TW580706B - Semiconductor memory - Google Patents

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TW580706B
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Tatsuya Kanda
Takahiko Sato
Akihiro Funyu
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Fujitsu Ltd
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580706 玖、發明說明 (發明說明應敘明：發明所屬之技術領域、先前技術、内容、實施方式及囫式簡單說明） t發明所屬之技術領域3 技術領域： 本發明係有關用以保持已寫入記億體之資料而必要定期地進行 5 更新動作的半導體記憶體。特別是，本發明有關不必要外部來的更 新指令，且在內部自由地進行更新動作的半導體記憶體。又，本發 明有關前述半導體記憶體的試驗技術。
It 技術背景： 1〇 近年來，行動電話等自動機器之服務功能已呈高度 化，可處理之資料量現正在增加之中。伴隨著此一情形， 乃要求著搭載於自動機器之工作記憶體的大容量化。 習知技術上，自動化機器之工作記憶體乃使用著系統 構成容易的SRAM。但是，構成SRAM —位元之晶胞的元件 15 數比DRAM多，故不利於大容量化。因此，正開發著以具 有DRAM之記憶體而在內部自動地進行記憶體晶胞的更新 動作的狀態，而作爲SRAM動作之半導體記憶體。 此種半導體記憶體係將用以進行一次的更新動作之更 新動作時間包含於讀出循環時間或寫入循環時間。具體而 2〇言，更新動作時間確保在循環時間之前半。實際的讀出動 作或寫入動作係於循環時間之後半進行。爰此，搭載半導 體記憶體之系統（使用者）並無必要察知到半導體記憶體之 更新動作。即，使用者能將此半導體記憶體當作SRAM使 6 580706 玖、發明說明 用。 又，此種半導體記憶體爲了縮短循環時間，乃將更新 動作設成比讀出動作時間短。具體而言，更新動作時之字 元線的選擇時間比讀出動作時之字元線的選擇時間短（例 5 如特公平7 — 56589號公報（2〜3頁，第4圖））。 上述公報所揭示之半導體記憶體，更新要求係就在讀 出動作之前發生時，於讀出動作前可進行更新動作。更新 動作時間設定成比讀出動作時間短。但是，更新動作時間 爲了將一定（預定）的信號量資料再寫入於記憶體晶胞，僅 10 能比讀出動作時間短一些。如上所述，實施樣態際的讀出 動作係於讀出循環時間之後半進行。因此，能充分地縮短 存取時間. 又，上述公報之第4圖並非表示於讀出動作（讀出資 料D)之前後進行更新動作RF者。第4圖係簡略化地表示 15將更新動作RF配合於更新要求之發生時序而於讀出動作 之前或報進行者（上述公報第5欄第1〜10行）。 又，虛擬SRAM如上所述非從外部察知到更新動作而 自動地進行。另一方面，一旦更新動作不能正確地進行時 ’則保持在記憶體晶胞的資料會被破壞。因此，有必要評 20價正確地進行更新動作的情形。特別是有必要詳細地評價 從外部供給之讀出動作或寫入動作的要求，及在晶片內部 發生之更新動作之要求競先時的電路動作。 【發明内容】 7 580706 玖、發明說明 發明揭示： 本發明之目的在於提供兼具DRAM之大容量與SRAM之 使用容易性的半導體記憶體。 本發明之其他目的在於，於晶片內部自動地進行更新 5 動作之半導體記憶體縮短存取時間。 本發明之其他目的在於，於晶片內部自動地進行更新 動作之半導體記憶體確實地進行更新動作。 本發明之其他目的在於，用以確實地進行更新動作而 評價晶片內部狀態。 10 本發明之半導體記憶體之一樣態係記憶體磁心具有多 數記憶體晶胞。指令控制電路應答藉由指令端子而供給之 存取要求並輸出用以存取記憶體晶胞的存取信號。更新計 時器用以將記憶體晶胞予以更新而以一定的周期產生更新 要求。更新控制電路用以開始更新動作而應答更新要求而 15 輸出第1更新信號。存取要求與更新要求進行競先時停止 第1更新信號的輸出。爰此，能更早開始對應存取要求的 存取動作。即，能縮短存取時間。更新控制電路於對應存 取要求之存取動作後輸出應答更新要求的第2更新信號。 磁心控制電路應答存取信號而進行存取動作，且應答第1 20 及第2更新信號而分別進行第1及第2更新動作。因於第 1更新動作後必定要進行第2更新動作，故即便是第1更 新動作所構成之再寫入記憶體晶胞不充足的情形下，能於 其後之第2更新動作將充分的信號量資料再寫入記憶體晶 8 580706 玖、發明說明 胞。因此，即使是在存取要求與更新要求進行競先，而以 存取要求爲優先的情形下，能確保記憶體晶胞的資料。 本發明之半導體胃3 ig、體之其他一樣態，外部位址輸入 電路藉由位址端子而接收外部位址信號。更新計算器會產 5生在記憶體晶胞之中表示要更新之記憶體晶胞的更新位址 信號。開關電路應答第1及第2更新信號的輸出而選擇更 新位址，第1及第2更新信號之未輸出時選擇外部位址信 號而將已選擇之位址信號輸出至記憶體晶胞。藉著第1及 第2更新信號而以使開關電路動作的狀態而能容易地切換 10 控制位址信號。因此能簡易地構成開關電路。 本發明之半導體記憶體之其他一樣態，係第1更新動 作之進行時間比第2更新動作之進行時間短。以將第1更 新動作之進行時間設成最小限的狀態而能更早開始存取動 作。 15 本發明之半導體記憶體之其他一樣態，係第1更新動 作之進行時間係將藉著第1更新動作而再寫入記憶體晶胞 的資料，放大直到進行第2更新動作之前能保持不失去的 信號量的時間。即，第1更新動作之進行時間設定在最小 限。以將第1更新動作之進行時間設成最小限的狀態而能 20 更早開始存取動作。 本發明之半導體記憶體之其他一樣態，係記憶體磁心 具有分別連接於記憶體晶胞之多數字元線、連接於記憶體 晶胞之位元線、及連接於位元線的感測放大器。第1及第 9 580706 玖、發明說明 2更新動作以讀出步驟、放大步驟、及預先充電步驟來構 成。在讀出步驟應答字元線之任何選擇而從要存取之記憶 體晶胞於位元線讀出資料。在放大步驟於位元線讀出資料 後使感測放大器活性化而使位元線上的資料放大。經放大 5之資料再寫入存取中的記憶體晶胞。在預先充電步驟非選 擇字元線而使位元線預先充電至一定的電壓。 第1及第2更新動作中的讀出步驟的時間相等。第1 及第2更新動作中的預先充電步驟的時間相等。第1更新 動作之放大步驟的時間比第2更新動作之放大步驟的時間 10 短。僅將放大步驟之時間因應於動作而予以調整的狀態， 能容易地將第1更新動作之進行時間作成最小限。即，能 簡易地構成磁心控制電路等電路。 本發明之半導體記憶體之其他一樣態，係更新控制電 路於存取要求與更新要求不競先時，遮住第1更新信號的 15 輸出而僅輸出第2更新信號。以僅在有必要時進行第1更 新動作的狀態而能削減動作時之消耗電力。 本發明之半導體記憶體之其他一樣態，係第1及第2 更新動作之進行時間、及二次更新動作之進行時間之和比 存取要求之最小供給間隔之外部存取循環時間的二次份量 20 小。換言之，於二次外部存取循環時間之間可進行第1及 第2更新動作，與二次存取動作。本發明如上述由於第1 更新動作之進行時間短，故能比習知更縮短外部存取循環 10 580706 玖、發明說明 本發明之半導體記憶體之其他一樣態，係第2更新動 作之準行時間與存取動作之進行時間相同。因此，能將用 以進行第2更新動作及存取動作之控制電路予以共通化。 其結果則能弄小磁心控制電路的電路規模。 5 本發明之半導體記憶體之其他一樣態，係第2更新動 作之進行時間比存取動作之進行時間短。因此，第2更新 動作進行後，直至進行其次之存取動作爲止在時序上有餘 裕。爰此，能提昇磁心控制電路之動作餘裕且能容易達到 此等電路之時序設計。 1〇 本發明之半導體記憶體之其他一樣態，係試驗控制電 路於試驗模式中從藉由外部試驗端子所供給之試驗更新要 求信號產生第1及第2更新信號。因此，能以所希望之時 序來開始第1更新動作後所進行之第2更新動作。第2更 新動作係藉著第1更新動作而將要保持在記憶體晶胞之資 15 料再寫入記憶體晶胞。因此，能容易地評價第1更新動作 之動作增益。 本發明之半導體記憶體之其他一樣態，係試驗控制電 路因應試驗更新要求信號之脈波幅而設定第1及第2更新 信號之產生間隔。爰此，能以一個外部試驗端子而自由地 20設定第1及第2更新信號之產生間隔。 本發明之半導體記憶體之其他一樣態，係記億體磁心 具有多數記憶體晶胞、連接於記憶體晶胞之位元線、及連 接於位元線的感測放大器。指令控制信號應答藉由指令端 11 580706 玖、發明說明 子而供給之存取要求而輸出用以存取記憶體晶胞之存取控 制信號。動作控制信號應答存取控制信號而對記憶體磁心 進行存取動作。 更新計時器以一定的周期產生內部更新要求。更新控 * 5制電路因應存取要求及第2更新控制信號之任何一方而輸 v 出第1更新控制信號及第2更新控制信號之任何一方。即 ，更新控制電路因應存取要求及內部更新要求之發生時序 而切換第1及第2更新控制信號。感測放大器藉著第1更 ® 新控制信號而使第1期間活性化，藉著第2更新控制信號 10 而使長的第2更新動作期間活性化。應答第1及第2更新 控制信號而對記憶體磁心進行第1及第2更新動作。如此 一來，半導體記憶體因應本身所產生之更新要求而不察知 外部即自動地進行第2種更新動作。 檢出（檢測出）電路於試驗模式中動作，於檢出第1更 15 新控制信號時輸出檢出信號。因此，藉著輸出檢出信號而 | 檢出更新控制電路所構成之第1及第2更新控制信號的切 換時序。即，在半導體記憶體具有二種更新動作功能時亦 能評價各別進行更新動作之時序條件。又，例如於第1更 新控制信號連續發生而引起動作不良的情形下能以檢出信 2()號而確實地評價發生不良的時序。 由於能容易地檢出在半導體記憶體內自動地進行之二 種更新動作，故能以簡易的手法來正確地評價關係此等更 新動作之半導體記憶體的動作特性。其結果則能縮短評價 12 580706 玖、發明說明 時間且能縮短半導體記憶體之開發時間。即，能削減開發 成本。或是於量產中的半導體記憶體因製造條件之變動而 發生不良時，能迅速地進行解析不良而能將製成率降低期 間弄至最小限度。 ·
5 本發明之半導體記憶體之其他一樣態，係藉著檢出電 V 路而檢出之檢出信號，藉著外部端子而輸出至半導體記憶 體的外部。爰此，例如藉著用以評價半導體記憶體之更新 特性之評價裝置而檢出該檢出信號的狀態，而能正確地評 · 價關連著更新動作之半導體記憶體的動作特性。 10 本發明之半導體記憶體之其他一樣態，係三相輸出緩 衝器將由記憶體晶胞來的讀出資料輸出至資料端子。輸出 遮住電路於試驗模式中以控制三相輸出緩衝器的狀態而應 答檢出信號並禁止對讀出資料之資料端子的輸出，並將資 料端子設成高阻抗狀態。因此，連接於半導體記憶體之評 15 價裝置以測定資料端子之高阻抗狀態的狀態而能檢出其檢 0 出信號。例如使用LSI測試器作爲評價裝置而以利用存取 時間之評價用程式以判定匯流排/濾波器的狀態而能容易 蒙 地檢出其檢出信號的發生。即’能容易地評價有關半導體 ▲攀 記憶體之更新動作的動作特性。又，以使用資料端子作爲 20 外部端子的狀態而達到不要形成新的端子而能防止增加晶 片尺寸。 本發明之半導體記憶體之其他一樣態’係更新選擇電 路於試驗模式中，將藉由外部端子而供給之試驗更新要求 13 580706 玖、發明說明 ，以取代更新要求而輸出至更新控制電路。此時，從更新 計時器輸出之內部更新要求會被遮住。因此，能從半導體 記憶體之外部供給具有所希望之時序的更新要求。由於能 從半導體記憶體之外部供給更新要求及存取要求，故能以 · 5高精密度地控制存取要求與更新要求的偏差（時間差）。其 v 結果則能詳細地評價關係半導體記憶體之更新動作的動作 特性。 本發明之半導體記憶體之其他一樣態，係更新計時器 修 於試驗模式中，接收用以變更更新要求之產生周期的更新 10調整信號。因此，能使用於一般動作時動作之電路而在半 導體記憶體之內部產生具有所希望時序之更新要求。爰此 ，能以與半導體記憶體之實際電路動作的狀態來評價更新 特性。 本發明之半導體記憶體之其他一樣態，係更新控制電 15路內的裁定電路於存取要求與內部更新要求競先時，決定 應答存取要求之存取動作及應答更新要求之更新要求動作 ® 的優先順序。裁定電路使存取要求優先於內部更新要求時 ’於輸出存取控制信號之後輸出第2更新控制信號。又， " 裁疋電路使內部更新要求優先於存取要求時，順序地輸出 〜 20第1更新控制信號、存取控制信號、及第2更新控制信號 〇 應答第1更新控制信號之更新動作以短時間結束。因 此，在內部更新要求優先於存取要求的情形下亦能更早開 14 玖、發明說明 始對應存取要求之更新動作。即，能縮短存取時間。由於 在應答第1更新控制信號之更新動作（第1更新動作）之後 ，一定進行應答第2更新控制信號的更新動作，故即使第 1更新動作所構成之再寫入記憶體晶胞不充分的情形下亦 5 能以之後的更新動作將充分的信號量資料再寫入記憶體晶 胞.因此，在存取要求與更新要求進行競先而使存取要求 優先的情形下亦能確實地保持記憶體晶胞的資料。 本發明之半導體記憶體之其他一樣態，係第1更新控 制動作之進行時間爲能將藉著第1更新控制動作所再寫入 10 記憶體晶胞的資料，能放大直至進行第2更新控制動作爲 止不失去地保持之信號量的時間。即，以將第1更新控制 動作之進行時間設成最小限而能更早開始存取動作。 本發明之半導體記憶體之其他一樣態，係記憶體磁心 具有多數記憶體晶胞。外部端子接收用以存取記憶體晶胞 15 之存取要求。更新計時器以一定的周期產生更新要求。磁 心控制電路於存取要求與更新要求進行競先且更新要求優 先時，將應答更新要求之更新動作結束時刻因應於存取要 求之供給時序而設定在第1時刻與慢於第1時刻之第2時 刻之間。例如磁心控制電路於存取要求之收信時刻與更新 20要求之發生時刻之差小時，將結束時刻設得早。又，磁心 控制電路於存取要求之收信時刻與更新要求之發信時刻之 差大時，將結束時刻設得晚。更新動作之結束時刻非固定 而係因應存取要求之供給時序而可變。因此，於存取要求 15 580706 玖、發明說明 與更新要求進行競先時，能更早開始更新動作後的存取動 作。即，能更縮短存取時間。 更新動作之結束時刻爲了因應存取要求之供給時序而 變化，即便是存取要求對應於更新要求而漸漸地偏差，存 · 5 取時間亦無變化。因此，能防止因存取要求與更新要求之 r 時間差所造成存取時間的不均情形。而由於存取時間不會 不均，故能弄小存取時間的最大値（最壞値）。 本發明之半導體記憶體之其他一樣態，係裁定電路於 ® 更新要求與內部更新要求進行競先時，決定應答存取要求 10 之存取動作及應答更新要求之更新動作的優先順序。裁定 電路使存取要求優先於更新要求時，於輸出用以開始存取 動作之存取控制信號後對磁心控制電路輸出用以開始更新 動作之更新控制信號。又，裁定電路於使更新要求優先於 存取要求時，於輸出更新控制信號之後對磁心控制電路輸 15 出存取控制信號。磁心控制電路因應存取控制信號及更新 0 控制信號而分別進行存取動作及更新動作。因此，在存取 要求與更新要求進行競先時亦能確實地進行更新動作及存 取動作。 本發明之半導體記憶體之其他一樣態，係記憶體磁心 ~ 20 具有分別連接於記憶體晶胞之多數字元線。更新動作之結 束時刻對應於字元線之非活性化時刻。即，磁心控制電路 以因應存取要求之供給時序而將字元線予以非活性化的狀 態來結束更新動作。 16 580706 玖、發明說明 本發明之半導體記憶體之其他一樣態，係記憶體磁心 具有連接於記憶體晶胞之字元線與連接於字元線的感測放 大器。更新動作之結束時刻對應於感測放大器之非活性化 時刻。即，磁心控制電路因應存取要求之供給時序而使字 ·_ 5 元線非活性化之同時，以使感測放大器非活性化的狀態而 v 結束更新動作。 本發明之半導體記憶體之其他一樣態，係磁心控制電 路具有產生通知第1時刻之第1時刻信號、通知第2時刻 · 之第2時刻信號的時序產生電路。磁心控制電路對應其因 10應第1及第2時刻信號的產生時序之存取要求的供給時序 而設定結束時刻。因此，能以簡易的邏輯電路並因應存取 要求之供給時序而結束更新動作。 本發明之半導體記憶體之其他一樣態，係存取要求比 第1時刻先供給時，結束時刻設定在第1時刻，而能進行 15第1短更新動作。存取要求於第1時刻至第2時刻之間供 給時，結束時刻設定在存取要求之供給時刻而能進行第2 ^ 短更新動作。存取要求於第2時刻後供給時，結束時刻設 定在第2時刻而能進行一般更新動作。 ‘ 更新動作之結束總是在第1時刻以後。以確保最低限 20的更新動作期間的狀態（第1短更新動作），而能防止更新 動作所造成之記憶體晶胞內資料的破壞。又，更新動作之 結束總是在第2時刻以前。不能供給存取要求時，亦以總 是將更新動作在第2時刻結束的狀態而能防止記憶體磁心 17 580706 玖、發明說明 的無謂動作。