CN101352962A - 液状体的喷出方法、滤色片的制造方法、有机el元件的制造方法 - Google Patents

液状体的喷出方法、滤色片的制造方法、有机el元件的制造方法 Download PDF

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Abstract

本发明提供向膜形成区域每一个能够稳定地喷出必要量的液状体的液状体的喷出方法、及适用了该液状体的喷出方法的滤色片的制造方法、有机EL元件的制造方法。在液状体的喷出方法中，具有：同步于对置配置多个喷嘴和具有膜形成区域(2)的被喷出物，使该多个喷嘴和被喷出物(2)相对移动的扫描，向在喷嘴每一个设置的能量产生机构施加以分时产生的多个驱动波形的一部分，从多个喷嘴将含有功能性材料的液状体作为液滴向膜形成区域喷出的喷出工序。在喷出工序中，在所述扫描中，向由多个喷嘴构成的喷嘴列中与膜形成区域(2)有关的相邻的喷嘴的能量产生机构施加多个驱动波形中的相互不同的喷出时序的驱动波形，并且，以使被施加的能量产生机构的数量在驱动波形每一个中为相同数量的方式，设定驱动波形的组合。

Description

液状体的喷出方法、滤色片的制造方法、有机EL元件的制造方法
技术领域
本发明涉及含有功能性材料的液状体的喷出方法、使用其的滤色片的制造方法、有机EL元件的制造方法。
背景技术
作为含有功能性材料的液状体的喷出方法，知道有将含有滤色片材料的液状体向基板喷出，从而制造滤色片的方法(专利文献1)。
在上述滤色片的制造方法中，以沿规定的方式排列喷嘴列的方式，使具有能够将液状体作为液滴喷出的多个喷嘴的液滴喷出头与基板对置。还有，采用了在从位于喷嘴列的两端部的规定区域的喷嘴(未使用喷嘴)不喷出液状体的状态下，使基板和液滴喷出头相对移动，同时，从喷嘴(使用喷嘴)向基板上的规定的位置喷出液状体，形成滤色片的方法。由此，不使用位于喷嘴列的两端部的规定区域的喷出量较多的喷嘴而进行液状体的喷出，因此，能够更均一地喷出液状体。
然而，从上述液滴喷出头的多个喷嘴喷出的液滴的喷出量实际上在喷嘴之间存在不均。若该不均大，则在喷出后形成的薄膜上产生不均，例如，在滤色片的情况下，存在色不均所谓的问题。
作为该喷嘴间的喷出量的不均的原因，可以举出在向将液状体从喷嘴作为液滴喷出的能量产生机构(例如，压电元件或加热元件等)施加驱动电压时，驱动电压发生不均的所谓电串扰。另外，可以举出由于每一个喷嘴中被供给液状体的流路不同，导致喷出液滴的压力或速度在喷嘴间不同的所谓的机械串扰。
作为防止这样的串扰现象的发生的方法，知道有向邻接的喷嘴每一个(能量产生机构)输入不同驱动波形，使时期不同地驱动的喷墨式印刷方法(专利文献2)。
【专利文献1】特开2003-159787号公报
【专利文献2】特开平10-193587号公报
然而，即使考虑串扰现象，向邻接的喷嘴(能量产生机构)每一个输入不同的驱动波形，施加驱动波形的能量产生机构的数量有时根据驱动波形每一个变动。因此，与液滴的喷出有关的电负荷根据驱动波形每一个变动，驱动波形的衰减方式变化。从而，由于每个驱动波形的衰减方式，导致喷出的液滴的喷出量的偏差在喷嘴间发生的问题。因此，存在难以将必要量的液状体向希望的区域稳定地喷出的问题。
发明内容
本发明是为了解决上述问题的至少一部分而做成的，能够通过以下的方式或适用例来实现。
[适用例1]本适用例的液状体的喷出方法，具有：同步于对置配置多个喷嘴和具有膜形成区域的被喷出物，使该多个喷嘴和被喷出物相对移动的扫描，向在所述喷嘴每一个设置的能量产生机构施加以分时产生的多个驱动波形的一部分，从所述多个喷嘴将含有功能性材料的液状体作为液滴向所述膜形成区域喷出的喷出工序，所述液状体的喷出方法的特征在于，在所述喷出工序中，在所述扫描中，向由所述多个喷嘴构成的喷嘴列中与所述膜形成区域有关的相邻的喷嘴的所述能量产生机构施加所述多个驱动波形中的相互不同的喷出时序的驱动波形，并且，以使被施加的所述能量产生机构的数量在所述驱动波形每一个中为相同数量的方式，设定所述不同的喷出时序的驱动波形的组合。
根据该方法可知，在喷出液滴时，避免与膜形成区域有关的相邻的喷嘴的能量产生机构中的电串扰，且使施加驱动波形的能量产生机构的数量在驱动波形每一个中为相同数量，因此，能够均一化电负荷引起的驱动波形每一个的衰减。即，根据这样的不同的喷出时序的驱动波形的组合可知，能够减少喷嘴间的喷出特性不均引起的液滴的喷出量的偏差，能够将液状体以稳定的喷出量向膜形成区域喷出。
[适用例2]在上述适用例的液状体的喷出方法中，优选在所述喷出工序中，在所述扫描中，至少改变一次所述不同的喷出时序的驱动波形的组合。
根据该方法可知，将同一驱动波形的组合适用于与膜形成区域有关的喷嘴的能量产生机构，与反复喷出液滴的情况相比，至少改变一次不同的喷出时序的驱动波形的组合，因此，喷嘴间的喷出特性不均引起的液滴的喷出量的偏差在扫描的中途变化。从而，能够减少喷出的液滴的喷出量的偏差引起的扫描方向的条纹状喷出部件。
[适用例3]在上述适用例的液状体的喷出方法中，在所述喷出工序中，进行多次所述扫描，从所述多个喷嘴向所述膜形成区域喷出所述液滴，使在每一次所述扫描中施加于与所述膜形成区域有关的相邻的喷嘴的所述能量产生机构的所述不同的喷出时序的驱动波形的组合不相同也可。
根据该方法可知，在多次扫描的每一次中，使施加于与膜形成区域有关的喷嘴的能量产生机构的不同的喷出时序的驱动波形的组合不相同，因此，能够进一步减少扫描方向中的条纹状喷出不均。
[适用例4]在上述适用例的液状体的喷出方法中，所述被喷出物至少具有沿所述扫描的方向排列的多个所述膜形成区域，在所述喷出工序中，使施加于所述相邻的喷嘴的所述能量产生机构的所述不同的喷出时序的驱动波形的组合根据喷出的异种所述液状体每一个而不相同也可。
根据该方法可知，在将异种液状体向对应的膜形成区域喷出的情况下，根据液状体的种类每一个，使施加于与膜形成区域有关的喷嘴的能量产生机构的不同的喷出时序的驱动波形的组合不相同，因此，能够将沿扫描方向喷出的液滴的喷出量的偏差分散于异种液状体每一个。即，即使从多个喷嘴喷出异种液状体，扫描方向上的条纹状喷出不均不严重。
[适用例5]在上述适用例的液状体的喷出方法中，优选所述被喷出物至少具有：沿所述扫描的方向排列的多个所述膜形成区域、和划分所述膜形成区域的划分区域，在所述喷出工序中，在所述扫描中，不使用与所述划分区域有关的喷嘴及/或设想为在喷出液滴时所述液滴的一部分着附于所述划分区域的喷嘴，仅将使用喷嘴作为所述不同的喷出时序的驱动波形的组合的对象。
根据该方法可知，在将液状体作为液滴向膜形成区域喷出时，将相对于使用的喷嘴建立的与多个驱动波形的关系作为喷出数据的一部分生成即可，因此，与对所有喷嘴建立关系的情况相比，能够简略化喷出数据。
[适用例6]在上述适用例的液状体的喷出方法中，所述被喷出物至少具有沿所述扫描的方向排列的多个所述膜形成区域，在所述喷出工序中，使施加于所述相邻的喷嘴的所述能量产生机构的所述不同的喷出时序的驱动波形的组合根据所述膜形成区域每一个而不相同也可。
根据该方法可知，能够在膜形成区域每一个中分散伴随不同的喷出时序的驱动波形的组合的选择的、扫描方向上的液滴的喷出量的偏差。即，能够在膜形成区域每一个抑制扫描方向上的条纹状喷出不均，能够使其难以显著。
