TW522072B - 4-axis bench apparatus for maching mirror finished surface - Google Patents

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TW522072B
TW522072B TW089122030A TW89122030A TW522072B TW 522072 B TW522072 B TW 522072B TW 089122030 A TW089122030 A TW 089122030A TW 89122030 A TW89122030 A TW 89122030A TW 522072 B TW522072 B TW 522072B
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TW
Taiwan
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axis
grinding wheel
platform
processing device
axis direction
Prior art date
Application number
TW089122030A
Other languages
English (en)
Inventor
Hitoshi Omori
Yutaka Yamagata
Kiyoshi Moriyasu
Shinya Morita
Muneaki Asami
Original Assignee
Inst Of Physical & Amp Chemica
Nexsys Corp
Ikegami Seiko Kk
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  • Engineering & Computer Science (AREA)
  • Mechanical Engineering (AREA)
  • Finish Polishing, Edge Sharpening, And Grinding By Specific Grinding Devices (AREA)
  • Grinding Of Cylindrical And Plane Surfaces (AREA)
  • Grinding And Polishing Of Tertiary Curved Surfaces And Surfaces With Complex Shapes (AREA)

Description

五、發明說明(1 [發明所屬技術領域] 本發月係關於種平台上型4轴鏡面加工裝置,係屬 電子•光學裝置、金屬模具組件等之超精密加工技術,詳 言^對硬質脆性材料及超硬金料亦可將複雜形狀以高 精擒度且尚效率加工成鏡面者。 [習知技術] 於豕庭或研究室為了機械加工小組件大多使用平台上 型車床、平台上型銑床等。此等平台上型加工裝置之對象 為較易加工之材料,你,1 ‘細 t 何t叶例如銅、銘、木材、塑膠等。相對於 此’難以加工之材料’例如電子·光學裝置用之精密陶瓷、 光予玻璃、半導體單結晶等硬質脆性材料及金屬模具組件 等超硬金屬等’即使被加工物(WGrk,工件)為小型,向來 :不得不使用一般大型機械。因& ’從以前便希望有一種 2平台上型車床等使用方便、且遇硬質脆性材料或超硬 金屬等亦能以高精密度且高效率進行加工之平台上工 裝置。 (請先閱讀背面之注咅?事項再填寫本頁) 經 濟 部 智 慧 財 產 局 員 工 消 費 合 作 社 印 製 題 但是為實現此等平台上型加工裝£,則有如下心 (1)為加工硬質脆性材料或超硬金屬成自由形狀,需將二 件以高精密度於三次元移動(例如χ、γ、z方向^ 時,通常係將工件在水平面内移動於2方向(例如X Y方向),但因此而在Χ、γ方向有直進導件或NC馬 動機器突出,使平台上型加工裝置之設置面積變得超 大 本紙張尺度適用中國國家標準(CNS)A4規格⑵“挪公爱) 1 311860
