1265336 · (1) . 九、發明說明 β 【發明所屬之技術領域】 本發明係有關液滴吐出裝置、光電裝置、電子機器及 液滴吐出方法，詳細是有關於很適合在周期性配置在彩色 ~ 濾光片基板和彩色矩陣型顯示裝置等之區域塗佈液狀材料 的液滴吐出裝置、光電裝置、電子機器及液滴吐出方法。 Φ 【先前技術】 於薄膜之形成係一般所使用之例如薄膜塗布方法之一 的旋塗法。此旋塗法是液狀體在基板上滴化之後，使基板 旋轉藉由離心力在基板全面進行塗布而形成薄膜的方法， 根據轉數、旋轉保持時間及液狀體的粘度等來控制膜厚。 ， 但是以旋塗法所供給的液狀體大部分會飛散的緣故， 需要供給許多的液狀體，同時浪費很多，有生產成本高的 問題。而使基板旋轉的緣故，液狀體因離心力由內側往外 Φ 側流動，有外周區域的膜厚比內側還厚之傾向的緣故，有 膜厚不均勻的問題。 由相關的背景，近期提供噴墨法等之液滴吐出法，實 、施此塗布法而提供噴墨裝置。此噴墨裝置係使特定量的液 _ 狀體配置在所希望的位置，主要適用於形成薄膜。 相關的噴墨裝置例如可使用於製造彩色濾光片基板的 場合。彩色濾光片係可藉由噴墨裝置對基板以特定的圖案 著彈R (紅）、G (綠）、Β (藍）的油墨而形成。 、 以噴墨裝置製造彩色濾光片的技術，例如公知爲曰本 W Μ (2) 1265336 專利文獻1。相關的專利文獻1，係對基板，藉由以第1、 著色手段（噴墨頭）吐出R色油墨使其乾燥（第1工程） ’以第2著色手段（噴墨頭）吐出G色油墨使其乾燥之後 (第2工程），以第3著色手段（噴墨頭）吐出g色油墨 使其乾燥（第3工程），製造彩色濾光片。 〔專利文獻1〕日本特開平1 1 一 248926號公報 • 【發明內容】 〔發明欲解決的課題〕 但是上述習知技術中，欲在基板描畫R、G、B之三 色’同一工程需重複三次的緣故，有所謂工程數量多、製 _ 造成本高的問題。 本發明係有鑑於上述課題的發明，其目的在於提供一 在基體描畫R、G、B之三色的場合，可削減工程數，減 低製造成本的液滴吐出裝置、光電裝置、電子機器及液滴 • 吐出方法。 〔用以解決課題的手段〕
爲解決上述之課題，達成目的，本發明，係具備：保 持基體之載台（stage)，由一或複數之噴頭所構成，分別 吐出R、G、B色之液滴的R、G、B用噴頭群，及以使前 述R、G、B用噴頭群重疊於第1方向的方式保持之往復 台（carriage);對前述載台使前述往復台於前述第1方 向相對移動時，以前述R、G、B用噴頭群對前述基體之R -5- (3) 1265336 、G、B被吐出部分別吐出R、G、b色之液滴爲其特徵。 藉此，對載台使往復台於第1方向相對移動時，以R 、G、B用噴頭群對基體之R、G、B被吐出部分別吐出R 、G、B色之液滴的關係，能一次對第1方向的相對移動 ’描畫噴頭群之描畫寬幅內的所有R、G、B被吐出部， 可在一個工程，於基體同時描畫R、G、B之三色。其結 果，提供一在基體描畫R、G、B之三色時，可削減工程 • 數，減低製造成本的液滴吐出裝置。 而若根據本發明之最佳形態，希望前述R、G、B被 _ 吐出部之平面圖樣，呈現以長邊與短邊決定之約略矩形形 狀，前述載台，以前述長邊方向平行於與前述第1方向直 . 角相交之第2方向，且前述短邊方向平行於前述第1方向 的方式保持前述基板。藉此，可描畫條紋形狀的R、G、B 被吐出部。
而若根據本發明的最佳形態，希望構成前述R、G、B • 噴頭群的噴嘴列，對與前述第1方向直角相交之第2方向 成平行配置。藉此就能以寬大的描畫寬幅做高精度描畫。 而若根據本發明的最佳形態，希望構成前述R、G、B 噴頭群的噴嘴列，對與前述第1方向直角相交之第2方向 成斜向配置。藉此就能以寬大的描畫寬幅做高精度描畫。 而若根據本發明的最佳形態，希望前述R、G、B被 吐出部以堤（bank )區隔，該R、G、B被吐出部的表面 被施以親液化處理，前述堤之表面被施以撥液化處理。藉 此，著彈在基體上的液滴，在堤彈開，且易以被吐出部塗 -6 - (4) 1265336 布，可於被吐出部均勻地配置液滴。 而若根據本發明的最佳形態，希望光電裝置係使用本 發明之液滴吐出裝置所製造。藉此可提供以低成本製造的 光電裝置。 而若根據本發明的最佳形態，希望電子機器係搭載本 發明的光電裝置。藉此可提供搭載以低成本製造的光電裝 置的電子機器。 B 爲解決上述之課題，達成目的，本發明，係使用分別 具備：保持基體之載台，由一或複數之噴頭所構成，分別 吐出R、G'B色之液滴的R、G、B用噴頭群，及以使前 述R、G、B用噴頭群重疊於第1方向的方式保持之往復 . 台等之第1及第2液滴吐出裝置，對前述基體上之R、G 、B被吐出部分別吐出R、G、B色之液滴的液滴吐出方法 ，希望包含：於前述第1液滴吐出裝置，在前述載台保持 前述基體，對前述載台使前述往復台相對移動於前述第1 • 方向，以前述R、G、B用噴頭群，對前述基體之R、G、 B被吐出部，每隔1個分別吐出R、G、B色之液滴之第1 吐出工程，使被塗布於前述基體上的液滴乾燥的第丨乾燥 工程，於前述第2液滴吐出裝置，在前述載台保持乾燥後 之基體，對前述載台使前述往復台相對移動於前述第1方 向’以前述R、G、B用噴頭群，對前述基體之未塗布液 滴的R、G、B被吐出部，分別吐出r、g、B色之液滴之 第2吐出工程’使被塗布於前述基體上的液滴乾燥的第2 乾燥工程。 (5) 1265336 藉此，以兩次的吐出工程，在基體描畫R、G、B之 三色，可削減工程數，減低製造成本。更在沿著第1方向 對R、G、B被吐出部，每隔1個塗布液滴使其乾燥之後 ’於未塗布之被吐出部塗布液滴，防止在鄰接的被吐出部 間混色。 【實施方式】 〔用以實施發明的最佳形態〕 以下針對此發明邊參照圖面邊做詳細說明。再者，根 據此實施例並不限於此發明。而於下述實施例之構成要素 包括該業者易於思及或實質上相同的。 〔實施例〕 有關本發明之液滴吐出裝置、光電裝置及電子機器的 最適當實施例，依〔液滴吐出裝置〕、〔光電裝置之製造 〕、〔對電子機器的應用〕的順序做詳細說明。 〔液滴吐出裝置〕 有關本發明之實施例的液滴吐出裝置，依（液滴吐出 裝置之全體構成）、（往復台）、（噴頭）、（噴頭群） 、（控制部）、（吐出方法）、（吐出方法之變形例）、 (噴頭配列的變形例）的順序做詳細說明。 (液滴吐出裝置之全體構成） -8 - (6) 1265336 如第1圖所示，液滴吐出裝置〗00，係具備：保持液 狀材料1 11的液槽i i、管件i丨〇、透過管件η 〇由液槽 1 0 1供給液狀材料1 1 1的吐出掃描部1 02。吐出掃描部1 〇2 ’係具備：保持複數噴頭1 14 (第2圖）的往復台10 3、 控制往復台1 03之位置的第1位置控制裝置丨〇4、保持後 述之基體10A的載台1〇6、控制載台106之位置的第2位 置控制裝置108、控制部1 12。液槽101與往復台1〇3之 φ 複數噴頭1 1 4是以管件1 1 〇連結，由液槽1 〇 1對複數噴頭 114分別供給液狀材料i i i。 ， 第1位置控制裝置1 04，係因應於來自控制部1 1 2的 訊號，使往復台1 03沿著X軸方向（第2方向）、及直角 相交於X軸方向的Z軸方向移動。進而，第1位置控制裝 置1 04，係亦具有以平行於z軸之軸的轉動使往復台1 03 旋轉的功能。在本實施例，Z軸方向是平行於鉛直方向（ 就是重力加速度的方向）的方向。第2位置控制裝置1 〇 8 # ，係因應於來自控制部1 1 2的訊號，沿著直角相交於X軸 方向及Z軸方向之兩方的γ軸方向（第1方向）使載台 106移動。進而，第2位置控制裝置108，係亦具有以平 行於Z軸之軸的轉動使載台1 〇 6旋轉的功能。再者，本明 細書中，第1位置控制裝置104及第2位置控制裝置1〇8 亦標記爲「掃描部」。 載台106係具有平行於X軸方向與Y軸方向之兩方 的平面。而載台106係以具有應塗布特定材料的被吐出部 的基體，固定或保持在其平面上的方式所構成。再者，本 -9- (7) 1265336 明細書中，具有被吐出部的基體亦標記爲「接收3 本明細書的X軸方向、Y軸方向、及Z軸方 復台103及載台106之哪一方，與對另一方相對 向一致。而規定X軸方向、Y軸方向、及Z軸方 座標系的假想原點，被固定於吐出裝置1 〇〇的基 本明細書中，X座標、γ座標、及z座標是指 XYZ座標系的座標。再者，上述之假想的原點可 φ 載台106，或者也可被固定在往復台103。 如上述’往復台1 〇 3是藉由第1位置控制裝 ， 其在X軸方向移動。