過ごされ、結果とし
て良品と判定されることがありうる。電流値の平均値で
の良否の判定では、測定する区間において全体的に電流
値が大きい場合でないと異常とは判定されにくい。
【０００９】また、電源電流の瞬時値を測定する方法で
は、電源電流大区間における測定規格を測定区間全体の
測定規格としている。このためＬＣＤドライバのような
電源電流の最大値と最小値との差が大きいデバイスでは
電源電流大区間での異常の検出には役立つが、電源電流
小区間では電源電流値の測定規格が平均値での測定規格
より更に大きいため、異常であるレベルの電流値が得ら
れたとしてもその異常は発見しにくい。
は、電源電流大区間における測定規格を測定区間全体の
測定規格としている。このためＬＣＤドライバのような
電源電流の最大値と最小値との差が大きいデバイスでは
電源電流大区間での異常の検出には役立つが、電源電流
小区間では電源電流値の測定規格が平均値での測定規格
より更に大きいため、異常であるレベルの電流値が得ら
れたとしてもその異常は発見しにくい。
【００１０】本発明は、上記の問題点を解決するために
なされたものである。
なされたものである。
【００１１】
【課題を解決するための手段】この問題点を解決するた
めに本発明は、 ａ）デバイスの電源電流を測定する電源電流測定回路
と、 ｂ）前記電源電流測定回路での測定値を規格値と比較
し、測定値が規格内であるか否かの信号を出力する規格
値の異なる複数の比較回路と、 ｃ）外部からの信号のレベルを検出するレベル検出回路
と、 ｄ）前記レベル検出回路の出力により、複数の前記比較
回路の出力結果から１つだけを選択する切り替え回路
と、 ｅ）前記切り替え回路から規格外時の信号が出力された
際に、それを保持する保持回路を備えることを特徴とし
ている。
めに本発明は、 ａ）デバイスの電源電流を測定する電源電流測定回路
と、 ｂ）前記電源電流測定回路での測定値を規格値と比較
し、測定値が規格内であるか否かの信号を出力する規格
値の異なる複数の比較回路と、 ｃ）外部からの信号のレベルを検出するレベル検出回路
と、 ｄ）前記レベル検出回路の出力により、複数の前記比較
回路の出力結果から１つだけを選択する切り替え回路
と、 ｅ）前記切り替え回路から規格外時の信号が出力された
際に、それを保持する保持回路を備えることを特徴とし
ている。
【００１２】
【作用】本発明の構成によると、電源電流を測定する際
に、電源電流大区間と小区間での規格値をリアルタイム
で切り替えることが可能となる。これにより、電源電流
を平均値で判定する方法での単発的な異常や、電源電流
を瞬時値を測定する方法での電源電流小区間における異
常も規格値が切り替えられることで見逃すことがなくな
る。
に、電源電流大区間と小区間での規格値をリアルタイム
で切り替えることが可能となる。これにより、電源電流
を平均値で判定する方法での単発的な異常や、電源電流
を瞬時値を測定する方法での電源電流小区間における異
常も規格値が切り替えられることで見逃すことがなくな
る。
【００１３】更に、自動検査装置の測定とデバイスの出
力とが非同期であったとしても、デバイスの出力タイミ
ングを考慮することなく電源電流測定を行うことが可能
となる。
力とが非同期であったとしても、デバイスの出力タイミ
ングを考慮することなく電源電流測定を行うことが可能
となる。
【００１４】
【発明の実施の形態】本発明の一実施例を実施例１とし
て図１に示す。
て図１に示す。
【００１５】図１において、１は自動検査装置、２は本
実施例における半導体集積回路測定装置、３は被測定デ
バイス、４はデバイスの電源電流を測定する電源電流測
定回路（以下電源電流測定回路と記述）、５は電源電流
測定回路での測定値を規格値と比較し、測定値が規格内
であるか否かの信号を出力する比較回路（以下電源電流
値比較回路Ａと記述）、６は５と規格値が異なる比較回
路（以下電源電流値比較回路Ｂと記述）、ここで５は電
源電流大区間での規格値が、６は電源電流小区間での規
格値が設定されている。７はデバイスへの入力クロック
を検出するレベル検出回路（以下レベル検出回路と記
述）、８はレベル検出回路の出力により複数の比較回路
の出力結果から１つだけを選択する切り替え回路（以下
測定規格切り替え回路と記述）、９は電源電流値比較回
路から規格外時の信号が出力されたときに、それを保持
する保持回路（以下判定信号保持回路と記述）である。
１の中にある”ＣＬＫ ＯＵＴ”は自動検査装置が発生
するクロックの出力、”ＤＵＴ ＰＳ”は、デバイスに
供給する電源電圧、”ＳＩＧ ＩＮ”は２の出力を取り
込む端子である。３の中にある”ＶＤＤ”はデバイスの
ＶＤＤ電源端子、”ＶＳＳ”はデバイスのＶＳＳ電源端
子、”ＩＮ”は１の”ＣＬＫ ＯＵＴ”からのクロック
入力端子である。
実施例における半導体集積回路測定装置、３は被測定デ
バイス、４はデバイスの電源電流を測定する電源電流測
定回路（以下電源電流測定回路と記述）、５は電源電流
測定回路での測定値を規格値と比較し、測定値が規格内
であるか否かの信号を出力する比較回路（以下電源電流
値比較回路Ａと記述）、６は５と規格値が異なる比較回
路（以下電源電流値比較回路Ｂと記述）、ここで５は電
