TWD223375S - 靜電卡盤 - Google Patents

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史全宇
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大陸商北京北方華創微電子裝備有限公司
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Abstract

【物品用途】;用於對晶片進行承載和固定，避免晶片在製程中出現移位或錯位，並在連接射頻電源後，為晶片提供射頻偏壓和控制晶片表面的溫度;【設計說明】;本案設計係新穎獨特之樣式，藉由形狀和圖案的結合設計靜電卡盤，可顯現出現有技術所未有之視覺效果。;本案最能表明設計要點的圖片或照片為:立體圖1。本案省略無設計要點的後視圖。;A部放大圖中標記1為靜電卡盤上的凸起，凸起高度很小，在3至8微米之間；標記2為氣道；標記3為用於定位的槽；標記4為孔。B部放大圖中標記5為中心氣孔；標記6為C形塗層；標記7為長圓形槽。;圖式所揭露之文字，為本案不主張設計之部分。

Description

靜電卡盤
用於對晶片進行承載和固定，避免晶片在製程中出現移位或錯位，並在連接射頻電源後，為晶片提供射頻偏壓和控制晶片表面的溫度
本案設計係新穎獨特之樣式，藉由形狀和圖案的結合設計靜電卡盤，可顯現出現有技術所未有之視覺效果。
本案最能表明設計要點的圖片或照片為:立體圖1。本案省略無設計要點的後視圖。
A部放大圖中標記1為靜電卡盤上的凸起，凸起高度很小，在3至8微米之間；標記2為氣道；標記3為用於定位的槽；標記4為孔。B部放大圖中標記5為中心氣孔；標記6為C形塗層；標記7為長圓形槽。
圖式所揭露之文字，為本案不主張設計之部分。
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