TWI274907B - A droplet ejection apparatus, a method of manufacturing a panel from a base, an image display apparatus and an electronic apparatus - Google Patents
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1274907 九、發明說明： 自基材製造面板之方法、 【發明所屬之技術領域】 本發明係關於液滴喷出裝置 圖像顯示裝置及電子裝置。 【先前技術】 作為製造用於諸如液晶顯 裝置之面柄夕.4不益之彩色濾光片的圖像顯示 展置之面板之方法，已知一 妒置、之方w", 使用液滴噴出裝置(噴墨繪圖 2= 參見JP-A_59-75205)。在此方法中， 稷數個像素形成於用於製 *蚀田W “ 敗之基板上，於該基板上藉 裝置以㈣形式將諸如墨水之液體材料供 7=數個像素上來形成複數個像素（嗔出 =板之此液滴喷μ置藉由以下步驟將用於形成像素i ==板上的複數個像素上:以液滴形式將液 :切出至基板上’同時關於—噴 複數個液时出敎）相互㈣心切顧之平臺 射Γ個喷嘴（喷嘴開口）形成於-液滴噴出頭中以便進行 對準，且複數個喷嘴構成一噴嘴車 产短於Ah 口二 U陣列。由於喷嘴陣列之長 ^ 、故複數個液滴噴出頭排列於喷頭單元 以使在：二 時’其嘴嘴陣列彼此連接， 产(二::早：之一掃描操作時液滴所噴出至的區域之寬 度（待纷製之寬度）更長。 見 ^而’由於不可避免在複數個液滴噴出 贺出量變化，例如，一液滴喷出 ’七 二 至的像素之顏色可變深;且另體材料之液滴所 滴嘴出頭噴出液體材料 105194.doc 1274907 之液滴所至的像素之顏色可變淺 文久。在此狀況下，存在著於 面板中產生顏色不均勻性之問題。 此外，在位於一液滴噴出頭 育噶陣列與相鄰液滴嘴出 頭之喷嘴陣列之間的接縫附近 附近之像素（液體材料供應至其） 中，存在著由於兩液滴噴出頭^ ^ 貝里之間的差異或由於 喷鳴間距之块差而在面板中產决 ^屋生—條紋之問題，在該條紋 中顏色不均勻性沿著液滴噴出頭之户㈠七上 貝之知描方向而延伸。在其 中於面板中產生條紋之狀況下，者 八 一 田使用此面板製造一圖像 顯示裝置時，該圖像顯示裝置 _ 衣直之顯不似乎包括一條紋。此 使得圖像品質降低。 【發明内容】 因此，本發明之一目的在於趄 隹於扼供·一液滴喷出裝置，其 可氣造無顏色不均勻性之其σ所 之回口口貝面板；自一基材製造一面 板之方法；一圖像顯示裝置及一 .θ ^ 不夏次電子裝置，其具有一無顏 色不均勻性之面板。 為達成上述目的’在本發明之一態樣中，本發明係針對 於-液滴噴出裝置’其用於以液滴形式將預定顏色之—或 多種液體：料供應至一基材上。本發明之裝置包括〆 喷頭單几，其具有用於將一或多種液體材料之液滴喷 出至該基材上的複數個液滴噴_ m夜㈣㈣ 包括由線性對準之複數個噴嘴之至少—喷嘴陣列，複數個 液滴喷出頭之該等噴嘴陣列在第—方向彼此平行，該液體 材料適用於以；^ 4形式經由該等複數個喷嘴喷出； 平2：，其包括兩個主要表面，該平臺之兩個主要表面 105194.doc 1274907 中之一個面向該喷頭單元之複數個液滴噴出頭，且該基材 係支撐於該平臺之該一個主要表面上； 一移動機構，其用於關於該噴頭單元相互移動該平臺；及 -控制單元’其用於控制該噴頭單元及該移動機構之操 作’以使得該噴頭單元之複數個液滴噴出頭中每一者將該 液體材料之液滴喷出至該基材上，同時在垂直於第一方向 之第二方向關於該噴頭單元相互移動該平臺， 其中忒基材具有一區域，該相同顏色之液體材料適用於 藉由該噴頭單元關於該平臺之—相互移動而自該等複數個 液滴噴出頭以液滴形式喷出至該區域上，該區域包括位於 該第-方向之複數個子區域，且該等複數個子區域中每一 者具有用於形成像素之複數個噴出區域，且 =該：复數個液滴噴出頭排列於該噴頭單元 區域之喷出區域總適用於自該等複數個液 鳴以液滴形式接收液體材料。 噴 根=發明之液滴喷㈣置，可使用喷嘴陣列之重 由複數個液滴喷出頭之噴嘴 且，，’ 出區域（亦即，—像素）上。液體材科之液滴喷出至一噴 滴噴出頭之喷出量之 此’即使在其中於複數個液 發明之噴頭單元方了/受化（誤差）的狀況下，使用本 產生有二ΓΓ 在待自基材製造之面板表面中 產生有害的顏色不均勻性。換 &表面中 其中液體材料經由m 、° ，與本發明相對比，在 丁由僅一液滴噴出 域上的狀況下，液滴喷出頭n 應至—嘴出區 之賀出置的變化直接％起 105194.doc 1274907 應至母一噴出區域之液體材料的量之變化（誤差），藉以在 面板中嚴重地呈現顏色不均勻性。另一方面，在本發明 中，由於待供應至一噴出區域之液體材料的量變成在掃描 重且之複數個液滴喷出頭的平均喷出量，故可能均勻 化供應至每一噴出區域上之液體材料之量，藉以可能防止 產生顏色不均勻性。
、另外，藉由將經複數個液滴噴出頭中之兩個或兩個以上 液滴喷出頭之*同組合的喷嘴噴出之液體材料之液滴供應 至該基材上之複數個子區域中每一者之喷出區域上，可能 平句化(均衡)關於作為整個基材之喷出區域中每一者之 ，材料噴出量’而不會使該等喷出量存在偏差。因此，可 地防止在待製造之面板表面中產生有害的顏色 -r-CT At% LI * :本發明之液滴噴出裝置中，較佳地，用於 2體材料嘴出至該基材之_子區域域上的2 體材==滴’出頭之組合不同於用於以液滴形式將液 兩個以上液滴噴出二相料區域之噴出區域上的兩個或 ψ 、碩之組合，同時兩個或兩個以上液滴噴 出頭之此等組合使用至少一個共同液滴喷出頭。 :此，由於使基材上之相鄰子區域之 噴出量之誤差變犋^ ,处的农體材枓 .r + 文传較小，故可能更必然地防止在每—相鄰 子區域之邊界處的條紋變得顯著。 相一 在本發明之液滴 頭包括複數組液滴噴較佳地’複數個液滴喷出 、出頭，自该等複數組液滴喷出頭將噴 105194.doc 1274907 出不同顏色之各種液體材料，以使得對於每一複數組液滴 噴出頭而於基材上形成複數個子區域，且 其中用於一顏色之液體材料之子區域中之相鄰子區域的 邊界之位置不同於用於其它顏色液體材料之子區域中之相 鄰子區域的邊界之位置。 因此，即使在其中於基材上之每一相鄰子區域之邊界處 產生一條紋的狀況下，由於產生於每一顏色噴出區域上之 φ 條紋並不會關於彼此而重疊而是分散於待製造之面板上的 不同位置處，故亦可能使得條紋變得不顯著。 在本I明之液滴喷出裝置中，較佳地，一些種類液體材 料包括三種類之液體材料，其分別具有紅色、綠色及藍 色0 在本發明之液滴喷出裝置中，較佳地，基材為—用於製 造用於液晶顯示H之彩色濾、光片基板的基底材料，且該— 或多種之液體材料為用於形成該彩色滤光片基板之遽光層 的墨水。 此使得可能以高生產率（製造效率）製造無有害顏色不均 句性及條紋之用於液晶顯示器的彩色遽光片基板。 在本發明之液滴喷出裝置中，較佳地，基材為用於製造 電致發光顯示器之基底材料， x ^ 十且ϋ亥一或多種之液體材料包 括一用於製造該電致發光顯μ之發光材料。 此使得可能以高生產率 I丈率）製造無有害顏色不均 勻性及條紋之電致發光顯示器。 在本發明之另一態樣中， 知月係針對於一使用上述液 105194.doc 1274907 3噴出裝置自—基材製造面板之方法。該方法包括以下步 製備一基材；及 口藉由使用該液滴喷出裝置喷出液滴同時在垂直於第一方 向之第二方向關於噴頭單元相互移動該基材而以該等液滴 的形式將-預定顏色之一或多種液體材料供應至該 上0 • 根據使用本發明之液滴喷线置自-基材製造-面板之 =法’可使用噴嘴陣列之重疊經由複數個液滴喷出頭之 背將液體材料之液滴喷出至一噴出區域(亦即，一像素; 因此，即使在其中於複數個液滴喷出頭之喷出量之間 存在變化（誤差）的狀況下，使用本發明之噴頭單元亦可: 防止在待自基材製造之面板表面中產生有害的顏色不均句 性。換言之，與本發明相對比，在其中液體材料經由僅一 液滴噴出頭之喷嘴供應至一喷出區域上的狀況下，液滴喷 _ A頭之噴出量的變化直接引起待供應至每—噴出區域上之 液體材料之量的變化(誤差)’藉以在面板中嚴重地呈現顏 色不均勾性。另一方面’在本發明中’由於待供應至一噴 出區域上之液體材料的量變成在掃描方向重疊之複數個液 滴噴出頭之平均喷出量，故可能均句化供應至每一喷出區 域上之液體材料量，藉以可能防止產生顏色不均句性。 另外，藉由將經複數個液滴噴出頭中之兩個或兩個以上 液滴噴出頭之不同組合的喷嘴噴出之液體材料之液滴供岸 至基材上的複數個子區域中每一者之喷出區域上，可平均 105194.doc 10 1274907 化（均衡）關於作為整個基材之噴出區域中之每一者的液體 材料喷出量，而不使該等噴出量存在偏差。因此，可能更 义然地防止在待製造之面板表面中產生有害的顏色不均勻 很據本發明自基材製造面板之方法中，較佳地，該基 ::為用於製造一用於液晶顯示器之彩色濾光片基板的基底 料1亥《多種液體材料為用於形成該彩色濾光 扳之濾光層的墨水。 土 此使得可能以高生產率（製造效率）製造無有害顏 句性的用於液晶顯示器之彩色濾光片基板。 在根據本發明自基材製造面板之方法中， 材為用於製造電致發光顯示器之基底材料，且 °亥基 液體材料包括一用於製造該電致發光顯示器之:多種 此使得可能以高生產率（製造效率）製造料。 勻性之電致發光顯示器。 ‘、，、有害顏色不均
