TWI329070B - Liquid material arrangement method, color filter manufacturing method, and organic el display device manufacturing method - Google Patents

Description

1329070 九、發明說明： 【發明所屬之技術領域】 本發明係關於使用液滴喷出法之液狀體配置方法，及使 用其之彩色濾光器之製造方法、有機el顯示裝置之製造方 法0 【先前技術】

近年來’使用液滴喷出法之成膜技術受到矚目，例如於 專利文獻1中，揭示使用液滴喷出法之液晶顯示裝置之彩 色濾光器之製造方法。於此製造方法中，從對於基板進行 掃描之液滴喷出頭（以下稱作喷頭）之微細喷嘴，喷出含色 材之液狀體（液滴），於該基板上之劃分區域内配置（描畫） 液狀體，並進一步藉由乾燥等，使配置之液狀體固化，形 成與像素相對應之著色膜。 [專利文獻1]日本特開2003-159787號公報 【發明内容】 [發明所欲解決之問題] 然而’對於基板之液滴之配置圖案可表示作為所謂點圖 案（點矩陣圖案），將該點圖案轉換為與各噴嘴對於美板之 相對位置(以下稱作掃描位置)相對應之喷出之開啟二閉資 =基T以進行喷出控制。此類點圖案係因應於欲 ==之液狀體之圖案(製造_光器之情況係 :=產:素構造)、或噴嘴(喷頭)之排列結構等硬雜條

噴嘴（噴頭）之特性係於個體分別 具有些微偏差 122596.doc 而且特性亦可能因續發之要因而變化，因此而有硬體條件 未必會與理想模式一致之情況。然後，為了進行高精度之 液狀體配置’要求配合各種硬體條件來重新產生點圖案。 例如可思慮於來自某喷嘴之噴出量顯著異常之情況時，產 生不使用該喷嘴之點圖案，或產生已因應於液滴之落下校 準來補正落下位置之點圖案之個案。

乂而’因應於如上述之各種個案而每次產生點圖案係非 常花費人力。因為必須一面考慮應配置於劃分區域内之點 數或各掃描中之各喷嘴之掃描位置、各喷嘴之使用頻率 等’一面思慮因應各條件之適宜之點配置。 本發明係有鑑於上述問題所實現者，其目的在於提供一 種於簡易之處理下，可對應各式各樣之條件來配置液狀體 之液狀體配置方法，及使用該液狀體配置方法之彩色濾光 器之製造方法、有機EL顯示裝置之製造方法。 [解決問題之技術手段]

本發明為一種液狀體配置方法，其特徵為：藉由將噴嘴 與基板相對地掃描，根據點圖案，自前述噴嘴喷出液狀 體·’以於前述基板上之特定區域配置前述液狀體；且具 有A步驟，其係與前述特定區域相對應而產生設定有特 定數圖案；c步驟’其係自前述特定數&之 點，刪除特錢b之點而產生第二點圖案；B步驟， 根據前述第二點圖案來配置前述液狀體；於前述c;驟 I孥=刪除根據預先得知之前述喷嘴之噴出資訊所判斷 122596.doc /υ :本發明之液狀體配置方法中，自與特定區域相對應而 =有特Ua之點之第'點圖案，刪除特定數k點而產 :圖案’並根據該第二點圖案來配置液狀體。此 時杯由於根據喷嘴之喷出資訊，就上述特定數a之點來判 斷木止.點之適當與否’並優先刪除判斷為禁止點之點而產 生第二點圖案，因此可避免可能產生故障之液狀體喷出而 進仃液狀體配置。而且，實質上在被賦予之條件（喷出資 訊)下「選擇」自複數(特定數a)點中刪除之點，以產生第 二點圖案，因此即使為複雜之條件，亦可簡單地進行處 理。而且，藉由將删除之點之總數規定為特定數b，可簡 單進行液狀體對於特定區域之配置量之定量管理。 而且，如前述液狀體配置方法，其特徵宜為具有” 驟，其係取得至少與前述特定數&之點相對應之前述喷嘴 之喷出資訊；與前述基板之丨個或每複數單位相對應來進 行前述B步驟及前述c步驟。 若根據本發明之液狀體配置方法，可迅速對應喷嘴之喷 出資訊之變化，於適宜之條件下進行液狀體之配置。 而且，如前述液狀體配置方法，其特徵宜為：前述特定 區域係由岸堤（bank)所劃分。 若根據本發明之液狀體配置方法，可藉由岸堤，適當地 預防液狀體溢出特定區域外。 而且，如前述液狀體配置方法，其特徵宜為：於前述b 步驟中，至少取得前述液狀體之配置位置之精度；於前述 C步驟中，將與前述液狀體有溢出前述特定區域外之虞之 122596.doc 置位置相對應之點，作為前述禁用點而優先刪除。 若根據本發明之液狀體配置方法，由於優先刪除與液狀 體有溢出特定區域外之虞之配置位置相對應之點，因此可 適當地防止液狀體溢出特定區域外。

而且如具有複數與别述特定區域之掃描有關之前述喷 嘴之前述液狀體配置方法，其特徵宜為：於前述B步驟 中至少取得喷出異常之有無；於前述C步驟中，將與具 有噴出異常之前述喷嘴相對應之點，作為禁用點而優先刪 若根據本發明之液狀體配置方法，由於優先刪除與具有 噴出異常之噴嘴相對應之點，因&可抑制起因於喷出異常 之有關液狀體之量或配置位置之精度降低。