[适用例7]在上述适用例的液状体的喷出方法中，在所述喷出工序中，分别从所述相邻的喷嘴在所述扫描的方向上向所述膜形成区域每一个喷出多个所述液滴，使施加于所述相邻的喷嘴的所述能量产生机构的所述不同的喷出时序的驱动波形的组合在每次所述液滴的喷出时不相同。
根据该方法可知，能够将驱动波形的组合的选择的、扫描方向上的液滴的喷出量的偏差分散于每一次液滴的喷出时。即，能够按每一次液滴的喷出时抑制扫描方向上的条纹状喷出不均，能够更难以显著。
[适用例8]在上述适用例的液状体的喷出方法中，其特征在于，向所述能量产生机构施加以规定的周期产生的所述多个驱动波形中的一部分。
根据该方法可知，以规定的周期向与膜形成区域有关的相邻的喷嘴施加喷出时序不同的驱动波形。从而，避免电串扰，并且，喷出时序间的喷出条件相同，在扫描方向上，能够使液滴的喷出量稳定化。
[适用例9]在上述适用例的液状体的喷出方法中，向所述能量产生机构施加在一个周期内产生的所述多个驱动波形中的一部分也可。
根据该方法可知，避免电串扰，并且，在一个周期内，能够从相邻的喷嘴向膜形成区域喷出多个液滴。即，能够在更短时间内向膜形成区域喷出规定量的液状体。
[适用例10]在上述适用例的液状体的喷出方法中，向所述能量产生机构施加非周期性产生的所述多个驱动波形中的一部分也可。
根据该方法可知，根据喷出时序每一个，喷出条件不同，因此，在扫描方向上，发生液滴的喷出量的变动。由此，除了喷嘴间的喷出特性的不均引起的喷出量的变动之外，附加扫描方向的喷出量的变动，从而能够分散二维喷出量的变动。这样二维分散的喷出不均与条纹(一维)喷出不均相比，视觉辨认性低，因此，其结果，起到喷出不均难以显著的效果。
[适用例11]本适用例的滤色片的制造方法，其是在基板上划分形成的多个膜形成区域具有至少三色的着色层的滤色片的制造方法，其特征在于，包括：喷出工序，其使用所述液状体的喷出方法，向所述多个膜形成区域喷出含有着色材料的至少三色的液状体；固化工序，其固化喷出的所述液状体，形成所述至少三色的着色层。
根据该方法可知，以稳定的喷出量向希望的膜形成区域喷出含有着色材料的至少三色液状体，减少喷出不均引起的色不均等，能够成品率良好地制造滤色片。
[适用例12]本适用例的有机EL元件的制造方法，其是在基板上划分形成的多个膜形成区域至少具有发光层的有机EL元件的制造方法，其特征在于，包括：喷出工序，其使用所述液状体的喷出方法，向所述多个膜形成区域喷出含有发光层形成材料的液状体；固化工序，其固化喷出的所述液状体，形成所述发光层。
根据该方法可知，以稳定的喷出量向所述多个膜形成区域喷出含有发光层形成材料的液状体，减少喷出不均引起的发光不均、亮度不均等不良情况，能够成品率良好地制造有机EL元件。
附图说明
图1是表示液滴喷出装置的结构的概略立体图。
图2(a)是表示液滴喷出头的结构的概略立体图，(b)是表示液滴喷出头的多个喷嘴的配置的概略俯视图。
图3是表示控制装置及与控制装置有关的各部的电结构的方框图。
图4是表示滤色片的俯视图。
图5是表示滤色片的制造方法的流程图。
图6(a)～(f)是表示滤色片的制造方法的概略剖面图。
图7是表示驱动波形和控制信号的关系的时序图。
图8是表示实施例1的液状体的喷出方法的概略图。
图9是表示实施例2的液状体的喷出方法的概略图。
图10是表示实施例3的液状体的喷出方法的概略图。
图11是表示实施例4的液状体的喷出方法的概略图。
图12是表示液晶显示装置的概略分解立体图。
图13是表示有机EL显示装置的概略剖面图。
图14(a)～(f)是表示有机EL元件的制造方法的概略剖面图。
图中：2-膜形成区域；3、3R、3G、3B-着色层；10-滤色片；22-喷嘴；29-作为能量产生机构的压电元件；30-液滴；100R、100G、100B-包含发光层形成材料的液状体；603-作为有机EL元件的发光元件部；617R、617G、617B、Lu-发光层；A-作为膜形成区域的发光层形成区域；W-作为被喷出物的工件。
具体实施方式
以下，参照附图，说明本发明的实施方式。还有，在以下说明中使用的各附图中，为了形成为能够识别各部的大小，适当变更了各部的尺寸。
(实施方式1)
<液滴喷出装置>
首先，参照图1～图3，说明本实施方式的液滴喷出装置的结构。图1是表示液滴喷出装置的结构的概略立体图。如图1所示，液滴喷出装置100将液状体作为液滴向作为被喷出物的工件W上喷出，形成由液状体构成的膜。具备：载置工件W的载物台104、和搭载将液状体作为液滴向载置的工件W喷出的多个液滴喷出头20(参照图2)的头单元101。
还有，具备：用于将头单元101沿副扫描方向(X方向)驱动的X方向导向轴102、和使X方向导向轴102旋转的X方向驱动马达103。另外，具备：用于将载物台104沿与副扫描方向正交的主扫描方向(Y方向)引导的Y方向导向轴105、和卡合于Y方向导向轴105而旋转的Y方向驱动马达106。具有在上部配设了这些X方向导向轴102和Y方向导向轴105的基台107，在该基台107的下部具备控制装置108。
进而，为了清洁(恢复处理)头单元101的多个液滴喷出头20，具备沿Y方向导向轴105移动的清洁机构109、和用于加热喷出的液状体，使溶剂蒸发·干燥的加热器111。清洁机构109具有：卡合于Y方向导向轴105而旋转的Y方向驱动马达110。
在头单元101具备将液状体向工件W涂敷的多个液滴喷出头20(参照图2)。还有，能够利用这些多个液滴喷出头20，根据从控制装置108供给的喷出用控制信号，个别地喷出液状体。关于该液滴喷出头20在后叙述。
X方向驱动马达103不限于此，例如为步进马达等，若从控制装置108被供给驱动脉冲信号，则使X方向导向轴102旋转，使卡合于X方向导向轴102的头单元101沿X方向移动。
同样，Y方向驱动马达106、110不限定于此，例如为步进马达等，若从控制装置108被供给驱动脉冲信号，则卡合于Y方向导向轴105而旋转，使具备Y方向驱动马达106、110的载物台104及清洁机构109沿Y方向移动。
清洁机构109在清洁液滴喷出头20时，向面向头单元101的位置移动，进行与液滴喷出头20的喷嘴面密接，并吸引无用的液状体的压盖(capping)、擦拭液状体等附着的喷嘴面的擦拭、从液滴喷出头20的所有喷嘴进行液状体的喷出的预备喷出或接受不用的液状体，进行排出的处理。清洁机构109的详细情况省略。
加热器111不限定于此，例如为利用灯退火热处理工件W的机构，加热向工件W上喷出的液状体，进行用于使溶剂变换为蒸发膜的热处理。利用控制装置108控制该加热器111的电源的接通及切断。
液滴喷出装置100的涂敷动作如下所述，即：从控制装置108向X方向驱动马达103及Y方向驱动马达106发送规定的驱动脉冲信号，使头单元101沿副扫描方向(X方向)相对移动，使载物台104沿主扫描方向(Y方向)相对移动。还有，在该相对移动的期间从控制装置108供给喷出用控制信号，从各液滴喷出头20向工件W的规定的区域将液状体作为液滴喷出，进行涂敷。
图2是表示液滴喷出头的结构的概略图，图2(a)是表示液滴喷出头的结构的概略立体图，图2(b)是表示液滴喷出头的多个喷嘴的配置的概略俯视图。还有，图2中为了明确结构，适当扩大或缩小。