在：發明之另—態樣中，本發明係針對 置’其包括使用上述方法製造之面板。 目像㉙示裂 此使得可能以高生產率（製造效率）製造 勻性之圖像顯示裝置。 、百。顏色不均 在本發明之另_態樣中，本發明係針 其包括上述圖像顯示裝置。 ；一電子裝置， 得可能以高生產率（製造效率）製 不均句性之圖像顯示裝置的電子裝置。括無有害顏色 【實施方式】 105194.doc 1274907 裝 的 現將參看附隨圖式詳細地描述根據本發明之液滴喷出 置自基材製造面板之方法、圖像顯示裝置及電子裝置 較佳實施例。 在本實施例中，通常將描述其中製造將作為面板之—實 例而成為液晶顯示器組件之彩色據光片基板⑺的狀況。 (液滴噴出裝置之全部組態） 圖1為本發明之一實施例中之液滴喷出裝置1的透視圖。 如圖1所示’液滴噴出裝置i具有：噴頭單元1〇3，里中複 數個液滴喷出頭2安裝於滑架1〇5上；滑架移動機構(移動 機構)104 ’其用於在一水平方向(下文中，稱為"X軸方向") 移動喷頭，元1()3 ;平臺1〇6，其用於支撐猶後所述之基材 i〇A ’平堂移動機構（移動機構）⑽，其用於在垂直於X轴 方向之士平方向(下文中，稱為"γ軸方向")移動平臺氣, 及控制單元112，其用於和制啥涵留 ^ 八用於才工制喷頭早凡103、滑架移動機構 104及平堂移動機構108。 另外’在液滴噴出裝置1之附近提供分別用於儲存包括 、色(R)、’彔色(G)及藍色⑻之三種類之液體材料⑴的三 個貯槽101。每-貯槽101經由管110而連接至噴頭單元 ⑻’管-充當用於傳送液體材料⑴之流動二頭= Γ〇Γ中一之㈣1G1中之液體材料111係傳送（供應）至噴頭單元 103中之母一液滴噴出頭2。 ==面，ί發…"液體材料”包括用於形成面板像 '、|思味者具有足夠黏度以經由液滴噴出頭2之 喷嘴25而喷出的材料。在此狀況下，該材料可為水基的或 105194.doc -12- 1274907 油基的。另外，該材料僅需要具有可經由液滴喷出頭2之 喷嘴25噴出之流動性（黏度）。即使固體材料可分散入該材 料中，總體上該材料亦可為流體。本實施例中之液體材料 111為有機溶劑墨水’其中用於形成彩色濾光片基板1〇之 像素的遽光層之顏料溶解或分散於有機溶劑中。 在此方面，於以下描述中，在區別紅色、綠色及藍色之 液體材料111的狀況下，將其分別稱為”液體材料111R、液 • 體材料U1G及液體材料⑴B"。另一方面，在大致對其進 行命名而不區分顏色的狀況下，將其每—者簡單稱為"液 體材料111 ’’。 滑架移動機構104之操作係藉由控制單元112控制。本實 施例中之滑架移動機構1〇4具有藉由沿著垂直方向（下文 中’稱為，，z軸方向，，）移動喷頭單元1G3而調整噴頭單元ι〇3 之高度的功能。另外，滑架移動機構1〇4亦具有圍繞一平 行於z軸方向之軸旋轉噴頭單元1〇3之功能，且此使得可能 • 精細調整噴頭單元103圍繞Z軸之角。 平臺106具有一平行於χ軸方向與¥軸方向之平面。另 外，平臺106經建構以使得用於製造彩色濾光片基板1〇之 基可固定或固持（或支樓）於其上。平臺移動機構ι〇8 /口著垂直於X軸方向與z軸方向之γ軸方向移動平臺1〇6。 平$移動機構108之操作係藉由控制單元丨丨2控制。另外， 本實施例中之平臺移動機構108亦具有圍繞一平行於2軸方 向之軸旋轉平臺106之功能，且此使得可能藉由精細調整 安裝於平臺106上之基材10A圍繞2軸方向之傾斜來校正基 105194.doc -13- 1274907 材10A之位置 直。 以使得基材1GA變得關於“單元ι〇3平 上文所述，噴頭皁元1〇 ^ ^ ^ 于糟由，月木移動機構104而向 X轴方向移動。另一方面， ^ , ^ 十至1〇6精由平堂移動機構108 而向Y軸方向移動。因此，喑 口凡贺碩早兀103關於平臺106之相 互位置可藉由滑架移動機構1〇4及平*敕無 變。 例傅⑶4及千$移動機構108而改 能 在此方面，稍後將描述控制單元ιΐ2之詳細構造及功 (喷頭單元） 圖2為展不圖llf3所示之液滴嗔出裝置r噴頭單元刚及 展不基材1〇八的平面圖。圖2中所示之噴頭單元103具有一 其中複數個液滴噴出頭2安褒於滑架1〇5上之結構。滑架 在圖2中以雙點虛線（chain double-dashed line)展示。另 外，分別展示複數個液滴喷出頭2之實線指示複數個液滴 出頭2之嘴嘴表面（亦即’稍後所述之噴嘴板128)的位 置。 々喷出紅色液體材料1 1丨r之四個液滴喷出頭2、用於 喷出、、’彔色液體材料！ ！ } G之四個液滴喷出頭2，及用於喷出 藍色液體材料1 1 1B之四個液滴喷出頭2係提供於喷頭單元 1 0上用於喷出紅色液體材料111R之該等四個液滴喷出 頭2包括第一液滴喷出頭21R、第二液滴喷出頭22R、第三 液滴喷出頭23R及液滴喷出頭24R。用於喷出綠色液體材 料111G之該等四個液滴喷出頭2包括第一液滴喷出頭 105194.doc -】4- 1274907 * —液滴噴出頭22G、第三液滴喷出頭加及液滴喷 ί頊挪。用於噴出藍色液體材料⑽之該等四個液滴喷 :頭2包括第—液滴噴出頭加、第二液滴噴出頭、第 —液滴喷出頭23B及液滴噴出頭24B。 ，乂下“述中，在大致對此等液滴噴出頭2進行命名而 不藉^待噴出之液體材料的顏色對其進行區分的狀況下， 將其每-者簡單稱為”液滴嘴出頭2,，。另一方面，在區分 _用於喷出紅色、綠色及藍色液體材料lu之液滴噴出頭2的 狀况下’可將其稱為(例如)”第一液滴噴出頭2ir、第二液 滴喷出頭22R、··· ”。 II 2中所示之基材10A為用於製造用於液晶顯示器之彩色 濾、光片基板10的基底材料，於彩色遽光片基板1〇上以條紋 方式排列有彩色濾光片。複數個紅色像素（喷出區 域）服、複數個、綠色像素（喷出區域）18(}及複數個藍色像 素（喷出區域）18B係提供於基材1〇A上。液滴喷出裝置工運 • 作以使得紅色液體材料uiR供應至每一像素18R上，綠色 液體材料mG供應至每一像素18G上，且藍色液體材料 111B供應至每一像素18B上。 像素18R、18G及18B中每一者具有大體長方形之形狀。 基材10A以以下之姿勢支撐於平臺1〇6上··其中像素i8R、 18G及18B中每一者之長軸方向平行於χ軸方向且像素 18R、18G及18Β中每一者之短軸方向平行於γ軸方向。複 數個像素18R、18G及18Β排列於基材10Α上以便以此次序 沿著Υ軸方向重複地排列，且使得相同顏色之像素沿著χ 105194.doc -15 - 1274907 軸方向排列。排列於γ “ 、軸方向之一組像素18R、18G及18Β 對應於待製造之彩色濾光片基板Η)之-像元。 (液滴喷出頭） 圖3為展*液滴喷出頭2之喷嘴表面（喷嘴板128)之一部 分及展示基材1〇Α之像素的放大平面圖。在此方面，儘管 每液滴喷出頭2之噴嘴表面經提供以便面向基材亦 即〆在垂直方向但出於觀測方便之目的，圖3以實線展 春 τ每；^滴喷出頭2之喷嘴表面。複數個喷嘴（喷嘴孔）25形 成於每—液滴喷出頭2之噴嘴表面上以便以均等間隔沿著X 轴方向線f生地對準。母一液滴喷出頭2中之複數個喷嘴^ 構成至7喷鳴陣列。在本實施例中，兩個喷嘴陣列以平 行方式形成於每-液滴噴出頭2上以便關於彼此以一半之 間距進仃移位。然而，本發明並不限於此。一液滴喷出頭 所/、有之喷鳴陣列之數目可為一個或三個或更多。另 外形成於一液滴噴出頭2上之喷嘴25的數目並不特定地 • 受到限制，且其通常可在約數打至數百之範圍内。 图4⑷及圖4(b)分別為圖丨中所示之液滴喷出裝置1之液 滴喷出頭2的透視截面圖及截面圖。如圖4(a)及圖4(1))所 示每液滴喷出頭2構成一喷墨喷頭。更具體言之，液 滴喷出頭2具有橫隔板126及噴嘴板128。儲集器129位於橫 隔板126與噴嘴板128之間。該儲集器129填充（fulfin)有經 由墨水進口 13 1自貯槽1 〇 1供應之液體材料111。 複數個間壁122位於橫隔板126與喷嘴板128之間。空腔 120係藉由横隔板126、喷嘴板128及一對間壁界定。由 105194.doc -16- 1274907 於空腔12 0係根據一喷嘴2 5而來提供，故空腔12 〇之數目與 贺鳴2 5之數目相同。液體材料1〗1經由提供於該對間壁1Μ 之間的墨水供應口 13 0而供應至空腔12 〇。 作為驅動元件之振動器124根據每一空腔12〇而位於隔板 126上。振動器124改變空腔12〇内所填充之液體材料ιη的 液體遷力，且包括壓電元件124C及一對電極12从及 124B，該對電極之間夾著該壓電元件124(：。藉由在該對
電極124A與124B之間施加一驅動電壓信號，壓電元件 124C變形以改變空腔12〇内所填充之液體材料〗〗丨的液體壓 力，藉此經由對應喷嘴25以液滴形式噴出液體材料ln。 每一喷嘴25之形狀經調整以使得液體材料丨丨丨經由每一喷 嘴25在Z軸方向喷出。 、 圖所示之幺制單元112可經建構以向複數個振動器丨 中每一者彼此獨立地施加一驅動電壓信號。換言之，可參 考每一噴嘴25根據來自控制單元112之驅動電壓信號來控 制經由每一噴嘴25喷出之液體材料111的體積。 在此方面，液滴喷出頭2並不限於使用如圖4所示之壓電 致動器作為驅動元件的液滴噴出頭。舉例而言，液滴噴出 頭2可使用靜電致動器，或可具有_結構，在該結構中液 體材料111藉由電熱轉換元件使用液體材料m之熱膨脹（薄 膜彿騰（film boiling))而以液滴形式喷出。 (控制單元） 其-人’現將描述控制單 制早兀112之組態。圖5為圖1中所示 之液滴噴出裝置1的方祕 免圖’该液滴噴出裝置1包括控制單 105194.doc 1274907 凡H2。如圖5所心控制單元112具有輸入緩衝記憶體 、館存單元2〇2、處理單元綱、掃描驅動單元206、喷 頭驅動單元208、滑架位置傾測器件3〇2及平臺位置们 件303 。 、 σ
處理單元204電連接至輸入緩衝記憶體·、儲存單元 搬、掃描驅動單元2〇6、嘴頭驅動單元2〇8、滑架位置侦 測器件302及平臺位置㈣器件3()3中的每一者。另外，掃 描驅動早TL206電連接至滑架移動機構刚與平臺移動機構 。類似地，喷頭驅動單元2〇8電連接至喷頭單元M3中 之複數個液滴喷出頭2中的每一者。 輸入緩衝記憶體200接收關於液體材料U1之液滴待喷出 之位置的資料，亦即，|自外部資訊處理裝置之繪製圖案 資料。輸入緩衝記憶體200將繪製圖案資料輸出至處=單 凡2〇4 ’且該處理單元2()4接著將緣製圖案資料儲存於儲存 單元202中。在此方面，圖5中所示之儲存單元地人 RAM(隨機存取記憶體）、磁性記錄媒體、磁光記 ：
其類似物。 IS 滑架位置偵測器件302偵測滑架1〇5之位置，亦即，在χ 軸方向之噴頭單元1〇3之位置（滑架1〇5在χ軸方向之移動距 離）’且將偵測信號輸出至處理單元2〇4中。舉例而言，说 =位置偵測器件3〇2及平臺⑯置躺器件3〇3係含線性編碼 器、雷射長度量測器件或其類似器件。 處理單το 204基於滑架位置偵測器件3〇2與平臺 AiL· 置傾測 ° 之所偵測信號經由掃描驅動單元206而控制滑架移 105194.doc -18 - 1274907 動機構104及平臺移動機構1〇8之操作，藉此控制喷頭單元 ⑻之位置及基材1GA之位置。另外，處理單心4控制平 …移動速度，亦即，藉由控制平臺移動機構⑽之操 作而控制基材1 〇 A。 此外，基於儲存在儲存單元202中之緣製圖案資料，處 理單元204將一在每一噴出時序中用於指定每-喷嘴25之 開啟/關閉（⑽/0FF)的選擇信號sc輸出至喷頭驅動單元 。噴頭驅動單元2G8接著基於選擇信號㈣每―液滴喷 出頭增出喷出液體材料⑴所需之喷出信號。因此，液體 材料⑴㈣每-液滴喷出頭2中之對應喷嘴25以液滴形式 喷出。 /控制單元U2可為具有CPU(中央處料元）、讀（唯讀 吞己憶體）、RAM及其類似物之電腦。在此狀況下，可使用 該電腦所進行之軟體程式來實現上述控制單幻Η之操 作。或者’可以專用電路（亦即，使用硬體）來實現控制單 元 112 〇 其-人’將描述控制單元】12中之噴頭驅動單元謂之組態 及功能。圖6⑷為喷頭驅動單元之示意圖。圖6⑻為一 展不用於喷頭驅動單元2〇8之驅動信 信號的時序圖。如圖6⑷所示，喷頭.