其結果則能防止無謂的磁心動作電流的消耗 。而且將更新動作之結束以設定在第1時刻至第2時刻之 間的狀態而同步於存取要求之供給時序，而能結束更新動 作。此時不劣化存取時間而能再寫入的最大限的電荷可被 5 寫入記憶體晶胞，故比較於第1短更新動作的情形乃能具 有資料保持性上的餘裕。 本發明之半導體記憶體之其他一樣態，係記憶體磁心 具有連接於記憶體晶胞之多數字元線。半導體記憶體具有 輸出更新計時器之更新要求的長生成間隔的第1動作模式 10 ，與更新要求之短生成間隔的第2動作模式。因應更新要 求而能選擇字元線之一。 半導體記憶體於第1動作模式中，因應更新要求而進 行第1或第2短更新動作時，於此第1或第2短更新動作 後，對經選擇之字元線而測試一般更新動作。半導體記憶 15體直至發生其次之更新要求之前’優先更新要求而於不能 進行對經選擇之字元線之一般更新動作時，轉移至第2動 作模式。以等待一定期間的狀態來判斷轉移至第2動作模 式而能確實地判斷存取要求之供給頻度係暫時地變高或是 持續地變高。因此，能轉移至因應存取頻度最適當的動作 20模式。其結果則能將轉移至第2動作模式之期間作成最小 限度，且能將更新動作之造成之消耗電力作成必要最小限 度。即，能削減半導體記憶體之消耗電力。 本發明之半導體記憶體之其他一樣態’係更新計算器 18 580706 玖、發明說明 用以順序選擇字元線而應答更新要求並進行計算動作。半 導體記憶體於第2動作模式中，僅進行一般更新動作而於 更新計算器進行一周時轉移至第1動作模式。於存取要求 之頻度下降至一定期間時，以轉移至第1動作模式的狀態 ·_ 5而使更新要求之頻度下降，因此能削減消耗電力。 ' t實施方式3 實施發明之最佳樣態： 以下使用圖式來說明本發明之實施樣態。圖中粗線所 修 表示之信號線係以多數位元所構成。圖中的雙層圓圈標記 10 表示外部端子。前端附有之信號及末端附有，，χ”的信 號表示負邏輯。末端附有信號表示正邏輯。 第1圖表示本發明之半導體記憶體的第1實施樣態。 此半導體記憶體具有DRAM記憶體晶胞，形成作爲具有 SRAM界面的虛擬SRAM。虛擬SRAM並非從外部接受更新指 15 令，而係在晶片內部定期地進行更新動作，而保持已寫入 記憶體晶胞的資料。此虛擬SRAM例如可使用於搭載在行 ® 動電話的工作記憶體。 虛擬SRAM具有指令控制電路1〇、更新計時器12、更 新控制電路14、更新計算器16、更新位址輸入電路18、 — 20外部位址輸入電路20、開關電路22、資料輸入出電路24 、磁心控制電路26、及記憶體磁心28 ° 指令控制電路10藉由指令端子從外部接收指令信號（ 晶片允許信號/ CE、輸出允許信號/ 及寫入允許信5虎 19 580706 玖、發明說明 /WE)，解讀接收到的指令，輸出讀出控制信號RDZ、寫入 控制信號WRZ(存取信號）及讀寫控制信號RWZ、RWIZ(存取 信號）。讀出控制信號RDZ及寫入控制信號WRZ(高階）係 於讀出指令及寫入指令分別供給時輸出。讀寫控制信號 5 RWZ、RWIZ(高階）於供給讀出指令及寫入指令時輸出。讀 寫控制信號RWIZ比讀寫控制信號RWZ早輸出。 更新計時器12以一定周期輸出更新要求信號 REFI0Z(更新指令）。更新要求信號REFI0Z以不失去保持 在記憶體晶胞MC的資料而以能順次更新記憶體晶胞MC的 10 周期來產生。例如設定更新要求信號REFI0Z之產生周期 以使全部的記憶體晶胞MC在64ms以內更新一次。具體而 言，於每次更新要求時配線著順次選擇之2048條的字元 線WL的情形下，更新要求信號REFI0Z於每31 // s產生。 更新控制電路14因應讀寫控制信號RWZ、RWIZ及更 15 新要求信號REFI0Z而輸出更新信號REFSZ(第1更新信號 )及更新信號REFZ(第2更新信號）。更新要求計算器16 從更新信號REFZ之昇起邊緣於一定期間後進行計算動作 而順次地輸出更新位址信號RAZ。 更新位址輸入電路18將更新位址信號RAZ作爲更新 20 位址信號RAFAD輸出。外部位址輸入電路20藉由位址端 子而接收位址信號ADD，並將接收到的信號作爲列信號 RAD(上階位址）及行信號CAD(下階位址）而輸出。又，虛 擬SRAM係同時接收上位位址與下位位址之位址非多重式 20 580706 玖、發明說明 記憶體。 開關電路22於更新信號REFZ或REFSZ爲高階時，將 更新位址信號REFAD作爲內部列信號IRAD而輸出，於更 新信號REFZ及REFSZ均爲低階時，將列信號RAD作爲列 5 信號IRAD而輸出。 資料輸入出電路24藉由共通資料匯流排CDB而接受 讀出資料，並將收到的資料輸出至資料端子DQ，藉由資 料端子DQ而接受寫入資料，並將接受到的資料輸出至共 通資料匯流排CDB。資料端子之位元數例如爲16位元。 10 磁心控制電路26具有第1及第2時序控制電路30、 32及OR電路34。 第1時序控制電路30同步於讀寫控制信號RWZ及更 新信號REFZ而輸出第1字元時序信號TWX1。第2時序控 制電路32同步於更新信號REFSZ而輸出第2字元時序信 15 號TWX2。OR電路34將第1或第2字元時序信號TWX1、 TWX2作爲字元時序信號TWZ輸出。 又，磁心控制電路26具有圖式未顯示之感測放大控 制電路及再充電控制電路。感測放大控制電路接收到讀寫 控制信號RWZ及更新信號REFZ、REFSZ之其中任何之一時 20 ，會輸出將於後述之用以使感測放大部SA之感測放大活 性化的感測放大活性化信號LEZ。預先充電控制電路不使 用位元線BL、/BL時輸出位元線重設信號BRS。 記憶體磁心28具有記憶體晶胞陣列ARY、字元解碼 21 玖、發明說明 部WDEC、感測放大部SA、行信號解碼部CDEC、感應緩衝 部SB及寫入放大部WA。記憶體晶胞陣列ARY具有多數非 依電性記憶體晶胞MC(動態記憶體晶胞）與連接於記憶體 晶胞MC之多數字元線WL及多數位元線BL、/BL。各記憶 5 體晶胞MC與一般的DRAM記憶體晶胞相同，而具有用以將 資料作爲電荷而保持之電容器與配置於此電容器與位元線 BL(或/BL)之間的轉送電晶體。轉送電晶體之閘極連接於 字元線WL。藉著選擇字元線WL而進行讀出動作、寫入動 作及更新動作之其中任何之一。記憶體晶胞陣列ARY於進 10 行讀出動作、寫入動作及更新動作之其中任何之一之後’ 應答位元線更新信號RBS而進行將字元線BL、/BL預先充 電至一定電壓的預先充電動作。 字元解碼部WDEC於接受到高階字元線控制信號TWZ 時，因應內部列信號而選擇任何的字元線WL ’並將選擇 15 之字元線WL變更成高階。行解碼部CDEC因應行信號CAD 而輸出使分別連接於位元線BL、/BL與資料匯流排DB的 行開關開啓的行線信號。 感測放大部SA具有多數的感測放大器。各感測放大 器因應感測放大器活性化信號LEZ而動作並放大位元線 20 BL、/BL上的資料信號量。以感測放大器放大的資料於讀 出動作時藉由行開關而傳達至資料匯流排DB，於寫入動 作時藉由位元線而寫入記憶體晶胞MC。 感應緩衝部SB放大資料匯流排DB上的讀出資料的信 22 玖、發明說明 號量而輸出共通資料匯流排CDB。寫入放大部WA放大共 通資料匯流排CDB上的寫入資料的信號量，而輸出資料匯 流排DB。 第2圖表示第1圖所示之更新控制電路14的詳細。 更新控制電路14具有接受更新要求信號REFIOZ及讀 寫控制信號RWIZ而輸出更新要求信號REFIZ的裁定電路 ARB、產生更新信號REFZ之第1更新生成電路36、及產 生更新信號REFSZ之第2更新生成電路38。 裁定電路ARB對於讀寫控制信號RWIZ延遲一定時間 而接受更新要求信號REFIOZ時，暫時保持更新要求信號 REFIOZ而於輸出讀寫控制信號RWIZ後，並將更新要求信 號REFIOZ作爲更新要求信號REFIZ輸出。 第1更新生成電路36於讀寫控制信號RWZ、RWIZ均 低階時，應答高階之更新要求信號REFIZ而輸出高階的更 新信號REFZ。第2更新生成電路38於讀寫控制信號RWIZ 爲高階時，應答高階的更新要求信號REFIZ而輸出高階的 更新信號REFSZ。 第3圖表示第1圖所示之磁心控制電路26之重要部 分的詳細。 第1時序控制電路30同步於讀寫控制信號RWZ或更 新fg號REFZ的昇起邊緣而輸出具有一定脈波之第1字元 時序信號TWX1(低階脈波）。第2時序控制電路32同步於 更新信號REFSZ之昇起邊緣而輸出具有一定脈波之第2字 580706 玖、發明說明 元時序信號TWX2(低階脈波）。0R電路34如上所述將第1 或第2字元時序信號TWX1、TWX2作爲字元時序信號TWZ 而輸出。 第4圖表示第1圖所示之更新位址輸入電路18、外 ·- 5 部位址輸入電路20、及開關電路22的詳細。又，第4圖 、 所示之電路係對應1位元的位址信號的電路。實際上存在 著對應位址信號的位元數之數量的電路。 更新位址輸入電路18以奇數段的變流器而構成。更 # 新位址輸入電路18反轉更新位址信號而作爲更新位址信 10 號REFAD而輸出。外部位址輸入電路20具有以奇數段的 變流器來構成的二個緩衝電路。緩衝電路將位址信號ADD 作爲列位址信號RAD及行位址信號CAD而分別輸出。 開關電路22於更新信號REFZ或REFSZ爲高階時，將 更新位址信號REFAD之反轉邏輯作爲內部列位址信號 15 IRAD而輸出，於更新信號REFZ或REFSZ爲低階時，將列 _ 位址信號RAD之反轉邏輯作爲列位址信號IRAD輸出。 第5圖表示第1實施樣態之記憶體晶胞陣列ARY的基 本動作。 麵 此實施樣態之記憶體晶胞陣列ARY隨著二個基本時序 ' 20 A、B之任何之一而動作。基本時序A、B均由讀出步驟RP 、放大步驟AP、及預先充電步驟PP所構成。讀出步驟RP 係應答字元線WL之活性化（選擇）而從被選擇之記憶體晶 胞MC對位元線BL(或/BL)讀出資料的期間。 24 玖、發明說明 放大步驟AP於位元線BL(或/BL)讀出資料之後，應 答應放大活性化信號LEZ而使感測放大器活性化而放大位 元線BL、/BL之電位差（資料），係經放大之位元線BL、 /BL的電壓再寫入已讀出資料之記憶體晶胞MC的期間。 預先充電步驟PP係將字元線WL予以非活性化（非選擇）而 將位元線BL、/BL預先充電至一定電壓的期間。 寫入動作WR、讀出動作RD及一般的更新動作REF(第 2更新動作）使用基本時序而進行。即，一般的更新動作 REF的進行時間與寫入動作WR及讀出動作RD的進行時間 相同。字元線WL以基本時間T的7倍（7T)期間被活性化 。此時之循環時間tRC爲期間8T。寫入動作WR有必要從 記憶體晶胞MC讀出而將位元線BL、/BL上放大之資料以 寫入資料反轉。因此，寫入動作WR之循環時間tRC變得 最長。讀出動作RD考量到使用者的方便而與寫入動作WR 相同地使用基本時序。 一般的更新動作REF不必要將位元線BL、/BL連接於 資料匯流排DB，亦無必要在位元線BL、/BL上反轉資料 。因此，即便是將字元線WL之活性化期間設爲期間6T亦 能再次將保持在記憶體晶胞MC之資料寫入記憶體晶胞 MC(第5圖之基本時序C所示之縮短更新動作REFr)。但 是此實施樣態爲了簡易地構成磁心控制電路26而在一般 的更新動作REF與寫入動作WR同樣地使用基本時序。更 新動作REF係於更新信號REFZ輸出時進行。 580706 玖、發明說明 藉著更新動作REF而以資料可寫入記憶體晶胞MC的 狀態而使各記憶體晶胞MC之資料保持時間（暫停時間）爲 64ms以上。 又，使用基本時序C之更新動作REFr的循環時間 ^ ' 5 tRCr與習知技術所說明之更新動作的循環時間相同。係 、 .期間7T。 短更新動作REFf(第1更新動作）使用基本時序B而 進行。在此說明短更新動作REFf於存取要求（讀出指令或 春 寫入指令）與更新要求競先時，用以使更新動作在最小限 10 的期間進行而使用。以短更新動作REFf之後立即進行存 取動作（讀出動作或寫入動作WR)的狀態而能縮短存取時 間。短更新動作REFf之字元線WL的活性化期間設定在期 間3T。短更新動作REFf之循環時間tRCf爲期間4T。 爲了於短更新動作REFf之感測放大器的活性化期間 15 (LEZ信號的高階期間）爲短，位元線BL、/BL之電壓差不 @ 能充分地放大。由於再寫入記憶體晶胞MC之資料的信號 量小，故有必要於短更新動作REFf之後例如於200ns以 ·· 內再度使用基本時序A而進行一般的更新動作REF。換言 _ 之，若是在200ns以內能進行一般的更新動作REF的話， 20以立即進行短更新動作REFf的狀態而能防止記憶體晶胞 MC之資料的損失。如此一來，短更新動作REFf之進行時 間（資料的放大與再寫入時間）係於短更新動作REFf之進 行後至進行一般的更新動作REF爲止的期間，能不損失記 26 580706 玖、發明說明 憶體晶胞MC內的資料而能保持資料的時間。 基本時序A、B之循環時間差依據對應感測放大器之 活性化時間之放大步驟AP的時間差而產生。讀出步驟Rp 及預先充電步驟pp的時間各別的的基本時序A、B相同。 5 第6圖表示第1實施樣態之虛擬SRAM的動作。 此例子中，連繽進行二次讀出動作而最初的讀出指令 與更新要求信號REFI0Z約同時發生。 首先，第1圖所示之指令控制信號10接受低階的晶 片充許信號/CE及圖式未顯示之低階輸出充許信號/〇E、 10 高階的寫入充許信號/WE，並檢測出供給讀出指令（讀出存 取要求）的狀態（第6圖（a))。指令控制信號10應答讀出 指令而輸出讀寫控制信號RWIZ及讀寫控制信號RWZ(第6 圖（b、c))。讀寫控制信號RWZ於讀寫控制信號RWIZ變更 爲低階之前被輸出。 15 第2圖所示之更新計時器12於供給讀出指令之約同 時輸出更新要求信號REFIOZ。更新控制電路14之裁定電 路ARB應答更新要求信號REFI0Z而輸出更新要求信號 REFIZ(第 6 圖（d))。 爲了於讀寫控制信號RWIZ之高階期間產生更新要求 20 信號REFIZ，更新控制電路14之第2更新生成電路38會 輸出高階的更新信號REFSZ(第6圖（e))。第4圖所示之 開關電路22之應答高階的更新信號REFSZ而將更新位址 信號RAZ(RAI)作爲列位址信號IRAD而輸出（第6圖（Π) 27 580706 玖、發明說明 0 第3圖所示之第2時序控制電路32同步於更新信號 REFSZ而輸出第2字元昤序信號TWX2(第6圖（g ))。藉著 輸出第2字元時序信號TWX2而輸出字元時序信號TWZ(第 5 6圖（h))而能進行第5圖所示之短更新動作REFZ(第1更 新動作）。 其次，第2更新生成電路38應答讀寫控制信號RWIZ 變化爲低階而停止更新信號REFSZ的輸出(第6圖（i))。 開關電路22應答低階的更新信號REFSZ而將對應第1次 10 之讀出指令之外部位址信號ADD(ADl)作爲列位址信號 IRAD而輸出（第6圖（j))。 第3圖所示之第1時序控制電路30同步於讀寫控制 信號RWZ的昇起而輸出第1字元時序信號TWX1(第6圖 (k))。藉著第1字元時序信號TWX1的輸出而輸出字元時 15序信號TWZ(第6圖（1))，並進行第5圖所示之讀出動作 RD。又，字元時序信號TWZ的輸出間隔係以達到位元線 BL、/BL的預先充電動作能正確地進行的狀態而設定爲預 先充電動作時間tRP。藉著讀出動作RD而在位元線BL、 /BL上放大的讀出資料B0藉由共通資料匯流排CDB而輸 20 出至資料端子DQ(第6圖（m))。 以對應與讀出要求競先之更新要求而進行短更新動作 REFf的狀態，而從晶片允許信號/CE之昇起邊緣至資料輸 出至資料端子DQ爲止之晶片允許存取時間tCE能比習知 28 580706 玖、發明說明 縮短時間τι的程度。 其次，第2圖所示之更新控制電路14之第1更新生 成電路36檢測出讀寫控制信號RWZ、RWIZ之低階而輸出 更新信號REFZ(第6圖（η))。第1圖所示之更新計算器16 ，_ 5 從更新信號REFZ之昇起邊緣一定時間後，算出且增加更 ^ 新位址信號RAZ”1”（第6圖（〇))。開關電路22應答高階的 更新信號REFZ而與短更新動作REFf之進行時同樣地將更 新位址信號RAZ(RAl)作爲列位址信號IRAD輸出（第6圖 · (P)) ° 1〇 第1時序控制信號30同步於更新信號REFZ而輸出第 1字元時序信號TWX1(第6圖u))。藉著第1字元時序信 號TWX2之輸出而輸出字元時序信號TWZ(第6圖（I·))，並 進行第5圖所示一般的更新動作REF(第2更新動作）。 又，對應位址AD1之讀出動作RD而能比習知者更早 15 進行。因此，一般更新動作REF亦比習知者更早進行。 其次再次提供低階的晶片允許信號/CE及圖式未顯示 * 之低階輸出允許信號/0E、高階的寫入允許信號/WE(第6 警 圖（s))。共通控制信號10應答讀出指令而輸出讀寫控制 信號RWIZ及讀寫控制信號RWZ(第6圖（t、u))。 / 20 開關電路22名步於更新信號REFSZ之昇起邊緣而將 對應第2次的讀出指令之外部位址信號ADD(AD2)作爲列 位址信號IRDA而輸出（第6圖（y))。