TWI327982B - - Google Patents

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TWI327982B
TWI327982B TW094113255A TW94113255A TWI327982B TW I327982 B TWI327982 B TW I327982B TW 094113255 A TW094113255 A TW 094113255A TW 94113255 A TW94113255 A TW 94113255A TW I327982 B TWI327982 B TW I327982B
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Moriya Susumu
Ono Takayoshi
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Daifuku Kk
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Description

1327982 九、發明說明： 【發明所屬之技術領域】 本發明有關於一種卡匣保管及被處理板的處理設備， 複數/又地收納半導體基板及液晶顯示基板等的被處理板之 卡E的保管用自動倉庫，以及將從該卡匣取出的被處理板 進行加工處理的處理裝置的組合。 【先前技術】 在半導體基板及液晶顯 進行各種加工處理的場所， 的卡匣内的被處理板，以專 專利文獻2所揭示的「利用 升降進出移動的被處理板搬 被處理板從最下端搬出的搬 送至下一級的處理裝置，但 納有被處理板並無限制。因 一片一片地取出的上述機器 理板的收納位置資訊，即給 料’根據該映射資料使上述 藉此該機器人及搬出裝置不 動作’可以有效地將被處理 得到每個卡匣的被處理板的 檢測裝置’其具有從卡匣内 各種被處理板的檢測裝置， 於卡匡的支持場所（卡匿為
示基板的製造線上是被處理板 在入出庫裝置將自動倉庫搬出 利文獻1所揭示的機器人以及 從卡匣底部對該卡匣内相對地 出用輸送器，而一片一片地將 出裝置」一片一片地取出，並 是卡匣内的全部的段格是否收 此，對於從卡匣内將被處理板 人以及搬出裝置，卡匣内被處 予每卡匣的被處理板的映射資 機器人及搬出裝置自動運轉， 會對空置的段格做徒勞的取出 板送至下一階段的處理裝置。 映射資料的裝置為被處理板的 橫側方檢測的感測器，習知的 如專利文獻3所記載者，併設 將被處理板一片—片地取出的
7037-7065-PF 5 1327982 ^置的作業對象），對安裝於該支持場所 處理板的收納位置。 卜比檢測出破 [專利文獻丨]特開2003-261221號公報 [專利文獻2]特開2〇〇3_292149號公報 [專利文獻3]特開平7_231〇31號公報 【發明内容】 [發明所欲解決的問題] 在上述的構造中，處理從一個 φ * . , ^ ^ 個自動倉庫以入出庫裝置 在… 處理板的處理裝置係複數台並列設置， 在母個處理裝置上，併設有從卡g内將被處理板 地取出的機器人等的取出裝 ^ &晋在此情況下，在每個取出 裝置的作業％所必需設置上 n掖處理板檢測裝置，設 的成本非常的高，在取出 、 卞系琢所，當卡匣被設置 元成後使被處理板檢測農置作私 乍動而做成映射資料，因此在 取出裝置的作業場所從卡匣完 比70烕汉置到被處理板開始取出 夕都需要等待的時間，$舍古妓加 乂會有正個工作流程時間變長的 問題。 有鑑於此’本發明的目的在於祖祉 在於提供一種卡g保管及被 處理板的處理設備以解法μ、+. & 情解决上迹的問題，其裝置係參照後述 之實施例，並給予參昭篇缺 , …'子唬，本發明之卡匣保管及被處理 板的處理設備包括：立體土士仅其々饥 遐地保官多段地收納複數片被處理 板P的卡匣K的卡匣保管竿MA、9U 曰士 s氷OA、25B、具有可沿該保管架 25A、25B行走在升降架6上且右姑堪7aa ，士 工八百移載裝置7的入出庫裝置 1、從該入出庫裝置1出庙&上广„ 出犀的卡匣κ將被處理板ρ—片一片
7037-7065-PF 1 ^.27982 地取出並供給處理裝置30A、30B的被處理板的被處理板取 出、搬入裝置31A、31B，其_在上述卡匣入出庫裝置1的 升降架6上，搭载有被處理板檢測裝置42，以便得到從保 官架25A内移至該升降架6上的卡匣κ内的被處理板p的 映射資料（mapping data)。 對於實施上述構造之本發明，具體的如申請專利範圍 第2項所述，被處理板檢測裝置42係配設於上述升降架6 上之卡E K的父接通路的外側上，該被處理板檢測裝置4 2 所具有的被處理板檢測用的感測器47，對應於移至升降架 6上之既定位置的卡匣κ内的被處理板p，可於水平遠近方 向自由移動。在此情況下的具體構造，如申請專利範圍第 3項所述，被處理板檢測裝置42所具備的被處理板檢測用 感測器47係安裝於可繞垂直軸心水平擺動的擺動體（搖臂 46)的前端，並設有驅動裝置（致動器（actuat〇r) 48)， 使該擺動體（搖臂46)對應於移動至升降架6上之既定位 置的卡匣K内的被處理板p，在遠離該感測器47的退避位 置與接近該卡匣K内的被處理板p的作用位置之間擺動。 如申請專利範圍第4項所記載，被處理板檢測裝置42所具 備的被處理板檢測用感測器47係安裝於一可動體63上， 該可動體63係可相對於移至升降架6上之既定位置的卡匣 K内的破處理板p於水平遠近方向直線地往復移動，並設 有驅動裝置（汽缸單元64)，使該可動體63相對於移至升 降架6上之既定位置的卡匣κ内的被處理板p，在遠離該 感測器47的退避位置與接近該卡Ε〖内的被處理板Ρ的作