另一方面，載台106是藉由 控制手段108使其在γ軸方向移動。就是，藉由 控制裝置104及第2位置控制裝置1〇8，對載台 噴頭114的相對位置。更具體是藉由該些動作， 103、噴頭群114R、G、B (第2圖）、噴頭114 1 18 (第3圖），在載台106上對被定位的被吐 ^ 於Z軸方向保持特定距離，邊於X軸方向及γ 對移動’即相對掃描。在此，可對產生靜止的被 使往復台103在Y軸方向移動。而往復台1〇3是 軸方向於特定的兩點間移動的期間內，可對靜止 部由噴嘴1 1 8吐出材料n丨。「相對移動」或「 」是包括：吐出液狀材料1 i丨的這側，與來自這 著彈的這側（被吐出部側）的至少一方對另一方 〇 進而，往復台103、噴頭群U4R、G、B ( | S板」。 向係使往 移動的方 向的XYZ 準部分。 像這樣的 被固定在 置104使 第2位置 第1位置 1 0 6改變 使往復台 、或噴嘴 出部，邊 軸方向相 吐出部， 在沿著Y 的被吐出 相對掃描 的吐出物 進行移動 I 2圖） -10- (8) 1265336 、噴頭1 1 4、或噴嘴1 1 8 (第3圖）相對移動，是指對載 台、基體、或被吐出部改變該些的相對位置。因此，本明 細書中，係標記爲往復台1 〇 3、噴頭群n 4 G、噴頭丨丨4、 或噴嘴118，對吐出裝置100形成靜止，只有載台106移 動的場合，往復台103、噴頭群114G、噴頭114、或噴嘴 1 1 8，對載台1 06、基體、或被吐出部進行相對移動。而指 示相對掃描或相對移動與材料的吐出的組合，亦標記爲r • 塗布掃描」。 往復台103及載台106更具有上述以外之平行移動及 旋轉的自由度。但本實施例中，有關上述自由度以外的自 由度之記載，因目的在淺顯說明被省略。 控制部1 1 2係以由外部資訊處理裝置接受表示應吐出 液狀材料1 1 1的相對位置的吐出資料的方式所構成。控制 部1 1 2的詳細構成及功能於後述。 •(往復台） 第2圖係由載台106側觀察往復台1〇3的圖，垂直於 第2圖紙面的方向爲Z軸方向。而第2圖紙面的左右方向 爲X軸方向（副掃描方向），紙面的上下方向爲Y軸方 向（掃描方向）。 如第2圖所示，往復台1 03係用來保持分別塡充r ( 紅），G (綠），B (藍）色之液狀材料1 1 1的r、g、B 用的噴頭群114R、G、B。！^、G、B用的噴頭群U4R、G 、B，係重疊於Y軸方向而並列在往復台1 0 3，且平行配 -11 - (9) 1265336 置在X軸方向。R、G、B用的噴頭群114R、G、B’係分 別由四個噴頭1 1 4所構成，各噴頭1 1 4的配列係爲相樣的 構成。噴頭1 1 4，係具有記置後述之複數噴嘴1 1 8的底面 。噴頭114的底面形狀，係具有兩個長邊與兩個短邊的多 角形。如第2圖所示，被保持在往復台1 〇3的噴頭1 14的 底面，係朝向載台1〇6側，進而，噴頭1 14的長邊方向與 短邊方向，是指分別平行於X軸方向與Y軸方向。再者 ，噴頭1 1 4彼此之相對位置關係的詳細於後述。在此，R 、G、B用的噴頭群114R、G、B，雖是分別具有四個噴頭 的構成，但並不限定具有噴頭群11 4R、G、B之噴頭的數 量，而噴頭可爲一個。本明細書中，噴頭群是指一或複數 個噴頭的總結。 (噴頭） 第3圖是表示噴頭114的底面。噴頭114，係具有並 # 列於X軸方向的複數個噴嘴1 1 8。該複數噴嘴1 1 8，係以 噴頭1 14之X軸方向的噴嘴間距Η XP約爲70 /z m的方式 被配置。在此，「噴頭114之X軸方向的噴嘴間距HXP」 ，係相當於噴頭1 1 4之噴嘴1 1 8全部沿著Y軸方向而於X 軸上射出圖樣所得到的複數噴嘴圖樣間的間距。 在本實施例，噴頭1 1 4的複數噴嘴1 1 8係以一同延伸 於X軸方向的噴嘴列i i 6 A、噴嘴列n 6B所形成。噴嘴列 1 16A與噴嘴列丨16B係並列於γ軸方向。而在噴嘴列 1 10A及噴嘴列i 16B的各個中，180個的噴嘴丨18是以一 -12- (10) 1265336 定間隔一列並列在X軸方向。在本實施例，該一定間隔 爲1 4 0 // m。就是，噴嘴列1 1 6 A的噴嘴間距LN P及噴 列116B的噴嘴間距LNP，同樣約爲140// m。 噴嘴列1 1 6B的位置，對噴嘴列1 1 6A的位置，僅噴 間距LNP之一半長度（約70/zni)，在X軸方向的正 向（第3圖的右方向）偏移。因此，噴頭114之X軸方 的噴嘴間距HXP，係噴嘴列1 16A (或噴嘴列1 16B )之 φ 嘴間距LNP的一半長度（約70/z m)。 因而，噴頭1 1 4之X軸方向的噴嘴線密度，係噴嘴 1 1 6A (或噴嘴列11 6B )之噴嘴線密度的兩倍。再者， 明細書中，「X軸方向的噴嘴線密度」，係相當於複數 嘴沿著Υ軸方向而於X軸上射出圖樣所得到的複數噴 圖樣之單位長度的數目。 當然包含噴頭114之噴嘴列的數量，並不限於只是 個。噴頭1 1 4也包括Μ個的噴嘴列。在此，Μ爲1以上 φ 自然數。在此場合，在Μ個噴嘴列的各個，複數噴嘴1 係以噴嘴間距ΗΧΡ之Μ倍長度的間距並列。進而，在 爲2以上之自然數的場合，對Μ個噴嘴列之中的一個， 他（Μ - 1 )個的噴嘴列係僅噴嘴間距ΗΧΡ之i倍長度 在X軸方向無重複的偏移。在此，i係1至（Μ — 1 )的 然數。 那麼，噴嘴列1 16Α及噴嘴列1 16Β的各個是由180 的噴嘴所形成的緣故，1個噴頭114有3 60個的噴嘴。 噴嘴列1 1 6 Α之兩端的各個，係設定1 0個噴嘴當作「休 約 嘴 嘴 方 向 噴 列 本 噴 嘴 兩 的 18 Μ 其 白 個 但 止 -13- (11) 1265336 噴Π角」。问彳永地，噴嘴列1 1 6 Β之兩端的各個，也是設定 1 0個噴嘴當作「休止噴嘴」。而不由該40個的「休止噴 嘴」吐出液狀材料丨丨1。因此，噴頭1 i 4之3 6 〇個噴嘴 1 1 8中’以3 2 0個噴嘴1 1 8當作吐出液狀材料！丨丨的噴嘴 . 的功能。本明細書中，該3 2 〇個噴嘴1 1 8也標記爲「吐出 噴嘴」。 本明細書中，說明噴頭1 1 4彼此之相對位置關係之目 φ 的’而將包含在噴嘴列116A的180個噴嘴ι18之中，由 左至第1 1號的噴嘴1 1 8標記爲噴頭1 1 4的「基準噴嘴 118R」。就是，噴嘴列116A之160個吐出噴嘴中，最左 側的吐出噴嘴爲噴頭1 14的「基準噴嘴1 1 8R」。再者， 對所有的噴頭114，因「基準噴嘴118R」的指定方法只要 相同就可以，故「基準噴嘴118R」的位置可以不是上述 位置。 如第4一 1圖及第4— 2圖所示，各個噴頭114係噴墨 # 頭。更具體是各個噴頭1 14，具備：振動板126與噴嘴板 1 2 8。經常塡充由液槽1 0 1透過孔1 3 1所供給的液狀材料 1 1 1的液儲槽1 2 9是位在振動板1 2 6與噴嘴板1 2 8之間。 而複數隔壁122是位在振動板126與噴嘴板128之間 。而藉由振動板126、噴嘴板128、及一對隔壁122所圍 起的部分爲空腔1 2 0。空腔1 2 0係對應於噴嘴1 1 8而設的 緣故，空腔1 20的數目與噴嘴1 1 8的數目相同。透過位在 一對隔壁122間的供給口 130，由液儲槽129將液狀材料 111供給到空腔120。 -14- (12) 1265336 振盪器124是對應於各個空腔120而位在振動板126 上。振盪器124，係包括：壓電元件124C與挾持壓電元 件124C的一對電極124A、124B。使該一對電極124A、 1 24β之間獲得驅動電壓，由所對應的噴嘴丨〗8吐出液狀 材料1 1 1。再者，由噴嘴丨i 8對z軸方向吐出液狀材料的 方式調整噴嘴1 1 8的形狀。 在此’本明細書中，「液狀材料」是指具有可由噴嘴 # 吐出之粘度的材料。此場合，不管材料是水性還是油性。 只要具備可由噴嘴吐出的流動性（粘度）就夠了，連混入 固體物質當作全體而屬於流動體就可以。 控制部1 1 2 (第1圖）係以使複數振盪器丨24的各個 互相獨立獲得訊號的方式所構成亦可。就是，可以由噴嘴 1 1 8吐出的材料1 1 1的體積，對應來自控制部i丨2的訊號 於每個噴嘴1 1 8被控制。在此種場合，由噴嘴丨丨8的各個 吐出的材料111的體積，可在〇P1〜42pl (微微升）之間 • 變化。而控制部1 1 2，如後述，也可設定在塗布掃描之間 進行吐出動作的噴嘴1 1 8，與不進行吐出動作的噴嘴i i 8 〇 本明細書中，包括：一個噴嘴1 1 8、對應於噴嘴1 i 8 的空腔120、及對應於空腔12〇的振盪器124的部分，也 標記爲「吐出部127」。若按此標記，1個噴頭114，係具 有與噴嘴118之數量相同數量的吐出部127。吐出部in 也可取代壓電兀件，具有電熱變換元件。就是，吐出部 1 27也可爲具有利用因電熱變換元件之材料的熱膨脹而吐 -15- (13) 1265336 出材料的構成。 (噴頭群） 其次，說明噴頭群1 1 4R、G、B之四個噴頭1 1 4的相 對位置關係。於第5圖表示在第2圖之往復台1 〇 3於Y軸 方向鄰接的兩個噴頭群114G。