驅動單元2咐括^ 動信號產生器203及複數個類比開_。如圖所示， 動心號產生器203產生驅動信號Ds。該驅動信號仍之電 位隨時間而關於參考電心改變。更具體言之，驅動信號 S。括以噴出循裱Ep重複之複數個喷出波形p。在此方 105I94.doc -】9- 1274907 面，該噴出波形P對應於待施加於對應振動器124中之該對 電極124A與124B之間的驅動電壓波形，以經由一噴嘴25 而f出一液滴。 驅動信號DS供應至每一類比開關AS之輸入端子。每— 類比開關AS係根據每一喷嘴25而提供。亦即，類比開關 AS之數目與喷嘴25之數目相同。 處理單元204向每一類比開關AS輸出用於指示每一喷嘴 25之開啟/關閉（〇n/〇FF)的選擇信號SC。在此方面，選擇 k號SC可關於每一類比開關AS而變成高位準狀態或低位 準狀態。回應驅動信號DS及選擇信號Sc，每一類比開關 AS將一喷出信號ES施加至對應振動器ι24之電極ι24Α。更 具體言之，在其中選擇信號sc變成高位準狀態之狀況下， 對應類比開關AS開啟（0N)，且向對應電極124A施加驅動 信號DS作為噴出信號ES。# 一方面，在其中選擇信號％ 變成低位準狀態之狀況下，對應類比開關AS關閉（0FF)， 對應類比開關A S輸出至對應電極12 4 A之噴出信號e S的 電位變成參考電位L。當驅動信號DS施加至振動器之 電極124A時，液體材料111經由對應於振動器124之喷嘴25 而喷出在此方面，參考電位L施加至每一振動器124之電 極 124B 〇 、、在圖6(b)所示之實例中，兩選擇信號SC中每一者之高位 準圪』t低位準週期經設定以使得喷出波形P以兩喷出信 唬S中每者之喷出循環EP兩倍的循環2EP而呈現。因 此’液體材料111以循環2EP經由兩對應噴嘴25中每一者以 105194.doc -20- 1274907 液滴形式噴出。共同驅動信號DS自共用驅動信號產生器 203而施加至對應於兩個喷嘴25之振動器124中的每一者。 為此原因，液體材料1 i丨以大體相同之時序經由兩個噴嘴 25而噴出。 此液滴喷出裝置1運作以使得液體材料丨丨丨之液滴經由喷 頭單元103中之每一液滴喷出頭2的喷嘴25噴出，且供應 (降落）至基材10A上之像素18R、18G及18B中的每一者 參 上’同時藉由平臺移動機構108之操作而在Y軸方向移動支 撐於平臺106上之基材10A，且將基材i〇A傳遞至噴頭單元 103下方。下文中，液滴喷出裝置1之此操作可稱為，，噴頭 單元103與基材i〇A之間的主掃描移動”。 在其中基材10A在X軸方向之寬度小於整個喷頭單元工们 在X軸方向之長度（液體材料丨丨丨可關於基材10A而噴出至該 長度）（亦即，稍後所述之整個喷出寬度w)的狀況下，可能 藉由在喷頭單元1〇3與基材10A之間進行一主掃描移動而^ • 液體材料U1供應至整個基材10A上。另一方面，在其中基 材10A於X軸方向之寬度大於喷頭單元1〇3之整個噴出寬度 W的狀況下，可能藉由重複交替喷頭單元與基材μα之 間的主掃描移動及藉由滑架移動機構1〇4之操作而進行的 喷頭單元103在X軸方向之移動（稱為”次掃描移動”）而將液 體材料111供應至整個基材丨〇 A上。 其次’現將詳細描述使用上述液滴喷出裝置以造彩色 遽光片基板10之方法。圖7為展示製造彩色渡光片基板10 之方法的示意性截面圖。如圖7所示，基材i〇a包括一具有 105194.doc -21 - 1274907
光/參透性之支撐基板丨2，及複數個像素18R、18G及18B， 该等複數個像素各自變成一形成於支撐基板12上之彩色元 件（像素區域）以便與黑色矩陣（black matrix) 14及觸排16分 離。黑色矩陣14由具有光遮蔽效應之材料形成。黑色矩陣 14及提供於黑色矩陣14上之觸排“位於支撐基板12上以使 付複數個光滲透部分（亦即，複數個像素18R、18G及18B) 藉由其以矩陣之方式界定。亦即，複數個像素18R、18G • 及18B係藉由支撐基板12、黑色矩陣14及觸排“而形成為 刀uj區。像素1 8R為一區域，在該區域中將形成濾光層 111FR，僅具有紅光波長區域内之任何波長的光滲透入該 濾光層111FR中。像素18G為一區域，在該區域中將形成 慮光層111FG，僅具有綠光波長區域内之任何波長的光滲 透入該濾光層111FG中。像素18B為一區域，在該區域中 將形成渡光層111FB，僅具有藍光波長區域内之任何波長 的光渗透入该渡光層111FB中。 修田製Xe彩色濾光片基板i 〇時，根據以下步驟製造基材 10A。首先，藉由濺鍍方法或蒸鍍方法將一金屬薄膜形成 於支樓基板12上。接著，藉由光微影方法自該金屬薄膜以 網狀圖案形成黑色矩陣14。金屬鉻及氧化絡可作為用於黑 色矩陣Μ之材料而提及。在此方面，支撐基板12為一關於 可見光（光學波長）具有光滲透性之基板，諸如玻璃基板。 隨後，施加一含負型光聚合物組合物之抗蝕層（resist layer)以便後蓋支撐基板12及黑色矩陣。曝露該抗蝕 層同時使以矩陣圖案形成之遮蔽膜黏貼於該抗钱層上。 105194.doc -22- 1274907 接著’藉由使用蝕刻方法移除該抗蝕層之未曝露部分而獲 得觸排1 6。以此方式，獲得基材1 0 A。 在此方面，可利用由樹脂黑形成之觸排替代觸排1 6。在 此狀況下’無需金屬薄膜（亦即，黑色矩陣丨4)，且觸排層 由一層建構。
其次’在大氣壓下藉由氧電漿處理使基材10A變得親 液。藉由此處理，凹面部分（像素之一部分）中的支撐基板 12之表面、黑色矩陣14之表面及觸排16之表面傾向於具有 親液性，該等凹面部分中每一者係藉由支撐基板12、黑色 矩陣14及觸排16來界定。另外，接著對基材1〇A進行使用 CF4作為加工氣體之電漿處理。藉由使用cF4之電漿處理， 使每一凹面部分中之觸排16之表面氟化，且觸排16之表面 藉由此處理而傾向於具有非親液性。在此方面，藉由使用 CF4之電漿處理，具有親液性之支撐基板12之表面及黑色 矩陣14之表面稍微失去親液性。然而，即使如此，此等表 面亦可保持親液性。在此方面，根據支撐基板12之材料、 黑色矩陣14之材料及觸排16之材料，每一凹面部分之表面 可在無上述表面處理的情況下具有所要親液性及非親液 ^生。在此狀況下，該表面無需經受上述表面處理。 將基材10A(如上文所述於其上形成有像素i8R、18〇及 ⑽)輸送至液滴喷出裝置}之平臺1〇6上，且支撐於平臺 1 上。液滴噴出裝置旧由操作平臺移動機構⑽而在γ轴 向移動基材1 0 A，且自每一液滴喷出頭2以液滴形式將液 體材料供應至每一像素⑽、邮及⑽上，同時將基材 105194.doc -23- 1274907 10A傳遞至喷頭單元103下方。此時，如圖7(a)至圖7(c)所 示’紅色液體材料111R(彩色遽光片材料）喷出至每一像素 18R上’綠色液體材料111G(彩色滤光片材料）喷出至每一 像素1 8 G上’且藍色液體材料111B (彩色濾光片材料）喷出 至每一像素18B上。 在將液體材料111R、111G及111B分別供應至像素18R、 18G及18B中每一者上之後，將基材i〇A輸送至一乾燥裝置 (圖式中未展示）中以對分別供應至像素1811、18G及18B之 每一者中的液體材料111R、111G及111B進行乾燥。因 此，濾'光層111FR、111FG及111FB分別形成於像素18尺、 18G及18B中每一者上。在此方面，藉由重複使用液滴喷 出裝置1進行對液體材料111R、111G及111B之供應及藉由 該乾燥裝置對所供應之液體材料111R、111〇及111B的乾 燥，以交替層壓液體材料mR、111G及111B及濾光層 111FR、111FG 及 111FB，最終之濾光層 111FR、1UFG 及 111FB可形成於像素18R、18G及18B中每一者上。 接著’將基材10A輸送至一烘箱（圖式中未展示）中且在 此烘箱中對濾光層111FR、11117(3及1UFB進行後烘焙（亦 即，再加熱）。 其次’將基材10A輸送至一保護膜形成裝置（圖式中未展 示）中且在此保護膜形成裝置中於濾光層丨丨丨Fr、丨丨丨FG、 1UFB及觸排16上形成一保護膜（塗層膜之上）2〇。在該保 遵膜20已形成於濾光層1111711、mFG、111ρΒ及觸排“上 之後，在該乾燥裝置中對保護膜2〇進行完全乾燥。另外， 105194.doc -24 - 1274907 保護膜20於-硬化裝置（圖式中未展示）中被加熱以完全硬 化，藉由其使基材10A變成彩色濾光片基板丨〇。 圖8為示意性平面圖，其詩Μ述根據本發明之液滴嗔 出裝置1之喷頭單元103中的每-液滴噴出頭2之位置關 係。如上文所述，用於喷出紅色液體材料⑴R之四個液滴 喷出頭2(包括第一液滴喷出頭21R至第四液滴喷出頭 _、用於喷出綠色液體材料1UG之四個液滴喷出頭以包 括第一液滴喷出頭21G至第四液滴喷出頭24g)及用於喷出 藍色液體材料⑴B之四個液滴喷出頭iuB(包括第一液滴 喷出頭21B至第四液滴喷出頭24B)❹供於 上。在此方面，圖8中所示之每一 早 中之喷嘴陣列的位置。“不母-液滴喷出頭2 通常難以控制位於| _ 液㈣_ 2之喷嘴陣列兩末端 附近的母一喷嘴25之噴出 喷出量誤差。為此原因，本實=二易於產生此等喷嘴之 本實轭例中之液滴喷出裝置1經 建構以使得不使用每一液 9 + 展置4 ^ ^ 履/荀贺出頭2中之喷嘴陣列兩末端 附近的預定數目（例如約10)之喷嘴（下文中，此等喷嘴25可 稱為’’去能噴嘴25”）（亦即，汸駚 液體材料111不經由每一去能喷 為2 5贺出）。因此，可台 — ,η ., + ^ Θ 月匕句勻化母—噴嘴25中之液體材料 111的I出量，且此侥 其# 1Π+ 使侍了犯均勻化待製造之彩色濾光片 、之像素18R、18(}及185中每-者的顏色。因此， :义然地防止產生顏色不均勻性。在此方面，如圖8 中：示，供於每一液滴喷出頭2中之喷嘴陣列兩末端處的 不使用4分26指示其中定位有去能喷嘴况區域。 105194.doc •25- 1274907 下文中’將給出對四個液滴喷出頭2之位置關係的描 述’該等四個液滴噴出頭2包括用於噴出紅色液體材料 1UR之第-液滴噴出頭21R至第四液滴噴出頭24R。