源電流大区間での規格値が、６は電源電流小区間での規
格値が設定されている。７はデバイスへの入力クロック
を検出するレベル検出回路（以下レベル検出回路と記
述）、８はレベル検出回路の出力により複数の比較回路
の出力結果から１つだけを選択する切り替え回路（以下
測定規格切り替え回路と記述）、９は電源電流値比較回
路から規格外時の信号が出力されたときに、それを保持
する保持回路（以下判定信号保持回路と記述）である。
１の中にある”ＣＬＫ ＯＵＴ”は自動検査装置が発生
するクロックの出力、”ＤＵＴ ＰＳ”は、デバイスに
供給する電源電圧、”ＳＩＧ ＩＮ”は２の出力を取り
込む端子である。３の中にある”ＶＤＤ”はデバイスの
ＶＤＤ電源端子、”ＶＳＳ”はデバイスのＶＳＳ電源端
子、”ＩＮ”は１の”ＣＬＫ ＯＵＴ”からのクロック
入力端子である。
【００１６】たとえば、現在デバイスへの入力クロック
が立ち下がりの変化点であるとする。（本実施例１で用
いるデバイスは入力クロックの立ち下がりエッジで動作
するものとする）（図３の部分）入力クロックの立ち
下がりに同期してドライバ出力が変化する。するとレベ
ル検出回路において入力クロックがＨレベルからＬレベ
ルへと変化した、と入力の変化信号を検出し、Ｈレベル
の検出信号を一定期間出力する。この時間はデバイスの
種類、治具やＬＳＩテスターなどのテスト環境、印加電
圧などのテスト条件によって考慮する必要があるため、
適当な時間を容易に調整できるような構造にしておく。
この検出信号は測定規格切り替え回路に入力される。電
源電流測定回路で測定された電源電流値は電源電流値比
較回路Ａ及びＢに入力され、電源電流値の良否がそれぞ
れの比較回路でそれぞれの規格値によって判定される。
測定規格切り替え回路はレベル検出回路からのＨレベル
の検出信号により電源電流値比較回路Ａを選択し、電源
電流大区間の良否判定が判定信号保持回路に出力され
る。
が立ち下がりの変化点であるとする。（本実施例１で用
いるデバイスは入力クロックの立ち下がりエッジで動作
するものとする）（図３の部分）入力クロックの立ち
下がりに同期してドライバ出力が変化する。するとレベ
ル検出回路において入力クロックがＨレベルからＬレベ
ルへと変化した、と入力の変化信号を検出し、Ｈレベル
の検出信号を一定期間出力する。この時間はデバイスの
種類、治具やＬＳＩテスターなどのテスト環境、印加電
圧などのテスト条件によって考慮する必要があるため、
適当な時間を容易に調整できるような構造にしておく。
この検出信号は測定規格切り替え回路に入力される。電
源電流測定回路で測定された電源電流値は電源電流値比
較回路Ａ及びＢに入力され、電源電流値の良否がそれぞ
れの比較回路でそれぞれの規格値によって判定される。
測定規格切り替え回路はレベル検出回路からのＨレベル
の検出信号により電源電流値比較回路Ａを選択し、電源
電流大区間の良否判定が判定信号保持回路に出力され
る。
【００１７】次に入力クロックが立ち下がりの変化点で
はないとする。（図３の部分）レベル検出回路では入
力クロックは立ち下がりの変化点ではない、と検出し、
Ｌレベルの検出信号を出力する。この検出信号は、次の
クロックの立ち下がり変化点まで同じレベルが出力され
る。この検出信号は測定規格切り替え回路に入る。電源
電流測定回路で測定された電源電流値は電源電流値比較
回路Ａ及びＢに入力され、電源電流値の良否がそれぞれ
の比較回路でそれぞれの規格値によって判定される。測
定規格切り替え回路はレベル検出回路からのＬレベルの
検出信号により電源電流値比較回路Ｂを選択し、電源電
流小区間の良否判定が判定信号保持回路に出力される。
はないとする。（図３の部分）レベル検出回路では入
力クロックは立ち下がりの変化点ではない、と検出し、
Ｌレベルの検出信号を出力する。この検出信号は、次の
クロックの立ち下がり変化点まで同じレベルが出力され
る。この検出信号は測定規格切り替え回路に入る。電源
電流測定回路で測定された電源電流値は電源電流値比較
回路Ａ及びＢに入力され、電源電流値の良否がそれぞれ
の比較回路でそれぞれの規格値によって判定される。測
定規格切り替え回路はレベル検出回路からのＬレベルの
検出信号により電源電流値比較回路Ｂを選択し、電源電
流小区間の良否判定が判定信号保持回路に出力される。
【００１８】電源電流値比較回路Ａ、Ｂにおいて、電源
電流値が異常であるとの信号が出力され、判定信号保持
回路から最終的に異常である信号が出力された場合に
は、その時点で試験は終了となり、次のデバイスの試験
に移る。
電流値が異常であるとの信号が出力され、判定信号保持
回路から最終的に異常である信号が出力された場合に
は、その時点で試験は終了となり、次のデバイスの試験
に移る。
【００１９】このように、レベル検出回路によって入力
クロックの変化点を検出することにより、その変化信号
をもとにリアルタイムで測定規格切り替え回路での測定
規格切り替えが可能になるので、入力クロックが立ち下
がりの変化点である電源電流大区間も、入力クロックが
立ち下がりではない電源電流小区間も、いずれの時も正
確な電源電流測定が可能となる。
クロックの変化点を検出することにより、その変化信号