IAW--------^---------^ I AW.----------------------I Α7 Β7
經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 522072 五、發明說明(2 ) (2) 有避免此問題,使工件在水平面内僅移動於丨方向(例 如Y方向),使工具在垂直面内移動於2方向(例如x、 Z方向),則用以導引工具之直進導件將變為大型。特 別是為了易於交換工具,而自直進導件或NC驅動機器 於單邊支撐之安裝夾頭上固定工具時,因加工阻力所 致之安裝夾頭之撓曲等遂無法有高精密度加工。再 者,加工硬質脆性材料及超硬金屬等,係使用砂輪之 研磨加工最為適宜,但研磨加工之加工阻力較一般切 削加工為大,因此夾頭之撓曲等變位將變得更大。 (3) 使用砂輪進行研磨加工時,需旋轉工具(砂輪)本身以加 工工件。此時,砂輪旋轉軸之方向僅為單方向時(例如 為Z方向),工件之加工形狀受限很大。為此,砂輪旋 轉軸需設在2方向(例如γ、z方向),如此砂輪驅動機 構又將複雜而大型化,使平台上型加工裝置更加大型 化。 [發明要點] 本發明係為解決上述問題所創者。即本發明之目的在 於提供-種平台上型4軸鏡面加工裝置,其固定工具用之 安裝夾頭之撓曲等變位少,而可因應2方向之砂輪旋轉, 且設置面積小使裝置可小型化,由此對硬質脆性材料及超 硬金屬等亦能以高精密度且高效率進行加工。 研磨加工所用之砂輪在短時間内將會堵塞,因而通常 難以有效率化。又,為解決此問題,本發明之發明者等開 發了一一種電解過磨法(以下簡磁ELID研磨 Μ氏張尺度過料關家標準(CNS’)A4規格⑵Q χ挪公爱1 ----------------------_一 311860 (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁)
2 522072
五、發明說明(3 ) / )。本發明係應用該£LID研磨而減低加工阻力以獲得平 台上型4軸鏡面加工裝置。 即,依據本發明可提供一種平台上型4軸鏡面加工裝 置,其特徵係具備:0平台,為安裝被加工件,並以 垂直之B軸為中心由數值控制而驅動旋轉;主軸(6),為安 裝導電性砂輪(2),並以其軸心為中心而驅動旋轉;砂輪安 裝夾頭(8),為將主軸之旋轉轴c對平行於3軸之z軸方 向及與B軸水平正交之γ軸方向安裝成可裝卸自如;扭曲 防止導件(10),為防止砂輪安裝夾頭之χ軸周邊及2軸周 邊之扭曲;X· Z平台(12),為以數值控制使砂輪安裝夾頭 向X軸方向及z軸方向直線移動;γ平台(14),為以數值 控制使(9平台向與χ_Ζ面水平正交之γ軸方向直線移動,· 及電氣加工裝置,為用以電氣加工電極及(或)被加工件。 由此構成’係以Υ平台(14)使工件在水平面内僅向γ 方向移動,以Χ·Ζ平台(12)使砂輪在垂直面内向χ、ζ方 向移動,因此無X方向之突出而可縮小設置面積。又,係 以扭曲防止導件(10)防止砂輪安裝夾頭(8)之χ軸周邊及Ζ 軸周邊之扭曲,因此可與χ·ζ平台(12)合作以引導砂輪安 裝夾頭(8)之同8#,可縮小其撓曲等變位。再者,砂輪安裝 夾頭(8)係使主軸(6)旋轉軸(^於冗軸方向及γ軸方向安裝 成可裝卸自如,因此,只要裝卸砂輪安裝夾頭,即可因應 2方向之砂輪旋轉,而可避免砂輪驅動機構之複雜、大型 化。 依據本發明之較佳實施形態,前述扭曲防止導件(J 〇) 本紙張尺度適用中國國家標準(CNS)A4規格(210 X 297公釐) 311860 (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) ·· 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製