如图2(a)所示，液滴喷出头20是包括具有多个喷嘴22的喷嘴板21、包含对应于各喷嘴22将其划分的划分部24的形成有液状体的流路的贮存器板23、和具有作为能量产生机构的压电元件(压电)29的振动板28的三层结构的所谓压电方式喷墨头。利用喷嘴板21和贮存器板23的划分部24及振动板28构成多个压力产生室25。各喷嘴22与各压力产生室25分别连通。另外，多个压电元件29以对应于各压力产生室25的方式，配设于振动板28。
在贮存器板23设置有通过形成于振动板28的供给孔28a从罐(省略图示)供给的液状体临时贮存的共用流路27。另外，填充于共用流路27的液状体通过供给口26供给于各压力产生室25。
如图2(b)所示，液滴喷出头20具有两个喷嘴列22a、22b，各自的多个(180个)直径为约28μm的喷嘴22以间距P1排列。还有，两个喷嘴列22a、22b以相互相对于间距P1错开一半的喷嘴间距P2的状态配设于喷嘴板21。在这种情况下，间距P1为约140μm。从而，从与喷嘴列22a、22b正交的方向观察的情况下，形成为360个喷嘴22以约70μm的喷嘴间距P2排列的状态。从而，具有两个喷嘴列22a、22b的液滴喷出头20的有效喷嘴的全长为喷嘴间距P2×359(约25mm)。另外，喷嘴列22a、22b的间隔为约2.54mm。
液滴喷出头20在作为电信号的驱动波形施加于压电元件29的情况下，压电元件29自身变形而使振动板28变形。由此，引起压力产生室25的体积变动，在由此引起的泵作用对填充于压力产生室25的液状体进行加压，能够从喷嘴22将液状体作为液滴30喷出。
还有，本实施方式的液滴喷出头20具有所谓双联喷嘴列22a、22b，但不限定于此，可以为一联。进而，从喷嘴22将液状体作为液滴30喷出的能量产生机构不限定于压电元件29，可以为作为电热变换元件的加热器或作为机电变换元件的静电促动器等。
图3是表示控制装置及与控制装置有关的各部的电结构的方框图。如图3所示，控制装置108具备：从外部信息处理装置接受液状体的输入缓冲存储器120、和将临时存储于输入缓冲存储器120的喷出数据在存储机构(RAM)121中展开，向关联的各部发送控制信号的处理部122。另外，具备：接受来自处理部122的控制信号，向X方向驱动马达103和Y方向驱动马达106发送位置控制信号的扫描驱动部123、和接受来自所述处理部122的控制信号，向液滴喷出头20发送驱动电压脉冲(驱动波形)的头驱动部124。
被输入缓冲存储器120接受的喷出数据包括：表示工件W上的膜形成区域的相对位置的数据、表示将液状体的液滴作为点如何配置于膜形成区域的数据、和指示驱动(打开-关闭)液滴喷出头20的喷嘴列22a、22b中的哪一个喷嘴22的数据。
处理部122将储存于作为存储机构的RAM121的喷出数据中的与膜形成区域有关的位置的控制信号向扫描驱动部123发送。扫描驱动部123接受该控制信号，向X方向驱动马达103发功位置控制信号，使液滴喷出头20沿副扫描方向(X方向)移动。另外，向Y方向驱动马达106发送位置控制信号，将保持工件W的载物台104沿主扫描方向(Y方向)移动。由此，以从液滴喷出头20向工件W的希望的位置喷出液状体的液滴30的发给您时，使液滴喷出头20和工件W相对移动。
另外，处理部122将储存于RAM121的喷出数据中表示向膜形成区域如何配置液状体的液滴30的数据转换为喷嘴22每一个的4比特的喷出位图数据，将其向头驱动部124发送。另外，基于指定驱动(打开-关闭)液滴喷出头20的喷嘴列22a、22b中哪一个喷嘴22的数据，将作为表示何时发送施加于液滴喷出头20的压电元件29的驱动电压脉冲(驱动波形)的“时序检测信号”的锁存(LAT)信号和信道(CH)信号向头驱动部124发送。头驱动部124接受这些控制信号，向液滴喷出头20发送适当的驱动电压脉冲(驱动波形)，从喷嘴22喷出液状体的液滴30。
如图2所示，各喷嘴列22a、22b与分别独立的共用流路27连通。从而，若向构成各喷嘴列22a、22b的各自180个喷嘴22的压电元件29同时施加驱动波形，则在相邻的喷嘴22之间，容易发生液滴的喷出量(体积或重量)或喷出速度变动的电、机械串扰。
因此，在本实施方式中，处理部122为了避免从与膜形成区域有关的相邻的喷嘴22同时喷出液滴，向头驱动部124发送LAT信号和CH信号。具体来说，头驱动部124对应于LAT信号，以规定的周期产生驱动电压脉冲(驱动波形)。还有，处理部122为了同步于工件W和液滴喷出头20的相对移动，向与上述喷嘴22对应的压电元件29施加时序不同的驱动波形，向头驱动部124发送CH信号。另外，在主扫描中，为了使被施加驱动波形的压电元件29的数量按驱动波形每一个相同，设定施加于与膜形成区域有关的相邻的喷嘴22的不同的喷出时序的驱动波形的组合。具体来说，在后述的液状体的喷出方法中叙述。由此，至少避免电串扰，并且，将电负荷引起的驱动波形每一个的衰减均一化，以稳定的喷出量喷出液滴。
<滤色片>
接下来，说明本实施方式的滤色片。图4是表示滤色片的俯视图。
如图4所示，滤色片10具有在作为透明的基板的玻璃基板1的表面划分膜形成区域2的间隔壁部4。换而言之，间隔壁部4构成划分多个膜形成区域2的划分区域。在各膜形成区域2形成有三色(R：红、G：绿、B：蓝)的着色层3。在各着色层3R、3G、3B中，相同色的着色层3之间直线配置。即，滤色片10具备条纹方式的着色层3。
<滤色片的制造方法>
接下来，参照图5及图6，说明本实施方式的滤色片的制造方法。图5是表示滤色片的制造方法的流程图，图6(a)～(f)是表示滤色片的制造方法的概略剖面图。另外，本实施方式的滤色片10的制造方法中使用所述液滴喷出装置100、和后述液状体的喷出方法。
如图5所示，本实施方式的滤色片10的制造方法具备：在玻璃基板1形成间隔壁部4的工序(步骤S1)、和处理形成有间隔壁部4的玻璃基板1的表面的工序(步骤S2)。还有，向表面处理的玻璃基板1喷出含有作为功能性材料的着色材料的三色液状体的工序(步骤S3)、和干燥喷出的液状体，并固化，形成着色层3的工序(步骤S4)。进而，具备：以覆盖形成的间隔壁部4和着色层3的方式形成平坦化层的工序(步骤S5)、和在平坦化层上形成透明电极的工序(步骤S6)。
图5的步骤S1是间隔壁部形成工序。在步骤S1中，如图6(a)所示，首先，在玻璃基板1的表面形成第一间隔壁部4a，以划分膜形成区域2。作为形成方法，利用真空蒸镀法或溅射法，在玻璃基板1的表面形成Cr或AL等金属膜或金属化合物的膜，以具有遮光性。还有，利用光刻法，附图感光性树脂(光敏抗蚀剂)，使膜形成区域2开口地进行曝光、显影、蚀刻。接着，利用光刻法，以约2μm的厚度涂敷感光性间隔壁部形成材料，进行曝光、显影，在第一间隔壁部4a上形成第二间隔壁部4b。间隔壁部4形成为由第一间隔壁部4a和第二间隔壁部4b构成的所谓双层围堰结构。还有，间隔壁部4不限于此，也可以为使用具有遮光性的感光性间隔壁部形成材料形成的仅有第二间隔壁部4b的一层结构。然后，进入步骤S2。
图5的步骤S2是表面处理工序。在步骤S2中，在之后的液状体的喷出工序中，对玻璃基板1的表面进行亲液处理，使喷出的液状体着附于膜形成区域2而润湿扩散。另外，对第二间隔壁部4b的头顶部进行疏液处理，使得即使喷出的液状体的一部分着附于第二间隔壁部4b，也收容于膜形成区域2内。