7037-7065-PF 7 用位置之間往復移動。 方亦：進载裝置7為相對於升降架6左右任何-被處理二的裝置時’如申請專利範圍第5項所述， 2=測裝置42係配設於上述…之移載裝置的卡 被處理；fee的終端外側’該被處理板檢㈣置42所具傷的 :檢測用感測器47係固定於既定位置上，當上述卡 的移/置7被拉人切交接通路的終端時，藉由卡£ κ 動相對地進入該卡£ κ内而可檢測出被處理板ρ。 &申Μ專利範圍第6項所述，在人出庫裝置1的 Α文6上設有轉台（turntable) 20，藉由該轉台20的 旋轉可相對於左側或右侧任_侧做卡㈣交接，上述被處 理板檢測裝置42係配設於伴隨上述轉台20的旋轉的卡匣 移載裝置7以及與卡g κ的旋轉不產生干涉的升降架6上 的位置。在此情況下，將構造（申請專利範圍第3及4項） 併入申請專利範圍第2項中較佳。 在上述入出庫裝置1的升降架6上設有搭載卡匣移載 裝置7的轉台20的情況下，如申請專利範圍第7項所述， 上述被處理板檢測裝置42係在不與藉由上述卡匣移載裝 置6做交接的卡匣產生干涉的位置上，而配設於上述轉台 20上。在此情況下，所記載的構造（包含申請專利範圍第 3及4項的構造）的其他可併入申請專利範圍第2項，所 記載的構造也可併入申請專利範圍第5項。 而且，如申請專利範圍第8項所述，被處理板檢測裝 置4 2所具備的被處理板檢測用感測器4 7係分別對應於移 7037-7065-PF 8 1327982 動料㈣6jl线定位置的卡ΕΚ内的被處理板P的周 邊複數個處所（相對於被處理板p的一邊的複數個 而設置。 又，如申請專利範圍第9項所述，入出庫裝置丨為將 收納從處理裝置30A、30B搬出的處理完畢的被處理板{5的 卡匣κ進行返回卡匡保管架25Α、25β的再入庫作業，搭載 於上入出庫裝置i的升降架6上的上述被處理板檢測裝 置42係用於被處理板的檢測作業，以便得到再入庫卡匣κ 内的被處理板p的映設資料。 [發明之效果] 在上述構造之本發明的卡匣保管及被處理板的處理設 備中，藉由自動倉庫之入出庫裝置將卡匣從保管架搬出並 移至被處理板取出搬入裝置的作業途中，對於在上述入出 庫裝置的升降架上卡匣，使被處理板檢測裝置作動，而得 到該卡匣内的被處理板的映射資料，因此在將卡匣搬出至 被處理板取出搬入裝置之前，將該卡匣的被處理板映射資 料送至被處理板取出搬入裝置的被處理板取出裝置的機器 人等，對於已搬出被處理板取出搬入裝置的卡匣無時間延 遲而直接開始被處理板一片一片地取出作業。因此，從搬 出往被處理板取出搬入裝置的卡匣内將被處理板一片一片 地取出而送至處理裝置的一連_作業所需要的循環時間 (cycle time)縮短了，可提高作業能率。又，對於一個 入出庫裝置設置複數個被處理板取出搬入裝置，即使在將 卡匿分配至該等被處理板取出搬入裝置的大規模設備的場 7037,7065-PF 9 合中，不必在每個被處理板取 ^ , 蚁取出搬入裝置上設置被處理板 檢測裝置以得到被處理板的映 极扪映射貧料，可降低設備全體的 成本。 又’記載於申請專利範圍第2項的構造中，在入出庫 !置的升降架上與保管架之間不影響卡匣移載裝置之卡匣 父接的位置上可搭載被處理板檢測裝置，但是當該被處理 板檢測裝置所具備的被處理板檢測用感測器動作時，該感 測器可接近卡E内的被處理板，迫使被處理板檢測裝置小 1…y員使用即使與被處理板具相當的距離仍可正確發 揮檢測功此的特殊感測器，本發明可容易且廉價地實施。 扼用5己載於中請專利n圍第2項的情況下，在中請專利範 圍第3項的記載中’藉由被處理板檢測袭置所具借的被處 板檢測用感測器可直線地往復運動，被處理板檢測裝置 的設置所需要的平面面積可大幅地縮小，雖然卡匣移載裝 置的卡匣交接通路側邊的狹小空間内無法強迫設置被處理 板檢測裝置，但可以使被處理板檢測裝置比較接近於卡匣 5又置’如申請專利範圍第4項的構造。 當然’卡E移載裝置的升降架上的卡匣交接通路並非 從該升降架的一側往另一側橫斷而過，而是僅位於升降架 上之既定位置與該升降架的一側之間，在此情況下，藉由 t木用申請專利範圍第5項的構造，在採用申請專利範圍第 2項的構造（包含申請專利範圍3及4的構造）的情況下， 由於不必使被處理板檢測裝置所具備的被處理板檢測用感 測盗移動’構造簡單而且可廉價地實施，但是結果是由於
7037-7065-PF 1327982 使該被處理板檢測用感測器自動地進入卡昆内而接近被處 理板，即使不使用與被處理板具相當的距離仍可正確發揮 檢測功能的特殊感測器，也可破實而正確地進行檢測。
設於入出庫裝置的升降架上的卡匿移載裝置，在升降 架上的左右橫幅的中心位置作為原點，可於左右任何一側 進出移動的左右滑動式的移動又體形式的物體，此種滑動 式移動叉體形式的切移載裝置，恐怕有由所取的被處理 板的種類而從滑動面產生磨耗粉的不良影響。因此，如後 述之實施型態所示’在設於升降架上的轉台上，相對於該 轉台上的原點，搭載僅可從單側進入的卡厘移載裝置（僅 具有旋轉軸承部，由於不具滑動所形成的滑動面，因此益 磨耗粉產生的缺點），藉由轉台的旋轉，可對於左右任一側 進仃卡匣的交接’對於此種自動倉庫而實施本發明的情況 下，可採用申請專利範圍帛6項及第7項的構造。 特別是當採用申請專利範圍第7項的構造時，即使在 使申請專利範圍第2項所記載的構造（包括記载於申請專 利範圍第3及4項的構造）財請專利範圍第云項所記载 ，構造做任意組合而實施的情況下’為了在升降架上所接 的卡ϋ的左；^方向對應於該卡度下&的相對側的左右位 置f爻變換而使轉台旋轉期間，也可利用被處理板檢測裝 置的被處理板之檢測時間。
在本發明中，由於在行走的入出庫裝置所具備的升降 ''或者是在該升降架上的轉台上配設有被處理板檢測裝 置’入出庫裝置的行走中及升降架的升降令，在轉台上配 7037-7065-PF 11 1327982 a又有被處理板檢測裝置時，雖然在該轉台旋轉中也可進行 被處理板檢測裝置對卡匣内被處理板的檢測動作，但在如 此檢測動作時期，由於被處理板檢測裝置係併設於習知的 地面上的設置裝備，伴隨震動及或多或少的擺動，使用於 被處理板檢測裝置的感測器產生誤檢的可能性變高。在如 此的情況下，申請專利範圍第8項所記載的構造中，由於 對應於被處理板周邊的複數個處所而配設被處理板檢測用 的複數個感測器，例如對應於在一片作為檢測對象的被處 理板的周邊複數個處所的複數個感測器所檢測的結果不相 同的情況下，作為誤檢的情況而可控制以自動地實施再度 檢測的動作的對策，可防止映射資料的精度降低。 甚至’使用從自動倉庫將卡匣供給至處理裝置的設 備’將收納處理完畢的被處理板的卡匣，利用該自動倉庫 的入出庫裝置再送入同一自動倉庫的保管架上，處理完畢 的被處理板有先行搬運的要求，而雖然可做暫時的保管， 但在此種狀況下，藉由採用申請專利範圍第9項所記載的 構造，在從處理裝置搬出的被處理板收納於空匣的作業場 所中，被處理板檢測裝置無須併設，利用自動倉庫的入出 庫裝置所具備的被處理板檢測裝置，可得到從收納於卡匣 内的處理裝置搬出的處理完畢的被處理板的映射資料。 【實施方式】 以下根據本發明所附加的圖式說明本發明的具體實施 如第1圖及第2圖所示，在本實施型態中，所利用的 自動倉庫的入出庫裝置丨的基本構造為習知者。在地面側