·11111111 I — II----------I - 1--I 522072 A7 五、發明說明(4 ) (請先閱讀背面之注咅?事項再填寫本頁) 係由:平行之2軸導桿(11a),用以引導砂輪安裝夾頭(8) 向X軸方向;兩端支持塊(lib),用以支持該2軸導桿之兩 端;及平行之2軸導桿(11c),用以引導兩端支持塊向z軸 方向所構成。 依此構成,係以不含數值控制機構等之簡單構成之扭 曲防止導件(10)防止X軸周邊及z軸周邊之扭曲,且以χ· ζ平台(12)數值控制X軸方向及ζ軸方向,因而可使砂輪 安裝夾頭之變位縮小,且可高精密度地數值控制X軸及Υ 〇 又,上述主轴(6)具有平行於Χ-Ζ面之X· Ζ安裝面(6a) 及平行於X-Y面之Χ· Y安裝面(6b),而Χ·Ζ安裝面與χ· Υ安裝面係構成可互成相反地安裝於砂輪安裝夾頭(8)。 依此構成,僅需將Χ·Ζ安裝面(6a)與X· γ安裝面(6b) 相反安裝於砂輪安裝夾頭(8),即可使主軸(6)之旋轉軸c 因應Y軸方向與Z軸方向二方向之砂輪旋轉,且可使砂輪 驅動機構小型化。 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 刖述電氣加工裝置係由隔著旋轉供電體使砂輪作為陽 極,以前述電極為陰極之電力供給裝置(16),及在前述砂 輪與電極間供給導電性加工液之加工液供給裝置(18)所 成,且係使前述電極與砂輪以接觸或非接觸狀加工被加工 件或間歇性地加工電極。 依此構成,可適用以非接觸電解電極之電解修整加工 (dressing)及接觸之放電整形加工(tooling)雙方而可進行 電極之高精密度整形及一邊進行加工之ELID研磨。因此 本紙張尺度適用中國國家標準(CNS)A4規格(21〇 X 297公爱) 4 311860 522072 A7 B7 五、發明說明( 對硬質脆性材料及超硬金屬等亦可以高精密度且高效率進 行加工。 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 又/、備對Θ平台、Χ·Ζ平台、γ平台以數值控制之數 值控制裝置(20),藉由3直進軸(X、Y、z)& i旋轉軸(Θ) 之同時或逐次控制,對被加工件進行自由曲面之eud研 磨加工。 由此構成,以數值控制裝置(20)(例如個人電腦)控制, 即可實施簡易的數值控制,並可實現高精密度加工。 前述導電性砂輪(2)係使導電性粉末與非導電性粉末 以燒結或電鍍而固化為宜。由此構成,可易於製造圓板狀、 圓筒形、球端形(Ball-nose)等導電性旋轉砂輪。 前述導電性砂輪(2)係具有底面、外周面、邊緣部之旋 轉體,且係藉由此等部位之全部或任一以上之部位加工被 加工件。由此構成,可一面旋轉導電性砂輪,一面將被加 工件加工成複雜形狀。 前述被加工件(1)係由導電性材料所成,且與前述導電 性砂輪成電性絕緣,而在加工中與前述電極接觸。由此構 成’可避免被加工件與導電性砂輪間之放電之同時,使被 加工件與電極接觸而對被加工件施以放電加工。 另具備用以檢測出導電性砂輪(2 )與被加工件(1)之接 觸的AE感測器(sensor),或在前述導電性材料所成之被加 工件與前述導電性砂輪間施加電壓而檢測因其接觸所產生 之電位差、電流變化的接觸檢測裝置,並藉由該接觸檢測 裝置,實施前述電氣加工裝置之ON-OFF控制。依此構成, 本紙張尺度適用中國國家標準(CNS)A4規格(210 x 297公釐) 5 311860 (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) 0 ^ ·11111111 — — — — — — — — — — — — 1 — — — — — — . A7 B7