作为表面处理方法，对形成有间隔壁部4的玻璃基板1进行将O2作为处理气体的等离子体处理、和将氟系气体作为处理气体的等离子体处理。即，对膜形成区域2进行亲液处理，然后，对由感光性树脂构成的第二间隔壁部4b的表面(包括壁面)进行疏液处理。还有，若形成第二间隔壁部4b的材料自身具有疏液性，则省略后者的处理也可。然后，进入步骤S3。
图5的步骤S3是液状体的喷出工序。在步骤S3中，如图6(b)所示，在液滴喷出装置100的载物台104载置表面处理的玻璃基板1。还有，同步于载置玻璃基板1的载物台104、和液滴喷出头20的沿主扫描方向的相对移动，从填充有含有着色材料的液状体的液滴喷出头20的多个喷嘴22向膜形成区域2喷出液滴30。向膜形成区域2喷出的液状体的总喷出量通过基于预先设定有喷出次数等的喷出数据，从控制装置108的处理部122向头驱动部124发送适当的控制信号来控制，以在之后的干燥工序(步骤S4)中得到规定的膜厚。具体的液状体的喷出方法在后叙述。还有，进入步骤S4。
图5的步骤S4是干燥工序。在步骤S4中，如图6(c)所示，利用配备与液滴喷出装置100的加热器111加热玻璃基板1，溶剂成分从喷出的液状体蒸发而固化，形成由着色材料构成的着色层3。然后，进入步骤S5。
图5的步骤S5是平坦化层形成工序。在步骤S5中，如图6(e)所示，以覆盖着色层3和第二间隔壁部4b的方式形成平坦化层6。作为形成方法，可以举出利用旋涂法、辊涂法等，涂敷丙烯酸系树脂，进行干燥的方法。另外，也可以采用涂敷感光性丙烯酸树脂后，照射紫外光，进行固化的方法。膜厚为约100nm。还有，只要形成有着色层3的玻璃基板1的表面比较平坦，省略平坦化层形成工序也可。然后，进入步骤S6。
图5的步骤S6是透明电极形成工序。在步骤S6中，如图6(f)所示，在平坦化层6上形成由ITO(Indium Tin Oxide)等构成的透明电极7。作为成膜方法，可以举出将ITO等导电性材料作为靶体在真空中蒸镀或溅射的方法。膜厚为约10nm。形成为的透明电极7根据使用滤色片10的电光学装置，适当加工为必要的形状(图案)。
在本实施方式中，首先，向膜形成区域2喷出含有R(红)的着色材料的液状体，将其干燥，由此，形成着色层3R，接着，按G(绿)、B(蓝)的顺序，依次喷出含有不同的着色材料的液状体，将其干燥，由此，如图6(d)所示地形成三色着色层3R、3G、3B。还有，不限定于此，例如，在步骤S3的液状体的喷出工序中，将含有不同的着色材料的三色液状体分别向不同的液滴喷出头20填充，将各液滴喷出头20装配于头单元101，从各液滴喷出头20向希望的膜形成区域2喷出液状体。还有，使用在能够将溶剂的蒸气压设为恒定，进行干燥的减压干燥装置上设置玻璃基板1进行减压干燥的方法。
<液状体的喷出方法>
基于实施例，进而详细说明本实施方式的液状体的喷出方法。
首先，参照图7，说明本实施方式的驱动波形。图7是表示驱动波形和控制信号的关系的时序图。
如图7所示，按照以控制信号LAT的时序锁存的喷嘴22每一个的打开/关闭数据(喷出数据)，选择驱动波形A1、B1、C1、A2、B2、C3、……的一部分，将其向与各喷嘴22对应配设的压电元件29(参照图2)供给。然后，以供给驱动波形的时序，从喷嘴22喷出液滴30。还有，各驱动波形是设计为通过供给于压电元件29而喷出规定量的液滴30的同一形状、大小。
驱动波形的选择通过规定驱动波形的供给时序的控制信号CH1～CH3来进行即，通过控制信号CH1选择第一***的时序的驱动波形A1、A2、……，通过控制信号CH2选择第二***的时序的驱动波形B1、B2、……，通过控制信号CH3选择第三***的时序的驱动波形C1、C2、……。
在本实施方式中，通过将与膜形成区域2中的相邻的喷嘴22对应的压电元件29与驱动波形的供给时序的***(将控制信号LAT作为基准的相对序列)分别建立对应关系，使得不引起喷出时序的重复。由此，至少适当地减少电串扰，使串扰引起的喷嘴间的喷出特性(喷出量或喷出速度等)的不均相对缓和。另外，各***的时序形成为周期，因此，喷出条件在各喷出时序之间相同，能够使液滴30的喷出量在主扫描方向上稳定。另外，在控制信号LAT的一周期内(一个锁存(latch)内)，产生三个驱动波形，因此，若在一个锁存内向同一压电元件29施加三个驱动波形，则能够改变喷出时序而从同一喷嘴22喷出三滴液滴30。进而，若将一个锁存内的三个驱动波形分别向其他压电元件29施加，则能够以不同的喷出时序(timing)从三个喷嘴22喷出液滴30。以下，将向喷嘴22的压电元件29施加驱动波形的情况记述为向喷嘴22施加驱动波形。
在液滴喷出装置100中，例如，将液滴喷出头20(多个喷嘴22)和玻璃基板1的主扫描中的相对移动速度设为200mm/秒。另外，将控制信号LAT的周期、即驱动频率设为20kHz。在该喷出条件下，主扫描中的一次喷出的喷出分辨率如下所述，即：若以一个锁存为基准向使用的喷嘴22施加三个驱动波形中的一个，则成为约1μm。换而言之，在向使用的喷嘴22连续施加三个驱动波形时，能够改变喷出时序而在主扫描方向上以约3.3μm的最小间距喷出液滴。
(实施例1)
图8是表示实施例1的液状体的喷出方法的概略图。具体来说，是表示喷嘴列中的驱动波形的选择、和膜形成区域中的液滴的配置的概略图。
如图8所示，对喷嘴列22a的180个喷嘴22标注了喷嘴编号。另外，例示了施加于各喷嘴22的驱动波形的波形选择的方法。波形选择中的编号1是指图7的第一***的时序中产生的驱动波形A1、A2、……。同样，编号2是指在第二***的时序中产生的驱动波形B1、B2、……，编号3是指在第三***的时序中产生的驱动波形C1、C2、……。以下，将图中带有○的编号1～3称为波形选择的***编号1～3。
膜形成区域2的大小或X方向及Y方向上的配置间距为设计事项，但在实施例1中，对于喷嘴22的配置间距(约140μm)设计为，在一次主扫描中三个喷嘴22位于各自的膜形成区域2的状态。换而言之，如图4所示，将液滴喷出头20和玻璃基板1相对配置为滤色片10的条纹方向和喷嘴列方向一致。
在主扫描中，不使用通过划分膜形成区域2的间隔壁部4的喷嘴22及设想为喷出的液滴的至少一部分着附于间隔壁部4的喷嘴22。即，不喷出。还有，从在各喷嘴22中相邻的喷嘴22(使用的喷嘴)沿主扫描方向分别喷出两滴液滴。膜形成区域2中划在X方向的虚线表示施加第一～第三***的驱动波形时的液滴的主扫描方向(Y方向)的位置。还有，图8是关于喷出相同种类的液状体的膜形成区域2，示出选择波形的组合、和对其的液滴的配置图案的图。
实施例1的液状体的喷出方法中将图8所示的喷嘴列22a中的波形选择作为前提。即，逐次选择第一～第三***的驱动波形而施加，以免向膜形成区域2中的相邻的喷嘴22以相同的时序施加驱动波形。
就波形选择1来说，对于180个喷嘴22，按喷嘴编号1～180的顺序，重复***编号1～3而分配。但是，对设为不喷出的喷嘴22不分配驱动波形的***。例如，在相同图中，将喷嘴编号4、8、12、16设为不喷出，不分配***编号。即，仅对使用喷嘴22(以下，作为使用喷嘴)分配***编号。通过这样分配，减轻喷出数据生成时的负荷。