第1時序控制電路 30同步於讀寫控制信號RWZ之昇起邊緣而輸出第1字元 29 玖、發明說明 時序信號TWX1(第6圖（W))。 藉著輸出第1字元時序信號TWX1而輸出字元時序信 號TWZ(第6圖（X))並進行第5圖所示之讀出動作RD。藉 著讀出動作RD而在位元線BL、/BL放大的讀出資料DO藉 由共通資料匯流排CDB而輸出至資料端子DQ(第6圖（y)) 〇 以短更新動作REFf的影響使讀出動作RD及一般更新 動作REF比習知更早進行。其結果則亦更早進行對應位址 AD2之讀出動作RD，而使晶片允許存取時間tCE與上述同 樣地比習知縮短時間T1。 又，此虛擬SRAM如第6圖所示，短更新動作REFf及 一般更新動作REF的進行時間及第2次讀出動作RD的進 行時間的和設定成比更新要求之最小供給間隔之外部存取 循環時間tREC的二次份量小。因此，二次外部存取循環 時間tREC之間能進行短更新動作REFf及一般更新動作 REF與二次讀出動作RD。本發明如後述一般，由於短更新 動作REFf之進行時間短，故外部存取循環tREC能比習知 縮短。 第7圖表不第1貫施樣態之虛擬SRAM之其他動作。 有關與第6圖相同的動作則省略詳細的說明。 此例子係連續進行二次讀出動作RD而於供給最初的 讀出指令後發生更新要求信號REFI0Z。 第2圖所不之更新控制電路14之裁定電路ARB暫日寺 580706 玖、發明說明 保持更新要求信號REFI0Z，於讀寫控制信號RWIZ之輸出 後將更新要求信號REFI0Z作爲更新要求信號REFIZ而輸 出（第7圖（a))。藉著裁定電路arb而使更新要求信號 REFIZ之輸出延遲的狀態而能防止從第2更新生成電路％ ' 5輸出更新信號REFSZ。由於不輸出更新信號REFSZ，故讀 ' 出動作RD即之短更新動作REFf不能進行。如此一來，更 新要求與更新要求不競先時，以將更新信號REFSZ之輸出 予以遮住的狀態而能僅於有必要時進行短更新動作REFf φ 。其結果能削減動作時的電力消耗。 10 之後與第6圖同樣地，第1字元時序信號TWX1同步 於讀寫控制信號RWZ之昇起邊緣而輸出（第7圖（b))，且 能輸出字元時序信號TWZ(第7圖（c))而進行讀出動作RD 。讀出動作RD以後的時序與第6圖相同。讀出動作RD時 之晶片允許存取時間tCE與第6圖同樣地能比習知縮短時 15 間丁卜 第8圖表示第1實施樣態之虛擬SRAM之其他動作。 有關與第6圖相同的動作則省略詳細的說明。 φ 此例子中，連續進行讀出動作RD及寫入動作WR，而 使讀出指令與更新要求信號REFI0Z約同時發生。第8圖 2〇 所示之時序除了對應第6圖之位址AD2之讀出動作RD取 代寫入動作WR之外’乃與第6圖相同。即’即便是在反 覆進行讀出動作RD與寫入動作WR的情形下亦與第6圖同 樣地能縮短循環時間。 31 580706 玖、發明說明 以上，本實施樣態於存取要求與更新要求競先時，停 止更新信號REFSZ的輸出而中斷短更新動作REFf。因此 ，能更早開始對應存取要求的存取動作。即，能縮短存取 時間。 ·. 5 因於短更新動作REFf之後一定進行一般的更新動作 ' REF，故即使對於短更新動作REFf所構成之記憶體晶胞 MC的再寫入不充分，亦能在之後的更新動作REF將充分 的信號量資料再寫入記憶體晶胞MC。因此，即使是存取 · 要求與更新要求競先而使存取要求優先的情形下，亦能確 10 實保持記憶體晶胞MC的資料。特別是在本實施樣態中， 因將短更新動作REFf之進行時間設成最小限，故能更早 開始存取動作。 藉著更新信號REFSZ、REFZ而切換外部位址信號 ADD(RAD)及更新位址信號REFAD，因此能簡易地構成開關 15 電路22。 短更新動作REFf及一般更新動作REF的進行時間僅 ® 在變更放大步驟AP之時間調整。因此，能容易地將短更 新動作REFf之進行時間調整成所希望的時間。又，更新 動作REFf、僅在放大步驟AP調整REF之進行時間的狀態 . 20而能容易控制記憶體磁心28的動作，且能簡易地構成磁 心控制電路26的電路。 更新要求與存取要求不競先時，以不進行短更新動作 REFf的狀態而能削減動作時的消耗電力。 32 580706 玖、發明說明 由於在讀出動作RD及寫入動作WR之前進行之短更新 動作REFfREFf的進行時間設定在最小限，故外部存取循 環時間tREC能比習知縮短。 由於一般更新動作REF之進行時間與讀出動作RD及 5 寫入動作WR的進行時間相同，故能使用以進行此等動作 的控制電路共通化。具體而言，由於能共有第1時序控制 電路30，故能弄小虛擬SRAM的電路規模。 第9圖表示本發明之半導體記憶體之第2實施樣態。 對於與第1實施樣態所說明之要素相同的要素，則賦予相 10 同的標號而省略對此等要素的詳細說明。 此實施樣態取代第1實施樣態之磁心控制電路26而 形成磁心控制電路26A。其他的構成與第1實施樣態相同 。磁心控制電路26A具有第1及第2時序控制電路30A、 32A、及 OR 電路 34A。 I5 第1時序控制電路30A同步於讀寫控制信號RWZ而輸 出第1字元時序信號TWX1。第2時序控制電路32A同步 於更新信號REFZ、REFSZ而分別輸出第3字元時序信號 TWX3及第2字元時序信號TWX2。0R電路34A將第1或第 2、第3字元時序信號TWX1，TWX2、TWX3作爲字元時序信 20 號TWZ而輸出。 又，磁心控制電路26A與第1實施樣態同樣地具有輸 出感測放大器活性化信號LEZ的感測放大器控制電路及輸 出位元線重設信號BRS的預先充電控制電路。 33 580706 玖、發明說明 第10圖表示第9圖所示之磁心控制電路26A之重要 部分的詳細。 第1時序控制電路30A同步於讀寫控制信號RWZ之昇 起邊緣而輸出具有一定脈波寬之第1字元時序信號TWX1( . 5 低階脈波）。第2時序控制電路32A同步於更新信號REFZ 之昇起邊緣而輸出具有一定脈波寬之第3字元時序信號 TWX3(低階脈波）。又，第2時序控制電路32A同步於更新 信號REFSZ之昇起邊緣而輸出具有一定脈波寬之第2字元 · 時序信號TWX2(低階脈波）。時序信號TWX-3之脈波寬係 10 因應連接於NAND閘極之變流器列的段數而設定。即，此 實施樣態係以讀出動作RD ·寫入動作WR、一般更新動作 REF、及短更新動作REFf的順序而使字元線WL的選擇期 間變短。OR電路34A將時序信號TWX1、TWX2、TWX3作爲 字兀時序信號TWZ而輸出。 15 第前述圖表示第2實施樣態之虛擬SRAM動作。有關 與第1實施樣態（第6圖）相同的動作則省略詳細的說明· ® 此例子中’與第1實施樣態之第6圖同樣地連繽進行 二次讀出動作RD，而最初的讀出指令與更新要求信號 REFI0Z約同時發生。短更新動作REFf及第丨次、第2次 ’ 20的讀出動作RD的時序與第1實施樣態相同。 第1次的讀出動作RD之後，更新控制電路14之第i 更新生成電路36(第2圖）檢測出讀寫控制信號Rwz、rWIz 的低階而輸出更新信號REFSZ(第11圖（a))。開關電路22 34 580706 玖、發明說明 應答高階更新信號REFZ而與短更新動作REFf之進行時相 同將更新位址信號RAZ(RAl)作爲列位址信號IRAD而輸出 (第 11 圖（b))。 第10圖所75之第2時序控制電路32A同步於更新信 ·. 5號REFZ而輸出第3字元時序信號TWX3(第11圖（c))。第 ' 3字元時序信號TWX3之脈波寬比第1字元時序信號TWX1 短，該時序對應於第5圖所示之基本時序C。藉著第3字 元時序信號TWX3之輸出而輸出字元時序信號TWZ(第11 · 圖（d))而進行時間行對應基本時序c之縮短更新動作 10 REFr 〇 縮短更新動作REFr以比第1實施樣態之循環時間 tRC短的循環時間tRCr來進行。因此，從縮短更新動作 REFr的結束至第2次讀出動作RD之開始的期間產生餘裕 時間tMRG。藉著餘裕時間tMRG能提昇磁心控制電路26A 15等的虛擬SRAM之內部電路的動作餘裕。換言之，虛擬 SRAM的時序設計變得容易。 ® 第12圖表示第2實施樣態之虛擬SRAM之其他動作。 有關與上述第6圖、第7圖及第11圖相同動作則省略詳 · 細的說明。 / 20 此例子係連續進行二次讀出動作RD而於供給最初的 讀出指令後發生更新要求信號REFI0Z。·除了在讀出動作 RD之間進行縮短更新動作REFr的情形之外，乃與第1實 施樣態（第7圖）相同。 35 580706 玖、發明說明 以上，於第2實施樣態亦能獲得與上述第1實施樣態 同樣的效果。而此在此實施樣態之一般的更新動作ref的 進行時間比讀出動作RD及寫入動作WR之進行時間短。因 此，於進行一般更新動作REF之後，至進行其次之存取動 5作RD、WR之前能有餘裕的時序。爰此，能提昇磁心控制 電路26A的動作餘裕而使此等電路之時序設計變得容易。 第13圖表示本發明之半導體記憶體之第3實施樣態 。對於與第1實施樣態所說明之要素相同的要素，則賦予 相同標號而省略對此等要素的詳細說明。 10 此實施樣態以取代第1實施樣態之更新控制電路 、開關電路22及磁心控制電路26，而改以形成更新控制 電路14B、開關電路22B及磁心控制電路26B。其他構成 與第1實施樣態相同。 更新控制電路14B因應讀寫控制信號RWIZ及更新要 15 求信號REFI0Z而輸出更新信號REFZ(高階）。開關電路 22B於更新信號REFZ爲高階時，將更新位址信號refad 作爲內部列位址信號IRAD而輸出，於更新信號REFZ爲低 階時，將列位址信號RAD作爲列位址信號iraD輸出。如 後述一般，更新信號REFZ不僅在一般更新動作ref時輸 20 出，且在短更新動作REFf時亦輸出。 磁心控制電路26B具有第1及第2時序控制電路30B 、32B、及0R電路34。第1時序控制電路30B同步於讀 寫控制信號RWZ而輸出第1字元時序信號TWX1。第2時 36 580706 玖、發明說明 序控制電路32B同步於更新信號repy而輸出第2字元時 序信號TWX2。0R電路34將第1或第2字元時序信號 TWX1、TWX2作爲字元時序信號TWZ而輸出。 第14圖表示第13圖所示之更新控制電路HB的詳細 .. 5 〇 · 更新控制電路14B具有產生更新信號REFZ、REFIX之 更新生成電路40、及與第丨實施樣態相同的裁定電路ARB 。更新生成電路40於更新要求信號REFIZ爲高階時，從 · 讀寫控制信號RWIZ之昇起邊緣至第1 一定時間後將更新 10 信號REFZ變化成低階，從讀寫控制信號rWIZ之昇起邊緣 至第2 —定時間後將更新信號REFZ變化成高階。第！ 一 定時間比第2 —定時短。第丨及第2 一定時間藉延遲電路 DLY1而設定。延遲電路DLY1係例如串聯連接偶數個變流 器而構成。 15 又’更新生成電路40於更新信號REF之脈波幅（高階 脈波）爲一定時間以上時輸出更新計算信號REFCZ。更新 ® 計算信號REFCZ被回授至更新計時器12。 第15圖表示第13圖所示之磁心控制電路26B之重要 部分的詳細。 / 20 第1時序控制電路30B同步於讀寫控制信號RWZ之昇 起邊緣而輸出具有一定脈波幅之第1字元時序信號TWX1( 低階脈波）。第2時序控制電路32A同步於更新信號REFZ 之昇起邊緣而輸出具有一定脈波幅之第2字元時序信號 37 玖、發明說明 TWX2(低階脈波）。 時序信號TWX1、TWX2之脈波幅係因應連接於NAND閘 之變流器列的段數而設定。但是更新信號REFZ同步於讀 寫控制信號RWIZ之昇起邊緣而變成低階時（短更新動作 5 REFf時），時序信號TWX2之脈波幅變得相同更新信號 REFZ之脈波幅。OR電路34將時序信號TWX1、TWX2作爲 字元時序信號TWZ輸出。 此實施樣態與第1實施樣態同樣地，字元線WL之選 擇期間於讀出動作RD、寫入動作WR及一般更新動作REF 10 相同，而於短更新動作REFf時變短。 第16圖表示第3實施樣態之虛擬SRAM的動作。對於 與第1實施樣態（第6圖）相同的動作則省略詳細的說明。 此例子與第1實施樣態之第6圖相同地，連續進行二 次讀出動作RD ’而最初讀出指令與更新要求信號REFI〇z I5約同時發生。短更新動作REFf及第1次、第2次的讀出 動作RD的時序與第1實施樣態相同，僅電路動作不同。 首先’第14圖所示之更新控制電路14B之更新生成 電路40同步於更新要求信號REFIZ之昇起邊緣而使更新 fg號REFZ變爲局階（第16圖。））。開關電路22B應答高 20階的更新信號REFZ而將更新位址信號RAZ(RAl)作爲列位 址ig號IRAD而輸出（第16圖（b))。第2時序控制電路 32B同步於更新信號refz而輸出第2字元時序信號TWX2( 第 16 圖（c))。 38 玖、發明說明 應答讀出指令的供給而使讀寫控制信號RWIZ變爲高 階（第16圖（d))。更新生成電路40從讀寫控制信號RWIZ 之昇起邊緣於一定時間後將更新信號REFZ變爲低階（第 16圖（e))。第2時序控制電路32B應答更新信號REFZ變 5 爲低階的變化而使第2字元時序信號TWX2變爲高階（第 16圖（〇)。即，可產生具有對應短更新動作REFf之脈波 幅的第2字元時序信號TWX2。 〇R電路34反轉第2字元時序信號TWX2之邏輯階而 作爲字元時序信號TWX輸出（第16圖（g))。可進行短更新 10 動作REFf。開關電路22B應答更新信號REFZ變爲低階的 變化而將對應第1次讀出指令之外部位址信號ADD(ADl) 作爲列位址信號並輸出（第16圖（h))。 其後，與第1實施樣態（第6圖）同樣地進行第1次讀 出動作RD。 15 其次，更新生成電路40從應答第1次讀出動作指令 而產生之讀寫控制信號RWIZ的昇起邊緣於第2 —定時間 後，使更新信號REFZ變爲高階（第16圖（i))。與第1實 施樣態（第6圖）同樣地開始一般的更新動作REF(第16圖 ⑴）。 20 更新生成電路40應答更新信號REFZ之高階期間係超 過一定期間的情形而使更新計算信號REFCZ變爲高階（第 16圖（k))。更新計算信號REFCZ回授至更新信計時器12 39 580706 玖、發明說明 更新生成電路40應答更新要求信號REFIOZ(REFIZ) 之變爲低階的變化而使更新要求信號REFIZ變爲高階（第 16圖（1))。更新計時器16從更新要求信號REFIX之昇起 邊緣一定時間後，進行算出而將更新位址信號RAZ增加 5 ”1”（第 16 圖（m))。 更新生成電路40從應答第2次讀出動作指令而產生 之讀寫控制信號RWIZ的昇起邊緣於第1 一定時間後，使 更新信號REFZ變爲低階（第16圖（η))。結束一般的更新 動作REF。開關電路22應答更新信號REFZ之變爲低階的 10 變化而將對應第2次讀出指令之外部位址信號ADD(AD2) 作爲列位址信號IRAD並輸出（第16圖（〇))。 之後，與第1實施樣態（第6圖）同樣地進行第2次的 讀出動作。 第17圖表示第3實施樣態之虛擬SRAM的動作。對於 15 與第第6圖及第7圖相同的動作則省略詳細的說明。 此例子與第1實施樣態之（第7圖）相同地，連續進行 二次讀出動作RD，而於最初讀出指令之供給後發生更新 要求信號REFI0Z。因此，不會進行短更新動作REFf。又 ，更新要求信號REFI0Z的發生慢，故更新要求信號 20 REFI0Z的昇起邊緣慢（第Π圖（a))。爰此，更新計算器 16於第2次的讀出動作RD後能算出（第Π圖（b))。其他 動作與上述第16圖相同。 於第3實施樣態亦能獲得與上述1實施樣態相同的效 40 580706 玖、發明說明 果。 第18圖表示本發明之半導體記憶體之第4實施樣態 。圖中的雙重四角形表示試驗接頭。試驗接頭乃不連接於 要出貨之製品的外部端子（導線框等）。試驗接頭於探針試 5 驗時連接探針而接收試驗圖案。此半導體記憶體具有 DRAM記憶體晶胞（動態記憶體晶胞MC)，而形成具有SRAM 之介面的虛擬SRAM。虛擬SRAM非從外部接受更新指令， 而係在晶片內部定期地進行更新動作以保持已寫入記憶體 晶胞的資料。此虛擬SRAM例如可使用於行動電話所搭載 10 之工作記憶體。 虛擬SRAM具有存取時序生成電路110、指令解碼器 112、更新選擇電路114、更新計時器116、更新計算器 118、位址輸入電路120、開關電路122、資料輸出電路 124、資料輸入電路126、裁定電路128、更新判定電路 15 130、列動作控制電路132、磁心控制電路134及記憶體 磁心136。 存取時序生成電路110藉由指令端子CMD而從外部接 受指令信號CMD(晶片充許信號/CE、輸出允許信號/OE及 寫入允許信號/WE)，而輸出用以進行讀出動作或寫入動作 20 的存取時序信號ATDPZ。 指令解碼器112解讀指令信號CMD而輸出用以進行讀 出動作的讀出控制信號RDZ或用以進行寫入動作的寫入控 制信號WRZ。 41 580706 玖、發明說明 更新選擇電路114於一般動作模式中，將從更新計時 器116輸出之內部更新要求信號IREFZ作爲更新時序信號 SRTPZ並輸出。