第-液滴噴出頭21R及第二液滴喷出頭2找以連續之方 式在平行於每一嘴嘴陣列之第一方向（亦即，X轴方向）排 列，且第一液滴噴出頭21R及第二液滴嘴出頭微之兩個 噴嘴陣列經排列以使得當自垂直於每—噴嘴陣列（第一方 向）之第二方向（亦即，Y軸方向）觀察時，其喷嘴25經由第 一液滴喷出頭21R及第二液滴噴出頭咖之兩個相鄰喷嘴 陣列之間的接心而連續。在此狀況下，f 一液滴噴出頭 21R及第二液滴噴出頭22R之兩個喷嘴陣列充當一長噴嘴 陣列。換言之’當自γ軸方向觀察時接縫η處之喷嘴間距 經設定以變成類似於噴嘴陣列中之喷嘴間距的規則長度。 含以此位置關係排列之第一液滴噴出頭21R及第二液滴噴 出頭22R的噴頭陣列稱為喷頭陣列3丨R。 在此方面，考慮到第一液滴噴出頭21R及第二液滴噴出 頭22R之個別一末端之不使用部分％，第一液滴噴出頭 21R及第二液滴噴出頭22R經排列以使得當自γ軸方向觀察 時，第一液滴喷出頭21R中之喷嘴陣列的圖8中之右端部 與第二液滴噴出頭22R中喷嘴陣列的圖8中之左端部分在噴 嘴陣列之接縫r]附近彼此重疊。 、 以類似之方式，第三液滴喷出頭23R及第四液滴噴出頭 24R以連續方式在平行於每一噴嘴陣列之第一方向（亦即， X軸方向）排列，且第三液滴噴出頭23R及第四液滴噴出頭 105194.doc -26 - 1274907
24R之兩個喷嘴陣列經排列以使得當自垂直於每—喷嘴陣 列（第一方向）之第二方向（亦即，γ轴方向）觀察時，其喷嘴 τ<由第一液滴噴出頭23R及第四液滴喷出頭24R之兩個 相鄰喷嘴陣列之間的接縫r2而連續。在此狀況下，第三液 滴噴出頭23R及第四液滴f出頭24R :州陣列。換言之，當自γ轴方向觀察時 喷嘴間距經設定以變成類似於喷嘴陣列中之喷嘴間距的規 、長又έ以此位置關係排列之第三液滴噴出頭23R及第 四液滴喷出頭24R的喷頭陣列稱為噴頭陣列32R。 一在此方面，考慮到第三液滴喷出頭23R及第四液滴噴出 頭24R之個別一末端之不使用部分％，第三液滴喷出頭 23R及第四液滴喷出頭24R經排列以使得當自γ軸方向觀察 時，第二液滴喷出頭23R中之喷嘴陣列的圖8中之右端部分 與第四液滴喷出頭24R中之喷嘴陣列的圖8中之左端部分在 噴嘴陣列之接縫Ο附近彼此重疊。 藉由對由上述噴頭陣列31R形成之長喷嘴陣列與由上述 噴頭陣列32R形成之長喷嘴陣列進行重疊而對其進行排 列，以使得當自Y軸方向觀察時，接縫^與巧在乂軸方向關 於彼此移位。使用此重疊，液滴喷出裝置丨可經由複數個 不同液滴喷出頭2(在本實施例中，兩個液滴噴出頭2)之噴 鳴25以液滴形式將液體材料111R喷出至一像素1 8尺上。 舉例而言，在使用圖8中指示為R】之區域（其中第一液滴 喷出頭21R與第三液滴喷出頭23R重疊）以液滴形式噴出液 體材料111R所至的像素18R之狀況下，如圖3所示，經由第 105I94.doc -27- 1274907 一液滴噴出頭21R之喷嘴25喷出的液滴91及經由第三液滴 喷出頭23R之噴嘴25喷出的液滴92供應於此處。 在此方面，於圖3中，儘管當自Y軸方向觀察時，喷頭陣 列31R(本文中，第一液滴喷出頭21R)中之噴嘴25的位置與 喷頭陣列32R(本文中，第三液滴喷出頭23R)中之喷嘴25的 位置在X軸方向關於彼此移位，但噴頭陣列3111及32R可經 排列以使得每一喷頭陣列3 1R及32R中之喷嘴位置彼此相
對應。 儘官圖式中（詳言之，圖3中）未展示，但在使用圖8中指 不為&之區域（其中第一液滴喷出頭21R與第四液滴喷出頭 2411重疊）以液滴形式噴出液體材料111R所至的像素18R之 狀況下，經由第一液滴喷出頭21R之喷嘴25喷出的液滴及 經由第四液滴噴出頭24R之喷嘴25喷出的液滴供應於此 處。另外，在使用圖8中指示為心之區域（其中第二液滴噴 出頭2 2 R與弟四液滴嗜φ fig Ο λ m ® 滴唷出頭24R重疊）以液滴形式喷出液體 材料111R所至的像素18R之狀況下，經由第二液滴喷出頭 22R之噴f 25喷出的液滴及經由第四液滴喷出頭Mr之喷 嘴25喷出的液滴供應於此處。 、 亦即，上文之描述可如 — 下般而提及。其中紅色液體 材料111R適用於藉由喑涵留 贺員早兀103關於平臺ι〇6(亦即，基 材1 0A)之一主掃描移動（亦 (方I7 ’相互移動）自噴頭單元1 〇3 之複數個液滴喷出頭2以、、右、念心上 、、 /夜滴形式所噴出至的區域分成（分 離成）複數個子區域，該等 、 .數個子區域位於一垂直於該 主抑描方向（相互移動方 J )之方向，亦即，X方向。換言 105194.doc -28- 1274907 之’該區域經由喷嘴酿 、爲陣列之接縫Γι及。經由邊界而分成包 所-”域之三個子區域··液體材料1UR藉由如圖8中 ，不之Rl之區域中所提供的噴嘴陣列而供應至的一子區域 一下文中HRl子區域n);液體材料111R藉由如圖8中所 丁之R2之區域中所提供的噴嘴陣列而供應至的一子區域 (文中％為I子區域’，）；及液體材料111R藉由如圖8中 斤π之R3之區域中所提供的噴嘴陣列而供應至的—子區域
中稱為尺3子區域，，）。經由兩液滴喷出頭2之不同組 合之噴嘴25噴出的液體材料⑴R供應至上述子區域中每一 者之像素18R上。亦即，複數個液滴喷出頭冰列於喷頭單 :103上’以使得包括&子區域、&子區域及1子區域之 複數個子區域中每一者之像素（喷出區域）⑽總是適用於 自複數個液滴喷出頭2中之兩個或兩個以上液滴喷出頭2之 不同組合的噴嘴25以液滴形式接收液體材料iur。 液滴喷出裝置1運作以使得液體材料mR以液滴形式經 由複數個不同液滴喷出頭2之喷嘴25噴出至-像素18R上。 因此，即使在其中於複數個液滴喷出頭2之噴出量之間存 在變化（誤差）的狀況下，使用液滴噴出裝置丨之噴頭單元 103亦可能防止在待自基材1〇A製造之彩色濾光片基板1〇之 表面中產生有害的顏色不均勻性。換言之，與本發明之液 滴喷出裝置1相對比，在其中液體材料111R經由僅一液滴 噴出頭2之喷嘴25供應至一像素18R上的狀況下，液滴噴出 頭2之噴出量的變化直接引起待供應至每一像素18R上之液 體材料111R之量的變化（誤差），藉以在彩色濾光片基板1〇 I05194.doc -29- 1274907 中嚴重地呈現顏色不均勻性。另一方面，在本發明之液滴 喷出裳置1中，由於待供應至一像素18R上之液體材料1UR 的Ϊ變成在掃描方向重疊之複數個液滴喷出頭2(在本實施 例中’兩個液滴噴出頭2)中之喷嘴25的平均喷出量，故可 能均勻化供應至每一像素18R上之液體材料111R的量，藉 以可能防止產生顏色不均勻性。 另外’由於液體材料111R經由如上文所述之兩個液滴喷 出頭2之不同組合的喷嘴25而供應至包括&子區域、心子 區域及R3子區域之三個子區域中的每一者之像素18R上， 故可能均衡（或平均化）作為整個基材丨〇A之像素丨8R中每一 者上之液體材料111R的量而不會使液體材料丨丨丨反之喷出量 存在偏差。因此，可能更必然地防止在待製造之彩色濾光 片基板10之表面中產生有害的顏色不均勻性。 此外’用於將液體材料mR供應至Ri子區域中之像素 上的兩液滴喷出頭2之組合係含第一液滴噴出頭2ir及 第二液滴噴出頭23R，同時用於將液體材料丨丨以供應至與 Ri子區域相鄰之I子區域中之像素l8R上的兩液滴喷出頭2 之組合係含第-液滴噴出頭21R及第四液滴喷出頭24R。 兩個液滴喷出頭2之笼6日yw* m γ « , 贝角此4組合使用至少一共同液滴噴出頭 2 ’亦即’第一液滴喷出頭2 1R。 以類似之方式，用於將液體材料1UR供應至R2子區域中 之像素服上的兩液滴噴出頭2之組合係含第一液滴喷出頭 ⑽及第四液滴喷出頭24R ’同時用於將液體材料⑴R供 應至與R2子區域相鄰之尺3子區域中之像素服上的兩液滴 105194.doc •30- 1274907 喷出頭2之組合係含第二液滴喷出頭22R及第四液滴喷出頭 24R。兩個液滴喷出頭2之此等組合使用至少一共同液滴噴 出-員2亦即，第四液滴喷出頭24R。 企匕 _v_ I、 a— 式’藉由在用於以液滴形式將液體材料111R喷出 至子區域中之像素18尺上的液滴喷出頭2之組合及用於以 液滴形式將液體材料丨丨1R噴出至與該一個子區域相鄰之另 子區域中的像素丨8R上之液滴噴出頭2之組合中使用至少 • 共同液滴喷出頭2，可能減小相鄰子區域之邊界處的液 體材料111R之喷出量之誤差。因此，可能更必然地防止在 基材10A上之每一子區域之邊界處的顏色不均勻性（包括稍 後所述之條紋）變得顯著。 另外，在液滴喷出裝置}中，藉由自第一液滴喷出頭21R 及第一液滴喷出頭22R構成喷頭陣列31R，第一液滴喷出 頭21R及第二液滴喷出頭22R之喷嘴陣列充當一長喷嘴陣 列，同時藉由第三液滴喷出頭23R及第四液滴喷出頭24R _ 構成喷頭陣列3211，第三液滴喷出頭23R及第四液滴喷出 一員24R之喷為陣列充當一長噴嘴陣列。因此，可能增大整 個喷出寬度w(亦即，在又軸方向喷頭單元1〇3之長度），其 中液體材料111R可經由整個喷頭單元1〇3中之喷嘴以喷出 至基材10A上。因此，可能減少將液體材料^汛喷出至整 個基材10A上所需之喷頭單元1〇3關於基材1〇A的主掃描移 動之數目。詳言之，在其中基材1〇A之寬度小於整個喷出 寬度W之狀況下，彳能藉由一主掃描移動而將液體材料 111R喷出至整個基材10人上。 】05194.doc -31 - 1274907 另外，由於液滴喷出裝置〗經建構以使得當自¥軸方向觀
察時，喷頭陣列31R中之喷嘴陣列的接縫ri與喷頭陣列32R 中之喷嘴陣列的接縫〇關於彼此移位，故液滴喷出裝置1具 有以下優點。 在、由兩相鄰喷嘴陣列之任何接縫附近之噴嘴2 5供應液 體材料111R所至的像素18R中比在提供於其它位置處之像 素1 8R中更易於呈現顏色不均勻性。作為其原因，可考慮 _ 以下因素··由於此等喷嘴25位於每一喷嘴陣列之兩末端附 近而使得以高準確度控制兩相鄰喷嘴陣列之接縫附近的喷 嘴25之噴出量較為困難；接縫處之喷嘴間距之誤差；及其 類似因素。在其中由於此喷嘴陣列接縫而產生顏色不均勻 性的狀況下，一所謂之條紋（其中此顏色不均勻性類似於 一線沿著液滴噴出頭2之掃描方向（亦即，沿著γ軸方向）延 伸）可呈現於待製造之彩色濾光片基板10中。 在當噴頭陣列3 1R中之喷嘴陣列之接縫Γι的位置與喷頭 • 陣列3211中之喷嘴陣列之接縫〇的位置相對應時於彩色濾 光片基板10中產生上述條紋的狀況下，此等兩條紋在待製 造之彩色濾光片基板1 〇中重疊，藉以使得此等條紋變得顯 著。另一方面，由於液滴喷出裝置丨經建構以使得當自丫軸 方向觀察時，噴頭陣列31R中之噴嘴陣列的接縫r】與噴頭 陣列32R中之噴嘴陣列的接缝〇關於彼此移位，故該等兩 條紋分散在待製造之彩色濾光片基板1〇中的接縫^及h之 位置處。因此，可能使此條紋變得不顯著。 其次’將給出對四個液滴喷出頭2之位置關係的描述， 105194.doc -32- 1274907 该等四個液滴喷出頭2包括用於噴出綠色液體材料Ul(3之 第一液滴噴出頭21G至第四液滴噴出頭24G。包括用於噴 出綠色液體材料111G之第一液滴噴出頭2丨G至第四液滴噴 出頭24G的四個液滴喷出頭2之位置關係類似於包括用於噴 出紅色液體材料111R之第一液滴噴出頭21R至第四液滴喷 出頭24R的四個液滴喷出頭2之位置關係。為此原因，下文 中，將簡化對此位置關係之描述。 