發明為-種液狀體配置方法，其特徵為：藉由將複數 噴嘴與基板相對地掃描，根據點圖案，自前述噴嘴喷出液 狀體’以於前述基板上之特定區域配置前述液狀體；且具 =A步驟’其係、與前述特定區域相對應而產生設定有特 定數a之點之第一點圖帛；E步驟，其係於前述複數噴嘴 中，指定禁止使用之禁用喷嘴；c步驟，其係自前述特定 數a之點’刪除特定數b之點而產生第二點圖帛；及〇牛 驟，其係根據前述第二點圖案來配置前述液狀體；於前二 C步驟中，優先刪除與前述禁用喷嘴相對應之點。 於本發明之液狀體配置方法中，自具有與特定區域 狀、大小相對應而設定之特定數3之點之第_點 除特定數b之點而產生第' 弟一點圖案，並根據該第二點圖案 1329070 來配置液狀體。此時，由於從上述特定數a之點中，優先 刪除與預先指定之禁止噴嘴相對應之點而產生第二點圖 案，因此可不使用禁止喷嘴來進行液狀體配置。而且，實 質上在被賦予之條件（指定禁止喷嘴）下，「選擇」自複數 (特定數树刪除之點，以產生第二點圖案，因此即使為 複雜之條件’亦可簡單地進行處理。而且，藉由將刪除之 點之總數規定為特定^，可簡單進行液狀體對於特定區 域之配置量之定量管理。

—而且’如分為複數次掃描來進行前述液狀體對於前述特 定區域之配置之前述液狀體配置方法，其特徵宜為：於前 述c步驟中’ &前述特定數a之點不含前述禁用點之情況 下’或前述特定數a之點所含之前述禁用點之數目小於前 述特定數b之情況下，優先刪除前述複數次掃描中之參與 最後掃描之點。 於本發明之液狀體配置方法中，優先刪除有關最後掃描 =點’相對減少最後掃描中配置於特定區域内之液狀體之 量》於最後掃描中，由於會於有關其以前之掃描之液狀體 既已於料區域内充m之處，心液狀體，因此且 有容易引起液狀體從特^區域溢出（溢流）之問題，但藉由 減少該掃描之液狀體之配置量，可謀求避免此問題。9 而且’如使用複數之前述喷嘴來進行前述液狀體對於前 述特定區域之g&置之前述液狀體配置方法，其特徵宜為： 於前述c步驟中，於前述特定數&之點不含前述禁用2情 況下’或前述特定數a之點所含之前述禁用點之數目小於 122596.doc •10· 1329070 前述特定數b之情況下，以與前述複數喷嘴之各個相對應 之點約略μ均等比率留下之方式來刪除點。 若根據本發明之液狀體配置方法，由於約略以均等比率 來刪除與複數喷嘴之各個相對應之點，因此會適當地分散 喷嘴之利用頻率。藉此，可適當地抑制起因於喷嘴間之喷 出量偏差之特定區域間之液狀體量之偏差。 而且，如前述液狀體配置方法，其特徵宜為：於前述c

'驟中於則述特疋數a之點不含前述禁用點之情況下， ，前述特定數a之點所含之前述禁用點之數目小於前述特 疋數bm下’優先刪除與距離前述特定區域之邊界較 近之配置位置相對應之點。 :根據本發明之液狀體配置方法，由於優先刪除與距離 特定區域之邊界較近之配置位置相對應之點，因此可適者 地抑制液狀體溢出特定區域。 田 而且’如前述液狀體配置方法，其特徵宜為：於前述c

步驟令，於前述特定數3之點不含前述禁用點之情況下， ::述特定數a之點所含之前述禁用點之數目小於前述特 情況下，優先刪除與前述特定區域之邊界 之配置位置相對應之點。 ^本，明之液狀體配置方法t，優先刪除與特定區域之 離之配置位置相對應之點。由於與删除之點相對 陷\處所位置⑽定區域内相對容易產生液狀體之潤濕缺 知之處所’而此種處所會集中於特定區域之中央，因此 相對抑制該缺陷發生。 、 122596.doc -11 · 1329070 本發明之彩色濾光器之製造方法之特徵為具有以下步 驟：使用前述液狀體配置方法，於設定於前述基板上之複 數之前述特定區域之各個，配置含色材之前述液狀體之步 驟；及將前述配置之液狀體予以固化，形成將前述複數區 域分別作為像素之對應區域之著色部之步驟。 若根據本發明之彩色濾光器之製造方法，由於使用上述 液狀體之配置方法來形成著色部，因此能以簡易之處理來 製造高品質之彩色濾光器。

本發明之有機EL顯示裝置之製造方法係具有以下步驟： 使用前述液狀體配置方法，於設定於前述基板上之複數之 前述特定區域之各個，配置含有機EL材料之前述液狀體之 步驟；及將前述配置之液狀體予以固化，形成將前述複數 區域分別作為像素之對應區域之發光元件之步驟。

若根據本發明之有機EL顯示裝置之製造方法，由於使用 上述液狀體之配置方法來形成發光元件，因此能以簡易之 處理來製造高品質之有機EL顯示裝置。 【實施方式】 以下，根據附圖來詳細說明本發明之適宜之實施型態。 此外，以下所述之實施型態由於為本發明之適當之具體 例’因此附有技術上適宜之各種限定，但本發明之範圍只 要於以下說明中’未特別有限定本發明之旨趣之記載，則 不限於其等之型態H以下說明所參考之圖中為了 便於圖示’會有不同於實際 " 除而表不構件或一部分之長寬之 比例尺之情況。 122596.doc •12· 1329070 (第一實施型態） (彩色濾光器之結構） 首先，參考圖1及圖2,說明有關本發明之彩色渡光器之 結構。圖1係表示彩色濾光器之結構之平面圖。圖2係表示 彩色濾光器之構造之剖面圖。 ‘圖1、圖2所示之彩色濾光器i係用於彩色用顯示面板， ，其具有：著色部2，其係與顯示面板之R(紅）、G(綠）、 B(藍）各色像素相對應而形成；及遮光部3，其係形成於著 • 色部2間之區域。此外，本實施型態之著色部2係具有所謂 條紋型之像素構造之排列或形狀，但此種像素構造以外^ 例如含R、G、Μ外之色要素，或與三角型構造相對應之 結構亦可。 彩色濾光器1具備玻璃之透光性基板4，於基板4上，以 鉻等遮光性材料，將遮光部3進行圖案形成，並進一步於 遮光部3上，使用感光性樹脂等，將岸堤加邮進行圖案 形成。著色部2係形成於由岸堤5所劃分之劃分區域6内， @且於著色部2之形成面側’以樹脂等形成用以使表面平 滑化之覆膜層7。 (液狀體喷出裝置之機械結構） 接著參考圖3、圖4,說明有關用於本發明之液狀體配 ' *方法之液狀體噴出裝置之機械結構。 圖3係表示液狀體喷出裝置之要部結構之立體圖。圖顿 表不喷碩單元之噴頭之配置結構之平面圖。 圖3所示之液狀體喷出裝置2⑽係具備：i對導軌2〇1，其 122596.doc •13· 1329070 係設置為直線狀，1主掃描移動台2。3,其係藉由設置於 導軌加之内部之氣動式滑件及線性馬達（未圖示）而往主掃