更新選擇電路ι14於試驗模式中，藉由外 部試驗端子SRC而將從虛擬SRAM之外部供給之試驗更新 5要求信號REFZ作爲更新時序信號SRTPZ並輸出。即，於 試驗模式中，從更新計時器116輸出之內部更新要求信號 IREFZ被遮罩著，而試驗更新要求信號EREFZ取代內部更 新要求信號IREFZ而作爲更新時序信號SRTPZ並輸出。 又’虛擬SRAM接受在一般動作不使用之組合的多數 10指令信號CMD的狀態，從一般動作模式轉移至試驗模式( 第1試驗模式或第2試驗模式）。虛擬SRAM於第1試驗 模式中，將試驗信號TES1Z保持於高階，且於第2試驗 模式中，將試驗信號TES2Z保持於高階。 更新計時器116，以一定的周期輸出內部更新要求信 15 號IREFZ。內部更新要求信號IREFZ以不失去保持在記 憶體晶胞MC之資料而以能順次更新的周期來產生記憶體 晶胞MC。例如以使全部的記憶體晶胞MC於300ms以內 進行一次更新那般地設定內部更新要求信號IREFZ的生 成周期。更詳細而言，配線有每次更新要求時可順次選擇 2〇 之8k條字元線WL的情形下，內部要求信號IREFZ於每 36〜37/zs產生。更新計時器116係以振盪周期爲l#s之 環狀振盪器與用以從環狀振盪器之輸出而產生內部更新要 求信號IREFZ的分頻電路所構成。 42 580706 玖、發明說明 更新計算器118應答內部更新要求信號IREFZ而進 行計算動作，並順次產生更新位址信號REFAD。 位址輸入電路120藉由位址端子ADD而接受位址信 號ADD，而將所接受之信號作爲列位址信號RAD(上位位 5 址)及行位址信號CAD(下位位址)而輸出。又，虛擬 SRAM係同時接受上位位址與下位位址之位址非多重式記 憶體。 開關電路122於進行更新動作時，將更新位址信號 REFAD作爲內部位址信號IRAD而輸出，於進行讀出動 10 作或寫入動作時，將列位址信號RAD作爲內部位址信號 IRAD而輸出。 資料輸出電路124藉由共通資料匯流排CDB而接受 從記憶體晶胞MC來的讀出資料，並將所接受之信號輸出 至資料端子DQ(DQ0-7)。又，資料輸出電路於試驗模式中 15 ，在接受到由更新判定電路128輸出之短更新檢出信號 REFSSZ(檢出信號)時，將資料端子DQ0-7設定爲高阻抗 狀態。 資料輸入電路126藉由資料端子DQ(DQ0-7)而接受寫 入資料，並將所接受到的資料輸出至共通資料匯流排 20 CDB。 裁定電路128以比較存取時序信號ATDPZ(存取要求) 與更新時序信號SRTPZ(更新要求)之遷移邊緣的狀態而判 斷此等要求之競先，並決定使存取動作及更新動作之何者 43 580706 玖、發明說明 優先。裁定電路128於存取動作優先的情形下，暫時保持 更新時序信號SRTPZ，並應答讀出控制信號RDZ或寫入 控制信號WRZ而輸出讀出時序信號RDPZ或寫入時序知 信號WRPZ。之後裁定電路128藉著磁心循環狀態信號 5 ICSX之非活性化(變化至高階)而檢出存取動作的結束，並 因應已保持之更新時序信號SRTPZ而輸出更新開始信號 REFPZ及更新狀態信號REF1Z(第2更新控制信號）。更新 狀態信號REF1Z係表示更新動作在進行中的信號。 又，裁定電路128於更新動作優先的情形下，暫時保 10 持存取時序信號ATDPZ，並應答更新時序信號STRPZ而 輸出輸出更新開始信號REFPZ及更新狀態信號REF1Z(第 1更新控制信號）。之後裁定電路128藉著磁心循環狀態信 號ICSX之非活性化(變化至高階)而檢出存取動作的結束 ，並因應已保持之存取時序信號ATDPZ而輸出讀出時序 15 信號RDPZ或寫入時序信號WRPZ。 又，從更新判定電路130輸出短更新信號REFS2Z時 ，裁定電路128輸出更新開始信號REFPZ及更新狀態信 號REF1Z，而於進行更新動作後亦暫時保持更新時序信號 SRTPZ。藉著磁心循環狀態信號ICSX之非活性化而檢出 20 存取動作之結束後，再次輸出更新開始信號REFPZ及更 新狀態信號REF1Z(第2更新控制信號)而進行更新動作。 即，輸出短更新信號REFS2Z時，應答一次的更新要求而 進行第2次的更新動作。 44 580706 玖、發明說明 輸出短更新信號REFS2Z時，裁定電路128將對應第 1次更新動作之更新狀態信號REF1Z(第1更新控制信號） 比較於一般更新動作而輸出短的時期間(對應後述之第1 期間）。裁定電路128將對應第2次更新動作之更新狀態 ' 5信號REF1Z(第2更新控制信號)與一般更新動作相同期間 ·_ 輸出(對應後述之第2期間）。 更新判定電路130於存取時序信號ATDPZ與更狀態 信號REF1Z之遷移邊緣的間隔比一定期間短時，輸出短 · 更新信號REFS2Z。又，更新判定電路130於第1試驗模 10 式中(TES1Z=高階），將短更新信號REFS2Z作爲短更新 檢出信號REFSSZ(檢出信號)輸出。更新判定電路130於 第2試驗模式中(TES2Z=高階），且於連續二次輸出短更 新信號REFS2Z時，將短更新檢出信號REFSSZ作爲檢出 信號REFSSZ輸出。 15 更新時序生成電路110、指令解碼器112及裁定電路 | 128應答其藉由指令端子CMD而供給之存取要求信號(讀 出指令或寫入指令），而將後述之記憶體晶胞MC作爲輸 一 出用以存取之存取控制信號(讀出時序信號RDPZ或寫入 時序信號WRPZ)的指令控制信號並予以作動。 2〇 裁定電路128及更新判定電路130因應存取要求及內 部更新要求之發生時序而將使感測放大器予以第1期間活 性化之第1更新控制信號(REF1Z)、或是將使感測放大器 比第1期間更長的第2期間活性化的第2更新控制信號 45 580706 玖、發明說明 (REF1Z)作爲更新控制電路而作動。 列動作控制電路132接受讀出時序信號RDPZ、寫入 時序信號WRPZ、或更新時序信號SRTPZ時，輸出用以 作動記憶體磁心136之基本時序信號的列控制信號RASZ 5 。又，於記憶體磁心136作動中，將磁心循環狀態信號 ICSX保持在低階。又，列動作控制電路132不接受短更 新信號REFS2Z而接受更新時序信號SRTPZ時，進行一 般的更新動作(第2更新動作），表受短更新信號REFS2Z 且接受更新時序信號SRTPZ時，進行比一般的更新動作 10 更短的短更新動作(第1更新動作）。 磁心控制電路134具有圖式未顯示之字元線控制電路 、感測放大器控制電路及預先充電控制電路。字元線控制 電路應答列控制信號RASZ而輸出會選擇將於後述之字元 線WL的字元線控制信號TWZ。感測放大器控制電路應 15 答列控制信號RASZ而輸出用以將後述之感測放大器部 SA之感測放大器予以活性化之感測放大器活性化信號 LEZ。預先充電控制電路於不使用位元線BL、/BL時輸出 位元線重設信號BRS。 列動作控制電路132及磁心控制電路134應答讀出時 20 序信號RDPZ(存取控制信號)或寫入時序信號WRPZ(存取 控制信號)而使記憶體磁心136進行存取動作，並應答第1 及第2更新控制信號REF1Z而作爲使記憶體磁心136進 行第1及第2更新動作的動作控制電路而作動。 46 580706 玖、發明說明 記憶體磁心136具有記憶體晶胞陣列ARY、字元解 碼部WDEC、感測器放大部SA、行解碼部CDEC、感測 緩衝部SB及寫入放大部WA。記憶體晶胞陣列ARY具有 多數依電性記憶體晶胞MC(動態記億體晶胞)與連接於記 5 憶體晶胞MC之多數字元線WL及多數位元線BL、/BL( 相補的位元線）。各記憶體晶胞MC與一般DRAM之記憶 體晶胞相同，且具有將資料作爲電荷而保持之電容器、及 配置於電容器與位元線BL(或/BL)之間的轉送電晶體。動 態記憶體之閘極連接於字元線WL，藉著字元線WL之選 10 擇而進行讀出動作、寫入動作及更新動作之其中一動作。 記憶體晶胞陣列ARY於進行讀出動作、寫入動作及更新 動作之其中一動作後，應答位元線重設信號RBS而進行 將位元線BL、/BL預先充電至一定電壓的預先充電動作 〇 15 字元解碼部WDEC於接受到高階字元線控制信號 TWZ時，因應內部列位址信號IRAD而選擇字元線WL之 其中之一，並將所選擇之字元線WL變更爲高階。行解碼 部CDEC因應行位址信號CAD而輸出使分別連接位元線 BL、/BL與資料匯流排DB之行開關予以開啓的行線信號 20 。 感測放大器部SA具有多數感測放大器。各感測放大 器應答感測放大器活性化信號LEZ而動作，並放大位元 線BL、/BL上之資料的信號量。以感測放大器放大的資 47 580706 玖、發明說明 料於讀出動作時藉由行開關而傳達至資料匯流排DB，於 寫入動作時藉由位元線而寫入記億體晶胞MC。 感測緩衝部SB放大資料匯流排DB上之讀出資料的 信號量而輸出至共通資料匯流排CDB。寫入放大器部WA 5 放大共通資料匯流排CDB上之寫入資料的信號量而輸出 資料匯流排DB。 第19圖表示第18圖所示之更新判定電路130的詳細 〇 更新判定電路130具有比較信號生成電路138、短更 1〇 新判定電路140、短更新鎖存電路142及選擇電路144。 比較信號生成電路138因應存取時序信號ATDPZ而 產生比較信號ATDREFZ。短更新判定電路140比較更新 狀態態信號REF1Z之遷移邊緣與比較信號ATDREFZ之遷 移邊緣而判定是否將表示更新狀態態信號REF1Z之更新 15動作應作爲一般更新動作或是短更新動作。短更新判定電 路140於判定應進行短更新動作時，並輸出短更新信號 REFS2Z。 短更新鎖存電路142同步於更新狀態信號REF1Z之 昇起邊緣而鎖存短更新信號REFS2Z之邏輯階，並將經鎖 2〇 存之邏fe階作爲短更新柄號REFSCZ輸出。因此，短更新 信號REFSCZ於進行短更新動作時變爲高階，於進行一般 更新動作時變爲低階。又，短更新鎖存電路142於重設信 號RESET2Z爲高階期間被重設，而將短更新檢出信號 48 580706 玖、發明說明 REFSSZ變爲低階。重設信號RESET2Z於第2試驗模式 中，在將重設指令作爲共通信號CMD而接受時於一定的 期間變爲高階。 選擇電路144於試驗信號TES1Z爲高階時(第1試驗 5 模式），將短更新信號REFS2Z作爲短更新檢出信號 REFSSZ輸出，於試驗信號TES2Z爲高階時(第2試驗模 式），將短更新信號REFS2Z及短更新信號REFSCZ之 AND邏輯作爲短更新檢出信號REFSSZ輸出。如後述情 形一般，在第1試驗模式，於每次進行短更新動作時輸出 10 短更新檢出信號REFSSZ，在第2試驗模式，於連續進行 二次短更新動作時輸出短更新檢出信號REFSSZ。如此一 來，選擇電路144於試驗模式中作動而於檢出用以進行時 間短更新動作之短更新狀態信號REF1Z(第1更新控制信 號)時作爲輸出短更新檢出信號REFSSZ的檢出電路而作 15 動。 第20圖表示第18圖所示之資料輸出電路124的詳細 〇 資料輸出電路124具有輸出遮罩電路146及輸出緩衝 電路148。又，在第20圖表示對應資料端子DQ0之輸出 2〇緩衝電路148。對應其他資料端子DQ0-7之輸出緩衝電路 與輸出緩衝電路148相同。輸出遮罩電路146係對於對應 資料端子DQ0-7之輸出緩衝電路148共通的電路。 輸出遮罩電路146藉著高階的重設信號RESET1Z而 49 580706 玖、發明說明 重設’反轉讀出時序信號READZ而作爲輸出允許信號 ODEX輸出。輸出遮罩電路146於接受到高階的短更新檢 出信號REFSSZ時，禁止讀出時序信號READZ的輸出。 即，輸出允許信號ODEZ藉著高階的短更新檢出信號 ·、 5 REFSSZ而保持在高階。 . 輸出緩衝電路148於輸出允許信號〇deX爲低階時， 因應讀出資料DATA0X之邏輯階而作動三相輸出緩衝器 148a，而對資料端子DQ0輸出高階或低階。輸出緩衝電 · 路148於輸出允許信號ODEX爲高階時將三相輸出緩衝器 10 148a的輸出設爲高阻抗狀態。即，輸出遮罩電路146於試 驗模式中爲了應答短更新檢出信號REFSSZ而禁止讀出資 料輸出至資料端子DQ0之同時將資料端子DQ0設定在高 阻抗狀態，而控制三相輸出緩衝148a。
第21圖表示第4實施樣態之記憶體晶胞陣列ARY的 15 基本動作。 I 此實施樣態之寫入動作WR、讀出動作RD、以及一 般更新動作REF(第2更新動作)以相同循環時間RC進行 。短更新動作REFf(第1更新動作)以比循環時間tRC短的 時間tRCf來進行。寫入動作WR、讀出動作RD、一般更 · 20 新動作REF、以及短更新動作REFf係由讀出步驟RP、放 大步驟API或AP2、以及預先充電步驟PP所構成。 讀出步驟RP係從應答字元線WL之活性化(選擇)而 選擇之記憶體晶胞MC對位元線BL(或/BL)讀出資料的期 50 580706 玖、發明說明 間。放大步驟API、AP2對位元線BL(或/BL)讀出資料後 ，應答感測放大器活性化信號LEZ而使感測放大器活性 化之後，應答感測放大器活性化信號LEZ而使感測放大 器活性化並放大位元線BL、/BL的電壓差(資料），係經放 5 大之位元線BL、/BL的電壓再寫入已讀出的記憶體晶胞 MC的期間。放大步驟AP2期間(一般更新動作REF之感 測放大器活性化信號LEZ的高階期間)對應第2期間。放 大步驟API期間(短更新動作REFf之感測放大器活性化 信號LEZ的高階期間)對應第1期間。預先充電步驟PP 10 使字元線WL非活性化(非選擇)而將位元線BL、/BL預.先 充電至一定的電壓的期間。 寫入動作WR有必要將從從記憶體晶胞MC讀出之位 元線BL、/BL上所放大之資料於寫入資料反轉。因此， 寫入動作WR之循環時間比其他動作長。但是此實施樣態 15 考慮到使用者的方便性而將讀出動作RD之循環時間設定 相同於寫入動作WR之循環時間的値。 又，一般更新動作REF不必要將位元線BL、/BL連 接於資料匯流排DB，且不必要於位元線BL、/BL上反轉 資料。因此，即便是循環時間比tRC短亦能將保持在記憶 20 體晶胞MC的資料再次寫入記憶體晶胞MC。以全寫入而 使各記憶體晶胞MC之資料保持時間(暫時時間)爲64ms 以上。但是此實施樣態爲了簡易地構成列動作控制電路 132及磁心控制電路134而將一般的更新動作REF的循環 51 580706 玖、發明說明 時間設定成與寫入動作WR之循環時間相同。 短更新動作REFf係使用於於存取要求(讀出指令或寫 入指令)與更新要求競先時，用以使更新動作在最小限期 間進行。以短更新動作REFf之後立即進行存取動作(讀出 5 動作或寫入動作)的狀態而能縮短存取時間。 由於短更新動作REFf之感測放大器的活性化期間 (LEZ信號的高階期間)短，因此位元線BL、/BL之電壓差 不能充分地放大。而因再寫入記憶體晶胞MC之資料的信 號量(表單位址)小，故在短更新動作REFf之後有必要例 10 如在200ns以內設成一般更新動作REF。換言之，若是能 在200ns以內進行一般更新動作REF的話，則以先進行短 更新動作REFf的狀態而能防止記憶體晶胞之資料的流失 。此如一來，短更新動作REFf的進行時間(資料的放大與 再寫入時間)係於短更新動作REFf進行後至進行一般更新 15 動作REF的期間能不流失記憶體晶胞MC內的資料而能 保持的時間。 第22圖表示以第4實施樣態之一般動作模式的動作 例。 此例子係連續進行二次讀出動作RD，而最初的讀出 20 指令RD與內部更新要求信號IREFZ約同時發生。 首先，第18圖所示之存取時序生成電路110接受低 階的晶片允許信號/CE及圖式未顯示之低階輸出允許允許 信號/OE而輸出存取時序信號ATDPZ(第22圖(a))。指令 52 580706 玖、發明說明 解碼器112接受低階的晶片允許信號/CE及圖式未顯示之 低階輸出允許允許信號/OE、高低階寫入允許信號/WE， 而檢出已供給讀出指令RD(讀出存取要求)並輸出讀出控 制信號RDZ(第22圖⑻）。