第一液滴喷出頭21G及第二液滴喷出頭22G以連續方式 在平行於每一喷嘴陣列之X軸方向排列，且第一液滴噴出 頭21G及第二液滴喷出頭22G之兩個喷嘴陣列經排列以使 得當自垂直於每一喷嘴陣列（亦即，χ軸方向）之¥軸方向觀 察時，其噴嘴25經由第一液滴噴出頭21G及第二液滴喷出 頭22G之兩個相鄰喷嘴陣列之間的接缝㈣連續。在此狀 況下’第一液滴噴出頭21G及第二液滴噴出頭加之兩個 噴嘴陣列充當一長噴嘴陣列。由以此位置關係排列之第一 液滴噴出頭21G及第二液滴喷出頭22G構成的噴頭陣列稱 為噴頭陣列3 1G。 以類似之方式，第三液滴喷出頭23G及第四液滴噴出頭 ⑽以連續方式在平行於每—㈣陣狀.方向排列， 且第三液滴喷出頭23G及第四液滴喷出頭24g之兩個 陣列經排列以使得當自垂直於每—喷嘴陣列（亦即，χ轴方 ^之γ軸方向觀察時，其喷嘴25經由第三液滴嘴出頭加 第：液滴喷出頭24G之兩個相鄰喷嘴陣列之 而連續。在此狀況下，第三液滴喷 2 貝Ώ貝2*^及第四液滴喷 105194.doc -33 - 1274907 出頭24G之兩個喷嘴陣列充當一長喷嘴陣列。由以此位置 關係排列之第三液滴噴出頭23G及第四液滴噴出頭24G構 成的喷頭陣列稱為噴頭陣列32G。 藉由對由上述噴頭陣列3 1G形成之長喷嘴陣列及由上述 喷頭陣列32G形成之長噴嘴陣列進行重疊而對其進行排 列，以使得當自Y軸方向觀察時，接縫§1與以在乂軸方向關 於彼此移位。使用此重疊，液滴喷出裝置1可經由複數個 φ 不同液滴喷出頭2(在本實施例中，兩個液滴噴出頭2)之喷 鳴25以液滴形式將液體材料11 ig喷出至一像素丨gG上。 換言之，在使用圖8中指示為^之區域（其中第一液滴喷 出頭21G與第三液滴喷出頭23G重疊）以液滴形式喷出液體 材料111G所至的像素18G之狀況下，經由第一液滴噴出頭 21G之喷嘴25喷出的液滴及經由第三液滴噴出頭23〇之喷 鳴2 5 •出的液滴供應於此處。 另外，在使用圖8中指示為G2之區域（其中第一液滴喷出 • 頭21G與第四液滴喷出頭24G重疊）以液滴形式喷出液體材 料111G所至的像素18G之狀況下，經由第一液滴喷出頭 2 1G之噴鳴25噴出的液滴及經由第四液滴噴出頭之喷 嘴25噴出的液滴供應於此處。此外，在使用圖8中指示為 G3之區域（其中第二液滴喷出頭22G與第四液滴噴出頭24(} 重疊）以液滴形式噴出液體材料111G所至的像素18G之狀況 下，經由第二液滴噴出頭22G之喷嘴25喷出的液滴及經由 第四液滴喷出頭24G之喷嘴25喷出的液滴供應於此處。 亦即，上文之描述可如以下一般而提及。綠色液體材料 105194.doc -34- 1274907 U1G適用於藉由喷頭單元i〇3關於平臺106(亦即，基材 L〇A)之一主掃描移動（亦即，相互移動）自喷頭單元103之 、"個/夜滴噴出頭2以液滴形式喷出至的區域可分成（分離 f)複數個子區域，該等複數個子區域位於一垂直於該主 掃描方向（相互移動方向）之方向，亦即，X方向。換言 之忒區域經由噴嘴陣列之接缝gi及g2經由邊界而分成包 括以下子區域之三個子區域··液體材料111G藉由如圖8中 • 所不之Gl之區域中所提供的喷嘴陣列供廉至的一子區域 (_下文中，稱為”Gl子區域，，）；液體材料111G藉由如圖8中所 不之G2之區域中所提供的喷嘴陣列供應至的一子區域（下 文中，稱為”G2子區域”）；及液體材料1UG藉由如圖8中所 示之G3之區域中所提供的喷嘴陣列供應至的一子區域（下 文中，稱為”G3子區域”）。經由兩液滴喷出頭2之不同組合 之噴嘴25喷出的液體材料j i} G供應至上述每一子區域中之 像素1 8G上。亦即，複數個液滴喷出頭2排列於喷頭單元 馨103上以使得包括Gl子區域、〇2子區域及G3子區域之複數 個子區域中每一者之像素（喷出區域）18G總是適用於自複 數個液滴喷出頭2中之兩個或兩㈣以上液滴喷出頭2之不同 組合的喷嘴25以液滴形式接收液體材料 111G 〇 以此方式，液滴噴出裝置i運作以使得液體材料uig以 液滴形式經由複數個不同液滴喷出頭2之噴嘴乃喷出至一 像素18G上。因此’即使在其中於複數個液滴噴出頭2之噴 出里之間存在變化（誤差）的狀況下，使用液滴嘴出裝置1之 贺頭單元103亦可能防止在待自基材1〇A製造之彩色濾光片 105194.doc -35- 1274907 基板ίο之表面中產生有害的顏色不均勻性。換言之，與本 發明之液滴噴出裝置i相對比，在其中液體材料mG經由 僅一液滴喷出頭2之喷嘴25供應至一像素18(}上的狀況下， 液滴噴出頭2之噴出量的變化直接引起待供應至每一像素 18G上之液體材料111G之量的變化（誤差），藉以在彩色濾 光片基板10中嚴重地呈現顏色不均勻性。另一方面，在本 發明之液滴喷出裝置1中，由於待供應至一像素18G上之液 φ 體材料1UG的量變成在掃描方向重疊之複數個液滴喷出頭 2(在本實施例中，兩個液滴喷出頭2)中的喷嘴25之平均喷 出Ϊ，故可能均勻化供應至每一像素丨8G上之液體材料 111G的量，藉以可能防止產生顏色不均勻性。 另外，由於液體材料111G經由如上文所述之兩個液滴喷 出頭2之不同組合的喷嘴25供應至包括&子區域、A子區 域及G3子區域之三個子區域中每一者的像素18(}上，故可 月b均衡（或平均化）作為整個基材1〇A之像素丨8G中每一者上 φ 的液體材料1110之量而不會使液體材料111G之喷出量存在 偏差。因此，可能更必然地防止在待製造之彩色濾光片基 板1 0之表面中產生有害的顏色不均勻性。 此外，用於將液體材料111G供應至〇1子區域中之像素 18G上的兩液滴喷出頭2之組合係由第一液滴喷出頭及 第二液滴喷出頭23 G構成，同時用於將液體材料丨丨丨G供應 至與子區域相鄰之ο:子區域中之像素18〇上的兩液滴喷 出頭2之組合係由第一液滴喷出頭21(}及第四液滴喷出頭 24G構成。兩個液滴喷出頭2之此等組合使用至少一共同液 105194.doc -36- 1274907 滴喷出頭2，亦即’第—液滴噴出頭21G。 …員似之’用於將液體材料Uig供應至&子區域中 之像㈣G上的兩液滴噴出頭2之組合係由第一液滴喷出頭 21G及第四液滴喷出頭24G構成，同時用於將液體材料 U1G供應至與…子區域相鄰之G3子區域中之像素18G上的 、夜滴噴出碩2之組合係由第二液滴噴出頭22G及第四液滴 噴出頭24G構成。兩個液滴喷出頭2之此等組合使用至少一 共同液滴喷出頭2,亦即，第四液滴喷出頭24(}。 乂此方式，藉由在用於以液滴形式將液體材料U丨G喷出 子區域中之像素18G上的液滴喷出頭2之組合及用於以 液滴形式將㈣材料111G喷出至與該一個子區域相鄰之另 子區域中之像素18G上的液滴噴出頭2之組合中使用至少 八同液滴噴出頭2，可能減小相鄰子區域之邊界處的液 體材料111G之喷出量之誤差。因此，可能更必然地防止在 基材10A上之每一子區域之邊界處顏色不均勻性（包括稍後 所述之條紋）變得顯著。 此外，在液滴噴出裝置1中，藉由自第一液滴喷出頭21(} 及第二液滴喷出頭22G構成喷頭陣列3 1G，第一液滴喷出 頭2 1G及第二液滴喷出頭22G之喷嘴陣列充當一長喷嘴陣 列’同時藉由第三液滴噴出頭23G及第四液滴噴出頭24<3 構成噴頭陣列32G，第三液滴喷出頭23G及第四液滴噴出 頭24G之喷嘴陣列充當一長喷嘴陣列。因此，可能增大整 個T出見度W(亦即’在X軸方向之喷頭單元1〇3之長度）， 其中液體材料111G可經由整個噴頭單元1〇3中之喷嘴25而 105194.doc -37- 1274907 噴出至基材1 0A上。因此，可能減少將液體材料i i i G喷出 至整個基材10A上所需之喷頭單元l〇3關於基材i〇A的主掃 描移動之數目。詳言之，在其中基材1 〇A之寬度小於整個 噴出寬度W之狀況下，可能藉由一主掃描移動而將液體材 料111G喷出至整個基材10A上。
此外’由於液滴喷出裝置1經建構以使得當自γ軸方向觀 察時，喷頭陣列31G中之噴嘴陣列的接縫gl與噴頭陣列32G 中之喷嘴陣列的接縫g2關於彼此移位，故液滴喷出裝置1 具有以下優點。 在經由兩相鄰喷嘴陣列之任何接縫附近之喷嘴25供應液 體材料111G所至的像素18G中比在提供於其它位置處之像 素18G中更易於呈現顏色不均勻性。作為其原因，可考慮 以下因素：由於喷嘴25位於每一喷嘴陣列之兩末端附近而 使得以高準確度控制兩相鄰喷嘴陣列之接縫附近的此等喷 嘴25之喷出量較為困難；接縫處之喷嘴間距之誤差；及其 類似因素。在其中由於此喷嘴陣列接縫而產生顏色不均勻 性之狀況下，一所謂之條紋（其中此顏色不均勻性類似於 -線沿著液滴喷出頭2之掃描方向(亦即，沿著γ軸方向)延 伸）可呈現在待製造之彩色濾光片基板1〇中。 在當喷頭陣列31G中之喷嘴陣列之接縫gi的位置與噴頭 陣列32G中之喷嘴陣列之接縫以的位置相對應時於彩色濾 光片土板1 0中產生上述條紋的狀況下，此等兩條紋在待製 ^彩色濾、光片基板10中重疊’藉以使得此等條紋變得顯 者另方面，由於液滴喷出裝置】經建構以使得當自Y抽 105194.doc -38- 1274907 方向觀察時噴頭陣列3 1G中之喷嘴陣列的接缝gi與喷頭陣 列32G中之噴嘴陣列的接縫g2關於彼此移位，故該等兩條 紋分散在待製造之彩色濾光片基板1〇中之接縫§1及§2的位 置處。因此，可能使此條紋變得不顯著。 其次’將給出對四個液滴喷出頭2之位置關係的描述， 該等四個液滴喷出頭2包括用於噴出藍色液體材料111B之 第一液滴噴出頭21B至第四液滴噴出頭24B。包括用於噴 φ 出藍色液體材料111B之第一液滴喷出頭21B至第四液滴噴 出頭24B之四個液滴噴出頭2的位置關係類似於包括用於喷 出紅色液體材料111R之第一液滴喷出頭21R至第四液滴噴 出頭24R之四個液滴喷出頭2的位置關係。為此原因，下文 中，將簡化對此位置關係之描述。 第一液滴噴出頭21B及第二液滴喷出頭22B以連續方式 在平行於每一喷嘴陣列之X軸方向排列，且第一液滴喷出 頭2 1B及第一液滴喷出頭22B之兩個喷嘴陣列經排列以使 • 得當自垂直於每一噴嘴陣列（亦即，X軸方向）之Y軸方向觀 察時，其哨嘴25經由第一液滴噴出頭21B及第三液滴喷出 頭22B之兩個相鄰喷嘴陣列之間的接縫匕而連續。在此狀 況下，第一液滴喷出頭21B及第二液滴喷出頭22B之兩個 喷嘴陣列充當一長喷嘴陣列。由以此位置關係排列之第一 液滴喷出頭21B及第二液滴喷出頭咖構成的喷頭陣列稱 為喷頭陣列31B。 以類似之方式，第三液滴噴出頭23B及第四液滴噴出頭 24B以連續方式在平行於每—噴嘴陣列之⑽方向排列， 105194.doc -39- 1274907 ^弟二液滴噴出頭23B及第四液滴噴出頭24b之兩個喷嘴 陣列經排列以使得當自垂直於每—噴嘴陣列（亦即，雜方 向）之γ軸方向觀察時，其噴嘴25經由第三液滴喷出頭23B 及第喊滴喷_2紙兩㈣”料狀間的接㈣ 而連績。在此狀況下’第三液滴喷出頭23B及第四液滴喷 出頭24B之兩個喷嘴陣列充當一長喷嘴陣列。由以此位置 關係排列之第三液滴喷出頭23B及第四液滴噴出頭MB構 成的喷頭陣列稱為喷頭陣列32B。 +藉由對由上述喷頭陣列31B形成之長噴嘴陣列與由上述 喷頭陣列32B形成之長噴嘴陣列進行重疊而對其進行排 列’以使得當自Y轴方向觀察時，接縫卜與^在.方向關 於彼此移位。使用此重4 ’液滴喷出裝置i可經由複數個 不同液滴喷出頭2(在本實施例中，兩個液滴噴出頭之喷 嘴25以液滴形式將液體材料111B喷出至一像素上。、 換言之，在使用圖8中指示為1之區域（其中第_液滴喷 出頭21B與第三液滴噴出頭23B重疊）以液滴形式噴出液體 材料111B所至的像素18B之狀況下，經由第一液滴噴出頭 2 1B之噴嘴25喷出的液滴及經由第三液滴噴出頭23β之噴 嘴25喷出的液滴供應於此處。 、 另外’在使用圖8中指示為I之區域（其中第一液滴噴出 頭21B與第四液滴噴出頭24B重疊）以液滴形式喷出液體材 料111B所至的像素1 8B之狀況下，經由第一液滴喷出一 21B之噴嘴25喷出的液滴及經由第四液滴噴出頭24总之嘴 嘴2 5喷出的液滴供應於此處。此外，在使用圖一、 ㈡δ T耘示為 105194.doc -40 - 1274907