若适用波形选择1，则例如对喷嘴编号1的喷嘴22施加第一***的驱动波形A1、A2。对喷嘴编号2的喷嘴22施加第二***的驱动波形B1、B2。对喷嘴编号3的喷嘴22施加第三***的驱动波形C1、C2。由此，从喷嘴编号1、2、3的各喷嘴22向喷嘴22喷出的液滴的配置像A图案一样，六个液滴在主扫描方向上相互错开。在主扫描方向(Y方向)上排列的膜形成区域2同样适用波形选择1，像重复A图案一样配置液滴。从而，向喷出同种液状体的膜形成区域2中相邻的三个喷嘴22分别施加喷出时序不同的驱动波形，避免喷嘴间的电串扰。进而，在控制信号LAT的一个锁存中，使用喷嘴的数量按驱动波形每一个为相同数量，因此，均衡化驱动波形每一个的电负荷，均一化驱动波形每一个的衰减。从而，以稳定的喷出量向希望的膜形成区域2喷出液状体。另外，在膜形成区域2每一个，液滴的配置相同。换而言之，均衡化各膜形成区域2中的液滴的配置。
(实施例2)
接下来，关于实施例2的液状体的喷出方法，以与实施例1的不相同点为中心进行说明。
如图9所示，在实施例2的液状体的喷出方法中，在喷出同种液状体的膜形成区域2每一个中，使施加于使用喷嘴的驱动波形的***不相同。波形选择2、3相对于波形选择1，将***编号1～***编号3的选择的顺序隔一个错开。
在适用波形选择1，向沿主扫描方向排列的各膜形成区域2喷出重复液滴的实施例1中，向使用喷嘴时常施加同一***的驱动波形(参照图8)。若这样，则在使用喷嘴之间，至少能够避免电串扰，但由于使用喷嘴间的喷出特性不均(例如，电串扰以外的机械串扰)，可能导致喷出的液滴的喷出量发生偏差。若从使用喷嘴沿主扫描方向连续喷出喷出量有偏差的液滴，则出现条纹状喷出不均。
在实施例2的液状体的喷出方法中，为了抑制这样的喷出不均，在主扫描中，按膜形成区域2每一个改变施加于使用喷嘴的驱动波形的***。具体来说，按膜形成区域2每一个适用波形选择1、2、3的任一个，因此，液滴的配置成为A图案、B图案、C图案的任一个。依次重复A图案到C图案也可，随机也可。优选适用为相同液滴的配置图案不连续。即，在主扫描方向上分散由使用喷嘴间的喷出特性不均引起的液滴的喷出量的偏差。
(实施例3)
接下来，关于实施例3的液状体的喷出方法，以与实施例2不同的点为中心进行说明。图10是表示实施例3的液状体的喷出方法的概略图。
如图10所示，实施例3的液状体的喷出方法与实施例2相比，对波形选择1、2、3中的喷嘴编号的第一～第三***的驱动波形的分配方法相同，但在从使用喷嘴每次喷出液滴时，依次切换波形选择1～3。从而，液滴的配置成为D图案、E图案、F图案的任一个。由此可知，在膜形成区域2中的使用喷嘴中，在液滴的每次喷出时，驱动波形的***变化。换而言之，在使用喷嘴中液滴的每次喷出时施加不同的驱动波形。从而，在各膜形成区域2中，进一步分散在主扫描方向配置的液滴的喷出量的偏差。
(实施例4)
接下来，关于实施例4的液状体的喷出方法，以与实施例1不同的点为中心进行说明。图11是表示实施例4的液状体的喷出方法的概略图。
如图11所示，实施例4的液状体的喷出方法与实施例1相比，喷嘴列22a和膜形成区域2的相对配置不同。在实施例4中，喷出同种液状体的膜形成区域2沿主扫描方向(Y方向)连续排列。在副扫描方向(X方向)上，喷出异种液状体的膜形成区域2保持规定的间隔而排列。从而，与一次喷出有关的使用喷嘴的数量与实施例1相比减少。另外，与实施例1相同地，使用喷嘴的数量按驱动波形每一个相等。从而，按驱动波形每一个的喷出引起的电负荷进而变小。按喷出同种液状体的膜形成区域2每一个使施加于使用喷嘴的不同的时序的驱动波形的组合(波形选择)不同这一点与实施例2相同。因此，液滴的配置成为G图案、H图案、J图案的任一个，进而抑制驱动波形的衰减引起的液滴的喷出量的偏差。还有，在实施例4的情况下，在主扫描中，在矩阵状的膜形成区域2的长边方向上配置液滴而前进，因此，在膜形成区域2中从使用喷嘴喷出的液滴的数量(喷出次数)不仅可以为两滴，而且还可以增加。
在上述实施例1～实施例4中，为了便利，仅着眼于喷嘴列22a进行了上述说明，但实际上，在补足喷嘴列22a的间距的位置，从喷嘴列22b(参照图2)进行相同的喷出。
另外，赋予膜形成区域2的液状体的总喷出量(必要量)根据要求的膜的特性(在滤色片的情况下为透过率、色度、彩度等光学特性)，考虑膜形成区域2的大小(面积)或液状体的溶质浓度而驱动。从而，在利用多次主扫描向膜形成区域2赋予上述总喷出量的情况下，优选按主扫描每一次使上述液滴的配置图案不相同。即，优选按主扫描使波形选择的组合不相同。由此可知，能够进一步分散液滴的喷出量的偏差。
进而，若副扫描多个喷嘴22(液滴喷出头20)，改变膜形成区域2中的喷嘴22而主扫描，则能够进一步分散喷嘴间的喷出特性不均引起的液滴的喷出量的偏差。
通过这样改变施加于与膜形成区域2相关的相邻的喷嘴22的不同的喷出时序的驱动波形的组合，由于在每次主扫描中至少进行一次，从而起到相应的作用和效果。
另外，在上述实施例2～实施例4中，通过对于波形选择1，关于第一～第三***的驱动波形的选择，在喷嘴列方向上依次错开一个喷嘴而设定其他波形选择，从而在将液滴的配置图案喷出数据化时，按照适用波形选择1的液滴的配置图案即可，因此，比较容易进行。
<液晶显示装置>
接下来，关于具备滤色片的液晶显示装置，进行简单说明。图12是表示液晶显示装置的结构的概略分解立体图。
如图12所示，液晶显示装置200具备：TFT(Thin Film Transistor)透过型液晶显示面板220、照明液晶显示面板220的照明装置216。液晶显示面板220具备：具有滤色片的对置基板201、具有三个端子中的一个与像素电极210连接的TFT元件211的元件基板208、和利用一对对置基板201、208夹持的液晶(省略图示)。另外，在液晶显示面板220的成为外表面侧的一对基板201、208的表面配设使透过的光偏向的上偏振板214、和下偏振板215。
对置基板201由透明的玻璃等材料构成，在包夹液晶的表面侧利用间隔壁部204划分为矩阵状的多个多个膜形成区域形成有红(R)、绿(G)、蓝(B)三色的滤色片205R、205G、205B。间隔壁部204包括：由Cr等具有遮光性的金属或其氧化膜构成的被称为黑矩阵的下层围堰202、和在下层围堰202的上方(在附图中朝向下方)形成的由有机化合物构成的上层围堰203。另外，具备：作为覆盖间隔壁部204和滤色片205R、205G、205B的平坦化层的外涂层(OC层)206、和以覆盖OC层206的方式形成的由ITO(Indium Tin Oxide)等透明电极膜构成的对置电极207。对置基板201使用上述实施方式的滤色片10的制造方法来制造(适用实施例1至4的任一个实施例)。
元件基板208同样由透明的玻璃等材料构成，具有：在包夹液晶的表面侧通过绝缘膜209形成为矩阵状的像素电极210、和对应于像素电极210形成的多个TFT元件211。TFT元件211的三个端子中的连接于像素电极210的其他两个端子与以相互绝缘的状态包围像素电极210的方式配设为格子状的扫描线212、和数据线213连接。
照明装置216只要例如作为光源使用白色LED、EL、冷阴极管等，具备将来自这些的光朝向液晶显示面板220射出的导光板或漫射板、反射板等结构，就可以为任意结构。
本实施方式的液晶显示装置200具备：具有使用上述实施方式的滤色片10的制造方法制造的滤色片205R、205G、205B的对置基板201，因此，具有色不均等显示不妥善情况少的高的显示品质。