描方向移動。, W 八備.1對導執202，其係於導軌2〇1之 上方’直線地設置為與導軌2〇1正交；及副掃描移動台 204’其係藉由設置於導軌加之内部之氣動式滑件及線性 馬達（未圖示）而沿著副掃描方向移動。 於主掃描移動台203上，設置用以載置作為喷出對象物 之基板P之機台205。機台205成為可將基板p予以吸著固定

口構而且藉由方疋轉機構2〇7，可使基板P内之基準軸正 確對準主掃描方向、副掃描方向。 副掃描移動台204係具備經由旋轉機構2〇8而安裝為垂吊 式之托架209。而且，托架2〇9係具備：噴頭單元⑺，其係 具備複數喷頭U、12(參考圖4);液狀體供給機構圖 不），其係用以對噴頭丨丨、12供給液狀體；及控制電路基 板211(參考圖5)，其係用以進行喷頭11、12之電性驅動控 制。

如圖4所示’喷頭單元10係具備自喷嘴20喷出與r、G、 6相對應之液狀體之噴頭11、12，構成喷頭11、12之複數 喷嘴20係構成噴嘴群21A、21B。噴嘴群21A、21B係成為 分別構成特定間距（例如180 DPI)之線排列，並共同構成交 叉格子狀排列之關係。而且，噴嘴群2丨A ' 2 1B之排列方 向係與副掃描方向一致。 與噴頭11、12内之喷嘴20連通之液室（空穴）係構成如藉 由壓電元件16(參考圖6)之驅動而可變化電容。然後，從壓 122596.doc • 14- 1329070 電元件16供給電性信號（驅動信號）來控制空穴内之液壓， 藉此可使液狀體（液滴）自噴嘴20喷出。