7037-7065-PF 12 1327982 所附設的左右一對導軌2可行走地支持著台車3， 上立設有門形的㈣4,在該門形的框架4的前後= 支柱部5a、5b之間，在可升降的升降架6上設有卡 裝置7。在台車3上，在導執2上轉動的四個車輪^〜8d， 以及單側的導執2在前後二個位置從左右兩側夹持止振用 的垂直軸滚子9軸支之同時，車輪8a〜8d内的對角位置 上’搭載有使二個車輪8a、8b同步驅動的行走用驅動馬達 l〇a、10b。因此，藉由行走用驅動馬達1〇a、⑽同步驅動 車輪8a、8b，可使入出庫裝置1沿導執2前後任意的方向 行走β 升降架6包括卡合於在門形框架4的前後一對的支柱 部5a、5b内所形成的升降用導執部的前後一對升降體 11a、lib，連結於兩升降體Ua、Ub内側的側框架、 1 2b，在兩側框架1 2a、1 2b的下端部前後兩端部以左右水 平連結軸1 3所連結的本體框架丨4。在門形框架4的前後 一對支柱部5a、5b的上下兩端内部，在懸掛於樞支的齒輪 15a、15b之間以及16a、16b之間的升降驅動用鍊條17a、 17b個別的中間’升降體12a、12b與配重18a ' 18b相互 以逆方向升降運動，並設有同步驅動下側齒輪l5a l6a的 升降驅動用馬達19a、19b。因此，藉由升降區驅動用馬達 19a、19b同步驅動齒輪i5a、16a，經由升降驅動用鍊條 1 7a、1 7b ’使升降架6在門形框架4的前後一對支柱部5a、 5 b之間升降。 升降架6上的卡匣移載裝置7係設於轉台2〇上，轉台
7037-7065、PF 13 1327982 2 0係可繞設於升降举 H 本體框架14上的垂絲心旋轉， 並包括樞支於轉台2〇上 樞支於該等兩增2ί、9 :擺動主連桿21a、2ib、 r 22 , 22 、干3 lb的前端的一對水平擺動副連 ήτ 22a 22b、以該兩副遠捏 κ ^ _ 9Q 連# 22a、22b的前端部所支持的 卞S支持叉2 3、以β rft *4*、*， 及由主連桿21a、21b的擺動運動所連 動而使副連桿22a、？9h I…丄 建 22b做圯向強制擺動的連動裝置 24b。 由於該卡®移載裝置7與記載於特開2GG2-37G184號 ♦公報的裝置基本上是相同的，因此詳細的說明省略一對u ^主連桿213、2lb及—對副連桿22a、22b在第2圖中以 實線表示而呈向外突出的前後對稱的山形狀態，卡E支持 叉23係位於後退極限的原點，從該狀態使一對主連捍 21a、2lb#由搭載於轉台2()上的驅動裝置相互逆向地在 外旋轉的方向上以同一速度連動擺動，藉此以連動裝置 24a、24b的作動而相對於主連桿21a、21b相互逆向的内 旋轉方向上以同一速度連動擺動的一對副連桿223、2託所 擊支持的切支持又23，在第2圖巾讀想㈣表示的進出 限位置為止的左右方向上直線地進出移動。 然後’原點（後退極限位置）上的卡匣支持又23係位 於升降架6的左右橫幅的中心位置上，相對於此時的一對 主連桿21a、21b以及一對的副連桿22a、22b的姿勢而呈 左右對稱形的姿勢，該等一對主連桿21a、21b以及一對副 連桿22a' 22b擺動時，卡匣支持叉23到達進出極限位置， 在該狀態的卡匣支持叉23,其全體成為相對於升降架6突 7037-7065-PF 14 ==側的狀態。又，轉台2°在180度的範圍内可正 =由灰轉，該轉台20旋轉至其180度 紋轉極限位詈蛑，i χ 23 ^ , ' 圖所示，卡匣移載裝置7的卡匣支持 i、Pdj 犀裝置1的行走方向在直角方向上， 、出移動於左右一側， 喆s 口 J田從該狀態下轉台20做18〇度旋 轉至另一端的旋轉位置時 · 文符又2 3做左右反向的切 換，；f目對於該入出庫裝 — y, 衮置1的仃走方向而從左右側之另一 側做退出移動。 上通構造的入出庫裝置1係使用於如第3圖所示的卡 ㈣官及被處理板的處理設備。即，在第3圖所示的卡g 保官及被處理板的處理設備，由上述構造的入出庫裝置^ 與立設於其行走通路兩側的保管架25Α、25β所構成的自動 倉庫中，連接於入庫用輸送器26的入庫台27，連接於出 庫用輸运态28的出庫台29以及複數個處理裝置3〇係合併 設置。各處理裝置30Α、30Β與自動倉庫之間，被處理板取 出搬入裝置3U、31B以及處理完畢之被處理板之搬出收納 -裝置32A、32B係合併設置。 保管架25A、25B具有藉由入出庫裝置j的+ g移載裝 置7交接卡匣K的立體的卡匣收納區域33’被處理板取出 搬入裝置31A、31B包括利用在保管架25A内的適當位置的 卡昆收納區域33而設置於保管架25A内的被處理板取出部 34,以及將取出後的被處理板p送至處理裝置3〇A、3〇b的 搬入用輸送器35，被處理板的搬出收納裝置32Α、32β包 括利用在保管架25A内的適當位置的卡匿收納區域33而設 7037-7065-PF 15 1327982 置於保管架25A内的被處理板收納部36，以及將處理完畢 後的破處理板P搬運至被處理板收納部36的搬出用輸送器 37 〇 被處理板取出部34由於藉由入出庫裝置1從保管架 25A、25B内的特定卡匣收納區域33取出而從移載至被處 理板取出部34的特定位置的卡匣K將被處理板P —片一片 地取出而送至搬入用輪送器3 5 ,例如，利用記載於專利文 獻1的具有取出被處理板p的手的機器人以及專利文獻2 所尤載的從卡匣底部對於該卡匣内相對地升降退出移動的 被處理板搬出用輸送器，並使用從最下段將被處理板卩一 片一片地搬出的搬出裝置。由於被處理板收納部36係將處 理π畢的被處理板p —片一片地***收納於移載至該被處 理板收納部36之定位置的空卡g κ内，因此利用使用於上 述被處理板取出部34的機器人以及專利文獻2所記載的從 卡匣底部對於該卡匣内相對地升降退出移動的被處理板搬 出用輸送器，使用從最上段將被處理板Ρ —片一片地*** 收納的搬入裝置。 又，在被處理板取出部34中，藉由被處理板ρ的取出， 清空的卡匣Κ藉由入出庫裝置1移入保管架25Α、25Β保管 或者疋可移載至空狀態的被處理板收納部36。對於被處理 板收納部36，在保管架25Α、25Β内所保管的空卡匣κ由 入出庫裝置1供給，藉由從被處理板取出部34將空卡匣κ 搬運至被處理板收納部36的搬運裝置，可使空卡匣κ搬運 至被處理板收納部3 6。