經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 6 522072 五、發明說明(6 ) 可與導電性砂輪(2)及被加工件(〖)之接觸連動而控制電氣 加工裝置之ON-OFF。 本發明之其他目的及有利特徵’由參照附圖之以下說 明即可明瞭。 [圖示之簡單說明] 第1圖為本發明之平台上型4軸鏡面加工襞置之敕 斜視圖; $ _ 第2圖為第1圖之正面圖; 第3圖為第1圖之左側面圖。 [符號之說明] 1 被加工件(工件) 2 導電性砂輪(工具) 4 0平台 4a 脈衝馬達 6 主轴 6a X · Z安裝面 6b X · γ安裝面 8 砂輪安裝夾頭 9 蓋子 10 扭曲防止導件 11a 2軸導桿 lib 兩端支持塊 11c 2軸導桿 12 X · z平台 12a 脈衝馬達 14 Y平台 14a 脈衝馬達 16 電力供給裝置 18 加工液供給裝置 20 數值控制裝置 22 電極 [較佳實施例] 以下參照圖面說明本發明之實施形態。另於各圖之共 同部分附同一符號並省略重複說明。 本紙張尺度適用中國國家標準(CNS)A4規格(210 X 297公釐) 311860 (請先閱讀背面之注咅?事項再填寫本頁) ,•--------訂------------------------------- 522072 A7 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製
五、發明說明(8 ) 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 及平行於X-Y而夕γ V ^ 之 ·Υ安裝面6b。此兩個安裝面6a、 b係、可例如藉由 Ώ . 由螺检之裝卸,使主軸之旋轉軸C對平行於 軸之Ζ抽方向及欠羊丄 ^ ^ 及水十正父於Β軸之Υ軸方向安裝成可裝 卸狀而構成。 α由此構成,安裝成如第1至第3圖所示,可將主軸6 2旋轉軸C固定於γ軸方向,反之,僅將χ·ζ安裝面“ ” Y安裝面6b相反安裝於砂輪安裝夾頭8,即可將主 抽6之旋轉軸c固定於z轴方向。再者,此時,導電性砂 f 2以將用圓筒形砂輪 '杯形砂輪、球端砂輪等為宜。如 疋主軸6之旋轉轴c可因應丫軸方向及z軸方向2方向 之砂輪旋轉,且砂輪驅動機構可小型化。 扭曲防止導件1〇係由:平行之2軸導桿Ua,用以引 導砂輪安裝炎頭8向X軸方向;兩端支持塊n,用以支持 該2軸導杯Ua之兩端;及平行之2軸導桿lie,用以引 導兩端支持塊lib向Z軸方向所構成。於兩端支持塊lib 組裝有用以引導2軸之平行桿成直線之線形軸承(Unear bearing) ’可使砂輪安裝夾頭8於上下左右以低阻力自由移 動’且可防止X軸周邊及Z軸周邊之扭曲。 由此構成,將作用於砂輪2之加工阻力經由砂輪安裝 夾頭8而由2軸導桿iia、Ub承受,可防止砂輪安裝夾頭 8之X軸周邊及Z軸周邊之扭曲。又,於此構成,係以χ· Ζ平台12數值控制X軸方向及冗軸方向,因此可使χ·ζ 平台12之導件縮小,且可將砂輪安裝夾頭8之變位抑制成 較小,以高精密度地數值控制X軸及Ζ軸。 (請先閱讀背面之注音?事項再填寫本頁) 訂·丨 •線— ϋ n n n 本紙張尺度適用中國國家標準(CNS)A4規格(210 X 297公釐) 8 311860 522072 A7 五、發明說明(9 ) (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) χ·ζ平台12係由v溝及十字型滾柱引導至χ軸方向 及Ζ軸方向,並藉由脈衝馬達12a數值控制砂輪安裝夾頭 8向Z轴方向直線移動,另藉由無圖示之脈衝馬達i2a數 值控制砂輪安裝夾頭8向X軸方向直線移動。另,丫平台 14同樣係由v溝及十字型滾柱引導至γ軸方向,並藉由 脈衝馬達14a數值控制0平台4向γ軸方向直線移動。另胃, 不使用脈衝馬達之開放式電路,而改用由線性感測器之回 饋控制進行數值控制亦可。 由此構成,可將砂輪安裝夾頭8之撓曲等變位抑制成 較小,故可藉由X· Ζ平台12與γ平台14,使工件i及 工具2相對移動且精度良好地進行3軸NC控制。又,γ 平台14可以0平台4之半徑分加工直徑分量,因此可使 工作量(stroke)減半,且可防止脈衝馬達14a等之突出。 又,9為整體或部分透明之蓋子,覆蓋著平台上型4軸鏡 面加工裝置,且在動作中可觀察内部。 