如此，藉由主掃描移動台203之移動，使喷嘴群21A、 21B對於基板P往主掃描方向掃描，並且進行各喷嘴20之喷 出之開啟/關閉控制（以下稱作喷出控制），從而可於基板p 上沿著喷嘴20之掃描軌跡之位置配置液狀體。此外，喷頭 11及喷頭12係構成如在副掃描方向互相偏離配置，個別之 喷嘴群21A、21B互相補全可喷出範圍而描繪連續之定間 距之掃描軌跡。而且，喷嘴群21A、2 1B之端部之數個份 之喷嘴20係有鑑於其特性之特異性而不予使用。 此外，液狀體描晝裝置之結構不限定於上述態樣。例如 亦可構成如使喷嘴群21A、21B之排列方向從副掃描方向 傾斜，喷嘴20之掃描轨跡之間距相對於喷嘴群21 a、 内之喷嘴20間之間距變窄。而且，亦可適當變更喷頭單元 1〇之喷頭11、12之數目或其配置結構等。而且作為嘴頭 U、12之驅動方式’亦可採用例如於空穴中備有加熱元件 之所為熱體方式等。 (噴出控制方法） 从參考圖5、圖6來說明有關液狀體喷出 缺也丨士 A ^ ® 圖5係表示液狀體哈山 點 其 以 货出裝置之電性結構圖。圖6係； 圖案〃喷嘴位置之關係圖。 圖5中’液狀體喷出奘里λ #— 出裝置200係具備：控制電腦21 係進行裝置全體之統暮 呢每控制；及控制電路基板，其^ 122596.doc •15· 1329070 進行喷頭11、12之電性驅動控制。控制電路基板211係經 由可撓性纜線212而與各喷頭11、12電性連接。而且，喷 頭11、12係與設置於各噴嘴20(參考圖2)之壓電元件16相對 應而具備偏移暫存器（SL)50、閂鎖電路（LAT)51、位準偏 移器（LS)52及開關（SW)53。 液狀體喷出裝置200之喷出控制係如下進行。亦即，首 先，控制電腦210將基板P(參考圖1)之液狀體之配置圖案 已資料化之點圖案資料（詳細會於後面欽述），傳送至控制 電路基板211。然後，控制電路基板211將點圖案資料予以 解碼，產生各噴嘴20之開啟/關閉（喷出/非喷出）資訊之嗜 嘴資料。喷嘴資料被予以序列信號（SI)化，並與時鐘信號 (CK)同步而傳送至各偏移暫存器50。 傳送至偏移暫存器5〇之喷嘴資料係於閂鎖信號（LAT)輸 入至門鎖電路51之時序被閃鎖，並進一步於位準偏移器52 轉換為開關53用之閘極信號。亦即，於喷嘴資料為「開 啟」之情況時，開關53打開，對壓電元件16供給驅動信號 (COM)，於嘴嘴資料為「關閉」之情況時，開關^關閉， 不對壓電元件16供給驅動信號（COM)。然後，從對應於 開啟」之喷嘴2〇，液狀體被液滴化而喷出，喷出之液狀 體配置於基板P。 如上述，液狀體之喷出控制係根據點圖案（資料）來進 行。，圖6所示，此點圖案可表示作為於具有主掃描方 向、副掃描方向之成分之矩陣MT，於作為液狀體之喷出 (配置）位置之劃分中配置有點D者。點D不僅單純表示喷出 122596.doc 1329070 之有無，亦可具有灰階性，例如亦 兀了因應於灰階性來變化 液狀體之喷出量或噴出時序。 於此，矩陣ΜΤ之主掃描方向之間 ’〆丄/ UL础七 〜间距.p 1係由液狀體之 噴出控制週期及掃描速度來決而1，矩陣MT之副掃 描方向之間距：P2可設；掃描中之嗔嘴2G之掃描軌跡 之間距：P〇之自然數分之-倍。本實施型態中，p2設定為 P〇之二分之一，於分為3次之各掃描期間’藉由使喷嘴2〇 之副掃描方向之位置互相偏離，以使噴嘴2〇與矩陣ΜΤ2 所有點D相對應而配置液狀體。 此外，於圖中互相鄰接之點dl、d2、们分別有關第一掃 描、第二掃描及第三掃描》亦可使此等對應於互相相同之 噴嘴，但為了使噴嘴間之特性（例如噴出量）之偏差在空間 上分散，宜於掃描期間，使喷頭大幅往副掃描方向移動， 並對應於互異之喷嘴20。複數掃描期間之喷嘴2〇(喷頭）之 位置之偏離方式具有各式各樣之方法，可考量喷嘴間或喷 頭間之特性偏差之分散或循環時間等而採用適宜者。而 且’本實施型態雖未採用，但藉由於複數掃描期間，將喷 嘴20之副掃描方向之位置互相重疊之方法，亦可分為複數 噴嘴2 0來對應一行（主掃描方向之排列）内之點〇。 (彩色濾光器之製造方法（液狀體配置方法）） 接著’參考圖7〜圖9來說明有關本發明之彩色濾光器之 製造方法（液狀體）。 圖7係表示有關彩色濾光器之著色部之形成之步帮之流 程圖。圖8係表示進行液狀體配置時之基板狀態之平面 122596.doc -17- 1329070 圖。圖9係表示第一點圖案之圖。 彩色壚光器1(參考圖之著色部2(參考圖12)之形 成係#由準僙含有分別與R、G、B相對應之色材之液狀 體’使用液狀體喷出裝置2〇0(參考圖3)，於基板上配置該 液狀體而進行。如圖8所示，於用以配置液狀體之基板4, 預先形成岸堤5,於本實施型態令，劃分區域6之長邊方向 • $為副掃描方向’短邊方向設為主掃描方向，將基板4載 置於台面205(參考圖3)上。 _ 於此液狀體係對於由岸堤5所劃分之特定區域之劃分 區域6而配置’為了配合劃分區域6正確地將液狀體予以圖 案化，宜預先於劃分區域6内之基板4之露出面，施行親液 化處理，於岸堤5之表面施行撥液化處理。此種處理可藉 由例如氧或氟化碳之電漿處理來進行。此外，岸堤5之形 成係為了高精度地進行液狀體之圖案化之適宜之實施型 態’用以設定劃分區域時’未必需要此種物理性劃分。 _ 於配置液狀體前，首先預先產生第一點圖案（圖7之步驟 S 1) °此第一點圖案係用以產生喷出控制用之點圖案（第二 點圖案）之基礎，其為圖9所示之結構。於圖中，中空之圓 圈表示每1個點，假想劃分區域A表示於基板4上重疊矩陣 MT之情況下之劃分區域6之對應區域，假想邊界b表示其 邊界。而且，圖中之L1〜L9及R1-R9係為了便於說明所附 上之表示矩陣MT之列及行之記號。 於本實施型態之液狀體配置中，對於矩陣之各行之劃 分’分為3次掃描而分配有複數喷嘴。圖示之例中，分別 122596.doc • 18· 1329070 為R1、R4、R7行之點對應於參與第一掃描之喷嘴nU、 nl2、ni3、R2、R5、R8行之點對應於參與第二掃描之嘴 嘴n2l、W2、n23、R3、R6、R9行之點對應於參與第三掃 描之喷嘴n31、n32、n33。此外，噴嘴nll〜n33分別為互異 之噴嘴。 Μ行之排列設定30個（特定數a)之點。於此，與各點相對應 所噴出之液狀體（液滴）實際上係具有比圖中所示之點大之 直桎。因此，即使是與假想劃分區域A内之點相對應而理 想地配置液狀體（液滴）之情況，例如就接近假想邊界8之 L8列之點而言，仍有被噴出之液狀體溢出劃分區域6而配 置之虞。而且’右與3G個點全部對應而噴出液狀體，則其 總量會超過劃分區域6之容量而發生溢流。如此，由於第 一點圖案包含許多現實中配置液狀體時不適當之點，因此 無法將其直接用於喷出控制，必須轉換為第二點圖案。