还有，在液晶显示面板220中，作为有源元件，不限于TFT元件211，可以具有TFD(Thin Film Diode)元件，进而，在至少一方的基板具备滤色片的情况下，可以为使构成像素的电极相互交叉地配置的无源型液晶显示装置。另外，上偏振板214、215可以与出于改进视场角依存性的目的等而使用的相位差薄膜等光学功能薄膜组合。
根据上述第一实施方式可知，得到以下效果。
(1)在上述实施例1的液状体的喷出方法中，向膜形成区域2中的使用喷嘴施加不同的喷出时序的驱动波形，至少减少电串扰。另外，设定为在各***的驱动波形中，使用喷嘴的数量相等。从而，均一化驱动波形每一个的衰减，能够抑制液滴的喷出量的偏差。从而，能够以稳定的喷出量向膜形成区域喷出液滴。即，能够向膜形成区域每一个稳定地赋予必要量(总喷出量)的液状体。
(2)在上述实施例2的液状体的喷出方法中，切换在主扫描方向排列的膜形成区域2每一个中适用的波形选择，因此，除了实施例1的效果之外，抑制多个喷嘴22的喷出特性不均引起的喷出量的偏差，能够减少主扫描方向的条纹状喷出不均。
(3)在上述实施例3的液状体的喷出方法中，在主扫描方向上排列的各膜形成区域2中，改变在液滴的每一次喷出时适用的波形选择，因此，除了上述实施例2的效果之外，在膜形成区域2每一个抑制液滴的喷出量的偏差，能够进一步减少主扫描方向的条纹状喷出不均。
(4)在上述实施例4的液状体的喷出方法中，在主扫描方向上连续排列的喷出同种液状体的膜形成区域2每一个，使用不同的波形选择，从该膜形成区域2中的使用喷嘴喷出液滴。设定为按驱动波形每一个，使用喷嘴的数量相等，且与实施例1相比，同时施加驱动波形的使用喷嘴的数量减少。从而，除了实施例1的效果之外，与液滴的喷出有关的电负荷进而减小，能够进一步抑制驱动波形的衰减引起的使用喷嘴间的液滴的喷出量的偏差。
(5)在上述实施方式1的滤色片10的制造方法中，使用上述液状体的喷出方法，将三色液状体分别向希望的膜形成区域2喷出，将其干燥，由此形成着色层3R、3G、3B。从而，向各膜形成区域每一个稳定地赋予必要量(总喷出量)的液状体，因此，减少喷出不均引起的色不均等不良，能够成品率良好地制造滤色片10。
(实施方式2)
接下来，说明具备本实施方式的有机EL(电致发光)元件的有机EL显示装置、和有机EL元件的制造方法。
<有机EL显示装置>
图13是表示有机EL显示装置的概略剖面图。如图13所示，有机EL显示装置600具备：具有作为有机EL元件的发光元件部603的元件基板601、和隔开元件基板601和空间.622密封的封接基板620。元件基板601在基板上具备电路元件部602。发光元件部603重叠于电路元件部602上形成，且通过电路元件部602被驱动。在发光元件部603上，三色发光层617R、617G、617B分别形成于作为膜形成区域的发光层形成区域A，形成为条纹状。在元件基板601中，将与三色发光层617R、617G、617B对应的三个发光层形成区域A作为一组像素，该像素以矩阵状配置于元件基板601的电路元件部602上。在有机EL显示装置600中，来自发光元件部603的光向元件基板601侧射出。
封接基板620由玻璃或金属构成，通过密封树脂接合于元件基板601，在密封的内侧的表面贴附有收气剂621。收气剂621吸收进入元件基板601和封接基板620之间的空间622的水或氧，防止发光元件部603由于进入的水或氧而劣化的情况。还有，该收气剂621省略也可。
元件基板601在电路元件部602上具有多个发光层形成区域A，具备：划分各发光层形成区域A的间隔壁部618、形成于各发光层形成区域A的电极613、层叠于电极613的空穴注入/输送层617a。另外，具备：具有向多个发光层形成区域A内赋予含有发光层细长列材料的三种液状体而形成的发光层617R、617G、617B的发光元件部603。间隔壁部618包括：下层围堰618a、和将发光层形成区域A基本上划分的上层围堰618b，下层围堰618a设置为向发光层形成区域A的内侧突出，为了防止电极613、和各发光层617R、617G、617B直接接触而导致点短路的情况，由SiO2等无机绝缘材料形成。
元件基板601例如由玻璃等透明的基板形成，在元件基板601上形成有由硅氧化膜构成的基底保护膜606，在该基底保护膜606上形成有由多晶硅构成的岛状半导体膜607。还有，在半导体膜607上，利用高浓度P离子打入形成有源区域607a及漏区域607b。还有，没有导入P离子的部分成为沟道区域607c。进而，形成覆盖基底保护膜606及半导体膜607的透明的栅绝缘膜608，在栅绝缘膜608上形成有由Al、Mo、Ta、Ti、W等构成的栅电极609，在栅电极609及栅绝缘膜608上形成有透明的第一层间绝缘膜611a和第二层间绝缘膜611b。栅电极609设置于与半导体膜607的沟道区域607c对应的位置。另外，贯通第一层间绝缘膜611a及第二层间绝缘膜611b，形成有与半导体膜607的源区域607a、漏区域607b分别连接的接触孔612a、612b。还有，在第二层间绝缘膜611b上以规定的形状形成为图案而配置由ITO(Indium Tin Oxide)等构成的透明的电极613，一方的接触孔612a与该电极613连接。另外，另一方的接触孔612b与电源线614连接。这样，在电路元件部602形成有与各电极613连接的驱动用薄膜晶体管615。还有，在电路元件部602还形成有保持电容用和开关用薄膜晶体管，但在图13中省略这些的图示。
发光元件部603具备：作为阳极的电极613、在电极613上依次层叠的空穴注入/输送层617a、各发光层617R、617G、617B(总称为发光层Lu)、以覆盖上层围堰618b和发光层Lu的方式层叠的阴极604。通过空穴注入/输送层617a、和发光层Lu，构成激励发光的功能层617。还有，只要将阴极604和封接基板620及收气剂621由透明的材料形成，就能够射出从封接基板620层发出的光。
有机EL显示装置600具有：与栅电极609连接的扫描线(省略图示)、和与源区域607a连接的信号线(省略图示)，若利用传递于扫描线的扫描信号打开开关用薄膜晶体管(省略图示)，则此时的信号线的电位被保持为保持电容，根据该保持电容的状态，确定驱动用薄膜晶体管615的打开·关闭状态。还有，电流经由驱动用薄膜晶体管615的沟道区域607c，从电源线614向电极613流动，进而电流经由空穴注入/输送层617a和发光层Lu，向阴极604流动。发光层Lu根据流过其的电流量来发光。有机EL显示装置600能够利用这样的发光元件部603的发光机制，显示希望的文字或图像等。另外，在有机EL显示装置600中，使用上述实施方式1的液状体的喷出方法而形成发光层Lu，因此，减少液状体的喷出不均引起的发光不均、亮度不均等显示不妥善情况，具有高显示品质。
<有机EL元件的制造方法>
接下来，参照图14，说明作为本实施方式的有机EL元件的发光元件部603的制造方法。图14(a)～(f)是表示有机EL元件的制造方法的概略剖面图。还有，在图14(a)～(f)中，在元件基板601上形成的电路元件部602省略图示。