3 第一液滴喷出頭22B與第四液滴喷出頭24B 重疊）以液滴形式噴出液體材料111B所至的像素18B之狀況 下、、二由第—液滴噴出頭22B之噴嘴25喷出的液滴及經由 第四液滴喷出頭24B之喷嘴25噴出的液滴供應於此處。 亦即，上文之描述可如以下一般而提及。藍色液體材料 1UB適用於藉由噴頭單元1〇3關於平臺106(亦即，基材 10八）之一主掃描移動（亦即，相互移動）自喷頭單元ι〇3之 _複數個液/时出頭2以液滴形式喷出至的區域分成（分離成） 複數個子區域，该等複數個子區域位於一垂直於該主掃描 方向（相互移動方向）之方向，亦即，X方向。換言之，該 區域&由喷嘴陣列之接縫biAb2經由邊界而分成包括以下 子區域之三個子區域：液體材料111B藉由如圖8中所示之 1之區域中所提供的噴嘴陣列供應至的一子區域（下文 中稱為B】子區域”）’·液體材料liiB藉由如圖8中所示之 B2之區域中所提供的喷嘴陣列供應至的一子區域（下文 ❿巾％ 4 B2子區域”）；及液體材料ιιΐβ藉由如圖8中所示 之I之區域中所提供的噴嘴陣列供應至的一子區域（下文 :匕稱為b3子區域”）。經由兩液滴喷出頭2之不同組合之 喷嘴25喷出的液體材料⑴則共應至上述每一子區域中的像 、B上亦即，複數個液滴噴出頭2排列於噴頭單元丨〇3 。、、吏待匕括^子區域、b2子區域及匕子區域之複數個子 品、3、中每者的像素（喷出區域）18B總是適用於自複數個 液滴噴出頭2中之兩個或兩個以上液滴喷出頭2之不同組合 ㈣$ 25 W液滴形式接收液體材料！} 1B。 105194.doc -41 - 1274907 、以此方式，液滴噴出裝置i運作以使得液體材料丨丨lB以 液滴形式經由複數個不同液滴喷出頭2之喷嘴25而喷出至 像素1 8B上。因此，即使其中於複數個液滴喷出頭2之喷 出夏之間存在變化（誤差）的狀況下，使用液滴喷出裝置丨之 噴頭單元103亦可能防止在待自基材1〇A製造之彩色遽光片 ^板1〇之表面中產生有害的顏色不均勻性。換言之，與本 t月之液滴喷出裝置i相對比，在其中液體材料⑴驗由 • 僅一液滴噴出頭2之喷嘴25供應至一像素18B上的狀況下， 液滴噴出頭2之噴出㈣變化直接引起待供應至每一像素 18B上之液體材料mB之量的變化（誤差），藉以在彩色濾 光片基板10中嚴重地呈現顏色不均勻性。另一方面，在本 發明之液滴喷出裳置！中，由於待供應至—像素刚上之液 體材料111B的量變成在掃描方向重疊之複數個液滴喷出頭 2(在本實施例中，兩個液滴噴出頭2)中之喷嘴的平均喷 出里故可月b均勻化供應至每一像素1 8B上之液體材料 • 111B的量，藉以可能防止產生顏色不均勻性。 另外，由於液體材料mB經由如上文所述之兩液滴喷出 頭2之不同組合的喷嘴25而供應至包括心子區域、&子區 域及I子區域之三個子區域中每一者之像素i8B上，故可 能均衡（或平均化）喷出至作為整個基材1〇A之像素l8B中每 一者上之液體材料111B的量而不會使液體材料^⑺之噴出 量存在偏差。因此，可能更必然地防止在待製造之彩色濾 光片基板1 0之表面中產生有害的顏色不均勻性。 此外，用於將液體材料1UB供應至心子區域中之像素 105I94.doc -42- 1274907 18B_h的兩液滴嘖 第 、出貝2之，，、且合係由第-液滴嘴出頭2邮 弟一液滴噴出頭23B構成， 成门時用於將液體材料⑴B供應 出頭“Λ鄰之&子區域中之像素-上的兩液滴喷 24B構/^。^由第—液滴噴出頭21B及第四液滴喷出頭 -成。兩液滴噴出頭2之此等組合使用至少一共 喷出頭2 ’亦即，第-液滴喷出頭21B。 ' 方式，用於將液體材料U1B供應至b2子區域中
之像素:8B上的兩液滴喷出頭2之組合係由第一液滴噴出頭 第液滴噴出頭24B構成，同時用於將液體材料 供應至子區域相鄰之〜子區域中之像素上的 “、高喷出碩2之組合係由第二液滴喷出頭22b及第四液滴 喷出頭24B構成。兩個液滴喷出頭2之此等組合使用至少一 共同液滴噴出頭2，亦即’第四液滴喷出頭24B。 、方式藉由在用於以液滴形式將液體材料1丨1 b喷出 至-子區域中之像素18B上的液滴噴出頭2之組合及用於以 液滴形式將液體材料111B喷出至與該一子區域相鄰之另一 子區域中之像素1 8 B上的液滴噴出頭2之組合中使用至少一 共同液滴嗔出頭2，可能減小相鄰子區域之邊界處的液體 材料111B之噴出量中之誤差。因此，可能更必然地防止在 基材10A上之每一子區域之邊界處的顏色不均勻性（包括稍 後所述之條紋）變得顯著。 另外，在液滴喷出裝置1中，藉由自第一液滴喷出頭21B 及第二液滴噴出頭22B構成喷頭陣列31B，第一液滴噴出 頭21B及第二液滴喷出頭22B之噴嘴陣列充當一長喷嘴陣 105194.doc -43- 1274907 列，同時藉由自第三液滴噴出頭23B及第四液滴喷出頭 24B構成噴頭陣列32B，第三液滴噴出頭23B及第四液滴喷 出頭24B之噴嘴陣列充當一長噴嘴陣列。因此’可能增大 整個喷出寬度W(亦即，在X軸方向之噴頭單元1〇3之長 度），其中液體材料111B可經由整個喷頭單元1〇3中之噴嘴 25而喷出至基材10A上。因此，可能減少將液體材料“π 喷出至整個基材10A上所需之噴頭單元1〇3關於基材1〇A的 φ 主掃描移動之數目。詳言之，在其中基材10A之寬度小於 整個喷出寬度W之狀況下，可能藉由一主掃描移動而將液 體材料111B噴出至整個基材1〇A上。 此外，由於液滴噴出裝置丨經建構以使得當自γ軸方向觀
察時，喷頭陣列31B中之喷嘴陣列的接縫bi與喷頭陣列32B 中之喷嘴陣列的接縫匕關於彼此移位，故液滴喷出裝置工 具有以下優點。 在經由兩相鄰噴嘴陣列之任何接縫附近之喷嘴25供應液 • 體材料111B所至的像素18B中比在提供於其它位置處之像 素1 8B中更易於呈現顏色不均勻性。作為其原因，可考慮 以下因素··由於嘴嘴25位於在每一喷嘴陣列之兩末端附近 疋位，故以高準確度控制兩相鄰喷嘴陣列之接缝附近的喷 鳴25之喷出量較為困難；接縫處之喷嘴間距之誤差；及其 類似因素。在其中由於此喷嘴陣列接縫而產生顏色不均勻 性之狀況下，一所謂之條紋（其中此顏色不均勻性類似於 一線沿著液滴噴出頭2之掃描方向（亦即，沿著γ軸方向）延 伸）可呈現在待製造之彩色濾光片基板10中。 105194.doc -44- 1274907 在其中當喷頭陣列仙中之噴嘴陣列之接縫⑽位置與 喷頭陣列32B中之噴嘴陣列之接縫匕的位置相對應時於彩 色慮光片基板10中產生上述條紋的狀況下，此等兩條紋在 待製造之彩色渡光片基板10中重疊，藉以使此等條紋變得 顯著。另-方面’由於液滴噴出褒置i經建構以使得當自Y 轴方向觀察時噴頭陣列31B中之噴嘴陣列的接縫bl與喷頭 陣列32B中之喷鳴陣列的接縫b2關於彼此移位，故該等兩 鲁條紋分散在待製造之彩色渡光片基板1〇中之接縫卜及㈣ 位置處。因此，可能使該條紋變得不顯著。 在此喷頭單元1〇3中，分別由用於喷出紅色液體材料 U1R之喷頭陣列31R&32R形成的兩長喷嘴陣列、分別由 用於喷出綠色液體材料111G之噴頭陣列31(}及32〇形成的 兩長喷嘴陣列，及分別由用於噴出藍色液體材料mB之喷 頭陣列3 1B及32B形成的兩長喷嘴陣列經排列，以便當自γ 軸觀察時關於彼此重疊。此使得可能藉由喷頭單元1〇3關 • 於基材1〇Α進行一掃描移動而一次將紅色液體喷出材料 niR、綠色液體喷出材料iUG及藍色液體噴出材料ηΐΒ 分別供應至整個喷出寬度W中的像素18R、18G及18Β上。 另外’在液滴喷出裝置1中，用於喷出紅色液體材料 111R之喷頭陣列3 1R及3 2 R中之噴嘴陣列的接縫r〗及r 2、用 於赁出綠色液體材料111 G之喷頭陣列3 1G及3 2 G中之喷嘴 陣列的接缝g2，及用於喷出藍色液體材料mB之喷頭 陣列3 1B及32B中之喷嘴陣列的接縫b】及]32經排列以便當自 γ軸方向觀察時移位。 105194.doc -45- 1274907 亦即’液滴噴出裝置i之喷頭單元103經建構以使得關於 基材10A上之紅色像素18R的心子區域、&2子區域及心子 區域之間的邊界之位置、關於基材10A上之綠色像素18G 的〇】子區域、&子區域及&子區域之間的邊界之位置，及 關於基材10A上之藍色像素18B的匕子區域、1子區域及 B3子區域之間的邊界之位置彼此不對應。 因此，在待製造之彩色濾光片基板10中，可產生於任何 紅色像素18R上之條紋、可產生於任何綠色像素i8G上之 條紋、可產生於任何藍色像素丨8B上之條紋可關於彼此而 分散。因此，可能更必然地防止此等條紋變得顯著。詳言 之，在本實施例中，由於喷嘴陣列之接縫〇、“q、 該等位置以均等間隔而定位，故當自γ軸方向觀 察時，較在該等條紋稍微變得㈣的狀況下，亦可能規 則地分散該等缝H可能使料條紋變得不顯著。 圖9為示意性展示本發明之液滴喷出裝置ι中之喷頭單元 1〇3’的組態之另-實例之平面圖。四個液滴喷出頭51、 52、53及54係提供於圖9所示之喷頭單元1〇3▼中。液滴噴出 頭51、52、53及54中每—者包括複數 施例中，12個喷嘴陣列卜該等噴嘴陣列在Υ袖方向m 關係而排列，以使得當白V 士 A 0 于田自Y轴方向觀察時’複數個液滴噴 出頭51、52、53及54之每-者中的_喷嘴陣列之兩末端 對準。因此，四個液滴嗜屮 同喂出頭51、52、53及54之48個噴嘴 陣列係提供於喷頭單元⑽中。液滴喷出頭51、52、53及 54中每一者以類似於上述喷頭單元1〇3中之彼等嘴頭(參見 105194.doc -46· 1274907 圖8)的方式而排列。在此方面，為簡明起見，在圖9中將 液滴喷出頭51、52、53及54中每一者指示為簡單之長方 形。 