5 第19圖所示之更新計時器116與供給讀出指令RD 約同時輸出內部更新要求信號IREFZ。更新選擇電路114 應答內部更新要求信號IREFZ而輸出更新時序信號 SRTPZ(第 22 圖(c))。 裁定電路128判定更新動作比讀出動作優先進行的狀 1〇 態而順序地輸出(第22圖(d))更新開始信號REFPZ及更新 狀態信號REF1Z(第1更新控制信號）。更新判定電路130 檢測出存取時序信號ATDPZ比更新狀態信號REF1Z早一 定時間產生而輸出短更新信號REFS2Z(第22圖(e))。開關 電路122用以進行短更新而將更新位址信號REFAD(RAl) 15 作爲列位址信號IRAD輸出(第22圖⑴）。 列動作控制電路132同步於更新開始信號REFPZ而 輸出列控制信號RASZ(第22圖(g))。磁心控制電路134應 答列控制信號RASZ而輸出字元線控制信號TWZ。而後 進行(第22圖(h))第21圖所示之短更新動作REFf(第1更 20 新動作）。列動作控制電路132於短更新動作REFf之進行 中，將磁心循環狀態信號ICSX變爲低階(第22圖⑴）。 裁定電路128於進行短更新動作REFf之後將更新狀 態信號REF1Z變爲低階(第22圖⑴）。開關電路122用以 53 580706 玖、發明說明 進行讀出動作而將位址信號ADD(ADl)作爲列位址信號 IRAD輸出(第22圖(k))。 裁定電路128應答磁心循環狀態信號ICSX之昇起邊 緣而輸出讀出時序信號RDPZ(第22圖(1))。列動作控制信 ' 5 號132同步於讀出時序信號RDPZ而輸出列控制信號 ' RASZ(第22圖(m))。磁心控制電路134應答列控制信號 RASZ而輸出字元線控制信號TWZ。而後進行第21圖所 示之讀出動作RD(第22圖(η))。藉讀出動作RD而於位元 · 線Bl、/BL上放大的讀出資料D0藉著共通資料匯流排 10 CDB而輸出至資料端子DQ(第22圖(〇))。 短更新動作REFf如第21圖所示以短期間結束。因此 ，在更新耍求與存取要求競先而更新要求優先的情形下亦 能早開始對應更新要求的存取動作。即，可縮短從晶片允 許信號/CE之昇起邊緣至資料輸出至資料端子DQ之晶片 15 允許存取時間。 $ 其次，裁定電路128對應磁心循環狀態信號ICSX之 昇起邊緣而順序輸出(第22圖(p))更新開始信號REFPZ及 ~ 更新狀態信號REF1Z(第2更新控制信號）。由於更新判定 電路130不能檢出存取時序信號ATDPZ之產生，故不輸 20 出短更新信號REFS2Z(第22圖(q))。開關電路22爲了進 行短更新動作後之一般更新，而將更新位址信號 REFAD(RAl)作爲列位址信號IRAD輸出(第22圖⑺）。 列動作控制電路132同步於更新開始信號REFPZ而 54 580706 玖、發明說明 輸出列控制信號(第22圖(s))。列控制電路134應答到控 制信號RASZ而輸出字元線控制信號TWZ。因此能進行（ 第22圖⑴)第21圖所示之更新動作REF(第2更新動作>。 應答第1更新控制信號之更新動作(第1更新動作)之後， · 5 —定會進行應答第2更新控制信號的更新動作，故即便是 \ 藉第1更新動作對記憶體晶胞的再寫入不充分而在其後的 更新動作可將充分的信號量再寫入記憶體晶胞。因此，即 便是更新要求與更新要求進行競先而更新要求優先的情形 · 下，而能確實保持記憶體晶胞的資料。 10 虛擬SRAM於更新動作REF的進行中，接受讀出指 令(低階之晶片允許信號/CE及圖式者顯示之低階輸出允許 信號/OE、高階的寫入允許信號/WE)(第22圖(u))。存取時 序生成電路110及指令解碼器112應答讀出指令而輸出（ 第22圖(v))存取時序信號ATDPZ及讀出控制信號RDZ。 15 裁定電路128應答一般的更新動作REF之磁心循環 信號ICSX之昇起邊緣輸出時序信號RDPZ(第22(w))。歹[J 動作控制電路132同步於讀出時序信號RDPZ而輸出列控 制信號(第22圖(X))。磁心控制電路134應答列控制信號 RASZ而輸出字元線控制信號TWZ。而能進行對應位址信 · 20 號AD2的讀出動作(第22圖(y))。以讀出動作RD而在位 元線BL、/BL上放大的讀出資料D1藉著共通資料匯流排 CDB而輸出資料端子DQ(第22圖(z))。 如第22圖所示，裁定電路128於內部更新要求信號 55 580706 玖、發明說明 IREFZ優先於讀出指令RD(存取要求)時，順序地輸出更 新狀態信號REF1Z(第1更新控制信號）、讀出時序信號 RDPZ、及更新狀態信號REF1Z(第2更新控制信號）。 又，此虛擬SRAM之短更新動作REFf及一般更新動 乂 5 作REF之進行時間、以及二次讀出動作RD之進行時間的 ·_ 和，設成比存取要求之最小供給間隔之外部存取循環時間 的二次份量小。因此，在二次外部存取循環時間能進行短 更新動作REFf及一般更新動作REF與二次讀出動作RD( · 或寫入動作）。即，虛擬SRAM非從外部識認而能進行更 10 新動作。 第23圖表示第4實施樣態之一般動作模式之其他動 作例。有關與第22圖相同的動作則省略詳細的說明。 此例係連續進行寫入動作及讀出動作，寫入指令與內 部更新要求信號IREFZ約同時發生。 15 更新計時器116約與寫入指令WR之供給同時地輸出 0 內部更新要求信號IREFZ(第23圖(a))。裁定電路128判 定更新動作比讀出動作優先進行的狀態而順序地輸出(第 23圖⑻)更新開始信號REFPZ及更新狀態信號REF1Z(第 1更新控制信號）。更新判定電路130檢測出存取時序信號 ‘ 2〇 ATDPZ比更新狀態信號REF1Z早一定時間產生而輸出短 更新信號REFS2Z(第23圖⑷）。 而後與第22圖同樣地順序進行短更新動作REFf(第i 更新動作）、寫入動作WR(存取動作）、及一般更新動作 56 580706 玖、發明說明 REF(第2更新動作)(第23圖(d)、⑷、⑴）。於更新動作進 行後進行對應位址AD2之讀出動作(第23圖(g))。 如第23圖所示，裁定電路128於內部更新要求信號 IREFZ優先於寫入指令WR(存取要求)時，順序地輸出更 5 新狀態信號REF1Z(第1更新控制信號）、寫入時序信號 WRPZ、及更新狀態信號REF1Z(第2更新控制信號）。 第24圖表示第4實施樣態之一般動作模式之其他動 作例。有關與第22圖相同的動作則省略詳細的說明。 此例係連續進行二次讀出動作RD而於最初的讀出指 10 令RD之供給後發生內部更新要求信號IREFZ。 裁定電路128於接受更新時序信號SRTPZ之前接受 存取時序信號ATDPZ。因此，裁定電路128判定讀出動 作優先於更新動作而進行。裁定電路128非輸出更新開始 信號REFPZ及更新狀態信號REF1Z而輸出讀出時序信號 15 RDPZ(第 24 圖(a))。 更新判定電路130非接受更新狀態信號REF1Z而接 受存取時序信號ATDPZ，因此不輸出短更新信號 REFS2Z(第25圖(b))。如此一來，於讀出指令RD(或寫入 指令WR)優先於更新指令(內部更新要求信號IREFZ)的情 20形下，不進行短更新動作。於讀出指令RD之供給後產生 內部更新要求信號IREFZ(第24圖(c))。對應位址AD1之 讀出動作RD優先於更新動作而進行（第24圖(d))。 裁定電路128同步於隨著讀出動作RD之結束之磁心 57 580706 玖、發明說明 循環狀態信號ICSX之昇起邊緣而輸出更新開始信號號 REFPZ及更新狀態信號REF1Z(第24圖(e))。與第22圖同 樣地順序進行一般的更新動作REF(第2更新動作)及對應 位址AD2之讀出動作RD(第24圖(f)、（g))。如此一來， 5 裁定電路128於讀出指令RD(存取要求)優先於內部更新 要求信號IREFZ時，在輸出讀出時序信號RDPZ之後，輸 出更新狀態信號REF1Z(第2更新控制信號號）。 第25圖表示第4實施樣態之第1試驗動作模式之動 作例。有關與第22圖相同的動作則省略詳細的說明。虛 10 擬SRAM預先從一般更新動作轉移至第1試驗模式。第i 試驗模式例如係於虛擬SRAM之開發時的特性評價中使用 。特性評價係將晶圓狀態之虛擬SRAM連接於探針而從 LSI測試器將試驗圖案輸入虛擬SRAM而進行。 此例係漸漸地加快對於讀出指令RD之試驗更新要求 15 信號EREFZ之供給時序信號序，而表示發覺到發生短更 新動作之時序時序信號之時序。即，表示更新要求與存取 要求競先之時序。就在第25圖之前的時序(發生短更新動 作前的時序)與上述第24圖相同。 第1試驗模式之第18圖所示之更新選擇電路114將： 2〇 由更新計時序信號器116輸出之內部更新要求信號IREFZ 予以遮罩，而藉由試驗端子SRC而取代內部更新要求信 號IREFZ以接受從LSI測試器所供給之試驗更新要求信 號EREFZ，並作爲更新時序信號SRTPZ輸出(第25圖⑷） 58 580706 玖、發明說明 。由於能使用LSI測試器將具有所希望之時序的更新要求 及存取要求從虛擬SRAM之外部供給，故能以高精密度地 控制存取要求與更新要求之偏差(時間差）。 第1試驗模式之LSI測試器例如將試驗更新要求信號 ' 5 EREFZ之供給時序相對於存取指令(例如讀出指令RD)漸 ·、 漸地提早起來。如此一來，可看出更新動作優先於讀出動 作而能進行短更新動作的時序。即，可檢測出短更新動作 REFf與一般更新動作REF之切換時序。 # 於第1試驗模式中，第19圖所示之更新判定電路 10 130之選擇電路144接受高階的試驗信號TES1Z而將短更 新信號REFS2Z作爲短更新信號號REFSSZ輸出(第25圖 (b))。第20圖所示之資料輸出電路124之輸出遮罩電路 146應答短更新信號REFSZ而將讀出時序信號READZ予 以遮罩並將輸出允許信號ODEX固定於高階。第20圖所 15 示之輸出電路124之輸出緩衝電路148被非活性化，而三 ^ 相輸出緩衝器148禁止隨著讀出動作RD之讀出資料DO 輸出至資料端子DQ之同時，將資料端子DQ設定於高阻 抗狀態Hi-Z(第25圖(c))。即，第1試驗模式進行短更新 動作REFf時，資料端子DQ成爲高阻抗狀態Hi-Z。藉著 ‘ 2〇 是否檢測出高阻抗狀態Hi-Z而判斷是否更新要求與存取 要求在競先。由於要進行上述評價可不形成專用的試驗端 子，因此可防止增加虛擬SRAM之晶片尺寸。 實際之評價係資料端子DQ被提昇(邏輯”1”)之評價基 59 580706 玖、發明說明 板或探針卡裝設於LSI測試器，而預先使邏輯”0”寫入對 應於位址AD1之記憶體晶胞MC。上述試驗中不讀出邏輯 ”〇”而形成誤差時，短更新動作REFf藉著更新要求與存取 要求之競先而判斷爲已進行。 5 資料端子DQ之高阻抗狀態Hi-Z持續至重設信號 RESETZ1供給至輸出遮罩電路146。因此，於進行短更新 動作REFf的情形下，於對應位址AD2之讀出動作RD時 亦會發生讀出誤差(第25圖(d))。 又，第25圖表示以進行對應位址AD1之讀出動作 10 RD的狀態而評價讀出指令與更新要求之競先的例子。然 而如第23圖所示，亦可以進行對應位址AD1之寫入動作 WR的狀態而評價寫入指令與更新要求之競先。 於第1試驗模式，在評價短更新動作之發生的時序信 號序後，虛擬SRAM轉移至第2試驗模式而進行依據以第 15 1試驗模式的評價結果之其他的評價。 第26圖及第27圖表示第4實施樣態之第2試驗模式 的動作例。對於與第22圖相同的動作而省略詳細的說明 。虛擬SRAM預先從一般動作模式或第1試驗模式轉移至 第2試驗模式。第2試驗模式與第1試驗模式同樣地例如 20 於虛擬SRAM之開發時之特性評價中使用。特性評價係將 晶圓狀態之虛擬SRAM連接於探針而從LSI測試器對虛擬 SRAM輸入試驗圖案而進行。 第2試驗模式之第18圖所示之更新選擇電路114將 60 580706 玫、發明說明 從更新計時器116輸出之內部更新要求信號IREFZ予以遮 罩，藉由試驗端子SRC取代內部更新要求信號iREFZ而 接受從LSI測試器所供給之試驗更新要求EREFZ，並作 爲更新時序信號序SRTPZ輸出(第26圖(a)、第27圖(a)) 5 ° LSI測試器於第2試驗模式不變更以第丨試驗模式評 價之時序條件而漸漸地縮短循環時間(例如讀出循環時間） 。可看出於短更新動作REFf之後進行之一般更新動作 REF變更爲短更新動作REFf之時序。即，可評價用以正 10 確地作動虛擬SRAM之最小的循環時間。 /第26圖所示之基本性的時序與第22圖相同。此時， 虛擬SRAM正確地動作順序進行短更新動作REFf、讀出 動作RD、及一般更新動作REF(第26圖(b)(c)(d))。第19 圖所示之更新判定電路130之短更新鎖存電路142於進行 15短更新動作REFf時，同步於更新狀態信號REF1Z之昇起 邊緣而鎖存高階之短更新信號REFS2Z，並作爲短更新信 號REFSCZ輸出(第26圖⑷）。 又，短更新鎖存電路142於短更新動作REFf後進行 一般更新動作REF時，同步於更新狀態信號REF1Z昇起 20 邊緣而鎖存低階的短更新信號REFS2Z並作爲短更新信號 REFSCZ輸出(第％圖⑴）。即，短更新信號REFSCZ從高 階變爲低階。 如第26圖所示，短更新信號REFS2Z、REFSSZ之高 61 580706 玖、發明說明 階期間並不交錯，故將短更新信號REFSSZ保持在低階（ 第26圖(g))。爰此，第20圖所示之輸出緩衝電路148並 非藉著短更新信號REFSSZ而被活性化。其結果則隨著讀 出動作RD之讀出資料D1藉由資料端子DQ而輸出至虛 5 擬SRAM的外部(第26圖(h))。即，在更新要求與存取要 求進行競先的情形下，虛擬SRAM正常地動作時，可讀出 正確的資料D1。 另一方面，第27圖表示循環時間過短而虛擬SRAM 非正確地動作的例子。此時順序地進行短更新動作REFf 10 、讀出動作RD及短更新動作REFf(第27圖(b)、⑷、⑷) 。第27圖因取代一般的更新動作REF而進行短更新動作 REFf(第27圖⑷），故不能對記憶體晶胞MC再寫入充分 的電荷量而會消失保持在記憶體晶胞MC的資料。 此例子中，對應於對應位址AD1之讀出動作RD之 15 後的短更新動作REFf而輸出短更新信號REFS2Z(第27圖 (e))。短更新鎖存電路142於進行短更新動作REFf時，同 步於更新狀態信號REF1Z之昇起邊緣而再次鎖存高階的 短更新信號REFS2Z並作爲短更新信號REFSCZ輸出(第 27圖⑴）。因此，短更新信號REFS2Z、REFSSZ之高階期 20 間重疊而短更新信號REFSSZ變爲高階(第27圖(g))。 第20圖所示之輸出電路124之輸出遮罩電路146應 答短更新信號REFSSZ而將讀出時序信號REFADZ予以遮 罩並將輸出允許信號ODEX固定於高階。爰此，第20圖 62 580706 玖、發明說明 所示之資料輸出電路124之輸出緩衝電路148被非活性化 。三相輸出緩衝器148a禁止隨著對應位址信號AD2之讀 出動作RD之讀出資料D1輸出至資料端子DQ，並將資料 端子DQ設定於高阻抗狀態Hi-Z(第27圖(h))。 ·， 5 爰此，與第25圖同樣地，於資料端子DQ被提昇的 ' 情形下(邏輯”1”），不讀出已寫入記憶體晶胞MC之邏輯 ，，0，，而形成誤差時，隨著短更新動作之進行而判斷輸出緩 衝電路148被非活性化。即，以檢測出連續產生二次短更 · 新信號REFS2Z的狀態而能評價虛擬SRAM之更新動作能 10 正常地進行之最小循環時間。 第26圖及第27圖表示以進行該對應位址AD1之讀 出動作RD的狀態而評價述出指令與更新要求之競先例。 然而，亦可如第23圖所示以進行對應位址AD1之寫入動 作WR的狀態而評價寫入指令與更新要求的競先。 15 又，於具有短更新功能之虛擬SRAM之更新動作是 否正常地進行，乃以確認已寫入記憶體晶胞MC之資料實 % 際地消失的狀態而能評價。具體而言，將更新要求相對;^ 存取要求漸漸地偏移之同時進行評價記憶體晶胞MC之^ 料保持特性之試驗(一般稱爲暫停試驗)即可。但是已寫人 、 20 DRAM之記憶體晶胞MC的資料保持數百毫秒至數秒。@ 此，要藉著暫停試驗以確認正確地進行更新動作的情形下* ，有必要相當大的試驗時間。 以上，第4實施樣態係更新要求與存取要求競先而進 63 580706 玖、發明說明 行短更新動作REFf時，將資料端子DQ設定於就阻抗狀 態。爰此，評價虛擬SRAM之LSI測試器等評價裝置能容 易且正確地評價***短更新動作REFf之時序。即，能容 易地進行更新要求與存取要求競先的時序°其結果則能縮 5 短虛擬SRAM之開發時間及削減開發成本。於虛擬SRAM 之量產時，因製造條件之變動等因素造成發生不良時，能 迅速地進行不良解析而能使製成率下降的期間成爲最小限 度。 又，在連續發生短更新動作REFf而造成動作不良的 10 情形下，可藉著檢出信號REFSSZ而確實地評價發生不良 的時序。 連接三相輸出緩衝器148a之資料端子DQ於試驗模 式中作爲外部試驗端子使用。因此可不要形成評價用之新 的端子而能防止增加虛擬SRAM之晶片尺寸。 15 於存取要求與更新要求競先時，在存取動作前能進行 短期間結束之短更新動作REFf。因此即便是更新要求比 存取要求優先的情形下亦能早開始對應存取要求之存取動 作。即能縮短更新信號存取時間。 進行短更新動作REFf時，於架取動作後必定會進行 2〇 一般更新動作REF。因此，即便是更新要求與存取要求競 先而存取要求優先的情形下亦能確實地保持記憶體晶胞 MC的資料。 第28圖表示本發明之半導體記憶體之第5實施樣態 64 580706 玖、發明說明 。對於與第4實施樣態所說明之要素相同的要素，則賦予 相同的標號而省略對此等要素的詳細說明。 此實施樣態係取代第4實施樣態之指令解碼器112及 更新計時器116而形成指令解碼器U2A及更新計時器 5 116A。又，此實施樣態不形成更新選擇電路114及外部試 驗端子SRC。其他構成則約與第2實施樣態相同。 指令解碼器Π2Α解讀指令信號CMD而輸出用以進行 讀出動作的讀出控制信號RDZ或用以進行寫入動作的寫入 控制信號WRZ。又，指令解碼器112A於第1及第2試驗 10 模式時，因應依供給至指令端子CMD之指令信號CMD( 試驗指令)而輸出用以變更更新計時器116A之周期的更新 調整信號REFADJ。 更新計時器116A以一定的周期輸出內部更新要求信 號IREFZ。內部更新要求信號IREFZ於一般動作模式時 15 不會失去已保持在記憶體晶胞MC的資料而以可順次更新 的周期來產生記憶體晶胞MC。又’內部更新要求信號 IREFZ係於第1及第2試驗模式時以對應更新調整信號 REFADJ之邏輯値的周期而產生。 此實施樣態於第1及第2試驗模式時以藉由指令端子 20 CMD而供給之試驗指令而一邊改變更新計時器116A之周 期而一邊進行與第4實施樣態同樣的評價。 以上於第5實施樣態亦可獲得與上述第4實施樣態同 樣的效果。而且，此實施樣態之更新計時器116A於第1 65 580706 玖、發明說明 及第2試驗模式中，接受用以變更更新要求之生成周期的 更新調整信號REFADJ。因此能使用於一般動作時動作之 電路而能在虛擬SRAM內部產生具有所希望之時序的更新 要求。因此，能以與虛擬SRAM之實際電路動作相同狀態 5 來評價更新特性。 第29圖表示本發明之半導體記憶體之第6實施樣態 。對於與第1及第2實施樣態所說明之要素相同的要素， 則賦予相同的標號而省略對此等要素的詳細說明。圖中的 雙重四角形表示試驗接頭(外部試驗端子SRC)。試驗接頭 10 不連接於要出貨之製品的外部端子(導線框等）。試驗接頭 係如於探針試驗中連接探針器而接受試驗圖案。此半導體 記憶體具有DRAM之記憶體晶胞(動態記憶體晶胞)而形成 具有SRAM介面的虛擬SRAM。 此實施樣態係取代第2實施樣態之指令控制電路10 15 、更新控制電路14及更新計時器16而形成指令控制電路 10B、更新控制電路14B及更新計時器16B。又，新形成 試驗控制電路42。其他構成則約與第2實施樣態相同。 指令控制電路10B接受到在一般動作不使用之組合的 多數指令信號/CE、/OE、/WD時，用以從一般動作模式 20 將虛擬SRAM轉移至試驗模式而輸出試驗模式信號 TMDZ(高階）。指令控制電路10B於試驗模式中，禁止輸 出讀寫控制信號RWZ、RWIZ、讀出控制信號RDZ及寫入 控制信號WRZ。即，於試驗模式中不進行讀出動作及寫 66 580706 玖、發明說明 入動作。 更新控制電路HB於接受到高階之試驗模式信號 TMDZ時停止動作。即，於試驗模式中，更新控制電路 14B不輸出更新信號REFZ、REFSZ。