をもとにリアルタイムで測定規格切り替え回路での測定
規格切り替えが可能になるので、入力クロックが立ち下
がりの変化点である電源電流大区間も、入力クロックが
立ち下がりではない電源電流小区間も、いずれの時も正
確な電源電流測定が可能となる。
【００２０】ところで、発振回路を内蔵するデバイスの
動作方法には、外部からクロック信号を入力して動作さ
せる方法と内蔵発振回路が発生するクロック信号によっ
て動作する方法とがある。発振回路内蔵のデバイスに対
しては、前述の実施例１のように入力クロックでタイミ
ングを決めることはできない。このような場合には、図
１のレベル検出回路をデバイスの出力ドライバ端子に接
続することにより、前述の実施例１と同様な自動試験が
可能となる。但し、この場合レベル検出回路は、立ち上
がり、立ち下がりの両方の変化を検出できなければなら
ない。この実施例を実施例２として、図２に示す。
動作方法には、外部からクロック信号を入力して動作さ
せる方法と内蔵発振回路が発生するクロック信号によっ
て動作する方法とがある。発振回路内蔵のデバイスに対
しては、前述の実施例１のように入力クロックでタイミ
ングを決めることはできない。このような場合には、図
１のレベル検出回路をデバイスの出力ドライバ端子に接
続することにより、前述の実施例１と同様な自動試験が
可能となる。但し、この場合レベル検出回路は、立ち上
がり、立ち下がりの両方の変化を検出できなければなら
ない。この実施例を実施例２として、図２に示す。
【００２１】図２において、被測定デバイス中の”ＯＵ
Ｔ”はデバイスの出力端子である。
Ｔ”はデバイスの出力端子である。
【００２２】ちなみに、外部からクロック信号を入力し
て動作させるデバイスに対しても、実施例２を適用する
ことは可能である。レベル検出回路への入力を入力クロ
ックからにするか、デバイスの出力ドライバからにする
かの違いであり、それ以外の内部動作は同一である。
て動作させるデバイスに対しても、実施例２を適用する
ことは可能である。レベル検出回路への入力を入力クロ
ックからにするか、デバイスの出力ドライバからにする
かの違いであり、それ以外の内部動作は同一である。
【００２３】また、本実施例を適用するには、電源電流
値比較回路Ａ及びＢの規格値、レベル検出回路のコンパ
レータレベル、レベル検出回路が入力クロック（あるい
はデバイス出力の変化）を検出してから測定規格切り替
え回路が電源電流測定規格の大きい方を選択している時
間、の３つのパラメータだけを設定すればよい。これに
より、デバイスの種類、テスト環境、テスト条件が変わ
っても、容易に対応できる。
値比較回路Ａ及びＢの規格値、レベル検出回路のコンパ
レータレベル、レベル検出回路が入力クロック（あるい
はデバイス出力の変化）を検出してから測定規格切り替
え回路が電源電流測定規格の大きい方を選択している時
間、の３つのパラメータだけを設定すればよい。これに
より、デバイスの種類、テスト環境、テスト条件が変わ
っても、容易に対応できる。
【００２４】
【発明の効果】この構成の測定回路を自動検査装置に内
蔵、もしくは外付けすることにより、電源電流を測定す
る際に、その規格値をリアルタイムで切り替えることが
可能となる。この結果、電源電流測定において、平均値
で判定する方法で課題となっていた単発的な異常の検出
に対しても、瞬時値で測定する方法で課題となっていた
電源電流小区間での異常の検出に対しても、その異常を
見逃すことなく正確に検出できる。また、自動検査装置
の測定とデバイスの出力とが非同期であったとしても、
簡単なパラメーター設定で電源電流大区間と小区間での
規格値をデバイスの出力タイミングを考慮することなく
容易に切り替えることができる。
蔵、もしくは外付けすることにより、電源電流を測定す
る際に、その規格値をリアルタイムで切り替えることが
可能となる。この結果、電源電流測定において、平均値
で判定する方法で課題となっていた単発的な異常の検出
に対しても、瞬時値で測定する方法で課題となっていた
電源電流小区間での異常の検出に対しても、その異常を
見逃すことなく正確に検出できる。また、自動検査装置
の測定とデバイスの出力とが非同期であったとしても、
簡単なパラメーター設定で電源電流大区間と小区間での
規格値をデバイスの出力タイミングを考慮することなく
容易に切り替えることができる。
【図１】本発明の実施例１の半導体集積回路測定装置の
構成図。
構成図。
【図２】本発明の実施例２の半導体集積回路測定装置の
構成図。
構成図。
【図３】図１の入力クロック及びドライバ出力のタイミ
ングチャートと、そのときの電源電流値の変化の図。
ングチャートと、そのときの電源電流値の変化の図。
１ 自動検査装置 ２ 半導体集積回路測定装置 ３ 被測定デバイス ４ 電源電流測定回路 ５ 電源電流値比較回路Ａ ６ 電源電流値比較回路Ｂ ７ レベル検出回路 ８ 測定規格切り替え回路 ９ 判定信号保持回路
Claims (4)
- 【請求項１】ａ）被測定デバイス（以下デバイスと記
述）の電源電流を測定する電源電流測定回路と、 ｂ）前記電源電流測定回路での測定値を規格値と比較
し、測定値が規格内であるか否かの信号を出力する規格