液滴噴出頭5 1及液滴喷出頭52在平行於每一噴嘴陣列之 X軸方向以連續方式排列，且液滴喷出頭51及52之24個噴 嘴陣列經排列以使得當自垂直於每一噴嘴陣列之γ軸方向 觀察時，其喷嘴25經由兩個相鄰液滴噴出頭51及52之間的 φ 接縫jl而連續。在此狀況下，兩液滴噴出頭51及52充當一 噴頭組陣列6 1。 以類似之方式，液滴喷出頭53及液滴噴出頭54在平行於 每一喷嘴陣列之X軸方向以連續方式排列，且液滴喷出頭 53及54之24個喷嘴陣列經排列以使得當自垂直於每一喷嘴 陣列之Y軸方向觀察時，其喷嘴25經由兩相鄰液滴噴出頭 53及54之間的接縫l而連續。在此狀況下，兩液滴喷出頭 53及54充當一喷頭組陣列62。藉由對上述喷頭組陣列^及 • 喷頭組陣列62進行重疊而對其進行排列，以使得當自γ軸 方向觀察時，接縫九及」·2在X軸方向關於彼此移位。 在具有此喷頭單元103,之液滴喷出裝置〗中，自兩液滴 噴出頭（亦即，兩個液滴喷出頭51及53、51及54，或兄及 54)喷出之液體材料lu供應至像素18R、18G或ΐ8β中每一 者上。此使得可能進一步均勻化待供應至基材丨〇A之任何 位置處之像素18R、18G或18B中每一者上的液體材料ηι 之量。因此，可能更必然地防止在待製造之彩色濾光片基 板1 0之表面中產生顏色不均勻性。 105194.doc •47- 1274907 另外’由於液滴噴出頭51之喷出寬度Wi及液 之噴出寬度W2經連接而起作用，且液滴喷出頭53之喷出寬 度评3及液滴喷出頭54之噴出寬度W4經連接而起作用， 可能增大X軸方向之噴頭單元1〇3,之長度(亦即，圖”之 整個W寬度W)’其中液體材料U1可經由整個 103’中之噴嘴25喷出至基材i〇a上。 此外，由於本實施例之液滴喷出裝置1經建構以使得當 • 自Y軸方向觀察時，噴頭組陣列61中之喷嘴陣列的接縫j 與噴頭組陣列62中之噴嘴陣列的接縫j2關於彼此移位，故 可由於接縫h而產生之條紋與可由於接縫j2而產生之條紋 可分散於待製造之彩色滤光片基板1〇中的獨立點處。因 此’可能更必然地防止條紋變得顯著。 上文已描述之本發明不但可應用於製造彩色濾光片基板 10之狀況，而且可應用於製造諸如電致發光顯示器之其它 類型圖像顯示裝置的狀況。 春圖10為展示一製造有機電致發光顯示器30之方法的示意 性截面圖。下文中，將給出對使用本發明製造有機電致發 光?’、、員示器30之狀況的闡述；然而，對上述製造彩色濾光片 基板10之狀況與製造有機電致發光顯示器30之狀況之間的 差異進行主要描述，且省略對類似闡述之描述。 圖10中所示之基材30A為用於製造有機電致發光顯示器 3 〇之基板。基材3 〇 a具有以矩陣方式排列於其上之複數個 像素（亦即，複數個喷出區域）38R、38G及38B。 更具體言之，基材30A包括一支撐基板32、一形成於該 105194.doc -48- 1274907 支撐基板32上之電路元件層34、形成於該電路元件層34上 之複數個像素電極36，及形成於該等複數個像素電極％之 相鄰兩者之間的複數個觸排4〇。支撐基板32具有關於可見 光（光學波長）之光滲透性，諸如玻璃基板。複數個像素電 極36中每一者亦具有關於可見光（光學波長）之光滲透性， 諸如ITO(氧化銦錫）電極。另外，複數個像素電極％可以 矩陣方式排列於電路元件層34上，且每一像素電極36界定 φ 像素。每一觸排40具有類似晶袼之結構，且複數個像素 電極36中每一者被預定觸排40圍繞。此外，觸排40係由形 成於電路元件層34上之無機觸排40A及位於無機觸排4〇a 上之有機觸排40B構成。 電路元件層34為一具有以下各物之層··複數個掃描電 極，其每一者於支撐基板32上朝向預定方向延伸；一絕緣 膜42，其形成以便覆蓋該等複數個掃描電極，·複數個信號 電極，其提供於該絕緣膜42上且各自朝向垂直於預定方向 _ 之方向而延伸，其中複數個掃描電極中每一者朝向該預定 方向而延伸，複數個開關元件44，其各自提供於掃描電極 與信號電極之間的相交點附近；及複數個層間絕緣膜45, 諸如聚醯亞胺，其形成以便覆蓋該等複數個開關元件料。 母一開關兀件44之閘電極44(}及源電極44S分別電連接至對 應掃描電極及對應信號電極。複數個像素電極叫立於層間 絕緣膜45上。複數個通孔術分別提供於對應於開關元件 料之沒電極44D的部分處，且開關元件料經由該等通孔 辦而分別電連接至對應像素電極％。另外，開關元㈣ 105194.doc -49- 1274907 分別提供於對應觸排4 0之位置處。換言之，當自圖1 〇之上 側觀察時，複數個開關元件44中每一者經定位以便被對應 觸排40覆蓋。 各自藉由像素電極36及對應觸排4〇界定之凹面部分分別 對應於像素38R、38G及38Β。像素38R為一區域，在該區 域中將形成發光層211FR，具有紅光波長區域内之波長的 光經由該發光層211FR而發射。像素38G為一區域，在該 • 區域中將形成發光層211FG，具有綠光波長區域内之波長 的光經由該發光層211FG而發射。像素38^為一區域，在 該區域中將形成發光層211FB，具有藍光波長區域内之波 長的光經由該發光層211FB而發射。 可使用已知成膜技術及圖案化技術來製造此基材30a。 首先，在大氣壓下藉由氧電漿處理使基材3〇A變得親 液。藉由此處理，像素38R、38G及38B(各自藉由像素電 極36及觸排40來界定）中之像素電極％之表面、無機觸排 馨 40A之表面及有機觸排4〇B之表面傾向於具有親液性。另 外，，著對基材30A進行使用eh作為加工氣體之電漿處 理藉由使用CF4之電漿處理，使每一凹面部分中之有機 觸排彻之表面氟化，且有機觸排娜之表面藉由此處理 而傾向於具有非親液性。在此方面’藉由使用⑶之電漿 處理’先前已具有親液性之像素電㈣之表面及無機觸排 4〇A之表面務微失去親液性。然而，即使如此，此等表面 亦可保持親液性。 在此方面，根據像素電極36之材料、無機觸排佩之材 105194.doc -50- 1274907 料及有機觸排40B之材料，每一凹面部分之表面在無上述 表面處S的情況下可具有所要親液性及非親⑨性。在此狀 況下’該表面無需經受上述表面處理。 另外，對應電洞輸送層3 7R、3 7G及37B可形成於複數個 像素電極36中之每一者上從而經受表面處理。在其中電洞 輸送層37R、37G及37B分別位於像素電極36與發光層 2UFR、211FG及211FB之間的狀況下，可能改良電致發光 顯示器之發光效率。 如圖10(a)至圖l〇(c)所示，液體材料211R、211〇及211B 分別供應至基材30A上，像素38R、38G及38B如上文所述 以類似於使用本發明之液滴噴出裝置1形成上述彩色濾光 片基板10之狀況的方式而形成於該基材3 〇 A上。在此狀況 下，液體材料2 11R包括紅色有機發光材料，液體材料 211G包括綠色有機發光材料，且液體材料211B包括藍色 發光材料。 接著，將基材30A轉移至乾燥裝置中。藉由對供應至像 素3 8R、3 8G及3 8B中每一者上的液體材料211R、211G及 211B進行乾燥而於像素38R、38G及38B中每一者上獲得發 光層 211FR、211FG 及 211FB。 其次’形成反電極（counter electrode)46以便覆蓋發光層 211FR、211FG及211FB及觸排40。每一反電極46充當一負 電極。 隨後，藉由將密封基板48接合至基材30A(以它們的周 邊），獲得圖10(d)所示之有機電致發光顯示器30。在此方 105194.doc -51 · 1274907 面’惰性氣體封裝在密封基板48與基材3GA之間。 有機電致發光顯示器30中，自發光層211FR、211FG 1?^發射之光經由像素電極36、電路元件層34及支撐 ^ 而I射至外部。其中以此方式經由電路元件層34發 、=之有機電致發光顯示器稱為底部發光型顯示器。 id &已基於圖式中所示之較佳實施例描述了其中本發明 應用至1造液晶顯示H (彩色丨慮光片基板）及有機電致發光 顯示器之方法中的狀況，但應注意：本發明並不限於上述 實施例。舉例而言’可將本發明應用至製造電漿顯示器之 责基板（back substrate)或製造具電子發射元件之圖像顯示 器（其亦稱為SED(表面傳導電子發射顯示器）或FED(場發射 顯不器））的方法中。 <電子器件之實施例> 可將諸如具有使用上述方法製造之彩色濾光片基板1 〇的 液曰曰顯示器，及具有使用上述方法製造之有機電致發光顯 不器的圖像顯示裝置1〇〇〇(亦即，本發明之電子裝置）用作 為各種類型電子裝置中每一者之顯示部分。 圖11為展不一應用本發明之電子裝置的行動（或膝上型） 個人電腦1100之結構的透視圖。參看圖u，個人電腦11〇〇 具有一具有鍵盤1102之主體1104，及顯示單元11〇6。該顯 示單元1106經由鉸鏈部分而可旋轉地支撐於主體11〇4上。 在此個人電腦1100中，顯示單元11〇6具有上述圖像顯示裝 置 1000。 圖12為展示一應用本發明之電子裝置的攜帶型電話（包 105194.doc -52- 1274907 括個人掌上型電話系統）1200之結構的透視圖。參看圖 12，邊攜帶型電話12〇〇具有複數個按鈕12〇2、一聽筒 1204、一話筒1206及一顯示部分。該顯示部分係由上述圖 像顯示裝置1000構成。 圖13為展示一應用本發明之電子裝置的數位靜態相機 1300之結構的透視圖。在此圖式中，示意性地展示該數位 靜態相機與其外部設備之連接。普通相機基於對象 φ (SUb〗eCt)之光學圖像而曝光銀鹽照相軟片，同時數位靜態 相機1300藉由使用諸如電荷耦合器件（ccd)之成像器件將 對象之光學圖像光電轉換為成像信號而產生成像信號（圖 像信號）。 上述圖像顯示裝置1000係提供為數位靜態相機1300中之 外设（主體）13〇2之背表面上的顯示部分。圖像顯示裝置 1〇〇〇回應藉由CDD輸出之成像信號而顯示圖像，且充當用 於將對象顯示為電子圖像之取景器。電路板13〇8置放於外 參 /V又1302之内邛。能夠儲存諸如成像信號之記憶體置放於電 路板1308上。 另外’包括一光學透鏡（成像光學系統）、CCD及其類似 物之光接收單元1304提供於外殼13〇2之正表面側中。當攝 影者確定顯示於顯示部分（亦即，圖像顯示裝置1000)上之 對象的圖像，且按下快門按鈕13〇6時，此時之成像信 號轉移至電路板13〇8之記憶體且儲存於此記憶體中。 另外，視訊信號輸出端子13 12及用於資料通信之輸入/ 輸出鳊子1314係提供於數位靜態相機1300中之外殼1302的 105194.doc •53- 1274907 側表面上。如圖13中戶斤示，若黨i r 右而要’則電視監控器1430及 個人電腦1440分別連接至數位作铼 、、 数仅乜唬輸出端子1312及用於資 料通訊之輸入/輸出端子丨3丨4。 这匕夕卜’健存於電路板1308 之纟己憶體中之成像信號藉由預定择 心保作而輸出至電視監控器 1430或個人電腦144〇。