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又’在入出庫裝置1中卡匣κ直接移載至被處理板取 出部34，然後在被處理板收納部36，處理完畢的被處理板 Ρ被***收納的卡匣Κ以入出庫裝置1直接接受，雖然用 以上的構造說明’但在第4圖所示的被處理板取出搬入裝 置31，以入出庫裝置1將卡匣Κ移載至搬入用卡匣接受部 38’從該搬入用卡匣接受部38將卡匣Κ搬入被處理板取出 部34，之同時，在該被處理板取出部34設有卡匣搬運裝 置，可將被清空的卡匣Κ送出至搬出用卡匣接受部39,在 處理完畢之被處理板的搬出收納裝置32中，在入出庫裝置 1將空卡匣Κ移載至搬入用空卡匣接受部4〇,從該搬入用 工卡Ε接受部40將空卡匣κ搬入被處理板收納部36之同 時，在該被處理板收納部36，設有卡匣搬運裝置，可將插 入收納處理完畢之被處理板ρ的卡匣κ送出至卡匣接受部 41。搬出至搬出用卡匣接受部的空卡匣κ以及搬出至搬出 用卡匣接文部39的處理完畢之被處理板ρ所***收納的卡 Ε Κ，藉由入出庫裝置1移入保管架25Α、25Β内保管。 當然，配設於各處理裝置與自動倉庫之間的被處理板 取出搬入裝置與處理完畢的被處理板的搬出收納裝置的構 造並不限於上述之構造，主要是在入出庫裝置丨從保管架 25Α、25Β内取出而搬出至既定位置的卡匣κ中將被處理板 Ρ —片一片地取出而送至處理裝置，從處理裝置送出的處 理完畢的被處理板Ρ 一片一X地***收納於空卡匣Κ内， 該空卡匣Κ在入出庫裝置1移入保管架25Α、25Β保管，此 構造較佳。當然，在本發明中，雖然被處理板取出搬入裝
7037-7065-PF 17 1327982 置是必須的’但是處理完畢的被處理板的搬出收納裝置則 非必要。例如’從處理裝置送出的處理完畢的被處理板所 收納***的卡匣κ在入出庫裝置1並不送入原本的保管架 25A、25B中保管，而是以專用的搬運裝置搬運至另外的加 工處理裝置及其他的保管設備。 上述的構造的卡匣保管及被處理板的處理設備中，送 進入庫台27的處理前的被處理板所收納的卡匣κ係藉由入 出庫裝置1送入保管架25Α、25Β内之空的卡匣收納區域 33内保管，根據處理裝置3〇Α、3〇β或者是被處理板取出 搬入裝置31、31Α、31Β中被處理板取出部34的要求，藉 由入出庫裝置]從保管架25Α、25Β取出，而搬出至被處理 板取出搬入裝置31、31Α、31Β的卡匣接受位置。然後在該 被處理板取出搬入裝置31、31Α、31Β的被處理板取出部 34中，從卡匣£内將被處理板ρ 一片一片地取出，送至處 理裝置30Α、30Β。在處理裝置30Α、30Β處理而送出的被 處理板Ρ，在處理完畢之被處理板的搬出收納裝置32、 32Α、32Β的被處理板收納部36中，一片一片地被***收 納於空的卡匣Κ，所希望之片數的處理完畢的被處理板ρ 所收納的卡匣Κ再度由入出庫裝置1送入保管架25Α、25Β 中保管。收納保管於該保管架25Α、25Β中的處理完畢的被 處理板Ρ的卡匣Κ根據下一階段的要求，由入出庫裝置1 出庫至出庫台29’並藉由輸送器29搬出。 入出庫裝置1、入庫台27、保管架25Α、2 5Β的卡匣收 納區域33、被處理板取出搬入裝置31、31α、31β的卡匣
7037-7065^PF 18 Γ2 Γ二置、處理完畢的被處理板的搬出收納裝置3 2、3 2 A、 鲁 接作業’4 了使切移載裝置7對應於卡£交接== 使料架6做升降動作，並由根據對應於入出庫裝置 卡E父接對象的左右位置的轉台2()的旋轉動作，朝卡昆支 :寺又23的進出極限位置做進出動作，卡匣移載 6的升降…W切支持叉23的錢㈣升降架 的後退動作完成。 置（原點） 在上述的設備中’送進被處理板取出搬入裝置31、 31Α、3ΐβ的被處理板取 被處理板ad:的…，即收納處理前的 在則一個製程，必定有機會藉由入 ,、' 1做搬運’收納處理完畢的被處理板Ρ的卡匣κ '再度送入保官架25Α、25β時，必定有機會由入出庫裝置 1搬運树明利用該機會可得到卡昆κ内被處理板ρ的 支持位置資訊，即得到映射資料’如第1圖及第2圖所示， 在入出庫裝置1上設置被處理板檢測裝置42。 /二”體的„尤明，在該實施型態中的被處理板檢測裝置 42 ^ Μ _ 6的單側的侧框架⑽的内側，當使轉 mo旋轉@使卡£支持又23及支持於其上的卡η的方 向左右逆向轉向時，位於該卡£支持又23及與卡g κ不產 '的位置gp位於第2圖所示之卡匡支持叉23及支持 ;:上之卡匣K的旋轉區域A的外側，如第5圖及第6圖 斤丁並。括固定框架43、上下兩端由同心狀的垂直支軸 4b樞支於固定框架43的旋轉框架一端安裝於
7037-7065-PF 19 1327982 該％轉框架45而 46, ^ ^ ^ ......〜丄卜復数段的搖臂 女裝於各搖臂㈣前端部上側的被處理板檢測用_ 盗47、以及經由下側垂直支軸4扑而使旋轉框架π在大 約90度的範圍内正逆向旋轉驅動的致動器（電動馬達、油 壓或空壓汽叙、油壓馬達、電磁線圈等）4 8。又，a 各搖臂46的長度變短，感測器47係上下複數段地安裝於 繞垂直軸心擺動的一個擺動體的端部上較佳。
在上述構造的被處理板檢測裝置42中，將卡匣K拉進 由卡更移載裝置7的卡梗支持又23所支持的升降架6上的 既疋位置上’人出庫裂^ i的行走中，在由後續的移載裝 置7將卡匣κ移至被處理板取出搬入裝置31、31Α、3ιβ的 卡昆接受位置的適當時期（當然，使卡匣Κ的方向左右逆 向轉向時，轉台20的旋轉的前後適當時期），使致動器48 作動，經由旋轉框架45使全部搖臂46，在卡匣κ的橫侧 方從與該卡匣Κ的側邊平行的退避姿勢朝正方向旋轉大約 90度，可使各被處理板檢測器47接近相對於以既定間隔 在卡匣Κ内上下複數#又地支持的被處理板ρ的檢測位置。 上述的被處理板檢測裝置42設於升降架6上的構造， 如上所述，對於收納在出庫裝置丨的搬運中的處理前或處 理後的被處理板P的卡匣K，使被處理板檢測裝置4 2如上 述的方式作動，使各段的感測器47相對於該卡匣κ内的各 段的被處理板Ρ從分離的退避位置切換至接近各段的被處 理板Ρ的檢測位置，而檢測卡匣κ内的各段的被處理板支 持位置上的被處理板Ρ的有無，根據該檢測訊號，自動形 7037-7065-PF 20 1327982 成該卡ΕΚ巾的被處理板的映射資料。如此所得到的每個 卡匿Κ的被處理板ρ的映射資料，在上述實施型態中，係 用於當該卡匣Κ被送至被處理板取出搬入裝置31、3lA、 31Β「的被處理板取出部34時，作為該被處理板取出部^ 的將被處理板一片一片地取出的裝置」的控制，可相對 於=卡S Κ内的實際上被處理板ρ所存在的段的被處理板 支持位置，使「一片一片地將被處理板取出得裝置」作用。 第7圖〜第11圖表示被處理板檢測裝置42設置於轉 台20上的實施型態。表示於該實施型態的被處理板檢測裝 置42包括相對於轉台2〇而支持於位在後退極限位置（原 占）上的卡匣支持又23上的既定位置的卡匣κ的又體進出 方向側的端部的左右兩側所配置的二個前側檢測單元 42a、42b、以及相對於轉台2〇而支持於位在後退極限位置 (原點）上的卡匣支持又23上的既定位置的卡匣κ的又體 進出方向的相反側的端部的後側左右二個位置所配置的二 個後側檢測單元42c、42d。如後所述，並非所有的檢測單 元42a〜42d都是必要的。 支持前側檢測單元42a、42b以及後側檢測單元42c、 42d的檢測單元支持用框組體49係以基部固定於轉台2〇 上向斜前方延伸而出的支持框5〇a與基部固定於轉台2〇上 而向斜後方延伸而出的支持框50b而支持於轉台2〇上，並 包括在前側支持框50a的前端部上所支持的前側水平件 51、 在後側支持框5 0 b的前端部上所支持的後侧水平件 52、 立設於前後兩水平件51、52的支柱件53a、53b以及