於第一點圖案中，與1個假想劃分區域A相對應，以5列 坪細會於後面敘述 噴出資訊之禁止點之判斷處理。因此，於產生第二點圖案 前，進行用以取得喷嘴之喷出資訊之喷嘴檢查（圖7”之B二 驟S2)。於此，喷嘴之喷出資訊中，具有密切與嗔出異二 之有無及液狀體之配置位置（落下位置）精度相關者 =出異I’可舉例如伴隨有無法喷出、噴出量明顯之: 寡、細霧之飛散等液滴形成之異常等之現象。 夕 滴 本實施型態之喷嘴檢查係藉由自噴嘴〜…印 ，拍攝形成於用紙上之落下痕跡，並進行圖揭 出液 而進 122596.doc •19· 1329070 行。亦即，作為有無喷出異常之判斷資訊係取得該落下痕 跡之形狀、大小（面積），4乍為酉己置位置精纟係取得該落下 痕跡從理想位置之偏離量。此外，關於配置位置精度’分 別取得主掃描方向成分：Δ1及副掃描方向成分：Δ2。 右喷嘴檢查（步驟S2)結束，根據取得之喷嘴之喷出資 • 訊，對於第一點圖案進行處理，產生喷出控制用之第二點 . 圖案（圖7之C步驟S3)。此處理係以與各假想劃分區域a相 對應而叹定之每30個點為單位進行，藉此從3〇個（特定數勾 • 之點刪除18個（特定數b)之點，產生具有12個點之第二點圖 案（參考例如圖14)。 右已產生第二點圖案，則根據第二點圖案，於劃分區域 6配置液狀體（圖7之〇步驟S4)，並進一步使配置之液狀體 乾燥而形成著色部2(參考圖1、2)(圖7之步驟S5)。詳細會 於後面敘述，第二點圖案係根據喷嘴之喷出資訊而適性化 之結構，精度良好地形成有與各劃分區域6相對應之著色 部2。 ® 於步驟S4中，於各劃分區域6配置相當於丨2個點（液滴） 之量之液狀體。由於液狀體之配置量係左右著色部2之色 度之重要因子，因此必須嚴密地進行定量管理，本實施型 邊中’藉由規定步驟S3中所刪除之點之總數（特定數b)， 以間接地將液狀體之配置量予以定量管理。 此外’喷嘴檢查（步驟S2)及根據其結果之第二點圖案之 產生（步驟S3)，宜於置換基板4之個體之時序定期地進 行因為喷嘴之喷出資訊亦可能依後天性之原委，例如氣 122596.doc -20· 1329070 1包混入流路内或喷嘴維護之執行記錄等而變化，須迅速對 應此種變化。 τ (關於第二點圓案之產生） 接著，參相9〜@U來奸㈣第二點 細說明。 在王 < 孑 圖_表示有關第二點圖案產生之處理之流程圖。圖η =不禁止點之判斷條件之圖。圖12係表示刪除點之選擇 J之圖。圖13係表示第二點圖案之產生過程之例之圖。 圖14係表示產生之第二點圖案之例之圖。 第-點圖案之產生處理係將圖9所示之第一點圖 ，礎，以與各假想劃分區似相對應而設定之每3〇個點為 早位，按照圖1G之流程圖來進行。此處理實際上 腦自動地進行，電腦讀出預先輸人之第—關案及喷嘴2 喷出資訊，並執行圖10所示之處理。此外，以下為了避免 說明繁雜，著眼於1個假想劃分區域A來說明處理内容。 於最初之步驟si 1 ’將3〇個點全部作為對象’進行是否 為禁止點之判斷，屬於禁止點之情況則優先刪除該點。於 此’禁止點係指針對該點進行液狀體之喷出驅動之情況 時有發生故障之虞之不適宜之點，根據_所示 表來進行其判斷 首先，與噴出異常之噴嘴相對應之點全部判斷為禁止 點。因為若根據此㈣進行喷出驅動，則液狀體對於劃分 區域6之配置量之精度會降低。例如於圖13⑷所示之二 中’由於噴嘴n12具有噴出異常，因此與喷嘴⑴相對應之 122596.doc -21 · 1329070 R4行之點被作為禁止點而刪除（以網點塗滿之圓圈表示刪 除之點）。 而且，與主掃描方向之配置位置精度：Δ1小於特定量之 喷嘴相對應之點中，主掃描方向側之假想邊界Β(包含其之 劃分）之第一鄰接點判斷為禁止點，與△丨為特定量以上之 喷嘴相對應之點中，偏離方向側之假想邊界Β之第_、第 二鄰接點判斷為禁止點。因為若根據此種點來進行噴出驅 動，被喷出之液狀體會溢出劃分區域6外，有導致與鄰接 之其他色之區域混色、或圖案化之故障之虞。例如於圖 13(a)所示之例中，分別關於具有正常之配置位置精度之喷 嘴n31、n22、n32、n23，對應之L4列及L8列之點被作為禁 止點刪除，而關於就配置位置精度而言，具有大幅靠上之 特性之喷嘴nl3，對應之L4列及L5列之點被作為禁止點刪 除。 如此，於本實施型態之例中，無論主掃描方向之配置位 置精度之良莠與否，必定刪除與各喷嘴相對應之5個點中 之至少2個。此係基於預先於考慮到配置位置精度之偏差 之大範圍内設定點，因應於喷嘴之配置位置精度來刪除不 適當之點’以控制液狀體之配置位置之思想。 而且，與副掃描方向之配置位置精度：Δ2為特定量以上 之喷嘴相對應之點中，偏離方向側之假想邊界Β之第一鄰 接點判斷為禁止點。因為若根據此種點來進行喷出驅動， 被噴出之液狀體會溢出劃分區域6外，有導致圖案化之故 障之虞。例如就配置位置精度而言，喷嘴η23具有大幅靠 122596.doc •22· 丄-Όυ/υ 右之特性之情況時，R8行之點全部判斷為禁止點。但與喷 出異常之情況不同’由於考慮對應之點與假想邊界B之位 置關係、及偏離方向來判斷是否為禁止點，因此於偏離方 向相反之情況時’不判斷為禁止點。而且，於苴他 中，即使如該喷嘴n23被分配到其他假想劃分區域之靠中 央之劃分之情況時，仍不判斷對應之點為禁止點。

從上述說明可知，關於配置位置精度之異常，並非單純 地禁止使用該類有異常之喷嘴而進行喷出，而是於禁止使 用與劃分區域6(假想劃分區域A)之關係不適宜之點之思想 下’進行第二點圖案之產生。因A，相較於單純禁止使用 之喷嘴之態樣之方法，喷嘴之利用效率較優異。