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 電氣加工裝置係用以電氣加工電極22及(或)被加工件 卜此電氣加工包含電解修整加工及放電整形加工。此電氣 加工裝置係由··隔著旋轉供電體(無圖示)使砂輪2作為陽 極(+),並以電極22為陰極之電力供給裝置16;及在砂輪 2與電極22間供給導電性加工液之加工液供給裝置i 8所 成。電極22與砂輪2之加工面之間以隔有一定間隔為宜, 但電極與砂輪構成暫時接觸亦無妨。 由此構成可適用,以非接觸狀態電解電極22而去除之 電解修整加工,及暫時或間歇性接觸之放電整形加工〇因 本紙張尺度適用中關家標準(CNS)A4規格(2Κ)χ 297公餐)——-------- 9 311860 五、發明說明(ίο 此,電極之高精密度整形及一邊進行加工之elid研 :進行’對硬f脆性材料及超硬金屬等亦能以高精密= 尚效率進行加工,而可達成平均粗链度在Rai〇nm以= 鏡面加工。 之 數值控制裝置20係數值控制0平台4、χ·ζ平台ο 及Υ平台14,且同時或逐次控制了直進軸χ、γ、ζ及— 2編以進行被加工件1之自由曲面之獅研磨: 又,具備接觸檢測裝置(無圖示),該裝置具有用以檢 測導電性砂輪2與被加工件!之接觸的ΑΕ感測器,藉由 此接觸檢測裝置進行電氣加工裝置之〇n_〇ff控制,並與 導電性砂輪2與被加工件!之接觸連動而控制電氣加工裝 置之 ON_OFF。 經 濟 部 智 慧 財 產 局 員 工 消 費 合 作 社 印 製 由上述本發明之構成,係以Y平台14使工件丨在水 平面内僅移動於Y方向,以Χ·ζ平台12使砂輪2在垂直 面内移動於χ、ζ方向,因此無又方向之突出而可縮小設 置面積。又,係以扭曲防止導件10防止砂輪安裝夾頭8 之X軸周邊及Ζ軸周邊之扭曲,故可與χ·ζ平台12合 作以引導砂輪安裝夾頭8之同時,使其挽曲等變位縮小。 再者,蛉輪女裝夹頭8係將主軸6之旋轉軸c安裝成於ζ 軸方向與Υ軸方向成可裝卸自如狀,因此只要裝卸砂輪安 裝夾頭8即可因應2方向之砂輪旋轉,而可避免砂輪驅動 機構之複雜、大型化。 丨又,係以簡單構成之扭曲防止導件10防止χ軸周邊 本紙張尺度適用中國國家標準(CNS)A4規格(210 X 297公髮)- 10 311860 522072 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 11 A7 B7 五、發明說明(11 ) 及Z軸周邊之扭曲,並由X.Z平台12數值控制X耗t 向及Z軸方向,故可使砂輪安裝夾頭8之變位縮小,且可 高精密度地數值控制X轴及Z轴。再者,僅將Χ·Ζ安裝 面6a及Χ·γ安裝面6b相反安裝於砂輪安裝夾頭8,gp 可使主軸6之旋轉轴C因應砂輪之Y軸方向及Z軸方向之 2方向旋轉,並可使砂輪驅動機構小型化。再者,可應用 以非接觸狀電解電極之電解修整加工,及接觸之放電整形 加工兩者,而可進行電極之高精密度整形與一邊進行加工 之ELID研磨,因此對硬質脆性材料及超硬金屬等亦能以 高精密度且高效率進行加工。 因此,本發明之平台上型4軸鏡面加工裝置具有:安 裝工具用之安裝夾頭之撓曲等變位少而可因應2方向之砂 輪旋轉,且設置面積小使裝置可小型化,由此,對硬質脆 性材料及超硬金屬等亦可以高精密度且高效率進行加工等 優異效果。 此外,雖以幾個較佳實施例說明了本發明,但本發明 包含之權利範圍並不受限於上述實施例。本發明之權利範 圍係包含申請專利範圍所含之所有改良、修正及均等物 者0 本紙張尺度適用中國國家標準(CNS)A4規格(210 X 297公釐) 311860 ---------------------訂---------線 ί請先閱讀背面之注音?事項再填寫本頁)

Claims (1)