本实施方式的发光元件部603的制造方法包括：在元件基板601的与多个发光层形成区域A对应的位置形成电极613的工序；以一部分卡在电极613的方式形成下层围堰618a，进而在下层围堰618a上以基本上划分发光层形成区域A的方式形成上层围堰618b的间隔壁部形成工序。另外，具备：进行由上层围堰618b划分的发光层形成区域A的表面处理的工序、向被表面处理的发光层形成区域A赋予含有空穴注入/输送层形成材料的液状体，喷出描绘空穴注入/输送层617a的工序、干燥喷出的液状体，将空穴注入/输送层617a成膜的工序。另外，具备：进行形成有空穴注入/输送层617a的发光层形成区域A的表面处理的工序、向被表面处理的发光层形成区域A喷出含有发光层形成材料的三种液状体的喷出工序、和干燥喷出的三酯液状体，将发光层Lu成膜的工序。进而，具备：以覆盖上层围堰618b和发光层Lu的方式形成阴极604的工序。各液状体的向发光层形成区域A的赋予使用上述实施方式1的液状体的喷出方法而进行
在电极(阳极)形成工序中，如图14(a)所示，在已形成有电路元件部602的元件基板601的与发光层形成区域A对应的位置形成电极613。作为形成方法，例如，在元件基板601的表面使用ITO等透明电极材料在真空中利用溅射法或蒸镀法来形成透明电极膜。然后，可以举出利用光刻法，仅留下必要的部分，进行蚀刻而形成电极613的方法。还有，进入间隔壁部形成工序。
在间隔壁部形成工序中，如图14(b)所示，以覆盖元件基板601的多个电极613的一部分的方式形成下层围堰618a。作为下层围堰618a的材料，使用作为无机材料的绝缘性SiO2(氧化硅)。作为下层围堰618a的形成方法，例如，对应于之后形成的发光层Lu，使用抗蚀剂等，对各电极613的表面进行掩蔽。还有，可以举出将掩蔽的元件基板601放入真空装置中，将SiO2作为靶体或原料，进行溅射或真空蒸镀，由此形成下层围堰618a。抗蚀剂等的掩蔽在之后剥离。还有，下层围堰618a利用SiO2形成，因此，其膜厚只要为200那么以下，就具有充分的透明性，即使之后层叠空穴注入/输送层617a及发光层Lu，也不阻碍发光。
接着，以基本上划分各发光层形成区域A的方式，在下层围堰618a上CH信号上层围堰618b。作为上层围堰618b的材料，优选对于含有后述的三种液状体100R、100G、100B的溶剂具有耐久性的材料，进而，优选利用将氟系气体作为处理气体的等离子体处理，能够疏液化，例如，丙烯酸树脂、环氧树脂、感光性聚酰亚胺等所谓的有机材料。工件W上层围堰618b的形成方法，例如，在形成有上层围堰618a的元件基板601的表面利用辊涂法或旋涂法涂敷感光性上述有机材料，将其干燥，形成厚度为约2μm的感光性树脂层。还有，可以举出使对应于发光层形成区域A的大小设置有开口部的掩模与元件基板601在规定的位置对置，进行曝光·显影，由此形成上层围堰618b的方法。由此，形成具有下层围堰618a、和上层围堰618b的间隔壁部618。还有，进入表面处理工序。
在表面处理发光层形成区域A的工序中，首先，O2气体作为处理气体，对形成有间隔壁部618的元件基板601的表面进行等离子体处理。由此，将电极613的表面、下层围堰618a的突出部及上层围堰618b的表面(包括壁面)活性化，进行亲液处理。接下来，将CF4等氟系气体作为处理气体进行等离子体处理。由此，氟系气体仅与作为有机材料的感光性树脂构成的上层围堰618b的表面进行反应，进行疏液处理。然后，进入空穴注入/输送层形成工序。
在空穴注入/输送层形成工序中，如图14(c)所示，将含有空穴注入/输送层形成材料的液状体90向发光层形成区域A赋予。作为赋予液状体90的方法，使用图1的液滴喷出装置100。从液滴喷出头20喷出的液状体90作为液滴，着附于元件基板601的电极613而润湿扩散。液状体90根据发光层形成区域A的面积，以液滴喷出必要量。然后，进入干燥·成膜工序。
在干燥·成膜工序中，例如，用自液滴喷出装置100配备的加热器111(灯回火等)加热元件基板601，由此将液状体90的溶剂成分干燥而除去，在由电极613的下层围堰618a划分的区域形成空穴注入/输送层617a(参照相同图(d))。在本实施方式中，作为空穴注入/输送层形成材料，使用了PEDOT(Polyethylene Dioxy Thiophene；聚乙烯二氧噻吩)。还有，在这种情况下，在各发光层形成区域A形成了由相同材料形成的空穴注入/输送层617a，但对应于之后形成的发光层Lu，按发光层形成区域A每一个改变空穴注入/输送层617a的材料也可。然后，进入表面处理工序。
在接下来的表面处理工序中，使用上述空穴注入/输送层形成材料，形成空穴注入/输送层617a的情况下，其表面相对于三种液状体100R、100G、100B，具有疏液性，因此，至少对发光层形成区域A的区域内进行表面处理，使其再次具有亲液性。作为表面处理的方法，附图在三种液状体100R、100G、100B中使用的溶剂，将其干燥。作为溶剂的涂敷方法，可以举出溅射法、旋涂法等方法。然后，进入液状体的喷出工序。
在液状体的喷出工序中，如图14(d)所示，向多个发光层形成区域A赋予含有发光层形成材料的三种液状体100R、100G、100B。液状体100R包含发红色光的发光层形成材料，液状体100G包含发绿色光的发光层形成材料，液状体100B包含发蓝色光的发光层形成材料。着附的各液状体100R、100G、100B在发光层形成区域A润湿扩散，剖面形状***为圆弧状。作为赋予这些液状体100R、100G、100B的方法，使用了实施例1的液状体的喷出方法。还有，各发光层形成材料使用适合湿式涂敷方法的公知的材料。然后，进入干燥·成膜工序。
在干燥·成膜工序中，如图14(e)所示，干燥喷出的各液状体100R、100G、100B的溶剂成分，将其除去，以在各发光层形成区域A的空穴注入/输送层617a层叠各发光层617R、617G、617B的方式进行成膜。作为各液状体100R、100G、100B被喷出的元件基板601的干燥方法，优选能够将溶剂的蒸发速度设为大致恒定的减压干燥。然后，进入阴极形成工序。
在阴极形成工序中，如图14(f)所示，以覆盖元件基板601的各发光层617R、617G、617B和上层围堰618b的表面的方式形成阴极604。作为阴极604的材料，优选组合使用Ca、Ba、Al等金属或LiF等氟化物。尤其，优选在靠近发光层617R、617G、617B的一侧形成功函数小的Ca、Ba、LiF的膜，在远的一侧形成功函数大的Al等膜。另外，在阴极604上层叠SiO2、SiN等保护层也可。若这样，则也能够防止阴极604的氧化。作为阴极604的形成方法，可以举出蒸镀法、溅射法、CVD法等。尤其，从能够防止发光层617R、617G、617B的热量引起的损伤的方面来说，优选蒸镀法。
这样制作的元件基板601由于必要量的各液状体100R、100G、100B没有喷出不均地赋予在对应的发光层形成区域A，因此，具有干燥·成膜化后的膜厚大致恒定的各发光层617R、617G、617B。
上述实施方式2的效果如下所述。
(1)在上述实施方式2的发光元件部603的制造方法中，在液状体100R、100G、100B的喷出工序中，使用了上述实施方式1的液状体的喷出方法，因此，将必要量的各液状体100R、100G、100B作为液滴以稳定的喷出量向希望的发光层形成区域A喷出。因此，得到干燥·成膜后的膜厚大致恒定的各发光层617R、617G、617B。
(2)若使用上述实施方式2的发光元件部603的制造方法，制造有机EL显示装置600，则各发光层617R、617G、617B的膜厚大致恒定，因此，各发光层617R、617G、617B每一个的电阻大致恒定。从而，若利用电路元件部602向发光元件部603施加驱动电压，使其发光，则减少各发光层617R、617G、617B每一个的电阻不均引起的发光不均或亮度不均等。即，能够制造发光不均或亮度不均等少，具有外观良好的显示品质的有机EL显示装置600。