如第5圖所示，各個噴頭群114R、G、B，係由四個 φ 噴頭114所形成。而噴頭群114R、G、B之X軸方向的噴 嘴間距GXP是以噴頭1 14之X軸方向的噴嘴間距HXP之 1/4倍長度的方式，於噴頭群114配置四個噴頭114。更 具體是對一個噴頭1 1 4的基準噴嘴1 1 8 R的X座標，其他 噴頭114的基準噴嘴11 8R的X座標，僅噴嘴間距Ηχρ之 j / 4倍長度，無重複的偏移位在X軸方向。在此，j係1 至3的自然數。因此，噴頭群U4G之X軸方向的噴嘴間 距GXP係噴嘴間距HXP的1/ 4倍。 φ 本實施例中，噴頭1 14之X軸方向的噴嘴間距HXP 約爲7 0 // m，噴頭群1 1 4 R、G、B之X軸方向的噴嘴間距 GXP，係其1/4倍之約17.5//m。在此，「噴頭群114R 、G、B之X軸方向的噴嘴間距GxP」，係噴頭群1 14R、 G、B之噴嘴1 1 8的全部，相當沿著γ軸方向於X軸上射 出圖樣所得到之複數噴嘴圖樣間的間距。 當然，包括噴頭群1 1 4R、G、B之噴頭1 1 4的數量， 不限於只有四個。噴頭群1 1 4 G也可由N個噴頭1 1 4所形 成。在此，N係2以上的自然數。在此場合，噴嘴間距 -16- (14) 1265336 GXP是以噴嘴間距HXP的1 / N倍長度的方式，於噴頭群 114G配置N個噴頭114即可。或者，對N個噴頭114之 其中一個的基準噴嘴118R的X座標，其他（N - 1)個的 噴頭1 1 4的基準噴嘴1 1 8的X座標，僅噴嘴間距HXP之j / N倍長度，無重複的偏移即可。再者，在此場合，j係1 至（N— 1)的自然數。而噴頭群H4R、114G、114B也可 以一個噴頭1 1 4所構成。 以下更具體說明本實施例之噴頭1 1 4的相對位置關係 首先，目的在淺顯說明，將包含於第5圖之噴頭群 1 14R、G、B的四個噴頭1 14，由上分別標記爲噴頭1 141 、噴頭1142、噴頭1143、噴頭1144。 而噴頭1 1 4 1的噴嘴列1 1 6A、1 1 6B，標記爲噴嘴列 1 A、1 B，噴頭1 1 42的噴嘴列1 1 6A、1 1 6B，標記爲噴嘴列 2 A、2 B，噴頭1 1 4 3的噴嘴列1 1 6 A、1 1 6 B，標記爲噴嘴列 • 3 A、3 B，噴頭1 1 4 4的噴嘴歹[J 1 1 6 A、1 1 6 B，標記爲噴嘴列 4A、4B。同樣地，噴頭1 145的噴嘴列1 16A、1 16B，標記 爲噴嘴列5A、5B，噴頭1 146的噴嘴列U6A、1 16B，標 記爲噴嘴列6A、6B，噴頭1 147的噴嘴列1 16A、1 16B， 標記爲噴嘴列7 A、7 B，噴頭1 1 4 8的噴嘴列1 1 6 A、1 1 6 B ，標記爲噴嘴列8A、8B。 該些噴嘴列1A〜8B的各個，實際上是由18〇個的噴 嘴118所形成。而如上述，在噴嘴列1A〜8B的各個，該 1 8 0個的噴嘴係並列於X軸方向。但在第5圖爲了方便說 -17- (15) 1265336 明，噴嘴列1A〜8B的各個是以四個吐出噴嘴（噴嘴118 )所形成的方式被描述。更在第5圖係噴嘴列1Α之最左 邊的噴嘴118是屬於噴頭1141的基準噴嘴118R，噴嘴列 2A之最左邊的噴嘴118是屬於噴頭1142的基準噴嘴118R ，噴嘴列3A之最左邊的噴嘴118是屬於噴頭1143的基準 噴嘴1 1 8R，噴嘴列4A之最左邊的噴嘴1 1 8是屬於噴頭 1144的基準噴嘴118R，噴嘴列5A之最左邊的噴嘴118是 φ 屬於噴頭1145的基準噴嘴118R。 噴頭1141之基準噴嘴118R的X座標與噴頭1142之 基準噴嘴1 1 8R的X座標之差的絕對値，係噴嘴間距LNP 之1/ 4倍的長度，即噴嘴間距HXP之1/ 2倍的長度。 第5圖的例子中，噴頭1 1 4 1的基準噴嘴1 1 8 R的位置，係 對噴頭1142的基準噴嘴118R的位置，僅噴嘴間距LNP 之1/4倍的長度，在X軸方向的負方向（第5圖的左方 向）偏移。但噴頭1 1 4 1對噴頭1 1 4 2偏移的方向’也可爲 φ X軸方向的正方向（第5圖的右方向）。 噴頭1143的基準噴嘴118R的X座標與噴頭1144的 基準噴嘴1 1 8R的X座標之差的絕對値，係噴嘴間距LNp 之1/ 4倍的長度，即噴嘴間距HXP之1/ 2倍的長度。 第5圖的例子中，噴頭1 1 4 3的基準噴嘴1 1 8 R的位置，係 對噴頭1144的基準噴嘴118R的位置，僅噴嘴間距LNP 之1/4倍的長度，在X軸方向的負方向（第5圖的左方 向）偏移。但噴頭1143對噴頭1144偏移的方向’也可爲 X軸方向的正方向（第5圖的右方向）° -18- (16) 1265336 噴頭1 142的基準噴嘴1 18R的X座標與噴頭1 13的基 準噴嘴1 1 8R的X座標之差的絕對値，係噴嘴間距LNP之 I / 8倍或3 / 8倍的長度，即噴嘴間距HXP之1 / 4倍或 3 / 4倍的長度。第5圖的例子中，噴頭1 1 42的基準噴嘴 II 8R的位置，係對噴頭1143的基準噴嘴118R的位置， 僅噴嘴間距LNP之1 / 8即1 7.5 // m，在X軸方向的正方 向（第5圖的右方向）偏移。但噴頭1 142對噴頭1 143偏 % 移的方向，也可爲X軸方向的負方向（第5圖的左方向） 本實施例中，朝向Y軸方向的負方向（圖面的下方向 )，噴頭1 141、1 142、1 143、1 144以此序號所排列。但 是排列在Y軸方向的該四個噴頭1 1 4的序號，也可以不是 本實施例的序號。具體此是噴頭1141與噴頭1142於Y軸 方向互相鄰接，同時噴頭H43與噴頭1 144於Y軸方向互 相鄰接即可。
根據上述配置，在噴嘴列1 A之最左邊的噴嘴1 1 8的 X座標與噴嘴列1 B之最左邊的噴嘴1 1 8的X座標之間， 統一噴嘴列2A之最左邊的噴嘴1 1 8的X座標、噴嘴列3 A 之最左邊的噴嘴1 1 8的X座標、及噴嘴列4 A之最左邊的 噴嘴1 1 8的X座標。同樣地，在噴嘴列1B之最左邊的噴 嘴1 1 8的X座標與由噴嘴列1 A之左邊至第2號的噴嘴 118的X座標之間，統一噴嘴列2B之最左邊的噴嘴118 的X座標、噴嘴列3B之最左邊的噴嘴Π8的X座標、及 噴嘴列4 B之最左邊的噴嘴1 1 8的X座標。在噴嘴列1 A -19- (17) 1265336 外的其他噴嘴1 1 8的X座標與噴嘴列1 B的其他噴嘴1 1 8 的X座標之間，也同樣，統一噴嘴列2A (或2B )的噴嘴 i 1 8的X座標、噴嘴列3 A (或3 B )的噴嘴1 1 8的X座標 、噴嘴列4A (或4B )的噴嘴1 1 8的X座標。 更具體是藉由上述之噴頭的配置’噴嘴列之最左 邊的噴嘴1 1 8的X座標，係約略與噴嘴列1 A之最左邊的 噴嘴118的X座標與由噴嘴列1A之左邊至第2號的噴嘴 _ 1 1 8的X座標之中間一致。而噴嘴列2A之最左邊的噴嘴 1 1 8的X座標，係約略與噴嘴列1 A之最左邊的噴嘴1 1 8 的X座標與噴嘴列1B之最左邊的噴嘴118的X座標之中 間一致。噴嘴列2B之最左邊的噴嘴1 1 8的X座標，係約 略與由噴嘴列1A之左邊至第2號的噴嘴118的X座標與 噴嘴列1 B之最左邊的噴嘴1 1 8的X座標之中間一致。噴 嘴列3 A之最左邊的噴嘴1 1 8的X座標，係約略與噴嘴列 1 A之最左邊的噴嘴Π 8的X座標與噴嘴列2A之最左邊的 • 噴嘴1 1 8的X座標之中間一致。噴嘴列3 B之最左邊的噴 嘴1 1 8的X座標，係約略與噴嘴列1 B之最左邊的噴嘴 1 1 8的X座標與噴嘴列2B之最左邊的噴嘴1 1 8的X座標 之中間一致。噴嘴列4 A之最左邊的噴嘴1 1 8的X座標， 係約略與噴嘴列1 B之最左邊的噴嘴1 1 8的X座標與噴嘴 列2 A之最左邊的噴嘴1 1 8的X座標之中間一致。噴嘴列 4 B之最左邊的噴嘴1 1 8的X座標，係約略與由噴嘴列1 A 之左邊至第2號的噴嘴1丨8的X座標與噴嘴列2B之最左 邊的噴嘴1 1 8的X座標之中間一致。 -20- ⑧ (18) 1265336 (控制部） 其次，說明控制部1 12的構成。如第6圖所示，控制 部112，係具備：輸入緩衝記憶體200、記憶手段202、處 理部204、掃描驅動部206、及噴頭驅動部208。輸入緩衝 記憶體200與處理部204係相互可通訊地連接。處理部 2 04與記憶手段202係相互可通訊地連接。處理部204與 φ 掃描驅動部206係相互可通訊地連接。處理部204與噴頭 驅動部208係相互可通訊地連接。而掃描驅動部206係與 第1位置控制手段1 04及第2位置控制手段1 0 8相互可通 訊地連接。同樣地，噴頭驅動部2 0 8係與複數噴頭1 1 4的 各個相互可通訊地連接。 輸入緩衝記憶體200係由外部資訊處理裝置接受欲進 行液狀材料1 1 1之液滴吐出的吐出資料。吐出資料，係包 括：表示基體上之所有被吐出部的相對位置的資料、表示 φ 對所有的被吐出部將液狀材料1 1 1塗布到所希望的厚度所 需要的相對掃描次數的資料、指定當作打開噴嘴丨i 8 A之 功能的噴嘴118的資料、及指定當作關閉噴嘴U8B之功 能的噴嘴1 1 8的資料。打開噴嘴〗丨8 a及關閉噴嘴1 1 8B的 說明於後述。輸入緩衝記憶體200，係將吐出資料供給到 處理部204，處理部204係將吐出資料儲存在記憶手段 202。在第6圖，記憶手段202係RAM。 處理部2 0 4係基於記憶手段2 0 2內的吐出資料，而使 掃描驅動部206獲得表示對被吐出部噴嘴1 1 8的相對位 -21 - (19) 1265336 置的資料。掃描驅動部206係使第1位置控制手段i〇4及 第2位置控制手段1 0 8獲得對應於此資料與後述之吐出周 期EP (第7圖）的驅動訊號。此結果，噴頭i i 4對被吐 出部進行相對掃描。另一方面，處理部204，係基於記憶 在記憶手段202的吐出資料與吐出周期EP，而使噴頭驅 動部2 0 8獲得指定每一吐出定時之噴嘴丨〗8的打開關閉 的選擇訊號S C。噴頭驅動部2 〇 8，係基於選擇訊號s C， φ 使噴頭1 1 4獲得液狀材料1 1 1之吐出所需要的吐出訊號 ES。此結果’液狀材料1 1丨形成液滴而由噴頭〗^ 4之對應 的噴嘴1 1 8被吐出。 控制部112也可爲包括CPU、ROM、RAM的電腦。 在此場合，控制部1 1 2之上述功能，係藉由根據電腦所實 行的軟體程式而實現。控制部1 1 2當然也可藉由專用的電 路（硬體）而實現。 其次，說明控制部1 12之噴頭驅動部208的構成與功 φ 能。 如第7 - 1圖所示，噴頭驅動部208，係具有：一個驅 動訊號生成部203與複數類比開關AS。如第7— 2圖所示 ，驅動訊號生成部203係生成驅動訊號DS。驅動訊號DS 的電位係對基準電位L產生時間上的變化。具體上是驅動 訊號DS係包括以吐出周期EP而重複的複數吐出波形P。 在此，吐出波形P係爲了由噴嘴1 1 8吐出一滴液滴，對應 於應施加於振盪器1 24之一對電極間的驅動電壓波形。 驅動訊號DS係供給到類比開關AS之各個輸入端子 -22- (20) 1265336 。類比開關AS的各個係對應吐出部127之各個而設。就 是，類比開關AS的數量與吐出部127的數量（就是噴嘴 1 1 8的數量）係相同。 處理部204係使類比開關AS之各個獲得表示噴嘴 1 1 8之打開 關閉的選擇訊號S C。在此，選擇訊號S C係 可於每一類比開關AS獨立取得高電位及低電位的哪一個 狀態。另一方面，類比開關AS係因應於驅動訊號DS與 φ 選擇訊號SC，對振盪器124的電極124A供給吐出訊號 E S。具體上是選擇訊號S C爲高電位的場合，類比開關A S 係對電極124A傳播成爲吐出訊號ES的驅動訊號DS。另 一方面，選擇訊號SC爲低電位的場合，類比開關AS所 輸出的吐出訊號E S的電位爲基準電位L。使振盪器1 2 4 的電極124A獲得驅動訊號DS的話，由因應於該振盪器 1 24的噴嘴1 1 8吐出液狀材料1 1丨。再者，使各個振盪器 124的電極124B獲得基準電位L。 • 第7一 2圖所示的例子中，於兩個吐出訊號ES的各個 ’在吐出周期EP之2倍的周期2EP呈現吐出波形P的方 式’在兩個選擇訊號S C的各個設定高電位的期間與低電 位的期間。藉此，由對應的兩個噴嘴丨丨8的各個，以周期 2EP吐出液狀材料i丨1。而使因應於該兩個噴嘴丨丨8的振 盡器124的各個，獲得來自共通之驅動訊號生成部2〇3的 共通驅動訊號D S。因此，由兩個噴嘴丨〗8以約略相同的 定時吐出液狀材料n i。 藉由以上構成，吐出裝置i 〇〇係因應於控制部丨i 2獲 -23- (21) 1265336 得的吐出資料，進行液狀材料n丨的塗布掃描。 (吐出方法） 參照第8圖’說明液滴吐出裝置丨〇 〇之塗布方法的其 中一例。第8圖係說明液滴吐出裝置丨〇〇之塗布方法之一 例的說明圖。於第8圖，在載台1〇6保持基體300。基體 3 00以堤30 1形成矩陣狀區隔的r、〇、b被吐出部302R • 、G、B。R、G、B被吐出部3 〇2R、〇、B係條紋配列，於 Y軸方向交互配列R、G' B被吐出部302R、G、B。R、G 、：B被吐出部3 02R、G、B的平面圖樣呈現以長邊與短邊 決定的略矩形形狀。R、G、B被吐出部3 0 2 R、G、B係分 別形成彩色濾光片等而成爲r、G、B畫素區域的區域。 而爲了引起液狀材料1 1 1之本身組織上的圖案現象，在堤 3 0 1的表面施以撥液化處理，於r、〇、b被吐出部3 0 2 R 、G、B的表面施行親液化處理。在噴頭群n 4r、〇、b 鲁 分別塡充R、G、B色的液狀材料1丨j。 於桌8圖’首先’使往復台1〇3對載台1〇6於γ軸方 向（主掃描方向）邊相對移動，邊以噴頭群n4R、G、B 將R、G、B的液狀材料：i丨丨分別吐出到r、〇、b被吐出 部3 〇2R、G、B。藉此，以一次的γ軸方向之相對移動（ 一次的掃描），於噴頭群之描畫寬幅內的r、〇、B被吐 出部302R、G、B，配置R、G、b色的液狀材料nl。接 著’使往復台103對載台1〇6於X軸方向（副掃描方向） 僅使噴頭群1MR、G、B的描畫寬幅（有効掃描幅）相對 -24- (22) 1265336 移動之後，同樣地邊使其在γ軸方向相對移動邊對基體 300的R、G、Β被吐出部302R、G、Β，以噴頭群114R、 G、Β吐出R、G、Β色的液狀材料1 1 1。同樣的動作實行 到基體3 0 0之所有塗布面結東爲止。 (吐出方法之變形例） 參照第9圖及第1 〇圖，說明液滴吐出裝置1 〇 〇之塗 φ 布方法的其他例。第9圖係說明液滴吐出裝置1 〇 〇之塗布 方法的變形例的工程的流程圖，第1 〇圖係說明液滴吐出 裝置1 00之塗布方法的變形例的模式圖。 上述實施例的塗布方法，係以一次掃描在描畫寬幅之 R、G、Β被吐出部302R、G、Β的全部，塗布上R、g、Β 色的液狀材料11 1，但有可能會在鄰接γ軸方向的RG 、B被吐出邰3 0 2 R、G、B間發生混色。於是，有關變形 例的塗布方法係使用兩台液滴吐出裝置丨〇 〇，防止鄰接於 鲁Y軸方向的尺、〇、8被吐出部3 02R、G、B間的混色。有 關變形例的塗布方法，如第9圖所示，具備：以第t液滴 土出衣置100，？口者γ軸方向將R、G、B被吐出部 、G、B每隔1個吐出液狀材料丨丨丨的第丨吐出工程（s工 )、以乾燥裝置（圖未表示）使吐出的液狀材料！工i乾燥 的第1車乙鰛工程（S2 )、以第2液滴吐出裝置⑽沿著Y 軸方向對未吐出液狀材料n"勺r、g、b被吐出部3· B吐出液狀材料1 i i的第2吐出工程…）、以乾 文木衣置（圖未表不）使吐出的液狀材料丨1 1乾燥的第2乾 -25- (23) 1265336 燥工程（S 4 )。