7037-7065-PF 21 1327982 54a、54b、相對於伴隨卡匣支持叉23的出退移動的卡匣κ 的交.接通路而分別架設於位於同一侧的支柱件53a、54a的 上端部間以及支柱件53b、54b的上端部間的水平連結件 55a、5 5b、架設於後側的支柱件54a、54b的上端部間的水 平連結件56、上端結合於水平連結件55a、55b之前末端 的位置且下端經由水平連結件57a、57b而結合於前側的支 柱件53a、53b的下端的前側檢測單元支持用支柱件58a '
58b、以及在後側水平件52與其正上方的水平連結件％之 間而結合於左右兩端末端的位置的後側檢測單元支持用支 柱件59a、591^支持檢測用單元支持用框組體49的前後 支持框50a、50b係配置成從平面觀之，不與轉台2〇上的 卡ϋ移載裝置7的水平擺動主連桿21a、21b的前後水平擺 動運動的區域重疊，前後的水平件5卜52係配置於上述卡 E移載裝置7中的水平擺動副連桿22a、m的水平擺動運 動的區域的下側。又’構成檢測單元支持用框組體49的各 構件53a〜挪係、酉己置於不與相對於轉纟2〇❿向後退極限 位置（原點）後退移動的卡匿支持又23及該支持又㈡上 的卡H K產生干涉的位置上。當然，檢測單元支持用框組 體49的構造並不限於該實施型態所示的構造。 各檢測單元42a〜42b基板的構造是相同 1圖所不，其包括下部端係經由滑動# 62安裝於安裝板 的/月執61而在該滑軌61的長度方向可往復移動地支持 的可動體63、作為使該可叙蝴/ ^ 定 了動祖63在復移動的驅動裝置而 女裝於安裝板與可動體 b 3之間的〉飞缸單元6 4、以及安
7037-7065-PF 22 1^27982 裝於可動體63的複數個被處理板檢測用感測器47。上述 可動體63由相.對於其往復方向’即相對於滑執“的長度 方向成正交而直立的帶狀板所構成，前側二個檢測單： 42a、42b利用安裝板6〇安袭於上述檢測單元支持用框組 體49的前側左右的前側檢測單元支持用支柱件58&、5礼 上，使可動體63的往復方向成為相對於卡匣κ的交接通路 方向成正交的水平方向。後側的二個檢測單元42c、利 用安裝板60安裝於上述檢測單元支持用框組體49的前側 左右的前侧檢測單元支持用支柱件59a、5gb上，使可動體 63的往復方向成為與卡& &的交接通路方向相同的水平方 向0 然後，各檢測單元42a〜42d的感測器47，當可動體 63位於後退極限位置（退避位置）時，伴隨卡匿支持叉^ 的退出移動’而位於該支持又23上的卡gK的錢通路的 外側’而不與該卡匣κ產生干涉。然I，當卡匣支持叉㈡ J達後退極限位置（原點）時，各感測器47係對應於卡昆 κ内的諸的被處理板Ρ。在相關的狀態下，使各檢測單元 42a 42d的n缸單元64 (驅動裝置）作動’而使可動體 63水平直線地進出移動至進出極限位置（作用位置），藉 t則側—個檢測單元42a、42b的各感測器47係從左右 兩側進入卡E K内，而位於接近各段之被處理板p的左右 兩側邊的則•端末端的二個處所的檢測位置，同時後側二個 單元42c、42d的各感測器4了從後側進入卡匣κ内， 位於接近各段之被處理板p的左右兩側邊的後端末端的
7037-7065-PF 23 1327982 二個處所的檢測位置。 .如上所述’當藉由卡E移載裝置7將卡g κ從保 25Α、25Β等移至升降架6上的既定位置時（在既定位置^ 持卡g Κ的卡£支持又23後退至原點時），使各檢測單元 42a〜42d的可動體63從退避位置進出移動至作用位置而 將各段感測器47切換至檢測位置，藉此 .之既定位置的卡…的各段被處理板支持位：二; 上有無被處理板P’可由感測器47檢測出。該被處理板檢 測裝置42的檢測動作，在卡g κ移動至升降架6上的既定 位置之後’例如在變換卡匣κ的左右方向的轉台別的旋轉 動作、升降架6的升降動作、以及入出庫裝置1的行走動 作之間也可進行。 而且在該實施型態中，藉由被處理檢 倩的四個檢測單开Λ9 A0, 所具 早π 42a〜42d，在一片被處理板p的周邊複 芩個位置（具體而言是周邊四個位置）同時作檢測，因此
例如同一位準的四個感測器47若具有相同的檢測狀態（被 處理板存在時，全部的感測器〇為⑽，無被處理板時，
王P的感測器47為_ )’則認定為檢測正常，若不然， 則認定為檢測1 I
/、爷，在檢測異常的情況下，由於產生於該 檢測動作時的轅A 20的旋轉動作、升降架6的升降動作以 及入出庫裝詈τ ^ ι 1的行走動作等的震動會造成檢測異常，因 此立即或經過__ ^ 叹疋時間後再度進行檢測’若即便如此仍 然為檢測異當，k _ 則為被處理板檢測裝置42的異常而自動地 實施必要的對笛 丁束。备然，即使為了達成這樣的目的，上述
7037-7065-PF 24 實施型態的四個拾也丨_ 檢測早疋42a〜42d也並非全部都是必須 例如在四個檢測單元42a〜42d之内，可任意僅採用至 二—個檢測翠元。又，即使在第1圖〜第6圖的實施型態 使用擺動體（搖臂46)作為切換感測器47的位置的 、將僅使用一個檢測單元的被處理板檢測裝置Μ配$ f轉台20的左右兩側。 又 又在第7圖〜第11圖所示的實施型態的被處理板檢 测裝置4 2的各袷啼丨s 。 檢測早兀42a〜42d的構造中，由垂直地直 的長條的帶狀板所構成的可動體63，其下端部由安裝板 :執6 1滑動件62以及汽缸單元64所構成的支持驅 ♦ ·支持仁是在此情況下，為了防止該可動體63的 !，可將導引該可動體63上端部的導軌65安裝於檢測 早…用支柱件58a〜咖上。當然藉由上 :的，軌Η㈣二根並列設置於汽缸單元64的上下兩 側，右為了接古斜-τ在
拄赃動體Μ止震的效果，也可以僅用該支 ^單疋支持可動體63。X，也可藉由上述支持驅動單 動體⑺持可動體63的尚度方向的中間部’在此情況下，可 n丄 的上下兩端部係由滑轨所支持，該可動體63的中 /度位置由汽虹單W4作往復驅動較佳。甚至，不用滑 吏用連；^機構直線地水平方向可往復移動地支持可動 -63’而驅動裝置並不限於汽缸單元64。 12圖及第13圖所示的實施型態為在上述第7圖〜 月图_所不的實施型態中的被處理板檢測裝置42的卡E 〇個位置的檢測單元42a〜42d内，無前侧二個檢測單