除了上述实施方式之外，还可以施加各种变形。以下，举出实施例进行说明。
(变形例1)在上述实施方式1的液状体的喷出方法的实施例1～4中，适用于膜形成区域2中的使用喷嘴的波形选择根据喷出的各种液状体每一个而不同也可。由此可知，能够抑制由于异种液状体的喷出，导致喷嘴列的喷出特性不均引起的沿主扫描方向的条纹状喷出不均变得严重的情况。
(变形例2)向上述实施方式1的实施例4的液状体的喷出方法中进而导入实施例3的液状体的喷出方法也可。即，在液滴的每一次喷出时，驱动波形的组合(波形选择)不同也可。
(变形例3)在上述实施方式1的液状体的喷出方法中，对应于作为被喷出物的玻璃基板1上的膜形成区域2的配置，组合实施例1～4的液状体的喷出方法也可。例如，可以举出在一个玻璃基板1上，不同的大小的膜形成区域2根据大小而分开配置的情况，另外，可以举出膜形成区域2的条纹方向分为X方向和Y方向而配置的情况等作为适用例。即，可以根据膜形成区域2中的喷嘴22的数量，采用最佳液状体的喷出方法，以稳定的喷出量向膜形成区域2赋予必要量的液状体。
(变形例4)在上述实施方式1的液状体的喷出方法中，每一个锁存中产生的驱动波形的数量不限于此。鉴于产生控制信号LAT及信道信号CH的头驱动部124的电路结构，在每一个锁存中产生时序不同的两个驱动波形也可。或者，若为能够高频驱动的液滴喷出头20的结构，则也可以进而将每一个锁存中产生的驱动波形增加为四个以上。由此可知，可以增加每单位时间的液滴喷出次数，向膜形成区域效率良好地赋予必要量的液状体。
(变形例5)在上述实施方式1的液状体的喷出方法中，驱动波形的产生不限于周期性发生。例如，非周期性产生驱动波形也可。由此可知，按喷出时序每一个，喷出条件不同，因此，在主扫描方向上，液滴的喷出量的变动状态变化。由此，将主扫描方向的喷出量的变动向喷嘴间的喷出特性不均引起的喷出量的变动赋予，能够分散二维性喷出量的不均。即，沿主扫描方向的一维性条纹的喷出不均难以显著。
(变形例6)在上述实施方式1的液状体的喷出方法中，多个驱动波形不限定于相同的形状、大小。例如，在***编号1～3的驱动波形中，使划分区域不同也可。由此可知，能够利用波形选择，使液滴的喷出量变动。即，能够按液滴的每一次喷出来分散喷出量。
(变形例7)在上述实施方式1的滤色片10的制造方法中，三色着色层3R、3G、3B的配置不限定于条纹方式。即使为斜向排列相同色的着色层3的马赛克方式、在对应于三角形顶点的位置配置各色的着色层3的三角形方式，也能够适用上述液状体的喷出方法。另外，着色层3不限于三色，可以为添加R、G、B以外的色的多个。
(变形例8)上述实施方式2的发光元件部603的制造方法不限定于三色发光层Lu的形成。例如，也可以为白色或红色等单色的构成。由此可知，能够提供具备单色的有机EL元件的照明装置或感光装置。
(变形例9)能够适用上述实施方式1的液状体的喷出方法的设备的制造方法不限定于滤色片的制造方法或有机EL元件的制造方法。例如，还可以适用于向基板上的膜形成区域喷出含有导电性材料的液状体，形成具有规定的图案的配线的金属配线的制造方法、向基板上的膜形成区域喷出含有取向膜形成材料的液状体，形成具有规定的图案的取向膜的取向膜的制造方法等。

Claims (12)

1.一种液状体的喷出方法，其具有喷出工序，该喷出工序是与对置配置多个喷嘴和具有膜形成区域的被喷出物，并使该多个喷嘴和被喷出物相对移动的扫描相同步，向在每个所述喷嘴上设置的能量产生机构施加以分时产生的多个驱动波形的一部分，从所述多个喷嘴将含有功能性材料的液状体作为液滴向所述膜形成区域喷出，所述液状体的喷出方法的特征在于，
在所述喷出工序中，在所述扫描中，向由所述多个喷嘴构成的喷嘴列中、与所述膜形成区域有关的相邻的喷嘴的所述能量产生机构施加所述多个驱动波形中相互不同的喷出时序的驱动波形，并且，以被施加的所述能量产生机构的数量对于每个所述驱动波形为相同数量的方式，设定所述不同的喷出时序的驱动波形的组合。
2.根据权利要求1所述的液状体的喷出方法，其特征在于，
在所述喷出工序中，在所述扫描中，至少改变一次所述不同的喷出时序的驱动波形的组合。
3.根据权利要求1或2所述的液状体的喷出方法，其特征在于，
在所述喷出工序中，进行多次所述扫描，从所述多个喷嘴向所述膜形成区域喷出所述液滴，使在每次所述扫描中对所述膜形成区域有关的相邻的喷嘴的所述能量产生机构施加的所述不同的喷出时序的驱动波形的组合不相同。
4.根据权利要求1～3中任一项所述的液状体的喷出方法，其特征在于，
所述被喷出物至少具有在所述扫描的方向上排列的多个所述膜形成区域，
在所述喷出工序中，对于每个喷出的种类不同的所述液状体，使向所述相邻的喷嘴的所述能量产生机构施加的所述不同的喷出时序的驱动波形的组合不相同。
5.根据权利要求1～4中任一项所述的液状体的喷出方法，其特征在于，
所述被喷出物至少具有：在所述扫描的方向上排列的多个所述膜形成区域、和划分所述膜形成区域的划分区域，
在所述喷出工序中，在所述扫描中，不使用与所述划分区域有关的喷嘴及/或设想为在喷出液滴时所述液滴的一部分着附于所述划分区域的喷嘴，仅将使用喷嘴作为所述不同的喷出时序的驱动波形的组合的对象。
6.根据权利要求1～5中任一项所述的液状体的喷出方法，其特征在于，
所述被喷出物至少具有在所述扫描的方向上排列的多个所述膜形成区域，
在所述喷出工序中，对于每个所述膜形成区域，使向所述相邻的喷嘴的所述能量产生机构施加的所述不同的喷出时序的驱动波形的组合不相同。
7.根据权利要求6所述的液状体的喷出方法，其特征在于，
在所述喷出工序中，分别从所述相邻的喷嘴在所述扫描的方向上向所述每个膜形成区域喷出多个所述液滴，对于每次所述液滴的喷出，使向所述相邻的喷嘴的所述能量产生机构施加的所述不同的喷出时序的驱动波形的组合不相同。
8.根据权利要求1～7中任一项所述的液状体的喷出方法，其特征在于，
向所述能量产生机构施加以规定的周期产生的所述多个驱动波形中的一部分。
9.根据权利要求1～7中任一项所述的液状体的喷出方法，其特征在于，
向所述能量产生机构施加在一个周期内产生的所述多个驱动波形中的一部分。
10.根据权利要求1～7中任一项所述的液状体的喷出方法，其特征在于，
向所述能量产生机构施加非周期性产生的所述多个驱动波形中的一部分。
11.一种滤色片的制造方法，其是在基板上划分形成的多个膜形成区域具有至少三色的着色层的滤色片的制造方法，其特征在于，包括：
喷出工序，其使用权利要求1～10中任一项所述的液状体的喷出方法，向所述多个膜形成区域喷出含有着色材料的至少三色的液状体；
固化工序，其固化喷出的所述液状体，形成所述至少三色的着色层。
12.一种有机EL元件的制造方法，其是在基板上划分形成的多个膜形成区域至少具有发光层的有机EL元件的制造方法，其特征在于，包括：
喷出工序，其使用权利要求1～10中任一项所述的液状体的喷出方法，向所述多个膜形成区域喷出含有发光层形成材料的液状体；
固化工序，其固化喷出的所述液状体，形成所述发光层。
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