首先，在第1塗布工程（S1)，如第10 - 1圖所示， 使基體3 0 0保持在第1液滴吐出裝置1 0 0的載台1 〇 6。使 第1液滴吐出裝置100的往復台103對載台106於γ軸方 向相對移動，藉由噴頭群114R、G、B，沿著γ軸方向將 R、G、B被吐出部3 02R、G、B每隔1個，即對R、B、G 、R、B、G、· · · ·被吐出部 302R、B、G、R、B、G 、· · · ·吐出R、G、B色的液狀材料丨丨丨。接著，使往 復台1 0 3對載台1 0 6於X軸方向（副掃描方向）僅噴頭群 1 1 4 R、G、B的描畫寬幅（有効掃描幅）相對移動之後， 同樣地，邊使其在Y軸方向相對移動邊藉由噴頭群丨丨4 R 、G、B對R、G、B被吐出部3 0 2R、G、B每隔1個吐出 液狀材料1 1 1。同樣的動作實行到基體3 〇 〇之所有塗布面 結束爲止。在第1乾燥工程（S2 )，以乾燥裝置（圖未表 示）使吐出到基體300的液狀材料丨〗〗乾燥。 在第2塗布工程（S3)，如第10—2圖所示，使基體 3〇〇保持在第2液滴吐出裝置10〇的載台ι〇6。使第2液 滴吐出裝置1 0 0的往復台1 〇 3對載台1 〇 6於γ軸方向相對 移動，藉由噴頭群114R、G、B，對未塗布液狀材料nl 的R、G、B被吐出部3 02，吐出液狀材料i丨丨。其次，使 往復台1 03對載台1 06於X軸方向（副掃描方向）僅噴頭 群H4R、G、B之描畫寬幅（有效掃描寬幅）相對移動之 後，同樣地，邊使其在γ軸方向相對移動邊藉由噴頭群 1 1 4 R 〇、B對未吐出液狀材料i丨丨的r、〇、b被吐出部 -26 - (24) 1265336 3 02R、G、B tl土出液狀材料ln。胃冑的動作實行到基體 3〇〇之所有塗布面結束爲止。在第2乾燥工程（s4)，以 乾燥裝置（圖未表示）使吐出到基體3⑽的液狀材料ii 乾燥。像這樣，在變形例，沿著γ軸方向對基體3〇〇的被 吐出部每隔1個塗布液狀材料丨丨丨使其乾燥之後，在未塗 布的被吐出部塗布液狀材料丨〗i的關係，而能防止在鄰接 的被吐出部間的混色。 (噴頭配列的變形例） 第1 1圖係說明噴頭1 1 4配列的變形例圖。在上述實 施例’其噴嘴列以平行於χ軸方向的方式，形成使噴頭 1 1 4 f合載於住復台1 〇 3的構成。對此，變形例中，如第1 1 圖所示，噴頭1 14的噴嘴列以對χ軸方向形成斜向的方式 ’使噴頭114搭載在往復台1〇3。各噴頭群ii4R、G、B 係具有兩個噴頭1 1 4。若以噴嘴列對χ軸方向形成斜向配 φ 列的話，就很容易進行高密度的描畫。 如以上說明，本實施例之液滴吐出裝置1 〇 〇，係具備 :保持基體300的載台106，與由一或複數的噴頭所形成 之分別吐出R、G、B色之液滴的R、g、B用的噴頭群 114R、G、B’與R、G、B用的噴頭群U4R、G、B以重 疊於Y軸方向的方式所保持的往復台1 0 3，使往復台1 0 3 對載台106於Y軸方向相對移時，以R、G、B用的噴頭 群1 14R、G、B，對基體3 00的R、G、B被吐出部，分別 吐出R、G、B色的液滴，就能以一次對Y軸方向的相對 -27- (25) 1265336 移動，描畫噴頭群之描畫寬幅內之所有R、G、B被吐出 部，可在一個工程對基體同時描畫R、G、B之三色。此 結果，在基體描畫R、G、B之三色的場合’可削減工程 數，減低製造成本。 〔光電裝置之製造〕 其次，使用本實施例之液滴吐出裝置100所製造的光 φ 電裝置（平面顯示器），以彩色濾光片、液晶顯示裝置、 有機EL裝置、PDP裝置、電子放射裝置（FED裝置、 SED裝置）等爲例，針對該些構造及其製造方法做說明。 首先，針對組裝於液晶顯示裝置和有機EL裝置等的 彩色濾光片之製造方法做說明。第1 2圖係表示彩色濾光 片之製造工程的流程圖，第1 3圖係按製造工程順序所示 的本實施例之彩色濾光片5 00 (濾光片基體500A)的模式 斷面圖。 φ 首先，在黑矩陣形成工程（S11)，如第13— 1圖所 示，於基板（W) 50 1上形成黑矩陣502。黑矩陣502係 藉由金屬鉻、金屬鉻與酸化鉻之積層體，或樹脂黑等所形 成。形成由金屬薄膜製成的黑矩陣5 02，可使用縣鍍法和 蒸鍍法等。而形成由樹脂薄膜製成的黑矩陣5 0 2之場合， 可使用凹版印刷法、微影法、熱轉印法等。 接著’於堤形成工程（S12)，以重疊在黑矩陣502 上的狀態形成堤503。即，先如第1 3 - 2圖所示，以覆蓋 基板5 0 1及黑矩陣5 0 2的方式形成由負型的透明感光性樹 -28- (26) 1265336 脂製成的光阻層5 04。並以矩陣圖案形狀所形成的遮罩薄 膜5 0 5被覆其上面的狀態進曝光處理。更如第1 3 - 3圖所 示，藉由鈾刻處理光阻層5 04之未曝光部分，使光阻層 504圖案化，形成堤5 03。再者，藉由樹脂黑形成黑矩陣 之場合，可兼用黑矩陣與堤。此堤5 03與其下的黑矩陣 502，係用以區隔各畫素區域5 07a的區隔壁部507b，於後 面的著色層形成工程，藉由噴頭114形成著色層（成膜部 )508R、5 08G、50 8B之際，用來規定機能液滴的著彈區 域。 藉由經過以上的黑矩陣形成工程及堤形成工程，得到 上述濾光片基體5 00A。再者，於本實施例中，堤503的 材料，使用塗膜表面爲疎液（疎水）性的樹脂材料。而且 基板（玻璃基板）5 01的表面爲親液（親水）性的關係， 於後述的著色層形成工程中，對圍於堤503 (區隔壁部 5〇7b )的各畫素區域5 07a內的液滴提昇著彈位置精度。 其次，在著色層形成工程（S13)，如第13 - 4圖所 示，藉由噴頭1 1 4吐出機能液滴使其著彈於以區隔壁部 5 07b圍起的各畫素區域507a內。此場合，使用噴頭1 14 ，導入R、G、B之三色的機能液（濾光片材料），進行 機能液滴的吐出。再者，R、G、B之三色的配列圖案爲 條狀配列、馬賽克配列及△配列等。 之後，經過乾燥處理（加熱等 處理）使機能液定著 ，形成三色之著色層50 8R、508G、508B。一旦形成著色 層508R、508G、508B，即移至保護膜形成工程（S14)， -29- (27) 1265336 如第13 — 5圖所示，以覆蓋基板501、區隔壁部5 07b、及 著色層508R、508G、508B之上面的方式形成保護膜509 。即，在形成基板501之著色層5 0 8R、5 0 8 G、508B的面 全體吐出保護膜用塗布液之後，經過乾燥處理形成保護膜 509 〇 而形成保護膜5 09之後，藉由在個有效畫素區域切斷 基板501，得到彩色濾光片500。 g 第14圖係表示使用上述彩色濾光片5 00的液晶顯示 裝置之其中一例的被動矩陣型液晶裝置（液晶裝置）之槪 略構成的主要部分斷面圖。在此液晶裝置5 20安裝液晶驅 動用1C、背光、支持體等之附帶要素，藉此得到屬於最終 製品的透過型液晶顯示裝置。再者，彩色濾光片500係與 第1 3圖所示者相同的關係，在對應的部位附上同一符號 ，其說明省略。 此液晶裝置520係藉由彩色濾光片500、以玻璃基板 0 等製成的對向基板521、及由被挾對在該些之間的STN ( Super Twisted Nematic)液晶組成物製成的液晶層5 22所 槪略構成，使彩色濾光片5 00配置在圖中上側（觀測者側 )。再者，雖然圖未表示，但在對向基板5 21及彩色濾光 片5 00之外面（與液晶層522側相反側的這面）分別配置 偏光板，並在位於對向基板521側的偏光板之外側，配設 背光。 在彩色濾光片5 00的保護膜5 09上（液晶層側），於 第1 4圖以特定間隔複數形成於左右方向爲長邊的矩形狀 -30- (28) 1265336 之第1電極523，覆蓋與此第1電極523之彩色濾光片 5 00側相反側之這面的方式形成第1配向膜524。另一方 面，在與對向基板5 2 1之彩色濾光片5 0 0面對面的這面， 以特定間隔複數形成在與彩色濾光片500之第1電極523 直角相交的方向爲長邊的矩形狀之第2電極526，覆蓋此 第2電極526的液晶層522側之這面的方式形成第2配向 膜527。該些第1電極523及第2電極526係藉由ITO( 0 Indium Tin Oxide)等之透明導電材料所形成。 設於液晶層5 22內的間隔片528，係使液晶層522的 厚度（晶胞間隙）形成保持一定的構件。而密封材529係 防止液晶層5 22內之液晶組成物漏出外部的構件。再者’ 第1電極5 2 3的一端部是當作拉回配線5 2 3 a而延伸到密 封材5 2 9的外側。而第1電極5 2 3與第2電極5 2 6交叉的 部分爲畫素，以彩色濾光片500 著色層5 08R、5 08G、 5 0 8B位於成爲此畫素之部分的方式被構成。 φ 在通常的製造工程，對彩色濾光片5 0 0施行第1電極 523的圖案化及第1配向膜524的塗布’製成彩色濾光片 5 0 0側的部分，同時有別於此的在對向基板5 2 1施行第2 電極5 26的圖案化及第2配向膜527的塗布，製作對向基 板5 2 1側的部分。之後，在對向基板5 2 1側的部分製作間 隔片5 2 8及密封材529，以此狀態使彩色濾光片500側的 部分貼合。其次，由密封材5 2 9的注入口注入構成液晶層 5 2 2的液晶，封閉注入口。之後’積層兩偏光板及背光。 