在此方面，除圖11中所示之個人電腦(行動個人電 腦”’圖匕中所示之攜帶型電話⑽及圖^中所示之 數位靜態相機13〇〇之外’本發明之電子裝置可合適地用於 (。或應用至）（例如）電視、視訊相機、觀察取景器型或監控 器直接觀察型錄影帶錄像機、膝上型個人電腦、汽車導航 器件、尋呼機、電子筆記型電腦(包括具有通信功能之彼 等）、電子辭典、袖珍計算器、電子遊戲器件、文書處理 器、工作站、.電視電話、用於犯罪預防之電視監控器、電 子雙筒望遠鏡、P0S(銷售點）終端機、具有觸控面板之裝 置（例如，金融機構中之自動提款機、自動售票機）、醫療 器件(例如’電子溫度計、血料、血畴計、心電圖顯示 器件、超音診斷ϋ件、用於时鏡之顯示器）、探魚儀、 各種量：器件、量計(例如，用於車輛、飛機、船及其類 似物之里计）、飛行模擬器、任何其它類型監控器、諸如 投影儀之投影式顯示器及其類似物。 雖；」已基於圖式中所示之實施例描述了根據本發明之液 滴喷出裝置、自基材製造面板之方法、圖像顯示裝置及電 子裝置，但應注意，本發明並不限於該實施例。可以能夠 以相同方式起作用之任意配置來替代根據本發明之噴^單 105194.doc -54- 1274907 ，可將任 液滴喷出 疋、液滴噴出裝置及電子裝置的個別部分。另外 何其它任意組件添加至根據本發明之喷頭單元、 裝置及電子裝置。 【圖式簡單說明】 圖1為本發明之一實施例 圖 ^且叼遷視圖。 2為展不圖1中所示之液滴喷出裝置之噴 基材之平面圖 、A早兀及展示
圖3為展示液滴噴出頭之喷嘴表面（喷嘴板）之一部分及 展示基材之像素的放大平面圖。 刀 圖4(a)及圖4(b)分別為圖丨中所示之液滴噴出裝置之液滴 喷出頭的透視截面圖及截面圖。 圖5為圖1中所示之液滴噴出裝置的方塊圖。 圖6(a)為喷頭驅動單元之示意圖。 圖6(b)為展示用於噴頭驅動單元之驅動信號、選擇信號 及喷出信號的時序圖。 〜 圖7(a)至圖7(d)為展示一製造彩色濾光片基板之方法的 示意性截面圖。 圖8為用於闡述在根據本發明之液滴噴出裝置之噴頭單 元中的每一液滴噴出頭之位置關係的示意性平面圖。 圖9為示意性展示在本發明之液滴喷出裝置中之噴頭單 几的組態之另一實例的平面圖。 圖10(a)至圖i〇(d)為展示一製造有機電致發光顯示器之 方法的示意性截面圖。 圖11為展示一應用本發明之電子裝置的行動（或膝上型） 105194.doc -55- 1274907 個人電腦之結構的透視圖。 圖12為展示一應用本發明之電子裝置的攜帶型電 括個人掌上型電話系統）之結構的透視圖。 圖13為展應用本發明之電子f 結構的透視圖。 ㈣位静態相械之 【主要元件符號說明】 液滴噴出裝置
1 2
2EP 10 10A 12 14 16 18R 18G 18B 20 21R 液滴噴出頭 兩倍喷出循環 彩色濾光片基板 基材 支撐基板 黑色矩陣 觸排 紅色像素（喷出區域） 綠色像素（喷出區域） 藍色像素（噴出區域） 保護膜 紅色液體材料111R之第一液滴
22R 喷出頭 紅色液體材料111R之第二液滴
23R 喷出頭 紅色液體材料π 1R之第三液滴 喷出頭 105194.doc 56- 1274907
24R 21G 22G 23G 21B 22B 23B 24B 25 26 30 30A 31R，32R，31G，32G， 31B， 32B 32 34 紅色液體材料111R之第四液滴 喷出頭 綠色液體材料111G之第一液滴 噴出頭 綠色液體材料111G之第二液滴 喷出頭 綠色液體材料111G之第四液滴 喷出頭 藍色液體材料111B之第一液滴 喷出頭 藍色液體材料111B之第二液滴 喷出頭 藍色液體材料111B之第三液滴 喷出頭 藍色液體材料111B之第四液滴 喷出頭 喷嘴 不使用部分 有機電致發光顯示器 基材 喷頭陣列 支撐基板 電路元件層 105194.doc 57- 1274907 36 像素電極 37R, 37G，37B 電洞輸送層 38R，38G，38B 像素 40 觸排 40A 無機觸排 40B 有機觸排 42 絕緣膜 44 開關元件 44G 閘電極 44S 源電極 44V 通孔 44D 汲電極 45 層間絕緣膜 46 反電極 48 密封基板 51，52, 53, 54 液滴喷出頭 61，62 喷頭組陣列 91，92 液滴 101 貯槽 103 喷頭單元 103! 噴頭單元 104 滑架移動機構（移動機構） 105 滑架 106 平臺 105194.doc -58- 1274907 108 110 111 111R 111G 111B 111FR，111FG，111FB 112 120 122 124 124A，124B 124C 126 128 129 130 131 200 202 203 204 206 208 平臺移動機構（移動機構） 管 液體材料 紅色液體材料 綠色液體材料 藍色液體材料 濾光層 控制單元 空腔 間壁 振動器 電極 壓電元件 橫隔板 喷嘴板 儲集器 墨水供應口 墨水進口 輸入緩衝記憶體 儲存單元 信號產生器 處理單元 掃描驅動單元 喷頭驅動單元 105194.doc •59- 1274907
211R，211G，211B 211FR, 211FG，211FB 302
303 1000 1100 1102 1104 1106 1200 1202 1204 1206 1300 1302 1304 1306 1308 1312 1314 1430 1440 AS DS 液體材料 發光層 滑架位置偵測器件 平臺位置偵測器件 圖像顯示裝置 個人電腦 鍵盤 主體 顯示單元 攜帶型電話 按鈕 聽筒 話筒 數位靜態相機 外殼（主體） 光接收單元 快門按鈕 電路板 視訊信號輸出端子 輸入/輸出端子 電視監控器 個人電腦 類比開關 驅動訊號 105194.doc -60- 1274907 EP 喷出循環 ES 喷出信號 j 1， 接縫 L 參考電位 P 喷出波形 ri5 r2? gi? g2? b!? b2 接縫 Ri，R2，R3，Gi，G2，G3， 區域 Bi，B2，B3 SC 選擇信號 W1? w2? w3? w4 喷出寬度 w 整個噴出寬度 XX 軸方向 YY 軸方向 zz 軸方向 105194.doc -61 -
Claims (1)
1274907 十、申請專利範圍： 1· -種液滴喷出裝置，其用於以液滴形式將一預定顏色之 一或多種液體材料供應至一基材上，該裝置包含： 、-喷頭單元’其具有用於將—或多種液體材料之該等 液滴喷出至該基材上的複數個液滴噴出頭，該等液滴噴 出頭中每-者包括由線性對準之複數個噴嘴之至少一噴 嘴陣列’該等複數個液滴噴出頭之該等噴嘴陣列在一第 一方向彼此平行，該液體材料係以液滴形式經由該等複 數個噴嘴而喷出； -平臺’其包括兩個主要表面，該平臺之該等兩個主 要表面中之-者面向該喷頭單元之該等複數個液 頭’且該基材支撐於該平臺之該—個主要表面上；、 直了移動機構’其用於相對於該喷頭單元相互移動該平 ,,,,^ /、 仏剌该嘴頭單兀及孩移動機構之 知作’以使得該喷頭單元 — 之该荨複數個液滴噴出 直一出至該基材上，同時在—: 該平臺第二方向相對於該喷頭單元相互移動 其中该基材具有一 ρ 0 &域，相同顏色之該液體材料 由該喷頭單元相對於該 何卄係猎 , 至之相互移動而以液滴形4、 自该等複數個㈣^ 夜騎式 貝至δ亥^域上，讀ρ ρ t 位於該第—方向之=域包括 者具有用於形n主 μ且忒專子區域中每一 用於Μ像素之複數個W區域，且 105l94.doc 1274907 其中该等複數個液滴喷出頭排列於該喷頭單元上以使 得該等複數個子區域中夂— >尬、 —中母一者之該等喷出區域係總是自 該專複數個液滴噴出頭中 月r之兩個或兩個以上液滴喷出頭 之一不同組合的該等喑 0 ^ 、 寻贺爲以液滴形式接收該液體材料。 2 ·如請求項1之液滴嘖出 ^ ^ ^ ^ ，八中用於以液滴形式將該 液體材料喷出至該基材 兮H ^丄、 子區域之該等喷出區域上的 口亥等兩個或兩個以卜发 喷出頭之組合，係不同於用於 之’等2將该液體材料噴出至該基材之該相鄰子區域 ΓΓ喷出區域上的該等兩個或兩個以上液滴喷出頭之 #用5 4兩個或兩個以上液滴喷出頭之此等組合 使用至 >、一共同液滴喷出頭。 3·如請求項丨之液滴噴出 _ , ^ /、〒5亥等歿數個液滴喑屮 頭包括複數組液滴嘖出頭，尤门h 從/罔噴出 碩不同顏色之一此種類之_ 材料將自該等複數組、$ A _ b —種頰之液體 是数、、且液滴噴出頭喷出， 個子區域Λ哕笠銘奴z 彳定付自亥4複數 场為㈣硬數組之該等液 成於該基材上，且 3甲母者而形 其中用於一顏辛夕4、士 j邑之该液體材料的該等 相鄰子區域之一 £域中之該等 Α之邊界的—位置，係不同 6 之該液體材料的該等子 、於八匕顏色 界的-位置。 £域中之該等相鄰子區域之一邊 4.如請求項3之液滴喷出装置，其中該等 材料句紅-i 一 @类員之液體 材抖匕括二種類之液體材料，其分夜體 藍色。 ^、、工色、綠色及 5·如請求们之液滴喷出裝置 ’從/苟噴出頭中每 】05194.doc 1274907 =者包括減”㈣列，料複數 竹於該等喷嘴陣列中每一者 早歹]在千 别 者之方向以一並排關係而排 出以f得當自該第二方向觀察時，該等複數個液滴嘴 6 碩之母-者巾之料複數個㈣陣列㈣末端對準。 請求項1之液滴噴出裝置，其中該基材為-用於製造 用於-液晶顯示器之彩色濾光片基板的基底材料，且 或多種液體材料為用於形成該彩色遽光片基板之一 /愿光層的墨水。 ^求項1之液滴噴出裝置，其中該基材為一用於製造 勹虹致么光颁不為之基底材料，且該一或多種液體材料 二了☆製造該電致發光顯示器之發光材料。 製W面板之方法，其係使用如請求項1之液滴喷出 、置自-基材製造一面板，該方法包含以下步驟·· 製備一基材；及 藉由使用该液滴噴出裝置喷出液滴同時在垂直於第一 上向之第一方向相對於噴頭單元相互移動該基材，而以 4等液滴之形式將―狀顏色之—或多種液體材料供應 至該基材上。 9. 如請求項8 > He、4· u 、 方法’其中該基材為一用於製造一用於一 液晶顯示夕、tv w之杉色慮光片基板的基底材料，且該一或多 種液體材料為用於形成該彩色濾光片基板之一濾光層的 墨水。 10·如明求項8之方法，其中該基材為一用於製造一電致發 光顯示器之I ， 〈I底材料，且該一或多種液體材料包括一用 105194.doc 1274907 於製造該電致發光顯示器之發光材料。 11 · 一種圖像顯示裝置，其包含使用如請求項8之方法製造 的面板。 12. —種電子裝置，其包含如請求項11之圖像顯示裝置。
105194.doc
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