7037-7065-PP 25 mi 終端夕: 42b’位於卡匣移載裝置7的卡匣K的交接通路的 、’、貞，的後側二個檢測單元42c、42d，對應於卡g κ内 的各段被處理板Ρ的上下複數段的被處理板檢測用感測器 被，装的垂直構件（相當於可動體63的構件）Μ，經 表67固定於檢测單元支持用框組體49的後側檢測單 持用支柱件59a、59b ’同時由卡g移載裝置7拉入卡 昆交接通路的終端時，藉由Μ κ的㈣，兩檢測單元 42c、42d的各被處理板檢測用感測器47相對地進入該卡 匣K内，而實施被處理板ρ的檢測。 二因此，在該實施型態中的檢測單元支持用框組體49， 則側水平件51的左右兩端部與後側的支柱件…、灿的 上端部（水平連結件56的左右兩端部）藉由傾斜的連結件 68a、68b所連結’供支持前側二個檢測單元似、42b的 構件全部去除。 如上所述，在被處理板檢測用感測器47固定於既定也 置的僅由後側二個檢測單元42c、42d所構成的被處理板檢 測裝置42的實施型態中，卡g移載裝置7從保管架㈤、 25B將卡® K取出而拉進升降架6上的既定位置時，即拉 進在㈣20上卡S移载裝置7的卡£交接通路的終端位置 時，在卡E移載裝置7的卡E支持又23上所支持的該卡昆 K的移動終盤的後退移動時，後側二個檢測單元似、 中的各被處理板檢測用感測器47相對地進入該卡匿κ内， 當該卡Ε Κ到達上述切交接通路的終端位置時，由於各 被處理板檢測用感測器47到達該卡匣κ内的各段的被處理
7037-7065-PF 26 1327982 板P的檢測位置，之後由轉台2〇的 ^ W Ί ^ 焚轉，即使在卡匣移载 裝置7作卡便交接方向切換之際 4〇, , 遇订後側二個檢測單元 t自處理板檢測用感測器U的檢測動作， 可自動形成該卡匣K内被處理板p的映射資料。 :然，藉由人出庫裝置！的行走與升降架6的 2將切K搬運至目的場所後，用切移載裝置了將支持 ::降架6上（轉台2〇上)之既定位置的卡…入出庫 裝置1搬出時，與對應於該搬出方向而使轉台⑴乍⑽产 旋轉時或不旋轉時無關，在卡匿移載裝置？的㈣二 出時，後側二個檢測單元42c、42d中 r的各破處理板檢測用 感測器47係相對地從該切κ内盡可能脫出至後方，而不 會成為卡|£ Κ送出的障礙。 又，在該實施型態中，伴隨卡匣κ的移動，對於該卡 ε κ内㈣地做退出移動的檢測單元，雖然:對應於卡匿κ 的後側邊的左右二位置設置二個檢測單元42c、42d，但也 可在卡ϋ K的後侧邊的-個位置上設置作相對退出移動的 一個檢測單元。當然’該實施型態中的位置固定的後側至 少一個檢測單元（具體例為二個檢測單元42c' 42d)以及 前一實施型態所示的前側檢測單元作組合亦可實施即對 於卡E K内的被處理板p可水平遠近方向移動的檢測單元 t具體例為二個檢測單元42a、42b，僅任一者皆可）作組 合亦可實施。 被處理板檢測用感測器47可使用反射式光電感測 器，對於被處理板P的檢測位置，為從平面觀看重疊於各 7037-7065-PF 27 1327982 段被處理板p的周邊的上側（或下側）的位置，因此，除 了取上段（或最下段）的感測器47，全部的感測器47在 進入上下相鄰的被處理板P之間的狀態下，檢測各段的被 處理板P的周邊表面（或裡面）。然而，被處理板檢測用感 測器47的種類並無限定，例如被處理板p的外周端面用反 射式光電感測器檢測亦可。在此情況下，對應於被處理板 心測用感測器47的被處理板p的檢測位置係接近各段被處 理板P的外周端面的位置，而不必從上下相鄰的被處理板 P之間進入。又’被處理板檢測用感測器可使用投光器與 受光器成對使用的穿透型光電感測器，也可使用與被處理 板P接觸的接觸式感測器。 又’可同時對應於卡匣K内全部的被處理板支持位 置雖然表示將被處理板感測器4 7上下複數段地設置的被 處理板檢測裝置’例如可利用被處理板檢測裝置，其構造 為使個被處理板檢測用感測器，對應於被處理板p，可 從遠離的退避位置到接近該被處理板P的檢測作用位置之 間作位置切換的構造，同時使在檢測作用位置上的一個被 處理板檢測用感測器做升降移動，而檢測出被處理板支掩 位置上有無被處理板的構造。 【圖式簡單說明】 第1圖為入出庫裝置的側面圖。 第2圖為表示入出庫裝置的主要部分與保管架的一部 份的剖視圖。 第3圖為卡匣保管以及被處理板的處理設備的全體的
7037-7065-PF 28 1327982 概略平面圖。 分的概略平 面 第4圖為同一設備之變形例的主要部 圖0 第5圖為被處理板檢測裝置的橫剖視圖。 第6圖為同一被處理板檢測裝置的一部份的正視圖。 第7圖$表示其他實施型態的主要部分的平面圖。 第8圖為第7圖之實施型態之主要部分的正視圖。 第9圖為第7圖之實施型態之主要部分的後視圖。 第1〇圖為第7圖之實施型態之主要部分的側視圖。 第11圖為使用於第7圖之實施型態之檢測單元的主要 部分的立面圖。 第12圖為其他實施型態的主要部分的平面圖。 第13圖為第12圖之實施型態之主要部分的側視圖。 【主要元件符號說明】 1〜入出庫裝置；
2〜導軌； 4〜框架； 5a、5b〜支柱部； 6〜升降架； 7〜卡匣移載裝置； 8a至8d〜車輪； 9〜垂直軸滾子； 10a、10b〜行走用驅動馬達； 7037-7065-PF 29 1327982 37〜搬出用輸送器； 38〜搬入用卡匣接受部； 39〜搬出用卡匣接受部； 40〜搬入用空卡匣接受部； 41〜卡匣接受部； 4 2〜被處理板檢測裝置； 42a、42b〜前側檢測單元； 42c、42d〜後側檢測單元；
43〜固定框架； 44a、44b〜同心狀的垂直支軸； 4 5〜旋轉框架； 46〜搖臂； 47〜被處理板檢測用感測器； 4 8〜致動器； 49〜檢測用單元支持用框組體； 5 0 a〜支持框；
50b〜支持框； 51〜前側水平件； 52〜後側水平件； 53a、53b、54a、54b〜支枉件； 55a、55b〜水平連結件； 56〜水平連結件； 57a、57b〜水平連結件； 58a、58b〜前側檢測單元支持用支柱件； 31
7037-7065-PF 1327982 5 9a、59b〜後側檢測單元支持用支柱件； 60〜安裝板； 61〜滑軌； 62〜滑動件； 6 3〜可動體； 6 4〜汽缸單元； 65〜導執； 66〜垂直構件；
7037-7065-PF 32

Claims (1)