本實施例之液滴吐出裝置1 〇 〇係例如可塗布構成上述 -31 - (29) 1265336 之晶胞間隙的間隔片材料（機能液），同時在使彩色濾光 片5 00側的部分貼合於對向基板521側的部分之前，在以 密封材5 2 9圍起的區域均勻地塗布液晶（機能液）。而上 述密封材5 2 9的印刷也能以噴頭1 1 4施行。進而，第1、 ‘第2兩配向膜5 2 4，5 2 7的塗布也能以噴頭1 1 4施行。 第1 5圖係表示使用本實施例所製造之彩色濾光片5 00 的液晶裝置之第2例的槪略構成的主要部分斷面圖。此液 φ 晶裝置5 3 0與上述液晶裝置520大不相同的點，在於將彩 色濾光片500配置在圖中下側（與觀測者側相反的這側） 的這點。該液晶裝置5 3 0係在彩色濾光片500與由玻璃基 板等製成的對向基板5 3 1之間挾對由S TN液晶製成的液晶 層532所槪略構成。再者，圖未表示，但在對向基板531 及彩色濾光片500的外面，分別配設偏光板等。 在彩色濾光片5 00之保護膜5 09上（液晶層5 3 2側） ，以特定間隔複數形成於圖中深度向爲長邊的矩形狀的第 φ 1電極5 3 3，以覆蓋此第1電極5 3 3的液晶層5 3 2側的面 的方式形成第1配向膜534。在與對向基板531之彩色濾 光片5 00面對面的面上，係以特定間隔形成延伸於與彩色 濾光片5 00側之第1電極5 3 3直角相交之方向的複數矩形 狀之第2電極5 3 6，以覆蓋此第2電極5 3 6之液晶層5 3 2 側的面的方式形成第2配向膜5 3 7。 在液晶層5 32，係設有：使此液晶層5 3 2的厚度保持 一定的間隔片5 3 8、與防止液晶層5 3 2內的液晶組成物漏 出外部的密封材5 3 9。而與上述之液晶裝置52〇同樣地， -32- (30) 1265336 第1電極5 3 3與第2電極5 3 6之交叉的部分爲畫素，以彩 色濾光片500的著色層508R、508G、508B位於形成此畫 素的部位的方式所構成。 第16圖係表示使用應用本發明之彩色濾光片5 00構 成液晶裝置的第3例，表示透過型之TFT ( THin Film Transistor )型液晶裝置的槪略構成的分解立體圖。此液 晶裝置5 50係使彩色濾光片5 00配置在圖中上側（觀測者 φ 側）。 此液晶裝置55 0係藉由：彩色濾光片5 00、以面對於 此的方式被配置的對向基板5 5 1、被挾持在該些之間之圖 未表示的液晶層、配置在彩色濾光片500之上面側（觀測 者側）的偏光板5 5 5、配設在對向基板5 5 1之下面側的偏 光板（圖未表示）所槪略構成。在彩色濾光片500之保護 膜5 0 9的表面（對向基板5 5 1側之面），形成液晶驅動用 的電極5 56。此電極5 5 6係由ITO等之透明導電材料製成 φ ，成爲覆蓋形成後述之畫素電極5 60的區域全體的全面電 極。並以覆蓋與此電極5 5 6之畫素電極5 60相反側之面的 狀態設置配向膜5 5 7。 在與對向基板5 5 1之彩色濾光片5 0 0面對面的這面’ 形成絕緣層5 5 8，在此絕緣層5 5 8上，以掃描線5 6 1及訊 號線5 62爲互相直角相交的狀態而形成。而在圍於該些掃 描線561與訊號線5 62的區域內，形成畫素電極56〇。再 者，實際的液晶裝置，係是在畫素電極5 60上設置配向膜 ，但圖示省略。 -33- (31) 1265336 而在圍於畫素電極5 6 0之缺口部與掃描線5 6 1、訊號 線5 62的部分，組裝具備源極電極、汲極電極、半導體、 及閘極電極的薄膜電晶體5 63所構成。而藉由對掃描線 5 6 1與訊號線5 62施加訊號，而打開 關閉薄膜電晶體 5 63對畫素電極5 60施行通電控制的方式所構成。 再者，上述之各例的液晶裝置520、5 3 0、5 5 0係透過 型的構成，但也可設置反射層或半透過反射層，作爲反射 φ 型之液晶裝置或半透過反射型的液晶裝置。 其次，第1 7圖係有機EL裝置之顯示區域（以下簡稱 顯示裝置600)之主要部分斷面圖。 此顯示裝置600係以在基板（W) 601上積層電路元 件部602、發光元件部60 3及陰極604的狀態所槪略構成 。於此顯示裝置600，係以由發光元件部603發射到基板 6〇1側的光，透過電路元件部602及基板601射出到觀測 者側，同時由發光元件部603發射到基板60 1之相反側的 φ 光經由陰極604被反射之後，透過電路元件部602及基板 60 1射出到觀測者側的方式所形成。 於電路元件部602與基板601之間，形成由矽氧化膜 製成的基層保護膜606，在該基層保護膜606上（發光元 件部603側）形成由多結晶矽製成的島狀半導體膜607。 在該半導體膜607的左右區域，藉由高濃度陽離子植入法 分別形成源極區域607a及汲極區域607b。而未植入陽離 子的中央部即成爲通道區域607c。 並在電路元件部602，形成覆蓋基層保護膜606及半 -34- (32) 1265336 導體膜607之透明的閘極絕緣膜608，在對應此閘極絕緣 膜608上的半導體膜607的通道區域607c的位置，係形 成例如由Al、Mo、Ta、Ti、W等所構成的閘極電極609。 在此閘極電極609及閘極絕緣膜608上，形成透明的第1 層間絕緣膜6 1 1 a與第2層間絕緣膜6 1 1 b。並貫通第1、 第2層間絕緣膜6 1 1 a、6 1 1 b，而形成分別連通於半導體膜 607之源極區域 607a、汲極區域 607b的接觸孔 612a， 612b 〇 而在第2層間絕緣膜6 1 1 b上，以特定形狀圖案化而 形成由ITO等製成的透明畫素電極613，此畫素電極613 係通過接觸孔612a連接於源極區域607a。而於第1層間 絕緣膜6 1 1 a上配設電源線6 1 4，此電源線6 1 4係通過接觸 孔612b連接於汲極區域607b。 像這樣，於電路元件部602，分別形形連接於各畫素 電極6 1 3之驅動用的薄膜電晶體6 1 5。 上述發光元件部603係藉由：積層在複數畫素電極 613上之各個的機能層617、配備在各畫素電極613及機 能層6 1 7之間用以區隔各機能層6 1 7的堤部6 1 8所槪略構 成。藉由該些畫素電極6 1 3、機能層6 1 7、及配設於機能 層617上的陰極6 04而構成發光元件。再者，畫素電極 6 1 3係以平面視之略矩形狀被圖案化所形成，於各畫素電 極6 1 3之間形成堤部6 1 8。 堤部61 8係藉由：例如利用SiO、Si02、Ti02等之無 機材料所形成的無機物堤層6 1 8 a (第1堤層）、積層在此 -35- (33) 1265336 無機物堤層6 1 8a上之利用丙烯樹脂、聚醯亞胺樹脂等 耐熱性、耐溶媒性優的光阻劑所形成之斷面梯形的有機物 堤層6 1 8b (第2堤層）所構成。此堤部6 1 8的一部分係以 上載於畫素電極6 1 3之周緣部上的狀態所形成。而在各堤 部6 1 8之間，係形成對畫素電極6 1 3向上逐漸擴開的開口 部 6 1 9。 上述機能層6 1 7係於開口部6 1 9內，藉由：以積層狀 • 態形成在畫素電極6 1 3上的電洞注入/輸送層6 1 7a、形成 在此電洞注入/輸送層617a上的發光層617b所構成。再 者，進而也可形成鄰接於此發光層617b，具有其他機能的 其他機能層。例如也可形成電子輸送層。 電洞注入/輸送層6 1 7a係具有由畫素電極6 1 3側輸 送電洞注入到發光層617b的功能。此電洞注入/輸送層 6 1 7 a係以吐出包含電洞注入/輸送層形成材料的第1組成 物（機能液）所形成。電洞注入/輸送層形成材料係例如 • 使用亞乙基二氧硫代酚等之聚噻吩衍生物與聚苯乙烯磺酸 等的混合物。 發光層61 7b係發出紅色（R )、綠色（G )或藍色（ B )之任何色的光，以吐出包含發光層形成材料（發光材 料）的第2組成物（機能液）所形成。而第2組成物的溶 媒（非極性溶媒），以對電洞注入/輸送層1 20a不溶解 的溶媒爲佳，例如可使用環己基苯、二羥基苯并呋喃、三 甲基苯、四甲基苯等。藉由使此種的非極性溶媒用於發光 層617b的第2組成物，就不會使電洞注入/輸送層617a -36- (34) 1265336 再溶解，而形成發光層617b。 而在發光層617b係以利用發光層再結合由電洞注入 /輸送層617a所注入的電洞與由陰極604所注入的電子 產生發光的方式所構成。 陰極604係以覆蓋發光元件部603之全面的狀態所形 成，與畫素電極6 1 3成對，而達到於機能層6 1 7流動電流 的效果。再者，於此陰極604的上部，配置圖未表示的密 封構件。 