  1. 522072 六 1· A8 B8 C8 D8 申請專利範圍 -種平台上型4軸鏡面加工裝置,其特徵為具備·· Θ平 台(4),為安裝被加工件(1),並以垂直之β軸為中心由 數值控制而驅動旋轉;主軸(6),為安裝導電性砂輪(2), 並以其軸心為中心而驅動旋轉;砂輪安裝夾頭,為 將主軸之旋轉軸C對平行於Β軸之Ζ軸方向及水平正 交於Β軸之Υ軸方向安裝成可裝卸自如;扭曲防止導 件(1 〇),為防止砂輪安裝夾頭之X軸周邊及ζ軸周邊之 扭曲;X · Ζ平台(12),為以數值控制使砂輪安裝夾頭 向X軸方向及ζ軸方向直線移動;γ平台(14),為以數 值控制使(9平台向與χ-ζ面水平正交之γ軸方向直線 移動,及電氣加工裝置,為用以電加工電極及(或)被加 工件。 2·如申請專利範圍第1項之平台上型4軸鏡面加工裝置, 其中前述扭曲防止導件(1〇)係由:平行之2轴導桿 (11a),用以引導砂輪安裝夾頭(8)向又軸方向;兩^支持 塊(11b),用以支持該2軸導桿之兩端;及平行之2轴 導桿(lib),用以引導兩端支持塊向z軸方向所構成。 3·如申請專利範圍第1項之平台上型4軸鏡面加工裝置, 其中前述主軸(6)係具有平行於χ_ζ面之χ · z安梦 (6a) ’及平行於X-Y面之χ· γ安裝面(6b),而安 裝面與Χ-Υ安裝面係構成可互成相反地安裝於砂輪 裝夾頭(8)。 4.申專利範圍第1項之平台上型4軸鏡面加工裝置,其中 前述電氣加工裝置係由:隔著旋轉供電體使砂輪作為陽 私紙張尺度適用中國國家標準(CNS)A4規格(210 X 297公釐) -------- 12 3Π8^Γ^ 1 --------訂---------- (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 522072 六、申請專利範圍 極而前述電極為陰極之電力供給裝置(16);及供給加工 液於前述砂輪與電極間之加工液供給裝置(i 8)所構 成,而使前述電極與砂輪接觸或非接觸,得以加工被加 工件之同時,或間歇性地加工電極。 5·如申請專利範圍第i項之平台上型4軸鏡面加工裝置, 其中又具備數值控制0平台、χ·ζ平台、¥平台之數 值控制裝置(20),並藉由3直進軸(χ、γ、幻及1旋轉 軸(Θ)之同時或逐次控制,以進行被加工件之自由曲面 之ELID研磨加工。 6.如申請專利範圍帛!項之平台上型4轴鏡面加工裝置, 其中前述導電性砂輪(2)係使導電性粉末與非導電性粉 末以燒結或電鍍而固化者。 7·如申請專利範圍第!項之平台上型4軸鏡面加工裝置, 其中前述導電性砂輪⑺係具底面、外周面及邊緣部之 旋轉體,並藉由此等部位之全部或任一以上之部位加工 被加工件。 8. 如申請專利範圍第i項之平台上型4軸鏡面加工裝置, 其中前述被加工件(1)係由導電性材料所成,且斑前述 導電性砂輪為電性絕緣,而在加工中與前述電極接觸。 9. 如申請專利範圍第i項之平台上型4軸鏡面加工裝置, 其中又具備用以檢測導電性砂輪⑺與被加工件⑴之接 觸的AE感測器,或施加電M於前述導電性材料所成之 被加工件與前述導電性砂輪之間,而檢㈣其接觸所產 生之電位差、電流變化的接觸檢測裝 |__饿列裒置並藉由該接觸檢 本紙張尺度適用中關家標準(CNS)A4規袼(210 X 297公爱 311860 填 Μ I 522072 A8 B8 C8 D8 六、申請專利範圍 測裝置控制前述電氣加工裝置之ON-OFF 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 本紙張尺度適用中國國家標準(CNS)A4規格(210 X 297公釐) 14 311860 I--------------------訂----------線 (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁)
TW089122030A 1999-10-26 2000-10-20 4-axis bench apparatus for maching mirror finished surface TW522072B (en)

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