若步驟S11結束，於下一步驟S12，進行被刪除之點之總 數N疋否比1 8大之判斷。為了定量管理液狀體對於劃分 區域6之配置莖，必須將N規定於18，因為不容許刪除數目 超過18之點數。例如圖^⑺）係表示由於喷嘴n31、nl2、 n23為異常喷嘴，因此於步驟sn中刪除以個禁止點之例， 如此，於N比18大之情況（是）時，於步驟su進行警告之顯 不。亦即，該警告係與刪除禁止點會無法產生第二點圖案 之錯誤訊息相對應。 於步驟S12，判斷>^為18以下之情況（否）時，於下一步驟 s 14，進行N是否達到18之判斷。於此，N未達到〖8之情況 (否）時’於下一步驟S15進一步進行點之刪除。為了定量 管理液狀體對於劃分區域6之配置量，必須規定於18, 因為不容許於N小於is之狀態下完成第二點圖案。 122596.doc -23- 1329070 若於步驟S15已刪除點，則再度於步驟S14，進行N是否 達到18之判斷。藉此，至N達到18為止，連續進行點之除 去（步驟S15)，N達到18時（是），一連串之處理結束，第二 點圖案完成。 於步驟S15刪除之點（刪除點）係根據圖12之表所示之條 件選擇。亦即，剩餘之點中，首先優先選擇關於第三掃描 之點（第一條件）β以第一條件選擇之點有複數之情況時， 從該複數點中’選擇更遠離副掃描方向側之假想邊界Β之 點（第二條件），進一步以第二條件選擇之點為複數之情況 時，從該複數點中，選擇更遠離主掃描方向側之假想邊界 Β之點（第三條件）。此外，以第三條件選擇之點為複數之 情況時，從該複數點中隨機選擇1個點。 第三掃描係有關該劃分區域6之最後掃描，由於在此最 後之掃拖中，於其以前之掃描中喷出之液狀體既已於特定 區域内充滿特定量之處，喷出液狀體，因此具有容易引起 液狀體從劃分區域6溢出（溢流）之問題。於第一條件中，優 先選擇關於第三掃描之點來作為刪除點，係藉由減少該掃 描之液狀體之配置量，以謀求迴避此問題。 而且，與刪除之點相對應之配置位置係劃分區域6内， 相對容易產生液狀體之潤濕缺陷之處所。於第二、第三條 件中選擇較遠離假想邊界Β之點來作為刪除點，係藉由 將此類處所設定於劃分區域6之靠中央，以相對地抑制缺 發生亦即，劃分區域ό之靠中央之處所由於可期待配 ;δ處所周圍之液狀體之潤濕擴散，因此即使未配置液 122596.doc -24· 1329070 狀體’據判發生缺陷之可能性仍十分低。 例如於步驟SI 1中刪除15個禁止點之圖13(a)之例之情況 下，於步驟S14判斷N小於18，於步驟S15進行點之刪除。 此時，作為以第一條件所選擇之對象係與喷嘴η31、喷嘴 n32相對應之6個點。其中，以第二條件進一步選擇與喷嘴 n32相對應之3個點’並進而藉由第三條件選擇^列之點， 將該點刪除。 由於N小於18(步驟S14)，因此進一步進行點之刪除（步

驟S1 5)。此時，藉由第一、第二條件，選擇與喷嘴n32相 對應之點中先前未選擇之L5列、L7列之點，此等均相當於 假想邊界B之第二鄰接點，因此以第三條件無法選擇其 一。因此，刪除隨機選擇之一方之點（N=17)。此外，藉由 將L5列、L7列之點與假想邊界B之距離，不作為矩陣厘丁之 畫J刀單位，而疋作為實際距離位準來比較，亦可更嚴密地 進行刪除點之選擇。