其次，參照第18圖〜第26圖說明上述的顯示裝置 600之製造工程。 此顯示裝置6 0 0，如第1 8圖所示，經過堤部形成工程 (S21 )、表面處理工程（S22 )、電洞注入/輸送層形成 工程（S23 )、發光層形成工程（S24 )、及對向電極形成 工程（S 2 5 )所製造。再者，製造工程不限於例示，配合 需要，除其他工程外之場合，還有追加之場合。 φ 首先，在堤部形成工程（S2 1 )，如第1 9圖所示’在 第2層間絕緣膜6 1 1 b上形成無機物堤層6 1 8 a。此無機物 堤層618a係在形成位置形成無機物膜之後，使該無機物 膜藉由微影技術等進行圖案化，藉此所形成。此時’無機 物堤層618a的一部分係以與畫素電極613之周緣部重疊 的方式所形成。一旦形成無機物堤層61 8a ’即如第20圖 所示，在無機物堤層6 1 8 a上形成有機物堤層6 1 8 b。此有 機物堤層6 1 8 b也與無機物堤層6 1 8 a同樣地藉由微影技術 等圖案化所形成。像這樣而形成堤部6 1 8。而隨此’在各 37- (35) 1265336 堤部6 1 8間’係對畫素電極6 1 3形成於上方開口的開口部 6 1 9。此開口部6 1 9係規定畫素區域。 在表面處理工程（S22 )，施行親液化處理及撥液化 處理。施行親液化處理的區域係無機物堤層6 1 8 a的第1 積層部618aa及畫素電極613的電極面613a，該些區域係 藉由例如以氧爲處理氣體的電漿處理而親液性地表面處理 。此電漿處理也兼具畫素電極613之ITO的洗淨等。而撥 液化處理係施於有機物堤層6 1 8 b的壁面6 1 8 s及有機物堤 層618b的上面61 8t，藉由例如以四氟化甲烷爲處理氣體 的電漿處理使表面氟化處理（撥液性地處理）。藉由施行 此表面處理工程，於使用噴頭1 1 4形成機能層6 1 7之際， 能使機能液滴更確實地著彈於畫素區域，而防止著彈於畫 素區域的機能液滴由開口部6 1 9溢出。 而藉由經過以上的工程，得到顯示裝置基體600A。 此顯示裝置基體600A係載置於第1圖所示的液滴吐出裝 φ 置100的X軸載台25，施行以下的電洞注入/輸送層形 成工程（S23)及發光層形成工程（S24)。 如第21圖所示，在電洞注入/輸送層形成工程（S23 )，係由噴頭114使包含電洞注入/輸送層形成材料的第 1組成物吐出到畫素區域的各開口部619內。之後，如第 22圖所示，施行乾燥處理及熱處理，使包含於第1組成物 的極性溶媒蒸發，於畫素電極（電極面6 1 3 a ) 6 1 3上形成 電洞注入/輸送層6 1 7 a。 其次，針對發光層形成工程（S24 )做說明。在此發 -38- (36) 1265336 光層形成工程，如上述，爲防止電洞注入/輸送層6 1 7a 再溶解，於發光層形成之際所用的第2組成物的溶媒，使 用對電洞注入/輸送層6 1 7a不溶解的非極性溶媒。 且在其中一方，電洞注入/輸送層617a係對非極性 溶媒之親和性低的緣故，即使將包含非極性溶媒的第2組 成物吐出到電洞注入/輸送層617a上，有使電洞注入/ 輸送層617a與發光層617b無法密著，或者發光層617b φ 無法均勻塗布之虞。於是，爲了提高對非極性溶媒及發光 層形成材料的電洞注入/輸送層6 1 7a之表面的親和性， 於發光層形成之前施行表面處理（表面改質處理）爲佳。 此表面處理係藉由與發光層形成之際所用的第2組成物的 非極性溶媒同一溶媒或類似於此的溶媒的表面改質材，塗 布在電洞注入/輸送層617a上，使這個乾燥所施行。施 以此種的處理，電洞注入/輸送層617a的表面變得很容 易適應非極性溶媒，在之後的工程，能將包含發光層形成 • 材料的第2組成物均勻地塗布於電洞注入/輸送層6 1 7a。 而其次，如第23圖所示，以含有對應各色中的任一 色（第23圖之例爲藍色（B))的發光層形成材料的第2 組成物爲機能液滴特定量植入畫素區域（開口部6 1 9 )內 。植入於畫素區域內的第2組成物，係擴散於電洞注入/ 輸送層617a上而塡滿於開口部619內。冉者，萬一第2 組成物由畫素區域錯開著彈於堤部618的上面61 8t上之 場合，因此上面61 8t係如上述施行撥液處理，第2組成 物變得很容易滾入開口部6 1 9內。 -39- (37) 1265336 之後，根據施行乾燥工程等的情形，將吐出後的第2 組成物進行乾燥處理，使含於第2組成物的非極性溶媒蒸 發，如第24圖所示，於電洞注入/輸送層617a上形成發 光層6 1 7b 形成。此圖的情形，形成對應藍色（B )·的發 光層617b。 同樣地，使用噴頭1 14，如第25圖所示，依次序施行 與對應上述之藍色（B )的發光層6 1 7b之情形同樣的工程 ’形成對應其他色（紅色（R )及綠色（G ))的發光層 6 17b。再者，發光層617b的形成順序並不限於例示的順 序，以哪一種順序形成均可。例如也可決定對應發光層形 成材料所形成的順序。而R、G、B之三色的配列圖案， 屬條狀配列、馬賽克配列及△配列等。 如以上，在畫素電極6 1 3上形成機能層6 1 7，即形成 電洞注入/輸送層617a及發光層617b。並移行至對向電 極形成工程（S25 )。 在對向電極形成工程（S25 )，如第26圖所示，在發 光層617b及有機物堤層618b的全面，例如藉由蒸鍍法、 濺鍍法、CVD法等形成陰極604 (對向電極）。此陰極 604，係於本實施例例如積層鈣層與鋁層所構成。在此陰 極604的上部，適當設置作爲電極的A1膜、Ag膜和欲防 止其氧化的Si02、SiN等的保護層。 像這樣形成陰極604之後，使此陰極604的上部藉由 密封構件形成密封的密封處理和施行配線處理等之其他處 理等，藉此得到顯示裝置600。 -40- (38) 1265336 其次，第27圖係電漿型顯示裝置（PDP裝置：以下 簡稱顯示裝置700 )之主要部分分解立體圖。再者，在同 圖’以顯示裝置700其一部分爲缺口的狀態而示之。此顯 示裝置700係包括：互相面對面所配置的第1基板701、 第2基板7 0 2、及形成在該些之間的放電顯示部7 0 3所槪 略構成。放電顯示部703係藉由複數的放電室705所構成 。該複數的放電室705中，以紅色放電室705R、綠色放 電室705G、藍色放電室705B之三個放電室705爲一組而 構成一個畫素方式所配置。 於第1基板70 1的上面，以特定間隔條狀地形成位址 電極706，以覆蓋此位址電極706與第1基板701之上面 的方式形成介電質層7 0 7。於介電質層7 0 7上，係以位於 各位址電極706之間，且沿著各位址電極706的方式立設 隔壁7 0 8。此隔壁7 0 8係如圖所示包括：延伸設在位址電 極706之寬幅方向兩側，及延伸設在與位址電極706直角 相交之方向之圖未表示。而藉由此隔壁70 8所間隔的區域 即爲放電室7 0 5。 於放電室705內配置螢光體709。螢光體709係發出 紅（R )、綠（G )、藍（B )之任何色的螢光，分別於紅 色放電室705R的底部配置紅色螢光體709R，於綠色放電 室705G的底部配置綠色螢光體709G，於藍色放電室 705B的底部配置藍色螢光體709B。 於第2基板7 0 2之圖中下側的面，係在與上述位址電 極7 0 6直角相交的方向，以特定間隔條紋狀地形成複數的 -41 - (39) 1265336 顯示電極711。並以覆蓋該些的方式形成介電質層712、 及由MgO等製成的保護膜713。第1基板701與第2基板 7 0 2係以互相直角相交的狀態使位址電極7 0 6與顯示電極 711面對面而貼合。再者，上述位址電極706與顯示電極 7 1 1係連接於圖未表示的交流電源。而藉由通電於各電極 706、711，於放電顯示部703使螢光體709產生激勵發光 ，就可彩色顯示。 (I 於本實施例，可使用第1圖所示的液滴吐出裝置1 00 形成上述位址電極706、顯示電極711、及螢光體709。以 下，以第1基板7 0 1的位址電極7 0 6的形成工程爲例示。 ，此時，以第1基板701載置於液滴吐出裝置100之X軸 載台25的狀態，施行以下的工程。首先，藉由噴頭114 使含有導電膜配線形成用材料的液體材料（機能液）當作 機能液滴而著彈於位址電極形成區域。此液體材料係當作 導電膜配線形成用材料，使金屬等之導電性微粒子分散於 φ 分散媒。此導電性微粒子係使用含有金、銀、銅、鈀、或 鎳等的金屬微粒子和導電性聚合物等。 若在補充對象的所有位址電極形成區域結束液體材料 的補充，即乾燥處理吐出後的液體材料，使含於液體材料 的分散媒蒸發，藉此形成位址電極706。 