  1. 修正日期：99.5.17 第094 Π 3255號中文申請專利範圍修正本 十、申請專利範園： 1.種卡匣保管及被處理板的處理設備，包括： 自動倉庫，保管多段地收納複數片被處理板的卡匣， 上述自動倉庫包括立體地具有保管上述卡匿的卡匠收納區 域的保管架以及可沿著該保管架行走的入出庫裝置； 被處理板取出、搬入裝置，從該自動倉庫出庫至被處 理板取出部的卡匣中，將被處理板一片一片地取出並供給 處理裝置；以及 ' σ 被處理板檢測裝置，得到上述卡匡内的被處理板的映 射資料，其中，該入出庫裝置包括升降架以及設於該升降 架上而在上述保管架的卡匣收納區域以及上述被處理板取 出部之間接受卡匣的卡匣移載裝置，上述被處理板檢測裝 置並非設於上述被處理板取出、搬入裝置上，而是設於上 述自動倉庫的入出庫裝置中的升降架上，藉由該入出庫裝 置，在卡匣朝上述卡匣收納區域入庫期間或者是從上述卡 匣收納區域出庫至被處理板取出部的期間，得到該卡匣内 的被處理板的映射資料。 2. 如申請專利範圍第1項所述之卡匣保管及被處理板 的處理設備，其中該被處理板檢測裝置係配設於上述卡匣 移載裝置之卡匣的交接通路的外側上，該被處理板檢測裝 置所具有的被處理板檢測用的感測器，相對於從上述卡匣 移載裂置移至升降架上之既定位置的卡匣内的被處理板， 可於水平遠近方向自由移動。 3. 如申請專利範圍第2項所述之卡匣保管及被處理板 7037-7065-PF4 33 132798.2 的處理設備’其中被處理板檢測裝置所具備的被處理板檢 用感測器係安裝於可繞垂直轴心水平擺動的擺動體的前 端，並没有驅動裝置，使該擺動體相對於移動至升降架上 之既疋位置的卡a内的被處理板，在遠離該感測器的退避 位置與接近該卡匣内的被處理板的作用位置之間擺動。 .4.如申凊專利範圍第2項所述之卡匣保管及被處理板 的處理設備，其巾被處理板檢測裝置所具備的被處理板檢 測用感測器係安裝於一可動體上，該可動體係可對應於移 至升降架上之既定位置的卡匣内的被處理板於水平遠近方 向直線地往復移動，並設有驅動裝置，使該可動體對應於 移至升降架上之既定位置的卡匣内的被處理板在遠離該 感測器的退避位置與接近該卡匣内的被處理板的作用位置 之間往復移動。 5. 如申請專利範圍第1項所述之卡匣保管及被處理板 的處理設備，其中被處理板檢測裝置係配設於上述卡匣移 載裝置的卡E交接通路的終端外側，該被處理板檢測裝置 所具備的被處理板檢測用感測器係固定於既定位置上，當 上述卡匣移載裝置被拉入卡匣交接通路的終端時，藉由卡 昆的移動相對地進入該卡匣内而可檢測出被處理板。 6. 如申請專利範圍第1、2、3或4項所述之卡匣保管 及被處理板的處理設備’其中在入出庫裝置的升降架上設 有轉台（turntable)，藉由該轉台的旋轉可相對於左側或 右側任一側可做卡匡的交接，上述被處理板檢測裝置係配 設於伴隨上述轉台的旋轉的卡匣移載裝置以及與該轉台的 7037-7065-PF4 34 旋轉不產生干涉的升降架上的位置。 7.如申請專利範 ^ s . 2、3、4或5項所述之卡匣保 B及被處理板的處理兮朵傷， μ ° 其中在入出庫裝置的升降架上 5又：轉。，藉由該轉台的旋轉可相對於左側或右側任一側 做卡®的交接’上述被處理板檢測裝置係在不與藉由上述 卡匿移載裝置做交接的切產生干涉的位置上，而配設於 上述轉台上。 8·”請專利_第卜2、3、4或5項所述之卡㈣ 管及被處理板的處理設備1中被處理板檢測裝置所具備 的被處理板檢測用感測器係分別對應於移動至升降架上之 既定位置的切内的被處理的周邊複數個處所而設置。 9.如申請專利範圍第1項所述之卡匣保管及被處理板 的處理叹備，其中入出庫裝置為將收納從處理裝置搬出的 處理完畢的被處理板的卡匣進行返回卡匣保管架的再入庫 作業，搭載於上述入出庫裝置的升降架上的上述被處理板 檢測裝置係用於被處理板的檢測作業，以便得到再入庫卡 匣内的被處理板的映設資料》 7037-7065-PF4 35 修拉_ 91義_党 1327982 第94113255號中文說明書修正頁 七、指定代表圖： (一） 本案指定代表圖為：第（2)圖。 (二） 本代表圖之元件符號簡單說明： 2〜導軌； 3〜台車； 6〜升降架； 7〜卡匣移載裝置； 8a至8d〜車輪； 9〜垂直軸滾子； 10a、10b〜行走用驅動馬達； 11a、lib〜升降體； 12a、12b〜側框架； 18a、18b〜配重； 19a、19b〜升降驅動用馬達； 20〜轉台； 22a、22b〜水平擺動副連桿； 23〜卡匣支持叉； 24a、24b〜達動裝置； 25A、25B〜保管架； 33〜卡匣收納區域； 4 2〜被處理板檢測裝置；4 6〜搖臂。 八、本案若有化學式時，請揭示最能顯示發明特徵的化學式： 無 7037-7065-PF2 4
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Families Citing this family (18)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR101003580B1 (ko) * 2005-12-29 2010-12-22 엘지디스플레이 주식회사 기판공급장치
JP2009126596A (ja) * 2007-11-20 2009-06-11 Hitachi Plant Technologies Ltd スタッカクレーンの昇降体の高低差補正方法
CH699754B1 (de) * 2008-10-20 2020-11-13 Tec Sem Ag Speichervorrichtung für eine Zwischenlagerung von Objekten für die Produktion von Halbleiterbauelementen
TWI461341B (zh) * 2009-03-30 2014-11-21 Ihi Corp 行駛車系統
KR101245367B1 (ko) * 2009-09-25 2013-03-19 주식회사 에스에프에이 스토커
CN102320472B (zh) * 2011-06-03 2013-07-10 深圳市华星光电技术有限公司 基板传送***及传送方法
JP5927791B2 (ja) * 2011-07-12 2016-06-01 村田機械株式会社 搬送車
CN102616567B (zh) * 2012-03-23 2014-02-05 深圳市华星光电技术有限公司 玻璃基板的取出装置
DE102012011231A1 (de) * 2012-06-06 2013-12-12 Giesecke & Devrient Gmbh Verfahren und Vorrichtung für die Bearbeitung von Wertdokumenten
CN102721692B (zh) * 2012-06-19 2015-11-25 深圳市华星光电技术有限公司 玻璃基板卡匣的检测装置
CN102795442A (zh) * 2012-09-06 2012-11-28 深圳市华星光电技术有限公司 一种自动化物料搬运***