由於N小於18(步驟S14)，因此進一步進行點之刪除（步 驟S!5)。於此步驟S15中，藉由第一 '第二條件’選擇與 喷嘴M2相對應之點中先前未選擇之丨個點，並刪除該點 (N=18)。如此，刪除第一點圖案中之3〇個點中之^個點·， 產生圖14所示之第二點圖案。 如以上所說明’於第二點圖案之產生處理中，由於優先 刪除根據喷嘴之噴出資訊所判斷之禁止點(步驟s⑴，因 此可適當地抑制與液狀體對於劃分區域6之配置量 化之精度等相關之故障發生。而且，冑質上，由於藉由在 122596.doc -25- 1329070 被賦予之條件（圖n、圖12)下’從複數（特定數甸點中「選 擇」刪除之點，以產生第二點圖案，因此即使條件複雜， 仍可較簡單地進行處理。而且，藉由規定刪除之點之總數 (特定數b)(步驟S12、S14) ’可簡單地定量管理液狀體對於 劃分區域6之配置量。 (變形例1) 接著，參考圖10、圖13⑷、圖15 '圖16，針對變形例 1，以與先前之實施型態之相異點為中心來說明。 圖15係表示有關變形例丨之刪除點之選擇條件之圖。圖 Μ係表示有關變形例}之第二點圖案之例之圖。 於此變形例1中，步驟S15之刪除點之選擇係根據圖15之 表所不之條件來進行。亦即，於第一條件中，選擇與對應 於步驟S15中既已成為刪除對象之點之喷嘴以外之噴嘴相 對應之點。藉由設定此條件，會以約略均等比率來刪除與 各噴嘴分別相對應之點，因此各噴嘴對於一劃分區域6之 利用頻率會適當地分冑。如此，彳適當地抑制起因於喷嘴 間之喷出量偏差之劃分區域6間之液狀體量之偏差。 例如於步驟S11刪除15個禁止點之圖13(a)之例中，於步 驟S15中刪除之3個點分別對應於互異之噴嘴。而且，由於 第二條件、第三條件與先前之實施型態相同，因此從遠離 假想邊界B之點優先刪除，結果產生圖16所示之第二點圖 案。 . (變形例2) 接著，參考圖10、圖13⑷、圖17、圖18，針對變形例 122596.doc -26 - 2，以與先前之實施型態之相異點為中心來說明。 圖17係表示有關變形例2之刪除點之選擇條件之圖。圖 18係表不有關變形例2之第二點圖案之例之圖。 於此變形例2中，步驟S15之刪除點之選擇係根據圖口之 表所示之條件來進行。亦即，於第_條件巾，選擇與對應 於步驟S15中既已成為刪除對象之點之噴嘴以外之喷嘴相 對應之點’並進-步於第二條件選擇㈣第三掃描之點。 藉由設定此條件’會以約略均等比率來刪除與各喷嘴分別 相對應之點，謀求分散噴嘴之利用頻率，並且減少有關最 後掃描之液狀體之配置量，可謀求防止溢流。 而且，於第三、第四條件中’與先前之實施型態之情況 不同，優先選擇較接近假想邊界B之點。藉由設定此條 件，由於不會優先進行對於接近劃分區域6之邊界之位置 之液狀體之配置，因此可適當地抑制液狀體從劃分區域6 溢出。 例如於步驟S11中刪除15個禁止點之圖13(&)之例中於 步驟S15中删除之3個點分別對應於互異之喷嘴。而且，優 先刪除與關於第三掃描之噴嘴之喷嘴n31、1132相對應之 點，並進一步優先刪除接近假想邊界B之位置之點，結果 產生圖18所示之第二點圖案。 (第二實施型態） 接著，參考圖19、圖20、圖21、圖22，針對本發明之第 二實施型態，以與先前之實施型態之相異點為中心來說 明。 122596.doc •27- 圖19係表示第一點圖案 案之產生之處理之流程 圖 圓 之圖。圖20係表示有關第二點圖 。圖2 1係表示第二點圖案之例之 於此第二實施型態之第―點圖案中，如圖19所示，對應 於各假想劃分區域A而設定有15個（特定數_。而且，於 圖20之步驟S11中，不考. 、 可應及狀體之配置位置精度，僅有 與噴出異常之噴嘴相對岸之既姑七 了應之點被作為禁止點刪除。而且， 於步驟S12、S14中，斜料pjul丨w 十對已刪除之點之總數，以3個（特定 數b)為基準而進行判斷争 使付於弟二點圖案所剩餘之點數 成為適當數之12個。 例如於步驟S 11中，盥喑屮a杳—a 、 Τ ，、噴出異⑦之噴嘴η〗2相對應之R4行 之點被作為禁止點刪除之情f 于 < 有况（JN-3)時，經過步驟Sl2之判 斷「否」、步驟SI4之判斷「9 ^ ^ J m 疋」而產生圖21(a)所示之第 二點圖案。 而且’於步驟Slll^，盥喰出 卜 、 ’、赁出異吊之喷嘴nl3相對應之R7 行之點被作為禁止點刪除情 , f <渭/凡（N~2)時’經過步驟si2之 判斷「否」、步驟S14之判斷「否」，於步驟S15刪除Η固 點H例如若根據圖17之表所示之條件來選擇刪除 τ點則會刪除與有關第三掃描之喷嘴η 3 2相對應之點中之 7列之點’結果產生圖21(b)所示之第二點圖案。 八二同此第二實施型態，於第一點圖案中，對於各假想劃 ^ S域A所^之點數（特定數3)或排列可為各種態樣。例 tr—㈣案’於包含假想邊Μ之劃分或其外側之劃 为中配置點而構成亦可。 122596.doc •28- 此外’設定第一點圖案之點數、排列時，無論是任何喷 嘴變成噴出異常之情況，均須顧慮到至少留下適當數(此 實施型態為12個)之點。例如若集中在特定行設定點，由 於在與該行相對應之喷嘴變成喷出異常之情況時，剩餘之 點數會低於適當數，故此種設定不適宜。 圖22係表示關於變形例之第二點圖案之產生之相關處理 :流程圖。於此變形例中’於產生第二點圖案冑，預先指 定（列表化）欲禁止使用之禁止喷嘴（本發明之E步驟）。然 後於步驟S 11，優先刪除與指定之禁止喷嘴相對應之 點。若根據此變形例’可不受限於噴嘴之喷出資訊而改變 喷嘴之使用條件，以進行液狀體之配置。 (第三實施型態） 接著’參考圖23,針對本發明之第三實施型態，以與先 前之實施型態之相異點為中心來說明。 圖23係表示有機EL顯示裝置之要部結構之剖面圖。 如圖23所示，有機肛顯示裝㈣〇係具備：元件基板 ⑴；驅動電路部112’其係形成於元件基板⑴上；發光 兀件部113，#係形成於驅動電路部ιΐ2上；及密封基板 Π4，其係用以密封驅動電路部112及發光元件部η]。於 由密封基板m所密封之密封空間115，填充有惰性氣體。 毛光兀件部113具有由岸堤12〇所劃分之複數劃分區域 119 ’於此劃分區域119内形成有發光元件125。發光元件 125係於驅動電路部112之輸出端子之區段電極（陽極）121與 共同電極（陰極）丨24間’疊層有電洞輸送層丨22、有機虹材 122596.doc •29· 1329070 料層123而構成。而且’於岸堤120與驅動電路部ii2間， 以鉻或其氧化物等，形成用以防止灰階要素間之干擾之遮 光膜126。 電洞輸送層122係用以於有機EL材料層123注入電洞之功 能層，以聚塞吩衍生物之摻雜體（PEDOT)等高分子導電體 所形成。有機EL材料層123係以可發出螢光或燐光之習知 之有機EL材料之例如聚苟衍生物、（聚）對苯基乙烯基衍生 物、聚苯基衍生物等形成❶電洞輸送層122、有機El材料 層123係使用第一實施型態所說明之液狀體配置方法，配 置含與作為特定區域之劃分區域119相對應之功能性材料 (PEDOT/有機EL材料）之液狀體而製造。 本發明不限定於上述實施型態。 例如於步驟S15中，不設置如實施型態所說明之優先條 件（圖12、圖1 5等），刪除隨機選擇之點亦可。 而且’作為使用上述液狀體配置方法之其他例’可舉例 如電漿顯示裝置之螢光膜之形成、或電路之導電布線或電 阻元件之形成等。 而且’實施型態之各結構可適當組合、省略其等，或與 未圖示之其他結構組合。 【圖式簡單說明】 圖1係表示彩色濾光器之結構之平面圖。 圖2係表示彩色濾光器之構造之剖面圖。 圖3係表示液狀體喷出裝置之要部結構之立體圖。 圖4係表示喷頭單元之喷頭之配置結構之平面圖。 122596.doc 30· 圖5係表示液狀體喷出裝置之電性結構圖。 圖ό係表示點圖案與喷嘴位置之關係圖。 圖7係表示有關彩色濾光器之著色部之形成之步驟之流 程圖。 圖8係表示進行液狀體配置時之基板狀態之平面圖。 圖9係表示第一點圖案之圖。 圖丨〇係表示有關第二點圖案產生之處理之流程圖。 圖11係表示禁止點之判斷條件之圖。 圖12係表示刪除點之選擇條件之圖。 圖13(a)、（b)係表示第二點圖案之產生過程之例之圖。 圖14係表示產生之第二點圖案之例之圖。 圖15係表示有關變形例1之刪除點之選擇條件之圖。 圖16係表示有關變形例丨之第二點圖案之例之圖。 圖Π係表示有關變形例2之刪除點之選擇條件之圖。 圖18係表示有關變形例2之第二點圖案之例之圖。 圖19係表示第一點圖案之圖。 圖20係表示有關第二點圖案之產生之處理之流程圖。 圖21(a)、（b)係表示第二點圖案之例之圖。 圖22係表示關於變形例之第二點圖案之產生之相關處理 之流程圖。 圖23係表示有機EL顯示裝置之要部結構之剖面圖。 【主要元件符號說明】 1 彩色渡光器 2 著色部 122596.doc 1329070 4 基板 5 岸堤 6 作為特定區域之劃分區域 20 喷嘴 100 有機EL顯示裝置 1 19 作為特定區域之劃分區域 120 岸堤 122 電洞輸送層