5 更新計時器16B於接受到高階之試驗模式信號TMDZ 時將更新信號REFZ之輸入予以遮罩，並藉由外部試驗端 子SRC接受從虛擬SRAM之外部供給之試驗更新要求信 號 EREFZ。 試驗控制電路42於接受到高階之試驗模式信號 10 TMDZ時被活性化，並應答試驗更新要求信號EREFZ而 輸出更新信號REFSZ(第1更新信號)及更新信號REFZ(第 2更新信號）。即，在試驗模式中，藉著從試驗控制電路 42輸出之更新信號REFSZ(第1更新信號)及更新信號 REFZ(第2更新信號)而進行更新動作。 15 試驗控制電路42於試驗模式中所產生之更新信號 REFSZ、REFZ的生成間隔如將於後述內容一般地對應著 試驗更新要求信號EREFZ的脈波幅。又，一般動作模式 中的更新信號REFSZ、REFZ的生成間隔乃與第1實施樣 態同樣地設定在約200ns。 20 第30圖表示第6實施樣態之試驗模式中的動作例。 首先，在轉行至試驗模式之前，對虛擬SRAM之記 憶體晶胞MC寫入一定的資料(期待値）。其次將試驗模式 供給至虛擬SRAM而使虛擬SRAM從一'般動作模式轉移 67 580706 玖、發明說明 至試驗模式。指令控制電路10B將試驗模式信號TMDZ 保持在高階(第30圖(a))。 接著從外部試驗端子供給具有脈波波形之試驗更新要 求信號EREFZ(第30圖⑻）。試驗控制電路42同步於試驗 ·. 5更新要求信號EREFZ之昇起邊緣而輸出用以進行短更新 ' 動作之更新信號REFSZ(第30圖(c))。又，試驗控制電路 42同步於試驗更新要求信號EREFZ之昇起邊緣而輸出用 以進行一般更新動作之更新信號REFSZ(第30圖(d))。如 鲁 此一來，試驗更新要求信號EREFZ之脈波幅會對應更新 10 信號REFSZ、REFZ之生成間隔。換言之，試驗更新要求 信號EREFZ之脈波幅會對應短更新動作之開始時刻與一 般更新動作之開始時刻的差DIF。 更新計時器16B同步於試驗更新要求信號EREFZ而 算出，並輸出更新位址信號REFAD(RADZ)(第30圖⑷）。 15 字元線因應更新位址信號REFAD而被順次地切換，相對 於一個字元線WL順次地進行短更新動作及一般的更新動 ® 作。 藉著短更新動作而被再寫入(再存入)記憶體晶胞MC · 之資料至一般更新動作爲止被保持在記憶體晶胞MC內的 / 2〇 情形下，正確的資料藉著一般更新動作而被再寫入記憶體 晶胞MC。另一方面，藉著短更新動作而被再寫入記憶體 晶胞MC的資料不直至更新動作被保持在記憶體晶胞MC 的情形下，記憶體晶胞MC內的資料會被破壞。此時錯誤 68 580706 玖、發明說明 的資料藉著一般更新動作而被再寫入記憶體晶胞MC。 第30圖所示之試驗，更新計時器16B被進行一周。 進行一周所需要的時間係於一般更新動作後，設定成以不 失去記憶體晶胞MC內的資料的保持時間短的時間。之後 5 以將指令信號輸入虛擬SRAM的狀態而使虛擬SRAM從 試驗模式轉移至一般更新動作模式。資料從記憶體晶胞 MC讀出而藉著被讀出之資料是否爲期待値，而判斷短更 新動作與一般更新動作之間隔是否充足。 實際上，試驗虛擬SRAM之LSI測試器順次地將試 10 驗更新要求信號EREFZ之脈波幅弄長而返覆進行上述試 驗。例如，差DIF從100ns至300ns順次地改變。測定藉 短更新動作而再寫入記憶體晶胞MC之資料的保持時間。 換言之，可評價短更新動作之動作增益。 以上於第6實施樣態亦能獲得與上述第1及第2實施 15 樣態相同的效果。而且，此實施樣態係於試驗模式中，能 從虛擬SRAM外部以所希望的時序輸入短更新動作及一般 更新動作的更新要求，因此能容易地評價短更新動作之動 作增益。 更新信號REFSZ、REFZ之生成關係係因應試驗更新 20 要求信號EREFZ之脈波幅而設定。因此，能藉著一個外 部試驗端子SRC而自由地設定更新信號REFSZ、REFZ的 生成間隔。 第31圖表示本發明之半導體記憶體之第7實施樣態 69 580706 玖、發明說明 。對於與第4實施樣態所說明之要素相同的要素，則賦予 相同的標號而省略對此等要素的詳細說明。此半導體記憶 體具有DRAM之記憶體晶胞MC(動態記億體晶胞），而形 成具有SRAM之介面的虛擬SRAM。虛擬SRAM非從外部 5接受更新指令，而係在晶片內部定期地進行更新動作以保 持已寫入記憶體晶胞的資料。此虛擬SRAM例如可使用於 行動電話所搭載之工作記憶體。 虛擬SRAM具有存取時序生成電路110、指令解碼器 112、熔絲電路FUS1、FUS2、分頻切換電路150、更新計 10 時器152、更新計算器118、位址輸入電路120、開關電 路122、資料輸出電路124、資料輸入電路126、裁定電 路154、再要求計時器156、磁心控制電路158及記憶體 磁心136。指令端子CMD(外部端子)接受用以存取記憶體 晶胞MC的指令fg號(存取要求）。 15 熔絲電路FUS1、FUS2分別具有用以調整從更新計時 器152輸出之內部更新要求信號IREFZ之生成周期的熔 絲。 分頻切換電路150於短旗標信號SFLGZ爲低階時(第 1動作模式)選擇熔絲電路FUS1的輸出。分頻切換電路 20 150於從磁心控制電路158輸出之短旗標信號SFLGZ爲 高階時(第2動作模式)選擇熔絲電路FUS2的輸出。分頻 切換電路150將經選擇之信號輸出至更新計時器152的分 頻器。 70 580706 玖、發明說明 選擇熔絲電路FUS1之輸出時，內部更新要求信號 IREFZ之生成周期會變長(約73 // s)。選擇熔絲電路j?uS2 之輸出時，內部更新要求信號IREFZ之生成周期會變長（ 約 7.3 /z s) 〇 5 更新計時器152具有振盪器OSC與分頻器。分頻器 將振盪器OSC所輸出之時鐘信號因應於分頻切換電路15〇 的輸出而分頻，並將被分頻之信號作爲內部更新要求信號 IREFZ(更新要求)而輸出。 裁定電路154以比較存取時序信號ATDPZ(存取要求） 10 與內部更新要求信號IREFZ(更新要求)之遷移邊緣，或比 較存取時序信號ATDPZ與更新動作之再要求信號 RREQ2(更新要求)之遷移邊緣的狀態而判斷存取要求與更 新要求的競先，並決定使存取動作及更新動作之何者優先 。裁定電路154於存取動作優先的情形下’暫時保持更新 15要求並應答讀出控制信號RDZ或寫入控制信號WRZ而輸 出讀出存取開始信號CMDPZ(存取控制信號）。之後裁定 電路154藉著磁心循環狀態信號ICSX之非活性化(變化至 高階)而檢出存取動作的結束，並因應已保持之更新要求 而輸出更新開始信號REFPZ(更新控制信號）。 20 又，裁定電路154於更新動作優先的情形下’暫時保 持存取要求，並應答更新要求而輸出輸出更新開始信號 REFPZ。之後裁定電路154藉著磁心循環狀態信號1CSX 之非活性化(變化至高階)而檢出存取動作的結束，並因應 71 580706 玖、發明說明 已保持之存取要求而輸出存取開始信號CMDPZ。 再要求計時器156於接受低階之短旗標信號SFLGZ 時(第1動作模式)被活性化而動作。被活性化之再要求計 時器156藉著更新開始信號REFPZ而判斷磁心控制電路 \ 5 158不能進行一般更新動作的狀態，並用以進行一般更新 ·. 動作而輸出再要求信號RREQZ。裁定電路154如上述將 再要求信號RREQZ作爲更新要求而接受信號。即，虛擬 SRAM於更新周期長的第1動作模式中，因應更新要求而 · 僅進行將於之後記述之第1或第2短更新動作，不能進行 10 一般更新動作時對於被選擇之字元線WL試作一般更新動 作。 磁心控制電路158具有與上述第4實施樣態之列動作 控制電路132及磁心控制電路134約相同的功能。磁心控 制電路158於接收到更新開始信號REFPZ或存取開始信 15 號CMDPZ時，輸出使記憶體磁心136動作之基本時序信 _ 號之列控制信號RASZ(圖式未顯示）。又，於記憶體磁心 136動作中保持磁心循環狀態信號ICSX於低階。又，磁 心控制電路158應答更新要求而進行將於後述之第1短更 新動作、第2短更新動作及一般更新動作之其中任何之一 20 〇 又，磁心控制電路158具有圖式未顯示之字元線控制 電路、感測放大器控制電路及預先充電控制電路。字元線 控制電路應答列控制信號RASZ而輸出選擇字元線WL之 72 580706 玖、發明說明
字元線控制信號TWZ。感測放大器控制電路應答列控制 信號RASZ而輸出用以將後述之感測放大器部SA之感測 放大器予以活性化之感測放大器活性化信號LEZ。預先充 電控制電路輸出用以將位元線BL、/BL預先充電至一定 V 5 電壓之預先充電信號PREPZ。 . 第32圖表示第31圖所示之磁心控制電路158的重要 部分的詳細。 磁心控制電路158具有正反器158a、波形成形電路 φ 158b、第1延遲電路158c、第2延遲電路158d、脈波生 10 成電路158e、正反器158f、脈波生成電路158g及預先充 電生成電路158h。 正反器158a於收到存取開始信號CMDPZ或更新開 始信號REFPZ時將列控制信號RASZ變更爲高階，收到 開始信號STTZ或預先充電信號PREPZ時將列控制信號 RASZ變更爲低階。列控制信號RASZ之高階期間對應字 元線WL之活性化期間、感測放大器SA之活性化期間。 ® 波形生成電路158b拉長列控制信號RASZ之昇起邊 緣(非活性化邊緣)而輸出字元線開啓信號WONZ。第1延 ^ 遲電路158c使字元線開啓信號WONZ延長一定時序信號 〃 20 間而作爲字元線開啓信號WONBZ(第1時刻信號)輸出。 第2延遲電路158d使字元線開啓信號WONZ延長一定時 序信號間而作爲字元線開啓信號WONDZ(第2時刻信號） 輸出。脈波生成電路158e輸出同步於字元線開啓信號 73 580706 玖、發明說明 WONDZ之昇起邊緣之字元線開啓脈波信號WONDPZ。第 1延遲電路158c及第2延遲電路158d將第1時刻信號及 第2時刻信號作爲分別生成之時序生成電路而動作。 正反器158f於列控制信號RASZ爲高階期間中接受 ·· 5 存取開始信號CMDPZ時，將字元線關閉信號WOFFZ變 更爲高階，於接受預先充電信號PREPZ或開始信號STTZ 時，將字元線關閉信號WOFFZ變更爲低階。脈波生成電 路158g於字元線關閉信號WOFFZ爲高階期間中檢測出 鲁 字元線開啓信號WONBZ之昇起邊緣時，輸出字元線關閉 10 信號 WOFFPZ。 預先充電生成電路158h於列控制信號RASZ爲高階 期間中與其次所列之任何條件一致時，輸出預先充電信號 PREPZ。 (1)輸出字元線關閉脈波信號WOFFPZ時序信號。 15 (2)字元線開啓信號WONBZ爲高階，且字元線開啓 信號WONDZ爲低階期間供給存取開始信號 CMDPZ 時。 (3)輸出字元線開啓脈波信號WONDPZ時。 ‘ 第33圖表示形成在磁心控制電路158內的先著判定 ~ 20 電路160。 先著判定電路160接受內部更新要求信號IREFZ而 被重設，並變更爲短更新信號SHRTZ。先著判定電路160 於比字元線開啓脈波信號WONDPZ先收到預先充電信號 74 580706 玖、發明說明 PREPZ時，將短信號SHRTZ變更爲高階。高階的短信號 SHRTZ同步於其次的內部更新要求信號IREFZ而作爲短 旗標信號SFLGZ輸出。 如將於後述之應答更新要求而不進行一般更新動作且 5進行第1或第2短更新動作時，表示更新動作結束之預先 ' 充電信號PREPZ比字元線開啓脈波信號WONDPZ先輸出 而輸出短信號SHRTZ。即，短旗標信號SFLGZ並非進行 一般更新動作而從更新計時器152至發生其次的更新要求 · 時輸出。 10 第34圖表示第7實施樣態之動作例。此例子之存取 指令(存取要求)於更新開始信號REFPZ之後立即供給(第 34 圖（a))。 首先，第32圖所示之正反器158a同步於更新開始信 號REFPZ而輸出列控制信號RASZ(第34圖(b))。且應答 15 列控制信號RASZ而順序輸出字元線開啓信號WONZ、 WONBZ、WONDZ(第34圖⑷、⑷、⑷）。字元線開啓信 號WONBZ(第1時刻信號)於輸出列控制信號RASZ之後 總是於第1時刻TIME1輸出。字元線開啓信號WONDZ( 第2時刻信號)於輸出列控制信號RASZ之後總是於第2 ’ 20 時刻TIME2輸出。