US9255896B2 (en) * 2013-06-18 2016-02-09 Shenzhen China Star Optoelectronics Technology Co., Ltd Glass panel stocking system and stocking method
CN103350886B (zh) * 2013-07-19 2015-06-17 深圳市华星光电技术有限公司 物件位置校正装置
TWM574165U (zh) * 2018-08-30 2019-02-11 臺拓國際實業有限公司 滾輪式輕隔間牆
JP7067437B2 (ja) * 2018-11-21 2022-05-16 株式会社ダイフク 移載装置
CN109625744A (zh) * 2019-01-29 2019-04-16 佛山市新泓达机械有限公司 一种玻璃仓储***及控制方法
CN110525861B (zh) * 2019-09-04 2022-03-29 亳州市中联物流园管理有限公司 一种仓储物流便于取货的货架
CN112193704B (zh) * 2020-10-10 2021-06-29 深圳市海柔创新科技有限公司 仓储***、货物搬运方法、控制终端、机器人及存储介质

Family Cites Families (24)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
TW309503B (zh) * 1995-06-27 1997-07-01 Tokyo Electron Co Ltd
KR100310249B1 (ko) * 1995-08-05 2001-12-17 엔도 마코토 기판처리장치
US5810537A (en) * 1995-10-18 1998-09-22 Bye/Oasis Engineering Inc. Isolation chamber transfer apparatus
US6082949A (en) * 1996-10-11 2000-07-04 Asyst Technologies, Inc. Load port opener
US6224312B1 (en) * 1996-11-18 2001-05-01 Applied Materials, Inc. Optimal trajectory robot motion
JP2001223197A (ja) * 1999-12-01 2001-08-17 Ses Co Ltd 基板搬入搬出装置および基板洗浄システム
JP3939062B2 (ja) * 2000-01-25 2007-06-27 松下電器産業株式会社 基板検出装置
JP2001274224A (ja) * 2000-03-27 2001-10-05 Mitsubishi Electric Corp 基板カセット装置
JP2002313877A (ja) * 2001-04-19 2002-10-25 Murata Mach Ltd 無人搬送車
JP3832292B2 (ja) * 2001-08-31 2006-10-11 株式会社ダイフク 荷保管設備
US7153079B2 (en) * 2001-09-18 2006-12-26 Murata Kikai Kabushiki Kaisha Automated guided vehicle
US7114903B2 (en) * 2002-07-16 2006-10-03 Semitool, Inc. Apparatuses and method for transferring and/or pre-processing microelectronic workpieces
JP4039157B2 (ja) * 2002-07-22 2008-01-30 株式会社ダイフク 自走台車
US6869263B2 (en) * 2002-07-22 2005-03-22 Brooks Automation, Inc. Substrate loading and unloading station with buffer
TWI254695B (en) * 2002-08-29 2006-05-11 Murata Machinery Ltd Carrying apparatus
DE10250353B4 (de) * 2002-10-25 2008-04-30 Brooks Automation (Germany) Gmbh Einrichtung zur Detektion von übereinander mit einem bestimmten Abstand angeordneten Substraten
KR20040062137A (ko) * 2002-12-31 2004-07-07 엘지.필립스 엘시디 주식회사 기판 반송 시스템
JP4276440B2 (ja) * 2003-01-06 2009-06-10 東京エレクトロン株式会社 基板検出方法及び装置並びに基板処理装置
JP4036097B2 (ja) * 2003-01-16 2008-01-23 株式会社ダイフク 処理及び保管設備
JP2004315191A (ja) * 2003-04-18 2004-11-11 Daifuku Co Ltd 物品保管設備の落下防止装置
SG109535A1 (en) * 2003-08-14 2005-03-30 Inventio Ag Electric motor, lift with a cage movable by an electric motor, and lift with a cage and with an electric motor for movement of a guide element relative to the cage
JP4321253B2 (ja) * 2003-12-18 2009-08-26 日産自動車株式会社 トルクコンバータのロックアップ制御装置
US20060216137A1 (en) * 2004-07-02 2006-09-28 Katsunori Sakata Carrying apparatus and carrying control method for sheet-like substrate
JP4012189B2 (ja) * 2004-10-26 2007-11-21 Ｔｄｋ株式会社 ウエハ検出装置

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