123 有機EL材料層 125 發光元件 200 液狀體喷出裝置 MT 矩陣

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Claims (1)

1329070 第096129236號專利申請案 中文申請專利範圍替換本(99年2月） 申請專利範圍：

’兩修(&正替換頁 1. 一種液狀體配置方法，盆特微 -特徵為.藉由將噴嘴與基板相 對地掃描，根據點圖荦，自前 ^ 茶目月』述噴嘴噴出液狀體，以於 刖連基板上之特定區域配置前述液狀體；且包含： —A步驟，其係與前述特定區域㈣應而產生設定有特 疋數a之點之第一點圖案； C步驟’其係自前述特定畫 4荷疋数a之點，刪除特定數b之點 而產生第二點圖案；及 D步驟’其係根據前述第_ 弟一點圖案來配置前述液狀 體； 於前述C步驟中’優先刪除根據預先得知之前述喷嘴 之贺出資訊所判斷之禁用點。 、 2.如請求項1之液狀體配置方法，其特徵為包含B + 係取得至少與前述特m點相對應之前述喷嘴之喷 出貧訊； ' • 與前述基板之1個或每複數單位相對應來進行前述8步 驟及前述C步驟。 ' 3. 如請求項W2之液狀體配置方法’其中前述特定區域係 由岸堤（bank)所劃分。 4. 如請求項2之液狀體配置方法，其中於前述B步驟中，至 少取得前述液狀體之配置位置之精度； 於前述C步驟中’將與前述液狀體有溢出前述特定區 域外之虞之配置位置相對應之點，作為前述禁用點而優 先刪除。 ” 122596-990211 .doc 辨·^月/¾修(¾正替換頁 5. 方法，其中包含複 疋區域之掃描有關之前述噴嘴； 〃' 於前述B步驟中，至少取得喷出異常之有無； 於前述C步驟中，將與具有噴出異 應之點，祚盔枯 、之則述喷嘴相對 6. μ --作為禁用點而優先删除。 -種液狀體配置方法，其特徵為 板相對地掃描，根攄载同安ά 將複數噴嘴與基 以於前m 據圖案’自前述喷嘴噴出液狀體， ;“ 土上之特定區域配置前述液狀體；且、包含·· A步驟’其係與前述特定區域相對應 定數a之點之第—點圖案； 產生叹疋有特 用^步嘴驟’其係於前述複數喷嘴中，指定禁止使用之禁 而Hi’其係自前述特定數3之點’刪除特定數b之點 而產生第二點圖案；及 體〇步驟’其係根據前述第二點圖案來配置前述液狀 用噴嘴相對應之 於别述C步驟中，優先刪除與前述禁 =:Γ、2或6之液狀體配置方法’其中分為複數 田2進行前述液狀體對於前述特定區域之配置； 於則述C步驟中，於前述特定數a之點 之情況下，+‘ Α 卜3引述不用 目小；或則述特定數&之點所含之前述禁用點之 描中述特定數13之情況下，優先刪除前述複數次 >與最後掃描之點。 122596-9902II.do.

‘求項1、2或6之液狀體配置方法，其中使复數^ 噴窝來進行前述液狀體對於前述特定區域之配置； 之； < 述C步驟中，於前述特定數&之點不含前述禁用點 目月况下，或前述特定數3之點所含之前述禁用點之數 於則述特定數b之情況下，以與前述複數喷嘴之各 9. ::對應之點約略以均等比率留下之方式來刪除點。 、項1 2或6之液狀體配置方法，其中於前述c步驟 二：⑴述特疋數a之點不含前述禁用點之情況下，或 —述特疋數a之點所含之前述禁用點之數目小於前述特 二之清況下，優先刪除與距離前述特定區域之邊界 較近之配置位置相對應之點。 如η月求項1、2或6之液狀體配置方法，其中於前述c步驟 中’於前述特定數a之點不含前述禁用點之情況下，或 ^述特定數a之點所含之前述禁用點之數目小於前述特 疋數b之兄下，優先刪除與前述特定區域之邊界較遠 離之配置位置相對應之點。 "· -種彩色渡光器之製造方法，其係包含以下步驟：使用 如請求項1至1G中任-項之液狀體配置方法，於設定於 1基板上之複數之前述特定區域之各個配置含色材 之刖述液狀體之步驟；及 將前述配置之液狀體予以固化，形成將前述複數區域 为別作為像素之對應區域之著色部之步螺。 12.-種有纽顯示裝置之製造方法，其係包含以下步驟： 使用如請求項1至11中任一項之液狀體配置方法，於設 122596-990211.doc 1329070 ^择^月/扨修(烫)正替換頁 定於前述基板上之複數之前述特定區域之各個，配置含 有機EL材料之前述液狀體之步驟；及 將前’述配置之液狀體予以固化，形成將前述複數區域 分別作為像素之對應區域之發光元件之步驟。 122596-990211.doc 4-