同步於列控制信號RASZ而輸出字元線控制信號 TWZ並使因應於位址信號AD之字元線WL被活性化(第 34圖⑴）。藉著字元線WL之活性化而從記憶體晶胞MC 75 580706 玖、發明說明 讀出位元線BL、/BL(第34圖(g))。於字元線WL活性化 後輸出感測放大器活性化信號LEZ而使感測放大器SA被 活性化。藉著感測放大器之活性化而使位元線BL、/BL 上的資料被放大(第34圖(h))。即，開始將資料再寫入連 5 接於字元線WL之記憶體晶胞MC的更新動作。 第32圖所示之正反器158f同步於應答指令要求之存 取開始信號CMDPZ而輸出字元線關閉信號WOFFZ(第34 圖(i))。由於於字元線關閉信號WOFFZ爲高階期間，字元 線開啓信號WONBZ變爲高階，故在第1時刻TIME1輸 10 出字元線關閉脈波信號WOFFPZ(第34圖(j))。 第32圖所示之預先充電生成電路158h同步於字元線 關閉脈波信號WOFFPZ而輸出預先充電信號PREPZ(第34 圖(k))。藉著預先充電信號PREPZ之輸出而使列控制信號 RASZ變爲低階(第34圖⑴）。藉著列控制信號RASZ之變 15 爲低階而使字元線WL非活性化，並使感測放大器活性化 信號LEZ非活性化(第34圖(m))。接著，位元線BL、/BL 被預先充電而使更新動作對應第1時刻TIME1而結束。 應答列控制信號RASZ之變爲低階而使字元線開啓信 號WONZ、WONBZ、WONDZ順序地變爲低階。圖中的 20虛線表示存取要求比更新要求慢發生之情形下的波形(後 述之第36圖所示之一般更新動作）。 如此一來，存取開始信號CMDPZ從更新開始信號至 第1時刻TIME1之間輸出。即，存取要求比第丨時刻 76 580706 玖、發明說明 TIME1先供給時，更新動作對應第1時刻TIME1而結束 ，更新動作乃以進行最短的第1短更新動作。 第35圖表示第7實施樣態之其他動作例。有關與第 34圖相同動作者則省略詳細的說明。此例之存取指令(存 5 取要求)係於第1時刻TIME1與第2時刻TIME2之間供給 (第 35 圖（a))。 首先，同步於列控制信號RASZ而順序輸出字元線控 制信號TWZ(字元線WL)及感測放大器活性化信號LEZ ’ 並開始更新動作(第35圖(b))。 1〇 更新開始信號CMDPZ於字元線開啓信號WONBZ爲 高階，且字元線開啓信號WONDZ爲低階時輸出。因此， 預先充電生成電路158h同步於存取開始信號CMDPZ而 輸出預先充電信號PREPZ(第35圖(c))。 藉著輸出預先充電信號PREPZ而使列控制信號RASZ 15變爲低階(第35圖(d))。藉著列控制信號RASZ之變爲低 階而使字元線WL非活性化並使感湔放大器活性化信號 LEZ非活性化(第35圖⑷）。接著，位元線BL、/BL被預 先充電而結束更新動作。圖中的虛線表示存取要求比更新 要求慢發生之情形下的波形(後述之第36圖所示之一般更 20 新動作）。 如此一來，存取開始信號CMDPZ從更新開始信號至 第1時刻TIME1之間輸出。更新動作同步於存取開始信 號CMDPZ而結束。第1時刻TIME1與第2時刻TIME2 77 580706 玖、發明說明 之間結束動作之更新動作乃稱爲第2短更新動作。第2短 更新動作之動作時間比第1短更新動作長，而比一般更新 動作短。第2短更新動作之動作時間藉著存取開始信號 CMDPZ之生成時序而可變更。 ' 5 第36圖表示第7實施樣態之其他動作例。有關與第 ' 34圖相同動作者則省略詳細的說明。此例之存取指令(存 取要求)係於第2時刻TIME2後供給(第36圖(a))。 首先，同步於列控制信號RASZ而順序輸出字元線控 # 制信號TWZ(字元線WL)及感測放大器活性化信號LEZ， 10 並開始更新動作(第35圖(b))。又，與第34圖同樣地應答 更新開始信號REFPZ而順序輸出列控制信號RASZ、字元 線開啓信號 WONZ、WONBZ、WONDZ(第 34 圖(c)、（d) 、（e)、⑴）。應答字元線開啓信號WONDZ而輸出字元線 開啓脈波信號(第36圖(g))。 15 第32圖所示之預先充電生成電路158h同步於字元線 0 開啓脈波信號WONDPZ而輸出預先充電信號PREPZ(第 36圖(h))。藉著預先充電信號PREPZ之輸出而使列控制 信號RASZ變爲低階(第36圖⑴）。藉著列控制信號RASZ 之變爲低階而使字元線WL非活性化，並使感測放大器活 2〇 性化信號LEZ非活性化(第36圖⑴）。接著，位元線BL、 /BL被預先充電而使更新動作結束。 如此一來，存取開始信號CMDPZ於第2時刻TIME 後輸出時，更新動作同步於第2時刻TIME而結束。即， 78 580706 玖、發明說明 進行比第1及第2短更新動作之動作時間長的一般更新動 作。 又，藉著第1及第2短更新動作而再寫入記憶體晶胞 MC之資料的保持時間成爲30ms以上。藉著一般更新動 ' 5作而再寫入記憶體晶胞MC之資料的保持時間成爲300ms ·· 以上。 第37圖表示存取要求與更新要求競先時之存取時間 。圖中黑的四角形記號及黑的圓形記號表示本實施樣態之 ® 應用前之存取時間，白色三角形記號表示在本實施樣態之 10 存取時間。 圖中的一點虛線(REF)表示發生更新要求的時刻。從 一點虛線朝左的領域表示存取要求比吏新要求早的狀態’ 從一點虛線朝右的領域表示存取要求比更新要求慢的狀態 〇 15 黑的四角形記號表示於更新動作相對於存取動作優先 · 時，存取動作總是從更新動作一定時間後開始的虛擬 SRAM。此情形下，就在更新要求之後有存取要求時’存 ， 取時間呈最大(第37圖(a))。 黑的圓形記號表示於存取要求在更新要求之後供給時 20 ，進行動作時間短的短更新動作(動作時間短），而存取要 求於更新要求後之一段時間後供給時，進行動作期間長之 一般更新動作(動作時間固定)的虛擬SRAM。此虛擬 SRAM以使用二個延遲電路之一方的匯流排的狀態而切換 79 580706 玖、發明說明 更新動作的結束時刻。此情形下，存取時間的峰値一致於 延遲電路之切換時刻。又，存取時間之跳動係對應延遲電 路之延遲時間(量子化誤差)而產生。圖中左側之峰値表示 短更新動作優先進行的情形(第37圖(b))，圖中右側之峰 5 値表示一般更新動作優先進行的情形(第37圖(c))。又， 以三個以上之延遲電路來切換更新動作的情形下，會產生 與延遲電路之數量相同數的峰値。此時，雖然可弄小存取 時間的最大値，惟，延遲電路之切換控制會變得複雜。又 ，會發生對應延遲電路之延遲時間之存取時間的跳動。即 1〇 ，存取時間之特性形成鋸齒狀。 另一方面，本實施樣態之虛擬SRAM(白的三角形標 記)於存取要求比第1時刻TIME1先供給時會增加存取時 間(第37圖(d))。此乃因從第1時刻TIME1在第2時刻 TIME2如第35圖所示應答存取要求而結束更新動作之故 15 。如此一來，本實施樣態之裁定電路154之動作所造成之 存取時間之不均呈最小限度。存取時間亦僅在一個位置跳 動。 第38圖表示從第7實施樣態之第1動作模式轉移至 第2動作模式的轉移。圖中之數値表示更新位址REFAD 20 〇
於時序圖之開始，一般更新動作於全部的記憶體晶胞 MC進行。於第1動作模式中，內部更新要求信號IREFZ 約每73 // s發生。此數値係藉著更新動作而以字元線WL 80 580706 玖、發明說明 之條數(4096條)來分割記憶體晶胞MC能保持資料的時間 (300ms)。於第2動作模式中，內部更新要求信號IREFZ 約每7.3 // s發生。此數値係藉著第1或第2短更新動作而 以字元線WL之條數(4096條)來分割記憶體晶胞MC能保 5 持資料的時間(30ms)。 首先，就在對應更新位址REFAD(二”〇〇”)之內部更新 要求信號IREFZ之後，輸出隨著更新要求之存取時序信 號ATDPZ(第38圖(a))。因此，能進行第1或第2短更新 動作(REFs)(第38圖(b))。第33圖所示之磁心控制電路 10 158之先著判定電路160應答比字元線開啓脈波信號 WONDPZ先供給之之預先充電信號PREPZ而將短信號 SHRTZ變爲高階(第38圖⑷）。 應答存取要求之存取動作(R/W)於更新動作REFs之 後進行(第38圖(d))。在此說明存取動作係讀出動作或寫 15 入動作。 第31圖所示之再要求計時器156於第動作模式中 (SFLGZ=低階)被活性化。再要求計時器156應答其表示 第1或第2短更新動作之更新開始信號FJEFPZ而輸出再 要求信號PREQZ(第38圖(e))。於存取動作之後再度開始 2〇 對應更新位址”00”之更新動作。 於與更新動作之開始約相同時刻供給其次的存取要求 (第38圖⑴）。因此，更新動作乃以進行第2短更新動作（ 第38圖(g))。由於不能進行一般更新動作，因此再要求計 81 580706 玖、發明說明 時器156再次輸出再要求信號PREQZ(第38圖⑻）。此後 反覆進行應答再要求信號PREQZ之第1或第2更新動作 〇 進行對應更新位址”00”之一般更新動作之前，會發生 5 對更新位址”〇1”之其次的內部更新要求信號IREFZ(第38 圖(i))。先著判定電路160同步於內部更新要求信號 IREFZ而將短旗標信號SFLGZ變爲高階(第38圖⑴）。虛 擬SRAM藉著短旗標信號SFLGZ變爲高階而從第1動作 模式轉移至第2動作模式。 10 如此一來，虛擬SRAM於第1動作模式中頻繁地供 給存取要求而在不能進行一般更新動作時轉移至第2動作 模式。轉移至第2動作模式的判斷僅等待內部更新要求信 號IREFZ之供給間隔(約72/zs)。於此期間中斷存取要求 而進行時間行一般更新動作的話，虛擬SRAM不會轉移至 15 第2動作模式。第2動作模式之更新要求間隔短而其消耗 電力比第1動作模式大。於更新要求之一周期之間以等待 轉移至第2動作模式之判斷的狀態而能防止無謂地轉移至 第2動作模式，且能防止增加消耗電力。 第31圖所示之分頻切換器150接受高階之短旗標信 20 號SFLGZ而選擇熔絲電路FUS2。藉著選擇熔絲電路 FUS2而使更新計時器152約每7.3//s輸出內部更新要求 信號IREFZ。即，第2動作模式中之更新要求的發生間隔 約爲第1動作模式之十分之一 82 580706 玖、發明說明 第2動作模式之再要求計時器156接受高階的短旗標 信號SFLGZ而被非活性化。因此，不能輸出再要求信號 PREQZ(第38圖(k))，而要應答再要求信號PREQZ之更新 動作不能進行(第38圖⑴）。由於在第2動作模式中的更 5 新要求的間隔變短，故藉著進行第1動作模式或第2更新 動作而使記憶體晶胞MC內的資料在更新計算器118進行 一周之間能被充分地保持。換言之，應答再要求信號 PREQZ之更新動作變得不要。並以禁止無謂的更新動作 的狀態而防止增加消耗電力。 10 第39圖表示從第7實施樣態之第2動作模式轉移至
第1動作模式的轉移。圖中的數値表示更新位址REFAD 〇 於第2動作模式中，非進行第1或第2短更新動作 (ref)而僅進行一般更新動作(REF)，更新計算器118進行 15 一周時，磁心控制電路158將短旗標信號SFLGZ變爲低 階(第39圖⑷）。 分頻切換電路150接受低階之短旗標信號SFLGZ而 選擇熔絲電路FUS1。藉著選擇熔絲電路FUS1而使更新 計時器152約每7.3# s輸出內部更新要求信號IREFZ。即 2〇 ，藉著短旗標信號SFLGZ變爲低階而使動作模式從第2 動作模式回復到第1動作模式，而更新要求的發生間隔 再次變長。如此一來，虛擬SRAM判斷存取要求之頻率低 而能連續進行一般更新動作時，從第2動作模式轉移至第 83 580706 玖、發明說明 1動作模式。藉著轉移至第1動作模式而能減少消耗電力 0 如以上所述，第7實施樣態於更新要求與存取要求進 、 行競先時，非固定更新動作之結束時刻而係因應存取要求 ' 5之供給時序而爲可變。因此，於更新要求與存取要求進行 ·- 競先時，能更早開始更新動作後的存取動作。即，能進一 步縮短存取時間。 具體而言，更新要求比第1動作模式時刻TIME1先 供給時，更新動作之結束時刻設定於第1時刻TIME。此 10 時進行第1短更新動作。因此’更新動作之結束總是在第 1時刻TIME1以後。以確保最低限度之更新動作期間的狀 態而能防止因更新動作所造成記憶體晶胞MC內之資料的 破壞。 從第1時刻TIME1至第2時刻TIME2之間供給存取 15要求時，更新動作之結束時刻設定於存取要求之供給時刻 · 。此時進行第2短更新動作。因此，同步於存取要求之供 給時序而能結束更新動作。其結果則能早開始更新動作後 Λ 之存取動作而能縮短存取時間。 / 於第2時刻ΤΙΜΕ2後供給存取要求時，更新動作之 20結束時刻設定於第2時刻ΤΙΜΕ2。此時進行一般更新動作 。因此，更新動作之結束總是在第2時刻ΤΙΜΕ2以前。 在不供給存取要求時亦能以總是在第2時刻ΤΙΜΕ2結束 更新動作的狀態而防止記憶體磁心136的無謂動作。 84 580706 玖、發明說明 由於更新動作之結束時刻因應存取要求之供給時序而 變更，因此，即便是存取要求對於更新要求慢慢地偏移亦 不變更存取時間。爰此，能防止更新要求與存取要求之時 間差所造成存取時間的不均(存取時間的跳動）。由於存取 5 時間不會不均’故能將存取時間之最大値(最壞値)設得小 〇 藉著裁定電路154而即便是更新要求與存取要求進行 競先時亦能確實地進行存取動作及更新動作。 由於將可生成用以通知第1時刻TIME1之字元線開 10 啓信號WONBZ及用以通知第2時刻TIME2之字元線開 啓信號WONDZ的延遲電路158c、158d(時序生成電路)形 成在磁心控制電路158，故能以簡易的邏輯電路而來因應 存取要求之供給時序而結束更新動作。 將從第1短動作模式轉移至第2動作模式之判斷，以 15 等待至發生其次之更新要求的狀態而能確實判斷更新要求 之供給頻率係暫時的變高或是持續地昇高的情形。因此能 轉移至因應存取頻率之最適合的更新動作。其結果則能將 轉移至第2動作模式之期間設爲最小限度而能將更新動作 所造成之消耗電力設於必要最小限。即，能削減半導體記 20 憶體之消耗電力。 虛擬SRAM在第2動作模式中，僅進行一般更新動 作而於更新計算器進行一周時，判斷存取要求之頻率下降 一定期間而從第2動作模式轉移至第1動作模式。因此， 85 580706 玖、發明說明 於存取要求之頻率低時，能下降更新要求之頻率且能削減 消耗電力。 如此一來，因應存取要求之頻率而以自動地調整更新 要求之發生間隔的狀態而能將伴隨更新動作之消耗電力設 5 於最小限。即，能削減虛擬SRAM之消耗電力。 以上已詳細地說明了本發明，然而上述之實施樣態及 其變形例僅是發明之一例而已，本發明並非僅限於此。可 瞭解在不脫離本發明的範圍內能加以變更形態。 產業上的利用性： 10 本發明之半導體記憶體係於第1更新動作之後一定進 行2第更新動作，故即便是第1更新動作所構成之再寫入 記憶體晶胞MC不充分’亦能以其後的第2更新動作將充 分信號量的資料再寫入記憶體晶胞.。爰此，於更新要求與 存取要求進行競先而於存取要求優先時，亦能確實保持記 15 憶體晶胞MC的資料。 本發明之半導體記憶體藉第1及第2更新信號而作動 開關電路的狀態，而能容易地進行位址信號的切換控制。 因此能簡易地構成開關電路。 本發明之半導體記憶體以將第1更新動作之進行時間 20 設成最小限度的狀態而能更早開始存取動作。 本發明之半導體記憶體以將第2更新動作之進行時間 設成最小限度的狀態而能更早開始存取動作。 本發明之半導體記憶體於第1及第2更新動作中’以 86 580706 玖、發明說明 僅調整放大步驟的時間的狀態而能容易地將第1更新動作 之進行時間設成最小限度。即，能簡易地構成磁心控制電 路等電路。 本發明之半導體記憶體以僅在必耍的時間進行第1更 5 新動作的狀態而能削減動作時的消耗電力。 本發明之半導體記憶體於二次的外部存取循環時間之 間能進行第1及第2更新動作、及二次的存取動作。由於 第1更新動作之進行時間短，故能比習知縮短外部存取循 10 本發明之半導體記憶體之第2更新動作之進行時間能 將用以進行第2更新動作及存取動作之控制電路予以共通 化。其結果則能弄小磁心控制電路等電路規模。 本發明之半導體記憶體於進行第2更新動作之後’至 其次的存取動作之前能有餘裕時序。因此’能提昇磁心控 15制電路等的動作餘裕而能容易地進行此等電路的時序設計 〇 本發明之半導體記憶體於試驗模式中從藉由外部試驗 端子而供給之試驗更新要求信號產生第1及第2更新信號 的狀態而能容易地評價第1更新動作的動作增益。 2〇 本發明之半導體記憶體藉著一個外部試驗端子而能自 由地設定第1及第2更新信號的生成間隔。 本發明之半導體記憶體以檢出電路來輸出檢出信號的 狀態而能檢測出更新控制電路所形成之第1及第2更新控 87 580706 玖、發明說明 制信號的切換時序。即，半導體記憶體具有二種更新動作 功能時亦能評價進行分別的更新動作的時序條件。又，在 連續發生第1更新控制信號而造成動作不良的情形下，亦 能以檢出信號確實地評價發生不良的時序。 5 由於能容易地檢測出在半導體記憶體內自動地進行之 ·. 二種更新動作，因此能以簡易的手法而正確地評價關連此 等更新動作之半導體記憶體的動作特性。其結果則能縮短 評價時間且能縮短半導體記憶體的開發時間。即，能削減 · 開發成本。或是於量產中的半導體記憶體，因製造條件之 10變動而發生不良時，能迅速地實施解析不良而將製成率之 降低期間作成最小限度。 本發明之半導體記憶體藉著用以評價半導體記憶體之 更新特性的評價裝置而能檢測出檢出信號，且能正確地評 價關連更新動作之半導體記憶體之動作特性。 15 本發明之半導體記憶體之連接於半導體記憶體之評價 φ 裝置以測定資料端子之高阻抗狀態的狀態而能檢測出檢出 信號，且能容易地評價關連半導體記憶體之更新動作的動 广 作特性。又，以將資料端子作爲外部端子使用的狀態而能 ^ 將資料端子作爲試驗端子而兼用。因此，不要形成新的端 20 子而能防止晶片尺寸的增加。 本發明之半導體記憶體能從半導體記憶體之外部供給 具有所希望之時序的更新要求及存取要求，故能以高精密 度來控制更新要求與存取要求之偏差(時間差）。其結果則 88 580706 玫、發明說明 能詳細地評價關連半導體記億體之更新動作的動作特性。 本發明之半導體記憶體使用一般動作時作動的電路而 能在半導體記憶體內部產生具有所希望之時序的更新要求 。因此，能以與半導體記憶體之實際電路動作相同的狀態 5 來評價更新特性。 本發明之半導體記憶體，在內部更新要求優先於存取 要求的情形下亦能更早開始對應存取要求之更新動作。即 ，能縮短存取時間。即便是第1更新動作所構成之再寫入 記憶體晶胞不充分，亦能以其後之更新動作將充分信號量 10 的資料再寫入記憶體晶胞。因此，即便是更新要求與存取 要求進行競先而於存取要求優先的情形下，亦能確實保持 記憶體晶胞的資料。 本發明之半導體記憶體以將第1更新動作之進行時間 設成最小限度的狀態而能使存取動作更新要求早開始。 15 本發明之半導體記憶體，更新動作之結束時刻非固定 而係因應存取要求之供給時序而可變。因此，於存取要求 與更新要求進行競先時，能更早開始更新動作後的存取動 作。即，能更縮短存取時間。能防止更新要求與存取要求 之時間差所造成存取時間的不均。