可是，於上述中，以位、址電極706之形成爲例示，但 可於上述顯示電極71 1及螢光體709經過上述各工程，藉 此所形成。 顯示電極71 1之形成的場合，與位址電極706的場合 -42- (40) 1265336 同樣地，使含有導電膜配線形成用材料的液體材料 液）作爲機能液滴而著彈於顯示電極形成區域。 而於螢光體709之形成的場合，使含有對應各 ' G、B)之螢光材料的液體材料（機能液）由噴頭 爲液滴而吐出，著彈於對應之色的放電室705內。 其次，第28圖係電子放射裝置（FED裝置： 稱顯示裝置8 00 )之主要部分斷面立體圖。再者， H ’以顯示裝置800其一部分爲斷面而示之。該顯 8〇〇係包括：互相面對面而配置的第1基板801、！ 板802、及形成在該些之間的場致發射顯示部803 構成。場致發射顯示部803係藉由矩陣狀配置的複 放射部8 0 5所構成。 在第1基板8 01的上面，係以相互直角相交的 成構成負極電極806的第1元件電極806a及第2 極806b。而在以第1元件電極806a及第2元件電才 φ 間隔的部分，構成形成間隙808的元件膜807。即 第1元件電極806a、第2元件電極806b及元件膜 成複數的電子放射部8 0 5。元件膜8 0 7係例如以氧 PdO )等所構成，而間隙808係成膜元件膜807之 模製等所形成。 在第2基板802的下面，形成與負極電極806 陽極電極809。在陽極電極809的下面，形成格子 部8 1 1，在以此堤部8 1 1所圍起之向下的各開口部 對應電子放射部805的方式配置螢光體813。螢光 (機能 •色（R 114成 以下簡 在同圖 示裝置 春2基 所槪略 數電子 方式形 元件電 亟 8 0 6 b ，藉由 807構 化鈀（ 後，以 對峙的 狀的堤 812， 體813 -43- (41) 1265336 係發出紅（R )、綠（G )、藍（B )之任何色的螢光，在 各開口部8 1 2以特定圖案配置紅色螢光體8 1 3 R、綠色螢 光體813G及藍色螢光體813B。 而像這樣所構成的第1基板8 01與第2基板8 0 2，係 存在微小的間隙而貼合。在此顯示裝置8 0 0，透過元件膜 (間隙808) 807使由陰極之第1元件電極806a或第2元 件電極806b飛出的電子，接觸於形成在陽極之陽極電極 φ 809的螢光體813，產生激勵發光就能彩色顯示。 此場合也與其他實施例同樣地，使用液滴吐出裝置 1〇〇形成第1元件電極806a、第2元件電極806b及陽極 電極809，同時使用液滴吐出裝置100形成各色的螢光體 813R ， 813G ， 813B 。 而其他的光電裝置，除金屬配線形成、壓製形成、光 阻劑形成及光擴散體形成等外，可考慮包含預備（ preparation)形成的裝置。藉由上述的液滴吐出裝置1〇〇 • 應用於各種之光電裝置（設備）的製造，可有效率製造各 種的光電裝置。 〔對電子機器之應用〕 其次，針對可應用有關本發明之光電裝置的電子機器 之具體例參照第29圖做說明。第29 - 1圖係表示有關本 發明之光電裝置應用於可搬型之個人電腦（所謂的筆記型 電腦）900之顯示部的例子的立體圖。如同圖所示，個人 電腦900係具備：具備有鍵盤901的本體部902，與應用 -44- (42) 1265336 有關本發明之光電裝置的顯示部903。第29 - 2圖係表示 有關本發明之光電裝置應用於攜帶式電話機950之顯示部 的例子的立體圖。如同圖所示，攜帶式電話機950係除複 數的操作按鈕951外，具備與受話口 952、發話口 95 3 — 同應用於有關本發明之光電裝置的顯示部954。 有關本發明之光電裝置，係除上述之攜帶式電話機和 筆記型電腦以外，也可廣泛應用於所謂PDA ( Personal φ Digital Assistants)的攜帶型資訊機器、個人電腦、工作 站、數位相機、車輛用監視器、數位攝影機、液晶電視、 觀景型、監視直視型的錄影機、汽車導航裝置、呼叫器、 電子記事簿、計算機、文書處理器、工作站、影像電話機 、及POS終端機等的電子機器。 〔產業上的可利用性〕 有關本發明之液滴吐出裝置，係可廣泛應用於工業上 • 之各種領域的成膜。而有關本發明之光電裝置係可廣泛利 用於有機EL電激發光、液晶顯示裝置、有機TFT顯示裝 置、電漿顯示裝置、電泳顯示裝置、電子放射顯示裝置（ Field Emission Display 及 Surface-Conduction Electoron-Emitter Display等）、LED (發光二極體）顯示裝置、電 色調光玻璃裝置及電子報裝置的光電裝置。而有關本發明 之電子機器，係可廣泛利用於攜帶式電話機、所謂PDA ( Personal Digital Assistants)的攜帶型資訊機器、攜帶型 個人電腦、個人電腦、工作站、數位相機、車輛用監視器 -45- (43) 1265336 、數位攝影機、液晶電視、觀景型、監視直視型的錄影機 、汽車導航裝置、呼叫器、電子記事簿、計算機、文書處 理器、工作站、影像電話機、及POS終端機等的電子機器 【圖式簡單說明】 〔第1圖〕表示有關實施例之液滴吐出裝置的模式圖 〔第2圖〕表示有關實施例之往復台的模式圖。 〔第3圖〕表示有關實施例之噴頭的模式圖。 〔第4 - 1圖〕表示有關實施例之噴頭的吐出部的模 式圖。 〔第4 - 2圖〕表示有關實施例之噴頭的吐出部的模 式圖。 〔第5圖〕表示有關實施例之噴頭群的噴頭的相對位 φ 置關係的模式圖。 〔第6圖〕表示有關實施例之控制部的模式圖。 〔第7 - 1圖〕表示有關實施例之噴頭驅動部的模式 圖。 〔第7 - 2圖〕表示有關實施例之噴頭驅動部的驅動 訊號、選擇訊號及吐出訊號的定時圖。 〔第8圖〕說明有關實施例之液滴吐出裝置之塗布方 法的其中一例的說明圖。 〔第9圖〕說明塗布方法之變形例的流程圖。 -46- (44) 1265336 〔第1 〇 — 1圖〕說明塗布方法之變形例的模式圖。 〔第1 0 — 2圖〕說明塗布方法之變形例的模式圖。 〔第1 1圖〕表示噴頭配列之變形例的模式圖。 〔第1 2圖〕說明彩色濾光片製造工程的流程圖。 〔第1 3 — 1圖〕製造工程順序所示的彩色濾光片的模 式斷面圖。 〔第1 3 — 2圖〕製造工程順序所示的彩色濾光片的模 JI 式斷面圖。 〔第1 3 — 3圖〕製造工程順序所示的彩色濾光片的模 式斷面圖。 〔第1 3 - 4圖〕製造工程順序所示的彩色濾光片的模 式斷面圖。 〔第1 3 — 5圖〕製造工程順序所示的彩色濾光片的模 式斷面圖。 〔第1 4圖〕表示使用有關實施例之彩色濾光片的液 φ 晶裝置之槪略構成的主要部分斷面圖。 〔第15圖〕表示使用有關實施例之彩色濾光片的第2 例之液晶裝置的槪略構成的主要部分斷面圖。 〔第1 6圖〕表示使用有關實施例之彩色濾光片的第3 例之液晶裝置的槪略構成的主要部分斷面圖。 〔第17圖〕有機EL裝置之顯示裝置的主要部分斷面 圖。 〔第1 8圖〕說明有機EL裝置之顯示裝置的製造工程 的流程圖。
-47- (45) 1265336 〔第1 9圖〕說明無機物堤層之形成的工程圖。 〔第20圖〕說明有機物堤層之形成的工程圖。 〔第2 1圖〕說明形成電洞注入/輸送層之過程的工 程圖。 〔第22圖〕說明電洞注入/輸送層形成之狀態的工 程圖。 〔第23圖〕說明形成藍色發光層之過程的工程圖。 〔第24圖〕說明藍色發光層形成之狀態的工程圖。 〔第25圖〕說明各色發光層形成之狀態的工程圖。 〔第26圖〕說明陰極之形成的工程圖。 〔第27圖〕電漿型顯示裝置（PDP裝置）之顯示裝 置的主要部分分解立體圖。 〔第28圖〕電子放射裝置（FED裝置）之顯示裝置 的主要部分斷面圖。 〔第29 - 1圖〕具備有關實施例之光電裝置的電腦之 •立體圖。 〔第29 - 2圖〕具備有關實施例之光電裝置的攜帶式 電話機的立體圖。 【主要元件符號說明】 1〇〇 :液滴吐出裝置 102 :吐出掃描部 1〇3 :往復台 104 :第1位置控制裝置 -48 - (46) (46)1265336 106 :載台 1 0 8 :第2位置控制裝置 1 11 :液狀材料 1 1 2 :控制部 1 1 4 :噴頭 1 1 4 G :噴頭群 1 1 6 A，1 1 6 B :噴嘴列
1 1 8 R :基準噴嘴 124 :振盪器 124A，124B ：電極 124C :壓電元件 127 :吐出部 203 :驅動訊號生成部 2 0 8 :噴頭驅動部