値の異なる複数の比較回路と、 ｃ）外部からの信号のレベルを検出するレベル検出回路
と、 ｄ）前記レベル検出回路の出力により、複数の前記比較
回路の出力結果から１つだけを選択する切り替え回路
と、 ｅ）前記切り替え回路から規格外時の信号が出力された
際に、それを保持する保持回路を備えることを特徴とす
る半導体集積回路測定装置。 - 【請求項２】請求項１記載のレベル検出回路への入力信
号として、デバイスの入力クロックを使用した半導体集
積回路測定装置。 - 【請求項３】請求項１記載のレベル検出回路への入力信
号として、デバイスの出力信号を使用した半導体集積回
路測定装置。 - 【請求項４】請求項１記載の測定装置を使用して検査を
行った半導体集積回路装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP7765796A JP3598643B2 (ja) | 1996-03-29 | 1996-03-29 | 半導体集積回路測定装置および半導体集積回路装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP7765796A JP3598643B2 (ja) | 1996-03-29 | 1996-03-29 | 半導体集積回路測定装置および半導体集積回路装置 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH09264931A true JPH09264931A (ja) | 1997-10-07 |
| JP3598643B2 JP3598643B2 (ja) | 2004-12-08 |
Family
ID=13639962
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP7765796A Expired - Lifetime JP3598643B2 (ja) | 1996-03-29 | 1996-03-29 | 半導体集積回路測定装置および半導体集積回路装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP3598643B2 (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| KR100408943B1 (ko) * | 2000-06-16 | 2003-12-11 | 인피니언 테크놀로지스 아게 | 검사 모드를 갖는 집적 회로 및 상기 집적 회로를검사하기 위한 검사 장치 |
-
1996
- 1996-03-29 JP JP7765796A patent/JP3598643B2/ja not_active Expired - Lifetime
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| KR100408943B1 (ko) * | 2000-06-16 | 2003-12-11 | 인피니언 테크놀로지스 아게 | 검사 모드를 갖는 집적 회로 및 상기 집적 회로를검사하기 위한 검사 장치 |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JP3598643B2 (ja) | 2004-12-08 |
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| A131 | Notification of reasons for refusal |
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|
| A521 | Request for written amendment filed |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20040426 |
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| TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
| A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
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| A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
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| FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
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| FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
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