由於存取時間不會不均 20 故能弄小存取時間的最壞値。 本發明之半導體記憶體藉著裁定電路而即便是存取要 求與更新要求進行競先時，亦能確實地進行時間存取動作 及更新動作。 89 580706 玖、發明說明 本發明之半導體記憶體藉著時序生成電路而以生成第 1時刻信號及第2時刻信號的狀態，而能以簡易的邏輯電 路因應存取要求之供給時序以結束更新動作。 本發明之半導體記憶體之更新動作的結束總是在第1 5時刻以後，故能確保最低限之更新動作期間’而能防止因 更新動作所造成記憶體晶胞內的資料被破壞。又’更新動 作之結束總是在第2時刻以前，因此即使是不供給更新要 求時亦能防止記憶體磁心之無謂的動作。其結果則能迅速 地開始應答其後之存取要求之存取動作。而且以將更新動 10作之結束設定於第1時刻至第2時刻之間的狀態而同步於 存取要求之供給昤序以結束更新動作。其結果則能早開始 更新動作後之存取動作而能縮短存取時間° •本發明之半導體記憶體，將從第1短動作模式轉移至 第2動作模式之判斷，以等待一定期間的狀態而能確實判 15斷更新要求之供給頻率係暫時的變高或是持續地昇高的情 形。因此能轉移至因應存取頻率之最適合的更新動作。其 結果則能將轉移至第2動作模式之期間設爲最小限度而能 將更新動作所造成之消耗電力設於必要最小限。即’能削 減半導體記憶體之消耗電力。 20 本發明之半導體記憶體，於存取要求之頻率下降一定期 間時，以從第2動作模式轉移至第1動作模式的狀態，能下降 更新要求之頻率且能削減消耗電力。 【圖武簡單說明】 90 580706 玖、發明說明 第1圖表示本發明之半導體記憶體之第1實施樣態的 方塊圖。 第2圖表示第1圖所示之更新控制電路之詳細的方塊 圖。 5 第3圖表示第1圖所示之磁心控制電路之重要部份之 詳細的電路圖。 第4圖表示第1圖所示之更新位址輸入電路、外部位 址輸入電路及開關電路之詳細的電路圖。 第5圖表示第1實施樣態之記憶體晶胞陣列之基本動 10 作的時序圖。 第6圖表示第1實施樣態之動作例的時序圖。 第7圖表示第1實施樣態之其他動作例的時序圖。 第8圖表示第1實施樣態之其他動作例的時序圖。 第9圖表示本發明之半導體記憶體之第2實施樣態的 15 方塊圖。 第10圖表示第9圖所示之磁心控制電路之重要部份 之詳細的方塊圖。 第11圖表示第2實施樣態之動作例的時序圖。 第12圖表示第2實施樣態之其他動作例的時序圖。 20 第13圖表示本發明之半導體記憶體之第3實施樣態 的方塊圖。 第14圖表示第13圖所示之更新控制電路之詳細的方 塊圖。 91 580706 玖、發明說明 第15圖表示第13圖所示之記磁心控制電路之詳細的 電路圖。 第16圖表示第3實施樣態之動作例的時序圖。 第17圖表示第3實施樣態之其他動作例的時序圖。 5 第18圖表示本發明之半導體記憶體之第4實施樣態 的方塊圖。 第19圖表示第18圖所示之更新判定電路之詳細的電 路圖。 第20圖表示第18圖所示之資料輸出電路之詳細的電 1 〇 路圖。 第21圖表示第4實施樣態之記憶體晶胞陣列之基本 動作的時序圖。 第22圖表示第4實施樣態之一般動作模式之動作例 的時序圖。 15 第23圖表示第4實施樣態之一般動作模式之其他動 作例的時序圖。 第24圖表示第4實施樣態之一般動作模式之其他動 作例的時序圖。 第25圖表示第4實施樣態之第1試驗模式之其他動 20 作例的時序圖。. 第26圖表示第4實施樣態之第2試驗模式之其他動 作例的時序圖。 第27圖表示第4實施樣態之第2試驗模式之其他動 92 580706 玖、發明說明 作例的時序圖。 第28圖表示本發明之半導體記憶體之第5實施樣態 的方塊圖。 第29圖表示本發明之半導體記億體之第6實施樣態 5 的方塊圖。 第30圖表示第6實施樣態之試驗模式中之動作例的 時序圖。 第31圖表示本發明之半導體記憶體之第7實施樣態 的方塊圖。 10 第32圖表示第31圖所示之磁心控制電路158之重要 部分之詳細的電路圖。 第33圖表示形成在磁心控制電路158之先到判定電 路160的方塊圖。 第34圖表示第7實施樣態之動作例的時序圖。 15 第35圖表示第7實施樣態之其他動作例的時序圖。 第36圖表示第7實施樣態之其他動作例的時序圖。 第37圖表示存取要求與更新要求之競先時之更新時 間的特性圖。 第38圖表示從第7實施樣態之第1動作模式轉移至 2〇 第2動作模式的時序圖。 第39圖表示從第7實施樣態之第2動作模式轉移至 第1動作模式的時序圖。 【圖式之主要元件代表符號表】 93 580706 玖、發明說明 10、10B 指令控制電路 12 更新綱器 14、14B 更新控制驅 16 更新計算器 16B 更新計時器 18 更新位垃輸入驅 20 外部位址輸入電路 22、22B 開關驅 24 萧檷入出各 26、26A、26B 磁L、控制電路 28 記億體磁心 /CE 晶片允繼號 /0E 輸出允言啊言號 /WE寫入允言情號 RDZ讀腿制信號 WRZ 寫避制信號 RWZ、RWIZ 讀寫控制信號 REFI0Z 更新要求信號 MC 記億翻包 REFZ、REFSZ 更新信號 CAD行信號 30、30A、30B第1時觸^制電路 32、32A、32B第2時崩f制電路 34、34A OR 電路 TWZ 字元時藤號 SA 感測放大部 LEZ感測敝活丨生化儒虎 BL、/BL 位元線 BRS ί·鍾設簡虎 ARY記億·解列 WDBC 字涌莉馬部 CDBC 行讎_部 SB 感應麵部 WA 寫部 CDB 共通·«猶 db mmm 36第1更新生成霸各 38第2更新生成電路 ARB 縦爾各 TRC循環時間
RAZ 更新位址信號 丽短更新動作 ADD 位址信號 40 更新生成電路 RAD 列信號 42 試驗控制電路 94 580706 玖、發明說明 110 存取時序生成電路 112、112A 指令觸器 114 更新邏睪職 116、116A更新計時器 118 更新計算器 120 位址輸入載各 122 「通_各 124 舊糧出驅 126 萧入驅 128 縦》各 130 Η»腚驅 132 列動作®制讎各 134 磁L腔制霸各 136 記億體磁心 138 比較儒，舰爾各 140 願删定職 142矢驷臟存戀各 144 選擇電路 146 遮罩爾各 148 輸出緩 1爾 148a三相輸出緩衝器 154 動各 156 再要情器 158 磁已獅蹿各 FUS1、FUS2 熔絲電路 150 分頻職各 152 更新謂寺器 160先著判定電路
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Claims (1)

  1. 580706 拾、申請專利範圍 1· 一種半導體記憶體，其特徵在於具有： 記憶體磁心，係具有多數記憶體晶胞； 指令控制電路，係應答藉由指令端子而供給之存 取要求並輸出用以存取前述記憶體晶胞的存取信號； 5 更新計時器，係用以更新前述記憶體晶胞而以一 定的周期產生更新要求； 更新控制電路，係用以開始更新動作而應答前述 更新要求並輸出第1更新信號，且前述存取要求與前 述更新要求進行競先時停止第1更新信號的輸出，並 10 於對應前述存取要求之存取動作後輸出應答前述更新 要求的第2更新信號；及 磁心控制電路，係應答前述存取信號而進行前述 存取動作，且應答前述第1及第2更新信號而分別進 行第1及第2更新動作。 15 2.如申請專利範圍第丨項之半導體記憶體，其中更具有， 外部位址輸入電路，係藉由位址端子而接收外部 位址信號； 更新計算器，係產生在前述記憶體晶胞之中表示 要更新之記憶體晶胞的更新位址信號；及 2〇 開關電路，係應答前述第1及第2更新信號的輸 出而選擇前述更新位址，於前述第1及第2更新信號 之未輸出時選擇前述外部位址信號而將已選擇之位址 信號輸出至前述記憶體晶胞。 3_如申請專利範圍第1項之半導體記憶體，其中前述第1 96 580706 拾、申請專利範圍 更新動作之進行時間比前述第2更新動作之進行時間短 〇 4. 如申請專利範圍第3項之半導體記憶體，其中前述第1 更新動作之進行時間係將藉著前述第1更新動作而再寫 5 入前述記憶體晶胞的資料，放大直到進行第2更新動作 y 之前能保持不失去的信號量的時間。 5. 如申請專利範圍第1項之半導體記憶體，其中， 前述記憶體磁心具有，分別連接於前述記憶體晶 · 胞之多數字元線、連接於前述記憶體晶胞之位元線、 10 及連接於前述位元線的感測放大器； 前述第1及第2更新動作係以讀出步驟、放大步 驟、及預先充電步驟來構成， 前述讀出步驟係應答前述字元線之任何選擇而從 要存取之記憶體晶胞於位元線讀出資料； 15 前述放大步驟係於前述位元線讀出資料後使前述 感測放大器活性化而使前述位元線上的資料放大，且 · 將經放大之資料再寫入存取中的記憶體晶胞； 前述預先充電步驟係非選擇前述字元線而使前述 / 位元線預先充電至一定的電壓； · 20 前述第1及第2更新動作中的前述讀出步驟的時 間相等； 前述第1及第2更新動作中的前述預先充電步驟 的時間相等； 且前述第1更新動作之前述放大步驟的時間比前 97 580706 拾、申請專利範圍 述第2更新動作之前述放大步驟的時間短。 6. 如申請專利範圍第1項之半導體記憶體，其中前述更新 控制電路於前述存取要求與前述更新要求不競先時，遮 住前述第1更新信號的輸出而僅輸出前述第2更新信號 ·. 5 ° . 7. 如申請專利範圍第1項之半導體記憶體，其中前述第1 及第2更新動作之進行時間、及二次前述更新動作之進 行時間之和，比前述存取要求之最小供給間隔之外部存 · 取循環時間的二次份量小。 10 8.如申請專利範圍第1項之半導體記憶體，其中前述第2 更新動作之進行時間與前述存取動作之進行時間相同。 9. 如申請專利範圍第1項之半導體記憶體，其中前述第2 更新動作之進行時間比前述存取動作之進行時間短。 10. 如申請專利範圍第1項之半導體記憶體，其中更具有， 15 外部試驗端子，係於試驗模式中接受試驗更新要 求信號；及 · 試驗控制電路，係應答前述外部試驗端子所供給 之試驗更新要求信號而產生第1試驗更新信號及第2 ^ 試驗更新信號，且將產生之第1及第2試驗更新信號 > 20 作爲前述第1及第2更新信號而順次輸出。 11. 如申請專利範圍第10項之半導體記憶體，其中前述試驗 控制電路因應前述試驗更新要求信號之脈波幅而設定第1 及第2更新信號之產生間隔。 12. —種半導體記憶體，其特徵在於具有： 98 580706 拾、申請專利範圍 記憶體磁心，係具有多數記憶體晶胞、連接於前 述記憶體晶胞之位元線、及連接於前述位元線的感測 放大器； 指令控制電路，係應答藉由指令端子而供給之存 \ 5 取要求而輸出用以存取前述記憶體晶胞之存取控制信 ' 號； 更新計時器，係以一定的周期產生內部更新要求 更新控制電路，係因應前述存取要求及前述內部 10 更新要求之發生時序而輸出，用以使前述感測放大器 第1期間活性化之第1更新控制信號、及使前述感測 放大器比前述第1期間長的第2期間活性化之第2更 新控制信號之其中任何之一； 動作控制電路，係應答前述存取控制信號而使前 15 述記憶體磁心進行存取動作，且應答前述第1及第2 更新控制信號而使前述記憶體磁心進行第1及第2更 φ 新動作；及 檢出電路，係於試驗模式中作動，而於檢出前述 / 第1更新控制信號時輸出檢出信號。 > 2〇 13.如申請專利範圍第12項之半導體記憶體，其中更具有將 前述檢出信號輸出至半導體記億體外部的外部端子。 14.如申請專利範圍第13項之半導體記憶體，其中更具有， 資料端子，係作前述外部端子； 三相輸出緩衝器，係將由前述記憶體晶胞來的讀 99 580706 拾、申請專利範圍 出資料輸出至資料端子；及 輸出遮住電路，係於前述試驗模式中，控制前述 三相輸出緩衝器的狀態，而應答前述檢出信號並禁止 對前述讀出資料之前述資料端子的輸出，並將前述資 5 料端子設成高阻抗狀態。 15. 如申請專利範圍第12項之半導體記憶體，其中更具有更 新選擇電路，係於前述試驗模式中，遮住從前述更新計 時器輸出之前述內部更新要求，且從將藉由外部端子而 供給之試驗更新要求，以取代前述內部更新要求而輸出 10 至前述更新控制電路。 16. 如申請專利範圍第12項之半導體記憶體，其中前述更新 計時器，係於前述試驗模式中，接收用以變更更新要求 之產生周期的更新調整信號。 17. 如申請專利範圍第12項之半導體記憶體，其中前述更新 15 控制電路具有裁定電路，於前述存取要求與前述內部更 新要求競先時，決定應答前述存取要求之存取動作及應 答前述更新要求之更新動作的優先順序，且前述裁定電 路使前述存取要求優先於前述內部更新要求時，於輸出 存取控制信號之後輸出第2更新控制信號，且前述裁定 20 電路使前述內部更新要求優先於前述存取要求時，順序 地輸出前述第1更新控制信號、則述存取控制信號及前 述第2更新控制信號。 18. 如申請專利範圍第12項之半導體記憶體，其中前述第1 更新動作之進行時間爲能將藉著前述第1更新動作而再 100 580706 拾、申請專利範圍 寫入前述記憶體晶胞的資料，放大直至進行前述第2更 新控制動作爲止而不失去地保持之信號量的時間。 19. 一種半導體記憶體，其特徵在於具有： 記憶體磁心，係具有多數記憶體晶胞； 5 外部端子，係接收用以存取前述記憶體晶胞之存 取要求； 更新計時器，係以一定的周期產生更新要求；及 磁心控制電路，係於前述存取要求與前述更新要 求進行競先且更新要求優先時，將應答前述更新要求 10 之更新動作之結束時刻，因應於前述存取要求之供給 時序而設定在第1時刻與慢於前述第1時刻之第2時 刻之間。 20. 如申請專利範圍第19項之半導體記憶體，其中前述磁心 控制電路於前述存取要求之收信時刻與前述更新要求之 15 發生時刻之差小時，將前述結束時刻設得早’且前述磁 心控制電路於前述存取要求之收信時刻與前述更新要求 之發信時刻之差大時，將前述結束時刻設得晚。 21. 如申請專利範圍第19項之半導體記憶體，其中更具有裁 定電路，係於前述存取要求與前述更新要求進行競先時 20 ，決定應答前述存取要求之存取動作及應答前述更新要 求之更新動作的優先順序；前述裁定電路使前述存取要 求優先於前述更新要求時，於輸出用以開始前述前述存 取動作之存取控制信號後對前述磁心控制電路輸出用以 開始更新動作之更新控制信號；前述裁定電路於使前述 101 580706 拾、申請專利範圍 更新要求優先於前述存取要求時，於輸出前述更新控制 信號之後對前述磁心控制電路輸出前述存取控制信號； 且前述磁心控制電路因應前述存取控制信號及前述更新 控制信號而分別進行前述存取動作及前述更新動作。 5 22.如申請專利範圍第19項之半導體記憶體，其中前述記憶 .v 體磁心具有分別連接於前述記憶體晶胞之多數字元線， 且前述更新動作之前述結束時刻對應於前述字元線之非 活性化時刻。 春 23. 如申請專利範圍第22項之半導體記憶體，其中前述記憶 10 體磁心具有分別連接於前述記憶體晶胞之多數位元線與 連接於前述位元線之感測放大器，且前述更新動作之前 述結束時刻對應於前述感測放大器之非活性化時刻。 24. 如申請專利範圍第19項之半導體記憶體，其中前述磁心 控制電路具有產生通知前述第1時刻之第1時刻信號、 15 通知前述第2時刻之第2時刻信號的時序產生電路，且 前述磁心控制電路對應其因應前述第1及前述第2時刻 · 信號之產生時序之前述存取要求的供給時序而設定前述 結束時刻。 25. 如申請專利範圍第19項之半導體記憶體，其中前述磁心 20 控制電路於前述存取要求比前述第1時刻先供給時，以 將前述結束時刻設定在前述第1時刻的狀態而使前述記 憶體磁心進行第1短更新動作；前述存取要求於前述第1 時刻至前述第2時刻之間供給時，以將前述結束時刻設 定在前述存取要求之供給時刻的狀態而使前述記憶體磁 102 580706 拾、申請專利範圍 心進行第2短更新動作；前述存取要求於前述第2時刻 後供給時，以將前述結束時刻設定在前述第2時刻的狀 態而進行一般更新動作。 26.如申請專利範圍第19項之半導體記憶體，其中前述記憶 \ 5 體磁心具有連接於前述記憶體晶胞之多數字元線；半導 ^ 體記憶體具有輸出前述更新計時器之前述更新要求的長 生成間隔的第1動作模式，與前述更新要求之短生成間 隔的第2動作模式；因應前述更新要求而能選擇前述字 φ 元線之一；於前述第1動作模式中，因應前述更新要求 10 而進行前述第1或第2短更新動作時，於此第1或第2 短更新動作後，對經選擇之字元線而測試前述一般更新 動作；直至發生其次之更新要求之前，優先前述更新要 求而於不能進行對前述經選擇之字元線之前述一般更新 動作時，轉移至前述第2動作模式。 15 27.如申請專利範圍第26項之半導體記憶體，其中更具有更 新計算器，係用以順序選擇前述字元線而應答前述更新 φ 要求並進行計算動作；於前述第2動作模式中，僅進行 前述一般更新動作而於前述更新計算器進行一周時轉移 ^ 至前述第1動作模式。 1, 103
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